共通アクチュエータバックボーン（５）によって相互接続された少なくとも２つのバイモルフ、モノモルフまたはマルチモルフ電気機械式作動要素（６）を使用する電気機械式モータ（１）を開示する。作動要素（６）は、長手方向（Ｌ）、すなわち作動要素（６）の主要な延伸方向と、撓み方向、すなわち作動要素（６）の曲げ方向との両方において別々に制御可能である。同様に、異なる作動要素（６）は、個別に制御可能である。好ましくは、アクチュエータ（３）の寸法は特定の周波数付近の共振周波数に選択される。作動要素（６）は相互作用部（７）を備え、相互作用部（７）ではアクチュエータと被移動本体（２）との間の任意の接触が行われる。精密位置決めと共振運動との両方において良好に動作するために、相互作用部（７）は作動要素（６）と被移動本体（２）との間の音波の伝達を部分的に抑止するように配置される。
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【課題】疲労特性及び圧電特性に優れた圧電素子並びにこの圧電素子を用いた圧電アクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッドを提供する。
【解決手段】圧電膜と該圧電膜に接する一対の電極とを基板上に有する圧電素子であって、前記圧電膜は、鉛系圧電膜と非鉛系圧電膜とが積層した構造を有し、前記圧電膜の、前記基板から最も遠い層と前記基板に最も近い層とは、非鉛系圧電膜であることを特徴とする圧電素子。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、高精度に質量部の挙動を検知し、質量部の挙動を所望のものとすることができるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、第２の質量部２５の平面視にて、第２の質量部２５の回動中心軸Ｘに直角な方向における第２の弾性部２８、２９の片側に偏在しつつ、回動中心軸Ｘに沿って延在する長手形状をなすピエゾ抵抗素子４１、４２を有し、ピエゾ抵抗素子４１、４２の抵抗値の変化に基づいて、第２の質量部２５の挙動を検知する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の導通構造に関し、格段に小型化できるとともに容易に製造でき、エネルギ効率も低下しない振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法の提供。
【解決手段】圧電素子３０Ａ，３０Ｂの体表面部３５には、複数の電極パターン３１１〜３１５が形成されるとともにこれら電極３１１〜３１５のうち互いに導通して同電位とすべきものを電気的に接続する導通パターン４１１〜４１９が圧電素子３０Ａ，３０Ｂの体表面部３５に形成されている。導通パターン４１１〜４１９は、常温で導電性粒子を含有した液状物をインクとするインクジェット法により、当該インクを常温より高い温度で乾燥固化させることにより導電性粒子を相互接触させて形成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動耐久性を維持して液体噴射特性を向上したアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】基板１０の一方面に設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる複数の圧電素子３００を有すると共に、前記下電極６０が複数の前記圧電素子３００に亘って形成されており、前記下電極６０の互いに隣接する前記圧電素子３００の間の領域に、前記圧電素子３００に設けられた領域よりも厚さが薄い薄肉部６１を設けると共に、前記薄肉部６１の前記圧電素子３００との境界部分に凹部６２を設け、該凹部６２の内面及び当該凹部６２の前記圧電素子３００とは反対側の開口縁部を曲面状にする。 （もっと読む）

【課題】優れた回動特性を発揮するアクチュエータを提供すること。
【解決手段】本発明にかかるアクチュエータ１は、支持部２３と、第１の質量部２１、２２と、第２の質量部２４と、第１の弾性部２５、２６と、第２の弾性部２７、２８と、駆動手段とを有し、第１の弾性部２５、２６は、第１の質量部２１、２２の回動中心軸１００上に延在する中心軸部材２５１、２６１と、中心軸部材２５１、２６１を介して互いに対向する少なくとも１対の連結部材２５２、２５３、２６２、２６３とを有し、前記駆動手段の作動により、１対の連結部材２５２、２５３、２６２、２６３を互いに反対方向に曲げ変形させつつ、中心軸部材２５１、２６１を捩れ変形させることで第１の質量部２１、２２を回動させ、それに伴い、第２の弾性部２７、２８を捩れ変形させ、第２の質量部２４を回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化により共振周波数が変動した場合でも、超音波モータの迅速な起動及び安定駆動を可能にする超音波モータ駆動制御装置を提供する。
【解決手段】超音波モータの起動毎に、該超音波モータが回転を開始したときの駆動周波数を起動周波数データとして記憶する周波数記憶手段と、前記駆動制御手段が前記超音波モータの起動動作を開始する前にその都度、該動作環境における周囲温度を検出する温度検出手段と、この検出された周囲温度を温度データとして記憶し、少なくとも前回の温度データと今回の温度データの記憶を保持する温度記憶手段と、前記前回の温度データと前記今回の温度データとの差が所定値以上あるか否かを判定する温度判定手段と、前記周波数記憶手段に記憶されている複数の起動周波数データに基づいて前記初期駆動周波数を算出する演算手段とを備え、前記温度判定手段によって温度データ差が所定値以上あると判定された場合は、前記周波数記憶手段に記憶されている起動周波数データを全て消去する。 （もっと読む）

本発明は、圧電アクチュエータ（２；２１）を形成する装置に関する。圧電アクチュエータはそれぞれ圧電層の多層構造から構成されている少なくとも１つの圧電素子（３；２２，２３）を有し、圧電層間に配置されている内部電極（８，９）には圧電素子の層構造の方向において極の異なる電圧が交番的に印加されている。１つの圧電素子の周囲、または操作方向に圧電素子が直列に接続されている場合には複数の圧電素子の周囲、また少なくとも部分的にアクチュエータヘッド（５）およびアクチュエータベース（４）の周囲に絶縁材料の少なくとも１つの層からなる被覆層系（２４）が配置されており、少なくとも１つの層は１つまたは複数の圧電素子間の接合個所および圧電素子とアクチュエータヘッドとの間の接続部および圧電素子とアクチュエータベース（４）との間の接続部を密に包囲する。
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【課題】コンパクトな構成で効率良く駆動出力を取り出すことができる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、共振周波数の電圧を印加することにより駆動方向に対して垂直方向に伸縮変形を行う縦一次振動モードと屈曲変形を行う屈曲一次振動モードとを励起可能な振動部４と、振動部４の両サイドを加圧状態で挟持する２本のガイド棒３とを備えている。上記の縦一次振動モードと屈曲一次振動モードとを振動部４で励起することにより、ガイド棒３と接触する振動部４の両サイド、つまり突起部４１１〜４１２および突起部４１３で互いに逆回りとなる回転運動Ｋａ、Ｋｂが生じるが、この回転運動を用いて振動部４がガイド棒３に対して移動する。このような駆動装置により、コンパクトな構成で効率良く駆動出力を取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】サイズが小さく且つ変位量が大きいアクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】アクチュエータ１は、湾曲した圧電素子３０と、圧電素子３０を支持する支持部材１０と、圧電素子３０に取り付けられた被駆動部材２０とを備えている。圧電素子３０は、印加電圧に応じて湾曲の内側方向あるいは外側方向に変位する。被駆動部材２０は、圧電素子３０の両端部に固定される一対の固定部２８と、固定部２８を連結する連結部２４とを有している。連結部２４は、ヘッド２５を頂部として屈曲されており、屈曲の内側方向あるいは外側方向に変位可能となっている。そのため連結部２４は、圧電素子３０が湾曲の内側方向に変位すると、屈曲の内側方向に変位し、圧電素子３０が湾曲の外側方向に変位すると、屈曲の外側方向に変位する。連結部２４の変位量は、圧電素子３０の変位量に応じたものとなる。 （もっと読む）