【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は，基板２と、基板２の上方に形成された下部電極４と、下部電極４の上方に形成され、チタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体層６と、圧電体層６の上方に形成された上部電極７と、を含み、Ｘ線ロッキングカーブ法により測定したチタン酸ジルコン酸鉛の（１００）面のピークの半値幅は，１０度以上２５度以下である。 （もっと読む）

【課題】センサー機能とアクチュエータ機能とを備え、変位量出力と応力入力を同時に測定でき、また、変位を生じさせた結果生ずる歪みや応力などを検知するセンサーとして用いることもできる、センサー機能付アクチュエータ装置および粘弾性測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、２つの積層型ピエゾ素子を、中間体を介して、変位発生方向に直列的に接続した駆動部を備えたセンサー機能付アクチュエータ装置であって、駆動部の２つの積層型ピエゾ素子において、一方の積層型ピエゾ素子は、電圧を印加することによって変位を生じさせることによりアクチュエータとして機能するよう構成し、他方の積層型ピエゾ素子は、他方の積層型ピエゾ素子内部の圧力変化によって圧電電荷を発生させることによりセンサーとして機能するよう構成すること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図りつつ、効率的かつスムーズに駆動対象を駆動することのできる圧電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータ１は、正方形であって可撓性を有する金属板２を備えている。この金属板２の上面２ａ側には、四角柱状の突起部３が複数設けられている。金属板２の下面２ｂ側には、その中央部の一方側に配置された第１圧電素子Ａと他方側に配置された第２圧電素子Ｂとが、直線上に設けられている。さらに、金属板２の下面２ｂ側には、その中央部において前記第１、第２圧電素子Ａ、Ｂと直交する方向の一方側に配置された第３圧電素子Ｃと他方側に配置された第４圧電素子Ｄとが直線上に設けられている。 （もっと読む）

圧電アクチュエータＰに予め負荷を加えるためのバネ要素が開示され、バネ要素は開口部２を備えた管状体１を示す。それぞれの場合で開口部は丸い隅部２ａを備えた多角形の形状で構築される。そのようなバネ要素を備えた圧電アクチュエータも開示される。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡って電圧を印加して駆動させても、絶縁性を低下させず高い信頼性を有する圧電体薄膜素子、それを用いたインクジェットヘッド、及び前記インクジェットヘッドを印字手段として備えたインクジェット式記録装置を得ること。
【解決手段】圧電体層１４は、第１，第２，第３の３つの圧電体層１４ａ，１４ｂ，１４ｃで構成され、第１及び第３の圧電体層１４ａ，１４ｃの各圧電定数は、いずれも第２の圧電体層１４ｂよりも小さくなっている。これによって、第１、第３の圧電体層１４ａ，１４ｃと対応する電極層１３，１５との界面に発生する内部応力を低減でき、高電圧印加や長期間駆動によるクラック発生の大幅な低減効果が期待できる。 （もっと読む）

【課題】実用的な駆動力を保ちながら大きな変位量が得られ、微細化や集積化が容易で、さらに環境負荷の小さなアクチュエータ素子を簡単に製造することができ、複数の素子の配列を同時に製造することもできるアクチュエータ素子の製造方法。
【解決手段】基板上に光硬化性の剥離層と隔壁層を設ける工程と、隔壁層による凹部領域を露光して選択的に剥離層を硬化させる工程と、該凹部領域に電界により変形する層と電極層とを含む積層体を形成する工程と、隔壁層を硬化していない剥離層とともに取り外す工程とにより、複数の素子の配列を同時に、簡便に製造することが可能で、微細化、集積化も容易となる。 （もっと読む）

【課題】 単相電源で駆動する簡単な単板構造でありながら、長寿命且つ可逆動作可能な圧電振動子乃至それを利用した超音波モータ。
【解決手段】 対向する主表面に一対の駆動電極を有する矩形柱状圧電体に非圧電性の弾性チップを前記矩形柱状圧電体の前記主表面とは別の対向する側面の一対にそれぞれ該表面の片寄った位置、換言すると面の中心から偏向した位置に接着する。ここで、２枚の前記弾性チップは互いに対向しないように前記矩形柱状圧電体の中心に対し対称の位置に接着される。 （もっと読む）

【課題】高湿環境下においても能力を発揮できるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】固定部材１と、上記固定部材に設置され、第１の方向とその逆の第２の方向に微小変位を発生する圧電素子２と、上記圧電素子の上記微小変位によって往復運動するとともに、その平面上に第１の電極３１を有する振動基板３と、上記振動基板の上記平面上に配置され、上記第１の電極と絶縁膜３１０を介して対向する平面に第２の電極４１を有する移動体４と、上記第１の電極と上記第２の電極との間に電圧を印加して静電吸着力を作用させることによって、上記振動基板と上記移動体との間の摩擦力を制御することで、上記移動体を移動させる摩擦力制御手段とを備え、更に、上記振動基板の上記平面上の上記第１の電極の外側で且つ上記移動体と対向する部位に、上記電圧印加によって上記第１及び上記第２の電極の間に生じている電界を遮断する電界緩和領域３０１を有する。 （もっと読む）

【課題】各種装置に組み付けた場合であっても、設計時と同様の変位量、変位軌跡で突起部を動作させることのできるようにする。
【解決手段】圧電アクチュエータ１００は、矩形状のプレート２を有している。このプレート２は中央部に形成された変形部３と、この変形部３の全周に亙って形成された非変形部４とが一体的に形成されている。変形部３の上面には、その中心部に突起部５が一体的に形成されているとともに、圧電素子Ｅ〜Ｈが配置されている。非変形部４の上下面には、変形部３を包囲する形状の周囲部材６が接着固定されており、上下の周囲部材６とこれにより挾持された非変形部４とにより固定部７が構成されている。 （もっと読む）

【課題】位置決めの高精度化と高分解能化が可能な回転、直動の二方向併進駆動アクチュエータおよび位置決め装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータは、磁性体よりなるロータ１の外周に中心軸方向に接触し、遠心方向の運動を規制する磁石２１を有する第１駆動ユニット２と、ロータ１の回転方向に磁石２１と離間して配置され、ロータ１の外周に中心軸方向に接触し、遠心方向の運動を規制する磁石３１を有する第２駆動ユニット３で構成されている。第１駆動ユニット２は磁石２１を駆動してロータ１を回転方向および中心軸方向に変位させる。第２駆動ユニット３は磁石３１を駆動してロータ１を回転方向および中心軸方向に変位させる。 （もっと読む）