【課題】平行平板型のＭＥＭＳ素子において、ヒステリシスやプルイン現象を伴うことのないＭＥＭＳ素子とそれを用いたデバイスを実現すること。
【解決手段】ミラー部２１の下方に支持基板１１によってストッパ３４を形成する。ミラー部２１の両側にアクチュエータ２２，２３を形成するストッパ３４は、支持基板１１の他の部分と電気的に分離して上部層１３と接続する。こうすることによって、プルイン現象やヒステリシスをなくすることができる。 （もっと読む）

【課題】被駆動体に対しての接触部の描く軌道を安定させることにより安定的に駆動することができる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】補強板２１および圧電素子２２を有し、圧電素子２２に交流電圧を印加することにより駆動されて振動する振動体２と、補強板２１に設けられ、振動体２の振動により被駆動体Ｒに接触して被駆動体Ｒに駆動力を伝達する接触部３と、圧電素子２２の表面に設けられ、圧電素子２２に交流電圧を印加する駆動電極１２、１３とを有する圧電アクチュエータ１であって、接触部３は、接触部３の振動面方向に対して略垂直な方向に並ぶ２箇所Ｚ１、Ｚ２で被駆動体Ｒに接触することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤ回転の機械的エネルギーを受ける圧電構造体によって発生されたエネルギーを、一体化されたタイヤ電子装置に電力を供給するに適した形に変換するシステム及び方法。
【解決手段】回転するタイヤの機械的なエネルギーから電力を発生するためのシステム及び方法は、圧電式電力発生装置と電力回収調整モジュールとを有している。圧電構造体は、好ましくはタイヤ構造体内に取り付けられ、ホイール組立体が地面上を走行するときに電荷が発生される。圧電構造体の電極に接続された電力回収調整モジュールは、圧電構造体からの電流を整流し、調整し、エネルギー蓄積装置、好ましくはキャパシタに蓄積する。電力発生装置に蓄積されたエネルギーから調整された電圧源が実現され、タイヤ又はホイールの組立体内に一体化された様々な電子システムに電力を供給するために使用される。 （もっと読む）

「スムースピクセル（ｓｍｏｏｔｈ ｐｉｘｅｌ）」ＤＬＰ（登録商標）プロジェクタ（４０）において圧電アクチュエータ（５６）を差動的に駆動するための装置及び方法が開示される。アクチュエータ（５６）は、有効な供給電圧（７４）よりも大きい駆動レベル（Ｖ_Ｍ）を得るために差動的に駆動される。駆動は逆位相信号（Ｓ_５，Ｓ_６）によって駆動される。その逆位相信号のうちの１つ（Ｓ_５）は、アクチュエータ（５６）両端に負の駆動レベルがかかることを回避するよう直流オフセットを受ける。
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本発明は、中空円筒状圧電振動子２によって駆動される回転子１２を備える小型化可能なモーター１に関する。前記回転子は圧電振動子の摩擦面１３に効率的に接続され、主電極または対電極３および励振電極４、５、６が中空円筒の表面に設置される。中空円筒状圧電振動子は三方晶系の単結晶材料から作られ、互いに１２０°の角度に位置する３個の主電極軸ならびに光学軸が設けられる。前記光学軸は、電気的軸の交差点に沿って９０°の角度を含み、中空円筒状圧電振動子の長軸に一致する。さらに、それぞれの励振電極の軸方向対称軸は主電気的軸の１つと交差し、前記軸方向対称軸は光学軸に平行に延びる。
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【課題】第１の圧電素子に取り付けた駆動部材と被駆動部材との摩擦係合を確保、或いは解除する第２の圧電素子を設けることによって、被駆動部材を安定して正確に移動させることができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】レンズ枠１８、２０を光軸方向に駆動させるアクチュエータ３０は、駆動用の第１の圧電素子３２Ａ、３２Ｂ、係合用の第２の圧電素子３２Ｃ、駆動部材３４Ａ、３４Ｂ、及び押えばね３６で構成される。圧電素子３２Ａ、３２Ｂ及び駆動部材３４Ａ、３４Ｂは被駆動板２６を挟んで両側に配置され、駆動部材３４Ａ、３４Ｂの間隔が圧電素子３２Ｃによって拡縮される。この圧電素子３２Ｃによって、駆動部材３４Ａ、３４Ｂと被駆動板２６との摩擦係合が確保、或いは解除される。 （もっと読む）

【課題】超音波モータの予圧力を小型かつ単純な機構により適宜調節することが可能な関節ロボットの提供。
【解決手段】圧電体１１，１２，１３，１４と、さらに外周端部を張り出した固定子フランジ４と、をともに積層し、圧電体１１，１２，１３，１４とこの固定子フランジ４とを一体に縦貫して両端面中央に開口する中空孔１ａが形成された固定子１と、この固定子１の振動端面上に載置されて、この固定子１の中空孔１ａの延長上に貫通する貫通孔２ａが形成された回転子２と、中空孔１ａと貫通孔２ａとを一連に挿通し、その両端を固定子１と回転子２とのそれぞれに協調して張力を伝達可能に相対峙する２つの固定部材に固定されて張架されたワイヤ３と、を具備させる特徴的構成手段の採用。
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ねじ付きシャフトアセンブリを駆動するための装置に可動的に取り付けられた光学素子を含む光学アセンブリ。装置は、回転軸を有するねじ付きシャフトおよびそれと係合したねじ付きナットを含む。アセンブリは、ねじ付きナットを超音波振動に供し、それによって該シャフトを回転させると同時に軸方向に平行移動させるための素子を含む。

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【課題】 製造工程を簡略化でき、コストを低減できるとともに動作の安定化を図ることのできる圧電アクチュエータおよびインクジェットヘッド、並びにそれらの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 拡散防止層を兼ねる下部電極３を振動板２と圧電層４との間に設ける。このような構成によれば、電極と拡散防止層とを兼ねる層を一の工程で作成することができるから、製造工程の簡略化およびコストの削減を図ることができる。また、従来のように電極層と拡散防止層とを二層構造とした場合と比較して、これらの層の物性が基板の撓みに与える影響を低減することができるため、圧電アクチュエータとしての動作を安定させることができる。
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【課題】絶縁構造の信頼性と、優れた圧電性能とを両立した積層型圧電体素子を提供すること。
【解決手段】積層型圧電体素子１は、圧電層１１と内部電極２１、２２とを交互に積層してなるセラミック積層体１０を有し、セラミック積層体１０の側面１０１、１０２に第１側面電極３１及び第２側面電極３２を設けた積層型圧電体素子である。側面電極３１（３２）を設けた側面１０１（１０２）には、底部４１０（４２０）に内部電極２１（２２）の端部を露出させた凹溝部４１（４２）が設けてある。そして、凹溝部４１（４２）には、内部電極２１（２２）の端部を覆うように電気絶縁性を有する絶縁充填材５が充填されている。絶縁充填材５は、（線膨張係数×弾性率）の値が、１００Ｐａ／℃以上１５０００Ｐａ／℃以下のものである。 （もっと読む）