【課題】振動子内に共振周波数制御機構を組み込むことが容易で、かつ広い周波数帯域での共振周波数制御が可能な微小機械振動子を提供する。
【解決手段】微小機械振動子は、シリコン基板１上に形成されたシリコン酸化膜２と、シリコン酸化膜２上に形成された電極４，５と、一端が電極４に接続され、電極４およびシリコン酸化膜２で固定されていない一部が開口部６内に突出するように形成される振動子部７と、一端が電極５に接続され、電極５およびシリコン酸化膜２で固定されていない方の先端部が開口部６内に突出した振動子部７の先端部と対向するように形成される制御極部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＢＡＷモードで共振するＭＥＭＳ共振子について、製造後に周波数などを測定しながら、大量かつ安価に周波数調整が可能で、位相雑音やジッタの少ないＭＥＭＳ共振子を提供する。
【解決手段】バルク・アコースティック・ウェーブモードで共振する板状の共振子を備えたＭＥＭＳ共振子において、共振子が、密度とヤング率の比がそれぞれ異なる材料が積層した積層構造となっている。この積層構造の表面の一部を除去することにより、共振周波数の調整を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】パッケージングの前及び／又は後の何れかに関わらず、出力周波数が調整され、整調され、設定され、画定され、及び／又は選択されるマイクロ電気機械共振器を製作する方法の提供。
【解決手段】機械的構造１２の１つ又は複数の要素及び／又は梁１４ａ、１４ｂ（例えば、移動可能又は拡張可能な電極及び／又は周波数調整構造）を（選択又は非選択的方法で）抵抗加熱することによって、共振器の機械的構造１２の材料を変化させ、及び／又は共振器の機械的構造から材料を除去することにより、マイクロ電気機械共振器１０の周波数を調整し、整調し、設定し、画定し、及び／又は選択する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの動作精度を向上させる。
【解決手段】本発明のＭＥＭＳデバイスは、基板１０と、該基板１０上に形成されたＭＥＭＳ構造体２０とを具備し、該ＭＥＭＳ構造体２０は、前記基板１０上に形成された支持部２２Ｓと、該支持部から延設されて前記基板１０上で動作可能に構成された可動部２２Ｍと、を備えた動作部構造２２を有し、該動作部構造２２は、前記可動部２２Ｍに前記動作部構造２２の前記支持部から前記可動部へ向かう方向と直交する断面の断面積が前記可動領域の断面積より小さい断面極小部２２Ｂを有し、該断面極小部は、平面パターン２０Ｕに設けられた境界パターン形状２２ｖにより形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

マイクロ電気機械式共振器は、比較的広い温度範囲にわたって共振器の周波数の温度係数（ＴＣＦ）を低下させるため、約１×１０^１８ｃｍ^−３よりも大きなレベルまで、またさらに約１×１０^１９ｃｍ^−３よりも大きなレベルまでボロンがドープされた半導体領域を有する共振器本体を備えている。ＴＣＦにおけるさらなる改善は、共振器本体にボロンを縮退ドーピングすることと、共振器本体にボロンを利用したアルミニウム・ドーピングを行うこととのいずれかまたは両方によって達成されうる。
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【課題】静電振動子の周波数調整方法の改善
【解決手段】両端固定型の振動境界条件をもったMEMS型静電駆動屈曲振動子の振動部１０２、１０３の両端部と他の構造体が一体形成された静電振動子において、少なくとも前記構造体にはシリコン酸化膜が形成されると共に、前記構造体の熱弾性応力に起因する圧縮応力が振動部１０２、１０３に印加される構造を有するMEMS型静電振動子。 （もっと読む）

【課題】温度が上昇する際における共振器の周波数の著しい低下を克服する共振器及び共振器を形成するための方法を提供する。
【解決手段】共振器は、バルク２１と柱状部２４とを含む共振素子２０を備えたバルクモード共振器である。柱状部２４は、バルクの材料の温度係数の符号と反対の符号の温度係数を有するヤング率の材料から形成されている。また、柱状部２４は、バルク波の振動方向に対して垂直方向に長く、共振素子２０の膨張／圧縮方向に共振素子２０と交差してバルク２１の連続部分を有する様に分散されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動周波数の調整範囲を拡大することを目的としている。
【解決手段】基部１６及び基部１６から基部１６の厚み方向に交差する方向に並んで延びる複数の腕部１８を含む基材１０であって、それぞれの腕部１８は、隣の腕部１８に対向する第１の側面１３及び第１の側面１３とは反対側を向く第２の側面１５を有し、第１及び第２の側面１３，１５の少なくとも一方が露出している露出領域３０を有する基材１０を用意する。露出領域３０をエッチングする。エッチングによって腕部１８の幅を減らして、複数の腕部１８の幅方向に関する曲げ剛性を低くする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出振動片の離調周波数の調整範囲を拡大することを目的としている。
【解決手段】相互に反対を向いて厚みを定義する第１及び第２の表面１２，１４を有し、基部１６及び基部１６から厚み方向に交差する方向に延びる少なくとも１つの腕部１８を含む支持体１０であって、腕部１８の第１の表面１２に、駆動用圧電積層体７０及び検出用圧電積層体８０が形成され、腕部１８に、第２の表面１４が露出している露出領域３０を有する支持体１０を用意する。第２の表面１４の露出領域３０をエッチングする。駆動用圧電積層体７０及び検出用圧電積層体８０のそれぞれは、下部電極膜２２，８２と、下部電極膜２２，８２上に形成された圧電膜２４，８４と、圧電膜２４，８４上に形成された上部電極膜２６，８６と、を含む。エッチングによって厚みを減らして、腕部１８の厚み方向に関する曲げ剛性を低くする。 （もっと読む）

【課題】所望の特性を有する振動子を容易に得ることができる振動子の共振周波数の調整方法および振動子を提供すること。
【解決手段】除去可能な突起４７Ａが設けられた振動可能な可動部４を振動させることにより駆動する振動子（マイクロレゾネータ１）を用意し、突起４７Ａの少なくとも一部を除去することにより、可動部４の共振周波数を調整する。この調整において、突起４７Ａを除去することにより、可動部４の振動に寄与する質量および／またはバネ定数を調整するのが好ましい。 （もっと読む）