【課題】落下などにより水晶振動片の垂直方向に過度の衝撃力が加わることによって生じる、周波数シフトなどの振動特性の劣化を防止した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイスとしての水晶振動子１０は、基部１６と、基部１６から並行するように延出された振動腕１５と、基部１６から延出され、振動腕１５を挟むように振動腕１５のそれぞれの側面に並行して形成された支持腕１７と、複数の振動腕１５のそれぞれの開放端２７近傍の主面に形成された錘層２１と、開放端２７と間隙を有し錘層２１が溶融された周波数調整部２２とを有する圧電振動片としての水晶振動片１４と、収容部１３に水晶振動片１４を収容して、蓋体２４によって気密に封止されるパッケージ１１と、を有し、水晶振動片１４は、支持腕１７の一部が接合部２５によって収容部１３の底面１２および蓋体２４との間に狭隙を持って接続されている。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値を抑え、かつ振動特性を悪化させることなく小型化が可能な圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕３５，３６と前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝３３，３４と、前記長溝に形成した励振用の電極とを備えており、前記各振動腕が、前記基部側において最も剛性が高く、先端側にいくに従い、徐々に剛性が低下する構成。 （もっと読む）

【課題】製造が簡単で、周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、この振動片の製造方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出しＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８に設けられ、振動腕２８を屈曲振動させる圧電体素子２２と、振動腕２８の圧電体素子２２よりも先端側に設けられた質量部５１とを有している。また、圧電体素子２２は、少なくとも、第１の電極層２２２と、第２の電極層２２６と、これらの間に位置する圧電体層２２３とを有している。また、質量部５１は、少なくとも１つの膜部を有し、この膜部は、圧電体素子２２を構成する層のうちのいずれか１つの層と同じ材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下を効果的に防止または抑制することができ、優れた性能を発揮することのできる振動片、振動子および電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２１と、検出用振動腕２２、２３と、連結腕２４、２５と、駆動用振動腕２６、２７、２８、２９とを有している。連結腕２４は、Ｙ軸方向への屈曲振動により圧縮または伸長する第１面２４３と、第１面２４３が圧縮したときに伸長し、第１面２４３が伸長したときに圧縮する第２面２４４と、第１面２４３と第２面２４４との間に設けられた溝４３１、４３２とを有している。連結腕２４の屈曲振動周波数をｆとし、円周率をπとし、連結腕２４に用いた材料の振動方向の熱伝導率をｋとし、連結腕２４に用いた材料の質量密度をρとし、連結腕２４に用いた材料の熱容量をＣｐとし、連結腕２４の振動方向の幅をａとし、ｆｍ＝πｋ／（２ρＣｐａ^２）としたとき、１＜ｆ／ｆｍである。 （もっと読む）

【課題】スプレーコート法において溝部の側面に膜形成材料を塗布でき、溝部の側面に膜をムラなく形成できる圧電振動片の製造方法と、この方法により製造された圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜形成工程（膜形成工程）は、ウエハ６０にフォトレジスト材（膜形成材料）を噴霧する噴霧器７７を備えたフォトレジスト膜形成装置（膜形成装置）を用いて行い、ウエハ６０の法線Ｋに対し長手方向の一方側に傾斜した第１方向から、噴霧器７７によりウエハ６０にフォトレジスト材を塗布する第１塗布工程と、ウエハ６０の法線に対し長手方向の他方側に傾斜した第２方向から、噴霧器７７によりウエハ６０にフォトレジスト材を再度塗布する第２塗布工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】優れた振動特性を発揮することのできる振動片を提供する、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供する。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出し、Ｘ軸方向に複数並んで設けられた振動腕２８、２９、３０とを有し、各振動腕２８、２９、３０は、Ｚ軸方向に屈曲振動する。振動腕２８、２９、３０のうちのＸ軸方向の両端に位置する振動腕２８、２９では、Ｘ軸方向にて隣接する振動腕３０側の第１部位が、第１部位と反対側に位置する第２部位よりも剛性が高い部分を有している。 （もっと読む）

【課題】優れた振動特性を発揮することのできる振動片を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出し、Ｘ軸方向に複数並んで設けられた振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０に設けられ、振動腕２８、２９、３０をＺ軸方向に屈曲振動させる圧電体素子２２、２３２４とを有している。また、各振動腕２８、２９、３０は、屈曲振動により圧縮または伸長する第１の面２８１、２９１、３０１と、第１の面２８１、２９１、３０１が圧縮したときに伸長し、伸長したときに圧縮する第２の面２８２、２９２、３０２とを有している。また、振動腕２８、２９は、第１の面２８１、２９１側に圧電体素子２２、２３が設けられており、振動腕３０は、第２の面３０２側に圧電体素子２４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】低いＣＩ値で且つ配線抵抗の小さい音叉型水晶振動片を提供する。
【解決手段】音叉型水晶振動片３０Ａは、励振電極３３，３４を有し所定方向に伸びた一対の振動腕２１と、一対の振動腕が連結された基部２３と、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に伸びる一対の支持腕２５と、導電性接着剤と接する一対の支持腕の先端領域から励振電極まで引き出された引出電極３１，３２と、を備える。さらに励振電極は、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｗのうち少なくとも１つの第１の金属膜と第１の金属膜上に形成されたＡｕ又はＡｇのうち少なくとも１つの第２の金属膜との２層からなり、引出電極は、第２の金属膜上に形成されたＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｗのうち少なくとも１つの第３の金属膜と第３の金属膜上に形成されたＡｕ又はＡｇのうち少なくとも１つの第４の金属膜との４層からなる。 （もっと読む）

【課題】 低融点金属ろう材の励振電極への流れ出しを抑制するとともにより信頼性の高い電極構造が得られる音叉型圧電振動子を提供する。
【解決手段】 リード端子を有するベース２と、励振電極と電極パッドが形成されるとともに、２つの主面と２つの側面とを有する基部と脚部とから構成された圧電振動片１とを有し、前記リード端子の先端部分に圧電振動片の電極パッドを低融点金属ろう材により電気機械的に接合してなる音叉型圧電振動子であって、前記電極パッドは基部主面のうち基部他端部あたりに形成された第1電極パッド１７，１８と、基部側面のうち基部他端部あたりに形成された第２電極パッド１５ｅ，１６ｅとを有しており、前記第２電極パッドは前記励振電極と第１電極パッドより低融点金属ろう材の濡れ性の低い電極膜で形成するとともに、前記第１電極パッドを前記低融点金属ろう材で接合した。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動素子ウエハにおいて、音叉型屈曲水晶振動素子の取り個数が増え、生産性向上が出来る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０は、基部１１１と、基部から同一方向に延設した２本の振動腕部１１２ａ、１１２ｂと、一方の振動腕部が設けられる側に寄って、基部より振動腕部と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部よりも振動腕部から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、を備えた複数の音叉型屈曲水晶振動素子と、複数の音叉型屈曲水晶振動素子を囲む様に設けられているフレーム部２０と、音叉型屈曲水晶振動素子の基部とフレーム部が連結されている連結部３０と、で構成され、隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子の第一の支持腕部１１３ａと第二の支持腕部１１３ｂとが、振動腕部の長さ方向に所定の間隔を空けてフレーム部２０に備えられている。 （もっと読む）