【課題】広い離調度調整範囲を確保すると共に、水晶振動子ごとの特性に合わせた離調度調整や漏れ調整を水晶ウェハー上で一括して行う水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形形成工程ＳＴ１と、水晶振動子に電極を形成する電極形成工程ＳＴ２と、電極を形成した水晶振動子の離調度を測定する離調度測定工程ＳＴ３と、離調度測定工程の測定結果に基づいて、基部と検出脚の接続部分の近傍に形成された電極を所定形状に加工する電極加工工程ＳＴ５と、電極加工工程で加工された電極をマスクにして水晶振動子をエッチングにより削るエッチング工程ＳＴ６を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】低周波数化および小型化を図ることができる振動片を用いた振動デバイス、およびその振動デバイスを用いた電子機器を提供すること。
【解決手段】振動デバイスとしての圧電発振器５に用いられている振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出する振動腕２８と、基部２７から振動腕２８とは反対側にＹ軸方向に延出する振動腕２９とを有し、振動腕２８および振動腕２９は、一方の振動腕の基端部と他方の振動腕の途中部とがＹ軸方向に直交するＸ軸方向に並んで設けられている。また、振動腕２８の先端部には、振動腕２８の基端部よりもＸ軸方向での幅の大きい質量部２８１が設けられ、振動腕２９の先端部には、振動腕２９の基端部よりもＸ軸方向での幅の大きい質量部２９１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕を備えた振動片のＱ値の向上、及びＱ値が向上した振動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、を備え、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、平面視において、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に腕幅を有し、Ｙ軸方向とＸ軸方向とで特定される平面に沿った主面１０ａ，１０ｂの少なくとも一方に、主面１０ａと直交するＺ軸方向に振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃを振動させる励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられ、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃのＹ軸方向の腕長さをＬ、Ｘ軸方向の腕幅をＷ、励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃのＹ軸方向の電極長さをＬ１、Ｘ軸方向の電極幅をＷ１としたとき、０．３≦Ｗ１／Ｗ＜１．０、且つ、０．１≦Ｌ１／Ｌ≦０．５であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕から基部への振動漏れを抑制する振動片、及びこの振
動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる振動腕１１ａ
，１１ｂ，１１ｃと、を備え、基部１０は、連結部１０ａと支持部１０ｂとを含み、Ｙ軸
方向と、平面視においてＹ軸方向に直交するＸ軸方向と、で規定される平面に沿った連結
部１０ａの主面１０ｃ，１０ｄに、溝部１２ａ，１２ｂを有し、振動腕１１ａ，１１ｂ，
１１ｃが、励振電極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃによって、主面１
０ｃ，１０ｄに直交するＺ軸方向に屈曲振動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 音叉型水晶振動片を吸着ノズルにより真空吸着する際に、水晶振動子上に形成した配線と吸着ノズルの接触により断線が生じてしまう。
【解決手段】 水晶振動子の吸着ノズルが接触する部位において、水晶振動子状上に溝を形成し、尚且つこの溝内に配線を施すことにより、吸着ノズルと配線が接触を回避でき、配線の断線を防止することが出来る。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単かつ安価に、所望の振動特性を得ることができる振動体を用いた振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、該基部から延出する３つの振動腕２８、２９、３０と、該振動腕上に設けられた圧電体素子２２、２３、２４とを有し、該圧電体素子は、該振動腕上に設けられた第１の電極層２２１、２３１、２４１と、該第１の電極層上に設けられた圧電体層２２２、２３２、２４２と、該圧電体層上に設けられた第２の電極層２２３、２３３、２４３とを備え、これらの層のうちの少なくとも１つの層には、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、これにより、該圧電体素子の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】振動腕部の振動が基部側に振動漏れすることを防ぎ、振動腕部の振動を安定させた圧電振動片を得る。
【解決手段】振動腕部３の腕幅Ｗより大きく、２本の振動腕部３の間隔Ｐより小さい腕幅Ｗ１を有した腕付根部４とを備えて、腕付根部４が振動腕部３の腕幅Ｗより広い部分を一定長さ有することで、振動腕部３に剛性を持たせるので、振動腕部３の振動が基部２側に漏れることを防ぎ、振動腕部３の振動、および水晶振動片１の振動周波数を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】振動アームがふたに当たるのを回避できるパッケージされたピエゾ電子共振器を提供すること。
【解決手段】ふた及びケースと、前記ケース内に収納される共振器１１０とを有するパッケージされた前記共振器は、連結部分１１６により互いに結合した２本の平行な振動アーム１１２及び１１４を有する平面状同調フォーク形状部品と、前記連結部分から、前記平面状同調フォーク形状部品の面に沿って伸びる中央取り付けアーム１１８とを有する。前記中央取り付けアームは、ケースの底部に３本のスタッド１７８、１８０、１８２を介して固定され、前記中央取り付けアームの少なくともメイン部分は、前記振動アームと並んで平行に配置される。前記ふたの内側表面は、前記振動アームの先端部分上方で伸びる第１の厚さの第１部分と、前記中央取り付けアームの一部上方で伸びる第１の厚さよりも厚い第２の厚さの第２部分が形成されるように階段状になっている。 （もっと読む）

【課題】振動片を備え、小型で、低周波数化および高Ｑ値化が図られた、電子機器を提供する。
【解決手段】電子機器に備えられる振動片２０は、一対の切り込み３１が形成された基部２１と、基部２１の第１の部分の一端側から互いに平行に延出された一対の振動腕２２と、を有している。各振動腕２２は、主要な振動部である一般部２３と、振動腕２２の基部２１との付け根とは反対側の先端側に、一般部２３よりも幅が広い錘部２９と、を有している。また、各振動腕２２の両主面のうち少なくとも一方の主面に沿って開口部を有する有底の長溝と、前記振動腕の前記基部との付け根とは反対側の先端側に、前記基部との前記付け根側よりも幅が広い錘部２９が形成されている。錘部２９は、振動腕２２の長手方向において、基部２１との付け根から先端側までの長さに占める錘部２９の長さ割合が３５％〜４１％の範囲となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】熱弾性効果に起因するＱ値の低下の防止と同時にＣＩ値を下げることを図る。
【解決手段】本発明の電子機器に用いる振動片１００は、基部１０と、基部１０より延伸して形成され、屈曲振動する振動部としての一対の振動腕２０、２１とを備えている。振動腕２０、２１には、主面１００ａ側に溝２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂが形成され、他方の主面１００ｂ側に溝２０ｃ、２１ｃが形成されている。振動腕２０の外側面２０ｄと溝２０ａとによって外壁２０ｆが形成される。同様に、外側面２０ｅと溝２０ｂによって外壁２０ｇが形成される。また溝２０ａ、２０ｂ、２０ｃによって、内壁２０ｈ、２０ｉが形成される。振動腕２１も振動腕２０と同様に外壁２１ｆ、２１ｇと内壁２１ｈ、２１ｉが形成される。 （もっと読む）