【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供
すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機
器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方
向に直交するＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８上に設けられ、エネルギ
ー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８
の共振周波数を調整する第１の質量部５１および第２の質量部５４とを有し、第１の質量
部５１は、振動腕２８の第１の面２８１上に設けられ、第２の質量部５４は、振動腕２８
の第２の面２８２上に設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向
から見たときに、互いに重ならない部分を有する。 （もっと読む）

【課題】熱弾性効果に起因するＱ値の低下の防止と同時にＣＩ値を下げることを図る。
【解決手段】基部と、前記基部より延伸して形成され、屈曲振動する屈曲振動部を備える振動腕とを備える振動片であって、前記屈曲振動部は、前記振動腕の前記屈曲振動の振動面にほぼ平行な１対の主面を備え、前記主面の両面もしくはどちらか一方の面に前記振動面と交差する方向に形成された溝部を３以上備え、前記振動腕の前記振動面と交差する外平面と、前記外平面に最も近い前記溝部によって形成される１対の外壁と、隣り合う前記溝部により形成される複数の内壁とが形成され、前記複数の内壁の一部もしくは全部を電気的に屈曲振動させる振動片。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高い屈曲振動片を提供する。
【解決手段】屈曲振動片１００は、基部１１０と、基部１１０から突設される腕部１１１，１１２，１１３と、を有し、積層構造体２ａ，２ｂ，２ｃが、腕部１１１，１１２，１１３それぞれの主面１１５に密着するよう積層されている。積層構造体２ａ，２ｂ，２ｃそれぞれは、圧電体層１０と、圧電体層の表面に設けられる上部電極４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、裏面に設けられる下部電極５０ａ，５０ｂ，５０ｃと、を有し、上部電極４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、下部電極５０ａ，５０ｂ，５０ｃとが、平面視して互いに重ならないように配置されている。このことにより、圧電体層１０にピンホールが発生した場合においても、上部電極４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、下部電極５０ａ，５０ｂ，５０ｃとのショートを防止できる。 （もっと読む）

【課題】小型な振動片であっても静電容量を大きくし、負荷容量の変化に対して発振周波数感度の低い圧電振動片、圧電振動子、および圧電発振器を提供する。
【解決手段】基部と、前記基部より延伸して形成され屈曲振動する振動腕とを備え、圧電材料からなる振動片であって、前記振動腕の表裏面に形成された非駆動電極と、前記振動腕の先端方向に前記非駆動電極から離間して前記振動腕の前記表裏面と側面とに形成された駆動電極と、を備える圧電振動片。 （もっと読む）

【課題】 周波数を上昇させたり下降させたりすることができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 第１観点の圧電デバイス（１００）は、音叉型の圧電振動片（５０）をパッケージ（ＰＫＧ）内に収納する圧電デバイスである。音叉型の圧電振動片（５０）は、圧電材料により形成された基部（２３）と基部から所定方向に平行に伸びる一対の振動腕（２１）と振動腕の先端側に形成される周波数調整部（２６）とを備える。パッケージ（ＰＫＧ）は、レーザ光（Ｌ）が照射されるパッケージの内側の面（ＢＴ）に絶縁物質部（５６）を有する。周波数調整部（２６）は、所定方向に伸びる金属膜（２８ａ）とレーザ光が透過するように所定方向に伸び金属膜が形成されていない電極非形成部（２９ａ）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 周波数を上昇させたり下降させたりすることができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 第１観点の圧電デバイス（１００）は、音叉型の圧電振動片（５０）をパッケージ（ＰＫＧ）内に収納する圧電デバイスである。音叉型の圧電振動片（５０）は、圧電材料により形成された基部（２３）と基部から所定方向に平行に伸びる一対の振動腕（２１）と振動腕の先端側に形成される周波数調整部（２６）とを備える。パッケージ（ＰＫＧ）は、レーザ光（Ｌ）が照射されるパッケージの内側の面（ＢＴ）に第１金属膜（５６）を有する。周波数調整部（２６）は、所定方向に伸びる第２金属膜（２８ａ）とレーザ光が透過するように所定方向に伸び第２金属膜が形成されていない電極非形成部（２９ａ）とを有する。 （もっと読む）

【課題】基部から一対の振動腕が伸びた音叉型の圧電振動片を複数一体的に連結した圧電ウエハに対して音叉型の圧電振動片の周波数を目標周波数へ調整する周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 周波数調整方法は、振動腕の先端に形成された周波数調整部の少なくとも一部に第１金属（２４）を形成する工程（Ｓ１１）と、圧電ウエハ（２００）に連結された音叉型の圧電振動片の周波数を測定する工程（Ｓ１２）と、測定された音叉型の圧電振動片の周波数が目標周波数よりも低い場合には周波数調整部に形成された第１金属（２４）を削り取り、測定された音叉型の圧電振動片の周波数が目標周波数よりも高い場合には音叉型の圧電振動片から離れて配置された第２金属（３０２）を昇華させて周波数調整部に付着させる周波数調整工程（Ｓ１３−Ｓ１５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】Ｚ板からなる水晶基板にＺ軸方向へウェットエッチングを施す場合、その異方性により、水晶基板の結晶面で、ウェットエッチングの進行具合が極端に遅くなるが、さらにウェットエッチングをしても溝部に貫通しせずに、所望の形状である溝部を得ること。
【解決手段】Ｚ板からなる水晶基板にウェットエッチングを施して、溝部を形成する際に、Ｚ板からなる水晶基板の結晶面でエッチングの進行具合が極端に遅くなった後、引き続きウェットエッチングを施しても、基板において、ウェットエッチングの進行具合が遅くなる、または止まるので、溝部を貫通させることなく振動腕部に形成させることができる圧電振動片の製造方法を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃特性を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から延びる一対の振動腕１１と、を備え、振動腕１１が、基部１０側に位置する腕部１３と、腕部１３より先端側に位置し腕部１３より幅が広い錘部１４と、互いに対向する両方の主面１５，１６に振動腕１１の長手方向に沿って形成された溝部１７と、を有し、平面視において、錘部１４と腕部１３との結合部１８が、腕部１３の幅が錘部１４に近づくに連れて広がるように曲線で形成されていると共に、平面視において、溝部１７における錘部１４側の端部１７ａの、長手方向に延びる長辺１７ｂと、長辺１７ｂに対して交差する方向に延びる短辺１７ｃとの接続部１７ｄが、曲線で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃特性を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から延びる一対の振動腕１１と、基部１０を、振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向に切り欠いた切り欠き部１２と、を備え、平面視において、基部１０と振動腕１１との結合部１７が、振動腕１１の腕部１４の幅が基部１０に近づくに連れて広がるように曲線で形成されていると共に、切り欠き部１２の先端部１２ａが、曲線で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）