【課題】電気機械結合係数を低下させることなくＱ値を向上させることが可能な共振装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された下部電極３１と、下部電極３１における支持基板１側とは反対側に形成された圧電層３２と、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に形成された上部電極３３とを備える。圧電層３２のうち下部電極３１と上部電極３３との両方に接している共振領域３２ａの周囲に当該共振領域３２ａに比べて硬度の低い低硬度領域３２ｂを形成してある。圧電層３２は、ＰＺＴにより形成されており、低硬度領域３２ｂは、ポーラス化された領域により構成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させることが可能な共振装置を提供する。
【解決手段】共振装置は、支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された下部電極３１と、下部電極３１における支持基板１側とは反対側に形成された圧電層３２と、圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に形成された上部電極３３とを備える。圧電層３２における下部電極３１側とは反対側に当該圧電層３２のうち上部電極３３に接する共振領域３２ａの面積を規定する開孔部４ａを有する絶縁膜４が形成され、上部電極３３が圧電層３２の共振領域３２ａ上と絶縁膜４上とに跨って形成され、上部電極３３のうち絶縁膜４上に形成されて共振領域３２ａの周囲領域に重なる周囲電極部分３３ｂに他の部位に比べてばね定数の小さな撓み領域３３ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】スプリアスの抑制された信頼性の高い共振器応答が得られ、且つ、比較的製作の容易な薄膜バルク波共振器及びこれを用いた電子部品を提供する。
【解決手段】薄膜バルク波共振器１１は、基板２０の上に形成された下部電極２１、圧電薄膜２２、上部電極２３の積層体２５と、基板２０の上面と下部電極２１との間に形成された空隙部２４と、を備え、上部電極２３の表面には、多数の調整孔２３ｃが設けられており、これらの調整孔２３ｃは、いずれの調整孔２３ｃについてもその調整孔２３ｃ（基準孔３１）と当該調整孔に最も近い調整孔２３ｃ（隣接孔３２）とを結ぶ直線及びその延長線（通過線３３）上において規則的な調整孔２３ｃの配列パターンが存在しないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】比較的少数の層によって良好な反射特性を提供し、同じ基板の上に形成されて同じ音響ミラーを使用する他の共振器への容量結合を発生しないような音響ミラー形共振器を提供する。
【解決手段】（ａ）音響ミラーとして働く誘電体材料および金属材料を選択する工程と、（ｂ）金属層がエッチング・プロセスによって離散的部分へパターン化され、前記エッチング・プロセスは、異なった共振器部分が置かれるべき場所のあいだの金属層を充分に取り除いて、異なった共振器部分の下にある層部分のあいだに電気絶縁が提供されるようにする作製手順を介して少なくとも１つの金属層を提供する工程とを備え、共振器のあいだの容量結合が減少されたマルチ共振器ＢＡＷフィルタを提供する方法。 （もっと読む）

【課題】工業的に十分高い使用温度を有するとともに、従来の無鉛圧電磁器に対して圧倒的に原料コストが低いチタン酸バリウムを主体とした圧電磁器を提供する。
【解決手段】Ｎａ、Ｌｉ、Ｂａ、Ｂｉ、Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器であって、モル比による組成式をｘＢａＴｉＯ_３＋ｙ（Ｂｉ_０．５，Ｌｉ_０．５）ＴｉＯ_３＋ｚ（Ｂｉ_０．５，Ｎａ_０．５）ＴｉＯ_３とした時（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）、（ｘ＝０．９２，ｙ＝０．０１，ｚ＝０．０７）組成、（ｘ＝０．９９，ｙ＝０．０１，ｚ＝０．００）組成、及び（ｘ＝０．９２，ｙ＝０．０８，ｚ＝０．００）組成で囲まれる範囲とする圧電磁器、その製造方法、圧電素子及び圧電製品。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の反共振周波数でのＱ値を改善し、低損失で高性能なフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板１０と、基板１０上に設けられた下部電極１２と、下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、圧電膜１４を挟み下部電極１２と対向する部分を有するように圧電膜１４上に設けられた上部電極１６と、を有する複数の圧電薄膜共振器を具備し、複数の圧電薄膜共振器はラダー型に設けられ、複数の圧電薄膜共振器のうち並列腕に設けられた並列共振器Ｐは、圧電膜１４を挟み下部電極１２と上部電極１６とが対向する部分（共振部２０）が、軸の長さ比の異なる２つの楕円が１つの軸を共有することにより連結した形状をしているフィルタである。 （もっと読む）

【課題】圧電体共振部の振動エネルギーが、空洞部の端部で圧電体を支持する部分から基
板側に散逸するのを抑制し、薄膜圧電共振器の品質係数であるＱ値を向上させる。
【解決手段】本発明の薄膜圧電共振器は、圧電体膜６が下部電極５と上部電極７により挟
まれた圧電体共振部１１と、前記圧電体共振部１１と空間を介して前記下部電極５側に対
向配置する基板１と、前記基板１及び前記圧電体膜６よりも音響インピーダンスが高い材
料からなる高音響インピーダンス層を少なくとも含み、前記高音響インピーダンス層を介
して、前記圧電体共振部１１の端部もしくはその近傍と基板とを接続する環状構造の支持
体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】広い通過帯域と通過帯域に近接した高減衰の減衰帯域をもつ高周波フィルタにおいて、広い通過帯域の低域端および高域端で通過特性が劣化することを抑えた高周波フィルタを提供する。
【解決手段】共振と反共振を有する共振器を用いたノッチフィルタ部とその入出力部に整合回路部を有した高周波フィルタにおいて、スイッチ等による切り替えによって入力整合回路部および出力整合回路部のリアクタンス素子値を変化させ、広い通過帯域における低域側と高域側に適した高周波フィルタを適用する。 （もっと読む）

【課題】共振特性を改善することが可能な圧電薄膜共振器およびそれを用いたフィルタを提供すること。
【手段】本発明は、基板１０上に設けられた下部電極１２と、基板１０上および下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、圧電膜１４を挟み下部電極１２と対向する部分を有するように圧電膜１４上に設けられた上部電極１６と、下部電極１２と上部電極１６とが対向する部分の下部電極１２の少なくとも一部の外周の基板１０上に、下部電極１２に沿って設けられた付加膜２２と、を具備する圧電薄膜共振器およびそれを用いたフィルタである。 （もっと読む）

【課題】送受信帯域外の減衰特性と送受信端子間のアイソレーション特性を低下させることなく、従来よりも小型化、低背化が可能なアンテナ分波器を提供する。
【解決手段】アンテナ端子と送信端子との間に配置される送信フィルタと前記アンテナ端子と受信端子との間に配置される受信フィルタとをパッケージに実装してなるアンテナ分波器において、パッケージ内の受信フィルタ用のグランドパターン１５２は、他のグランドパターン１５６，１５７とは分離されている。 （もっと読む）