イオン源装置、イオン化プローブの製造方法及びイオン源装置の駆動方法
【課題】従来手法は、溶液の溶出工程とイオン化工程とが別に用意されている。このため、溶出された溶液を一時的に貯めるための容器が必要となる。
【解決手段】試料成分に含まれる分析対象成分と共に吸着された夾雑物成分を充填剤から溶出して廃棄した後の抽出部を送液部に連結してイオン化プローブを組み立てる。この後、当該イオン化プローブにおける充填剤から分析対象成分の溶液を溶出させながら同時にイオン化する。
【解決手段】試料成分に含まれる分析対象成分と共に吸着された夾雑物成分を充填剤から溶出して廃棄した後の抽出部を送液部に連結してイオン化プローブを組み立てる。この後、当該イオン化プローブにおける充填剤から分析対象成分の溶液を溶出させながら同時にイオン化する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析対象成分を含んだ溶液を抽出してイオン化するイオン源装置に関する。また、本発明は、イオン源装置に使用して好適なイオン化プローブの製造方法及びイオン源装置の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薬物の副作用を抑え、個々の患者に最適な治療計画を立案する手法に治療薬物モニタリング（TDM）等がある。治療薬物モニタリングを血液自動分析装置による質量分析技術に応用する場合、スループットが高く、ロバスト性が高く、コストが低い手法が重要となる。一般的な液体クロマトグラフ／質量分析計（LC／MS）を利用する場合、切り替えバルブに試料溶液が直接導入される。このため、切り替えバルブの洗浄に多量の溶媒を必要とし、洗浄時間も必要とする。また、切り替えバルブや分離カラム等の詰まりの原因となる部品も多い。これに対し、固相抽出法では、分析対象成分を含んだ溶液のみを抽出し、抽出された溶液をイオン源装置に直接導入することによってイオン化と質量分析とを同時に実行することができる。このように、固相抽出法を用いると、イオン源までの流路内から切り替えバルブや分離カラムを排除することができる。
【０００３】
特許文献１に記載された装置構成は、LC/MSのような流路を必要とせず、試料溶液をイオン源装置に対して直接導入することができる。なお、この装置は、溶液搬送用のピペットチップに溶液を吸引した状態で、数μｍの穴が多数開いたシリコン基板にピペットチップ先端を結合し、溶液をシリコン基板の穴から噴出することでイオン化を実現する。特許文献２に記載された装置も、LC/MSのような流路を必要とせず、試料溶液をイオン源に対して直接導入することができる。この装置は、溶液搬送用のシリンジの針の部分を、エレクトロスプレーイオン化法（ESI）のキャピラリー電極として使用する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６２４５２２７号明細書
【特許文献２】米国特許第７３６４９１３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された装置は、ピペットチップとシリコン基板を使い捨てにする。このため、洗浄の必要が無く高スループットであり、次の分析への汚染も少なく、ロバスト性も高い。しかし、この装置は、微細加工を要する比較的高価な部品であるシリコン基板を使用する必要がある。また、この装置は、イオン化工程とは別に固相抽出を行うので、固相抽出カラムや抽出液を受ける容器も使い捨てにする必要がある。このため、消耗品のコストが高い問題がある。
【０００６】
一方、特許文献２に記載された装置の場合、シリンジの針により試料溶液を直接イオン化できるので送液部分に使い捨て部品が無い。しかし、この装置の場合、シリンジ及び針部分を交換しないので、溶媒等による洗浄が必要となる。このため、スループット向上が困難であり、汚染を完全に排除することも難しい。また、この特許文献２の方式の場合も、特許文献１の方式と同様に、固相抽出の際に使用した固相抽出カラムや抽出液を受ける容器を使い捨てにする必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明は、不要成分の洗浄廃棄に使用した抽出部と送液部を連結してイオン化プローブを形成することにより、イオン化プローブによる溶液の溶出と溶出された溶液のイオン化とを同時に実現する手法を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、試料溶液中の分析対象成分の溶出とそのイオン化とを同時に行うことができ、スループットを向上させることができる。また、抽出部と送液部を使い捨てにできるため、汚染を抑制でき、ロバスト性を向上させることができる。さらに、溶出液を送液部に移し替えるために一時的に保存する容器が不要になるため、消耗品コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１におけるイオン源装置の構造と処理動作を説明する図。
【図２】本発明の実施の形態１に係るイオン化プローブの構造例を説明する図。
【図３】本発明の実施の形態２におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図４】本発明の実施の形態３におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図５】本発明の実施の形態３における溶液流量の測定結果を示す図表。
【図６】本発明の実施の形態４に係るイオン化プローブを構成する送液部を説明する図。
【図７】本発明の実施の形態４におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図８】本発明の実施の形態５におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図９】本発明の実施の形態７に係る送液部の構造を説明する図。
【図１０】本発明の実施の形態８に係る送液部の構造を説明する図。
【図１１】本発明の実施の形態９に係る送液部の構造を説明する図。
【図１２】本発明の実施の形態１０におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１３】本発明の実施の形態１１におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１４】本発明の実施の形態１２におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１５】本発明の実施の形態１３におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１６】本発明の実施の形態１４におけるイオン源装置の処理プロセスを説明する図。
【図１７】本発明の実施の形態１５におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１８】本発明の実施の形態１６におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１９】本発明の実施の形態１７におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。なお、後述する装置構成や処理動作の内容は一例であり、実施の形態と既知の技術との組み合わせや置換により他の実施の形態を実現することもできる。
【００１１】
（Ａ）実施の形態１
（概略構成）
この実施の形態では、試料溶液に含まれる成分の吸着及び溶出に使用する抽出部と送液部とを連結することにより形成されるイオン化プローブについて説明する。また、完成されたイオン化プローブを質量分析装置等のイオン取込み部の周辺に移動させ、分析対象成分の溶出とイオン化とを同時に実行するイオン源装置について説明する。
【００１２】
図１に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１では、破線で囲んだ部分が処理プロセスＳ１〜Ｓ８を示し、処理プロセス間の矢印は処理プロセスの進行方向を示す。
【００１３】
イオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、減圧容器４、搬送ロボット２７、排気パイプ３３、減圧ポンプ３４を主要部とする。一方、処理プロセスは、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８で構成される。
【００１４】
（洗浄工程Ｓ１）
この洗浄工程Ｓ１は、抽出部２を使用する前に洗浄溶液１６で洗浄する工程である。洗浄溶液１６には、例えばメタノール等の有機溶媒を使用する。因みに、抽出部２は、円筒部５とテーパー部２３で構成される。このうち、円筒部５の内側にはフリット１５が充填剤１４の両側から挟み込むように配置されている。円筒部５とテーパー部２３は、例えばガラス、ポリプロピレン、ポリエチレン等で構成される。
【００１５】
なお、円筒部５の上端部には相対的に大口径の開口が形成されており、円筒部５の下端側はテーパー部２３で塞がれている。なお、テーパー部２３はリング状に形成された平板の開口部分に漏斗を結合したような形状を有している。因みに、テーパー部２３の上面側には、円筒部５の内径よりも小さい口径の開口が形成され、下面側には前述した２つの開口よりも更に小さい口径を有する開口が形成されている。
【００１６】
円筒部５の上端側の開口が液体の流入口となり、テーパー部２３の下端側の開口が液体の出力口として用いられる。さらに、このテーパー部２３は、後述するように、送液部３側に設けられたテーパー部２４との連結に使用される。
【００１７】
充填剤１４には、ポリスチレン、カーボン等が用いられる。なお、充填剤１４の粒径は数十μｍ程度であるのが一般的である。フリット１５には、ガラス繊維、ポリプロピレン、ポリエチレン等が用いられる。なお、フリット１５のボア径はおおよそ20μｍ以下が一般的である。
【００１８】
（平衡化工程Ｓ２）
この平衡化工程Ｓ２は、充填剤１４に試料成分１７が吸着し易くするために平衡化溶液１８を注入する工程である。平衡化溶液１８には、例えば水が用いられる。
【００１９】
（吸着工程Ｓ３）
吸着工程Ｓ３は、分析対象成分１９を含む試料溶液２０を抽出部２に注入し、試料成分１７を充填剤１４に吸着させる工程である。因みに、試料溶液２０には、水等で溶解して濃度を調整したものを使用する場合もある。
【００２０】
（洗浄工程Ｓ４）
洗浄工程Ｓ４は、充填剤１４に分析対象成分１９だけが吸着したまま残るように、その他の夾雑物成分２１を洗浄溶液２２と共に廃棄する工程である。洗浄溶液２２には、例えばメタノール、アセトニトリルその他の有機溶媒、水、これらの混合溶液等を使用する。
【００２１】
（Ｓ１〜Ｓ４のまとめ）
以上説明した洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４の各工程で使用する溶液の種類は、充填剤１４の材質等に応じて変更する必要がある。また、抽出部２に注入した各溶液は、充填剤１４が緻密に充填されているために非常に流れ難い。しかし、抽出部２の上流部を加圧したり、下流部を減圧したりすることにより、充填剤１４の上流側と下流側との間に圧力差を生じさせる手法を採用すれば溶液をスムーズに通すことができる。また、遠心分離法等により強制的に溶液を通す方式もある。
【００２２】
（連結工程Ｓ５）
連結工程Ｓ５は、洗浄工程Ｓ４で夾雑物成分２１を廃棄した後の抽出部２と、送液部３とを連結してイオン化プローブ１を組み立てる工程である。送液部３は漏斗形状を有している。因みに、送液部３は、テーパー部２４とキャピラリー３５で構成される。なお、キャピラリー３５の先端外径は0.1〜0.5ｍｍに設定する。この実施の形態の場合、先端外径は0.3ｍｍとする。ただし、この先端外径の寸法は、キャピラリー３５の想定流量が500ｎＬ／分〜20μＬ／分である場合を想定して定めた値である。
【００２３】
ここで、テーパー部２４の開口や内壁面の傾斜は、抽出部２のテーパー部２３を押し込むように装着した場合に、テーパー部２３の外壁面との間で気密状態が生じるように形成されている。図２に、抽出部２と送液部３の詳細な連結方法を示す。
【００２４】
前述したように、２つの部材の連結は、抽出部２のテーパー部２３と、送液部３のテーパー部２４との間で行う。連結の際、テーパー部２３の先端部分（円周部分）は、テーパー部２４の内壁面に沿って押し込まれ、その隙間が無くなる位置で連結が完了する。ここでの隙間が無くなる位置が気密箇所２５である。なお、図２に示すように、２つの部材の連結には、連結ロボット２６を使用する。連結ロボット２６は、２つの部材を互いに押し込むように動作する。このように、実施の形態に係る形状を有する抽出部２と送液部３を用いれば、簡単な動作により２つの部材の間で気密性を確保することができる。この実施の形態の場合には、抽出部２と送液部３の両方がテーパー形状を有している場合について説明しているが、いずれか一方についてはテーパー形状を有しない場合にも気密状態を形成することができる。
【００２５】
（移動工程Ｓ６）
移動工程Ｓ６は、抽出部２と送液部３を連結したイオン化プローブ１をイオン源装置内の所定位置に移動する工程である。イオン化プローブ１の移動には、搬送ロボット２７が用いられる。搬送ロボット２７のアーム２８には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持したイオン化プローブ１を移動前位置（図中、イオン化プローブ１を点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブ１を実線で示す位置）へと移動する。なお、移動後位置に移動したイオン化プローブ１のキャピラリー３５の先端は、イオン検出部３８（例えば質量分析装置）におけるイオン取込み部３１の周辺に位置決めされる。
【００２６】
このとき、減圧容器４とイオン化プローブ１とは、気密状態が得られるような構造とする。減圧容器４とイオン化プローブが機密状態に連結されることで、イオン源が完成する。なお、搬送ロボット２７と連結ロボット２６とは同じものでも良い。
【００２７】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７は、溶出液３２を抽出部３に注入することにより、分析対象成分１９を充填剤１４から溶出し、同時に溶出された分析対象成分１９をイオン化する工程である。
【００２８】
溶出液３２には、例えばメタノール、アセトニトリルその他の有機溶媒、水、又はこれらの混合溶液等が用いられる。この溶出・イオン化工程Ｓ７の場合にも、前述したように、充填剤１４の上流側と下流側との間に圧力差を生じさせることにより、溶液をスムーズに流すことができる。この実施の形態の場合、減圧容器４の内部を減圧することで溶出を促進する。
【００２９】
ここで、排気パイプ３３の一端は減圧容器４に接続され、他端側は減圧ポンプ３４に接続される。従って、減圧ポンプ３４により減圧容器４内の空気を排出することにより、減圧容器４の内圧を外圧よりも小さくすることができる。すなわち、いわゆる負圧状態を作り出すことができる。
【００３０】
減圧容器４が減圧されることで、溶出液３２は充填剤１４から分析対象成分１９を溶出し、送液部３を構成するキャピラリー３５の下端から流れ出る。このとき、キャピラリー３５に電圧３６を印加すると、分析対象成分１９はイオン化する（エレクトロスプレーイオン化法：以下「ESI法」という。）。このように、この実施の形態におけるイオン源装置は、分析対象成分１９の溶出とイオン化とを同時に実行することができる。すなわち、スループットの高いイオン源装置を実現することができる。
【００３１】
なお、溶出に使用する溶液の種類は、充填剤１４の材質等に応じて変えることが必要である。また、減圧容器４の内部圧力は充填剤１４の種類による。しかし、大気圧に対して最大でも−100ｋＰａ程度に減圧することにより、溶液をスムーズに通すことができる。
【００３２】
因みに、イオン化により生成されたイオン３７は、質量分析装置等のイオン検出部３８において検出される。
【００３３】
（廃棄工程Ｓ８）
溶出・イオン化工程Ｓ７を終えたイオン化プローブ１は、洗浄等を行うことで再度利用することも可能である。しかし、治療薬物モニタリング（TDM）等のように微量な汚染等でも問題となる場合には好ましくない。
【００３４】
そこで、本実施の形態の場合には、搬送ロボット３９を使用してイオン化プローブ１を減圧容器４から排出する。搬送ロボット３９のアーム４０には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持したイオン化プローブを移動前位置（図中、イオン化プローブを点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブを実線で示す位置）に移動する。すなわち、イオン化プローブ１を質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺から移動する。この後、減圧容器４から排出された使用済みのイオン化プローブは廃棄される。すなわち、イオン化プローブ１を使い捨てにする。
【００３５】
この結果、次回分析時における汚染等の影響を最小限に抑えることができる。なお、搬送ロボット３９と搬送ロボット２７は同じものでも良い。
【００３６】
（実施の形態の効果）
本実施の形態のように、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、分析対象成分２１の溶出時に夾雑物成分２１が溶出してキャピラリー３５を目詰まりさせる問題を抑制することができる。しかも、本実施の形態の場合には、従来手法のように、分析対象成分２１の溶出液を送液部３に移し替えるための容器が不要になり、その分、低コスト化を実現することができる。
【００３７】
（Ｂ）実施の形態２
（概略構成）
この実施の形態の場合にも、不要成分を廃棄した後の抽出部２と送液部３を連結してイオン化プローブ１を完成し、このイオン化プローブ１を質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺に移動させる場合について説明する。この点において、本実施の形態と実施の形態１とは共通する。ただし、この実施の形態では、抽出部２の上流を加圧することにより、分析対象成分２１の溶出を促進する方式について説明する。
【００３８】
図３に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図３には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、搬送ロボット２７、加圧器４３を主要部とする。
【００３９】
この実施の形態２の場合、実施の形態１で必要とされていた減圧容器４、排気パイプ３３、減圧ポンプ３４が不要である。なお、この実施の形態の場合も、処理プロセスは実施の形態１と同じである。すなわち、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８についてのみ説明する。
【００４０】
（移動工程Ｓ６）
移動工程Ｓ６では、抽出部２と送液部３を連結したイオン化プローブ１が、イオン源装置内の所定位置に移動される。イオン化プローブ１の移動には、搬送ロボット２７が用いられる。搬送ロボット２７のアーム２８には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持したイオン化プローブ１を移動前位置（図中、イオン化プローブ１を点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブ１を実線で示す位置）に移動する。この場合も、イオン化プローブ１のキャピラリー３５の先端は、イオン検出部３８（例えば質量分析装置）におけるイオン取込み部３１の周辺に位置決めされる。
【００４１】
なお、この実施の形態の場合、減圧容器４が不要であるので、減圧容器４とイオン化プローブ１との気密化処理も不要である。
【００４２】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７で実行される内容も基本的に実施の形態１と同様である。まず、イオン化プローブ１の上部開口側から溶出液３２が注入される。この後、イオン化プローブ１の上部開口に加圧器４３が配置され、抽出部２の上流側（溶出液３２の導入側）を加圧する。すなわち、充填剤１４の上流側と下流側に圧力差を発生させ、分析対象成分１９を含む溶出液３２の液滴を、送液部３を構成するキャピラリー３５の下端側から排出する。
【００４３】
この実施の形態の場合も、溶出液３２には、例えばメタノール、アセトニトリルその他の有機溶媒、水、又はこれらの混合溶液等を使用する。なお、溶出液３２が注入されると、加圧器４３に気体４４が導入され、抽出部２に対する加圧が開始される。因みに、加圧器４３は、例えば圧力ポンプやピストンでも良い。また、加圧器４３は、専ら抽出部２との気密性を高めるのに使用し、加圧自体は加圧した気体４４によって実現しても良い。
【００４４】
抽出部２が加圧されることで、溶出液３２は充填剤１４から分析対象成分１９を溶出し、送液部３を構成するキャピラリー３５の下端から流れ出る。このとき、キャピラリー３５に電圧３６を印加すると、分析対象成分１９はイオン化する（ESI法）。
【００４５】
言うまでもなく、加圧器４３と抽出部２との接続部分又は加圧器４３と送液部３との接続部分は、気密状態が得られるように構成されている必要がある。また、加圧器４３に導入される気体４４は、空気又は窒素等の不活性ガスを使用することが望ましい。なお、加圧圧力は、溶媒の種類に応じて制御することが望ましい。溶媒の種類に応じて加圧圧力を制御することにより、安定した溶液の送液が可能となる。
【００４６】
このように、本実施の形態によれば、分析対象成分１９の溶出とイオン化を同時に行うことができる。すなわち、スループットの高いイオン源を実現できる。なお、溶出に使用する溶液の種類は、充填剤１４の材質等に応じて変えることが必要である。
【００４７】
この後、イオン化により生成されたイオン３７は、質量分析装置等のイオン検出部３８において検出される。
【００４８】
（廃棄工程Ｓ８）
溶出・イオン化工程Ｓ７を終えたイオン化プローブ１は、洗浄等を行うことで再度利用することも可能である。しかし、治療薬物モニタリング（TDM）等のように微量な汚染等でも問題となる場合には好ましくない。
【００４９】
従って、この実施の形態の場合にも、使用後のイオン化プローブ１は、搬送ロボット３９を用いることにより、質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺から排除される。イオン化プローブ１を使い捨てにできるので、次回分析時における汚染等の影響を最小限に抑えることができる。なお、搬送ロボット３９と搬送ロボット２７は同じものでも良い。
【００５０】
（実施の形態の効果）
この実施の形態の場合にも、前述した実施の形態１の場合と同様に、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、充填剤１４の成分等によってキャピラリー３５が詰まる問題を抑制することができる。勿論、本実施の形態の場合にも、溶出液を移し替えるための容器は不要であるので、低コスト化を実現できる。
【００５１】
（Ｃ）実施の形態３
（概略構成）
この実施の形態の場合には、送液部３を構成するキャピラリー３５の外側に沿って気体を流すことにより、イオン化効率を向上させる方式について説明する。同時に、この実施の形態では、キャピラリー３５から排出される分析対象成分を加熱してイオン化効率を向上させる方式についても説明する。
【００５２】
図４に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図４には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、減圧容器４、搬送ロボット２７、ガス噴霧管４１、加熱器４２を主要部とする。この実施の形態の場合、実施の形態１で説明したイオン源装置に対して、ガス噴霧管４１と加熱器４２が追加的に配置される。
【００５３】
ここで、ガス噴霧管４１は、イオン化プローブ１を装着できるように筒形状に加工されており、減圧容器４に対して気密性を保てるように取り付けられている。ここで、ガス噴霧管４１には、イオン化プローブ１を上部開口から落とし込むように装着できるように、イオン化プローブ１よりも一回り大きい空洞（保持部４５）が形成されている。
【００５４】
保持部４５の底部には、キャピラリー３５の周囲を取り囲むように下端側ほど内径が狭まるよう加工された空洞（テーパー部４６）が形成されている。保持部４５の底部は、送液部３を構成するテーパー部２４と気密性を保てるようにテーパー形状に加工されている。また、ガス噴霧管４１の内部には、外部からテーパー部４６の内側に気体４８を導入するための導入管４７が形成されている。
【００５５】
これらの構造により、導入管４７から導入された気体４８は、キャピラリー３５に沿う流れとしてテーパー部４６の先端から外部に射出される。因みに、キャピラリー３５の先端は、テーパー部４６の先端部から少しだけ飛び出すように位置関係が定められている。なお、キャピラリー３５の先端外径は0.1〜1ｍｍに設定する。この実施の形態の場合、先端外径は0.3ｍｍとする。ただし、先端外径の寸法は、キャピラリー３５の想定流量が10μＬ／分〜5ｍＬ／分である場合を想定して定めている。
【００５６】
加熱器４２は、キャピラリー３５から噴出される分析対象成分１９の加熱に使用される。加熱器４２による加熱方式には、加熱ガス吹出方式やランプ加熱方式がある。なお、加熱ガス吹出方式の場合、加熱器の吹き出し口は、キャピラリー３５の流れを妨げないように、分析対象成分１９の流れに対して熱４９が斜めに入射するように配置される。
【００５７】
なお、この実施の形態の場合も、処理プロセスは実施の形態１と同じである。すなわち、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８を順番に実行する。以下では、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８についてのみ説明する。
【００５８】
（移動工程Ｓ６）
移動工程Ｓ６では、抽出部２と送液部３を連結したイオン化プローブ１が、イオン源装置内の所定位置に移動される。イオン化プローブ１の移動には、搬送ロボット２７が用いられる。搬送ロボット２７のアーム２８には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持されたイオン化プローブ１が移動前位置（図中、イオン化プローブ１を点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブ１を実線で示す位置）に移動される。この場合も、イオン化プローブ１のキャピラリー３５の先端は、イオン検出部３８（例えば質量分析装置）におけるイオン取込み部３１の周辺に位置決めされる。なお、移動の際、イオン化プローブ１は、ガス噴霧管４１の内側に形成された保持部４５及びテーパー部４６の内側に気密性を保つように取り付けられる。なお、搬送ロボット２７と連結ロボット２６とは同じものでも良い。
【００５９】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７では、電圧３６の印加と同時に、キャピラリー３５とガス噴霧管４１の先端開口部から窒素その他の不活性ガス又は空気等の気体４８が噴出される。噴出される気体４８によりキャピラリー３５の下端から流れ出る溶液の気化が促進され、分析対象成分１９のイオン化効率を向上することができる。気化の促進は、キャピラリー３５の内部を流れる溶液の流量が大きい場合に特に有効である。この動作と並行して、加熱器４２からは熱４９が噴出される。熱４９は、キャピラリー３５から流れ出た溶液を過熱し、その気化を更に促進する。
【００６０】
（廃棄工程Ｓ８）
溶出・イオン化工程Ｓ７を終えたイオン化プローブ１は、洗浄等を行うことで再度利用することも可能である。しかし、治療薬物モニタリング（TDM）等のように微量な汚染等でも問題となる場合には好ましくない。
【００６１】
そこで、本実施の形態の場合には、搬送ロボット３９を使用してイオン化プローブ１を減圧容器４から排出する。搬送ロボット３７のアーム４０には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持したイオン化プローブを移動前位置（図中、イオン化プローブを点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブを実線で示す位置）に移動する。すなわち、イオン化プローブを質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺から移動する。この後、減圧容器４から排出された使用済みのイオン化プローブは廃棄される。これにより、イオン化プローブを使い捨てにすることができる。
【００６２】
この結果、次回分析時における汚染等の影響を最小限に抑えることができる。なお、搬送ロボット３９と搬送ロボット２７は同じものでも良い。
【００６３】
（流量の測定結果）
ここでは、キャピラリー３５の内部を流れる溶液の流量を測定した結果を説明する。図５に、減圧ポンプ３４の一次側圧力を変化させた時における溶液の流量の変化を示す。横軸は減圧ポンプ３４の一次側圧力であり、縦軸は試料の流速である。各プロットは、溶出液３２がメタノールの場合、純水の場合、水とメタノールを１：１で混合した場合に対応する。図５の測定結果を参照し、溶媒の種類に応じて減圧ポンプ３４の排気速度を調節することにより（減圧ポンプ３４の一次側圧力を制御することにより）安定した溶液の送液を実現できる。
【００６４】
（応用例）
この実施の形態においては、充填剤１４の下流を減圧する方式（図１）に対して、キャピラリー３５の外側面に沿う気体４８の流れを生成する方式とキャピラリー３５の下流を加熱する方式を組み合わせる場合について説明した。しかし、キャピラリー３５の外側面に沿う気体４８の流れを生成する方式とキャピラリー３５の下流を加熱する方式は、実施の形態２（図３）に対して組み合わせることもできる。また、キャピラリー３５の外側面に沿う気体４８の流れを生成する方式とキャピラリー３５の下流を加熱する方式のいずれか一方だけを使用することもできる。
【００６５】
（実施の形態の効果）
この実施の形態の場合にも、前述した実施の形態１の場合と同様に、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、充填剤１４の成分等によってキャピラリー３５が詰まる問題を抑制することができる。勿論、本実施の形態の場合にも、溶出液を移し替えるための容器は不要であるので、低コスト化を実現できる。
【００６６】
（Ｄ）実施の形態４
（概略構成）
この実施の形態では、送液部３を構成するキャピラリー３５の他の構成例について説明する。図６に、送液部３の構成例を示す。送液部３はキャピラリー３５とテーパー部２４で構成される。この実施の形態の場合、キャピラリー３５は金属製であり、テーパー部２４は樹脂製である。この実施の形態では、金属製のキャピラリー３５に電圧を印加し、溶液をイオン化する。以下では、図７に従って移動工程Ｓ６と溶出・イオン化工程Ｓ７の各工程について説明する。なお、図７は、実施の形態３の装置構成を前提に表している。すなわち、減圧容器４にガス噴霧管４１が取り付けられている装置構成を前提とする。
【００６７】
（搬送工程Ｓ６）
図７の搬送工程Ｓ６には、質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺に送液部３が既に移動された状態を示している。この実施の形態の場合、ガス噴霧管４１には、外壁からテーパー部４６に達する孔が形成されており、この孔に対して自在にスライドできるようにスライド電極５１が取り付けられている。なお、スライド電極５１の出し入れは不図示の駆動部によって実行される。また、スライド電極５１の出し入れは不図示の制御部（マイクロプロセッサ等）により制御される。搬送工程Ｓ６の終了時、図７に示すように、スライド電極５１の先端部分はガス噴霧管４１の内壁内に格納されている。
【００６８】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７を開始する際、スライド電極５１は、不図示の駆動部によりガス噴霧管４１の内壁側からテーパー部４６に突き出すように移動される。このとき、スライド電極５１は、その先端がキャピラリー３５の表面に接触するまでスライドされる。
【００６９】
同時に、充填剤１４の上流側と下流側との間に圧力差が発生され、分析対象成分１９を含む溶出液３２が送液部３のキャピラリー３５の下端から流れ出す。同時に、キャピラリー３５には、スライド電極５１を通じて電圧３６が印加される。この電圧の印加によって、キャピラリー３５の先端から流れ出した溶出液３２はイオン化する。このとき、ガス噴霧管４１の電位は、キャピラリー３５と同電位に制御しても良い。
【００７０】
やがて、イオン化が終了すると、イオン化プローブ１を廃棄できるように、スライド電極５１は、再びガス噴霧管４１の内壁内に収容される。このように、スライド電極５１を動作の進行に連動して出し入れするのは、キャピラリー３５の破損を避けるためである。例えばイオン化プローブ１の装着前からスライド電極５１がガス噴霧管４１の内壁から突き出ている場合、非常に細い径を有するキャピラリー３５がスライド電極５１と接触又は衝突することで曲がったり、折れたりする可能性がある。
【００７１】
（応用例）
この実施の形態の場合にも、減圧により溶出液３２をイオン化プローブ１から流出させる方式のイオン源装置と組み合わせる場合を説明したが、加圧によって溶出液３２をイオン化プローブ１から流出させる方式のイオン源装置にも応用することができる。また、前述した実施の形態の場合には、ガス噴霧管４１が存在するイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を有しないイオン源装置にも応用することができる。
【００７２】
また、前述した実施の形態の場合には、イオン化プローブ１がガス噴霧管４１に装着された後に、スライド電極５１のスライド動作が開始される場合について説明した。しかし、イオン化プローブ１のガス噴霧管４１への装着に伴う位置に応じてスライド電極５１を出し入れする駆動部を用いても良い。例えばバネ機構とリンク機構を組み合わせた駆動部を用いても良い。この場合、イオン化プローブ１の装着に伴う下方移動に連動してリンク機構がスライド電極５１をテーパー部４６から突出するように押し出し、イオン化プローブ１の取り外しが開始されるとバネ機構の復元力によってスライド電極５１をテーパー部４６から退避させるように動作させても良い。
【００７３】
（実施の形態の効果）
この実施の形態の場合にも、前述した実施の形態１の場合と同様に、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、充填剤１４の成分等によってキャピラリー３５が詰まる問題を抑制することができる。勿論、本実施の形態の場合にも、溶出液を移し替えるための容器は不要であるので、低コスト化を実現できる。
【００７４】
（Ｅ）実施の形態５
（概略構成）
この実施の形態では、スライド電極５１を用いることなく、キャピラリー３５に電圧を印加する方式について説明する。この実施の形態にて使用する送液部３の基本構造は、図６に示した構造とほぼ同じである。すなわち、送液部３は、キャピラリー３５とテーパー部２４で構成される。ただし、キャピラリー３５とテーパー部２４は共に金属製であるものとする。
【００７５】
図８に、実施の形態に係るイオン源装置の構成例を示す。なお、図８は、イオン源装置における移動工程Ｓ６が完了した時点の状態を示している。図に示すように、このイオン源装置は、減圧方式とガス噴霧管４１の組み合わせ構造により構成される。
【００７６】
本実施の形態の場合、前述したようにテーパー部２４は金属製である。また、ガス噴霧管４１も金属製である。従って、イオン化プローブ１がガス噴霧管４１に装着されてテーパー部２４とガス噴霧管４１が気密状態（接触状態）になると、キャピラリー３５とガス噴霧管４５とは同電位になる。このため、ガス噴霧管４１に対して電圧３６を印加すると、キャピラリー３５に対しても電圧３６を供給することができる。
【００７７】
この構造を採用すると、図７の場合のように、スライド電極５１をキャピラリー３５と接触させる必要がない。すなわち、スライド電極５１の駆動機構も無くすことができる。その分、この実施の形態の場合には、実施の形態４に比して構造を簡単にすることができる。また、電圧３６の印加は、送液部３のテーパー部２４を通じて行われるため、機械的接触に伴うキャピラリー３５の破損のおそれを無くすことができる。
【００７８】
（応用例）
この実施の形態の場合にも、減圧により溶出液３２をイオン化プローブ１から流出させる方式のイオン源装置と組み合わせる場合を説明したが、加圧によって溶出液３２をイオン化プローブ１から流出させる方式のイオン源装置にも応用することができる。また、前述した実施の形態の場合には、ガス噴霧管４１が存在するイオン源装置を例示しているが、テーパー部２４と接触する導電性の部材に電圧３６を印加することができれば、ガス噴霧管４１を有しないイオン源装置にも応用することができる。
【００７９】
（実施の形態の効果）
この実施の形態の場合にも、前述した実施の形態１の場合と同様に、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、充填剤１４の成分等によってキャピラリー３５が詰まる問題を抑制することができる。勿論、本実施の形態の場合にも、溶出液を移し替えるための容器は不要であるので、低コスト化を実現できる。
【００８０】
（Ｆ）実施の形態６
この実施の形態では、実施の形態５の変形例を説明する。すなわち、スライド電極５１を使用しない実施の形態について説明する。実施の形態５の場合には、キャピラリー３５とテーパー部２４が共に金属製の場合について説明した。しかし、実施の形態５と同じ動作は、テーパー部２４を導電性樹脂製とすることによっても実現できる。
【００８１】
（Ｇ）実施の形態７
この実施の形態にも、スライド電極５１を使用しない実施の形態について説明する。図９に、この実施の形態で使用する送液部３の構造例を示す。この実施の形態の場合、送液部３を構成するキャピラリー３５とテーパー部２４を共に導電性樹脂で構成する。なお、キャピラリー３５とテーパー部２４は一体構成でも良いし、別部材を結合しても良い。この実施の形態の場合にも、実施の形態５と同様の効果を実現できる。
【００８２】
（Ｈ）実施の形態８
この実施の形態にも、スライド電極５１を使用しない実施の形態について説明する。図１０に、この実施の形態で使用する送液部３の構造例を示す。この実施の形態の場合、送液部３を構成するキャピラリー３５を金属製、テーパー部２４を樹脂製とする。ただし、テーパー部２４の表面全体を導電層５２で被覆する。導電層５２の少なくとも一部はキャピラリー３５と電気的に結合されているものとする。なお、テーパー部２４を保持するガス噴霧管４１等と導電層５２とキャピラリー３５との間に電気的な経路が形成されていれば、導電層５２は必ずしもテーパー部２４の表面全体を覆うように形成されていなくても良い。この実施の形態の場合にも、実施の形態５と同様の効果を実現できる。
【００８３】
（Ｉ）実施の形態９
この実施の形態にも、スライド電極５１を使用しない実施の形態について説明する。図１１に、この実施の形態で使用する送液部３の構造例を示す。この実施の形態の場合、送液部３を構成するキャピラリー３５とテーパー部２４が共に樹脂製であるものとする。ただし、その表面全体を導電層５２で被覆する。導電層５２が基体の表面全体を覆うことにより、実施の形態５と同様の効果を得ることができる。
【００８４】
（Ｊ）実施の形態１０
（概略構成）
この実施の形態では、溶出液３２を安定的に送液できるように、減圧容器４の圧力をモニタし、減圧ポンプ３４の排気速度を制御する方式について説明する。
【００８５】
図１２に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１２には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、減圧容器４、不図示の搬送ロボット２７、排気パイプ３３、減圧ポンプ３４、圧力計５３を主要部とする。
【００８６】
この実施の形態の場合、実施の形態１で説明したイオン源装置の減圧容器４に圧力計５３が追加的に配置される。
【００８７】
この実施の形態の場合も、実施の形態１と同様に、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【００８８】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
この実施の形態の場合、圧力計５３は、減圧容器４内の圧力を測定し、測定結果を減圧ポンプ３４にフィードバックする。すなわち、測定された圧力の変動に応じて減圧ポンプ３４の排気速度を制御する。減圧ポンプ３４の排気速度の調節は、バルブにより制御する方法、減圧ポンプ３４を駆動する電圧の出力値を調節する方法等がある。この圧力調整により、安定した溶出液３２の送液が可能となる。
【００８９】
なお、図１２の場合には、ガス噴霧管４１を用いないイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を用いるイオン源装置の場合にも、圧力計５３を配置することによって同様の効果を実現できる。また、この実施形態の仕組みを、実施の形態４〜９で説明した送液部３と組み合わせることも可能である。
【００９０】
（Ｋ）実施の形態１１
（概略構成）
この実施の形態では、溶出液３２を安定的に送液できるように、加圧器４３の圧力をモニタし、加圧圧力を制御する方式について説明する。
【００９１】
図１３に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１３には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、搬送ロボット２７、加圧器４３、圧力計５４を主要部とする。
【００９２】
この実施の形態の場合も、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【００９３】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
この実施の形態の場合、圧力計５４は、加圧器４３の圧力を測定し、測定結果を気体４４の導入量又は圧力の調整にフィードバックする。すなわち、測定された圧力の変動に応じて加圧器４３に導入する気体４４の導入量又は圧力を制御する。なお、圧力は、例えば圧力弁の調整によって実現することができる。この圧力調整により、安定した溶出液３２の送液が可能となる。
【００９４】
なお、図１３の場合には、ガス噴霧管４１を用いないイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を用いるイオン源装置の場合にも、圧力計５３を配置することによって同様の効果を実現できる。また、この実施形態の仕組みを、実施の形態４〜９で説明した送液部３と組み合わせることも可能である。
【００９５】
（Ｌ）実施の形態１２
この実施の形態では、溶出液３２を安定的に送液できるように、抽出部２に注入した溶液３２の液面を液面センサでモニタし、減圧ポンプ３４の減圧圧力を制御する方式について説明する。
【００９６】
図１４に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１４には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、搬送ロボット２７、排気パイプ３３、減圧ポンプ３４、液面センサ５６を主要部とする。
【００９７】
この実施の形態の場合も、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【００９８】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
この実施の形態の場合、抽出部２に注入された溶出液３２の液面５５の低下状態を液面センサ５６でモニタし、その低下速度の変動に応じて減圧ポンプ３４の排気速度を制御する。すなわち、低下速度が一定になるように、減圧ポンプ３４の排気速度を制御する。なお、この実施の形態の前提として、液面センサ５６によって抽出部２の液面の高さを直接又は間接的に計測できることが必要である。図１４は、液面センサ５６を抽出部２の側面に配置し、透過的に液面５５の位置を測定する例を表している。なお、液面５５の高さを抽出部２の上方位置から測定する液面センサ５６を用いることもできる。
【００９９】
以上の圧力調整により、安定した溶出液３２の送液が可能となる。なお、図１４の場合には、ガス噴霧管４１を用いないイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を用いるイオン源装置の場合にも、圧力計５３を配置することによって同様の効果を実現できる。また、実施の形態４〜９で説明した送液部３と組み合わせも可能である。
【０１００】
（Ｍ）実施の形態１３
この実施の形態では、実施の形態１２の変形例を説明する。この実施の形態の場合、抽出部２に注入した溶液３２の液面を液面センサでモニタし、加圧器４３の加圧圧力を制御する方式について説明する。
【０１０１】
図１５に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１５には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、搬送ロボット２７、加圧器４３、液面センサ５６を主要部とする。
【０１０２】
この実施の形態の場合も、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【０１０３】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
この実施の形態の場合、抽出部２に注入された溶出液３２の液面５５の低下状態を液面センサ５６でモニタし、その低下速度の変動に応じて加圧器４３に導入する気体４４の導入量又は圧力を調節する。この調節により、安定した溶出液３２の送液が可能となる。
【０１０４】
なお、図１５の場合には、ガス噴霧管４１を用いないイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を用いるイオン源装置の場合にも、圧力計５３を配置することによって同様の効果を実現できる。また、実施の形態４〜９で説明した送液部３と組み合わせも可能である。
【０１０５】
（Ｎ）実施の形態１４
（概略構成）
この実施の形態の場合には、定量分析を実現するために、抽出部２に試料溶液２０を注入する際に、内部標準物質６１も注入する方式について説明する。
【０１０６】
図１６に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１６には図１との対応部分に同一符号を付して示す。ただし、説明を簡便なものにするために、図１６では抽出部２と送液部３のみを記す。
【０１０７】
実施の形態１の場合と同様、この実施の形態の場合も、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【０１０８】
（吸着工程Ｓ３）
吸着工程Ｓ３では、試料溶液２０と一緒に内部標準物質６１も抽出部２に注入される。内部標準物質６１には、分析対象成分１９の一部の元素（炭素や水素）を同位体置換したもの等が用いられる。吸着工程Ｓ３により、分析対象成分１９と夾雑物成分２１を含む試料成分１７と一緒に、内部標準物質成分６２が充填剤１４に吸着される。
【０１０９】
（洗浄工程Ｓ４）
洗浄工程Ｓ４では、洗浄溶液２２を抽出部２に注入することにより、夾雑物成分２１を廃棄する。内部標準物質成分６２は、分析対象成分１９と非常に類似した組成を持つため、分析対象成分１９と一緒に充填剤１４に吸着されたままで廃棄されない。
【０１１０】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７では、溶出液３２を抽出部２に注入し、溶出とイオン化を同時に実行する。この際、分析対象成分１９のイオン３７と、内部標準物質成分６２のイオン６３とが同時に生成され検出される。
【０１１１】
予め濃度が知られている内部標準物質成分６２のイオン６３と、分析対象成分１９のイオン３７の検出される強度を比較することにより、試料溶液２０に含まれる分析対象成分１９を定量することが可能となる。
【０１１２】
（応用例）
前述の形態例の場合には、試料溶液２０と内部標準物質６１をそれぞれ別々に抽出部２に注入しているが、予め試料溶液２０と内部標準物質６１を混合した溶液を抽出部２に注入しても良い。なお、この実施の形態は、前述した実施の形態１〜１３と組み合わせることもできる。
【０１１３】
（Ｏ）実施の形態１５
（概略構成）
この実施の形態では、更なる高スループット分析の実現のため、複数個のイオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）が、質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺に配置される方式について説明する。
【０１１４】
図１７に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。図１７では、説明を簡便なものにするために、抽出部２と送液部３の部分のみを記す。勿論、個々のイオン化プローブ１について、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８を順番に実行する。
【０１１５】
この実施の形態の場合、２組のイオン化プローブ１がイオン源装置に取り付け可能であるので、移動工程Ｓ６や溶出・イオン化工程Ｓ７を終えたイオン化プローブ１を廃棄している期間を利用して、他の一方のイオン化プローブ１によりイオン化を実行することができる。この場合、時間的な損失を低減することができる。このため、高スループット分析を実現できる。
【０１１６】
勿論、イオン源装置に対して３組以上のイオン化プローブ１を取り付け可能にすれば、更なるスループットを高めることができる。
【０１１７】
（応用例）
図１７の場合には、加圧器４３に気体４４を導入することにより溶出液３２の溶出を行う加圧方式について例示しているが、減圧方式を採用するイオン源装置にも同様に実現可能である。ただし、減圧方式の場合には、移動工程Ｓ６等において、１つでもイオン化プローブ１が減圧容器４に取り付けられていない場合には減圧を行うことができない。そのため、移動工程Ｓ６等の間に、イオン化プローブ１の取り付け場所の穴を塞ぐ機構などが必要となる。また、この実施の形態は、前述した実施の形態１〜１４のいずれとも組み合わせることもできる。
【０１１８】
（Ｐ）実施の形態１６
（概略構成）
この実施の形態では、抽出部の開口部に可撓性の配管を接続し、配管を接続した状態のままイオン化プロセスを進行する方式について説明する。
【０１１９】
図１８に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。図１８では、説明を簡便なものにするために、抽出部２と送液部３と配管６５の部分のみを記す。なお、配管５７は可撓性を有する樹脂製であるものとする。この配管５７は、抽出部２と配管６５を結合した状態のまま自在に移動可能であるものを使用する。なお、この実施の形態に係るイオン源装置は、前述した実施の形態１〜１５のいずれとも組み合わせ可能であるが、溶出液３２の溶出に加圧方式を採用する場合、配管６５は耐圧性に優れるものであることが望ましい。
【０１２０】
勿論、この実施の形態の場合も、個々のイオン化プローブ１に対し、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【０１２１】
（吸着工程Ｓ３）
吸着工程Ｓ３では、配管６５を介して試料溶液２０が抽出部２に導入される。なお、配管６５と抽出部２は結合されている。この吸着工程Ｓ３で、分析対象成分１９と夾雑物成分２１を含む試料成分１７が充填剤１４に吸着される。
【０１２２】
（洗浄工程Ｓ４）
洗浄工程Ｓ４では、配管６５を介して溶媒６６が抽出部２に導入される。充填材１４に吸着されていた夾雑物成分２１は、溶媒６６と共に廃棄される。従って、洗浄が完了した時点で、充填剤１４には分析対象成分１９のみが吸着されている。
【０１２３】
（連結工程Ｓ５）
連結工程Ｓ５では、夾雑物成分２１が廃棄された後の抽出部２と送液部３とが連結され、イオン化プローブ１が完成される。抽出部２と送液部３とは気密状態が得られるように連結される必要がある。連結方法の詳細については、実施の形態１で説明した通りである。
【０１２４】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
イオン化プローブ１が所定位置に搬送されると、溶出・イオン化工程Ｓ７が開始される。溶出・イオン化工程Ｓ７では、配管６５を介してイオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）に溶媒６７が導入される。導入された溶媒６７により、抽出部２に吸着されていた分析対象成分１９は溶出され、送液部３を構成するキャピラリー３５の下端から流れ出される。このとき、キャピラリー３５に電圧３６を印加すると、分析対象成分１９はイオン化する（ESI法）。イオン化されたイオン３７は、質量分析装置等のイオン検出部３８により検出される。
【０１２５】
（Ｑ）実施の形態１７
前述した実施の形態１〜実施の形態１６の場合には、いずれも抽出部２と送液部３を連結してイオン化プローブ１を組み立てた後に、質量分析装置等のイオンの取込み部の周辺に移動させ、分析対象成分１９の溶出とイオン化を実行する駆動方法について説明した。
【０１２６】
この実施の形態では、最初に、送液部３のみを質量分析装置等のイオンの取込み部の周辺に移動させて位置決めし、次に、分析対象成分１９のみを吸着させた抽出部２を送液部３と連結させてイオン化プローブ１を完成させる方式について説明する。
【０１２７】
図１９に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。この実施の形態に係るイオン源装置は、実施の形態１と同様の装置構成を有しているものとする。なお、この実施の形態では、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、移動工程Ｓ６、連結工程Ｓ５、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８の順番にプロセスが進行するものとする。すなわち、移動工程Ｓ６と連結工程Ｓ５の順番が、他の実施の形態とは入れ替わっている。図１９では、この実施の形態に特有である移動工程Ｓ６と連結工程Ｓ５のみを示している。
【０１２８】
（移動工程Ｓ６）
移動工程Ｓ６では、送液部３のみが、搬送ロボット６８で駆動されるアーム６９により、質量分析装置等のイオン検出部３８の周辺に移動される。次に、アーム６９は、元の位置に戻り、洗浄工程Ｓ４で夾雑物成分２１が廃棄された後の抽出部２を掴み、先に移動されている送液部３の付近に移動する。なお、この搬送ロボット６８及びアーム６９は、前述した搬送ロボット２７及びアーム２８と同じでも良い。
【０１２９】
（連結工程Ｓ５）
連結工程Ｓ５においては、抽出部２と送液部３が連結ロボット２６を用いて気密性が得られるように連結される。この実施の形態の場合、減圧容器４内で抽出部２と送液部３が連結される。なお、連結ロボット２６も、搬送ロボット２７又は２８と同じものでも良い。
【０１３０】
（応用例）
この実施の形態の場合にも、溶出・イオン化工程Ｓ７を終えた後の抽出部２と送液部３をそれぞれ洗浄して再度利用することもできる。しかし、治療薬物モニタリング（TDM）等のように微量の汚染でも問題となる場合には、再利用すること無く排気することが望ましい。イオン化プローブ１を使い捨てとすることで、次回の分析に汚染の影響が及ぶのを最小限に抑えることができる。
【０１３１】
なお、この組み立て方法は、前述した実施の形態１〜実施の形態１６で説明した方式においても、容易に対応することができる。
【０１３２】
（Ｒ）他の形態例
前述した実施の形態では、分析対象成分の溶出に使用する溶媒の種類に応じて圧力差の条件を制御する場合について言及したが、抽出部２の内部構造に固有の溶液の流れ度合いの情報（コンダクタンス）に基づいて圧力差の条件を制御しても良い。
【０１３３】
前述した実施の形態１〜実施の形態１７では、いずれもエレクトロスプレーイオン化法（ESI）に対応するイオン源装置について説明した。しかし、本発明に係るイオン化プローブ１は、大気圧化学イオン化法（APCI）やDARTイオン化法（Direct Analysis in Real Time）等の様々なイオン化方式に使用する試料溶液供給部として使用しても良い。
【符号の説明】
【０１３４】
１…イオン化プローブ、２…抽出部、３…送液部、４…減圧容器、１４…充填剤、１５…フリット、１６…洗浄溶液、１７…試料成分、１８…平衡化溶液、１９…分析対象成分、２０…試料溶液、２１…夾雑物成分、２２…洗浄溶液、２３…テーパー部、２４…テーパー部、２５…気密箇所、２６…連結ロボット、２７…搬送ロボット、２８…アーム、３１…イオン取込み部、３２…溶出液、３３…排気パイプ、３４…減圧ポンプ、３５…キャピラリー、３６…電圧、３７…イオン、３８…イオン検出部、３９…搬送ロボット、４０…アーム、４１…ガス噴霧管、４２…加熱器、４３…加圧器、４４…気体、４５…保持部、４６…テーパー部、４７…導入管、４８…気体、４９…熱、５１…スライド電極、５２…導電層、５３…圧力計、５４…圧力計、５５…液面、５６…液面センサ、６１…内部標準物質、６２…内部標準物質成分、６３…イオン、６５…配管、６６…溶媒、６７…溶媒、６８…搬送ロボット、６９…アーム。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析対象成分を含んだ溶液を抽出してイオン化するイオン源装置に関する。また、本発明は、イオン源装置に使用して好適なイオン化プローブの製造方法及びイオン源装置の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薬物の副作用を抑え、個々の患者に最適な治療計画を立案する手法に治療薬物モニタリング（TDM）等がある。治療薬物モニタリングを血液自動分析装置による質量分析技術に応用する場合、スループットが高く、ロバスト性が高く、コストが低い手法が重要となる。一般的な液体クロマトグラフ／質量分析計（LC／MS）を利用する場合、切り替えバルブに試料溶液が直接導入される。このため、切り替えバルブの洗浄に多量の溶媒を必要とし、洗浄時間も必要とする。また、切り替えバルブや分離カラム等の詰まりの原因となる部品も多い。これに対し、固相抽出法では、分析対象成分を含んだ溶液のみを抽出し、抽出された溶液をイオン源装置に直接導入することによってイオン化と質量分析とを同時に実行することができる。このように、固相抽出法を用いると、イオン源までの流路内から切り替えバルブや分離カラムを排除することができる。
【０００３】
特許文献１に記載された装置構成は、LC/MSのような流路を必要とせず、試料溶液をイオン源装置に対して直接導入することができる。なお、この装置は、溶液搬送用のピペットチップに溶液を吸引した状態で、数μｍの穴が多数開いたシリコン基板にピペットチップ先端を結合し、溶液をシリコン基板の穴から噴出することでイオン化を実現する。特許文献２に記載された装置も、LC/MSのような流路を必要とせず、試料溶液をイオン源に対して直接導入することができる。この装置は、溶液搬送用のシリンジの針の部分を、エレクトロスプレーイオン化法（ESI）のキャピラリー電極として使用する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６２４５２２７号明細書
【特許文献２】米国特許第７３６４９１３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された装置は、ピペットチップとシリコン基板を使い捨てにする。このため、洗浄の必要が無く高スループットであり、次の分析への汚染も少なく、ロバスト性も高い。しかし、この装置は、微細加工を要する比較的高価な部品であるシリコン基板を使用する必要がある。また、この装置は、イオン化工程とは別に固相抽出を行うので、固相抽出カラムや抽出液を受ける容器も使い捨てにする必要がある。このため、消耗品のコストが高い問題がある。
【０００６】
一方、特許文献２に記載された装置の場合、シリンジの針により試料溶液を直接イオン化できるので送液部分に使い捨て部品が無い。しかし、この装置の場合、シリンジ及び針部分を交換しないので、溶媒等による洗浄が必要となる。このため、スループット向上が困難であり、汚染を完全に排除することも難しい。また、この特許文献２の方式の場合も、特許文献１の方式と同様に、固相抽出の際に使用した固相抽出カラムや抽出液を受ける容器を使い捨てにする必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明は、不要成分の洗浄廃棄に使用した抽出部と送液部を連結してイオン化プローブを形成することにより、イオン化プローブによる溶液の溶出と溶出された溶液のイオン化とを同時に実現する手法を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、試料溶液中の分析対象成分の溶出とそのイオン化とを同時に行うことができ、スループットを向上させることができる。また、抽出部と送液部を使い捨てにできるため、汚染を抑制でき、ロバスト性を向上させることができる。さらに、溶出液を送液部に移し替えるために一時的に保存する容器が不要になるため、消耗品コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１におけるイオン源装置の構造と処理動作を説明する図。
【図２】本発明の実施の形態１に係るイオン化プローブの構造例を説明する図。
【図３】本発明の実施の形態２におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図４】本発明の実施の形態３におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図５】本発明の実施の形態３における溶液流量の測定結果を示す図表。
【図６】本発明の実施の形態４に係るイオン化プローブを構成する送液部を説明する図。
【図７】本発明の実施の形態４におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図８】本発明の実施の形態５におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図９】本発明の実施の形態７に係る送液部の構造を説明する図。
【図１０】本発明の実施の形態８に係る送液部の構造を説明する図。
【図１１】本発明の実施の形態９に係る送液部の構造を説明する図。
【図１２】本発明の実施の形態１０におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１３】本発明の実施の形態１１におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１４】本発明の実施の形態１２におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１５】本発明の実施の形態１３におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１６】本発明の実施の形態１４におけるイオン源装置の処理プロセスを説明する図。
【図１７】本発明の実施の形態１５におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１８】本発明の実施の形態１６におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【図１９】本発明の実施の形態１７におけるイオン源装置の構造を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。なお、後述する装置構成や処理動作の内容は一例であり、実施の形態と既知の技術との組み合わせや置換により他の実施の形態を実現することもできる。
【００１１】
（Ａ）実施の形態１
（概略構成）
この実施の形態では、試料溶液に含まれる成分の吸着及び溶出に使用する抽出部と送液部とを連結することにより形成されるイオン化プローブについて説明する。また、完成されたイオン化プローブを質量分析装置等のイオン取込み部の周辺に移動させ、分析対象成分の溶出とイオン化とを同時に実行するイオン源装置について説明する。
【００１２】
図１に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１では、破線で囲んだ部分が処理プロセスＳ１〜Ｓ８を示し、処理プロセス間の矢印は処理プロセスの進行方向を示す。
【００１３】
イオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、減圧容器４、搬送ロボット２７、排気パイプ３３、減圧ポンプ３４を主要部とする。一方、処理プロセスは、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８で構成される。
【００１４】
（洗浄工程Ｓ１）
この洗浄工程Ｓ１は、抽出部２を使用する前に洗浄溶液１６で洗浄する工程である。洗浄溶液１６には、例えばメタノール等の有機溶媒を使用する。因みに、抽出部２は、円筒部５とテーパー部２３で構成される。このうち、円筒部５の内側にはフリット１５が充填剤１４の両側から挟み込むように配置されている。円筒部５とテーパー部２３は、例えばガラス、ポリプロピレン、ポリエチレン等で構成される。
【００１５】
なお、円筒部５の上端部には相対的に大口径の開口が形成されており、円筒部５の下端側はテーパー部２３で塞がれている。なお、テーパー部２３はリング状に形成された平板の開口部分に漏斗を結合したような形状を有している。因みに、テーパー部２３の上面側には、円筒部５の内径よりも小さい口径の開口が形成され、下面側には前述した２つの開口よりも更に小さい口径を有する開口が形成されている。
【００１６】
円筒部５の上端側の開口が液体の流入口となり、テーパー部２３の下端側の開口が液体の出力口として用いられる。さらに、このテーパー部２３は、後述するように、送液部３側に設けられたテーパー部２４との連結に使用される。
【００１７】
充填剤１４には、ポリスチレン、カーボン等が用いられる。なお、充填剤１４の粒径は数十μｍ程度であるのが一般的である。フリット１５には、ガラス繊維、ポリプロピレン、ポリエチレン等が用いられる。なお、フリット１５のボア径はおおよそ20μｍ以下が一般的である。
【００１８】
（平衡化工程Ｓ２）
この平衡化工程Ｓ２は、充填剤１４に試料成分１７が吸着し易くするために平衡化溶液１８を注入する工程である。平衡化溶液１８には、例えば水が用いられる。
【００１９】
（吸着工程Ｓ３）
吸着工程Ｓ３は、分析対象成分１９を含む試料溶液２０を抽出部２に注入し、試料成分１７を充填剤１４に吸着させる工程である。因みに、試料溶液２０には、水等で溶解して濃度を調整したものを使用する場合もある。
【００２０】
（洗浄工程Ｓ４）
洗浄工程Ｓ４は、充填剤１４に分析対象成分１９だけが吸着したまま残るように、その他の夾雑物成分２１を洗浄溶液２２と共に廃棄する工程である。洗浄溶液２２には、例えばメタノール、アセトニトリルその他の有機溶媒、水、これらの混合溶液等を使用する。
【００２１】
（Ｓ１〜Ｓ４のまとめ）
以上説明した洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４の各工程で使用する溶液の種類は、充填剤１４の材質等に応じて変更する必要がある。また、抽出部２に注入した各溶液は、充填剤１４が緻密に充填されているために非常に流れ難い。しかし、抽出部２の上流部を加圧したり、下流部を減圧したりすることにより、充填剤１４の上流側と下流側との間に圧力差を生じさせる手法を採用すれば溶液をスムーズに通すことができる。また、遠心分離法等により強制的に溶液を通す方式もある。
【００２２】
（連結工程Ｓ５）
連結工程Ｓ５は、洗浄工程Ｓ４で夾雑物成分２１を廃棄した後の抽出部２と、送液部３とを連結してイオン化プローブ１を組み立てる工程である。送液部３は漏斗形状を有している。因みに、送液部３は、テーパー部２４とキャピラリー３５で構成される。なお、キャピラリー３５の先端外径は0.1〜0.5ｍｍに設定する。この実施の形態の場合、先端外径は0.3ｍｍとする。ただし、この先端外径の寸法は、キャピラリー３５の想定流量が500ｎＬ／分〜20μＬ／分である場合を想定して定めた値である。
【００２３】
ここで、テーパー部２４の開口や内壁面の傾斜は、抽出部２のテーパー部２３を押し込むように装着した場合に、テーパー部２３の外壁面との間で気密状態が生じるように形成されている。図２に、抽出部２と送液部３の詳細な連結方法を示す。
【００２４】
前述したように、２つの部材の連結は、抽出部２のテーパー部２３と、送液部３のテーパー部２４との間で行う。連結の際、テーパー部２３の先端部分（円周部分）は、テーパー部２４の内壁面に沿って押し込まれ、その隙間が無くなる位置で連結が完了する。ここでの隙間が無くなる位置が気密箇所２５である。なお、図２に示すように、２つの部材の連結には、連結ロボット２６を使用する。連結ロボット２６は、２つの部材を互いに押し込むように動作する。このように、実施の形態に係る形状を有する抽出部２と送液部３を用いれば、簡単な動作により２つの部材の間で気密性を確保することができる。この実施の形態の場合には、抽出部２と送液部３の両方がテーパー形状を有している場合について説明しているが、いずれか一方についてはテーパー形状を有しない場合にも気密状態を形成することができる。
【００２５】
（移動工程Ｓ６）
移動工程Ｓ６は、抽出部２と送液部３を連結したイオン化プローブ１をイオン源装置内の所定位置に移動する工程である。イオン化プローブ１の移動には、搬送ロボット２７が用いられる。搬送ロボット２７のアーム２８には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持したイオン化プローブ１を移動前位置（図中、イオン化プローブ１を点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブ１を実線で示す位置）へと移動する。なお、移動後位置に移動したイオン化プローブ１のキャピラリー３５の先端は、イオン検出部３８（例えば質量分析装置）におけるイオン取込み部３１の周辺に位置決めされる。
【００２６】
このとき、減圧容器４とイオン化プローブ１とは、気密状態が得られるような構造とする。減圧容器４とイオン化プローブが機密状態に連結されることで、イオン源が完成する。なお、搬送ロボット２７と連結ロボット２６とは同じものでも良い。
【００２７】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７は、溶出液３２を抽出部３に注入することにより、分析対象成分１９を充填剤１４から溶出し、同時に溶出された分析対象成分１９をイオン化する工程である。
【００２８】
溶出液３２には、例えばメタノール、アセトニトリルその他の有機溶媒、水、又はこれらの混合溶液等が用いられる。この溶出・イオン化工程Ｓ７の場合にも、前述したように、充填剤１４の上流側と下流側との間に圧力差を生じさせることにより、溶液をスムーズに流すことができる。この実施の形態の場合、減圧容器４の内部を減圧することで溶出を促進する。
【００２９】
ここで、排気パイプ３３の一端は減圧容器４に接続され、他端側は減圧ポンプ３４に接続される。従って、減圧ポンプ３４により減圧容器４内の空気を排出することにより、減圧容器４の内圧を外圧よりも小さくすることができる。すなわち、いわゆる負圧状態を作り出すことができる。
【００３０】
減圧容器４が減圧されることで、溶出液３２は充填剤１４から分析対象成分１９を溶出し、送液部３を構成するキャピラリー３５の下端から流れ出る。このとき、キャピラリー３５に電圧３６を印加すると、分析対象成分１９はイオン化する（エレクトロスプレーイオン化法：以下「ESI法」という。）。このように、この実施の形態におけるイオン源装置は、分析対象成分１９の溶出とイオン化とを同時に実行することができる。すなわち、スループットの高いイオン源装置を実現することができる。
【００３１】
なお、溶出に使用する溶液の種類は、充填剤１４の材質等に応じて変えることが必要である。また、減圧容器４の内部圧力は充填剤１４の種類による。しかし、大気圧に対して最大でも−100ｋＰａ程度に減圧することにより、溶液をスムーズに通すことができる。
【００３２】
因みに、イオン化により生成されたイオン３７は、質量分析装置等のイオン検出部３８において検出される。
【００３３】
（廃棄工程Ｓ８）
溶出・イオン化工程Ｓ７を終えたイオン化プローブ１は、洗浄等を行うことで再度利用することも可能である。しかし、治療薬物モニタリング（TDM）等のように微量な汚染等でも問題となる場合には好ましくない。
【００３４】
そこで、本実施の形態の場合には、搬送ロボット３９を使用してイオン化プローブ１を減圧容器４から排出する。搬送ロボット３９のアーム４０には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持したイオン化プローブを移動前位置（図中、イオン化プローブを点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブを実線で示す位置）に移動する。すなわち、イオン化プローブ１を質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺から移動する。この後、減圧容器４から排出された使用済みのイオン化プローブは廃棄される。すなわち、イオン化プローブ１を使い捨てにする。
【００３５】
この結果、次回分析時における汚染等の影響を最小限に抑えることができる。なお、搬送ロボット３９と搬送ロボット２７は同じものでも良い。
【００３６】
（実施の形態の効果）
本実施の形態のように、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、分析対象成分２１の溶出時に夾雑物成分２１が溶出してキャピラリー３５を目詰まりさせる問題を抑制することができる。しかも、本実施の形態の場合には、従来手法のように、分析対象成分２１の溶出液を送液部３に移し替えるための容器が不要になり、その分、低コスト化を実現することができる。
【００３７】
（Ｂ）実施の形態２
（概略構成）
この実施の形態の場合にも、不要成分を廃棄した後の抽出部２と送液部３を連結してイオン化プローブ１を完成し、このイオン化プローブ１を質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺に移動させる場合について説明する。この点において、本実施の形態と実施の形態１とは共通する。ただし、この実施の形態では、抽出部２の上流を加圧することにより、分析対象成分２１の溶出を促進する方式について説明する。
【００３８】
図３に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図３には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、搬送ロボット２７、加圧器４３を主要部とする。
【００３９】
この実施の形態２の場合、実施の形態１で必要とされていた減圧容器４、排気パイプ３３、減圧ポンプ３４が不要である。なお、この実施の形態の場合も、処理プロセスは実施の形態１と同じである。すなわち、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８についてのみ説明する。
【００４０】
（移動工程Ｓ６）
移動工程Ｓ６では、抽出部２と送液部３を連結したイオン化プローブ１が、イオン源装置内の所定位置に移動される。イオン化プローブ１の移動には、搬送ロボット２７が用いられる。搬送ロボット２７のアーム２８には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持したイオン化プローブ１を移動前位置（図中、イオン化プローブ１を点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブ１を実線で示す位置）に移動する。この場合も、イオン化プローブ１のキャピラリー３５の先端は、イオン検出部３８（例えば質量分析装置）におけるイオン取込み部３１の周辺に位置決めされる。
【００４１】
なお、この実施の形態の場合、減圧容器４が不要であるので、減圧容器４とイオン化プローブ１との気密化処理も不要である。
【００４２】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７で実行される内容も基本的に実施の形態１と同様である。まず、イオン化プローブ１の上部開口側から溶出液３２が注入される。この後、イオン化プローブ１の上部開口に加圧器４３が配置され、抽出部２の上流側（溶出液３２の導入側）を加圧する。すなわち、充填剤１４の上流側と下流側に圧力差を発生させ、分析対象成分１９を含む溶出液３２の液滴を、送液部３を構成するキャピラリー３５の下端側から排出する。
【００４３】
この実施の形態の場合も、溶出液３２には、例えばメタノール、アセトニトリルその他の有機溶媒、水、又はこれらの混合溶液等を使用する。なお、溶出液３２が注入されると、加圧器４３に気体４４が導入され、抽出部２に対する加圧が開始される。因みに、加圧器４３は、例えば圧力ポンプやピストンでも良い。また、加圧器４３は、専ら抽出部２との気密性を高めるのに使用し、加圧自体は加圧した気体４４によって実現しても良い。
【００４４】
抽出部２が加圧されることで、溶出液３２は充填剤１４から分析対象成分１９を溶出し、送液部３を構成するキャピラリー３５の下端から流れ出る。このとき、キャピラリー３５に電圧３６を印加すると、分析対象成分１９はイオン化する（ESI法）。
【００４５】
言うまでもなく、加圧器４３と抽出部２との接続部分又は加圧器４３と送液部３との接続部分は、気密状態が得られるように構成されている必要がある。また、加圧器４３に導入される気体４４は、空気又は窒素等の不活性ガスを使用することが望ましい。なお、加圧圧力は、溶媒の種類に応じて制御することが望ましい。溶媒の種類に応じて加圧圧力を制御することにより、安定した溶液の送液が可能となる。
【００４６】
このように、本実施の形態によれば、分析対象成分１９の溶出とイオン化を同時に行うことができる。すなわち、スループットの高いイオン源を実現できる。なお、溶出に使用する溶液の種類は、充填剤１４の材質等に応じて変えることが必要である。
【００４７】
この後、イオン化により生成されたイオン３７は、質量分析装置等のイオン検出部３８において検出される。
【００４８】
（廃棄工程Ｓ８）
溶出・イオン化工程Ｓ７を終えたイオン化プローブ１は、洗浄等を行うことで再度利用することも可能である。しかし、治療薬物モニタリング（TDM）等のように微量な汚染等でも問題となる場合には好ましくない。
【００４９】
従って、この実施の形態の場合にも、使用後のイオン化プローブ１は、搬送ロボット３９を用いることにより、質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺から排除される。イオン化プローブ１を使い捨てにできるので、次回分析時における汚染等の影響を最小限に抑えることができる。なお、搬送ロボット３９と搬送ロボット２７は同じものでも良い。
【００５０】
（実施の形態の効果）
この実施の形態の場合にも、前述した実施の形態１の場合と同様に、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、充填剤１４の成分等によってキャピラリー３５が詰まる問題を抑制することができる。勿論、本実施の形態の場合にも、溶出液を移し替えるための容器は不要であるので、低コスト化を実現できる。
【００５１】
（Ｃ）実施の形態３
（概略構成）
この実施の形態の場合には、送液部３を構成するキャピラリー３５の外側に沿って気体を流すことにより、イオン化効率を向上させる方式について説明する。同時に、この実施の形態では、キャピラリー３５から排出される分析対象成分を加熱してイオン化効率を向上させる方式についても説明する。
【００５２】
図４に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図４には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、減圧容器４、搬送ロボット２７、ガス噴霧管４１、加熱器４２を主要部とする。この実施の形態の場合、実施の形態１で説明したイオン源装置に対して、ガス噴霧管４１と加熱器４２が追加的に配置される。
【００５３】
ここで、ガス噴霧管４１は、イオン化プローブ１を装着できるように筒形状に加工されており、減圧容器４に対して気密性を保てるように取り付けられている。ここで、ガス噴霧管４１には、イオン化プローブ１を上部開口から落とし込むように装着できるように、イオン化プローブ１よりも一回り大きい空洞（保持部４５）が形成されている。
【００５４】
保持部４５の底部には、キャピラリー３５の周囲を取り囲むように下端側ほど内径が狭まるよう加工された空洞（テーパー部４６）が形成されている。保持部４５の底部は、送液部３を構成するテーパー部２４と気密性を保てるようにテーパー形状に加工されている。また、ガス噴霧管４１の内部には、外部からテーパー部４６の内側に気体４８を導入するための導入管４７が形成されている。
【００５５】
これらの構造により、導入管４７から導入された気体４８は、キャピラリー３５に沿う流れとしてテーパー部４６の先端から外部に射出される。因みに、キャピラリー３５の先端は、テーパー部４６の先端部から少しだけ飛び出すように位置関係が定められている。なお、キャピラリー３５の先端外径は0.1〜1ｍｍに設定する。この実施の形態の場合、先端外径は0.3ｍｍとする。ただし、先端外径の寸法は、キャピラリー３５の想定流量が10μＬ／分〜5ｍＬ／分である場合を想定して定めている。
【００５６】
加熱器４２は、キャピラリー３５から噴出される分析対象成分１９の加熱に使用される。加熱器４２による加熱方式には、加熱ガス吹出方式やランプ加熱方式がある。なお、加熱ガス吹出方式の場合、加熱器の吹き出し口は、キャピラリー３５の流れを妨げないように、分析対象成分１９の流れに対して熱４９が斜めに入射するように配置される。
【００５７】
なお、この実施の形態の場合も、処理プロセスは実施の形態１と同じである。すなわち、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８を順番に実行する。以下では、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８についてのみ説明する。
【００５８】
（移動工程Ｓ６）
移動工程Ｓ６では、抽出部２と送液部３を連結したイオン化プローブ１が、イオン源装置内の所定位置に移動される。イオン化プローブ１の移動には、搬送ロボット２７が用いられる。搬送ロボット２７のアーム２８には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持されたイオン化プローブ１が移動前位置（図中、イオン化プローブ１を点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブ１を実線で示す位置）に移動される。この場合も、イオン化プローブ１のキャピラリー３５の先端は、イオン検出部３８（例えば質量分析装置）におけるイオン取込み部３１の周辺に位置決めされる。なお、移動の際、イオン化プローブ１は、ガス噴霧管４１の内側に形成された保持部４５及びテーパー部４６の内側に気密性を保つように取り付けられる。なお、搬送ロボット２７と連結ロボット２６とは同じものでも良い。
【００５９】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７では、電圧３６の印加と同時に、キャピラリー３５とガス噴霧管４１の先端開口部から窒素その他の不活性ガス又は空気等の気体４８が噴出される。噴出される気体４８によりキャピラリー３５の下端から流れ出る溶液の気化が促進され、分析対象成分１９のイオン化効率を向上することができる。気化の促進は、キャピラリー３５の内部を流れる溶液の流量が大きい場合に特に有効である。この動作と並行して、加熱器４２からは熱４９が噴出される。熱４９は、キャピラリー３５から流れ出た溶液を過熱し、その気化を更に促進する。
【００６０】
（廃棄工程Ｓ８）
溶出・イオン化工程Ｓ７を終えたイオン化プローブ１は、洗浄等を行うことで再度利用することも可能である。しかし、治療薬物モニタリング（TDM）等のように微量な汚染等でも問題となる場合には好ましくない。
【００６１】
そこで、本実施の形態の場合には、搬送ロボット３９を使用してイオン化プローブ１を減圧容器４から排出する。搬送ロボット３７のアーム４０には不図示のホルダが装着されており、ホルダによって把持したイオン化プローブを移動前位置（図中、イオン化プローブを点線で示す位置）から移動後位置（図中、イオン化プローブを実線で示す位置）に移動する。すなわち、イオン化プローブを質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺から移動する。この後、減圧容器４から排出された使用済みのイオン化プローブは廃棄される。これにより、イオン化プローブを使い捨てにすることができる。
【００６２】
この結果、次回分析時における汚染等の影響を最小限に抑えることができる。なお、搬送ロボット３９と搬送ロボット２７は同じものでも良い。
【００６３】
（流量の測定結果）
ここでは、キャピラリー３５の内部を流れる溶液の流量を測定した結果を説明する。図５に、減圧ポンプ３４の一次側圧力を変化させた時における溶液の流量の変化を示す。横軸は減圧ポンプ３４の一次側圧力であり、縦軸は試料の流速である。各プロットは、溶出液３２がメタノールの場合、純水の場合、水とメタノールを１：１で混合した場合に対応する。図５の測定結果を参照し、溶媒の種類に応じて減圧ポンプ３４の排気速度を調節することにより（減圧ポンプ３４の一次側圧力を制御することにより）安定した溶液の送液を実現できる。
【００６４】
（応用例）
この実施の形態においては、充填剤１４の下流を減圧する方式（図１）に対して、キャピラリー３５の外側面に沿う気体４８の流れを生成する方式とキャピラリー３５の下流を加熱する方式を組み合わせる場合について説明した。しかし、キャピラリー３５の外側面に沿う気体４８の流れを生成する方式とキャピラリー３５の下流を加熱する方式は、実施の形態２（図３）に対して組み合わせることもできる。また、キャピラリー３５の外側面に沿う気体４８の流れを生成する方式とキャピラリー３５の下流を加熱する方式のいずれか一方だけを使用することもできる。
【００６５】
（実施の形態の効果）
この実施の形態の場合にも、前述した実施の形態１の場合と同様に、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、充填剤１４の成分等によってキャピラリー３５が詰まる問題を抑制することができる。勿論、本実施の形態の場合にも、溶出液を移し替えるための容器は不要であるので、低コスト化を実現できる。
【００６６】
（Ｄ）実施の形態４
（概略構成）
この実施の形態では、送液部３を構成するキャピラリー３５の他の構成例について説明する。図６に、送液部３の構成例を示す。送液部３はキャピラリー３５とテーパー部２４で構成される。この実施の形態の場合、キャピラリー３５は金属製であり、テーパー部２４は樹脂製である。この実施の形態では、金属製のキャピラリー３５に電圧を印加し、溶液をイオン化する。以下では、図７に従って移動工程Ｓ６と溶出・イオン化工程Ｓ７の各工程について説明する。なお、図７は、実施の形態３の装置構成を前提に表している。すなわち、減圧容器４にガス噴霧管４１が取り付けられている装置構成を前提とする。
【００６７】
（搬送工程Ｓ６）
図７の搬送工程Ｓ６には、質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺に送液部３が既に移動された状態を示している。この実施の形態の場合、ガス噴霧管４１には、外壁からテーパー部４６に達する孔が形成されており、この孔に対して自在にスライドできるようにスライド電極５１が取り付けられている。なお、スライド電極５１の出し入れは不図示の駆動部によって実行される。また、スライド電極５１の出し入れは不図示の制御部（マイクロプロセッサ等）により制御される。搬送工程Ｓ６の終了時、図７に示すように、スライド電極５１の先端部分はガス噴霧管４１の内壁内に格納されている。
【００６８】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７を開始する際、スライド電極５１は、不図示の駆動部によりガス噴霧管４１の内壁側からテーパー部４６に突き出すように移動される。このとき、スライド電極５１は、その先端がキャピラリー３５の表面に接触するまでスライドされる。
【００６９】
同時に、充填剤１４の上流側と下流側との間に圧力差が発生され、分析対象成分１９を含む溶出液３２が送液部３のキャピラリー３５の下端から流れ出す。同時に、キャピラリー３５には、スライド電極５１を通じて電圧３６が印加される。この電圧の印加によって、キャピラリー３５の先端から流れ出した溶出液３２はイオン化する。このとき、ガス噴霧管４１の電位は、キャピラリー３５と同電位に制御しても良い。
【００７０】
やがて、イオン化が終了すると、イオン化プローブ１を廃棄できるように、スライド電極５１は、再びガス噴霧管４１の内壁内に収容される。このように、スライド電極５１を動作の進行に連動して出し入れするのは、キャピラリー３５の破損を避けるためである。例えばイオン化プローブ１の装着前からスライド電極５１がガス噴霧管４１の内壁から突き出ている場合、非常に細い径を有するキャピラリー３５がスライド電極５１と接触又は衝突することで曲がったり、折れたりする可能性がある。
【００７１】
（応用例）
この実施の形態の場合にも、減圧により溶出液３２をイオン化プローブ１から流出させる方式のイオン源装置と組み合わせる場合を説明したが、加圧によって溶出液３２をイオン化プローブ１から流出させる方式のイオン源装置にも応用することができる。また、前述した実施の形態の場合には、ガス噴霧管４１が存在するイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を有しないイオン源装置にも応用することができる。
【００７２】
また、前述した実施の形態の場合には、イオン化プローブ１がガス噴霧管４１に装着された後に、スライド電極５１のスライド動作が開始される場合について説明した。しかし、イオン化プローブ１のガス噴霧管４１への装着に伴う位置に応じてスライド電極５１を出し入れする駆動部を用いても良い。例えばバネ機構とリンク機構を組み合わせた駆動部を用いても良い。この場合、イオン化プローブ１の装着に伴う下方移動に連動してリンク機構がスライド電極５１をテーパー部４６から突出するように押し出し、イオン化プローブ１の取り外しが開始されるとバネ機構の復元力によってスライド電極５１をテーパー部４６から退避させるように動作させても良い。
【００７３】
（実施の形態の効果）
この実施の形態の場合にも、前述した実施の形態１の場合と同様に、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、充填剤１４の成分等によってキャピラリー３５が詰まる問題を抑制することができる。勿論、本実施の形態の場合にも、溶出液を移し替えるための容器は不要であるので、低コスト化を実現できる。
【００７４】
（Ｅ）実施の形態５
（概略構成）
この実施の形態では、スライド電極５１を用いることなく、キャピラリー３５に電圧を印加する方式について説明する。この実施の形態にて使用する送液部３の基本構造は、図６に示した構造とほぼ同じである。すなわち、送液部３は、キャピラリー３５とテーパー部２４で構成される。ただし、キャピラリー３５とテーパー部２４は共に金属製であるものとする。
【００７５】
図８に、実施の形態に係るイオン源装置の構成例を示す。なお、図８は、イオン源装置における移動工程Ｓ６が完了した時点の状態を示している。図に示すように、このイオン源装置は、減圧方式とガス噴霧管４１の組み合わせ構造により構成される。
【００７６】
本実施の形態の場合、前述したようにテーパー部２４は金属製である。また、ガス噴霧管４１も金属製である。従って、イオン化プローブ１がガス噴霧管４１に装着されてテーパー部２４とガス噴霧管４１が気密状態（接触状態）になると、キャピラリー３５とガス噴霧管４５とは同電位になる。このため、ガス噴霧管４１に対して電圧３６を印加すると、キャピラリー３５に対しても電圧３６を供給することができる。
【００７７】
この構造を採用すると、図７の場合のように、スライド電極５１をキャピラリー３５と接触させる必要がない。すなわち、スライド電極５１の駆動機構も無くすことができる。その分、この実施の形態の場合には、実施の形態４に比して構造を簡単にすることができる。また、電圧３６の印加は、送液部３のテーパー部２４を通じて行われるため、機械的接触に伴うキャピラリー３５の破損のおそれを無くすことができる。
【００７８】
（応用例）
この実施の形態の場合にも、減圧により溶出液３２をイオン化プローブ１から流出させる方式のイオン源装置と組み合わせる場合を説明したが、加圧によって溶出液３２をイオン化プローブ１から流出させる方式のイオン源装置にも応用することができる。また、前述した実施の形態の場合には、ガス噴霧管４１が存在するイオン源装置を例示しているが、テーパー部２４と接触する導電性の部材に電圧３６を印加することができれば、ガス噴霧管４１を有しないイオン源装置にも応用することができる。
【００７９】
（実施の形態の効果）
この実施の形態の場合にも、前述した実施の形態１の場合と同様に、洗浄工程Ｓ４の実行後に連結工程Ｓ５を配置し、抽出部２と送液部３を相互に連結することにより、充填剤１４の成分等によってキャピラリー３５が詰まる問題を抑制することができる。勿論、本実施の形態の場合にも、溶出液を移し替えるための容器は不要であるので、低コスト化を実現できる。
【００８０】
（Ｆ）実施の形態６
この実施の形態では、実施の形態５の変形例を説明する。すなわち、スライド電極５１を使用しない実施の形態について説明する。実施の形態５の場合には、キャピラリー３５とテーパー部２４が共に金属製の場合について説明した。しかし、実施の形態５と同じ動作は、テーパー部２４を導電性樹脂製とすることによっても実現できる。
【００８１】
（Ｇ）実施の形態７
この実施の形態にも、スライド電極５１を使用しない実施の形態について説明する。図９に、この実施の形態で使用する送液部３の構造例を示す。この実施の形態の場合、送液部３を構成するキャピラリー３５とテーパー部２４を共に導電性樹脂で構成する。なお、キャピラリー３５とテーパー部２４は一体構成でも良いし、別部材を結合しても良い。この実施の形態の場合にも、実施の形態５と同様の効果を実現できる。
【００８２】
（Ｈ）実施の形態８
この実施の形態にも、スライド電極５１を使用しない実施の形態について説明する。図１０に、この実施の形態で使用する送液部３の構造例を示す。この実施の形態の場合、送液部３を構成するキャピラリー３５を金属製、テーパー部２４を樹脂製とする。ただし、テーパー部２４の表面全体を導電層５２で被覆する。導電層５２の少なくとも一部はキャピラリー３５と電気的に結合されているものとする。なお、テーパー部２４を保持するガス噴霧管４１等と導電層５２とキャピラリー３５との間に電気的な経路が形成されていれば、導電層５２は必ずしもテーパー部２４の表面全体を覆うように形成されていなくても良い。この実施の形態の場合にも、実施の形態５と同様の効果を実現できる。
【００８３】
（Ｉ）実施の形態９
この実施の形態にも、スライド電極５１を使用しない実施の形態について説明する。図１１に、この実施の形態で使用する送液部３の構造例を示す。この実施の形態の場合、送液部３を構成するキャピラリー３５とテーパー部２４が共に樹脂製であるものとする。ただし、その表面全体を導電層５２で被覆する。導電層５２が基体の表面全体を覆うことにより、実施の形態５と同様の効果を得ることができる。
【００８４】
（Ｊ）実施の形態１０
（概略構成）
この実施の形態では、溶出液３２を安定的に送液できるように、減圧容器４の圧力をモニタし、減圧ポンプ３４の排気速度を制御する方式について説明する。
【００８５】
図１２に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１２には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、減圧容器４、不図示の搬送ロボット２７、排気パイプ３３、減圧ポンプ３４、圧力計５３を主要部とする。
【００８６】
この実施の形態の場合、実施の形態１で説明したイオン源装置の減圧容器４に圧力計５３が追加的に配置される。
【００８７】
この実施の形態の場合も、実施の形態１と同様に、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【００８８】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
この実施の形態の場合、圧力計５３は、減圧容器４内の圧力を測定し、測定結果を減圧ポンプ３４にフィードバックする。すなわち、測定された圧力の変動に応じて減圧ポンプ３４の排気速度を制御する。減圧ポンプ３４の排気速度の調節は、バルブにより制御する方法、減圧ポンプ３４を駆動する電圧の出力値を調節する方法等がある。この圧力調整により、安定した溶出液３２の送液が可能となる。
【００８９】
なお、図１２の場合には、ガス噴霧管４１を用いないイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を用いるイオン源装置の場合にも、圧力計５３を配置することによって同様の効果を実現できる。また、この実施形態の仕組みを、実施の形態４〜９で説明した送液部３と組み合わせることも可能である。
【００９０】
（Ｋ）実施の形態１１
（概略構成）
この実施の形態では、溶出液３２を安定的に送液できるように、加圧器４３の圧力をモニタし、加圧圧力を制御する方式について説明する。
【００９１】
図１３に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１３には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、搬送ロボット２７、加圧器４３、圧力計５４を主要部とする。
【００９２】
この実施の形態の場合も、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【００９３】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
この実施の形態の場合、圧力計５４は、加圧器４３の圧力を測定し、測定結果を気体４４の導入量又は圧力の調整にフィードバックする。すなわち、測定された圧力の変動に応じて加圧器４３に導入する気体４４の導入量又は圧力を制御する。なお、圧力は、例えば圧力弁の調整によって実現することができる。この圧力調整により、安定した溶出液３２の送液が可能となる。
【００９４】
なお、図１３の場合には、ガス噴霧管４１を用いないイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を用いるイオン源装置の場合にも、圧力計５３を配置することによって同様の効果を実現できる。また、この実施形態の仕組みを、実施の形態４〜９で説明した送液部３と組み合わせることも可能である。
【００９５】
（Ｌ）実施の形態１２
この実施の形態では、溶出液３２を安定的に送液できるように、抽出部２に注入した溶液３２の液面を液面センサでモニタし、減圧ポンプ３４の減圧圧力を制御する方式について説明する。
【００９６】
図１４に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１４には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、搬送ロボット２７、排気パイプ３３、減圧ポンプ３４、液面センサ５６を主要部とする。
【００９７】
この実施の形態の場合も、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【００９８】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
この実施の形態の場合、抽出部２に注入された溶出液３２の液面５５の低下状態を液面センサ５６でモニタし、その低下速度の変動に応じて減圧ポンプ３４の排気速度を制御する。すなわち、低下速度が一定になるように、減圧ポンプ３４の排気速度を制御する。なお、この実施の形態の前提として、液面センサ５６によって抽出部２の液面の高さを直接又は間接的に計測できることが必要である。図１４は、液面センサ５６を抽出部２の側面に配置し、透過的に液面５５の位置を測定する例を表している。なお、液面５５の高さを抽出部２の上方位置から測定する液面センサ５６を用いることもできる。
【００９９】
以上の圧力調整により、安定した溶出液３２の送液が可能となる。なお、図１４の場合には、ガス噴霧管４１を用いないイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を用いるイオン源装置の場合にも、圧力計５３を配置することによって同様の効果を実現できる。また、実施の形態４〜９で説明した送液部３と組み合わせも可能である。
【０１００】
（Ｍ）実施の形態１３
この実施の形態では、実施の形態１２の変形例を説明する。この実施の形態の場合、抽出部２に注入した溶液３２の液面を液面センサでモニタし、加圧器４３の加圧圧力を制御する方式について説明する。
【０１０１】
図１５に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１５には図１との対応部分に同一符号を付して示す。この実施の形態におけるイオン源装置は、イオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）、搬送ロボット２７、加圧器４３、液面センサ５６を主要部とする。
【０１０２】
この実施の形態の場合も、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【０１０３】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
この実施の形態の場合、抽出部２に注入された溶出液３２の液面５５の低下状態を液面センサ５６でモニタし、その低下速度の変動に応じて加圧器４３に導入する気体４４の導入量又は圧力を調節する。この調節により、安定した溶出液３２の送液が可能となる。
【０１０４】
なお、図１５の場合には、ガス噴霧管４１を用いないイオン源装置を例示しているが、ガス噴霧管４１を用いるイオン源装置の場合にも、圧力計５３を配置することによって同様の効果を実現できる。また、実施の形態４〜９で説明した送液部３と組み合わせも可能である。
【０１０５】
（Ｎ）実施の形態１４
（概略構成）
この実施の形態の場合には、定量分析を実現するために、抽出部２に試料溶液２０を注入する際に、内部標準物質６１も注入する方式について説明する。
【０１０６】
図１６に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。なお、図１６には図１との対応部分に同一符号を付して示す。ただし、説明を簡便なものにするために、図１６では抽出部２と送液部３のみを記す。
【０１０７】
実施の形態１の場合と同様、この実施の形態の場合も、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【０１０８】
（吸着工程Ｓ３）
吸着工程Ｓ３では、試料溶液２０と一緒に内部標準物質６１も抽出部２に注入される。内部標準物質６１には、分析対象成分１９の一部の元素（炭素や水素）を同位体置換したもの等が用いられる。吸着工程Ｓ３により、分析対象成分１９と夾雑物成分２１を含む試料成分１７と一緒に、内部標準物質成分６２が充填剤１４に吸着される。
【０１０９】
（洗浄工程Ｓ４）
洗浄工程Ｓ４では、洗浄溶液２２を抽出部２に注入することにより、夾雑物成分２１を廃棄する。内部標準物質成分６２は、分析対象成分１９と非常に類似した組成を持つため、分析対象成分１９と一緒に充填剤１４に吸着されたままで廃棄されない。
【０１１０】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
溶出・イオン化工程Ｓ７では、溶出液３２を抽出部２に注入し、溶出とイオン化を同時に実行する。この際、分析対象成分１９のイオン３７と、内部標準物質成分６２のイオン６３とが同時に生成され検出される。
【０１１１】
予め濃度が知られている内部標準物質成分６２のイオン６３と、分析対象成分１９のイオン３７の検出される強度を比較することにより、試料溶液２０に含まれる分析対象成分１９を定量することが可能となる。
【０１１２】
（応用例）
前述の形態例の場合には、試料溶液２０と内部標準物質６１をそれぞれ別々に抽出部２に注入しているが、予め試料溶液２０と内部標準物質６１を混合した溶液を抽出部２に注入しても良い。なお、この実施の形態は、前述した実施の形態１〜１３と組み合わせることもできる。
【０１１３】
（Ｏ）実施の形態１５
（概略構成）
この実施の形態では、更なる高スループット分析の実現のため、複数個のイオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）が、質量分析装置等のイオン取込み部３１の周辺に配置される方式について説明する。
【０１１４】
図１７に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。図１７では、説明を簡便なものにするために、抽出部２と送液部３の部分のみを記す。勿論、個々のイオン化プローブ１について、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８を順番に実行する。
【０１１５】
この実施の形態の場合、２組のイオン化プローブ１がイオン源装置に取り付け可能であるので、移動工程Ｓ６や溶出・イオン化工程Ｓ７を終えたイオン化プローブ１を廃棄している期間を利用して、他の一方のイオン化プローブ１によりイオン化を実行することができる。この場合、時間的な損失を低減することができる。このため、高スループット分析を実現できる。
【０１１６】
勿論、イオン源装置に対して３組以上のイオン化プローブ１を取り付け可能にすれば、更なるスループットを高めることができる。
【０１１７】
（応用例）
図１７の場合には、加圧器４３に気体４４を導入することにより溶出液３２の溶出を行う加圧方式について例示しているが、減圧方式を採用するイオン源装置にも同様に実現可能である。ただし、減圧方式の場合には、移動工程Ｓ６等において、１つでもイオン化プローブ１が減圧容器４に取り付けられていない場合には減圧を行うことができない。そのため、移動工程Ｓ６等の間に、イオン化プローブ１の取り付け場所の穴を塞ぐ機構などが必要となる。また、この実施の形態は、前述した実施の形態１〜１４のいずれとも組み合わせることもできる。
【０１１８】
（Ｐ）実施の形態１６
（概略構成）
この実施の形態では、抽出部の開口部に可撓性の配管を接続し、配管を接続した状態のままイオン化プロセスを進行する方式について説明する。
【０１１９】
図１８に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。図１８では、説明を簡便なものにするために、抽出部２と送液部３と配管６５の部分のみを記す。なお、配管５７は可撓性を有する樹脂製であるものとする。この配管５７は、抽出部２と配管６５を結合した状態のまま自在に移動可能であるものを使用する。なお、この実施の形態に係るイオン源装置は、前述した実施の形態１〜１５のいずれとも組み合わせ可能であるが、溶出液３２の溶出に加圧方式を採用する場合、配管６５は耐圧性に優れるものであることが望ましい。
【０１２０】
勿論、この実施の形態の場合も、個々のイオン化プローブ１に対し、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、移動工程Ｓ６、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８が順番に実行される。以下では、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、連結工程Ｓ５、溶出・イオン化工程Ｓ７についてのみ説明する。
【０１２１】
（吸着工程Ｓ３）
吸着工程Ｓ３では、配管６５を介して試料溶液２０が抽出部２に導入される。なお、配管６５と抽出部２は結合されている。この吸着工程Ｓ３で、分析対象成分１９と夾雑物成分２１を含む試料成分１７が充填剤１４に吸着される。
【０１２２】
（洗浄工程Ｓ４）
洗浄工程Ｓ４では、配管６５を介して溶媒６６が抽出部２に導入される。充填材１４に吸着されていた夾雑物成分２１は、溶媒６６と共に廃棄される。従って、洗浄が完了した時点で、充填剤１４には分析対象成分１９のみが吸着されている。
【０１２３】
（連結工程Ｓ５）
連結工程Ｓ５では、夾雑物成分２１が廃棄された後の抽出部２と送液部３とが連結され、イオン化プローブ１が完成される。抽出部２と送液部３とは気密状態が得られるように連結される必要がある。連結方法の詳細については、実施の形態１で説明した通りである。
【０１２４】
（溶出・イオン化工程Ｓ７）
イオン化プローブ１が所定位置に搬送されると、溶出・イオン化工程Ｓ７が開始される。溶出・イオン化工程Ｓ７では、配管６５を介してイオン化プローブ１（抽出部２、送液部３）に溶媒６７が導入される。導入された溶媒６７により、抽出部２に吸着されていた分析対象成分１９は溶出され、送液部３を構成するキャピラリー３５の下端から流れ出される。このとき、キャピラリー３５に電圧３６を印加すると、分析対象成分１９はイオン化する（ESI法）。イオン化されたイオン３７は、質量分析装置等のイオン検出部３８により検出される。
【０１２５】
（Ｑ）実施の形態１７
前述した実施の形態１〜実施の形態１６の場合には、いずれも抽出部２と送液部３を連結してイオン化プローブ１を組み立てた後に、質量分析装置等のイオンの取込み部の周辺に移動させ、分析対象成分１９の溶出とイオン化を実行する駆動方法について説明した。
【０１２６】
この実施の形態では、最初に、送液部３のみを質量分析装置等のイオンの取込み部の周辺に移動させて位置決めし、次に、分析対象成分１９のみを吸着させた抽出部２を送液部３と連結させてイオン化プローブ１を完成させる方式について説明する。
【０１２７】
図１９に、本方式を採用したイオン源装置の構成と動作を模式的に示す。この実施の形態に係るイオン源装置は、実施の形態１と同様の装置構成を有しているものとする。なお、この実施の形態では、洗浄工程Ｓ１、平衡化工程Ｓ２、吸着工程Ｓ３、洗浄工程Ｓ４、移動工程Ｓ６、連結工程Ｓ５、溶出・イオン化工程Ｓ７、廃棄工程Ｓ８の順番にプロセスが進行するものとする。すなわち、移動工程Ｓ６と連結工程Ｓ５の順番が、他の実施の形態とは入れ替わっている。図１９では、この実施の形態に特有である移動工程Ｓ６と連結工程Ｓ５のみを示している。
【０１２８】
（移動工程Ｓ６）
移動工程Ｓ６では、送液部３のみが、搬送ロボット６８で駆動されるアーム６９により、質量分析装置等のイオン検出部３８の周辺に移動される。次に、アーム６９は、元の位置に戻り、洗浄工程Ｓ４で夾雑物成分２１が廃棄された後の抽出部２を掴み、先に移動されている送液部３の付近に移動する。なお、この搬送ロボット６８及びアーム６９は、前述した搬送ロボット２７及びアーム２８と同じでも良い。
【０１２９】
（連結工程Ｓ５）
連結工程Ｓ５においては、抽出部２と送液部３が連結ロボット２６を用いて気密性が得られるように連結される。この実施の形態の場合、減圧容器４内で抽出部２と送液部３が連結される。なお、連結ロボット２６も、搬送ロボット２７又は２８と同じものでも良い。
【０１３０】
（応用例）
この実施の形態の場合にも、溶出・イオン化工程Ｓ７を終えた後の抽出部２と送液部３をそれぞれ洗浄して再度利用することもできる。しかし、治療薬物モニタリング（TDM）等のように微量の汚染でも問題となる場合には、再利用すること無く排気することが望ましい。イオン化プローブ１を使い捨てとすることで、次回の分析に汚染の影響が及ぶのを最小限に抑えることができる。
【０１３１】
なお、この組み立て方法は、前述した実施の形態１〜実施の形態１６で説明した方式においても、容易に対応することができる。
【０１３２】
（Ｒ）他の形態例
前述した実施の形態では、分析対象成分の溶出に使用する溶媒の種類に応じて圧力差の条件を制御する場合について言及したが、抽出部２の内部構造に固有の溶液の流れ度合いの情報（コンダクタンス）に基づいて圧力差の条件を制御しても良い。
【０１３３】
前述した実施の形態１〜実施の形態１７では、いずれもエレクトロスプレーイオン化法（ESI）に対応するイオン源装置について説明した。しかし、本発明に係るイオン化プローブ１は、大気圧化学イオン化法（APCI）やDARTイオン化法（Direct Analysis in Real Time）等の様々なイオン化方式に使用する試料溶液供給部として使用しても良い。
【符号の説明】
【０１３４】
１…イオン化プローブ、２…抽出部、３…送液部、４…減圧容器、１４…充填剤、１５…フリット、１６…洗浄溶液、１７…試料成分、１８…平衡化溶液、１９…分析対象成分、２０…試料溶液、２１…夾雑物成分、２２…洗浄溶液、２３…テーパー部、２４…テーパー部、２５…気密箇所、２６…連結ロボット、２７…搬送ロボット、２８…アーム、３１…イオン取込み部、３２…溶出液、３３…排気パイプ、３４…減圧ポンプ、３５…キャピラリー、３６…電圧、３７…イオン、３８…イオン検出部、３９…搬送ロボット、４０…アーム、４１…ガス噴霧管、４２…加熱器、４３…加圧器、４４…気体、４５…保持部、４６…テーパー部、４７…導入管、４８…気体、４９…熱、５１…スライド電極、５２…導電層、５３…圧力計、５４…圧力計、５５…液面、５６…液面センサ、６１…内部標準物質、６２…内部標準物質成分、６３…イオン、６５…配管、６６…溶媒、６７…溶媒、６８…搬送ロボット、６９…アーム。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャピラリーの先端から排出される溶液をイオン化するイオン源装置において、
試料成分に含まれる分析対象成分と共に吸着された夾雑物成分を充填剤から予め溶出して廃棄した抽出部を送液部に連結して形成したイオン化プローブから前記分析対象成分の溶液を溶出させながら同時にイオン化する
ことを特徴とするイオン源装置。
【請求項２】
前記イオン化プローブの下流側の圧力と前記イオン化プローブの上流部の圧力差を利用して、前記イオン化プローブを構成するキャピラリー内の溶液をイオン化する領域に送る
ことを特徴とする請求項１に記載のイオン源装置。
【請求項３】
前記分析対象成分の溶液のイオン化が終了する度、使用されたイオン化プローブを廃棄する搬送機構を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のイオン源装置。
【請求項４】
連結部分に気密状態が得られるように前記抽出部と前記送液部を連結する組立機構を有する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項５】
前記抽出部及び前記送液部のいずれか一方又は両方は、前記抽出部と前記送液部が相互に連結される部位がテーパー形状に形成されている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項６】
前記キャピラリーの外側面に沿った気体の流れを形成する管を有する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項７】
前記送液部は、金属、樹脂、又は金属と樹脂の複合構造により構成される
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項８】
前記送液部の少なくとも一部が導電性樹脂で構成される
ことを特徴とする請求項７に記載のイオン源装置。
【請求項９】
前記送液部のうち樹脂で構成された部分の表面が導電性の層で被覆されている
ことを特徴とする請求項７に記載のイオン源装置。
【請求項１０】
前記分析対象成分の溶出に使用する溶媒の種類に応じ、前記圧力差の条件を制御する
ことを特徴とする請求項２に記載のイオン源装置。
【請求項１１】
前記抽出部について予め取得された前記分析対象成分の溶出性能に応じ、前記圧力差の条件を制御する
ことを特徴とする請求項２に記載のイオン源装置。
【請求項１２】
前記キャピラリーの下流部分を加熱する加熱部
を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項１３】
前記イオン化プローブの下流側の圧力又は前記イオン化プローブの上流部の圧力を測定する圧力計を有し、
測定された圧力の変動に応じて前記圧力差を制御する請求項２に記載のイオン源装置。
【請求項１４】
前記抽出部に注入された溶液の液面の高さを検知する液面検知部を有し、
前記液面検知部で検知された液面の低下速度の変動に応じ、前記圧力差を制御する
ことを特徴とする請求項２に記載のイオン源装置。
【請求項１５】
試料溶液に含まれる成分を前記充填剤に吸着させる際に前記抽出部に内部標準物質も吸着させておき、前記充填剤から前記分析対象成分の溶液を溶出させてイオン化する際には、前記試料溶液に含まれる成分と前記内部標準物質を同時に溶出させる
ことを特徴とする請求項１に記載のイオン源装置。
【請求項１６】
複数個の前記イオン化プローブを配置する
ことを特徴とする請求項１に記載のイオン源装置。
【請求項１７】
抽出部の充填剤に、試料成分に含まれる分析対象成分と夾雑物成分を吸着させる工程と、
前記充填剤から前記夾雑物成分を溶出させて廃棄する工程と、
前記夾雑物成分を溶出して廃棄した後の抽出部を、キャピラリーを有する送液部に連結してイオン化プローブを組み立てる工程と
を有することを特徴とするイオン化プローブの製造方法。
【請求項１８】
抽出部の充填剤に、試料成分に含まれる分析対象成分と夾雑物成分を吸着させる工程と、
前記充填剤から前記夾雑物成分を溶出させて廃棄する工程と、
前記夾雑物成分を溶出して廃棄した後の抽出部を、キャピラリーを有する送液部に連結してイオン化プローブを組み立てる工程と、
前記イオン化プローブにおける前記充填剤から前記分析対象成分の溶液を溶出させながら同時にイオン化する工程と
を有することを特徴とするイオン源装置の駆動方法。
【請求項１】
キャピラリーの先端から排出される溶液をイオン化するイオン源装置において、
試料成分に含まれる分析対象成分と共に吸着された夾雑物成分を充填剤から予め溶出して廃棄した抽出部を送液部に連結して形成したイオン化プローブから前記分析対象成分の溶液を溶出させながら同時にイオン化する
ことを特徴とするイオン源装置。
【請求項２】
前記イオン化プローブの下流側の圧力と前記イオン化プローブの上流部の圧力差を利用して、前記イオン化プローブを構成するキャピラリー内の溶液をイオン化する領域に送る
ことを特徴とする請求項１に記載のイオン源装置。
【請求項３】
前記分析対象成分の溶液のイオン化が終了する度、使用されたイオン化プローブを廃棄する搬送機構を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のイオン源装置。
【請求項４】
連結部分に気密状態が得られるように前記抽出部と前記送液部を連結する組立機構を有する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項５】
前記抽出部及び前記送液部のいずれか一方又は両方は、前記抽出部と前記送液部が相互に連結される部位がテーパー形状に形成されている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項６】
前記キャピラリーの外側面に沿った気体の流れを形成する管を有する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項７】
前記送液部は、金属、樹脂、又は金属と樹脂の複合構造により構成される
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項８】
前記送液部の少なくとも一部が導電性樹脂で構成される
ことを特徴とする請求項７に記載のイオン源装置。
【請求項９】
前記送液部のうち樹脂で構成された部分の表面が導電性の層で被覆されている
ことを特徴とする請求項７に記載のイオン源装置。
【請求項１０】
前記分析対象成分の溶出に使用する溶媒の種類に応じ、前記圧力差の条件を制御する
ことを特徴とする請求項２に記載のイオン源装置。
【請求項１１】
前記抽出部について予め取得された前記分析対象成分の溶出性能に応じ、前記圧力差の条件を制御する
ことを特徴とする請求項２に記載のイオン源装置。
【請求項１２】
前記キャピラリーの下流部分を加熱する加熱部
を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のイオン源装置。
【請求項１３】
前記イオン化プローブの下流側の圧力又は前記イオン化プローブの上流部の圧力を測定する圧力計を有し、
測定された圧力の変動に応じて前記圧力差を制御する請求項２に記載のイオン源装置。
【請求項１４】
前記抽出部に注入された溶液の液面の高さを検知する液面検知部を有し、
前記液面検知部で検知された液面の低下速度の変動に応じ、前記圧力差を制御する
ことを特徴とする請求項２に記載のイオン源装置。
【請求項１５】
試料溶液に含まれる成分を前記充填剤に吸着させる際に前記抽出部に内部標準物質も吸着させておき、前記充填剤から前記分析対象成分の溶液を溶出させてイオン化する際には、前記試料溶液に含まれる成分と前記内部標準物質を同時に溶出させる
ことを特徴とする請求項１に記載のイオン源装置。
【請求項１６】
複数個の前記イオン化プローブを配置する
ことを特徴とする請求項１に記載のイオン源装置。
【請求項１７】
抽出部の充填剤に、試料成分に含まれる分析対象成分と夾雑物成分を吸着させる工程と、
前記充填剤から前記夾雑物成分を溶出させて廃棄する工程と、
前記夾雑物成分を溶出して廃棄した後の抽出部を、キャピラリーを有する送液部に連結してイオン化プローブを組み立てる工程と
を有することを特徴とするイオン化プローブの製造方法。
【請求項１８】
抽出部の充填剤に、試料成分に含まれる分析対象成分と夾雑物成分を吸着させる工程と、
前記充填剤から前記夾雑物成分を溶出させて廃棄する工程と、
前記夾雑物成分を溶出して廃棄した後の抽出部を、キャピラリーを有する送液部に連結してイオン化プローブを組み立てる工程と、
前記イオン化プローブにおける前記充填剤から前記分析対象成分の溶液を溶出させながら同時にイオン化する工程と
を有することを特徴とするイオン源装置の駆動方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【公開番号】特開２０１１−７６９０（Ｐ２０１１−７６９０Ａ）
【公開日】平成２３年１月１３日（２０１１．１．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１５２７２１（Ｐ２００９−１５２７２１）
【出願日】平成２１年６月２６日（２００９．６．２６）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１月１３日（２０１１．１．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年６月２６日（２００９．６．２６）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]