ガラス板のエッジの処理方法
【課題】ガラス板のエッジ形状に一貫性のある薄いガラス板のエッジの面取り方法を提供する。
【解決手段】一部分が支持治具１６から距離Ｌだけ突出させたガラス板１４を支持治具１６に結合し、ガラス板１４の第１面３２に対して傾斜した第１軸線２８ａの周りで回転する第１の研磨ホイール１８ａを、突出部分に第１の変位を生じさせる第１の力Ｆ１をもって第１エッジに接触させ、ガラス板１４の第２面３４に対して傾斜し第２軸線２８ｂの周りで回転する第２の研磨ホイール１８ｂを、突出部分に第１の変位とは反対方向の第２の変位を生じさせる第２の力Ｆ２をもって第２エッジに接触させる。その場合に、第１の変位と第２の変位とがオーバーラップしないように、第１軸線２８ａと第２軸線２８ｂを離す。
【解決手段】一部分が支持治具１６から距離Ｌだけ突出させたガラス板１４を支持治具１６に結合し、ガラス板１４の第１面３２に対して傾斜した第１軸線２８ａの周りで回転する第１の研磨ホイール１８ａを、突出部分に第１の変位を生じさせる第１の力Ｆ１をもって第１エッジに接触させ、ガラス板１４の第２面３４に対して傾斜し第２軸線２８ｂの周りで回転する第２の研磨ホイール１８ｂを、突出部分に第１の変位とは反対方向の第２の変位を生じさせる第２の力Ｆ２をもって第２エッジに接触させる。その場合に、第１の変位と第２の変位とがオーバーラップしないように、第１軸線２８ａと第２軸線２８ｂを離す。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の処理方法に関し、特にこのガラス板のエッジの整形方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板の製造は、原材料を溶かして溶融ガラスを形成し、この溶融ガラスをシートまたは板に成形し、最後にこの板を、購入者またはユーザーの要望を満たす最終的な形状に処理するという三つの主要な工程を含む。薄いガラス板の成形方法は、溶融ガラスが上面開放パイプに供給される、オーバーフロー・ダウンドロー法、すなわちフュージョン法を含む。上記溶融ガラスは上記パイプをオーバーフローし、かつこのパイプの外表面を形成する収斂する両面を流れ下る。２条の流れは上記パイプの底縁において再会し、すなわち融合して、薄い帯状ガラスを形成する。別の方法は、溶融ガラスが通常錫の浴槽上に浮遊される、よく知られたフロート法、アップドロー法、スロットドロー法などを含む。一般に、これらの方法の全てにおいて、個々のガラス板を親シートから分離し、かつこれらのガラス板を裁断作業により所定の寸法にし、かつガラスのエッジ処理を行なって、その後の取扱い作業のためにガラス板を強化している。個々のガラス板は、個々のガラスが親シートから裁断されるときに形成される可能性のある傷を取り除くとともに、取扱い時に傷つき易い鋭利なエッジを除去するというエッジ処理を施される。
【０００３】
薄いガラス板のエッジ処理は一般に、溝つき研削ホイールを用いて行なわれている。これらの溝は、溝の鏡像形状をガラス上に形成する。このエッジ処理工程は、ブラウン(Brown)等の特許文献１および２に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６,６８５,５４１号明細書
【特許文献２】米国特許第６,３２５,７０４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電子ディスプレー産業（コンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ等）の大きな影響により、より薄いガラス板の需要が増大するのにつれて、研削ホイールを用いて一貫性のあるエッジ形状を形成するのが益々困難になって来ている。すなわち、
・研削ホイールの輪郭が使用に伴って歪んできて、ガラス板のエッジ形状に一貫性がなくなる。
・研削ホイールにより利用される表面積が溝に限定されるので、材料利用率が悪く、コスト高になる。
・実際にガラスに接触するのは研削ホイールの比較的狭い表面積のため、より粗い研削粒子を用いる必要があり、最終的にガラスシート表面の仕上げ状態の質が低下する。
・研削時に削り屑を逃すギャップがガラスと研削ホイールとの間に存在しないため、研削ホイールがガラス粉によって目詰まりするにつれて、ガラス板に欠陥が生じる可能性が増大する。
・小さいきつい半径が要求される場合に、ホイール輪郭を作製するのが困難である。研削ホイールは一般に放電加工（ＥＤＭ）を用いて作製される。この工具は使用に伴って急速に摩耗することが多く、得られた溝の底に望ましくない鈍い輪郭が形成される。
・上記エッジ処理は、ガラス板から取り除くのが困難なことが多い微粒子（例えばチップ）を発生させる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一つの実施の形態において、ガラス板のエッジの整形方法が説明されており、この方法は、一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、この第１面に対向する第２面および端面を備えた１枚のガラス板を上記支持治具に結合する工程であって、上記第１面と上記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ上記第２面と上記端面とが第２エッジに沿って交差している工程；上記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを上記第１エッジに接触させる工程であって、上記第１のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位δ１を生じさせる第１の力Ｆ１をもって上記第１エッジに接触している工程；上記第２面に対して傾斜しかつ上記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを上記第２エッジに接触させる工程であって、上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位δ１とは反対側の第２の変位δ２を生じさせる第２の力Ｆ２をもって上記第２エッジに接触し、かつ上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記第１エッジに接触する上記第１のカップ型研磨ホイールと同時に上記第２エッジに接触している工程；および上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイールと上記ガラス板との間に相対運動を生じさせる工程を含み、その場合に、上記第１の変位が上記第２の変位とオーバーラップしない。上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイール間には相対運動が存在しないことが好ましい。Ｄは好ましくは２２０ｍｍ以上、好ましくは２５０ｍｍ以上、好ましくは２７５ｍｍ以上、または好ましくは３００ｍｍである。Ｌは、ガラス板の厚さが極めて薄いような場合（例えば０．３ｍｍ未満）には、５ｍｍと短いが、Ｌは、好ましくは１０ｍｍ以上、好ましくは２５ｍｍ以上、そして、より好ましくは５０ｍｍ以上である。いくつかの実施の形態においては、面取りによって生じた複数のエッジがさらに研磨される。
【０００７】
別のいくつかの実施の形態において、支持治具のエッジは、支持治具のエッジに対するガラス板の突出量Ｌが変化するように整形されている。例えば支持治具は、上記突出部分に最も近いエッジが非直線形状を有する。この非直線形状は曲線であってもよいし、または複数の直線部分の組合せであってもよい。
【０００８】
いくつかの実施の形態においては、一定の面取り幅を維持しかつガラス板の突出部分の追従性を補足するために、上記第１の研磨ホイールと上第１エッジとの間の距離がそれぞれ変化せしめられる。
【０００９】
別の実施の形態においては、ガラス板のエッジの整形方法が開示され、この方法は、一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、この第１面に対向する第２面および端面を備えた厚さが２ｍｍ以下の上記ガラス板を上記支持治具に結合する工程であって、上記第１面と上記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ上記第２面と上記端面とが第２エッジに沿って交差している工程；上記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを上記第１エッジを接触させる工程であって、上記第１のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位を生じさせる第１の力Ｆ１をもって上記第１エッジに接触している工程；上記第２面に対して傾斜しかつ上記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを上記第２エッジに接触させる工程であって、上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位とは反対方向の第２の変位を生じさせる第２の力Ｆ２をもって上記第２エッジに接触し、かつ上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記第１エッジに接触する上記第１のカップ型研磨ホイールと同時に上記第２エッジに接触している工程；および上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイールと上記ガラス板との間に相対運動を生じさせて、上記第１および第２エッジに面取り部を生成させる工程を含み、その場合に、上記突出部分は上記支持治具から２５ｍｍ以上の距離Ｌだけ突出し、かつＤは上記第１の変位が上記第２の変位とオーバーラップしないように選択される。
【００１０】
上記双方の面取り部の面の交差によって形成される夾角は４０°と１４０°との間であることガ好ましい。
【００１１】
いくつかの実施の形態においては、上記面取り工程によって形成された複数のエッジは、それらの鋭利さを取り除き、かつ鋭利な面取りされたエッジ同士が接触した場合に生じ得るクラックを回避するために、その後に研磨される。
【００１２】
上記突出部分の剛性を、したがって研削ホイールとの接触から生じる撓み量を変えるために、Ｌが上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変わってもよい。Ｌは５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあることが好ましい。
【００１３】
Ｄは２２０ｍｍ以上、好ましくは２７５ｍｍ以上、いくつかの実施の形態においては、約３００ｍｍまたは３２０ｍｍ以上である。
【００１４】
さらに別の実施の形態においては、ガラス板に面取り部を研削する装置について説明されており、このガラス板は、ほぼ平行な二つの主面と、ほぼ平行な第１および第２エッジに沿って上記両主面と交差する少なくとも一つの端面とを備えている。この装置は、ほぼ平坦な研削面を備えた第１および第２の研削ホイールを有し、上記両研削面は、上記ガラス板の上記端面に対して傾斜して配置されて、ガラス板の上記第１および第２エッジのそれぞれに沿って面取り部を生成させ、上記第１および第２の研削ホイールは、それぞれ第１および第２の回転軸線の周りで回転するように構成されている。この装置はさらに、上記ガラス板の一部分が支持部材から突出しかつ上記第１および第２の研削面が上記第１および第２エッジにそれぞれ接触するのに応じて上記ガラス板が撓むのを許容するように上記ガラス板を支持する支持部材（例えば真空チャック）を有し、上記突出部分が上記第１および第２エッジを備えている。上記第１および第２の回転軸線は、上記第１の研削面と上記第１エッジとの間の接触から生じる上記ガラス板の上記突出部分の撓みが、上記第２の研削面と上記第２エッジとの間の接触から生じる上記ガラス板の上記突出部分の撓みに影響を与えないような距離だけ離れており、かつ上記第１および第２の研削面と上記第１および第２エッジとの間の接触が同時に生じる。
【００１５】
上記ガラス板は、上記突出部分の剛性が上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化する態様で支持されていることが好ましい。いくつかの実施の形態においては、上記突出部分が上記支持部材から突出する距離が、上記第１または第２エッジの長さ方向に沿った位置の関数として変化する。
【００１６】
如何なる限定をも伴うことなしに、添付図面を参照して与えられる下記の具体例の説明の過程で、本発明はより容易に理解され、かつその他の目的、特徴、詳細内容および効果がより明白に明らかになるであろう。本明細書に含まれるこのような付加的なシステム、方法、特徴および効果の全てが、本発明の範囲内であり、かつ添付の請求項によって保護されるべきものである。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】面取り部を備え、かつ面取り幅を示すガラス板の一部の断面側面図である。
【図２Ａ】ガラス板のエッジを処理する（例えば面取りをする）ための装置の断面側面図である。
【図２Ｂ】図２Ａのガラス板のエッジ部分の拡大図である。
【図３】図１の面取り部等の面取り部を生成させるのに用いられるカップ型研磨ホイールの断面側面図である。
【図４】成形された研磨ホイールの断面側面図である。
【図５】面取り後のガラス板のエッジを示し、かつ研磨ホイールの研削面の角度関係を示す、図２Ａのガラス板の一部分の断面側面図である。
【図６】固定部材から突出する部分を備え、かつガラス板の端部に力が加えられたときに発生する撓みを示す、図２Ａのガラス板等のガラス板の断面側面図である。
【図７】回転軸線が距離Ｄだけ離れている２個のカップ型研磨ホイールを示す、図２Ａのガラス板の平面図である。
【図８】公称突出距離が２５ｍｍおよび５０ｍｍのガラス板に関する撓み量の平均値（円形）、最大値（三角形）および最小値（四角形）と、偏向力を印加する研磨ホイールの位置の僅かな変化に対するガラス板の端部の撓み量の変化を示すグラフである。
【図９】カップ型研磨ホイールの位置が、２５ｍｍの突出距離を有するガラス板上の公称位置から変化せしめられときの、カップホイールの位置の関数としての面取り幅を示すグラフである。
【図１０】ガラス板に接触する単一の研磨ホイールによって単一の力が印加される場合、不適切な距離しか離されていない２個の研磨ホイールがガラス板に接触する場合、および、第１の研磨ホイールによる撓みが第２の研磨ホイールによって齎される撓みとオーバーラップしない適切な距離だけ離されている２個の研磨ホイールがガラス板に接触する場合の３通りのシナリオに関する、時間の関数としての撓み量を示すグラフである。
【図１１】２個のホイールが接近し過ぎて、一方のホイールによって齎される撓みが他方のホイールによって齎される撓みとオーバーラップする場合、および、一方のホイールによって齎される撓みが他方のホイールによって齎される撓みとオーバーラップしないように、２個のホイールの距離が離されている場合の、２個の研磨ホイールがガラス板に接触することによって齎される撓み作用を示すモデル化の結果を表すグラフである。
【図１２】支持部材のエッジが直線的でなく、突出距離が変化する支持部材によって支持されているガラス板の平面図である。
【図１３】支持部材のエッジが直線的でなく、突出距離が変化する支持部材によって支持されているガラス板の平面図である。
【図１４】研磨後のガラス板の面取りされたエッジの断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
説明のためであって限定のためのものではない下記の詳細な説明において、本発明全体の理解のために、具体的な詳細内容を開示する模範的実施の形態が説明されている。しかしながら、本発明は、ここに開示された具体的な詳細から離れた他の実施の形態の実施が可能なことは、本明細書の恩恵を受けた当業者には明らかであろう。さらに、本発明を不明瞭にしないために、良く知られたデバイス、方法および材料についての説明は省略されている。最後に、類似の素子には可能な限り類似の符号が付されている。
【００１９】
電子ディスプレー製造者等の機器製造者に供給される薄いガラス板は、処理されたエッジを備えている。すなわち、これらのエッジは研削かつ整形されて（例えば面取りされて）、破損し易い鋭利なエッジが取り除かれ、かつ裁断工程から発生する、ガラスの強度を低下させ得るエッジの傷（欠け、ひび割れ等）が取り除かれている。このようなガラス板は、一般に対向する両表面間の厚さが約２ｍｍ以下であり、約０．７ｍｍ以下がより好ましく、用途によっては約０．５ｍｍである。極めて薄いガラス板は０．３ｍｍ以下にすることができ、それでもなお本発明の恩恵を受ける余裕がある。
【００２０】
ガラスの割れは、例えば小さなひびのような最初の傷を足掛かりにして、この最初の傷から割れが延びることが知られている。割れは、極めて短い時間で自然に発生し得るか、あるいは、物品内に存在する応力に応じた長い時間に亘って徐々に発生し得る。それでもなお、各割れは傷から始まり、かつガラス板の傷は、一般にエッジに沿って見られ、そして先に罫書かれかつ裁断されたエッジに最も多く見られる。エッジの傷を排除するためには、ガラス板のエッジには最小の傷しか残らないように研削されまたは研磨され、これにより、傷を伝播させるのに必要な応力を高めることによって、ガラスシートの強度を高めればよい。
【００２１】
一方、ガラスの研削によりガラス微粒子が形成される。この微粒子は、洗浄しても、ガラスの表面から除去するのが困難なことが多い。したがって、鋭利なエッジおよび傷を最少にしながら、ガラスから取り去られる（削り取られる）材料の量を最少にするという競合する要望がある。図１を参照すると、単一の面取り部８を備えたガラス板の模範的端部が示されている。幅Ｗｂによって特徴付けられる面取り部８の研削時に発生する微粒子の量は最少にされなけれるべきである。この面取り部の幅は、面取り部と交差するガラス板の端面からの基面の長さとして定義される。
【００２２】
さらに、研磨ホイールは、ガラスエッジに沿って移動するにつれて、その位置に遊びまたは振動があるので、研削工程自体は滅多に一様であることはない。すなわち、研磨ホイールはガラス板に接近したり遠ざかったりするように動くので、研磨ホイールによってガラス板に印加される力は、時間および／または位置の関数として変化し得る。この位置の変化は、エッジから除去される材料の量に直接影響し得る。上記変化は、一様でない研削および発生する微粒子の量の変化を招来する。より判り易く言うと、面取り部の幅が変化し、もし研削されるガラス板のエッジが硬ければ、この変化は最もひどくなる。
【００２３】
図２Ａには、支持部材１６を備えた、薄いガラス板１４の処理装置１０が示されている。処理装置１０はさらに、第１研磨ホイール１８ａおよび第２研磨ホイール１８ｂを備えている。各研磨ホイールは他の研磨ホイールと同一であることが好ましく、指示がない限り、下記の説明では、模範的な研磨ホイール１８（図３）について説明する。
【００２４】
図３に示されているように、模範的な研磨ホイール１８は、窪んだ中心領域２０を備えた円形ホイールである。このようなホイールは、カップ状の形状を有するが故に、一般に「カップホイール」と呼ばれている。研磨ホイール１８はさらに、研削面として機能する外側環状面２２を備えている。この研削面は平らであることが好ましい。これは、ガラス板のエッジに望まれる輪郭と相補的な輪郭を有するホイールのエッジにおける溝すなわち窪んだ領域２４を備えた「成形された」研削ホイール（図４参照）と比較される。
【００２５】
図４に示されているような成形されたホイールは、研削面内の窪んだ領域に関して小さなきつい半径が要求される場合に製作が困難である。成形されたホイールは、一般に放電加工機（ＥＤＭ）を用いて製作され、この形状を創り出すこの工具は急速に摩耗し勝ちであり、得られる溝の底に鈍い形状を生成させる。この摩耗は、薄いガラス板のエッジ上に仕上げられた最終的な形状を生成させるためには望ましくない。これに比較して、本発明の実施の形態による平面接触面（すなわち研磨面）を有するホイールは、ガラス板に接触する研磨面が著しく増大しているために、遥かに長時間その形状を維持する。
【００２６】
一般に、研削面２２は、適当な基質すなわちバインダ（例えば樹脂または金属複合基質）中に分散された切削媒体としてダイアモンド粉を備えている。６００メッシュのダイアモンド粉を用いれば良い結果が得られるが、３００メッシュから１０００メッシュまでの範囲内の粒径が良いことも立証されている。カーバイド粉等の他の切削媒体も用いることができる。研磨ホイール１８は、電動機の軸等の回転軸２６に取り付けられ、この軸は、その周りで研磨ホイールが回転せしめられる軸線２８を備えている。上述のカップ型研磨ホイールを用いれば、成形されたホイールに比較して、ガラス板に対して施される研磨面積が著しく増大するので、カップ型研磨ホイールは、研削されるガラスの量に用いられる研削媒体の観点からより費用効果が大きい。より簡単に言えば、カップ型研磨ホイールは、研削業務に対して、成形されたホイール構造よりも、より多くの研削媒体を施すことによって、より有効な研削媒体の使用を可能にする。また、平らな接触面を有する研磨ホイールが備えている、より大きい表面積が用いられるので、成形されたホイールよりもずっと永く使用することができる。このことは、研磨ホイールの年間コストを低減することができるのみでなく、カップ型研磨ホイールの交換に伴いラインが停止する頻度を、成形されたホイールよりも遥かに少なくすことができるために、生産コストをも低減することができる。
【００２７】
図２Ａはまた、ガラス板１４の部分３０が支持部材１６を越えて突出する態様で、支持部材１６により支持されていることをも示している。例えばガラス板１４は、図示のような水平状態に配置され、この状態は、このガラス板が支持部材から片持ちにされていると言われる状態である。しかしながら、ガラス板１４は如何なる方位、如何なる角度に固定されていてもよい。例えばガラス板１４が垂直方向に支持されていてもよい。装置１０は、ガラス板１４を支持部材１６に固定するために、レール、フィンガ、フックまたはその他のクランプ部材を備えたクランプ部材３１を備えている。ガラス板の他の固定方法は、ガラス板を静止状態に支持する真空チャックを備えることによる。真空が単独に、またはさらなるクランプ部材と組み合わせて用いられる。一般に、ガラス板の一部分が固定物（例えば支持部材１６およびクランプ部材３１）から突出して配置され、かつガラス板はしっかりと取り付けられていても、その突出した部分は固定物に対して自由に撓むことができるようになっておりさえすれば、如何なる適当な方法でガラス板１４が支持部材１６に固定されていてもよい。ガラス板は、上記突出する部分３０が所定の距離Ｌだけ突出するように固定物に取り付けられる。この距離Ｌは、下記にさらに詳細に説明されているように、ガラス板のＬは、測定されるエッジに沿った位置に応じて変わり得る。
【００２８】
なおも図２Ａを参照すると、ガラス板１４は、第１主面３２、第２主面３４、および第１および第２主面の間において、第１および第２エッジ３８，４０に沿って第１および第２主面とそれぞれ交差する端面３６（ガラス板１４の一部分を示す図２Ｂ参照）を備えている。ここで、図２Ａ，図２Ｂ、図５および図６を参照すると、第１のカップ型研磨ホイール１８ａは、この研磨ホイールの平らな研削面が端面３６に対して第１角度αを形成し（図５）、かつ第１面３２と端面３６との間の第１エッジ３８（図２Ｂ）に接触するように配置されている。第２カップ型研磨ホイール１８ｂは、この研磨ホイールの研削面が端面３６に対して第２角度βを形成し、かつ第２面３２と端面３６との間の第２エッジ４０に接触するように配置されている。第１および第２角度α，βは等しいことが好ましいが、必ずしも必要ではない。
【００２９】
第１研磨ホイール１８ａは、回転軸線２８ａの周りで回転せしめられ、第１面３２上に力Ｆ１をもって作用する。この力Ｆ１自体は、ガラス板１４に撓みδ１を生じさせる。すなわち、ガラス板１４は印加される力に応答して曲がる。このことは、ガラス板１４に力Ｆが加えられ、これにより撓みδの形態の応答が誘導されることを示す図６に一般的に見られる。曲がり量、すなわち追随性（δの大きさ）は、ガラスの材料特性（例えばヤング率）、固定物からの突出量、および力の大きさを含む多くの変数の関数である。これらの変数は一括されて、剛性の値ｋによって特徴付けられ、剛性は、加えられた力を曲がり量で割った値に等しい。この剛性ｋは一般に、
【数１】
【００３０】
として表すことができ、ここで、撓み量δで除算し力Ｆはまた、ガラスの弾性係数に慣性モーメントを掛け、かつ固定部を越えるガラスの突出量の３乗で除算した値に比例する。
【００３１】
一つの研磨ホイールによって除去される材料の量は、印加される力に直接比例することも示されている。上述の等式から、突出部分がなく、かつ印加された力の存在に対してガラス板の面に撓みがないように、剛直な支持部材によって完全に支持された板は、剛性が無限大である。この場合、研磨ホイールによってガラス板に印加される力のような力の増大は、材料の除去される量の増大と釣り合う結果となり、したがって、面取り部の幅が増大する。このようなシステムは、実生活にしばしば観察されるように、研削ホイールの位置の僅かな変動にも敏感に反応する。この感受性は１：１と高く、印加される力が２倍になれば、除去される材料が２倍になる。
【００３２】
一方、上述の関係は、もしガラス板の一部分が固定物を越えて（例えば支持部材１６を越えて）突出していれば、突出部分の剛性は低下しかつ有限でガラス板は撓み得る。低い有限の剛性に関しては、この追随性が面取り部の幅を狭くする。換言すれば、低い剛性を有する（追随性を示す）ガラス板に接触する研磨ホイールに僅かな位置的変動があっても、剛直なガラス板（例えば高い剛性）に比較した場合に、除去される材料の大きな増大を防ぐことができる。さらに、エッジ斜め削り装置の精密なレベルは、ガラス板が追随性を示さない場合に必要であるほど高い必要はない。これにより、例えばベアリングの精密性が緩和されるので、機器のコストが低減される。
【００３３】
本発明の実施の形態によれば、複数の研磨ホイールが用いられて、固定装置によって束縛されたガラス板の端縁の両エッジに面取り部を形成し、その場合、ガラス板は、固定装置を越えて突出する部分を備えている。少なくとも２個の研磨ホイールが配備され、これら少なくとも２個の研磨ホイールのそれぞれが、ガラス板の両側においてガラス板の端部上に係合するように配置される。各ホイールは、各回転軸線の周りで回転せしめられ、かつガラス板の端縁に沿って二つの面取り部が形成されるように、ガラス板の端縁に沿って移動せしめられる。
【００３４】
例えば、研磨ホイール１８ａによって、ガラス板１４の第１エッジ３８に沿って面取り部が形成される。端面３６に対する面取り部の角度αは、２０°から７０°までの間の角度において良い結果が得られたが、約６０°が好ましい（図５）。同様に、研磨ホイール１８ｂは、約６０°が好ましい面取り角度βをもって第２エッジ４０に第２面取り部を生成させる。しかしながら、これも２０°から７０°までの間の角度が許容範囲である。これにより、第１および第２主面３２および３４、端面３６、ならびに面取り面４２および４４を備えた、図５に示すような中間形状が生成される。面取り面４２および４４は、それぞれ第３および第４エッジ４６および４８に沿って端面３６と交差している。面取り面４２および４４はまた、第５および第６エッジ５０および５２に沿ってそれぞれ第１および第２主面３２および３４と交差している。二つの面取り面によって形成される夾角φは、４０°と１４０°との間の範囲内が好ましい。
【００３５】
カップ型研磨ホイール１８ｂから１８ａへの影響を遮断するために、第１および第２カップ型研磨ホイール１８ａ，１８ｂのそれぞれの回転軸線２８ａ，２８ｂは、図７に示されているように、所定の間隔Ｄが保たれている。この所定の間隔の値は、一方のカップホイールによってガラスシート１４に対して加えられる力が他方のカップホイールに影響を与えないように選択される。すなわち、一方のカップホイールによって生起されるガラス板の平面からの撓みは、他方のカップホイールの支配領域内において撓みを生じさせない。もっと簡単に言えば、一方の研磨ホイールによって生起されるガラス板の平面からの撓みが、他方の研磨ホイールによって生起される撓みとオーバーラップしない。
【００３６】
取り除かれる材料の量、すなわち面取り幅は、研削作業の成果の測定に用いられる。図８は、二種類の公称突出量２５ｍｍ（左）および５０ｍｍ（右）に対する面取り幅の平均値（円形）および最小値と最大値との間の範囲（各データ点に関する三角形と四角形との間の距離）を示す。短い方の公称突出距離Ｌ＝２５ｍｍに関しては、Ｚ軸方向の加工位置の（切込み深さ）の増大に伴って面取り幅が増大する。すなわち、研磨ホイールがガラスシートにより近く持ち来たされるからである。Ｌ＝５０ｍｍに関する同様の観察は、切込み深さの増大に伴う面取り幅の変化は、突出距離２５ｍｍのサンプルに関する増大量よりも小さいことを示している。
【００３７】
図９は、切込み深さ（Ｚ軸方向の加工位置）の変化に伴う取り除かれるガラス材料における非直線性を示す。ホイール位置が公称位置に対してＺ軸（ガラス板の主面に直角）に沿って変化すると、撓みは非直線的に変化する。これは、印加される負荷（切削力）の変化につれてガラスの剛性に変化が生じるために起こる。研磨ホイールによってガラス板に大き過ぎる力が印加された場合における最終的な到達点は、ガラスの破損（破壊）を招くか、あるいはガラスが支持部材（例えば真空チャック）から外れる原因となる。
【００３８】
当業者であれば、第２の研磨ホイール１８ｂに関しても、上述の事状と同様のことが表現され得ることが理解されるであろう。すなわち、第２エッジ４０に接触して力Ｆ２を加える第２の研磨ホイール１８ｂを考える。しかしながら、Ｆ２はＦ１の方向とは反対方向に印加されるために、ガラスシートの突出部分の変位は、第１の研磨ホイールによって生起される撓みとは反対方向に発生する。
【００３９】
一つの実施の形態は、先ず一方のエッジを面取りして、次いで他方のエッジを面取りすることを含むが、この方法は、双方のエッジを同時に面取りするよりも非効率的である。しかしながら、各カップ型研磨ホイールによって突出部分に加えられて、この突出部分に撓みを生じさせる力は、第１および第２のカップ型研磨ホイールのそれぞれに関して反対なために、一方のカップホイールによって生起される撓みが、他方のカップホイールによる研削に影響しないように、二つのカップホイールを離すことが望ましい。換言すれば、双方のカップ型研磨ホイールの回転軸線は、少なくとも両カップホイール間のガラス部分が実質的に撓まないように、距離Ｄだけ離さなければならない。
【００４０】
図１０は、三種類のシナリオに関する撓み量測定を示す。すなわち、１）単一の研磨ホイールが研削作業を実施するときのガラス板の変位（曲線６０）、２）回転軸線が１９０ｍｍだけ離れた２個の研磨ホイールが研削作業を実施するときのガラス板の変位（曲線６２）、３）回転軸線が３１０ｍｍだけ離れた２個の研磨ホイールが研削作業を実施するときのガラス板の変位（曲線６４）である。曲線６４の平坦部分６６は、２個のホイール間に相互作用がないことを示している。すなわち、両ホイールによって生成される変位は分離され、かつ互いに区別可能であり、交差しない。二つの変位の間の平坦な領域６６は、変位しない領域である。２本の回転軸線２８ａ，２８ｂ間の間隔Ｄは、２５０ｍｍ以上が好ましく、３１０ｍｍ以上がより好ましい。
【００４１】
図１１は、二種類のシナリオに関するモデル化の結果を示す。曲線７０によって表されている第１のシナリオにおいては、先ず第１の研磨ホイールがガラス板に係合し、その後に第２の研磨ホイールが係合する。第１の研磨ホイールの回転軸線は第２の研磨ホイールの回転軸線から１９０ｍｍの距離Ｄしか離れていない。この曲線は、上記第１および第２の研磨ホイールの接触による上記第１および第２の研磨ホイール間のガラス板の撓みを示している。すなわち、一方の研磨ホイールによる撓みが他方の研磨ホイールによる撓みによって影響されている。曲線７２は、二つの研磨ホイールの回転軸線が３１０ｍｍだけ離れている場合を示す。実質的に平坦な部分７４は、一方のホイールによって生起された撓みが、他方のホイールによる撓みによって影響されていないことを示している。
【００４２】
別の実施の形態においては、ガラス板のコーナーにおける剛性が、ガラス板の中心領域におけるガラス板の剛性よりも低いという事実を反映して、支持部材の形状が変えられている。このことは、ガラス板のコーナーにおける一点が、一方側にのみガラスを有していて、他方側にはガラスが存在しないことに注目することによって容易に理解することができる。エッジの他端における反対側のコーナーに関しても同じことが言える。このことは、上記ガラス板に対して所定位置にセットされた（すなわち、所定の研削深さにセットされた）研磨ホイールが、上記ガラス板の両コーナーからよりも多くの材料を上記ガラス板の中央領域から取り去る結果となる。これは、両コーナー領域が部分的により多く撓んで、カール状態を示すことによって生じる。一定の剛性と、エッジの長さ方向に沿う一貫した材料除去を維持するために、剛性に左右される変数の一つを変える必要がある。必要であれば、研磨ホイールが与えられたエッジに沿って移動するにつれて研磨ホイールの位置を変えればよい。あるいは、ガラス板の突出量Ｌがエッジに沿って変化するように、支持部材１６の形状を変えればよい。この場合には、上記ガラス板の両コーナーの近傍においてＬを短縮しなければならず、これらの点においてＬを短縮すると、これらの領域におけるガラス板の剛性が効果的に増大する。例えば図１２は、支持部材１６に取付けられたガラス板１４の平面図を示し、支持部材１６は、ガラス板の所定の領域におけるＬが短縮されるように、ガラス板１４の突出部分３０の近傍において非直線的なエッジを備えている。この支持部材のエッジは、接続された複数の傾斜した直線部分を備えて、図１２に示されているように、ガラス板の中央部分（例えばＬ１）と端部（例えばＬ２）との間で突出長さが異なる効果を有し、あるいは、図１３に示されているように、エッジが湾曲部分を有していてもよく、同様に突出長さが異なる効果を有する。
【００４３】
さらに、一旦ガラス板上に面取り部が生成されると、後から生成された複数のエッジ（４６，４８および５０，５２）はさらに研磨されて、これらのエッジの鋭利な角が取り除かれて、円弧状のエッジを形成する（図１４参照）。これは、例えばバフ研磨ホイールおよび適当な研磨ペーストを用いて達成される。
【００４４】
種々の模範的および非限定的実施の形態は下記の通りである。
【００４５】
Ｃ１：ガラス板のエッジの整形方法において、この方法は、一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、該第１面に対向する第２面および端面を備えた１枚のガラス板を支持治具に結合する工程であって、上記第１面と上記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ上記第２面と上記端面とが第２エッジに沿って交差している工程；上記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを上記第１エッジに接触させる工程であって、上記第１のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位δ１を生じさせる第１の力Ｆ１をもって上記第１エッジに接触している工程；上記第２面に対して傾斜しかつ上記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールに上記第２エッジを接触させる工程であって、上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位δ１とは反対側の第２の変位δ２を生じさせる第２の力Ｆ２をもって上記第２エッジに接触し、かつ上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記第１エッジに接触する上記第１のカップ型研磨ホイールと同時に上記第２エッジに接触している工程；および上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイールと上記ガラス板との間に相対運動を生じさせる工程を含み、その場合に、上記第１の変位が上記第２の変位とオーバーラップしない。
【００４６】
Ｃ２：上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイール間には相対運動が存在しないＣ１記載の方法。
【００４７】
Ｃ３：Ｄが２２０ｍｍ以上であるＣ２記載の方法。
【００４８】
Ｃ４：Ｄが２７５ｍｍ以上であるＣ１からＣ３の何れか１項記載の方法。
【００４９】
Ｃ５：Ｌが５ｍｍ以上であるＣ１からＣ４の何れか１項記載の方法。
【００５０】
Ｃ６：Ｌが約１５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあるＣ１からＣ５の何れか１項記載の方法。
【００５１】
Ｃ７：上記第１および第２のカップ型研磨ホイールの回転が第１および第２の面取り面をそれぞれ生じさせ、その場合、上記第１の面取り面は第３エッジに沿って上記端面と交差し、かつ上記第２の面取り面は第４エッジに沿って上記端面と交差し、さらに上記ガラス板を研磨して円弧状の第３および第４エッジを生じさせるＣ１からＣ６の何れか１項記載の方法。
【００５２】
Ｃ８：上記第１または第２エッジに沿う位置に関連してＬが変化するＣ１からＣ７の何れか１項記載の方法。
【００５３】
Ｃ９：上記支持治具は、そこから上記突出部分が突出する該突出部分に最も近いエッジを備え、かつこの支持治具のエッジが非直線形状を有するＣ１からＣ８の何れか１項記載の方法。
【００５４】
Ｃ１０：一定の面取り幅を維持するために、上記第１のカップ型研磨ホイールと上記第１エッジとの間の距離がそれぞれ変化せしめられるＣ１からＣ９の何れか１項記載の方法。
【００５５】
Ｃ１１：ガラス板のエッジの整形方法において、この方法は、一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、該第１面に対向する第２面および端面を備えた厚さが２ｍｍ以下の上記ガラス板を上記支持治具に結合する工程であって、上記第１面と上記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ上記第２面と上記端面とが第２エッジに沿って交差している工程；上記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを上記第１エッジに接触させる工程であって、上記第１のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位を生じさせる第１の力Ｆ１をもって上記第１エッジに接触している工程；上記第２面に対して傾斜しかつ上記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを上記第２エッジに接触させる工程であって、上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位とは反対方向の第２の変位を生じさせる第２の力Ｆ２をもって上記第２エッジに接触し、かつ上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記第１エッジに接触する上記第１のカップ型研磨ホイールと同時に上記第２エッジに接触している工程；および上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイールと上記ガラス板との間に相対運動を生じさせて、上記第１および第２エッジに面取り部を生成させる工程を含み、その場合に、上記突出部分は上記支持治具から２５ｍｍ以上の距離Ｌだけ突出し、かつＤは上記第１の変位が上記第２の変位とオーバーラップしないように選択される。
【００５６】
Ｃ１２：上記双方の面取り部の面の交差によって形成される夾角が４０°と１４０°との間であるＣ１１記載の方法。
【００５７】
Ｃ１３：上記面取り部の生成の結果として形成される複数の追加のエッジをさらに含むＣ１１またはＣ１２記載の方法。
【００５８】
Ｃ１４：Ｌが上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化するＣ１１からＣ１３の何れか１項記載の方法。
【００５９】
Ｃ１５：Ｌが５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあるＣ１１からＣ１４の何れか１項記載の方法。
【００６０】
Ｃ１６：Ｄが２２０ｍｍ以上であるＣ１１からＣ１５の何れか１項記載の方法。
【００６１】
Ｃ１７：ほぼ平行な二つの主面と、ほぼ平行な第１および第２エッジに沿って上記両主面と交差する少なくとも一つの端面とを備えたガラス板の研削装置であって、この装置は、ほぼ平坦な研削面を備えた第１および第２の研削ホイールを有し、上記両研削面は、上記ガラス板の上記端面に対して傾斜して配置されて、該ガラス板の上記第１および第２エッジのそれぞれに沿って面取り部を生成させ、上記第１および第２の研削ホイールは、それぞれ第１および第２の回転軸線の周りで回転するように構成されており、上記ガラス板の一部分が支持部材から突出しかつ上記第１および第２の研削面が上記第１および第２エッジにそれぞれ接触するのに応じて上記ガラス板が撓むのを許容するように上記ガラス板を支持する支持部材を有し、上記突出部分が上記第１および第２エッジを備えており、その場合、上記第１および第２の回転軸線は、上記第１の研削面と上記第１エッジとの間の接触から生じる上記ガラス板の上記突出部分の撓みが、上記第２の研削面と上記第２エッジとの間の接触から生じる上記ガラス板の上記突出部分の撓みに影響を与えないような距離だけ離れており、かつ上記第１および第２の研削面と上記第１および第２エッジとの間の接触が同時に生じる。
【００６２】
Ｃ１８：上記突出部分が上記支持部材から突出する距離が、上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化するＣ１７記載の装置。
【００６３】
Ｃ１９：上記ガラス板は、上記突出部分の剛性が上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化する態様で支持されているＣ１７またはＣ１８記載の装置。
【００６４】
Ｃ２０：上記支持部材が真空チャックを備えているＣ１７からＣ１９の何れか１項記載の装置。
【００６５】
上述の本発明の実施の形態、特に「好ましい」実施の形態の何れもが、実施可能な実例に過ぎず、本発明の原理を明快に理解するための説明に過ぎない。本発明の精神および範囲から離れることなしに、上述の本発明の実施の形態に対する種々の変形および変更が可能である。このような変形および変更の全ては、本明細書および本発明の範囲内に含まれ、かつ添付の請求項によって保護されることを意図するものである。
【符号の説明】
【００６６】
１０ ガラス板処理装置
１４ ガラス板
１６ 支持部材（支持治具）
１８ａ，１８ｂ 研磨ホイール
２０ 研磨ホイールの窪んだ中心領域
２２ 研磨ホイールの外側環状面（研削面）
２６ 回転軸
２８ａ，２８ｂ 回転軸線
３０ ガラス板の突出部分
３１ クランプ部材
３２ 第１主面
３４ 第２主面
３６ 端面
３８ 第１エッジ
４０ 第２エッジ
４２，４４ 面取り面
４６ 第３エッジ
４８ 第４エッジ
５０ 第５エッジ
５２ 第６エッジ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の処理方法に関し、特にこのガラス板のエッジの整形方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板の製造は、原材料を溶かして溶融ガラスを形成し、この溶融ガラスをシートまたは板に成形し、最後にこの板を、購入者またはユーザーの要望を満たす最終的な形状に処理するという三つの主要な工程を含む。薄いガラス板の成形方法は、溶融ガラスが上面開放パイプに供給される、オーバーフロー・ダウンドロー法、すなわちフュージョン法を含む。上記溶融ガラスは上記パイプをオーバーフローし、かつこのパイプの外表面を形成する収斂する両面を流れ下る。２条の流れは上記パイプの底縁において再会し、すなわち融合して、薄い帯状ガラスを形成する。別の方法は、溶融ガラスが通常錫の浴槽上に浮遊される、よく知られたフロート法、アップドロー法、スロットドロー法などを含む。一般に、これらの方法の全てにおいて、個々のガラス板を親シートから分離し、かつこれらのガラス板を裁断作業により所定の寸法にし、かつガラスのエッジ処理を行なって、その後の取扱い作業のためにガラス板を強化している。個々のガラス板は、個々のガラスが親シートから裁断されるときに形成される可能性のある傷を取り除くとともに、取扱い時に傷つき易い鋭利なエッジを除去するというエッジ処理を施される。
【０００３】
薄いガラス板のエッジ処理は一般に、溝つき研削ホイールを用いて行なわれている。これらの溝は、溝の鏡像形状をガラス上に形成する。このエッジ処理工程は、ブラウン(Brown)等の特許文献１および２に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６,６８５,５４１号明細書
【特許文献２】米国特許第６,３２５,７０４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電子ディスプレー産業（コンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ等）の大きな影響により、より薄いガラス板の需要が増大するのにつれて、研削ホイールを用いて一貫性のあるエッジ形状を形成するのが益々困難になって来ている。すなわち、
・研削ホイールの輪郭が使用に伴って歪んできて、ガラス板のエッジ形状に一貫性がなくなる。
・研削ホイールにより利用される表面積が溝に限定されるので、材料利用率が悪く、コスト高になる。
・実際にガラスに接触するのは研削ホイールの比較的狭い表面積のため、より粗い研削粒子を用いる必要があり、最終的にガラスシート表面の仕上げ状態の質が低下する。
・研削時に削り屑を逃すギャップがガラスと研削ホイールとの間に存在しないため、研削ホイールがガラス粉によって目詰まりするにつれて、ガラス板に欠陥が生じる可能性が増大する。
・小さいきつい半径が要求される場合に、ホイール輪郭を作製するのが困難である。研削ホイールは一般に放電加工（ＥＤＭ）を用いて作製される。この工具は使用に伴って急速に摩耗することが多く、得られた溝の底に望ましくない鈍い輪郭が形成される。
・上記エッジ処理は、ガラス板から取り除くのが困難なことが多い微粒子（例えばチップ）を発生させる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一つの実施の形態において、ガラス板のエッジの整形方法が説明されており、この方法は、一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、この第１面に対向する第２面および端面を備えた１枚のガラス板を上記支持治具に結合する工程であって、上記第１面と上記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ上記第２面と上記端面とが第２エッジに沿って交差している工程；上記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを上記第１エッジに接触させる工程であって、上記第１のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位δ１を生じさせる第１の力Ｆ１をもって上記第１エッジに接触している工程；上記第２面に対して傾斜しかつ上記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを上記第２エッジに接触させる工程であって、上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位δ１とは反対側の第２の変位δ２を生じさせる第２の力Ｆ２をもって上記第２エッジに接触し、かつ上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記第１エッジに接触する上記第１のカップ型研磨ホイールと同時に上記第２エッジに接触している工程；および上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイールと上記ガラス板との間に相対運動を生じさせる工程を含み、その場合に、上記第１の変位が上記第２の変位とオーバーラップしない。上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイール間には相対運動が存在しないことが好ましい。Ｄは好ましくは２２０ｍｍ以上、好ましくは２５０ｍｍ以上、好ましくは２７５ｍｍ以上、または好ましくは３００ｍｍである。Ｌは、ガラス板の厚さが極めて薄いような場合（例えば０．３ｍｍ未満）には、５ｍｍと短いが、Ｌは、好ましくは１０ｍｍ以上、好ましくは２５ｍｍ以上、そして、より好ましくは５０ｍｍ以上である。いくつかの実施の形態においては、面取りによって生じた複数のエッジがさらに研磨される。
【０００７】
別のいくつかの実施の形態において、支持治具のエッジは、支持治具のエッジに対するガラス板の突出量Ｌが変化するように整形されている。例えば支持治具は、上記突出部分に最も近いエッジが非直線形状を有する。この非直線形状は曲線であってもよいし、または複数の直線部分の組合せであってもよい。
【０００８】
いくつかの実施の形態においては、一定の面取り幅を維持しかつガラス板の突出部分の追従性を補足するために、上記第１の研磨ホイールと上第１エッジとの間の距離がそれぞれ変化せしめられる。
【０００９】
別の実施の形態においては、ガラス板のエッジの整形方法が開示され、この方法は、一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、この第１面に対向する第２面および端面を備えた厚さが２ｍｍ以下の上記ガラス板を上記支持治具に結合する工程であって、上記第１面と上記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ上記第２面と上記端面とが第２エッジに沿って交差している工程；上記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを上記第１エッジを接触させる工程であって、上記第１のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位を生じさせる第１の力Ｆ１をもって上記第１エッジに接触している工程；上記第２面に対して傾斜しかつ上記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを上記第２エッジに接触させる工程であって、上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位とは反対方向の第２の変位を生じさせる第２の力Ｆ２をもって上記第２エッジに接触し、かつ上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記第１エッジに接触する上記第１のカップ型研磨ホイールと同時に上記第２エッジに接触している工程；および上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイールと上記ガラス板との間に相対運動を生じさせて、上記第１および第２エッジに面取り部を生成させる工程を含み、その場合に、上記突出部分は上記支持治具から２５ｍｍ以上の距離Ｌだけ突出し、かつＤは上記第１の変位が上記第２の変位とオーバーラップしないように選択される。
【００１０】
上記双方の面取り部の面の交差によって形成される夾角は４０°と１４０°との間であることガ好ましい。
【００１１】
いくつかの実施の形態においては、上記面取り工程によって形成された複数のエッジは、それらの鋭利さを取り除き、かつ鋭利な面取りされたエッジ同士が接触した場合に生じ得るクラックを回避するために、その後に研磨される。
【００１２】
上記突出部分の剛性を、したがって研削ホイールとの接触から生じる撓み量を変えるために、Ｌが上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変わってもよい。Ｌは５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあることが好ましい。
【００１３】
Ｄは２２０ｍｍ以上、好ましくは２７５ｍｍ以上、いくつかの実施の形態においては、約３００ｍｍまたは３２０ｍｍ以上である。
【００１４】
さらに別の実施の形態においては、ガラス板に面取り部を研削する装置について説明されており、このガラス板は、ほぼ平行な二つの主面と、ほぼ平行な第１および第２エッジに沿って上記両主面と交差する少なくとも一つの端面とを備えている。この装置は、ほぼ平坦な研削面を備えた第１および第２の研削ホイールを有し、上記両研削面は、上記ガラス板の上記端面に対して傾斜して配置されて、ガラス板の上記第１および第２エッジのそれぞれに沿って面取り部を生成させ、上記第１および第２の研削ホイールは、それぞれ第１および第２の回転軸線の周りで回転するように構成されている。この装置はさらに、上記ガラス板の一部分が支持部材から突出しかつ上記第１および第２の研削面が上記第１および第２エッジにそれぞれ接触するのに応じて上記ガラス板が撓むのを許容するように上記ガラス板を支持する支持部材（例えば真空チャック）を有し、上記突出部分が上記第１および第２エッジを備えている。上記第１および第２の回転軸線は、上記第１の研削面と上記第１エッジとの間の接触から生じる上記ガラス板の上記突出部分の撓みが、上記第２の研削面と上記第２エッジとの間の接触から生じる上記ガラス板の上記突出部分の撓みに影響を与えないような距離だけ離れており、かつ上記第１および第２の研削面と上記第１および第２エッジとの間の接触が同時に生じる。
【００１５】
上記ガラス板は、上記突出部分の剛性が上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化する態様で支持されていることが好ましい。いくつかの実施の形態においては、上記突出部分が上記支持部材から突出する距離が、上記第１または第２エッジの長さ方向に沿った位置の関数として変化する。
【００１６】
如何なる限定をも伴うことなしに、添付図面を参照して与えられる下記の具体例の説明の過程で、本発明はより容易に理解され、かつその他の目的、特徴、詳細内容および効果がより明白に明らかになるであろう。本明細書に含まれるこのような付加的なシステム、方法、特徴および効果の全てが、本発明の範囲内であり、かつ添付の請求項によって保護されるべきものである。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】面取り部を備え、かつ面取り幅を示すガラス板の一部の断面側面図である。
【図２Ａ】ガラス板のエッジを処理する（例えば面取りをする）ための装置の断面側面図である。
【図２Ｂ】図２Ａのガラス板のエッジ部分の拡大図である。
【図３】図１の面取り部等の面取り部を生成させるのに用いられるカップ型研磨ホイールの断面側面図である。
【図４】成形された研磨ホイールの断面側面図である。
【図５】面取り後のガラス板のエッジを示し、かつ研磨ホイールの研削面の角度関係を示す、図２Ａのガラス板の一部分の断面側面図である。
【図６】固定部材から突出する部分を備え、かつガラス板の端部に力が加えられたときに発生する撓みを示す、図２Ａのガラス板等のガラス板の断面側面図である。
【図７】回転軸線が距離Ｄだけ離れている２個のカップ型研磨ホイールを示す、図２Ａのガラス板の平面図である。
【図８】公称突出距離が２５ｍｍおよび５０ｍｍのガラス板に関する撓み量の平均値（円形）、最大値（三角形）および最小値（四角形）と、偏向力を印加する研磨ホイールの位置の僅かな変化に対するガラス板の端部の撓み量の変化を示すグラフである。
【図９】カップ型研磨ホイールの位置が、２５ｍｍの突出距離を有するガラス板上の公称位置から変化せしめられときの、カップホイールの位置の関数としての面取り幅を示すグラフである。
【図１０】ガラス板に接触する単一の研磨ホイールによって単一の力が印加される場合、不適切な距離しか離されていない２個の研磨ホイールがガラス板に接触する場合、および、第１の研磨ホイールによる撓みが第２の研磨ホイールによって齎される撓みとオーバーラップしない適切な距離だけ離されている２個の研磨ホイールがガラス板に接触する場合の３通りのシナリオに関する、時間の関数としての撓み量を示すグラフである。
【図１１】２個のホイールが接近し過ぎて、一方のホイールによって齎される撓みが他方のホイールによって齎される撓みとオーバーラップする場合、および、一方のホイールによって齎される撓みが他方のホイールによって齎される撓みとオーバーラップしないように、２個のホイールの距離が離されている場合の、２個の研磨ホイールがガラス板に接触することによって齎される撓み作用を示すモデル化の結果を表すグラフである。
【図１２】支持部材のエッジが直線的でなく、突出距離が変化する支持部材によって支持されているガラス板の平面図である。
【図１３】支持部材のエッジが直線的でなく、突出距離が変化する支持部材によって支持されているガラス板の平面図である。
【図１４】研磨後のガラス板の面取りされたエッジの断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
説明のためであって限定のためのものではない下記の詳細な説明において、本発明全体の理解のために、具体的な詳細内容を開示する模範的実施の形態が説明されている。しかしながら、本発明は、ここに開示された具体的な詳細から離れた他の実施の形態の実施が可能なことは、本明細書の恩恵を受けた当業者には明らかであろう。さらに、本発明を不明瞭にしないために、良く知られたデバイス、方法および材料についての説明は省略されている。最後に、類似の素子には可能な限り類似の符号が付されている。
【００１９】
電子ディスプレー製造者等の機器製造者に供給される薄いガラス板は、処理されたエッジを備えている。すなわち、これらのエッジは研削かつ整形されて（例えば面取りされて）、破損し易い鋭利なエッジが取り除かれ、かつ裁断工程から発生する、ガラスの強度を低下させ得るエッジの傷（欠け、ひび割れ等）が取り除かれている。このようなガラス板は、一般に対向する両表面間の厚さが約２ｍｍ以下であり、約０．７ｍｍ以下がより好ましく、用途によっては約０．５ｍｍである。極めて薄いガラス板は０．３ｍｍ以下にすることができ、それでもなお本発明の恩恵を受ける余裕がある。
【００２０】
ガラスの割れは、例えば小さなひびのような最初の傷を足掛かりにして、この最初の傷から割れが延びることが知られている。割れは、極めて短い時間で自然に発生し得るか、あるいは、物品内に存在する応力に応じた長い時間に亘って徐々に発生し得る。それでもなお、各割れは傷から始まり、かつガラス板の傷は、一般にエッジに沿って見られ、そして先に罫書かれかつ裁断されたエッジに最も多く見られる。エッジの傷を排除するためには、ガラス板のエッジには最小の傷しか残らないように研削されまたは研磨され、これにより、傷を伝播させるのに必要な応力を高めることによって、ガラスシートの強度を高めればよい。
【００２１】
一方、ガラスの研削によりガラス微粒子が形成される。この微粒子は、洗浄しても、ガラスの表面から除去するのが困難なことが多い。したがって、鋭利なエッジおよび傷を最少にしながら、ガラスから取り去られる（削り取られる）材料の量を最少にするという競合する要望がある。図１を参照すると、単一の面取り部８を備えたガラス板の模範的端部が示されている。幅Ｗｂによって特徴付けられる面取り部８の研削時に発生する微粒子の量は最少にされなけれるべきである。この面取り部の幅は、面取り部と交差するガラス板の端面からの基面の長さとして定義される。
【００２２】
さらに、研磨ホイールは、ガラスエッジに沿って移動するにつれて、その位置に遊びまたは振動があるので、研削工程自体は滅多に一様であることはない。すなわち、研磨ホイールはガラス板に接近したり遠ざかったりするように動くので、研磨ホイールによってガラス板に印加される力は、時間および／または位置の関数として変化し得る。この位置の変化は、エッジから除去される材料の量に直接影響し得る。上記変化は、一様でない研削および発生する微粒子の量の変化を招来する。より判り易く言うと、面取り部の幅が変化し、もし研削されるガラス板のエッジが硬ければ、この変化は最もひどくなる。
【００２３】
図２Ａには、支持部材１６を備えた、薄いガラス板１４の処理装置１０が示されている。処理装置１０はさらに、第１研磨ホイール１８ａおよび第２研磨ホイール１８ｂを備えている。各研磨ホイールは他の研磨ホイールと同一であることが好ましく、指示がない限り、下記の説明では、模範的な研磨ホイール１８（図３）について説明する。
【００２４】
図３に示されているように、模範的な研磨ホイール１８は、窪んだ中心領域２０を備えた円形ホイールである。このようなホイールは、カップ状の形状を有するが故に、一般に「カップホイール」と呼ばれている。研磨ホイール１８はさらに、研削面として機能する外側環状面２２を備えている。この研削面は平らであることが好ましい。これは、ガラス板のエッジに望まれる輪郭と相補的な輪郭を有するホイールのエッジにおける溝すなわち窪んだ領域２４を備えた「成形された」研削ホイール（図４参照）と比較される。
【００２５】
図４に示されているような成形されたホイールは、研削面内の窪んだ領域に関して小さなきつい半径が要求される場合に製作が困難である。成形されたホイールは、一般に放電加工機（ＥＤＭ）を用いて製作され、この形状を創り出すこの工具は急速に摩耗し勝ちであり、得られる溝の底に鈍い形状を生成させる。この摩耗は、薄いガラス板のエッジ上に仕上げられた最終的な形状を生成させるためには望ましくない。これに比較して、本発明の実施の形態による平面接触面（すなわち研磨面）を有するホイールは、ガラス板に接触する研磨面が著しく増大しているために、遥かに長時間その形状を維持する。
【００２６】
一般に、研削面２２は、適当な基質すなわちバインダ（例えば樹脂または金属複合基質）中に分散された切削媒体としてダイアモンド粉を備えている。６００メッシュのダイアモンド粉を用いれば良い結果が得られるが、３００メッシュから１０００メッシュまでの範囲内の粒径が良いことも立証されている。カーバイド粉等の他の切削媒体も用いることができる。研磨ホイール１８は、電動機の軸等の回転軸２６に取り付けられ、この軸は、その周りで研磨ホイールが回転せしめられる軸線２８を備えている。上述のカップ型研磨ホイールを用いれば、成形されたホイールに比較して、ガラス板に対して施される研磨面積が著しく増大するので、カップ型研磨ホイールは、研削されるガラスの量に用いられる研削媒体の観点からより費用効果が大きい。より簡単に言えば、カップ型研磨ホイールは、研削業務に対して、成形されたホイール構造よりも、より多くの研削媒体を施すことによって、より有効な研削媒体の使用を可能にする。また、平らな接触面を有する研磨ホイールが備えている、より大きい表面積が用いられるので、成形されたホイールよりもずっと永く使用することができる。このことは、研磨ホイールの年間コストを低減することができるのみでなく、カップ型研磨ホイールの交換に伴いラインが停止する頻度を、成形されたホイールよりも遥かに少なくすことができるために、生産コストをも低減することができる。
【００２７】
図２Ａはまた、ガラス板１４の部分３０が支持部材１６を越えて突出する態様で、支持部材１６により支持されていることをも示している。例えばガラス板１４は、図示のような水平状態に配置され、この状態は、このガラス板が支持部材から片持ちにされていると言われる状態である。しかしながら、ガラス板１４は如何なる方位、如何なる角度に固定されていてもよい。例えばガラス板１４が垂直方向に支持されていてもよい。装置１０は、ガラス板１４を支持部材１６に固定するために、レール、フィンガ、フックまたはその他のクランプ部材を備えたクランプ部材３１を備えている。ガラス板の他の固定方法は、ガラス板を静止状態に支持する真空チャックを備えることによる。真空が単独に、またはさらなるクランプ部材と組み合わせて用いられる。一般に、ガラス板の一部分が固定物（例えば支持部材１６およびクランプ部材３１）から突出して配置され、かつガラス板はしっかりと取り付けられていても、その突出した部分は固定物に対して自由に撓むことができるようになっておりさえすれば、如何なる適当な方法でガラス板１４が支持部材１６に固定されていてもよい。ガラス板は、上記突出する部分３０が所定の距離Ｌだけ突出するように固定物に取り付けられる。この距離Ｌは、下記にさらに詳細に説明されているように、ガラス板のＬは、測定されるエッジに沿った位置に応じて変わり得る。
【００２８】
なおも図２Ａを参照すると、ガラス板１４は、第１主面３２、第２主面３４、および第１および第２主面の間において、第１および第２エッジ３８，４０に沿って第１および第２主面とそれぞれ交差する端面３６（ガラス板１４の一部分を示す図２Ｂ参照）を備えている。ここで、図２Ａ，図２Ｂ、図５および図６を参照すると、第１のカップ型研磨ホイール１８ａは、この研磨ホイールの平らな研削面が端面３６に対して第１角度αを形成し（図５）、かつ第１面３２と端面３６との間の第１エッジ３８（図２Ｂ）に接触するように配置されている。第２カップ型研磨ホイール１８ｂは、この研磨ホイールの研削面が端面３６に対して第２角度βを形成し、かつ第２面３２と端面３６との間の第２エッジ４０に接触するように配置されている。第１および第２角度α，βは等しいことが好ましいが、必ずしも必要ではない。
【００２９】
第１研磨ホイール１８ａは、回転軸線２８ａの周りで回転せしめられ、第１面３２上に力Ｆ１をもって作用する。この力Ｆ１自体は、ガラス板１４に撓みδ１を生じさせる。すなわち、ガラス板１４は印加される力に応答して曲がる。このことは、ガラス板１４に力Ｆが加えられ、これにより撓みδの形態の応答が誘導されることを示す図６に一般的に見られる。曲がり量、すなわち追随性（δの大きさ）は、ガラスの材料特性（例えばヤング率）、固定物からの突出量、および力の大きさを含む多くの変数の関数である。これらの変数は一括されて、剛性の値ｋによって特徴付けられ、剛性は、加えられた力を曲がり量で割った値に等しい。この剛性ｋは一般に、
【数１】
【００３０】
として表すことができ、ここで、撓み量δで除算し力Ｆはまた、ガラスの弾性係数に慣性モーメントを掛け、かつ固定部を越えるガラスの突出量の３乗で除算した値に比例する。
【００３１】
一つの研磨ホイールによって除去される材料の量は、印加される力に直接比例することも示されている。上述の等式から、突出部分がなく、かつ印加された力の存在に対してガラス板の面に撓みがないように、剛直な支持部材によって完全に支持された板は、剛性が無限大である。この場合、研磨ホイールによってガラス板に印加される力のような力の増大は、材料の除去される量の増大と釣り合う結果となり、したがって、面取り部の幅が増大する。このようなシステムは、実生活にしばしば観察されるように、研削ホイールの位置の僅かな変動にも敏感に反応する。この感受性は１：１と高く、印加される力が２倍になれば、除去される材料が２倍になる。
【００３２】
一方、上述の関係は、もしガラス板の一部分が固定物を越えて（例えば支持部材１６を越えて）突出していれば、突出部分の剛性は低下しかつ有限でガラス板は撓み得る。低い有限の剛性に関しては、この追随性が面取り部の幅を狭くする。換言すれば、低い剛性を有する（追随性を示す）ガラス板に接触する研磨ホイールに僅かな位置的変動があっても、剛直なガラス板（例えば高い剛性）に比較した場合に、除去される材料の大きな増大を防ぐことができる。さらに、エッジ斜め削り装置の精密なレベルは、ガラス板が追随性を示さない場合に必要であるほど高い必要はない。これにより、例えばベアリングの精密性が緩和されるので、機器のコストが低減される。
【００３３】
本発明の実施の形態によれば、複数の研磨ホイールが用いられて、固定装置によって束縛されたガラス板の端縁の両エッジに面取り部を形成し、その場合、ガラス板は、固定装置を越えて突出する部分を備えている。少なくとも２個の研磨ホイールが配備され、これら少なくとも２個の研磨ホイールのそれぞれが、ガラス板の両側においてガラス板の端部上に係合するように配置される。各ホイールは、各回転軸線の周りで回転せしめられ、かつガラス板の端縁に沿って二つの面取り部が形成されるように、ガラス板の端縁に沿って移動せしめられる。
【００３４】
例えば、研磨ホイール１８ａによって、ガラス板１４の第１エッジ３８に沿って面取り部が形成される。端面３６に対する面取り部の角度αは、２０°から７０°までの間の角度において良い結果が得られたが、約６０°が好ましい（図５）。同様に、研磨ホイール１８ｂは、約６０°が好ましい面取り角度βをもって第２エッジ４０に第２面取り部を生成させる。しかしながら、これも２０°から７０°までの間の角度が許容範囲である。これにより、第１および第２主面３２および３４、端面３６、ならびに面取り面４２および４４を備えた、図５に示すような中間形状が生成される。面取り面４２および４４は、それぞれ第３および第４エッジ４６および４８に沿って端面３６と交差している。面取り面４２および４４はまた、第５および第６エッジ５０および５２に沿ってそれぞれ第１および第２主面３２および３４と交差している。二つの面取り面によって形成される夾角φは、４０°と１４０°との間の範囲内が好ましい。
【００３５】
カップ型研磨ホイール１８ｂから１８ａへの影響を遮断するために、第１および第２カップ型研磨ホイール１８ａ，１８ｂのそれぞれの回転軸線２８ａ，２８ｂは、図７に示されているように、所定の間隔Ｄが保たれている。この所定の間隔の値は、一方のカップホイールによってガラスシート１４に対して加えられる力が他方のカップホイールに影響を与えないように選択される。すなわち、一方のカップホイールによって生起されるガラス板の平面からの撓みは、他方のカップホイールの支配領域内において撓みを生じさせない。もっと簡単に言えば、一方の研磨ホイールによって生起されるガラス板の平面からの撓みが、他方の研磨ホイールによって生起される撓みとオーバーラップしない。
【００３６】
取り除かれる材料の量、すなわち面取り幅は、研削作業の成果の測定に用いられる。図８は、二種類の公称突出量２５ｍｍ（左）および５０ｍｍ（右）に対する面取り幅の平均値（円形）および最小値と最大値との間の範囲（各データ点に関する三角形と四角形との間の距離）を示す。短い方の公称突出距離Ｌ＝２５ｍｍに関しては、Ｚ軸方向の加工位置の（切込み深さ）の増大に伴って面取り幅が増大する。すなわち、研磨ホイールがガラスシートにより近く持ち来たされるからである。Ｌ＝５０ｍｍに関する同様の観察は、切込み深さの増大に伴う面取り幅の変化は、突出距離２５ｍｍのサンプルに関する増大量よりも小さいことを示している。
【００３７】
図９は、切込み深さ（Ｚ軸方向の加工位置）の変化に伴う取り除かれるガラス材料における非直線性を示す。ホイール位置が公称位置に対してＺ軸（ガラス板の主面に直角）に沿って変化すると、撓みは非直線的に変化する。これは、印加される負荷（切削力）の変化につれてガラスの剛性に変化が生じるために起こる。研磨ホイールによってガラス板に大き過ぎる力が印加された場合における最終的な到達点は、ガラスの破損（破壊）を招くか、あるいはガラスが支持部材（例えば真空チャック）から外れる原因となる。
【００３８】
当業者であれば、第２の研磨ホイール１８ｂに関しても、上述の事状と同様のことが表現され得ることが理解されるであろう。すなわち、第２エッジ４０に接触して力Ｆ２を加える第２の研磨ホイール１８ｂを考える。しかしながら、Ｆ２はＦ１の方向とは反対方向に印加されるために、ガラスシートの突出部分の変位は、第１の研磨ホイールによって生起される撓みとは反対方向に発生する。
【００３９】
一つの実施の形態は、先ず一方のエッジを面取りして、次いで他方のエッジを面取りすることを含むが、この方法は、双方のエッジを同時に面取りするよりも非効率的である。しかしながら、各カップ型研磨ホイールによって突出部分に加えられて、この突出部分に撓みを生じさせる力は、第１および第２のカップ型研磨ホイールのそれぞれに関して反対なために、一方のカップホイールによって生起される撓みが、他方のカップホイールによる研削に影響しないように、二つのカップホイールを離すことが望ましい。換言すれば、双方のカップ型研磨ホイールの回転軸線は、少なくとも両カップホイール間のガラス部分が実質的に撓まないように、距離Ｄだけ離さなければならない。
【００４０】
図１０は、三種類のシナリオに関する撓み量測定を示す。すなわち、１）単一の研磨ホイールが研削作業を実施するときのガラス板の変位（曲線６０）、２）回転軸線が１９０ｍｍだけ離れた２個の研磨ホイールが研削作業を実施するときのガラス板の変位（曲線６２）、３）回転軸線が３１０ｍｍだけ離れた２個の研磨ホイールが研削作業を実施するときのガラス板の変位（曲線６４）である。曲線６４の平坦部分６６は、２個のホイール間に相互作用がないことを示している。すなわち、両ホイールによって生成される変位は分離され、かつ互いに区別可能であり、交差しない。二つの変位の間の平坦な領域６６は、変位しない領域である。２本の回転軸線２８ａ，２８ｂ間の間隔Ｄは、２５０ｍｍ以上が好ましく、３１０ｍｍ以上がより好ましい。
【００４１】
図１１は、二種類のシナリオに関するモデル化の結果を示す。曲線７０によって表されている第１のシナリオにおいては、先ず第１の研磨ホイールがガラス板に係合し、その後に第２の研磨ホイールが係合する。第１の研磨ホイールの回転軸線は第２の研磨ホイールの回転軸線から１９０ｍｍの距離Ｄしか離れていない。この曲線は、上記第１および第２の研磨ホイールの接触による上記第１および第２の研磨ホイール間のガラス板の撓みを示している。すなわち、一方の研磨ホイールによる撓みが他方の研磨ホイールによる撓みによって影響されている。曲線７２は、二つの研磨ホイールの回転軸線が３１０ｍｍだけ離れている場合を示す。実質的に平坦な部分７４は、一方のホイールによって生起された撓みが、他方のホイールによる撓みによって影響されていないことを示している。
【００４２】
別の実施の形態においては、ガラス板のコーナーにおける剛性が、ガラス板の中心領域におけるガラス板の剛性よりも低いという事実を反映して、支持部材の形状が変えられている。このことは、ガラス板のコーナーにおける一点が、一方側にのみガラスを有していて、他方側にはガラスが存在しないことに注目することによって容易に理解することができる。エッジの他端における反対側のコーナーに関しても同じことが言える。このことは、上記ガラス板に対して所定位置にセットされた（すなわち、所定の研削深さにセットされた）研磨ホイールが、上記ガラス板の両コーナーからよりも多くの材料を上記ガラス板の中央領域から取り去る結果となる。これは、両コーナー領域が部分的により多く撓んで、カール状態を示すことによって生じる。一定の剛性と、エッジの長さ方向に沿う一貫した材料除去を維持するために、剛性に左右される変数の一つを変える必要がある。必要であれば、研磨ホイールが与えられたエッジに沿って移動するにつれて研磨ホイールの位置を変えればよい。あるいは、ガラス板の突出量Ｌがエッジに沿って変化するように、支持部材１６の形状を変えればよい。この場合には、上記ガラス板の両コーナーの近傍においてＬを短縮しなければならず、これらの点においてＬを短縮すると、これらの領域におけるガラス板の剛性が効果的に増大する。例えば図１２は、支持部材１６に取付けられたガラス板１４の平面図を示し、支持部材１６は、ガラス板の所定の領域におけるＬが短縮されるように、ガラス板１４の突出部分３０の近傍において非直線的なエッジを備えている。この支持部材のエッジは、接続された複数の傾斜した直線部分を備えて、図１２に示されているように、ガラス板の中央部分（例えばＬ１）と端部（例えばＬ２）との間で突出長さが異なる効果を有し、あるいは、図１３に示されているように、エッジが湾曲部分を有していてもよく、同様に突出長さが異なる効果を有する。
【００４３】
さらに、一旦ガラス板上に面取り部が生成されると、後から生成された複数のエッジ（４６，４８および５０，５２）はさらに研磨されて、これらのエッジの鋭利な角が取り除かれて、円弧状のエッジを形成する（図１４参照）。これは、例えばバフ研磨ホイールおよび適当な研磨ペーストを用いて達成される。
【００４４】
種々の模範的および非限定的実施の形態は下記の通りである。
【００４５】
Ｃ１：ガラス板のエッジの整形方法において、この方法は、一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、該第１面に対向する第２面および端面を備えた１枚のガラス板を支持治具に結合する工程であって、上記第１面と上記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ上記第２面と上記端面とが第２エッジに沿って交差している工程；上記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを上記第１エッジに接触させる工程であって、上記第１のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位δ１を生じさせる第１の力Ｆ１をもって上記第１エッジに接触している工程；上記第２面に対して傾斜しかつ上記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールに上記第２エッジを接触させる工程であって、上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位δ１とは反対側の第２の変位δ２を生じさせる第２の力Ｆ２をもって上記第２エッジに接触し、かつ上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記第１エッジに接触する上記第１のカップ型研磨ホイールと同時に上記第２エッジに接触している工程；および上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイールと上記ガラス板との間に相対運動を生じさせる工程を含み、その場合に、上記第１の変位が上記第２の変位とオーバーラップしない。
【００４６】
Ｃ２：上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイール間には相対運動が存在しないＣ１記載の方法。
【００４７】
Ｃ３：Ｄが２２０ｍｍ以上であるＣ２記載の方法。
【００４８】
Ｃ４：Ｄが２７５ｍｍ以上であるＣ１からＣ３の何れか１項記載の方法。
【００４９】
Ｃ５：Ｌが５ｍｍ以上であるＣ１からＣ４の何れか１項記載の方法。
【００５０】
Ｃ６：Ｌが約１５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあるＣ１からＣ５の何れか１項記載の方法。
【００５１】
Ｃ７：上記第１および第２のカップ型研磨ホイールの回転が第１および第２の面取り面をそれぞれ生じさせ、その場合、上記第１の面取り面は第３エッジに沿って上記端面と交差し、かつ上記第２の面取り面は第４エッジに沿って上記端面と交差し、さらに上記ガラス板を研磨して円弧状の第３および第４エッジを生じさせるＣ１からＣ６の何れか１項記載の方法。
【００５２】
Ｃ８：上記第１または第２エッジに沿う位置に関連してＬが変化するＣ１からＣ７の何れか１項記載の方法。
【００５３】
Ｃ９：上記支持治具は、そこから上記突出部分が突出する該突出部分に最も近いエッジを備え、かつこの支持治具のエッジが非直線形状を有するＣ１からＣ８の何れか１項記載の方法。
【００５４】
Ｃ１０：一定の面取り幅を維持するために、上記第１のカップ型研磨ホイールと上記第１エッジとの間の距離がそれぞれ変化せしめられるＣ１からＣ９の何れか１項記載の方法。
【００５５】
Ｃ１１：ガラス板のエッジの整形方法において、この方法は、一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、該第１面に対向する第２面および端面を備えた厚さが２ｍｍ以下の上記ガラス板を上記支持治具に結合する工程であって、上記第１面と上記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ上記第２面と上記端面とが第２エッジに沿って交差している工程；上記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを上記第１エッジに接触させる工程であって、上記第１のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位を生じさせる第１の力Ｆ１をもって上記第１エッジに接触している工程；上記第２面に対して傾斜しかつ上記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを上記第２エッジに接触させる工程であって、上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記突出部分に第１の変位とは反対方向の第２の変位を生じさせる第２の力Ｆ２をもって上記第２エッジに接触し、かつ上記第２のカップ型研磨ホイールは、上記第１エッジに接触する上記第１のカップ型研磨ホイールと同時に上記第２エッジに接触している工程；および上記第１および第２のカップ型研磨ホイールが上記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、上記第１および第２のカップ型研磨ホイールと上記ガラス板との間に相対運動を生じさせて、上記第１および第２エッジに面取り部を生成させる工程を含み、その場合に、上記突出部分は上記支持治具から２５ｍｍ以上の距離Ｌだけ突出し、かつＤは上記第１の変位が上記第２の変位とオーバーラップしないように選択される。
【００５６】
Ｃ１２：上記双方の面取り部の面の交差によって形成される夾角が４０°と１４０°との間であるＣ１１記載の方法。
【００５７】
Ｃ１３：上記面取り部の生成の結果として形成される複数の追加のエッジをさらに含むＣ１１またはＣ１２記載の方法。
【００５８】
Ｃ１４：Ｌが上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化するＣ１１からＣ１３の何れか１項記載の方法。
【００５９】
Ｃ１５：Ｌが５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあるＣ１１からＣ１４の何れか１項記載の方法。
【００６０】
Ｃ１６：Ｄが２２０ｍｍ以上であるＣ１１からＣ１５の何れか１項記載の方法。
【００６１】
Ｃ１７：ほぼ平行な二つの主面と、ほぼ平行な第１および第２エッジに沿って上記両主面と交差する少なくとも一つの端面とを備えたガラス板の研削装置であって、この装置は、ほぼ平坦な研削面を備えた第１および第２の研削ホイールを有し、上記両研削面は、上記ガラス板の上記端面に対して傾斜して配置されて、該ガラス板の上記第１および第２エッジのそれぞれに沿って面取り部を生成させ、上記第１および第２の研削ホイールは、それぞれ第１および第２の回転軸線の周りで回転するように構成されており、上記ガラス板の一部分が支持部材から突出しかつ上記第１および第２の研削面が上記第１および第２エッジにそれぞれ接触するのに応じて上記ガラス板が撓むのを許容するように上記ガラス板を支持する支持部材を有し、上記突出部分が上記第１および第２エッジを備えており、その場合、上記第１および第２の回転軸線は、上記第１の研削面と上記第１エッジとの間の接触から生じる上記ガラス板の上記突出部分の撓みが、上記第２の研削面と上記第２エッジとの間の接触から生じる上記ガラス板の上記突出部分の撓みに影響を与えないような距離だけ離れており、かつ上記第１および第２の研削面と上記第１および第２エッジとの間の接触が同時に生じる。
【００６２】
Ｃ１８：上記突出部分が上記支持部材から突出する距離が、上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化するＣ１７記載の装置。
【００６３】
Ｃ１９：上記ガラス板は、上記突出部分の剛性が上記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化する態様で支持されているＣ１７またはＣ１８記載の装置。
【００６４】
Ｃ２０：上記支持部材が真空チャックを備えているＣ１７からＣ１９の何れか１項記載の装置。
【００６５】
上述の本発明の実施の形態、特に「好ましい」実施の形態の何れもが、実施可能な実例に過ぎず、本発明の原理を明快に理解するための説明に過ぎない。本発明の精神および範囲から離れることなしに、上述の本発明の実施の形態に対する種々の変形および変更が可能である。このような変形および変更の全ては、本明細書および本発明の範囲内に含まれ、かつ添付の請求項によって保護されることを意図するものである。
【符号の説明】
【００６６】
１０ ガラス板処理装置
１４ ガラス板
１６ 支持部材（支持治具）
１８ａ，１８ｂ 研磨ホイール
２０ 研磨ホイールの窪んだ中心領域
２２ 研磨ホイールの外側環状面（研削面）
２６ 回転軸
２８ａ，２８ｂ 回転軸線
３０ ガラス板の突出部分
３１ クランプ部材
３２ 第１主面
３４ 第２主面
３６ 端面
３８ 第１エッジ
４０ 第２エッジ
４２，４４ 面取り面
４６ 第３エッジ
４８ 第４エッジ
５０ 第５エッジ
５２ 第６エッジ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板のエッジの整形方法であって、
一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、該第１面に対向する第２面および端面を備えた１枚のガラス板を前記支持治具に結合する工程であって、前記第１面と前記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ前記第２面と前記端面とが第２エッジに沿って交差している工程、
前記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを前記第１エッジに接触させる工程であって、前記第１のカップ型研磨ホイールは、前記突出部分に第１の変位δ１を生じさせる第１の力Ｆ１をもって前記第１エッジに接触している工程、
前記第２面に対して傾斜しかつ前記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを前記第２エッジに接触させる工程であって、前記第２のカップ型研磨ホイールは、前記突出部分に第１の変位δ１とは反対側の第２の変位δ２を生じさせる第２の力Ｆ２をもって前記第２エッジに接触し、かつ前記第２のカップ型研磨ホイールは、前記第１エッジに接触する前記第１のカップ型研磨ホイールと同時に前記第２エッジに接触している工程、および
前記第１および第２のカップ型研磨ホイールが前記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、前記第１および第２のカップ型研磨ホイールと前記ガラス板との間に相対運動を生じさせる工程、
を含み、
その場合に、前記第１の変位が前記第２の変位とオーバーラップしない、
ことを特徴とする前記方法。
【請求項２】
前記第１および第２のカップ型研磨ホイールが前記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、前記第１および第２のカップ型研磨ホイール間には相対運動が存在しないことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
Ｄが２２０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
Ｄが２７５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１から３の何れか１項記載の方法。
【請求項５】
Ｌが５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１から４の何れか１項記載の方法。
【請求項６】
Ｌが約１５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあることを特徴とする請求項１から５の何れか１項記載の方法。
【請求項７】
前記第１および第２のカップ型研磨ホイールの回転が第１および第２の面取り面をそれぞれ生じさせ、その場合、前記第１の面取り面は第３エッジに沿って前記端面と交差し、かつ前記第２の面取り面は第４エッジに沿って前記端面と交差し、さらに前記ガラス板を研磨して円弧状の第３および第４エッジを生じさせることを特徴とする請求項１から６の何れか１項記載の方法。
【請求項８】
前記第１または第２エッジに沿う位置に関連してＬが変化することを特徴とする請求項１から７の何れか１項記載の方法。
【請求項９】
前記支持治具は、そこから前記突出部分が突出する該突出部分に最も近いエッジを備え、かつ該支持治具のエッジが非直線形状を有することを特徴とする請求項１から８の何れか１項記載の方法。
【請求項１０】
一定の面取り幅を維持するために、前記第１のカップ型研磨ホイールと前記第１エッジとの間の距離がそれぞれ変化せしめられることを特徴とする請求項１から９の何れか１項記載の方法。
【請求項１１】
ガラス板のエッジの整形方法であって、
一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、該第１面に対向する第２面および端面を備えた厚さが２ｍｍ以下の１枚のガラス板を前記支持治具に結合する工程であって、前記第１面と前記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ前記第２面と前記端面とが第２エッジに沿って交差している工程、
前記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを前記第１エッジに接触させる工程であって、前記第１のカップ型研磨ホイールは、前記突出部分に第１の変位を生じさせる第１の力Ｆ１をもって前記第１エッジに接触している工程、
前記第２面に対して傾斜しかつ前記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを前記第２エッジに接触させる工程であって、前記第２のカップ型研磨ホイールは、前記突出部分に第１の変位とは反対方向の第２の変位を生じさせる第２の力Ｆ２をもって前記第２エッジに接触し、かつ前記第２のカップ型研磨ホイールは、前記第１エッジに接触する前記第１のカップ型研磨ホイールと同時に前記第２エッジに接触している工程、および
前記第１および第２のカップ型研磨ホイールが前記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、前記第１および第２のカップ型研磨ホイールと前記ガラス板との間に相対運動を生じさせて、前記第１および第２エッジに面取り部を生成させる工程、
を含み、
その場合に、前記突出部分は前記支持治具から２５ｍｍ以上の距離Ｌだけ突出し、かつＤは前記第１の変位が前記第２の変位とオーバーラップしないように選択される、
ことを特徴とする前記方法。
【請求項１２】
前記双方の面取り部の面の交差によって形成される夾角が４０°と１４０°との間であることを特徴とする請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記面取り部の生成の結果として形成される複数の追加のエッジをさらに含むことを特徴とする請求項１１または１２記載の方法。
【請求項１４】
Ｌが前記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化することを特徴とする請求項１１から１３の何れか１項記載の方法。
【請求項１５】
Ｌが５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあることを特徴とする請求項１１から１４の何れか１項記載の方法。
【請求項１６】
Ｄが２２０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１１から１５の何れか１項記載の方法。
【請求項１７】
ほぼ平行な二つの主面と、ほぼ平行な第１および第２エッジに沿って前記両主面と交差する少なくとも一つの端面とを備えたガラス板の研削装置であって、
ほぼ平坦な研削面を備えた第１および第２の研削ホイールを有し、前記両研削面は、前記ガラス板の前記端面に対して傾斜して配置されて、該ガラス板の前記第１および第２エッジのそれぞれに沿って面取り部を生成させ、前記第１および第２の研削ホイールは、それぞれ第１および第２の回転軸線の周りで回転するように構成されており、
前記ガラス板の一部分が支持部材から突出しかつ前記第１および第２の研削面が前記第１および第２エッジにそれぞれ接触するのに応じて前記ガラス板が撓むのを許容するように前記ガラス板を支持する支持部材を有し、前記突出部分が前記第１および第２エッジを備えており、
その場合、前記第１および第２の回転軸線は、前記第１の研削面と前記第１エッジとの間の接触から生じる前記ガラス板の前記突出部分の撓みが、前記第２の研削面と前記第２エッジとの間の接触から生じる前記ガラス板の前記突出部分の撓みに影響を与えないような距離だけ離れており、かつ前記第１および第２の研削面と前記第１および第２エッジとの間の接触が同時に生じる
ことを特徴とする前記装置。
【請求項１８】
前記突出部分が前記支持部材から突出する距離が、前記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化することを特徴とする請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記ガラス板は、前記突出部分の剛性が前記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化する態様で支持されていることを特徴とする請求項１７または１８記載の装置。
【請求項２０】
前記支持部材が真空チャックを備えていることを特徴とする請求項１７から１９の何れか１項記載の装置。
【請求項１】
ガラス板のエッジの整形方法であって、
一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、該第１面に対向する第２面および端面を備えた１枚のガラス板を前記支持治具に結合する工程であって、前記第１面と前記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ前記第２面と前記端面とが第２エッジに沿って交差している工程、
前記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを前記第１エッジに接触させる工程であって、前記第１のカップ型研磨ホイールは、前記突出部分に第１の変位δ１を生じさせる第１の力Ｆ１をもって前記第１エッジに接触している工程、
前記第２面に対して傾斜しかつ前記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを前記第２エッジに接触させる工程であって、前記第２のカップ型研磨ホイールは、前記突出部分に第１の変位δ１とは反対側の第２の変位δ２を生じさせる第２の力Ｆ２をもって前記第２エッジに接触し、かつ前記第２のカップ型研磨ホイールは、前記第１エッジに接触する前記第１のカップ型研磨ホイールと同時に前記第２エッジに接触している工程、および
前記第１および第２のカップ型研磨ホイールが前記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、前記第１および第２のカップ型研磨ホイールと前記ガラス板との間に相対運動を生じさせる工程、
を含み、
その場合に、前記第１の変位が前記第２の変位とオーバーラップしない、
ことを特徴とする前記方法。
【請求項２】
前記第１および第２のカップ型研磨ホイールが前記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、前記第１および第２のカップ型研磨ホイール間には相対運動が存在しないことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
Ｄが２２０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
Ｄが２７５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１から３の何れか１項記載の方法。
【請求項５】
Ｌが５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１から４の何れか１項記載の方法。
【請求項６】
Ｌが約１５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあることを特徴とする請求項１から５の何れか１項記載の方法。
【請求項７】
前記第１および第２のカップ型研磨ホイールの回転が第１および第２の面取り面をそれぞれ生じさせ、その場合、前記第１の面取り面は第３エッジに沿って前記端面と交差し、かつ前記第２の面取り面は第４エッジに沿って前記端面と交差し、さらに前記ガラス板を研磨して円弧状の第３および第４エッジを生じさせることを特徴とする請求項１から６の何れか１項記載の方法。
【請求項８】
前記第１または第２エッジに沿う位置に関連してＬが変化することを特徴とする請求項１から７の何れか１項記載の方法。
【請求項９】
前記支持治具は、そこから前記突出部分が突出する該突出部分に最も近いエッジを備え、かつ該支持治具のエッジが非直線形状を有することを特徴とする請求項１から８の何れか１項記載の方法。
【請求項１０】
一定の面取り幅を維持するために、前記第１のカップ型研磨ホイールと前記第１エッジとの間の距離がそれぞれ変化せしめられることを特徴とする請求項１から９の何れか１項記載の方法。
【請求項１１】
ガラス板のエッジの整形方法であって、
一部分が支持治具から距離Ｌだけ突出し、かつ第１面、該第１面に対向する第２面および端面を備えた厚さが２ｍｍ以下の１枚のガラス板を前記支持治具に結合する工程であって、前記第１面と前記端面とが第１エッジに沿って交差し、かつ前記第２面と前記端面とが第２エッジに沿って交差している工程、
前記第１面に対して傾斜した第１軸線の周りで回転する第１のカップ型研磨ホイールを前記第１エッジに接触させる工程であって、前記第１のカップ型研磨ホイールは、前記突出部分に第１の変位を生じさせる第１の力Ｆ１をもって前記第１エッジに接触している工程、
前記第２面に対して傾斜しかつ前記第１のカップ型研磨ホイールの回転軸線から距離Ｄだけ離れた第２軸線の周りで回転する第２のカップ型研磨ホイールを前記第２エッジに接触させる工程であって、前記第２のカップ型研磨ホイールは、前記突出部分に第１の変位とは反対方向の第２の変位を生じさせる第２の力Ｆ２をもって前記第２エッジに接触し、かつ前記第２のカップ型研磨ホイールは、前記第１エッジに接触する前記第１のカップ型研磨ホイールと同時に前記第２エッジに接触している工程、および
前記第１および第２のカップ型研磨ホイールが前記第１および第２エッジにそれぞれ接触している間、前記第１および第２のカップ型研磨ホイールと前記ガラス板との間に相対運動を生じさせて、前記第１および第２エッジに面取り部を生成させる工程、
を含み、
その場合に、前記突出部分は前記支持治具から２５ｍｍ以上の距離Ｌだけ突出し、かつＤは前記第１の変位が前記第２の変位とオーバーラップしないように選択される、
ことを特徴とする前記方法。
【請求項１２】
前記双方の面取り部の面の交差によって形成される夾角が４０°と１４０°との間であることを特徴とする請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記面取り部の生成の結果として形成される複数の追加のエッジをさらに含むことを特徴とする請求項１１または１２記載の方法。
【請求項１４】
Ｌが前記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化することを特徴とする請求項１１から１３の何れか１項記載の方法。
【請求項１５】
Ｌが５ｍｍと５０ｍｍとの間の範囲内にあることを特徴とする請求項１１から１４の何れか１項記載の方法。
【請求項１６】
Ｄが２２０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１１から１５の何れか１項記載の方法。
【請求項１７】
ほぼ平行な二つの主面と、ほぼ平行な第１および第２エッジに沿って前記両主面と交差する少なくとも一つの端面とを備えたガラス板の研削装置であって、
ほぼ平坦な研削面を備えた第１および第２の研削ホイールを有し、前記両研削面は、前記ガラス板の前記端面に対して傾斜して配置されて、該ガラス板の前記第１および第２エッジのそれぞれに沿って面取り部を生成させ、前記第１および第２の研削ホイールは、それぞれ第１および第２の回転軸線の周りで回転するように構成されており、
前記ガラス板の一部分が支持部材から突出しかつ前記第１および第２の研削面が前記第１および第２エッジにそれぞれ接触するのに応じて前記ガラス板が撓むのを許容するように前記ガラス板を支持する支持部材を有し、前記突出部分が前記第１および第２エッジを備えており、
その場合、前記第１および第２の回転軸線は、前記第１の研削面と前記第１エッジとの間の接触から生じる前記ガラス板の前記突出部分の撓みが、前記第２の研削面と前記第２エッジとの間の接触から生じる前記ガラス板の前記突出部分の撓みに影響を与えないような距離だけ離れており、かつ前記第１および第２の研削面と前記第１および第２エッジとの間の接触が同時に生じる
ことを特徴とする前記装置。
【請求項１８】
前記突出部分が前記支持部材から突出する距離が、前記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化することを特徴とする請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記ガラス板は、前記突出部分の剛性が前記第１または第２エッジに沿った位置の関数として変化する態様で支持されていることを特徴とする請求項１７または１８記載の装置。
【請求項２０】
前記支持部材が真空チャックを備えていることを特徴とする請求項１７から１９の何れか１項記載の装置。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１１−２６１９５（Ｐ２０１１−２６１９５Ａ）
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２０１０−１６６９９２（Ｐ２０１０−１６６９９２）
【出願日】平成２２年７月２６日（２０１０．７．２６）
【出願人】（３９７０６８２７４）コーニング インコーポレイテッド (1,222)
【復代理人】
【識別番号】１００１１６５４０
【弁理士】
【氏名又は名称】河野 香
【復代理人】
【識別番号】１００１３９７２３
【弁理士】
【氏名又は名称】樋口 洋
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１６６９９２（Ｐ２０１０−１６６９９２）
【出願日】平成２２年７月２６日（２０１０．７．２６）
【出願人】（３９７０６８２７４）コーニング インコーポレイテッド (1,222)
【復代理人】
【識別番号】１００１１６５４０
【弁理士】
【氏名又は名称】河野 香
【復代理人】
【識別番号】１００１３９７２３
【弁理士】
【氏名又は名称】樋口 洋
【Ｆターム（参考）】
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