説明

ガラス糸巻銅線及びガラス糸巻銅線の製造方法

【課題】生産性が高く、導電率、軟化温度及び表面品質に優れたガラス糸巻銅線及びガラス糸巻銅線の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス糸巻銅線1は、導体と、導体にガラス糸束を巻いて形成されるガラス糸巻層と、ガラス糸巻層に絶縁塗料を含浸させた絶縁層と、を備え、導体が、純銅と、2mass ppmを超える量の酸素と、Ti、Mg、Zr、Nb、Ca、V、Ni、Mn及びCrからなる群から選択された添加元素と、を含み、残部が不可避的不純物である。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ガラス糸巻銅線及びガラス糸巻銅線の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来の技術として、軟化温度が低く、かつ、導電率の高い無酸素銅材の製造方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。この無酸素銅材の製造方法では、上方引き上げ連続鋳造装置にて、酸素量が0.0001質量%以下の無酸素銅に、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)又はバナジウム(V)等の金属を微量(0.0007〜0.005質量%)添加した銅溶湯を用いて荒引き材を製造し、この荒引き材に冷間伸線加工を実施することにより冷間伸線材を作製した後、この冷間伸線材に熱処理を実施して無酸素銅材を製造する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開2008−255417号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、上記の無酸素銅材を用いてガラス糸巻銅線を作製する場合、従来のガラス糸巻銅線の製造方法では、3号平角銅線(JIS C3104−1994に規定されている軟質の電気用の平角銅線)を作製する際、1号平角銅線(JIS C3104−1994に規定されている硬質の電気用の平角銅線)を、電気抵抗炉等を使用して十分に軟化焼鈍することが必要となる。しかし、この軟化焼鈍工程を含む製造工程は、焼鈍工程において消費する電力等のエネルギー費用、焼鈍工程の設備費用、設備メンテナンス費用、焼鈍工程にかかる時間及び人件費等によりガラス糸巻銅線の製造コストが高くなることが問題となる。
【0005】
したがって、本発明の目的は、生産性が高く、導電率、軟化温度及び表面品質に優れたガラス糸巻銅線及びガラス糸巻銅線の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、上記目的を達成するため、導体と、導体にガラス糸束を巻いて形成されるガラス糸巻層と、ガラス糸巻層に絶縁塗料を含浸させた絶縁層と、を備え、導体が、純銅と、2mass ppmを超える量の酸素と、Ti、Mg、Zr、Nb、Ca、V、Ni、Mn及びCrからなる群から選択された添加元素と、を含み、残部が不可避的不純物であるガラス糸巻銅線を提供する。
【0007】
また、上記のガラス糸巻銅線が、添加元素がTiであり、導体は、2mass ppm以上12mass ppm以下の硫黄と、2mass ppmを超え30mass ppm以下の酸素と、4mass ppm以上55mass ppm以下のTiと、を含むことが好ましい。
【0008】
また、上記のガラス糸巻銅線が、硫黄(S)及びTiが、TiO、TiO、TiS、若しくはTi−O−S結合を有する化合物又はTiO、TiO、TiS、若しくはTi−O−S結合を有する化合物の凝集物として含まれ、残部のTi及びSが固溶体として含まれることが好ましい。
【0009】
また、上記のガラス糸巻銅線が、TiO、TiO、TiS、Ti−O−Sの形の化合物又は凝集物が結晶粒内に分布しており、TiOが、200nm以下のサイズを有し、TiOが、1000nm以下のサイズを有し、TiSが、200nm以下のサイズを有し、Ti−O−Sの形の化合物又は凝集物が、300nm以下のサイズを有し、500nm以下の粒子が90%以上であることが好ましい。
【0010】
本発明は、上記目的を達成するため、2mass ppmを超える量の酸素と、Ti、Mg、Zr、Nb、Ca、V、Ni、Mn及びCrからなる群から選択された添加元素と、を含む希薄銅合金線を最終線径に加工を実施した硬質導体を作製する導体作製工程と、硬質導体の外周にガラス糸束を巻いてガラス糸巻層を形成するガラス糸巻層形成工程と、ガラス糸巻層上に絶縁材料を塗布して絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、絶縁層を焼き付ける焼付工程と、を含み、焼付工程が、絶縁層を焼き付けると共に、焼付工程で発生する熱量によって硬質導体を軟質導体に変質させるガラス糸巻銅線の製造方法を提供する。
【0011】
また、上記のガラス糸巻銅線の製造方法において、添加元素がTiであり、硬質導体が2mass ppm以上12mass ppm以下の硫黄と、2mass ppmを超え30mass ppm以下の酸素と、4mass ppm以上55mass ppm以下のTiと、を含むことが好ましい。
【0012】
また、上記のガラス糸巻銅線の製造方法において、導体作製工程が、SCR連続鋳造圧延により、1100℃以上1320℃以下の溶銅温度で溶湯として希薄銅合金材料を作製し、希薄銅合金材料を熱間圧延して希薄銅合金線を作製する工程を含むことが好ましい。
【0013】
また、上記のガラス糸巻銅線の製造方法において、希薄銅合金線を作製する工程が、熱間圧延加工における圧延ロールの温度が880℃以下550℃以上で行われることが好ましい。
【発明の効果】
【0014】
本発明に係るガラス糸巻銅線及びガラス糸巻銅線の製造方法によれば、生産性が高く、導電率、軟化温度及び表面品質に優れたガラス糸巻銅線及びガラス糸巻銅線の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】図1は、TiS粒子のSEM像を示す図である。
【図2】図2は、図1の分析結果を示す図である。
【図3】図3は、TiO粒子のSEM像を示す図である。
【図4】図4は、図3の分析結果を示す図である。
【図5】図5は、Ti−O−S粒子のSEM像を示す図である。
【図6】図6は、図5の分析結果を示す図である。
【図7】図7(a)は、実施の形態に係るガラス糸巻銅線の断面図であり、(b)は、ガラス糸巻銅線の変形例である。
【図8】図8は、ガラス糸巻銅線を所定の角度で折り曲げた時点における測定装置の概略図である。
【図9】図9は、ガラス糸巻銅線のスプリングバック角度を測定中の測定装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
[実施の形態の要約]
実施の形態に係るガラス糸巻銅線は、導体と、導体にガラス糸束を巻いて形成されるガラス糸巻層と、ガラス糸巻層に絶縁塗料を含浸させた絶縁層と、を備え、導体が、純銅と、2mass ppmを超える量の酸素と、Ti、Mg、Zr、Nb、Ca、V、Ni、Mn及びCrからなる群から選択された添加元素と、を含み、残部が不可避的不純物である。
【0017】
添加元素として、Mg、Zr、Nb、Ca、V、Ni、Mn、Ti及びCrからなる群から選択されたものを選んだ理由は、これらの元素は他の元素と結合しやすい活性元素であり、Sと結合しやすいためSをトラップすることができ、銅母材(マトリクス)を高純度化することができるためである。添加元素は1種類以上含まれていてもよい。また、合金の性質に悪影響を及ぼすことのないその他の元素および不純物を合金に含有させることもできる。
また、以下に説明する好適な実施の形態においては、酸素含有量が2を超え30mass ppm以下が良好であることを説明しているが、添加元素の添加量およびSの含有量によっては、合金の性質を備える範囲において、2を超え400mass ppmを含むことができる。
【0018】
[実施の形態]
(ガラス糸巻銅線の構成)
本実施の形態に係るガラス糸巻銅線は、例えば、自動車等に用いられるパワーモジュールの小型化、及び/又はパワーモジュールに供給される電流の電流密度の増大の観点から、アルミニウム(Al)よりも熱伝導率の高い材料である銅(Cu)から構成する。
【0019】
例えば、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線は、導電率98%IACS(万国標準軟銅(International Anneld Copper Standard)以上、抵抗率1.7241×10−8Ωmを100%とした場合の導電率)、好ましくは100%IACS以上、より好ましくは102%IACS以上を満足する軟質型銅材としての軟質希薄銅合金材料を用いて構成される。
【0020】
また、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線は、SCR(Southwire Continuous Rod)連続鋳造設備を用い、表面の傷が少なく、製造範囲が広く、安定生産が可能である。またワイヤロッドに対する加工度90%(例えば、φ8mmからφ2.6mmのワイヤへの加工)での軟化温度が148℃以下の材料を用いて構成される。
【0021】
また、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線は、Tiを添加元素とする場合、2mass ppm以上12mass ppm以下の硫黄(S)と、2mass ppmを超え30mass ppm以下の酸素(O)と、4mass ppm以上55mass ppm以下のチタン(Ti)とを含む。更に、硫黄(S)及びチタン(Ti)は、TiO、TiO、TiS、若しくはTi−O−S結合を有する化合物又はTiO、TiO、TiS、若しくはTi−O−S結合を有する化合物の凝集物としてガラス糸巻銅線に含まれ、残部のTi及びSは、固溶体としてガラス糸巻銅線に含まれる。2mass ppmを超え30mass ppm以下の酸素を含有していることから、この実施の形態では、いわゆる低酸素銅(LOC)を対象としている。
【0022】
また、TiO、TiO、TiS、Ti−O−Sの形の化合物又は凝集物はガラス糸巻銅線を構成する結晶粒の内部に分布しており、TiOは、200nm以下のサイズを有し、TiOは、1000nm以下のサイズを有し、TiSは、200nm以下のサイズを有し、Ti−O−Sの形の化合物又は凝集物は、300nm以下のサイズを有する。更に、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線は、500nm以下の粒子を90%以上含む。また、結晶粒とは、銅の結晶組織のことを意味する。
【0023】
(ガラス糸巻銅線の製造方法)
本実施の形態に係るガラス糸巻銅線の製造方法は以下のとおりである。例として、Tiを添加元素に選択した場合を説明する。まず、ガラス糸巻銅線の導体の製造方法について説明する。例えば、この導体の原料としてのチタン(Ti)を含む軟質希薄銅合金材料を準備する(原料準備工程)。次に、この軟質希薄銅合金材料を1100℃以上1320℃以下の溶銅温度で溶湯にする(溶湯製造工程)。次に、溶湯からワイヤロッドを作製する(ワイヤロッド作製工程)。続いて、ワイヤロッドに880℃以下550℃以上の温度で、圧延ロールを用いた熱間圧延加工を施す(熱間圧延工程)。更に、熱間圧延工程を経たワイヤロッドに伸線加工を施す(伸線加工工程)。これにより、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線の導体が製造される。
【0024】
また、ガラス糸巻銅線の導体の製造には、2mass ppm以上12mass ppm以下の硫黄(S)と、2mass ppmを超え30mass ppm以下の酸素(O)と、4mass ppm以上55mass ppm以下のチタン(Ti)とを含む軟質希薄銅合金材料を用いる。具体的に、φ2.6mmのサイズで130℃以上148℃以下の軟化温度を有する軟質希薄銅合金材料を用いる。
【0025】
以下、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線の導体の実現において、本発明者が検討した内容を説明する。
【0026】
まず、純度が6N(つまり、99.9999%)の高純度銅は、加工度90%における軟化温度は130℃である。したがって、本発明者は、安定生産することができる130℃以上148℃以下の軟化温度で軟質材の導電率が98%IACS以上、好ましくは100%IACS以上、より好ましくは102%IACS以上である軟質銅を安定して製造することができる軟質希薄銅合金材料と、この軟質希薄銅合金材料の製造方法について検討した。
【0027】
ここで、酸素濃度が1〜2mass ppmである高純度銅(4N)を準備して、実験室に設置した小型連続鋳造機(小型連鋳機)を用い、この銅(Cu)を銅(Cu)の溶湯にした。そして、この溶湯にチタン(Ti)を数mass ppm添加した。続いて、チタン(Ti)を添加した溶湯からφ8mmのワイヤロッドを製造した。次に、φ8mmのワイヤロッドをφ2.6mmに加工した(つまり、加工度が90%である)。このφ2.6mmのワイヤロッドの軟化温度は160℃〜168℃であり、この温度より低い軟化温度にはならなかった。また、このφ2.6mmのワイヤロッドの導電率は、101.7%IACS程度であった。つまり、ワイヤロッドに含まれる酸素濃度を低下させ、チタン(Ti)を溶湯に添加してもワイヤロッドの軟化温度を低下させることができないと共に、高純度銅(6N)の導電率102.8%IACSよりも導電率が低いという知見を本発明者は得た。
【0028】
軟化温度を低下させることができず、導電率が6Nの高純度銅より低くなった原因は、溶湯の製造中に不可避的不純物としての数mass ppm以上の硫黄(S)が含まれることに起因すると推測された。すなわち、溶湯に含まれている硫黄(S)とチタン(Ti)との間でTiS等の硫化物が十分に形成されないことに起因して、ワイヤロッドの軟化温度が低下しないものと推測された。
【0029】
そこで、本発明者は、ガラス糸巻銅線の導体の軟化温度の低下と、ガラス糸巻銅線の導体の導電率の向上とを実現すべく、以下の二つの方策を検討した。そして、以下の二つの方策をガラス糸巻銅線の導体の製造に併せ用いることで、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線を得た。
【0030】
図1は、TiS粒子のSEM(Scanning Electron Microscope)像であり、図2は、図1の分析結果を示す。また、図3は、TiO粒子のSEM像であり、図4は、図3の分析結果を示す。更に、図5は、Ti−O−S粒子のSEM像であり、図6は、図5の分析結果を示す。なお、SEM像において図の中心付近に各粒子が示されている。図1〜図6は、表1の実施例1の上から三段目に示す酸素濃度、硫黄濃度、Ti濃度をもつφ8mmの銅線(ワイヤロッド)の横断面をSEM観察及びEDX分析にて評価したものである。観察条件は、加速電圧15KeV、エミッション電流10μAとした。
【0031】
まず、第1の方策は、酸素濃度が2mass ppmを超える銅に、チタン(Ti)を添加した状態で、銅(Cu)の溶湯を作製することである。この溶湯中においては、TiSとチタン(Ti)の酸化物(例えば、TiO)とTi−O−S粒子とが形成されると考えられる。これは、図1のSEM像と図2の分析結果、図3のSEM像と図4の分析結果からの考察である。なお、図2、図4、及び図6において、白金(Pt)及びパラジウム(Pd)はSEM観察する際に観察対象物に蒸着する金属元素である。
【0032】
次に、第2の方策は、銅(Cu)中に転位を導入することにより硫黄(S)の析出を容易にすることを目的として、熱間圧延工程における温度を通常の銅の製造条件における温度(つまり、950℃〜600℃)より低い温度(880℃〜550℃)に設定することである。このような温度設定により、転位上への硫黄(S)の析出、又はチタン(Ti)の酸化物(例えば、TiO)を核として硫黄(S)を析出させることができる。一例として、図5及び図6のように、溶銅と共にTi−O−S粒子等が形成される。
【0033】
以上の第1の方策及び第2の方策により、銅(Cu)に含まれる硫黄(S)が晶出すると共に析出するので、所望の軟化温度と所望の導電率とを有する銅ワイヤロッドを冷間伸線加工後に得ることができる。
【0034】
また、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線の導体は、SCR連続鋳造圧延設備を用いて製造する。ここで、SCR連続鋳造圧延設備を用いる場合における製造条件の制限として、以下の3つの条件を設けた。
【0035】
(1)組成について
導電率が98%IACS以上の軟質銅材を得る場合、不可避的不純物を含む純銅(ベース素材)として、3〜12mass ppmの硫黄(S)と、2を超え30mass ppm以下の酸素(O)と、4〜55mass ppmのチタン(Ti)とを含む軟質希薄銅合金材料を用い、この軟質希薄銅合金材料からワイヤロッド(荒引き線)を製造する。
【0036】
ここで、導電率が100%IACS以上の軟質銅材を得る場合には、不可避的不純物を含む純銅(ベース素材)として、2〜12mass ppmの硫黄(S)と、2〜30mass ppmの酸素(O)と、4〜37mass ppmのチタン(Ti)とを含む軟質希薄銅合金材料を用いる。また、導電率が102%IACS以上の軟質銅材を得る場合には、不可避的不純物を含む純銅(ベース素材)として、3〜12mass ppmの硫黄(S)と、2を超え30mass ppm以下の酸素(O)と、4〜25mass ppmのチタン(Ti)とを含む軟質希薄銅合金材料を用いる。
【0037】
通常、純銅の工業的製造において、電気銅を製造する際に硫黄(S)が銅(Cu)の中に取り込まれるので、硫黄(S)を3mass ppm以下にすることは困難である。汎用電気銅の硫黄濃度の上限は、12mass ppmである。
【0038】
酸素濃度が低い場合、ガラス糸巻銅線の導体の軟化温度が低下しにくいので、酸素濃度は2mass ppmを超える量に制御する。また、酸素濃度が高い場合、熱間圧延工程でガラス糸巻銅線の導体の表面に傷が生じやすくなるので、30mass ppm以下に制御する。
【0039】
(2)分散している物質について
ガラス糸巻銅線の導体内に分散している分散粒子のサイズは小さいことが好ましく、また、ガラス糸巻銅線の導体内に分散粒子が多く分散していることが好ましい。その理由は、分散粒子は、硫黄(S)の析出サイトとしての機能を有するからであり、析出サイトとしてはサイズが小さく、数が多いことが要求されるからである。
【0040】
ガラス糸巻銅線の導体に含まれる硫黄(S)及びチタン(Ti)は、TiO、TiO、TiS、若しくはTi−O−S結合を有する化合物又はTiO、TiO、TiS、若しくはTi−O−S結合を有する化合物の凝集物として含まれ、残部のTi及びSが固溶体として含まれる。ガラス糸巻銅線の導体の原料である軟質希薄銅合金材料としては、TiOが200nm以下のサイズを有し、TiOが1000nm以下のサイズを有し、TiSが200nm以下のサイズを有し、Ti−O−Sの形の化合物が300nm以下のサイズを有しており、これらが結晶粒内に分布している軟質希薄銅合金材料を用いる。
【0041】
なお、鋳造時の溶銅の保持時間及び冷却条件に応じて結晶粒内に形成される粒子サイズが変動するので、鋳造条件も適切に設定することを要する。
【0042】
(3)鋳造条件について
SCR連続鋳造圧延により、鋳塊ロッドの加工度が90%(30mm)〜99.8%(5mm)でワイヤロッドを作製する。一例として、加工度99.3%でφ8mmのワイヤロッドを製造する条件を採用する。以下、鋳造条件(a)〜(c)について説明する。
【0043】
[鋳造条件(a)]
溶解炉内での溶銅温度は1100℃以上1320℃以下に制御する。溶銅の温度が高いとブローホールが多くなり、傷が発生すると共に粒子サイズが大きくなる傾向にあるので1320℃以下に制御する。また、1100℃以上に制御する理由は、銅(Cu)が固まりやすく、製造が安定しないことが理由であるものの、溶銅温度は可能な限り低い温度が望ましい。
【0044】
[鋳造条件(b)]
熱間圧延加工の温度は、最初の圧延ロールにおける温度を880℃以下に制御すると共に、最終圧延ロールでの温度を550℃以上に制御する。
【0045】
通常の純銅の製造条件と異なり、溶銅中での硫黄(S)の晶出及び熱間圧延中における硫黄(S)の析出の駆動力である固溶限をより小さくすることを目的として、溶銅温度及び熱間圧延加工の温度を「鋳造条件(a)」及び「鋳造条件(b)」において説明した条件に設定することが好ましい。
【0046】
また、通常の熱間圧延加工における温度は、最初の圧延ロールにおいて950℃以下、最終圧延ロールにおいて600℃以上であるが、固溶限をより小さくすることを目的として、本実施の形態では、最初の圧延ロールにおいて880℃以下、最終圧延ロールにおいて550℃以上に設定する。
【0047】
なお、最終圧延ロールにおける温度を550℃以上に設定する理由は、550℃未満の温度では得られるワイヤロッドの傷が多くなり、製造されるガラス糸巻銅線を製品として扱うことができないからである。熱間圧延加工における温度は、最初の圧延ロールにおいて880℃以下の温度、最終圧延ロールにおいて550℃以上の温度に制御すると共に、可能な限り低い温度であることが好ましい。このような温度設定にすることで、ガラス糸巻銅線の導体の軟化温度(φ8〜φ2.6mmに加工した後の軟化温度)を、6Nの高純度銅の軟化温度(つまり、130℃)に近づけることができる。
【0048】
[鋳造条件(c)]
無酸素銅の導電率は101.7%IACS程度であり、6Nの高純度銅の導電率は102.8%IACSである。本実施の形態においては、直径φ8mmサイズのワイヤロッドの導電率が98%IACS以上、好ましくは100%IACS以上、より好ましくは102%IACS以上である。また、本実施の形態においては、冷間伸線加工後の線材(例えば、φ2.6mm)のワイヤロッドの軟化温度が130℃以上148℃である軟質希薄銅合金を製造し、この軟質希薄銅合金をガラス糸巻銅線の導体の製造に用いる。
【0049】
工業的に用いるためには、電気銅から製造した工業的に利用される純度の軟質銅線の導電率として、98%IACS以上の導電率が要求される。また、軟化温度は工業的価値から判断して148℃以下である。6Nの高純度銅の軟化温度は127℃〜130℃であるので、得られたデータから軟化温度の上限値を130℃に設定する。このわずかな違いは、6Nの高純度銅には含まれていない不可避的不純物の存在に起因する。
【0050】
ベース材の銅(Cu)は、シャフト炉で溶解された後、還元状態で樋に流すことが好ましい。すなわち、還元ガス(例えば、CO)雰囲気下において、希薄合金の硫黄濃度、チタン濃度、及び酸素濃度を制御しつつ鋳造すると共に、材料に圧延加工を施すことにより、ワイヤロッドを安定的に製造することが好ましい。なお、銅酸化物が混入すること、及び/又は粒子サイズが所定サイズより大きいことは、製造されるガラス糸巻銅線の品質を低下させる。
【0051】
ここで、ガラス糸巻銅線の導体にチタン(Ti)を添加元素として添加した理由は次のとおりである。すなわち、(a)チタン(Ti)は溶融銅の中で硫黄(S)と結合することにより化合物になりやすく、(b)ジルコニウム(Zr)等の他の添加金属に比べて加工が容易で扱いやすく、(c)ニオブ(Nb)などに比べて安価であり、(d)酸化物を核として析出しやすいからである。
【0052】
以上より、生産性が高く、導電率、軟化温度、表面品質に優れた実用的な軟質希薄銅合金材料を、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線の導体の原料として得ることができる。なお、軟質希薄銅合金材料の表面にめっき層を形成することもできる。めっき層は、例えば、錫(Sn)、ニッケル(Ni)、銀(Ag)を主成分とする材料、又はPbフリーめっきを用いることができる。更に、軟質希薄銅合金材料の形状は特に限定されず、断面丸形状、棒状、又は平角導体上にすることができる。
【0053】
また、本実施の形態では、SCR連続鋳造圧延法によりワイヤロッドを作製すると共に、熱間圧延にて軟質材を作製したが、双ロール式連続鋳造圧延法又はプロペルチ式連続鋳造圧延法を採用することもできる。以下に、上記の製造方法によって作製されたガラス糸巻銅線の導体の実施例と比較例とについて説明する。
【実施例1】
【0054】
表1は実験条件と結果とを示す。
【0055】
【表1】

【0056】
まず、実験材として、表1に示した酸素濃度、硫黄濃度、チタン濃度を有するφ8mmの銅線(ワイヤロッド、加工度99.3%)を作製した。φ8mmの銅線は、SCR連続鋳造圧延により、熱間圧延加工を施したものである。Tiは、シャフト炉で溶解された銅溶湯を還元ガス雰囲気で樋に流し、樋に流した銅溶湯を同じ還元ガス雰囲気の鋳造ポットに導き、この鋳造ポットにて、Tiを添加した後、これをノズルを通して鋳造輪と無端ベルトとの間に形成される鋳型にて鋳塊ロッドを作成した。この鋳塊ロッドを熱間圧延加工してφ8mmの銅線を作成したものである。次に、各実験材に冷間伸線加工を施した。これにより、φ2.6mmサイズの銅線を作製した。そして、φ2.6mmサイズの銅線の半軟化温度と導電率とを測定すると共に、φ8mmの銅線における分散粒子サイズを評価した。
【0057】
酸素濃度は、酸素分析器(レコ(Leco(登録商標)酸素分析器)で測定した。硫黄、チタンの各濃度はICP発光分光分析で分析した。
【0058】
φ2.6mmサイズにおける半軟化温度の測定は、400℃以下で各温度1時間の保持後、水中急冷し、引張試験を実施し、その結果から求めた。室温での引張試験の結果と400℃で1時間のオイルバス熱処理した軟質銅線の引張試験の結果を用いて求め、この2つの引張試験の引張強さを足して2で割った値を示す強度に対応する温度を半軟化温度と定義して求めた。
【0059】
上述のとおり、ガラス糸巻銅線の導体内に分散している分散粒子のサイズは小さいことが好ましく、また、ガラス糸巻銅線の導体内に分散粒子が多く分散していることが好ましい。したがって、直径500nm以下の分散粒子が90%以上である場合を合格とした。ここに「サイズ」とは化合物のサイズであり、化合物の形状の直径と短径のうちの長径のサイズを意味する。また、「粒子」とは、前記TiO、TiO、TiS、Ti−O−Sのことを示す。また、「90%」とは、全体の粒子数に対しての該当粒子数の割合を示すものである。
【0060】
表1において比較例1は、実験室でアルゴン(Ar)雰囲気において直径φ8mmの銅線を試作した結果であり、銅溶湯にチタン(Ti)を0〜18mass ppm添加した。チタン(Ti)を添加していない銅線の半軟化温度が215℃であったのに対し、13mass ppmのチタン(Ti)を添加した銅線の軟化温度は160℃まで低下した(実験した中では最小温度である。)。表1に示すとおり、Ti濃度が15mass ppm、18mass ppmに増加するにつれ、半軟化温度も上昇しており、要求されている軟化温度である148℃以下を実現することはできなかった。また、工業的に要求されている導電率は98%IACS以上であったものの、総合評価は不合格(以下、不合格を「×」と表す)であった。
【0061】
そこで、比較例2として、SCR連続鋳造圧延法を用い、酸素濃度を7〜8mass ppmに調整したφ8mm銅線(ワイヤロッド)を試作した。
【0062】
比較例2においては、SCR連続鋳造圧延法で試作した中でTi濃度が最小(つまり、0mass ppm、2mass ppm)の銅線であり、導電率は102%IACS以上であったものの、半軟化温度が164℃、157℃であり、要求されている148℃以下ではなかったことから、総合評価は「×」であった。
【0063】
実施例1においては、酸素濃度と硫黄濃度とが略一致(つまり、酸素濃度:7〜8mass ppm、硫黄濃度:5mass ppm)すると共に、Ti濃度が4〜55mass ppmの範囲内で異なる銅線を試作した。
【0064】
Ti濃度が4〜55mass ppmの範囲では、軟化温度が148℃以下であり、導電率も98%IACS以上102%IACS以上であり、分散粒子サイズは500nm以下の粒子が90%以上であり良好であった。また、ワイヤロッドの表面もきれい(つまり、表面が滑らか)であり、いずれも製品性能を満たしていたので、総合評価は合格(以下、合格を「○」と表す)であった。
【0065】
ここで、導電率100%IACS以上を満たす銅線は、Ti濃度が4〜37mass ppmの場合であり、102%IACS以上を満たす銅線は、Ti濃度が4〜25mass ppmの場合であった。Ti濃度が13mass ppmの場合に導電率は最大値である102.4%IACSを示し、この濃度の周辺では、導電率はわずかに低い値であった。これは、Ti濃度が13mass ppmの場合に、銅(Cu)の中の硫黄分を化合物として捕捉することで、高純度銅(6N)に近い導電率を示すためである。
【0066】
よって、酸素濃度を高くし、チタン(Ti)を添加することで、半軟化温度と導電率との双方を満足させることができる。
【0067】
比較例3においては、Ti濃度を60mass ppmにした銅線を試作した。比較例3に係る銅線は、導電率は要求を満たすものの、半軟化温度は148℃以上であり、製品性能を満たしていなかった。更に、ワイヤロッドの表面の傷も多く、製品として採用することは困難であった。よって、チタン(Ti)の添加量は60mass ppm未満が好ましいことが示された。
【0068】
実施例2に係る銅線おいては、硫黄濃度を5mass ppmに設定すると共に、Ti濃度を13〜10mass ppmの範囲で制御して、酸素濃度を変更することにより酸素濃度の影響を検討した。
【0069】
酸素濃度に関しては、2mass ppmを超えて30mass ppm以下まで、大きく濃度が異なる銅線をそれぞれ作製した。ただし、酸素濃度が2mass ppm未満の銅線は生産が困難で安定的に製造できないので、総合評価は「△」とした(なお、「△」は「○」と「×」との中間の評価である。)。また、酸素濃度を30mass ppmにしても半軟化温度及び導電率の双方とも、要求を満たした。
【0070】
比較例4においては、酸素濃度が40mass ppmの場合に、ワイヤロッドの表面の傷が多く、製品として採用することができない状態であった。
【0071】
よって、酸素濃度を2を超え30mass ppm以下の範囲にすることで、半軟化温度、導電率102%IACS以上、分散粒子サイズのいずれの特性も満足させることができ、また、ワイヤロッドの表面もきれいであり、製品性能を満足させることができることが示された。
【0072】
実施例3は、酸素濃度とTi濃度とを互いに近づけた濃度に設定すると共に、硫黄濃度を4〜20mass ppmの範囲内で変更した銅線である。実施例3においては、硫黄濃度が2mass ppmより小さい銅線については、原料の制約上、実現できなかった。しかしながら、Ti濃度と硫黄濃度とをそれぞれ制御することで、半軟化温度及び導電率の双方とも、要求を満たすことができた。
【0073】
比較例5においては、硫黄濃度が18mass ppmであり、Ti濃度が13mass ppmである場合には、半軟化温度が162℃と高く、要求される特性を満足しなかった。また、特に、ワイヤロッドの表面品質が悪く、製品化は困難であった。
【0074】
以上より、硫黄濃度が2〜12mass ppmの範囲の場合には、半軟化温度、導電率102%IACS以上、分散粒子サイズのいずれの特性も満足させることができ、また、ワイヤロッドの表面もきれいであり、製品性能を満足させることができることが示された。
【0075】
比較例6は、6Nの高純度銅を用いた銅線である。比較例6に係る銅線においては、半軟化温度が127℃〜130℃であり、導電率が102.8%IACSであり、分散粒子サイズも500nm以下の粒子は全く認められなかった。
【0076】
表2には、製造条件としての溶融銅の温度と圧延温度とを示す。
【0077】
【表2】

【0078】
比較例7においては、溶銅温度が1330℃〜1350℃で、かつ、圧延温度が950〜600℃でφ8mmのワイヤロッドを作製した。比較例7に係るワイヤロッドは、半軟化温度及び導電率は要求を満たすものの、分散粒子サイズに関しては1000nm程度の粒子が存在しており、500nm以上の粒子も10%を超えて存在していた。よって、実施例7に係るワイヤロッドは不適と判定した。
【0079】
実施例4においては、溶銅温度を1200℃〜1320℃の温度範囲で制御すると共に、圧延温度を880℃〜550℃の温度範囲に制御してφ8mmのワイヤロッドを作製した。実施例4に係るワイヤロッドは、ワイヤロッド表面の品質、分散粒子サイズが良好であり、総合評価は「○」であった。
【0080】
比較例8においては、溶銅温度を1100℃に制御すると共に、圧延温度を880℃〜550℃の温度範囲に制御してφ8mmのワイヤロッドを作製した。比較例8に係るワイヤロッドは、溶銅温度が低いことからワイヤロッドの表面の傷が多く製品としては適さなかった。これは、溶銅温度が低いことから、圧延時に傷が発生しやすいことに起因するからである。
【0081】
比較例9においては、溶銅温度を1300℃に制御すると共に、圧延温度を950℃〜600℃の温度範囲に制御してφ8mmのワイヤロッドを作製した。比較例9に係るワイヤロッドは、熱間圧延工程における温度が高いことからワイヤロッドの表面の品質は良好であるものの、分散粒子サイズには大きいサイズが含まれ、総合評価は「×」になった。
【0082】
比較例10においては、溶銅温度を1350℃に制御すると共に、圧延温度を880℃〜550℃の温度範囲に制御してφ8mmのワイヤロッドを作製した。比較例10に係るワイヤロッドは、溶銅温度が高いことに起因して分散粒子サイズに大きなサイズが含まれ、総合評価は「×」になった。以下に、上記に示す導体を用いて作製されるガラス糸巻銅線について説明する。
【0083】
(ガラス糸巻銅線について)
図7(a)は、実施の形態に係るガラス糸巻銅線の断面図であり、(b)は、ガラス糸巻銅線の変形例である。
【0084】
このガラス糸巻銅線1は、図7(a)に示すように、導体2と、導体2を被覆する下層ガラス糸巻層3と、下層ガラス糸巻層3を被覆する上層ガラス糸巻層4と、上層ガラス糸巻層4を被覆する絶縁膜5と、を備えて概略構成されている。なお、図7(b)に示すガラス糸巻銅線1aは、図7(a)に示すガラス糸巻銅線1の変形例であり、導体2と、導体2を被覆するガラス糸巻層3aと、ガラス糸巻層3aを被覆する絶縁膜5と、を備えて概略構成されている。以下では、主に、ガラス糸巻銅線1について説明する。
【0085】
なお、以下では、断面が矩形状を有する二重ガラス巻平角銅線を例にとって、ガラス糸巻銅線1の特性を具体的に説明するが、断面の形状が円形状である一重ガラス巻銅線及び二重ガラス巻銅線にも適用することができる。
【0086】
導体2は、上記の各実施例に記載の方法に従って製造された銅ワイヤロッドである。また、導体2の断面形状は、平角形状(矩形状)である。
【0087】
導体2は、例えば、熱間圧延加工工程を経ることで矩形状の導体に成形される。この熱間圧延加工工程は、双ロールにより挟み込むロール圧延加工に限定されず、丸線をコンフォーム押出機で押し出して平角形状の導体を成形するコンフォーム押出加工であっても良い。
【0088】
下層ガラス糸巻層3及び上層ガラス糸巻層4の形成に用いられるガラス糸束は、例えば、JIS R3413(ガラス糸)で規定されている無アルカリガラス糸である。なお、ガラス糸束は、JIS R3413(ガラス糸)で規定されている無アルカリガラス糸に限定されず、当該ガラス糸以上の品質のガラス糸を使用しても良い。
【0089】
また、ガラス糸巻銅線1及びガラス糸巻銅線1aは、導体2上にメッキを被覆しないものであったがこれに限定されず、メッキ処理が施されていても良い。
【0090】
絶縁膜5は、例えば、製造するガラス糸巻銅線の用途に応じ、E種(130℃)、F種(155℃)又はH種(180℃)の耐熱クラス応じた絶縁膜材料を用いて形成される。本実施の形態に係る絶縁膜5は、一例として、F種(耐熱クラス155℃)の絶縁塗料(例えば、日立化成WF651)を用いて形成される。
【0091】
(実施例7〜実施例9について)
実施例7〜実施例9のガラス糸巻銅線1の製造方法は以下のとおりである。まず、表1の実施例1の上から5番目の素材のワイヤロッドφ2.6mmを伸線加工してφ12mmの丸線を作製する。
【0092】
次に、焼鈍工程を経ることなく、ロールによる熱間圧延加工工程を行って丸線から平角線材(導体厚さ2.0mm、導体幅5.0mm)を作製する。
【0093】
次に、JIS R3413(ガラス糸)で規定されている無アルカリガラス糸を平角線材に緊密に横巻きして下層ガラス糸巻層3を形成する。
【0094】
次に、下層ガラス糸巻層3上に同じガラス糸を、下層ガラス糸巻層3の巻き方向とは逆方向に横巻きして上層ガラス糸巻層4を形成して二重のガラス層を備えたガラス巻銅線を作製する。なお、JIS R3413(ガラス糸)で規定されている無アルカリガラス糸は、φ7μmのガラス糸を200本束ねた撚り糸を、更に、下層に14本、上層に12本束ねた二層構造を有する糸束である。
【0095】
次に、F種(耐熱クラス155℃)の絶縁塗料(例えば、日立化成WF651)を均一に塗布し、絶縁塗料の焼付けを行う。
【0096】
具体的に、絶縁塗料の塗布は、例えば、ガラス糸が巻きつけられたガラス巻銅線を絶縁塗料の入っているタンク内を通過させて絶縁塗料を含浸させる絶縁塗料塗布装置を用いて行う。また、絶縁塗料の焼付けは、絶縁焼付け装置によって行われる。この絶縁塗料の焼付けは、絶縁塗料を塗布した後、温度480℃で炉長4mの絶縁塗料塗布装置の電気炉内を5.0m/分の速度でガラス糸巻銅線を通過させることにより行った。
【0097】
次に、絶縁塗料が焼付けられたガラス糸巻銅線を放置して室温とした。
【0098】
次に、上記の絶縁塗料の塗布、及び絶縁塗料の焼付けを3回繰り返して行い、絶縁膜5を形成してガラス糸巻銅線1を作製した。
【0099】
次に、作製したガラス糸巻銅線1をボビンに巻き付け、同一ボビンから長さ約400mmの試料を3本採り、それぞれを実施例7、実施例8及び実施例9とした。
【0100】
(比較例13〜比較例15について)
比較例13〜比較例15のガラス糸巻銅線は、導体を作製するためにタフピッチ銅(TPC:Tough-Pitch Copper)を用いた点と、上記の丸線を平角形状に成形するための熱間圧延加工工程を通った平角線材に対して温度300℃、30分の条件でバッチ式焼鈍による焼鈍工程を行った点と、を除いて、実施例7、実施例8及び実施例9と同様の条件でガラス糸巻銅線を作製した。
【0101】
また、作製したガラス糸巻銅線をボビンに巻き付け、同一ボビンから長さ約400mmの試料を3本採り、それぞれを比較例13、比較例14及び比較例15とした。
【0102】
(実施例7〜実施例9及び比較例13〜比較例15のガラス糸巻銅線の軟化特性について)
図8は、ガラス糸巻銅線を所定の角度で折り曲げた時点における測定装置の概略図である。図9は、ガラス糸巻銅線のスプリングバック角度を測定中の測定装置の概略図である。
【0103】
上記の製造方法にて作製された実施例7〜実施例9及び比較例13〜比較例15のガラス糸巻銅線の軟化特性を測定するため、JIS C3006−199 10.2で規定する軟らかさ試験を図8及び図9に示す測定装置6を用いて実施した。
【0104】
図8及び図9に示す測定装置6は、クランプ60と、レバーアーム61と、分度器62と、を備えて概略構成されている。
【0105】
クランプ60は、ガラス糸巻銅線の試料7を挟んで固定するものである。
【0106】
レバーアーム61は、板形状を有し、支点を中心に回転可能に構成されている。また、レバーアーム61は、例えば、支点から、試料7の導体の厚みの40倍の点に刃610を有する。ここで、導体2の厚みは、図7の紙面の鉛直方向の厚みである。このレバーアーム61が、支点を中心に回転することにより、クランプ60の付け根から試料7が折れ曲がる。
【0107】
分度器62は、後述する試料7のスプリングバック角度を測定するものである。
【0108】
軟らかさ試験は、次のように行われる。まず、実施例7〜実施例9及び比較例13〜比較例15の試料7を真っすぐにした後、一部をクランプ60に固定し、図8に示すように、試料7を2〜5秒かけて30度曲げる。次に、試料7が30°の位置に達した後、2秒以内にレバーアーム61を元の位置に戻す。次に、刃610が試料から離れた後、図9に示すように、刃610が試料7を曲げることなく接触するまでレバーアーム61を移動させ、接触した試料7のスプリングバック角度を分度器62で測定する。
【0109】
また、「伸び%」の測定方法は、JIS C3006−1999 9で規定する方法を採用した。更に、「導体寸法」及び「両側絶縁厚さ」については、JIS C3006−1999 9で規定する5.1.2.1.2及び5.1.5に規定する方法を採用した。
【0110】
実施例7〜実施例9及び比較例13〜比較例15の試料7を上記の軟らかさ試験で測定した結果を表3に示す。
【0111】
【表3】

【0112】
この表3に示すように、実施例7のスプリングバック角度は3.5°であり、実施例8のスプリングバック角度は3.5°であり、実施例9のスプリングバック角度は4.0°であった。また、比較例13のスプリングバック角度は3.5°であり、比較例14のスプリングバック角度は4.0°であり、比較例15のスプリングバック角度は4.0°であった。この測定結果より、実施例7〜実施例9の試料7であるガラス糸巻銅線は、最終線径に到達した後、焼鈍工程を実施していないにも関わらず、最終線径に到達した後、焼鈍工程を実施した無酸素銅(OFC:Oxygen Free Copper)を使用した比較例13〜比較例15のガラス糸巻銅線と同等レベルのスプリングバック角度を示した。
【0113】
また、実施例7〜実施例9は、「導体寸法」及び「両側絶縁厚さ」が比較例13〜比較例15と同じであり、「伸び%」が比較例13〜比較例15とほぼ同等であった。
【0114】
上記の結果から所定の酸素含有量及び所定の硫黄含有量の銅材料にチタン(Ti)を微量、添加した素材を平角銅線に用いることにより、従来行われていた平角銅線の加工歪みを除去する焼鈍工程を実施しなくても、下層ガラス糸巻層3と上層ガラス糸巻層4の形成後の絶縁塗料焼付け工程における熱量で、硬質銅線を十分に焼き鈍し、軟質銅線に変質させることができることがわかる。
【0115】
(実施の形態の効果)
本実施の形態に係るガラス糸巻銅線は、銅の高純度化(99.9999質量%以上)処理を要さず、安価な連続鋳造圧延法により高い導電率を実現することができるので、低コスト化ができる。ガラス糸巻銅線は、高い導電率の素材から形成されるので、放熱性の向上により半導体素子の温度上昇を抑制でき信頼性が向上する。添加したチタン(Ti)が不純物である硫黄(S)をトラップするので、銅母相(マトリックス)が高純度化し、素材の軟質特性が向上する。
【0116】
また、本実施の形態に係るガラス糸巻銅線は、平角銅線の焼鈍工程を省略することができるため、硬質銅線の周りにガラス糸束を巻き付ける製造方法を採用することができ、焼鈍工程において消費する電力等のエネルギー費用、焼鈍工程の設備費用、設備メンテナンス費用、焼鈍工程にかかる時間及び人件費等を削減することができる。
【0117】
以上、本発明の実施の形態及びその変形例を説明したが、上記に記載した実施の形態及び変形例は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態及び変形例の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
【符号の説明】
【0118】
1…ガラス糸巻銅線
1a…ガラス糸巻銅線
2…導体
3…下層ガラス糸巻層
3a…ガラス糸巻層
4…上層ガラス糸巻層
5…絶縁膜
6…測定装置
7…試料
60…クランプ
61…レバーアーム
62…分度器
610…刃

【特許請求の範囲】
【請求項1】
導体と、
前記導体にガラス糸束を巻いて形成されるガラス糸巻層と、
前記ガラス糸巻層に絶縁塗料を含浸させた絶縁層と、
を備え、
前記導体が、純銅と、2mass ppmを超える量の酸素と、Ti、Mg、Zr、Nb、Ca、V、Ni、Mn及びCrからなる群から選択された添加元素と、を含み、残部が不可避的不純物であるガラス糸巻銅線。
【請求項2】
前記添加元素がTiであり、前記導体は、2mass ppm以上12mass ppm以下の硫黄と、2mass ppmを超え30mass ppm以下の酸素と、4mass ppm以上55mass ppm以下のTiと、を含む請求項1に記載のガラス糸巻銅線。
【請求項3】
前記硫黄(S)及び前記Tiが、TiO、TiO、TiS、若しくはTi−O−S結合を有する化合物又は前記TiO、前記TiO、前記TiS、若しくは前記Ti−O−S結合を有する化合物の凝集物として含まれ、前記残部のTi及びSが固溶体として含まれる請求項1に記載のガラス糸巻銅線。
【請求項4】
前記TiO、前記TiO、前記TiS、前記Ti−O−Sの形の化合物又は凝集物が結晶粒内に分布しており、
前記TiOが、200nm以下のサイズを有し、
前記TiOが、1000nm以下のサイズを有し、
前記TiSが、200nm以下のサイズを有し、
前記Ti−O−Sの形の化合物又は凝集物が、300nm以下のサイズを有し、
500nm以下の粒子が90%以上である請求項3に記載のガラス糸巻銅線。
【請求項5】
2mass ppmを超える量の酸素と、Ti、Mg、Zr、Nb、Ca、V、Ni、Mn及びCrからなる群から選択された添加元素と、を含む希薄銅合金線を最終線径に加工を実施した硬質導体を作製する導体作製工程と、
前記硬質導体の外周にガラス糸束を巻いてガラス糸巻層を形成するガラス糸巻層形成工程と、
前記ガラス糸巻層上に絶縁材料を塗布して絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記絶縁層を焼き付ける焼付工程と、
を含み、
前記焼付工程が、前記絶縁層を焼き付けると共に、前記焼付工程で発生する熱量によって前記硬質導体を軟質導体に変質させるガラス糸巻銅線の製造方法。
【請求項6】
前記添加元素がTiであり、
前記硬質導体が2mass ppm以上12mass ppm以下の硫黄と、2mass ppmを超え30mass ppm以下の酸素と、4mass ppm以上55mass ppm以下のTiと、を含む請求項5に記載のガラス糸巻銅線の製造方法。
【請求項7】
前記導体作製工程が、SCR連続鋳造圧延により、1100℃以上1320℃以下の溶銅温度で溶湯として前記希薄銅合金材料を作製し、前記希薄銅合金材料を熱間圧延して希薄銅合金線を作製する工程を含む請求項6に記載のガラス糸巻銅線の製造方法。
【請求項8】
前記希薄銅合金線を作製する工程が、熱間圧延加工における圧延ロールの温度が880℃以下550℃以上で行われる請求項7に記載のガラス糸巻銅線の製造方法。

【図2】
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【図4】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【図9】
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【図1】
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【図3】
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【図5】
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【公開番号】特開2012−89359(P2012−89359A)
【公開日】平成24年5月10日(2012.5.10)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−235264(P2010−235264)
【出願日】平成22年10月20日(2010.10.20)
【出願人】(000005120)日立電線株式会社 (3,358)
【出願人】(592178381)日立製線株式会社 (20)
【Fターム(参考)】