パターニング方法、マスクセット、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器
【課題】ブラックマトリクスを安定的に形成する。
【解決手段】基板（２０）上にネガ型の感光性樹脂材料（３０１）が塗布される。続いて、第１の方向（Ｘ）に沿って延在する第１の露光部（３０２１）がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスク（３０２）を用いて感光性樹脂材料が露光された後に、第２の方向（Ｙ）に沿って延在する第２の露光部（３０３１）がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスク（３０３）を用いて感光性樹脂材料が露光される。
【解決手段】基板（２０）上にネガ型の感光性樹脂材料（３０１）が塗布される。続いて、第１の方向（Ｘ）に沿って延在する第１の露光部（３０２１）がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスク（３０２）を用いて感光性樹脂材料が露光された後に、第２の方向（Ｙ）に沿って延在する第２の露光部（３０３１）がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスク（３０３）を用いて感光性樹脂材料が露光される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばブラックマトリクスのパターニング方法、このようなブラックマトリクスのパターニング方法に用いられる露光マスクを含むマスクセット、このようなブラックマトリクスのパターニング方法を用いて製造される液晶装置等の電気光学装置、このような電気光学装置を製造する製造方法、及びこのような電気光学装置を備える電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置として、一対の素子基板及び対向基板間に、電気光学物質の一例である液晶が挟持される液晶装置が一例としてあげられる。このような液晶装置の一の例では、マトリクス状に分布する複数の画素電極が素子基板上に設けられると共に、共通電極（或いは、対向電極）が対向基板上に設けられる。また、液晶装置の他の例では、複数の画素電極及び共通電極の夫々が素子基板上に設けられる。そして、液晶装置の駆動時には、画素電極と共通電極との間の電位差に基づく印加電圧が液晶に印加される。その結果、液晶の配向や秩序が制御され、画像表示が可能となる。
【０００３】
このような液晶装置では、カラー表示を行うために、各画素電極に対応するように設けられる赤色（Ｒ）や緑色（Ｇ）や青色（Ｂ）等の着色画素パターンを含むカラーフィルタが、対向基板上に設けられているのが一般的である。更には、これらの着色画素パターンの境界には、隣接する画素部からの光の漏れ込みを防ぐことで画像のコントラストを高めるために、ブラックマトリクスが設けられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなブラックマトリクスは、以下のような工程を経て対向基板上に形成されるのが一般的である。まず、ネガ型の感光性樹脂を基板全面に塗布した後、乾燥させる。その後、格子状の露光部を有する１枚の露光マスク（つまり、露光マスク上の格子状の領域において光が透過するような露光部を有する露光マスク）を介して露光処理を行う。その後、現像して不要な部分の感光性樹脂を除去したのち焼成する。これにより、格子状のブラックマトリクスが対向基板上に形成される。その後、格子状のブラックマトリクスが形成されていない領域に、マトリクス状に分布する着色画素パターンが形成される。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２０６６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、格子状の露光部を含む露光マスクを用いているがゆえに、感光性樹脂の露光に対する解像度によっては、格子状のブラックマトリクスの開口部の４隅が丸まった形状になりかねないという技術的な問題点を有している。つまり、ブラックマトリクスの形状が安定しないという技術的な問題点を有している。特に、感光性樹脂の露光に対する解像度が、ブラックマトリクスの材料の他の例である金属クロム等をパターニングするためのレジストの露光に対する解像度と比較して悪いために、感光性樹脂を用いてブラックマトリクスを形成する場合にこの技術的な問題が顕著に現れる。つまり、丸まりの度合いが強くなってしまう。これは、ブラックマトリクスの線幅のバラツキにつながってしまう。
【０００７】
本発明は、例えば上述した従来の問題点に鑑みなされたものであり、例えばブラックマトリクスを安定的に形成することが可能なパターニング方法、このようなパターニング方法に用いられる露光マスクを含むマスクセット、このようなパターニング方法を用いて製造される電気光学装置、このような電気光学装置を製造する製造方法、及びこのような電気光学装置を備える電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（ブラックマトリクスのパターニング方法）
本発明の第１のパターニング方法は、行列状に配列された開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを基板上に形成するパターニング方法であって、基板上にネガ型の感光性樹脂材料を塗布する塗布工程と、第１の方向に沿って延在する第１の露光部がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第１露光工程と、前記第１露光工程の後に、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在する第２の露光部がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第２露光工程とを備える。
【０００９】
本発明の第１のパターニング方法によれば、第１露光工程において、第１の露光マスクを用いて感光性樹脂材料が塗布された基板に対する露光処理が行われる。その後、第２露光工程において、第１の露光マスクとは異なる第２の露光マスクを用いて感光性樹脂材料が塗布された基板に対する露光処理が再度行われる。つまり、２つの露光マスクを用いて、２回の露光処理が行われる。
【００１０】
ここで、第１の露光マスクには、夫々が第１の方向に沿って延在する複数の第１の露光部が設けられている。第１の露光部は、感光性樹脂材料を感光させることができる程度の強度を有する光や電子ビーム等を透過することが可能な領域部分である。他方で、第１の露光部以外の部分においては、感光性樹脂材料を感光させることができる程度の強度を有する光や電子ビーム等が透過することは殆ど或いは全くない。従って、第１露光工程によって、感光性樹脂材料は、第１の方向に沿って延在する複数のストライプ状の領域が感光する。
【００１１】
同様に、第２の露光マスクには、夫々が第２の方向に沿って延在する複数の第２の露光部が設けられている。第２の露光部は、感光性樹脂材料を感光させることができる程度の強度を有する光や電子ビーム等を透過することが可能な領域部分である。他方で、第２の露光部以外の部分においては、感光性樹脂材料を感光させることができる程度の強度を有する光や電子ビーム等が透過することは殆ど或いは全くない。従って、第２露光工程によって、感光性樹脂材料は、第２の方向に沿って延在する複数のストライプ状の領域が感光する。
【００１２】
このため、第１露光工程及び第２露光工程が行われた後に不要な感光性樹脂材料（言い換えれば、露光されていない感光性樹脂材料）が除去されることで、格子状のパターンの感光性樹脂材料が基板上に残存することになる。つまり、第１露光工程によって樹脂製ブラックマトリクスの例えば縦方向の格子が形成されると共に、第２露光工程によって樹脂製ブラックマトリクスの例えば横方向の格子が形成される。これにより、行列状に配列された開口を有する樹脂製ブラックマトリクスが基板上に形成される。つまり、格子状の樹脂製ブラックマトリクスが基板上に形成される。
【００１３】
特に、上述の如く第１の露光マスクと第２の露光マスクとを用いて露光処理を２度に分けて行っているため、格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて露光処理を行う構成と比較して、格子状の樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅（言い換えれば、角部分）の形状が相対的には安定する。具体的には、格子状の樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅が丸まってしまうという不都合の程度を相対的には緩和することができる。このため、格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて露光処理を行う構成と比較して、樹脂製ブラックマトリクスの線幅のバラツキの発生を相対的に抑制することができる。従って、格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて露光処理を行う構成と比較して、樹脂製ブラックマトリクスを安定的に形成することができる。
【００１４】
本発明の第１のパターニング方法の一の態様では、前記第１の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域よりも外側の領域を露光させるように延在し、前記第２の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域よりも外側の領域を露光させるように延在する。
【００１５】
第１露光部や第２露光部の端部が閉じた端部となっているのであれば、これに起因して、当該端部に対応する基板上の領域に形成される樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅が丸まってしまいかねない。しかるに、この態様によれば、少なくとも樹脂製ブラックマトリクスの開口が行列状に配列される領域（例えば、画素表示領域等）内において第１露光部や第２露光部の端部が閉じた端部となることはない。このため、少なくとも樹脂製ブラックマトリクスの開口が行列状に配列される領域においては、格子状の樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅（言い換えれば、角部分）の形状が相対的には安定する。
【００１６】
本発明の第１のパターニング方法の他の態様では、前記第１の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域の外周の領域を露光させる。
【００１７】
この態様によれば、少なくとも樹脂製ブラックマトリクスの開口が行列状に配列される領域（例えば、画素表示領域等）内において第１露光部や第２露光部の端部が閉じた端部となることはない。このため、少なくとも樹脂製ブラックマトリクスの開口が行列状に配列される領域においては、格子状の樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅（言い換えれば、角部分）の形状が相対的には安定する。
【００１８】
本発明の第２のパターニング方法は、開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを基板上に形成するパターニング方法であって、基板上にネガ型の感光性樹脂材料を塗布する塗布工程と、第１の方向に延在し且つ前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口の前記第１の方向に沿った辺の長さよりも長い辺を有する領域部分を露光させる第１の露光部が少なくとも設けられる第１の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第１露光工程と、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在すると共に、少なくとも前記第１の露光部により露光された領域を露光させる第２の露光部が設けられた第２の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第２露光工程とを備える。
【００１９】
本発明の第２のパターニング方法によれば、上述した本発明の第１のパターニング方法と同様に、第１の露光マスクと第２の露光マスクとを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、開口を有する（例えば、格子状の）樹脂製ブラックマトリクスが基板上に形成される。
【００２０】
第２のパターニング方法では特に、第１の露光マスクは、第１の方向に延在する第１の露光部を含んでいる。この第１の露光部の第１の方向における長さは、樹脂製ブラックマトリクスの開口の第１の方向に沿った辺の長さよりも長い辺を有する基板上の領域部分を露光させることが可能な程度の長さである。また、第２の露光マスクは、第２の方向に延在する第２の露光部を含んでいる。この第２の露光部は、第１の露光部を介して露光された領域を露光させるように第２の露光マスク上に設けられている。
【００２１】
このため、少なくとも第１の露光部と第２の露光部とを介して露光されることで形成される樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅（言い換えれば、角部分）の形状は、樹脂製ブラックマトリクスと相似形状となる格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて露光処理を行う構成と比較して、相対的には安定する。言い換えれば、樹脂製ブラックマトリクスと相似形状となる格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて樹脂製ブラックマトリクスを形成すれば、樹脂製ブラックマトリクスの殆ど全ての開口の角の形状が安定しないところ、第２のパターニング方法によれば、樹脂製ブラックマトリクスの少なくとも一部の開口の角の形状を安定させることができる。従って、上述した第１のパターニング方法が享受する各種効果を、相応に享受することができる。
【００２２】
尚、上述した本発明の第１のパターニング方法の各種態様に対応して、本発明の第２のパターニング方法も各種態様を採ることができる。
【００２３】
（マスクセット）
本発明のマスクセットは、基板上に塗布されたネガ型の感光性樹脂材料を露光することで、開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを前記基板上に形成するため２つの露光マスクを備えるマスクセットであって、第１の方向に沿って延在する第１の露光部がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスクと、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在する第２の露光部がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスクとを備える。
【００２４】
本発明のマスクセットによれば、上述した第１のパターニング方法において用いられる第１の露光マスク及び第２の露光マスクを備えているため、当該マスクセットを用いて樹脂製ブラックマトリクスをパターニングすれば、上述した第１のパターニング方法が享受する各種効果を好適に享受することができる。
【００２５】
尚、上述した本発明の第１又は第２のパターニング方法の各種態様に対応して、本発明のマスクセットも各種態様を採ることができる。
【００２６】
（電気光学装置）
本発明の電気光学装置は、上述した本発明の第１の又は第２のパターニング方法（但し、その各種態様を含む）により生成された基板と、前記基板に対向する他の基板と、前記基板と前記他の基板との間に挟持される電気光学物質とを備える。
【００２７】
本発明の電気光学装置によれば、基板（例えば、後述の対向基板）と他の基板（例えば、後述のＴＦＴアレイ基板）との間に挟持される電気光学物質に対して電界が印加されることで電気光学物質が駆動され、その結果、画像表示が可能となる。特に、基板上に形成される樹脂製ブラックマトリクスの線幅が相対的に安定しているため、相対的には高品質な電気光学装置を提供することができる。
【００２８】
本発明の電気光学装置の一の態様では、前記他の基板上に、前記電気光学物質に対して電界を印加するための共通電極及び画素電極の夫々が設けられる。
【００２９】
この態様によれば、例えば、ＦＦＳ方式やＩＰＳ方式等の横電界駆動方式の電気光学装置において、上述した各種効果を享受することができる。
【００３０】
（電気光学装置の製造方法）
本発明の電気光学装置の製造方法は、第１の又は第２のパターニング方法（但し、その各種態様を含む）により生成された樹脂製ブラックマトリクスを有する基板を備えた電気光学装置を製造する。
【００３１】
本発明の電気光学装置の製造方法によれば、基板上に形成される樹脂製ブラックマトリクスの線幅が相対的に安定しているため、相対的には高品質な電気光学装置を製造することができる。
【００３２】
（電子機器）
上記課題を解決するために、本発明の電子機器は、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を備える。
【００３３】
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置（或いは、その各種態様）備えているため、上述した本発明の電気光学装置が享受する各種効果と同様の効果を享受することができる。つまり、上述した本発明の電気光学装置が享受する各種効果と同様の効果を享受することができる投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、携帯オーディオプレーヤ、ワードプロセッサ、デジタルカメラ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現することができる。
【００３４】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から更に明らかにされよう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面に基づいて説明する。尚、以下では、本発明に係る電気光学装置の一例として、液晶装置を用いて説明を進める。
【００３６】
（１）液晶装置の基本構成
先ず、本実施形態に係る液晶装置の構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【００３７】
図１及び図２において、本実施形態に係る液晶装置では、本発明に係る「他の基板」の一具体例を構成するＴＦＴアレイ基板１０と、本発明に係る「基板」の一具体例を構成する対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置する枠状或いは額縁状のシール領域に設けられたシール材５２により互いに貼り合わされている。
【００３８】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のスペーサが散布されている。
【００３９】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。但し、データ線駆動回路１０１は、シール領域よりも内側に、データ線駆動回路１０１が額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられていてもよい。また、走査線駆動回路１０４及び共通配線駆動回路１１０は、この一辺に隣接する２辺に沿ったシール領域の内側に、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。
【００４０】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、駆動素子である画素スイッチング用のＴＦＴ（Thin Film Transistor）や走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成されている。具体的には、画像表示領域１０ａには、画素スイッチング用ＴＦＴや走査線、データ線等の配線の上層に共通電極２１、絶縁層１２及び画素電極９ａがこの順に形成されている。つまり、本実施形態に係る液晶装置１００は、画素電極９ａと共通電極２１との間に生ずる電界によって液晶層５０の配向状態を制御する横電界駆動方式（特に、ＦＦＳ（Fringe Field Switching）方式）を採用している。ここで、画素電極９ａは、画像表示領域１０ａを構成する各画素を形成するようにマトリクス状に設けられている。一方で、共通電極２１は、全ての画素電極９ａに対して共通にベタ状に設けられてもよいし、或いは１つの行に属する画素電極９ａに対応する共通電極が、１水平ラインごとに設けられてもよい。他方、対向基板２０におけるＴＦＴアレイ基板１０との対向面上に、ブラックマトリクス２１１が形成されている。ブラックマトリクス２１１は、例えば遮光性樹脂膜等から形成されており、対向基板２０上の画像表示領域１０ａ内で、例えば格子状等にパターニングされている。そして、ブラックマトリクス２１１上にカラーフィルタ２１２が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、一対の基板間で、所定の配向状態をとる。尚、ブラックマトリクス２１１やカラーフィルタ２１２等を含む対向基板２０側の詳細な構成については後に詳述する（図４等参照）。
【００４１】
尚、ここでは図示しないが、ＴＦＴアレイ基板１０上には、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４の他に、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路、検査用パターン等が形成されていてもよい。
【００４２】
また、上述の説明では、画素電極９ａと共通電極１１とが異なる層に設けられると共に、画素電極９ａと共通電極１１とが絶縁層１２を間に挟持し、液晶層５０側の画素電極9ａに開口部を有するＦＦＳ方式を採用する液晶装置１００について説明を進めているが、液晶層５０側を開口部を有する共通電極１１としてもよい。また、画素電極９ａと共通電極１１とが同じ層に設けられるＩＰＳ方式を採用する液晶装置であってもよい。また、横電界駆動方式を採用する液晶装置のみならず、例えばＴＮ（ツイスト・ネマティック）方式や、ＥＣＢ（複屈折電界効果）方式や、ＶＡ（垂直配向）方式等の縦電界駆動方式を採用する液晶装置であってもよい。
【００４３】
（２）液晶装置の電気的な詳細構成
続いて、図３を参照して、本実施形態に係る液晶装置１００の要部の電気的な構成について説明する。ここに、図３は、本実施形態に係る液晶装置１００の要部の電気的な構成を概念的に示すブロック図である。
【００４４】
図３において、本実施形態に係る液晶装置１００は、そのＴＦＴアレイ基板１０上の画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域に、走査線駆動回路１０４及びデータ線駆動回路１０１等の駆動回路が形成されている。
【００４５】
走査線駆動回路１０４は、走査信号を、走査線Ｙ１からＹｎ（但し、ｎは１以上の整数）に順次供給する。例えば、ある走査線Ｙａ（但し、ａは、１≦ａ≦ｎを満たす整数）にハイレベルの走査信号が供給されると、この走査線Ｙａに接続されたＴＦＴ１１６が全てオン状態となり、この走査線Ｙａに対応する画素部７０が全て選択される。
【００４６】
データ線駆動回路１０１は、画像信号を、データ線Ｘ１からＸｍ（但し、ｍは１以上の整数）に順次供給し、オン状態のＴＦＴ１１６を介してこの画像信号に基づく画像電圧を画素電極９ａ及び蓄積容量１１９に書き込む。
【００４７】
本実施形態に係る液晶装置１００には、更に、そのＴＦＴアレイ基板１０の中央を占める画像表示領域１０ａに、マトリクス状に配列された複数の画素部７０が設けられている。
【００４８】
画素部７０は、画素スイッチング用のＴＦＴ１１６、画素電極９ａ、液晶素子１１８、共通電極２１及び蓄積容量１１９を備えている。
【００４９】
ＴＦＴ１１６は、ソース端子がデータ線Ｘ１〜Ｘｍのいずれかに電気的に接続され、ゲート端子が走査線Ｙ１からＹｎのいずれかに電気的に接続され、ドレイン端子が画素電極９ａに電気的に接続されている。画素スイッチング用のＴＦＴ１１６は、走査線駆動回路１０４から供給される走査信号によってオン状態及びオフ状態が切り換えられる。
【００５０】
液晶素子１１８は、画素電極９ａ、共通電極２１並びに画素電極９ａ及び共通電極２１間に位置する液晶から構成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ１１６を介してデータ線Ｘ１からＸｍのいずれかと電気的に接続されている。共通電極２１は、共通配線ＣＯＭと電気的に接続されている。液晶装置１００の動作時には、データ線Ｘ１からＸｍ及びＴＦＴ１１６を介して供給された画像信号の電位を有する画素電極９ａと、共通線ＣＯＭを介して供給された共通電圧の電位を有する共通電極２１との間には電界が生じる。液晶は、当該電界に応じて駆動されることによって、即ち、当該電界に応じて分子集合の配向や秩序が変化することによって、光を変調し、階調表示を可能とする。
【００５１】
蓄積容量１１９は、保持された画像信号がリークするのを防ぐために付加されている。蓄積容量１１９を構成する一方の電極は、画素電極９ａに電気的に接続され、他方の電極は、共通配線ＣＯＭに電気的に接続されている。
【００５２】
（３）対向基板の詳細な構成
続いて、図４を参照して、対向基板２０の詳細な構成について説明する。ここに、図４（ａ）は、対向基板２０の詳細な構成を概念的に示す平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）の（ＶＩ）−（ＶＩ’）断面図である。
【００５３】
図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、対向基板２０上には、格子状のブラックマトリクス２１１が設けられている。このブラックマトリクス２１１は、例えば感光性樹脂から形成される。このブラックマトリクス２１１が設けられた領域が、ＴＦＴアレイ基板１０上にマトリクス状に設けられた画素電極９ａの周縁部に対応する位置に該当する。このブラックマトリクス２１１は、画素電極９ａの周縁部或いは隣接する画素電極９ａからの光漏れを防止し、表示される画像のコントラストを高めるために設けられる。
【００５４】
ブラックマトリクス２１１で区画された領域には、赤色（Ｒ：Ｒｅｄ）、緑色（Ｇ：Ｇｒｅｅｎ）及び青色（Ｂ：Ｂｌｕｅ）の３色のカラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂがそれぞれストライプ状に設けられている。カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂは、図４（ａ）における横方向においては、３色のカラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂが順番に配列されるように設けられる。このとき、図４（ｂ）においては、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂは、ブラックマトリクス２１１と重ならないように設けられている。但し、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂは、各カラーフィルタ層の境界がブラックマトリクス２１１の一部と重なるように設けられてもよい。また、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂは、図４（ａ）における縦方向には、同色のカラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂがブラックマトリクス２１１上をまたがるように形成される。これらのカラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂの形成材料としては、それぞれの着色剤を混合した感光性樹脂を用いてもよい。
【００５５】
（４）ブラックマトリクスの形成方法
続いて、図５から図８を参照して、本実施形態に係る液晶装置１００（特に、そのうちの対向基板２０）が備えるブラックマトリクス２１１の形成方法について説明する。ここに、図５は、ブラックマトリクス２１１の形成工程の一の工程を概念的に示す断面図であり、図６は、ブラックマトリクス２１１の形成工程の他の工程を概念的に示す断面図及び当該工程において用いられるフォトマスクを概念的に示す平面図であり、図７は、ブラックマトリクス２１１の形成工程の他の工程を概念的に示す断面図及び当該工程において用いられるフォトマスクを概念的に示す平面図であり、図８は、ブラックマトリクス２１１の形成工程の他の工程を概念的に示す断面図である。
【００５６】
図５に示すように、まず、例えばロールコート法やスピンコート法やブレードコート法等を用いて、対向基板２０上に、ブラックマトリクス２１１の材料となるネガ型の感光性樹脂３０１が塗布される。その後、塗布された感光性樹脂３０１の乾燥処理が行われる。
【００５７】
続いて、図６（ａ）に示すように、フォトマスク３０２を用いて感光性樹脂３０１に対する露光処理が行われる。ここで、図６（ｂ）に示すように、フォトマスク３０２には、Ｘ方向（言い換えれば、縦方向）に沿って延在する露光部３０２１が、ストライプを形成するように複数設けられている。露光処理において照射される光や紫外線や電子ビーム等は、露光部３０２１を透過して、露光部３０２１に対応する感光性樹脂３０１上の所定の領域を感光させる。他方で、露光処理において照射される光や紫外線や電子ビーム等は、フォトマスク３０２のうちの露光部３０２１以外の部分を透過することはないため、露光部３０２１に対応しない感光性樹脂３０１上の他の領域は感光しない。従って、図６に示す露光処理によって、感光性樹脂３０１は、ストライプを形成するようにＸ方向に延在する複数の縦長の領域が感光することになる。
【００５８】
続いて、図７（ａ）に示すように、フォトマスク３０３を用いて感光性樹脂３０１に対する他の露光処理が行われる。ここで、図７（ｂ）に示すように、フォトマスク３０３には、Ｙ方向（言い換えれば、横方向）に沿って延在する露光部３０２１が、ストライプを形成するように複数設けられている。つまり、図７に示す露光処理で用いられるフォトマスク３０３上の露光部３０３１は、図６に示す露光処理で用いられるフォトマスク３０２上の露光部３０２１と直交する関係を有している。露光処理において照射される光や紫外線や電子ビーム等は、露光部３０３１を透過して、露光部３０３１に対応する感光性樹脂３０１上の所定の領域を感光させる。他方で、露光処理において照射される光や紫外線や電子ビーム等は、フォトマスク３０３のうちの露光部３０３１以外の部分を透過することはないため、露光部３０３１に対応しない感光性樹脂３０１上の他の領域は感光しない。従って、図７に示す露光処理によって、感光性樹脂３０１は、ストライプを形成するようにＹ方向に延在する複数の横長の領域が感光することになる。
【００５９】
続いて、現像処理が行われることで、不要な感光性樹脂３０１が除去される。つまり、図６に示す露光処理及び図７に示す露光処理のいずれにおいても感光していない感光性樹脂３０１が除去される。ここで、感光性樹脂３０１は、図６に示す露光処理によって、Ｘ方向に延在する複数の縦長の領域が感光し、且つ図７に示す露光処理によって、Ｙ方向に延在する複数の横長の領域が感光している。このため、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、感光していない感光性樹脂３０１が除去された結果、ＸＹ方向の格子状の感光性樹脂３０１のみが残存する。その結果、残存した感光性樹脂３０１が、ＸＹ方向の格子を構成する（言い換えれば、開口部が行列状に配列された）ブラックマトリクス２１１となる。
【００６０】
その後、上述したフォトリソグラフィー法や、或いは印刷法、電着法、転写法等周知の形成方法を用いて、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂが形成される。更に、必要に応じて、感光性樹脂からなるオーバーコート層２１３を形成するように構成してもよい。
【００６１】
このように、本実施形態においては、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、ブラックマトリクス２１１が形成される。ここで、図９を参照して、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことでブラックマトリクス２１１を形成することによって得られる技術的な効果を、格子状の露光部を有する１つのフォトマスクを用いて露光処理を１度だけ行うことでブラックマトリクス２１１を形成する比較例と対比させながら説明する。ここに、図９（ａ）は、格子状の露光部を有するフォトマスクを概念的に示す平面図であり、図９（ｂ）は、格子状の露光部を有する１つのフォトマスクを用いて露光処理を１度だけ行うことで形成されるブラックマトリクス２１１の形状を概念的に示す平面図であり、図９（ｃ）は、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで形成されるブラックマトリクス２１１の形状を概念的に示す平面図である。
【００６２】
図９（ａ）に示すように、比較例においては、ＸＹ方向の格子状の露光部３０４１を有するフォトマスク３０４を用いて１回の露光処理によってブラックマトリクス２１１が形成される。
【００６３】
その結果、形成されるブラックマトリクス２１１は、図９（ｂ）に示すように、ブラックマトリクス２１１の開口部（つまり、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ或いは２１２Ｂが形成される領域部分）の４隅の角部分が丸まったないしは狭まった形状となってしまう。言い換えれば、ブラックマトリクス２１１のＸ方向の格子とＹ方向の格子との交点付近における格子の線幅が大きく変動してしまう。これは、ブラックマトリクス２１１の材料である感光性樹脂３０１の露光に対する解像度が、ブラックマトリクス２１１の他の材料であるクロム等の金属薄膜の露光に対する解像度よりも低い（つまり、悪化している）にも関わらず、Ｘ方向及びＹ方向の夫々に延在する露光部３０４１を有する１つのフォトマスク３０４を用いて露光処理を行っているためである。
【００６４】
しかるに、本実施形態によれば、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行っているため、図９（ｃ）に示すように、ブラックマトリクス２１１の開口部の４隅の角部分の丸まりの程度を軽減するないしは緩和することができる。言い換えれば、比較例と比較して、ブラックマトリクス２１１のＸ方向の格子とＹ方向の格子との交点付近における格子の線幅の変動の程度を小さくすることができる。一例として、例えば５．０マイクロメートルの設計線幅となるようにブラックマトリクス２１１を形成した場合には、図９（ｂ）に示す例では、４．７マイクロメートル±３．５マイクロメートル程度の線幅になる一方で、図９（ｂ）に示す例では、５．２マイクロメートル±０．８マイクロメートル程度の線幅となる。つまり、線幅の変動の程度が小さくなっていることが分かる。従って、ブラックマトリクス２１１の線幅のバラツキを抑えることができるため、ブラックマトリクス２１１を安定的に形成することができる。
【００６５】
尚、上述の説明では、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つの別々のフォトマスクを用いて２度の露光処理を行っている。しかしながら、フォトマスク３０２が有する露光部３０２１とフォトマスク３０３が有する露光部３０３１とが直交する関係にあることを考慮すれば、フォトマスク３０２を用いて露光処理を行った後、対向基板２０に対して９０度回転したフォトマスク３０２を用いて続く露光処理を行ってもよい。この場合、１枚のフォトマスク３０２を用いて２度の露光処理を行うことができる。
【００６６】
（５）フォトマスクの変形例
続いて、フォトマスクの変形例について説明する。
【００６７】
（５−１）第１変形例
まず、図１０を参照して、第１変形例に係るフォトマスクについて説明する。ここに、図１０は、第１変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【００６８】
図１０（ａ）に示すように、第１変形例に係るフォトマスク３０５は、上述したフォトマスク３０２と同様に、Ｘ方向（言い換えれば、縦方向）に沿って延在する露光部３０５１が、ストライプを形成するように複数設けられている。フォトマスク３０５は特に、各露光部３０５１は、画像表示領域１０ａに対応するフォトマスク３０５上の領域３０５ａよりも外側の領域に到達するように延在している。
【００６９】
同様に、図１０（ｂ）に示すように、第１変形例に係るフォトマスク３０６は、上述したフォトマスク３０３と同様に、Ｙ方向（言い換えれば、縦方向）に沿って延在する露光部３０５１が、ストライプを形成するように複数設けられている。フォトマスク３０６は特に、各露光部３０６１は、画像表示領域１０ａに対応するフォトマスク３０６上の領域３０６ａよりも外側の領域に到達するように延在している。
【００７０】
第１変形例では、このようなフォトマスク３０５とフォトマスク３０６という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、ブラックマトリクス２１１が形成される。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。
【００７１】
加えて、第１変形例によれば、画像表示領域１０ａに対応する領域３０５ａ（３０６ａ）内において露光部３０５１や露光部３０６１の端部が位置することはない。言い換えれば、画像表示領域１０ａに対応する領域３０５ａ（３０６ａ）内においては、露光部３０５１や露光部３０６１は、閉じた端部を有することはなくなる。このため、少なくとも画像表示領域１０ａにおいては、格子状のブラックマトリクス２１１の開口部の隅（言い換えれば、角部分）の形状が相対的には安定することになる。つまり、露光部３０５１のＸ方向の端部や露光部３０６１のＹ方向の端部が画像表示領域１０ａに対応する領域内に位置することに起因して、画像表示領域１０ａ内に形成されるブラックマトリクス２１１の開口部の４隅の角部分が丸まってしまうという不都合の発生を好適に抑制することができる。従って、画像の表示品質に影響を与える画像表示領域１０ａ内のブラックマトリクス２１１を安定的に形成することができる。
【００７２】
（５−２）第２変形例
続いて、図１１を参照して、第２変形例に係るフォトマスクについて説明する。ここに、図１１は、第２変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【００７３】
図１１（ａ）に示すように、第２変形例に係るフォトマスク３０７には、Ｘ方向に沿って延在する露光部３０７１が、ストライプを形成するように複数設けられている。但し、第２変形例に係るフォトマスク３０７には、更に、Ｙ方向に沿って延在する露光部３０７２が、露光部３０７１と交わるように設けられている。このとき、露光部３０７２によって分断されていない露光部３０７１の一部分（つまり、Ｙ方向に延在する露光部３０７２と交わらない一連の露光部分）のＸ方向における長さｄは、ブラックマトリクス２１１の１つの開口部のＸ方向の辺の長さよりも長い辺を有する対向基板２０上の領域部分を露光させることが可能な程度の長さとなっている。つまり、第１変形例に係るフォトマスク３０７は、上述したフォトマスク３０２が有する露光部３０２１に加えて、上述したフォトマスク３０３が有する露光部３０３１の一部が更に設けられた構成を有している。
【００７４】
他方、第１変形例に係るもう１つのフォトマスク３０８は、Ｙ方向に沿って延在する露光部３０８１が、ストライプを形成するように複数設けられている。但し、露光部３０８１は、フォトマスク３０７に設けられたＹ方向に延在する露光部３０７２と重複しない位置にのみ設けられる。更に、露光部３０８１は、フォトマスク３０７に設けられたＸ方向に延在する露光部３０７１のうちＹ方向に延在する露光部３０７２と交わらない一連の露光部分を、ブラックマトリクス２１１の１つの開口部のＸ方向の辺の長さ毎に分断するような位置関係を有して設けられる。
【００７５】
第２変形例では、このようなフォトマスク３０７とフォトマスク３０８という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、ブラックマトリクス２１１が形成される。特に、フォトマスク３０７が、ブラックマトリクス２１１の１つの開口部のＸ方向の辺の長さよりも長い辺を有する対向基板２０上の領域部分を露光させることが可能な露光部３０７１を有しているため、少なくともこの露光部３０７１によって露光される対向基板２０上の領域においては、上述した各種効果を享受しながらブラックマトリクス２１１を形成することができる。
【００７６】
（５−３）フォトマスクの第３変形例
続いて、図１２及び図１３を参照して、第３変形例に係るフォトマスクについて説明する。ここに、図１２は、第３変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図であり、図１３は、第３変形例に係るフォトマスクを用いて形成されるブラックマトリクス２１１を概念的に示す平面図である。
【００７７】
液晶装置１００の一例として、奇数ラインにおける画素配列と偶数ラインにおける画素配列とが半画素だけずれた「デルタ構造」を採用する液晶装置も想定される。この場合、単純に上述したフォトマスク３０２及び３０３を同様の態様で用いるだけでは、デルタ構造の画素配列に対応するブラックマトリクス２１１を形成することは困難である。従って、この場合は、図１２に示すように、上述したフォトマスク３０２に代えて、奇数ラインにおけるブラックマトリクス２１１を形成するためのＸ方向に延在する露光部３０８１と、偶数ラインにおけるブラックマトリクス２１１を形成するためのＸ方向に延在する露光部３０８２とをＹ方向に沿って半画素ずらして配置したフォトマスク３０８が用いられる。このフォトマスク３０８と上述したフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、上述した各種効果を享受しつつ、図１３に示すように、デルタ構造の画素配列に対応するブラックマトリクス２１１を好適に形成することができる。
【００７８】
（６）電子機器
続いて、図１４及び図１５を参照しながら、上述の液晶装置１００を具備してなる電子機器の例を説明する。
【００７９】
図１４は、上述した液晶装置１００が適用されたモバイル型のパーソナルコンピュータの斜視図である。図１４において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、上述した液晶装置１００を含んでなる液晶表示ユニット１２０６とから構成されている。液晶表示ユニット１２０６は、液晶装置１００の背面にバックライトを付加することにより構成されている。
【００８０】
次に、上述した液晶装置１００を携帯電話に適用した例について説明する。図１５は、電子機器の一例である携帯電話の斜視図である。図１５において、携帯電話１３００は、複数の操作ボタン１３０２とともに、半透過反射型の表示形式を採用し、且つ上述した液晶装置１００と同様の構成を有する液晶装置１００５を備えている。
【００８１】
これらの電子機器においても、上述した液晶装置１００を含んでいるため、上述した各種効果を好適に享受することができる。
【００８２】
尚、図１４及び図１５を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた直視型の表示装置や、液晶プロジェクタ等の投射型の表示装置等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
【００８３】
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴なうパターニング方法、マスクセット、電気光学装置及び電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】本実施形態に係る液晶装置の要部の電気的な構成を概念的に示すブロック図である。
【図４】対向基板の詳細な構成を概念的に示す平面図及び断面図である。
【図５】ブラックマトリクスの形成工程の一の工程を概念的に示す断面図である。
【図６】ブラックマトリクスの形成工程の他の工程を概念的に示す断面図及び当該工程において用いられるフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図７】ブラックマトリクスの形成工程の他の工程を概念的に示す断面図及び当該工程において用いられるフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図８】ブラックマトリクスの形成工程の他の工程を概念的に示す断面図である。
【図９】格子状の露光部を有するフォトマスクを概念的に示す平面図であり、格子状の露光部を有する１つのフォトマスクを用いて露光処理を１度だけ行うことで形成されるブラックマトリクスの形状を概念的に示す平面図であり、２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで形成されるブラックマトリクスの形状を概念的に示す平面図である。
【図１０】第１変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図１１】第２変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図１２】第３変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図１３】第３変形例に係るフォトマスクを用いて形成されるブラックマトリクスを概念的に示す平面図である。
【図１４】液晶装置が適用されたモバイル型のパーソナルコンピュータの斜視図である。
【図１５】液晶装置が適用された携帯電話の斜視図である。
【符号の説明】
【００８５】
１００…液晶装置、１０…ＴＦＴアレイ基板、２０…対向基板、２１…共通電極、２２１…ブラックマトリクス、２１２Ｒ…カラーフィルタ層、２１２Ｇ…カラーフィルタ層、２１２Ｂ…カラーフィルタ層、３０１…感光性樹脂、３０２…フォトマスク、３０２１…露光部、３０３…フォトマスク、３０３１…露光部、３０５…フォトマスク、３０５１…露光部、３０６…フォトマスク、３０６１…露光部、３０７…フォトマスク、３０７１…露光部、３０８…フォトマスク、３０８１…露光部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばブラックマトリクスのパターニング方法、このようなブラックマトリクスのパターニング方法に用いられる露光マスクを含むマスクセット、このようなブラックマトリクスのパターニング方法を用いて製造される液晶装置等の電気光学装置、このような電気光学装置を製造する製造方法、及びこのような電気光学装置を備える電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置として、一対の素子基板及び対向基板間に、電気光学物質の一例である液晶が挟持される液晶装置が一例としてあげられる。このような液晶装置の一の例では、マトリクス状に分布する複数の画素電極が素子基板上に設けられると共に、共通電極（或いは、対向電極）が対向基板上に設けられる。また、液晶装置の他の例では、複数の画素電極及び共通電極の夫々が素子基板上に設けられる。そして、液晶装置の駆動時には、画素電極と共通電極との間の電位差に基づく印加電圧が液晶に印加される。その結果、液晶の配向や秩序が制御され、画像表示が可能となる。
【０００３】
このような液晶装置では、カラー表示を行うために、各画素電極に対応するように設けられる赤色（Ｒ）や緑色（Ｇ）や青色（Ｂ）等の着色画素パターンを含むカラーフィルタが、対向基板上に設けられているのが一般的である。更には、これらの着色画素パターンの境界には、隣接する画素部からの光の漏れ込みを防ぐことで画像のコントラストを高めるために、ブラックマトリクスが設けられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなブラックマトリクスは、以下のような工程を経て対向基板上に形成されるのが一般的である。まず、ネガ型の感光性樹脂を基板全面に塗布した後、乾燥させる。その後、格子状の露光部を有する１枚の露光マスク（つまり、露光マスク上の格子状の領域において光が透過するような露光部を有する露光マスク）を介して露光処理を行う。その後、現像して不要な部分の感光性樹脂を除去したのち焼成する。これにより、格子状のブラックマトリクスが対向基板上に形成される。その後、格子状のブラックマトリクスが形成されていない領域に、マトリクス状に分布する着色画素パターンが形成される。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２０６６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、格子状の露光部を含む露光マスクを用いているがゆえに、感光性樹脂の露光に対する解像度によっては、格子状のブラックマトリクスの開口部の４隅が丸まった形状になりかねないという技術的な問題点を有している。つまり、ブラックマトリクスの形状が安定しないという技術的な問題点を有している。特に、感光性樹脂の露光に対する解像度が、ブラックマトリクスの材料の他の例である金属クロム等をパターニングするためのレジストの露光に対する解像度と比較して悪いために、感光性樹脂を用いてブラックマトリクスを形成する場合にこの技術的な問題が顕著に現れる。つまり、丸まりの度合いが強くなってしまう。これは、ブラックマトリクスの線幅のバラツキにつながってしまう。
【０００７】
本発明は、例えば上述した従来の問題点に鑑みなされたものであり、例えばブラックマトリクスを安定的に形成することが可能なパターニング方法、このようなパターニング方法に用いられる露光マスクを含むマスクセット、このようなパターニング方法を用いて製造される電気光学装置、このような電気光学装置を製造する製造方法、及びこのような電気光学装置を備える電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（ブラックマトリクスのパターニング方法）
本発明の第１のパターニング方法は、行列状に配列された開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを基板上に形成するパターニング方法であって、基板上にネガ型の感光性樹脂材料を塗布する塗布工程と、第１の方向に沿って延在する第１の露光部がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第１露光工程と、前記第１露光工程の後に、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在する第２の露光部がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第２露光工程とを備える。
【０００９】
本発明の第１のパターニング方法によれば、第１露光工程において、第１の露光マスクを用いて感光性樹脂材料が塗布された基板に対する露光処理が行われる。その後、第２露光工程において、第１の露光マスクとは異なる第２の露光マスクを用いて感光性樹脂材料が塗布された基板に対する露光処理が再度行われる。つまり、２つの露光マスクを用いて、２回の露光処理が行われる。
【００１０】
ここで、第１の露光マスクには、夫々が第１の方向に沿って延在する複数の第１の露光部が設けられている。第１の露光部は、感光性樹脂材料を感光させることができる程度の強度を有する光や電子ビーム等を透過することが可能な領域部分である。他方で、第１の露光部以外の部分においては、感光性樹脂材料を感光させることができる程度の強度を有する光や電子ビーム等が透過することは殆ど或いは全くない。従って、第１露光工程によって、感光性樹脂材料は、第１の方向に沿って延在する複数のストライプ状の領域が感光する。
【００１１】
同様に、第２の露光マスクには、夫々が第２の方向に沿って延在する複数の第２の露光部が設けられている。第２の露光部は、感光性樹脂材料を感光させることができる程度の強度を有する光や電子ビーム等を透過することが可能な領域部分である。他方で、第２の露光部以外の部分においては、感光性樹脂材料を感光させることができる程度の強度を有する光や電子ビーム等が透過することは殆ど或いは全くない。従って、第２露光工程によって、感光性樹脂材料は、第２の方向に沿って延在する複数のストライプ状の領域が感光する。
【００１２】
このため、第１露光工程及び第２露光工程が行われた後に不要な感光性樹脂材料（言い換えれば、露光されていない感光性樹脂材料）が除去されることで、格子状のパターンの感光性樹脂材料が基板上に残存することになる。つまり、第１露光工程によって樹脂製ブラックマトリクスの例えば縦方向の格子が形成されると共に、第２露光工程によって樹脂製ブラックマトリクスの例えば横方向の格子が形成される。これにより、行列状に配列された開口を有する樹脂製ブラックマトリクスが基板上に形成される。つまり、格子状の樹脂製ブラックマトリクスが基板上に形成される。
【００１３】
特に、上述の如く第１の露光マスクと第２の露光マスクとを用いて露光処理を２度に分けて行っているため、格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて露光処理を行う構成と比較して、格子状の樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅（言い換えれば、角部分）の形状が相対的には安定する。具体的には、格子状の樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅が丸まってしまうという不都合の程度を相対的には緩和することができる。このため、格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて露光処理を行う構成と比較して、樹脂製ブラックマトリクスの線幅のバラツキの発生を相対的に抑制することができる。従って、格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて露光処理を行う構成と比較して、樹脂製ブラックマトリクスを安定的に形成することができる。
【００１４】
本発明の第１のパターニング方法の一の態様では、前記第１の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域よりも外側の領域を露光させるように延在し、前記第２の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域よりも外側の領域を露光させるように延在する。
【００１５】
第１露光部や第２露光部の端部が閉じた端部となっているのであれば、これに起因して、当該端部に対応する基板上の領域に形成される樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅が丸まってしまいかねない。しかるに、この態様によれば、少なくとも樹脂製ブラックマトリクスの開口が行列状に配列される領域（例えば、画素表示領域等）内において第１露光部や第２露光部の端部が閉じた端部となることはない。このため、少なくとも樹脂製ブラックマトリクスの開口が行列状に配列される領域においては、格子状の樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅（言い換えれば、角部分）の形状が相対的には安定する。
【００１６】
本発明の第１のパターニング方法の他の態様では、前記第１の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域の外周の領域を露光させる。
【００１７】
この態様によれば、少なくとも樹脂製ブラックマトリクスの開口が行列状に配列される領域（例えば、画素表示領域等）内において第１露光部や第２露光部の端部が閉じた端部となることはない。このため、少なくとも樹脂製ブラックマトリクスの開口が行列状に配列される領域においては、格子状の樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅（言い換えれば、角部分）の形状が相対的には安定する。
【００１８】
本発明の第２のパターニング方法は、開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを基板上に形成するパターニング方法であって、基板上にネガ型の感光性樹脂材料を塗布する塗布工程と、第１の方向に延在し且つ前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口の前記第１の方向に沿った辺の長さよりも長い辺を有する領域部分を露光させる第１の露光部が少なくとも設けられる第１の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第１露光工程と、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在すると共に、少なくとも前記第１の露光部により露光された領域を露光させる第２の露光部が設けられた第２の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第２露光工程とを備える。
【００１９】
本発明の第２のパターニング方法によれば、上述した本発明の第１のパターニング方法と同様に、第１の露光マスクと第２の露光マスクとを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、開口を有する（例えば、格子状の）樹脂製ブラックマトリクスが基板上に形成される。
【００２０】
第２のパターニング方法では特に、第１の露光マスクは、第１の方向に延在する第１の露光部を含んでいる。この第１の露光部の第１の方向における長さは、樹脂製ブラックマトリクスの開口の第１の方向に沿った辺の長さよりも長い辺を有する基板上の領域部分を露光させることが可能な程度の長さである。また、第２の露光マスクは、第２の方向に延在する第２の露光部を含んでいる。この第２の露光部は、第１の露光部を介して露光された領域を露光させるように第２の露光マスク上に設けられている。
【００２１】
このため、少なくとも第１の露光部と第２の露光部とを介して露光されることで形成される樹脂製ブラックマトリクスの開口の隅（言い換えれば、角部分）の形状は、樹脂製ブラックマトリクスと相似形状となる格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて露光処理を行う構成と比較して、相対的には安定する。言い換えれば、樹脂製ブラックマトリクスと相似形状となる格子状の露光部を備える１枚の露光マスクを用いて樹脂製ブラックマトリクスを形成すれば、樹脂製ブラックマトリクスの殆ど全ての開口の角の形状が安定しないところ、第２のパターニング方法によれば、樹脂製ブラックマトリクスの少なくとも一部の開口の角の形状を安定させることができる。従って、上述した第１のパターニング方法が享受する各種効果を、相応に享受することができる。
【００２２】
尚、上述した本発明の第１のパターニング方法の各種態様に対応して、本発明の第２のパターニング方法も各種態様を採ることができる。
【００２３】
（マスクセット）
本発明のマスクセットは、基板上に塗布されたネガ型の感光性樹脂材料を露光することで、開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを前記基板上に形成するため２つの露光マスクを備えるマスクセットであって、第１の方向に沿って延在する第１の露光部がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスクと、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在する第２の露光部がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスクとを備える。
【００２４】
本発明のマスクセットによれば、上述した第１のパターニング方法において用いられる第１の露光マスク及び第２の露光マスクを備えているため、当該マスクセットを用いて樹脂製ブラックマトリクスをパターニングすれば、上述した第１のパターニング方法が享受する各種効果を好適に享受することができる。
【００２５】
尚、上述した本発明の第１又は第２のパターニング方法の各種態様に対応して、本発明のマスクセットも各種態様を採ることができる。
【００２６】
（電気光学装置）
本発明の電気光学装置は、上述した本発明の第１の又は第２のパターニング方法（但し、その各種態様を含む）により生成された基板と、前記基板に対向する他の基板と、前記基板と前記他の基板との間に挟持される電気光学物質とを備える。
【００２７】
本発明の電気光学装置によれば、基板（例えば、後述の対向基板）と他の基板（例えば、後述のＴＦＴアレイ基板）との間に挟持される電気光学物質に対して電界が印加されることで電気光学物質が駆動され、その結果、画像表示が可能となる。特に、基板上に形成される樹脂製ブラックマトリクスの線幅が相対的に安定しているため、相対的には高品質な電気光学装置を提供することができる。
【００２８】
本発明の電気光学装置の一の態様では、前記他の基板上に、前記電気光学物質に対して電界を印加するための共通電極及び画素電極の夫々が設けられる。
【００２９】
この態様によれば、例えば、ＦＦＳ方式やＩＰＳ方式等の横電界駆動方式の電気光学装置において、上述した各種効果を享受することができる。
【００３０】
（電気光学装置の製造方法）
本発明の電気光学装置の製造方法は、第１の又は第２のパターニング方法（但し、その各種態様を含む）により生成された樹脂製ブラックマトリクスを有する基板を備えた電気光学装置を製造する。
【００３１】
本発明の電気光学装置の製造方法によれば、基板上に形成される樹脂製ブラックマトリクスの線幅が相対的に安定しているため、相対的には高品質な電気光学装置を製造することができる。
【００３２】
（電子機器）
上記課題を解決するために、本発明の電子機器は、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を備える。
【００３３】
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置（或いは、その各種態様）備えているため、上述した本発明の電気光学装置が享受する各種効果と同様の効果を享受することができる。つまり、上述した本発明の電気光学装置が享受する各種効果と同様の効果を享受することができる投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、携帯オーディオプレーヤ、ワードプロセッサ、デジタルカメラ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現することができる。
【００３４】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から更に明らかにされよう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面に基づいて説明する。尚、以下では、本発明に係る電気光学装置の一例として、液晶装置を用いて説明を進める。
【００３６】
（１）液晶装置の基本構成
先ず、本実施形態に係る液晶装置の構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【００３７】
図１及び図２において、本実施形態に係る液晶装置では、本発明に係る「他の基板」の一具体例を構成するＴＦＴアレイ基板１０と、本発明に係る「基板」の一具体例を構成する対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置する枠状或いは額縁状のシール領域に設けられたシール材５２により互いに貼り合わされている。
【００３８】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のスペーサが散布されている。
【００３９】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。但し、データ線駆動回路１０１は、シール領域よりも内側に、データ線駆動回路１０１が額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられていてもよい。また、走査線駆動回路１０４及び共通配線駆動回路１１０は、この一辺に隣接する２辺に沿ったシール領域の内側に、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。
【００４０】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、駆動素子である画素スイッチング用のＴＦＴ（Thin Film Transistor）や走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成されている。具体的には、画像表示領域１０ａには、画素スイッチング用ＴＦＴや走査線、データ線等の配線の上層に共通電極２１、絶縁層１２及び画素電極９ａがこの順に形成されている。つまり、本実施形態に係る液晶装置１００は、画素電極９ａと共通電極２１との間に生ずる電界によって液晶層５０の配向状態を制御する横電界駆動方式（特に、ＦＦＳ（Fringe Field Switching）方式）を採用している。ここで、画素電極９ａは、画像表示領域１０ａを構成する各画素を形成するようにマトリクス状に設けられている。一方で、共通電極２１は、全ての画素電極９ａに対して共通にベタ状に設けられてもよいし、或いは１つの行に属する画素電極９ａに対応する共通電極が、１水平ラインごとに設けられてもよい。他方、対向基板２０におけるＴＦＴアレイ基板１０との対向面上に、ブラックマトリクス２１１が形成されている。ブラックマトリクス２１１は、例えば遮光性樹脂膜等から形成されており、対向基板２０上の画像表示領域１０ａ内で、例えば格子状等にパターニングされている。そして、ブラックマトリクス２１１上にカラーフィルタ２１２が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、一対の基板間で、所定の配向状態をとる。尚、ブラックマトリクス２１１やカラーフィルタ２１２等を含む対向基板２０側の詳細な構成については後に詳述する（図４等参照）。
【００４１】
尚、ここでは図示しないが、ＴＦＴアレイ基板１０上には、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４の他に、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路、検査用パターン等が形成されていてもよい。
【００４２】
また、上述の説明では、画素電極９ａと共通電極１１とが異なる層に設けられると共に、画素電極９ａと共通電極１１とが絶縁層１２を間に挟持し、液晶層５０側の画素電極9ａに開口部を有するＦＦＳ方式を採用する液晶装置１００について説明を進めているが、液晶層５０側を開口部を有する共通電極１１としてもよい。また、画素電極９ａと共通電極１１とが同じ層に設けられるＩＰＳ方式を採用する液晶装置であってもよい。また、横電界駆動方式を採用する液晶装置のみならず、例えばＴＮ（ツイスト・ネマティック）方式や、ＥＣＢ（複屈折電界効果）方式や、ＶＡ（垂直配向）方式等の縦電界駆動方式を採用する液晶装置であってもよい。
【００４３】
（２）液晶装置の電気的な詳細構成
続いて、図３を参照して、本実施形態に係る液晶装置１００の要部の電気的な構成について説明する。ここに、図３は、本実施形態に係る液晶装置１００の要部の電気的な構成を概念的に示すブロック図である。
【００４４】
図３において、本実施形態に係る液晶装置１００は、そのＴＦＴアレイ基板１０上の画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域に、走査線駆動回路１０４及びデータ線駆動回路１０１等の駆動回路が形成されている。
【００４５】
走査線駆動回路１０４は、走査信号を、走査線Ｙ１からＹｎ（但し、ｎは１以上の整数）に順次供給する。例えば、ある走査線Ｙａ（但し、ａは、１≦ａ≦ｎを満たす整数）にハイレベルの走査信号が供給されると、この走査線Ｙａに接続されたＴＦＴ１１６が全てオン状態となり、この走査線Ｙａに対応する画素部７０が全て選択される。
【００４６】
データ線駆動回路１０１は、画像信号を、データ線Ｘ１からＸｍ（但し、ｍは１以上の整数）に順次供給し、オン状態のＴＦＴ１１６を介してこの画像信号に基づく画像電圧を画素電極９ａ及び蓄積容量１１９に書き込む。
【００４７】
本実施形態に係る液晶装置１００には、更に、そのＴＦＴアレイ基板１０の中央を占める画像表示領域１０ａに、マトリクス状に配列された複数の画素部７０が設けられている。
【００４８】
画素部７０は、画素スイッチング用のＴＦＴ１１６、画素電極９ａ、液晶素子１１８、共通電極２１及び蓄積容量１１９を備えている。
【００４９】
ＴＦＴ１１６は、ソース端子がデータ線Ｘ１〜Ｘｍのいずれかに電気的に接続され、ゲート端子が走査線Ｙ１からＹｎのいずれかに電気的に接続され、ドレイン端子が画素電極９ａに電気的に接続されている。画素スイッチング用のＴＦＴ１１６は、走査線駆動回路１０４から供給される走査信号によってオン状態及びオフ状態が切り換えられる。
【００５０】
液晶素子１１８は、画素電極９ａ、共通電極２１並びに画素電極９ａ及び共通電極２１間に位置する液晶から構成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ１１６を介してデータ線Ｘ１からＸｍのいずれかと電気的に接続されている。共通電極２１は、共通配線ＣＯＭと電気的に接続されている。液晶装置１００の動作時には、データ線Ｘ１からＸｍ及びＴＦＴ１１６を介して供給された画像信号の電位を有する画素電極９ａと、共通線ＣＯＭを介して供給された共通電圧の電位を有する共通電極２１との間には電界が生じる。液晶は、当該電界に応じて駆動されることによって、即ち、当該電界に応じて分子集合の配向や秩序が変化することによって、光を変調し、階調表示を可能とする。
【００５１】
蓄積容量１１９は、保持された画像信号がリークするのを防ぐために付加されている。蓄積容量１１９を構成する一方の電極は、画素電極９ａに電気的に接続され、他方の電極は、共通配線ＣＯＭに電気的に接続されている。
【００５２】
（３）対向基板の詳細な構成
続いて、図４を参照して、対向基板２０の詳細な構成について説明する。ここに、図４（ａ）は、対向基板２０の詳細な構成を概念的に示す平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）の（ＶＩ）−（ＶＩ’）断面図である。
【００５３】
図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、対向基板２０上には、格子状のブラックマトリクス２１１が設けられている。このブラックマトリクス２１１は、例えば感光性樹脂から形成される。このブラックマトリクス２１１が設けられた領域が、ＴＦＴアレイ基板１０上にマトリクス状に設けられた画素電極９ａの周縁部に対応する位置に該当する。このブラックマトリクス２１１は、画素電極９ａの周縁部或いは隣接する画素電極９ａからの光漏れを防止し、表示される画像のコントラストを高めるために設けられる。
【００５４】
ブラックマトリクス２１１で区画された領域には、赤色（Ｒ：Ｒｅｄ）、緑色（Ｇ：Ｇｒｅｅｎ）及び青色（Ｂ：Ｂｌｕｅ）の３色のカラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂがそれぞれストライプ状に設けられている。カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂは、図４（ａ）における横方向においては、３色のカラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂが順番に配列されるように設けられる。このとき、図４（ｂ）においては、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂは、ブラックマトリクス２１１と重ならないように設けられている。但し、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂは、各カラーフィルタ層の境界がブラックマトリクス２１１の一部と重なるように設けられてもよい。また、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂは、図４（ａ）における縦方向には、同色のカラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂがブラックマトリクス２１１上をまたがるように形成される。これらのカラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂの形成材料としては、それぞれの着色剤を混合した感光性樹脂を用いてもよい。
【００５５】
（４）ブラックマトリクスの形成方法
続いて、図５から図８を参照して、本実施形態に係る液晶装置１００（特に、そのうちの対向基板２０）が備えるブラックマトリクス２１１の形成方法について説明する。ここに、図５は、ブラックマトリクス２１１の形成工程の一の工程を概念的に示す断面図であり、図６は、ブラックマトリクス２１１の形成工程の他の工程を概念的に示す断面図及び当該工程において用いられるフォトマスクを概念的に示す平面図であり、図７は、ブラックマトリクス２１１の形成工程の他の工程を概念的に示す断面図及び当該工程において用いられるフォトマスクを概念的に示す平面図であり、図８は、ブラックマトリクス２１１の形成工程の他の工程を概念的に示す断面図である。
【００５６】
図５に示すように、まず、例えばロールコート法やスピンコート法やブレードコート法等を用いて、対向基板２０上に、ブラックマトリクス２１１の材料となるネガ型の感光性樹脂３０１が塗布される。その後、塗布された感光性樹脂３０１の乾燥処理が行われる。
【００５７】
続いて、図６（ａ）に示すように、フォトマスク３０２を用いて感光性樹脂３０１に対する露光処理が行われる。ここで、図６（ｂ）に示すように、フォトマスク３０２には、Ｘ方向（言い換えれば、縦方向）に沿って延在する露光部３０２１が、ストライプを形成するように複数設けられている。露光処理において照射される光や紫外線や電子ビーム等は、露光部３０２１を透過して、露光部３０２１に対応する感光性樹脂３０１上の所定の領域を感光させる。他方で、露光処理において照射される光や紫外線や電子ビーム等は、フォトマスク３０２のうちの露光部３０２１以外の部分を透過することはないため、露光部３０２１に対応しない感光性樹脂３０１上の他の領域は感光しない。従って、図６に示す露光処理によって、感光性樹脂３０１は、ストライプを形成するようにＸ方向に延在する複数の縦長の領域が感光することになる。
【００５８】
続いて、図７（ａ）に示すように、フォトマスク３０３を用いて感光性樹脂３０１に対する他の露光処理が行われる。ここで、図７（ｂ）に示すように、フォトマスク３０３には、Ｙ方向（言い換えれば、横方向）に沿って延在する露光部３０２１が、ストライプを形成するように複数設けられている。つまり、図７に示す露光処理で用いられるフォトマスク３０３上の露光部３０３１は、図６に示す露光処理で用いられるフォトマスク３０２上の露光部３０２１と直交する関係を有している。露光処理において照射される光や紫外線や電子ビーム等は、露光部３０３１を透過して、露光部３０３１に対応する感光性樹脂３０１上の所定の領域を感光させる。他方で、露光処理において照射される光や紫外線や電子ビーム等は、フォトマスク３０３のうちの露光部３０３１以外の部分を透過することはないため、露光部３０３１に対応しない感光性樹脂３０１上の他の領域は感光しない。従って、図７に示す露光処理によって、感光性樹脂３０１は、ストライプを形成するようにＹ方向に延在する複数の横長の領域が感光することになる。
【００５９】
続いて、現像処理が行われることで、不要な感光性樹脂３０１が除去される。つまり、図６に示す露光処理及び図７に示す露光処理のいずれにおいても感光していない感光性樹脂３０１が除去される。ここで、感光性樹脂３０１は、図６に示す露光処理によって、Ｘ方向に延在する複数の縦長の領域が感光し、且つ図７に示す露光処理によって、Ｙ方向に延在する複数の横長の領域が感光している。このため、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、感光していない感光性樹脂３０１が除去された結果、ＸＹ方向の格子状の感光性樹脂３０１のみが残存する。その結果、残存した感光性樹脂３０１が、ＸＹ方向の格子を構成する（言い換えれば、開口部が行列状に配列された）ブラックマトリクス２１１となる。
【００６０】
その後、上述したフォトリソグラフィー法や、或いは印刷法、電着法、転写法等周知の形成方法を用いて、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ及び２１２Ｂが形成される。更に、必要に応じて、感光性樹脂からなるオーバーコート層２１３を形成するように構成してもよい。
【００６１】
このように、本実施形態においては、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、ブラックマトリクス２１１が形成される。ここで、図９を参照して、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことでブラックマトリクス２１１を形成することによって得られる技術的な効果を、格子状の露光部を有する１つのフォトマスクを用いて露光処理を１度だけ行うことでブラックマトリクス２１１を形成する比較例と対比させながら説明する。ここに、図９（ａ）は、格子状の露光部を有するフォトマスクを概念的に示す平面図であり、図９（ｂ）は、格子状の露光部を有する１つのフォトマスクを用いて露光処理を１度だけ行うことで形成されるブラックマトリクス２１１の形状を概念的に示す平面図であり、図９（ｃ）は、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで形成されるブラックマトリクス２１１の形状を概念的に示す平面図である。
【００６２】
図９（ａ）に示すように、比較例においては、ＸＹ方向の格子状の露光部３０４１を有するフォトマスク３０４を用いて１回の露光処理によってブラックマトリクス２１１が形成される。
【００６３】
その結果、形成されるブラックマトリクス２１１は、図９（ｂ）に示すように、ブラックマトリクス２１１の開口部（つまり、カラーフィルタ層２１２Ｒ、２１２Ｇ或いは２１２Ｂが形成される領域部分）の４隅の角部分が丸まったないしは狭まった形状となってしまう。言い換えれば、ブラックマトリクス２１１のＸ方向の格子とＹ方向の格子との交点付近における格子の線幅が大きく変動してしまう。これは、ブラックマトリクス２１１の材料である感光性樹脂３０１の露光に対する解像度が、ブラックマトリクス２１１の他の材料であるクロム等の金属薄膜の露光に対する解像度よりも低い（つまり、悪化している）にも関わらず、Ｘ方向及びＹ方向の夫々に延在する露光部３０４１を有する１つのフォトマスク３０４を用いて露光処理を行っているためである。
【００６４】
しかるに、本実施形態によれば、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行っているため、図９（ｃ）に示すように、ブラックマトリクス２１１の開口部の４隅の角部分の丸まりの程度を軽減するないしは緩和することができる。言い換えれば、比較例と比較して、ブラックマトリクス２１１のＸ方向の格子とＹ方向の格子との交点付近における格子の線幅の変動の程度を小さくすることができる。一例として、例えば５．０マイクロメートルの設計線幅となるようにブラックマトリクス２１１を形成した場合には、図９（ｂ）に示す例では、４．７マイクロメートル±３．５マイクロメートル程度の線幅になる一方で、図９（ｂ）に示す例では、５．２マイクロメートル±０．８マイクロメートル程度の線幅となる。つまり、線幅の変動の程度が小さくなっていることが分かる。従って、ブラックマトリクス２１１の線幅のバラツキを抑えることができるため、ブラックマトリクス２１１を安定的に形成することができる。
【００６５】
尚、上述の説明では、フォトマスク３０２とフォトマスク３０３という２つの別々のフォトマスクを用いて２度の露光処理を行っている。しかしながら、フォトマスク３０２が有する露光部３０２１とフォトマスク３０３が有する露光部３０３１とが直交する関係にあることを考慮すれば、フォトマスク３０２を用いて露光処理を行った後、対向基板２０に対して９０度回転したフォトマスク３０２を用いて続く露光処理を行ってもよい。この場合、１枚のフォトマスク３０２を用いて２度の露光処理を行うことができる。
【００６６】
（５）フォトマスクの変形例
続いて、フォトマスクの変形例について説明する。
【００６７】
（５−１）第１変形例
まず、図１０を参照して、第１変形例に係るフォトマスクについて説明する。ここに、図１０は、第１変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【００６８】
図１０（ａ）に示すように、第１変形例に係るフォトマスク３０５は、上述したフォトマスク３０２と同様に、Ｘ方向（言い換えれば、縦方向）に沿って延在する露光部３０５１が、ストライプを形成するように複数設けられている。フォトマスク３０５は特に、各露光部３０５１は、画像表示領域１０ａに対応するフォトマスク３０５上の領域３０５ａよりも外側の領域に到達するように延在している。
【００６９】
同様に、図１０（ｂ）に示すように、第１変形例に係るフォトマスク３０６は、上述したフォトマスク３０３と同様に、Ｙ方向（言い換えれば、縦方向）に沿って延在する露光部３０５１が、ストライプを形成するように複数設けられている。フォトマスク３０６は特に、各露光部３０６１は、画像表示領域１０ａに対応するフォトマスク３０６上の領域３０６ａよりも外側の領域に到達するように延在している。
【００７０】
第１変形例では、このようなフォトマスク３０５とフォトマスク３０６という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、ブラックマトリクス２１１が形成される。従って、上述した各種効果を好適に享受することができる。
【００７１】
加えて、第１変形例によれば、画像表示領域１０ａに対応する領域３０５ａ（３０６ａ）内において露光部３０５１や露光部３０６１の端部が位置することはない。言い換えれば、画像表示領域１０ａに対応する領域３０５ａ（３０６ａ）内においては、露光部３０５１や露光部３０６１は、閉じた端部を有することはなくなる。このため、少なくとも画像表示領域１０ａにおいては、格子状のブラックマトリクス２１１の開口部の隅（言い換えれば、角部分）の形状が相対的には安定することになる。つまり、露光部３０５１のＸ方向の端部や露光部３０６１のＹ方向の端部が画像表示領域１０ａに対応する領域内に位置することに起因して、画像表示領域１０ａ内に形成されるブラックマトリクス２１１の開口部の４隅の角部分が丸まってしまうという不都合の発生を好適に抑制することができる。従って、画像の表示品質に影響を与える画像表示領域１０ａ内のブラックマトリクス２１１を安定的に形成することができる。
【００７２】
（５−２）第２変形例
続いて、図１１を参照して、第２変形例に係るフォトマスクについて説明する。ここに、図１１は、第２変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【００７３】
図１１（ａ）に示すように、第２変形例に係るフォトマスク３０７には、Ｘ方向に沿って延在する露光部３０７１が、ストライプを形成するように複数設けられている。但し、第２変形例に係るフォトマスク３０７には、更に、Ｙ方向に沿って延在する露光部３０７２が、露光部３０７１と交わるように設けられている。このとき、露光部３０７２によって分断されていない露光部３０７１の一部分（つまり、Ｙ方向に延在する露光部３０７２と交わらない一連の露光部分）のＸ方向における長さｄは、ブラックマトリクス２１１の１つの開口部のＸ方向の辺の長さよりも長い辺を有する対向基板２０上の領域部分を露光させることが可能な程度の長さとなっている。つまり、第１変形例に係るフォトマスク３０７は、上述したフォトマスク３０２が有する露光部３０２１に加えて、上述したフォトマスク３０３が有する露光部３０３１の一部が更に設けられた構成を有している。
【００７４】
他方、第１変形例に係るもう１つのフォトマスク３０８は、Ｙ方向に沿って延在する露光部３０８１が、ストライプを形成するように複数設けられている。但し、露光部３０８１は、フォトマスク３０７に設けられたＹ方向に延在する露光部３０７２と重複しない位置にのみ設けられる。更に、露光部３０８１は、フォトマスク３０７に設けられたＸ方向に延在する露光部３０７１のうちＹ方向に延在する露光部３０７２と交わらない一連の露光部分を、ブラックマトリクス２１１の１つの開口部のＸ方向の辺の長さ毎に分断するような位置関係を有して設けられる。
【００７５】
第２変形例では、このようなフォトマスク３０７とフォトマスク３０８という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、ブラックマトリクス２１１が形成される。特に、フォトマスク３０７が、ブラックマトリクス２１１の１つの開口部のＸ方向の辺の長さよりも長い辺を有する対向基板２０上の領域部分を露光させることが可能な露光部３０７１を有しているため、少なくともこの露光部３０７１によって露光される対向基板２０上の領域においては、上述した各種効果を享受しながらブラックマトリクス２１１を形成することができる。
【００７６】
（５−３）フォトマスクの第３変形例
続いて、図１２及び図１３を参照して、第３変形例に係るフォトマスクについて説明する。ここに、図１２は、第３変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図であり、図１３は、第３変形例に係るフォトマスクを用いて形成されるブラックマトリクス２１１を概念的に示す平面図である。
【００７７】
液晶装置１００の一例として、奇数ラインにおける画素配列と偶数ラインにおける画素配列とが半画素だけずれた「デルタ構造」を採用する液晶装置も想定される。この場合、単純に上述したフォトマスク３０２及び３０３を同様の態様で用いるだけでは、デルタ構造の画素配列に対応するブラックマトリクス２１１を形成することは困難である。従って、この場合は、図１２に示すように、上述したフォトマスク３０２に代えて、奇数ラインにおけるブラックマトリクス２１１を形成するためのＸ方向に延在する露光部３０８１と、偶数ラインにおけるブラックマトリクス２１１を形成するためのＸ方向に延在する露光部３０８２とをＹ方向に沿って半画素ずらして配置したフォトマスク３０８が用いられる。このフォトマスク３０８と上述したフォトマスク３０３という２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで、上述した各種効果を享受しつつ、図１３に示すように、デルタ構造の画素配列に対応するブラックマトリクス２１１を好適に形成することができる。
【００７８】
（６）電子機器
続いて、図１４及び図１５を参照しながら、上述の液晶装置１００を具備してなる電子機器の例を説明する。
【００７９】
図１４は、上述した液晶装置１００が適用されたモバイル型のパーソナルコンピュータの斜視図である。図１４において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、上述した液晶装置１００を含んでなる液晶表示ユニット１２０６とから構成されている。液晶表示ユニット１２０６は、液晶装置１００の背面にバックライトを付加することにより構成されている。
【００８０】
次に、上述した液晶装置１００を携帯電話に適用した例について説明する。図１５は、電子機器の一例である携帯電話の斜視図である。図１５において、携帯電話１３００は、複数の操作ボタン１３０２とともに、半透過反射型の表示形式を採用し、且つ上述した液晶装置１００と同様の構成を有する液晶装置１００５を備えている。
【００８１】
これらの電子機器においても、上述した液晶装置１００を含んでいるため、上述した各種効果を好適に享受することができる。
【００８２】
尚、図１４及び図１５を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた直視型の表示装置や、液晶プロジェクタ等の投射型の表示装置等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
【００８３】
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴なうパターニング方法、マスクセット、電気光学装置及び電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】本実施形態に係る液晶装置の要部の電気的な構成を概念的に示すブロック図である。
【図４】対向基板の詳細な構成を概念的に示す平面図及び断面図である。
【図５】ブラックマトリクスの形成工程の一の工程を概念的に示す断面図である。
【図６】ブラックマトリクスの形成工程の他の工程を概念的に示す断面図及び当該工程において用いられるフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図７】ブラックマトリクスの形成工程の他の工程を概念的に示す断面図及び当該工程において用いられるフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図８】ブラックマトリクスの形成工程の他の工程を概念的に示す断面図である。
【図９】格子状の露光部を有するフォトマスクを概念的に示す平面図であり、格子状の露光部を有する１つのフォトマスクを用いて露光処理を１度だけ行うことで形成されるブラックマトリクスの形状を概念的に示す平面図であり、２つのフォトマスクを用いて露光処理を２度に分けて行うことで形成されるブラックマトリクスの形状を概念的に示す平面図である。
【図１０】第１変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図１１】第２変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図１２】第３変形例に係るフォトマスクを概念的に示す平面図である。
【図１３】第３変形例に係るフォトマスクを用いて形成されるブラックマトリクスを概念的に示す平面図である。
【図１４】液晶装置が適用されたモバイル型のパーソナルコンピュータの斜視図である。
【図１５】液晶装置が適用された携帯電話の斜視図である。
【符号の説明】
【００８５】
１００…液晶装置、１０…ＴＦＴアレイ基板、２０…対向基板、２１…共通電極、２２１…ブラックマトリクス、２１２Ｒ…カラーフィルタ層、２１２Ｇ…カラーフィルタ層、２１２Ｂ…カラーフィルタ層、３０１…感光性樹脂、３０２…フォトマスク、３０２１…露光部、３０３…フォトマスク、３０３１…露光部、３０５…フォトマスク、３０５１…露光部、３０６…フォトマスク、３０６１…露光部、３０７…フォトマスク、３０７１…露光部、３０８…フォトマスク、３０８１…露光部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
行列状に配列された開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを基板上に形成するパターニング方法であって、
基板上にネガ型の感光性樹脂材料を塗布する塗布工程と、
第１の方向に沿って延在する第１の露光部がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第１露光工程と、
前記第１露光工程の後に、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在する第２の露光部がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第２露光工程と
を備えることを特徴とするパターニング方法。
【請求項２】
前記第１の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域よりも外側の領域を露光させるように延在し、
前記第２の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域よりも外側の領域を露光させるように延在することを特徴とする請求項１に記載のパターニング方法。
【請求項３】
前記第１の露光部は、前記ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域の外周の領域を露光させることを特徴とする請求項１に記載のパターニング方法。
【請求項４】
開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを基板上に形成するパターニング方法であって、
基板上にネガ型の感光性樹脂材料を塗布する塗布工程と、
第１の方向に延在し且つ前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口の前記第１の方向に沿った辺の長さよりも長い辺を有する領域部分を露光させる第１の露光部が少なくとも設けられる第１の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第１露光工程と、
前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在すると共に、少なくとも前記第１の露光部により露光された領域を露光させる第２の露光部が設けられた第２の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第２露光工程と
を備えることを特徴とするパターニング方法。
【請求項５】
基板上に塗布されたネガ型の感光性樹脂材料を露光することで、開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを前記基板上に形成するため２つの露光マスクを備えるマスクセットであって、
第１の方向に沿って延在する第１の露光部がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスクと、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在する第２の露光部がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスクとを備えることを特徴とするマスクセット。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか一項に記載のパターニング方法により生成された基板と、
前記基板に対向する他の基板と、
前記基板と前記他の基板との間に挟持される電気光学物質と
を備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
前記他の基板上に、前記電気光学物質に対して電界を印加するための共通電極及び画素電極の夫々が設けられることを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置。
【請求項８】
請求項１から４のいずれか一項に記載のパターニング方法により生成された樹脂製ブラックマトリクスを有する基板を備えた電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項６又は７に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１】
行列状に配列された開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを基板上に形成するパターニング方法であって、
基板上にネガ型の感光性樹脂材料を塗布する塗布工程と、
第１の方向に沿って延在する第１の露光部がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第１露光工程と、
前記第１露光工程の後に、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在する第２の露光部がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第２露光工程と
を備えることを特徴とするパターニング方法。
【請求項２】
前記第１の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域よりも外側の領域を露光させるように延在し、
前記第２の露光部は、前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域よりも外側の領域を露光させるように延在することを特徴とする請求項１に記載のパターニング方法。
【請求項３】
前記第１の露光部は、前記ブラックマトリクスの前記開口が行列状に配列された領域の外周の領域を露光させることを特徴とする請求項１に記載のパターニング方法。
【請求項４】
開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを基板上に形成するパターニング方法であって、
基板上にネガ型の感光性樹脂材料を塗布する塗布工程と、
第１の方向に延在し且つ前記樹脂製ブラックマトリクスの前記開口の前記第１の方向に沿った辺の長さよりも長い辺を有する領域部分を露光させる第１の露光部が少なくとも設けられる第１の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第１露光工程と、
前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在すると共に、少なくとも前記第１の露光部により露光された領域を露光させる第２の露光部が設けられた第２の露光マスクを用いて前記感光性樹脂材料を露光する第２露光工程と
を備えることを特徴とするパターニング方法。
【請求項５】
基板上に塗布されたネガ型の感光性樹脂材料を露光することで、開口を有する樹脂製ブラックマトリクスを前記基板上に形成するため２つの露光マスクを備えるマスクセットであって、
第１の方向に沿って延在する第１の露光部がストライプ状に複数設けられる第１の露光マスクと、前記第１の方向と交わる第２の方向に沿って延在する第２の露光部がストライプ状に複数設けられる第２の露光マスクとを備えることを特徴とするマスクセット。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか一項に記載のパターニング方法により生成された基板と、
前記基板に対向する他の基板と、
前記基板と前記他の基板との間に挟持される電気光学物質と
を備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
前記他の基板上に、前記電気光学物質に対して電界を印加するための共通電極及び画素電極の夫々が設けられることを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置。
【請求項８】
請求項１から４のいずれか一項に記載のパターニング方法により生成された樹脂製ブラックマトリクスを有する基板を備えた電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項６又は７に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００９−２２３２６６（Ｐ２００９−２２３２６６Ａ）
【公開日】平成２１年１０月１日（２００９．１０．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−７０７９１（Ｐ２００８−７０７９１）
【出願日】平成２０年３月１９日（２００８．３．１９）
【出願人】（３０４０５３８５４）エプソンイメージングデバイス株式会社 (2,386)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１０月１日（２００９．１０．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年３月１９日（２００８．３．１９）
【出願人】（３０４０５３８５４）エプソンイメージングデバイス株式会社 (2,386)
【Ｆターム（参考）】
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