フィラメントランプ
【課題】 各々のフィラメントには独立に給電可能に内部リードを取りまわしつつも、隣り合うフィラメント間の非発光領域を小さく抑えることができるフィラメントランプを提供すること。
【解決手段】 隣り合うフィラメント１２ａ、１２ｂとの間に配置される内部リード１３ｄは、先端１５ａに、前記発光管２の軸方向にのびる位置出し部１７ａと、当該位置出し部１７ａに続いて形成された前記発光管２の径方向に曲げられた渡し部１６ａとを有し、
前記位置出し部１７ａにタングステンよりなるサブコイル１８ａが巻きつけられ、
前記サブコイル１８ａが巻かれた位置出し部１７ａにフィラメント１２ａが連結されていることを特徴とする。
【解決手段】 隣り合うフィラメント１２ａ、１２ｂとの間に配置される内部リード１３ｄは、先端１５ａに、前記発光管２の軸方向にのびる位置出し部１７ａと、当該位置出し部１７ａに続いて形成された前記発光管２の径方向に曲げられた渡し部１６ａとを有し、
前記位置出し部１７ａにタングステンよりなるサブコイル１８ａが巻きつけられ、
前記サブコイル１８ａが巻かれた位置出し部１７ａにフィラメント１２ａが連結されていることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハの加熱・太陽電池加熱又は液晶の加熱処理に用いられるフィラメントランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程における光照射式加熱装置は、成膜、拡散、アニール等、広範囲に渡って利用されており、いずれの処理も板状の被処理物等の半導体ウェハを急速に加熱することができ、１０００℃以上にまで数秒間〜数十秒間で昇温させるものである。近年は更に高速で昇温させることが要求されてきており、ランプに投入される電力が大電力化してきている。これはスパイクアニールと呼ばれており、２００℃／秒を超える高速で昇温させ、目的温度に達したら直ちに冷却することが行われる。このスパイクアニールにより非常に薄い拡散層（シャロージャンクション）を形成させることができ、半導体素子の性能を向上させることができる。
【０００３】
また、加熱時、半導体ウェハの温度分布が不均一になると、半導体ウェハにスリップと呼ばれる現象、即ち、結晶転移の欠陥が発生し、不良品となるおそれがある。そこで光照射式加熱装置を用いて半導体ウェハを加熱処理する場合には、半導体ウェハの温度分布が均一になるように、加熱・高温保持・冷却する必要がある。温度分布を均一にする提案として、特開２００６−２７９００８には１本の発光管に独立に給電可能な複数のフィラメントを具備したフィラメントランプが提案されており、これにより部分的にフィラメントに入力する電力を変えることができ、高均一な温度分布になるよう調整することができる。
【０００４】
図５は、従来のフィラメントランプ１を示す斜視図である。
両端が端部封止部３ａ、３ｂで気密に封止された直管状の発光管２内には、コイル状のフィラメント１２ａ、１２ｂが発光管２の管軸方向に伸びるよう順次に並んで配置され、各フィラメント１２ａ、１２ｂの両端には、それぞれ給電用の内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが連結されている。
【０００５】
上記の各フィラメントの内部リードは、それぞれ両端封止部に延びて、個別に金属箔を介して外部リードに電気的に接続されている。
即ち、各フィラメント１２ａ、１２ｂの一端側の内部リード１３ａ、１３ｂはそれぞれ一端側封止部３ａの金属箔１１ａ、１１ｂを介して、一端側の外部リード１４ａ、１４ｂに電気的に接続されている。
同様に、他端側の内部リード１３ｃ、１３ｄはそれぞれ他端側封止部３ｂの金属箔１１ｃ、１１ｄを介して、端側の外部リード１４ｃ、１４ｄに電気的に接続されている。
【特許文献１】特開２００６−２７９００８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、フィラメントランプの１本の発光管の中に配置された複数のフィラメントには、独立に給電するために各々のフィラメントに個々に内部リードが配線されるため、隣り合うフィラメントを密接して配置することができない。隣り合うフィラメントの間には発光する部材がないため、非発光部となってしまう。独立に給電可能なフィラメントを具備することによって均一な温度分布となるように加熱しても、隣り合うフィラメントの間が非発光部となって、局所的に温度が低下しかねない。そこで、各々のフィラメントには独立に給電可能に内部リードを取りまわしつつも、隣り合うフィラメント間の非発光部の領域を小さく抑える必要がある。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑み、各々のフィラメントには独立に給電可能に内部リードを取りまわしつつも、隣り合うフィラメント間の非発光領域を小さく抑えることができるフィラメントランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願第１の発明は、両端に封止部が形成された発光管の内部に、複数のフィラメントがそれぞれ発光管の管軸方向に順次並んで配設され、各フィラメントの両端にタングステンよりなる内部リードが連結されたフィラメントランプにおいて、
隣り合うフィラメントとの間に配置される内部リードは、先端に、前記発光管の軸方向にのびる位置出し部と、当該位置出し部に続いて形成された前記発光管の径方向に曲げられた渡し部とを有し、
前記位置出し部にタングステンよりなるサブコイルが巻きつけられ、
前記サブコイルが巻かれた位置出し部にフィラメントが連結されていることを特徴とする。
【０００９】
また、本願第２の発明は、第１の発明において、前記位置出し部の外周面に凹部が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
また、本願第３の発明は、第２の発明において、前記サブコイルの軸方向の長さは、前記凹部の軸方向の長さより大きいことを特徴とする。
【００１１】
また、本願第４の発明は、第１の発明において、前記内部リードは、前記渡し部に続いてリング部が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本願第１の発明によれば、内部リードの先端に、発光管の軸方向にのびる位置出し部と、当該位置出し部に続いて形成された前記発光管の径方向に曲げられた渡し部とを有し、位置出し部にタングステンよりなるサブコイルが巻きつけられ、サブコイルが巻かれた位置出し部にタングステンよりなるフィラメントが連結されることによって、フィラメントの巻線径によらず内部リードの径を決めることができる。したがって、比較的細い径の内部リードを用いて、フィラメントの直近で径方向に曲げることができ、各々のフィラメントには独立に給電可能に内部リードを取りまわしつつも、給電のためにフィラメント間に配置された内部リードが必要とする軸方向の長さを短くすることができ、隣り合うフィラメント間の非発光領域を小さく抑えることができる。
【００１３】
本願第２の発明によれば、凹部が形成された位置に配置されたサブコイルは沈むので、凹部が形成されていない位置出し部に配置されたサブコイルとの間に段差が生じる。サブコイルの段差が引っかかりとなるので、サブコイルが巻かれた位置出し部にフィラメントを挿通して固定することができる。
【００１４】
本願第３の発明によれば、サブコイルの軸方向の長さを、前記凹部の軸方向の長さより長くすることによって、サブコイルは位置出し部に挿入された状態でプレスされるので、凹部に対応する位置に配置されたサブコイルは凹部に入り込んで潰れる。サブコイルは、フィラメントランプの点灯・消灯に伴い膨張収縮するが、凹部に沈んだサブコイルが凹部の側面に当たって軸方向の移動を抑止するので、凹部がサブコイルの位置ずれ防止の役割を有する。
【００１５】
本願第４の発明によれば、渡し部に続いてリング部を設けることによって、リング部が発光管の内表面に当接することで、内部リードの発光管内部における位置が定まる。したがって、リング部に対する位置出し部を、発光管の軸中心に一致するように構成すれば、発光管の内部での位置決めができる。そして、フィラメントを発光管の軸中心に配置することができる。また、一端の封止部でのみ保持されるフィラメントは、点灯中に他端が垂れ下がるサグといわれる現象が生じやすいが、他端を保持する内部リードがリング部によって発光管内部における位置がずれないようになっているので、サグを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、第１の実施形態のフィラメントランプ１を示す斜視図である。
フィラメントランプ１は、例えば石英ガラス等の光透過性材料からなる発光管２を備える。発光管２の両端には金属箔１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが埋設されたピンチシールにより封止部３ａ、３ｂが形成され、発光管内部が気密に封止されている。発光管２の内部には、例えばタングステンからなり、発光管２の軸方向において２つに分割されたフィラメント１２ａ、１２ｂが、同一軸上に発光管２の軸に沿って空間Ｌを隔てて配設されている。
【００１７】
この空間Ｌは、フィラメント１２ａ、１２ｂが存在しない空間であって非発光領域であるため、空間Ｌの全長が大きすぎる場合、被処理物上での照射光の強度分布にバラツキが生じる。そのため空間Ｌの全長はできるだけ小さい方が望ましい。
【００１８】
しかしながら、フィラメントランプ１は、２つに分割されたフィラメント１２ａ、１２ｂがそれぞれ独立に給電されることが特徴である。したがって、フィラメント１２ａ、１２ｂに個々に内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが配線されるため、隣り合うフィラメント１２ａ、１２ｂを密接して配置することができない。
【００１９】
フィラメント１２ａは、一端側に金属箔１１ａに接続された内部リード１３ａが電気的に接続され、他端側に金属箔１１ｄに接続された内部リード１３ｄが電気的に接続されている。
フィラメント１２ｂは、フィラメント１２ａと同様にして、一端側に金属箔１１ｃに接続された内部リード１３ｃが電気的に接続され、他端側に金属箔１１ｂに接続された内部リード１３ｂが電気的に接続されている。内部リード１３ｂは、フィラメント１２ｂの他端側に接続されている。
【００２０】
さらに、封止部３ａ側の金属箔１１ａ、１１ｂには、それぞれ封止部３ａから外部に導出する外部リード１４ａ、１４ｂが電気的に接続され、封止部３ｂ側の金属箔１１ｃ、１１ｄにも同様にして、それぞれ外部リード１４ｃ、１４ｄが電気的に接続されている。これにより、フィラメント１２ａは外部リード１４ａ、１４ｄに電気的に接続され、フィラメント１２ｂは外部リード１４ｂ、１４ｃに電気的に接続される。
【００２１】
図２は、第１の実施形態のフィラメントランプ１における隣り合うフィラメント１２ａ、１２ｂとの間に配置される内部リード１３ｂ、１３ｄの形態を説明するための拡大断面図である。
内部リード１３ｂ、１３ｄは、フィラメント材料と同じタングステンにより形成される。高エネルギーを必要とする加熱プロセスにおいて、内部リード１３ｂ、１３ｄは非常に高温にさらされる。高温に加熱されたモリブデン材が発光管内部に存在すると、モリブデンがハロゲンガスと反応してしまい、発光管内部の表面に赤茶色の変色した物質が付着する。発光管２の内表面が変色すると、フィラメントランプ１から放射する光の照度不均一が発生する。このような理由のため、内部リード１３ｂ、１３ｄの材質はフィラメント材料と同じタングステンを使う必要がある。
【００２２】
しかし、タングステンは非常に加工性が悪いため、太いものでは曲げ加工などが困難になる。しかもマルチフィラメント・ヒータのような複数回路を有するランプにおいては、内部リード１３ｂ、１３ｄの取り回しも複雑化するため、太い内部リードを発光管２の内部に配置することができない。
【００２３】
そこで、径の小さい細い内部リード１３ｂ、１３ｄを使用して、フィラメント１２ａ、１２ｂの直近で曲げ加工を実現し、非発光部Ｌを短くすることが求められる。タングステンにより形成された内部リード１３ｂ、１３ｄでも、径を小さく細くすることによって、発光管近傍に軸方向に延びる内部リード１３ｂ、１３ｄの先端１５ａ、１５ｂに発光管２の径方向に曲げて渡し部１６ａ、１６ｂを形成し、渡し部１６ａ、１６ｂの発光管２の軸中心に対応する位置で、再度軸方向に曲げて位置出し部１７ａ、１７ｂを形成する。このようにして、発光管近傍に軸方向に延びる内部リード１３ｂ、１３ｄの先端１５ａ、１５ｂに発光管２の軸中心に一致するようにのびる位置出し部１７ａ、１７ｂを形成することで、給電のためにフィラメント１２ａ、１２ｂ間に配置された内部リード１３ｂ、１３ｄが必要とする軸方向の長さを短くすることができ、非発光領域を小さく抑えることができる。
【００２４】
内部リード１３ｂ、１３ｄの位置出し部１７ａ、１７ｂにはサブコイル１８ａ、１８ｂが巻きつけられ、サブコイル１８ａ、１８ｂが巻かれた位置出し部１７ａ、１７ｂにフィラメント１２ａ、１２ｂを挿通して固定することになる。フィラメント１２ａ、１２ｂの巻線径は、サブコイル１８ａ、１８ｂを含めた位置出し部１７ａ、１７ｂの径に合わせなければ固定することができないが、サブコイル１８ａ、１８ｂの線径等を適宜選択することにより、サブコイル１８ａ、１８ｂを含めた位置出し部１７ａ、１７ｂの径を調整することができる。位置出し部１７ａ、１７ｂにサブコイル１８ａ、１８ｂを巻きつけることにより、内部リード１３ｂ、１３ｄの径によらずフィラメント１２ａ、１２ｂの巻線径を選択することができる。
【００２５】
ただし、内部リード１３ｂ、１３ｄをあまり細くしてしまうと、フィラメント１２ａ、１２ｂと同様に発光してしまい、好ましくない。特に、内部リード１３ｂ、１３ｄはフィラメント１２ａ、１２ｂを避けて発光管近傍に配置されるため、発光管近傍で発光することで、発光管２への熱負荷も増えてしまい、これにより制御性が悪くなってしまう。したがって、内部リード１３ｂ、１３ｄの径は、フィラメント素線径より太く、好ましくはフィラメント素線径の２倍以上となるように構成される。
【００２６】
サブコイル１８ａ、１８ｂは、内部リード１３ｂ、１３ｄの位置出し部１７ａ、１７ｂに挿入され、その上からプレスされて固定される。位置出し部１７ａ、１７ｂの外周面の中央に、表面が削り取られて僅かに陥没した凹部１９ａ、１９ｂが形成される。凹部１９ａ、１９ｂが形成された位置では、位置出し部１７ａ、１７ｂは断面略半円状になっている。一方、位置出し部１７ａ、１７ｂの先端および末端には凹部１９ａ、１９ｂが形成されず、断面円状になっている。なお、凹部１９ａ、１９ｂは位置出し部１７ａ、１７ｂの外周面に形成すればよく、凹部１９ａ、１９ｂの開口がどちらの方向に向くように形成されてもよい。
【００２７】
サブコイル１８ａ、１８ｂの軸方向の長さは、位置出し部１７ａ、１７ｂに形成された凹部１９ａ、１９ｂの軸方向の長さより長くなるように組み合わされる。サブコイル１８ａ、１８ｂは位置出し部１７ａ、１７ｂに挿入された状態でプレスされるので、凹部１９ａ、１９ｂに対応する位置に配置されたサブコイル１８ａ、１８ｂは凹部１９ａ、１９ｂに入り込んで潰れる。サブコイル１８ａ、１８ｂは、フィラメントランプ１の点灯・消灯に伴い膨張収縮するが、凹部１９ａ、１９ｂに沈んだサブコイル１８ａ、１８ｂが凹部１９ａ、１９ｂの側面に当たって軸方向の移動を抑止するので、凹部１９ａ、１９ｂがサブコイル１８ａ、１８ｂの位置ずれ防止の役割を有する。
【００２８】
位置出し部１７ａ、１７ｂに凹部１９ａ、１９ｂを設けることによって、加工性が悪く溶接ができないタングステン材によっても、内部リード１３ｂ、１３ｄとサブコイル１８ａ、１８ｂとフィラメント１２ａ、１２ｂを別体にて組み立てることができる。内部リード１３ｂ、１３ｄとサブコイル１８ａ、１８ｂとフィラメント１２ａ、１２ｂとを別体とすることで、それぞれの素線径や巻線径を他の部材の寸法等によらず設計することができる。
【００２９】
凹部１９ａ、１９ｂが形成された位置に配置されたサブコイル１８ａ、１８ｂは沈むので、凹部１９ａ、１９ｂが形成されていない位置出し部１７ａ、１７ｂに配置されたサブコイル１８ａ、１８ｂとの間に段差が生じる。サブコイル１８ａ、１８ｂの段差が引っかかりとなるので、サブコイル１８ａ、１８ｂが巻かれた位置出し部１７ａ、１７ｂにフィラメント１２ａ、１２ｂを挿通して固定することができる。
【００３０】
サブコイル１８ａ、１８ｂに嵌め合わされたフィラメント１２ａ、１２ｂの端部は、内部リード１３ｂ、１３ｄが熱の逃げ道となるために熱が奪われて温度が下がるため、非発光領域となる。しかしながら、比較的細い径の内部リード１３ｂ、１３ｄを用いることによって、発光管近傍で軸方向にのびる内部リード１３ｂ、１３ｄをフィラメント１２ａ、１２ｂの直近で径方向に曲げることができる。さらに、発光管２の中心軸で再度軸方向に曲げて軸方向の長さが短い位置出し部１７ａ、１７ｂを形成している。この部分にサブコイル１８ａ、１８ｂを用いてフィラメント１２ａ、１２ｂを接続することで、非発光領域を小さくすることができる。
【００３１】
以下に具体的な数値を例示する。
リード線径 Ｒ ：φ０．７ｍｍ〜１．０ｍｍ
位置出し部 長さ ：３．０ｍｍ〜４．０ｍｍ
渡し部 長さ ：３．０ｍｍ〜８．０ｍｍ
凹部（深さ） ｈ ：０．３ｍｍ
（長さ） ｊ ：２ｍｍ
サブコイル素線径 ：φ０．１５ｍｍ〜０．４ｍｍ
ねじ込み長さｋ ：３〜５ｍｍ
フィラメント素線径 ：φ０．３〜０．５ｍｍ
巻線径 ｍ ：φ２．１〜２．７ｍｍ
隣り合うリードは間隔Ｐが２ｍｍとなるように配置され、位置出し部の軸方向の長さＩが３ｍｍとなるので、非発光領域の軸方向の長さＬを１０ｍｍに抑えることができる。
【００３２】
図３は、第２の実施形態のフィラメントランプ１を示す斜視図である。発光管２内には、３つのフィラメント２４、２５、２６が管軸方向に並んで配置されている。各封止部３ａ、３ｂの直近に配置された２つのフィラメント２４、２６の両端にそれぞれ連結された内部リード２４ａ、２４ｂ、２６ａ、２６ｂが、フィラメント２４、２６の直近の同一封止部方向に延在して、該封止部３ａ、３ｂで保持されるとともに、２つのフィラメント２４、２６の間に配置されたフィラメント２５の両端に連結された内部リード２５ａ、２５ｂが、発光管２の軸方向において互いに異なる方向に延在して両端の各封止部３ａ、３ｂで保持されている。
【００３３】
詳細には、一端部の封止部３ａに直近するフィラメント２４の内部リード２４ａ、２４ｂは、封止部３ａから延在してそれぞれフィラメント２４の端部に接続されている。これら内部リード２４ａ、２４ｂは共に、同一の封止部３ａにおいて金属箔２１ａ、２１ｂと接続するように保持されている。
【００３４】
一方、中央部に位置するフィラメント２５の内部リード２５ａ、２５ｂはそれぞれ両端の封止部３ａ、３ｂ方向に延在し、当該封止部３ａ、３ｂで金属箔２２ａ、２２ｂと接続するように保持されている。
他端側の封止部３ｂに直近するフィラメント２６に関しても、上記フィラメント２４と同様に、その内部リード２６ａ、２６ｂは他端部の封止部３ｂ内で金属箔２３ａ、２３ｂと接続するように保持されている。
【００３５】
金属箔２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂには、それぞれ外部リード２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂが接続されている。
【００３６】
また、発光管２の内部の封止部３ａ、３ｂ近傍には、ガラスブリッジ３６が設けられている。該ガラスブリッジ３６は、一対の円柱状ガラス部材からなり、その間にそれぞれ内部リード２４ａ、２４ｂ、２５ａ、内部リード２５ｂ、２６ａ、２６ｂが狭持される。
【００３７】
上記のような構成とすることにより、中央部のフィラメント２５の近傍には内部リードが延在することがなく、被処理体の直上に位置するフィラメント２５からの照射光が内部リードによって遮られることがなく、均一照射が達成される。
【００３８】
中央部に位置するフィラメント２５にはサポータ３７が複数取り付けられているので、フィラメント２５自体が発光管２の軸中心に配置される機能を有する。したがって、フィラメント２５の両端は、折り曲げられた内部リード２５ａ、２５ｂに接続されて保持されているだけであるが、フィラメント２５の軸中心を発光管２の軸中心に合わせて配置することができる。
【００３９】
一方、両端に配置されるフィラメント２４、２６は、フィラメント２４、２６に平行して内部リード２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ｂが配置されるため、フィラメント２４、２６にサポータを取り付けることができない。したがって、フィラメント２４、２６は、内部リード２４ａ、２４ｂ、２６ａ、２６ｂの先端の位置によって発光管２の内部に配置される位置が決まる。
【００４０】
封止部３ａ、３ｂから導出される内部リード２４ａ、２６ａは、発光管２の軸中心に引き出すことによって比較的容易に位置出しすることができるが、中央に位置するフィラメント２５の直近に引き回される内部リード２４ｂ、２６ｂは先端を曲げて形成されるだけなので、位置出しが難しい。
【００４１】
図４は、第２の実施形態のフィラメントランプ１における非発光領域に配置される内部リード２６ｂの形状を説明するための拡大斜視図である。
封止部３ｂの直近に配置されたフィラメント２６に、隣り合うフィラメント２５との間に配置されて連結する内部リード２６ｂについて説明する。内部リード２６ｂも、軸方向にのびる位置出し部３３にサブコイル３５を介してフィラメント２６が保持される。位置出し部３３に続いて発光管２の径方向に曲げられた渡し部３２が形成され、内部リード２６ｂを発光管近傍に導く。渡し部３２に続いて、発光管２の内表面に接するように湾曲するリング部３４が形成される。リング部３４から軸方向にのびる線が金属箔２３ｂに接続される。
【００４２】
リング部３４が発光管２の内表面に当接することで、内部リード２６ｂの発光管内部における位置が定まる。したがって、リング部３４に対する位置出し部３３を、発光管２の軸中心に一致するように構成すれば、発光管２の内部での位置決めができる。そして、フィラメント２６を発光管２の軸中心に配置することができる。
【００４３】
また、フィラメント２６は一端の封止部３ｂでのみ保持されるので、点灯中に他端が垂れ下がるサグといわれる現象が生じやすいが、他端を保持する内部リード２６ｂがリング部３４によって発光管内部における位置がずれないようになっているので、サグを防止することができる。
【００４４】
なお、第１の実施形態に示すフィラメントランプも、第２の実施形態に示すフィラメントランプも、封止部３ａ、３ｂがピンチシールされたものであるが、ピンチシールに替えてシュリンクシールにしたフィラメントランプに対しても本発明の内部リードの構成を適用することができる。本発明の内部リードは発光管の内部に配置される構成であるので、封止部の構造によらず適用することができるためである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のフィラメントランプを示す斜視図
【図２】本発明のフィラメントランプの隣り合うフィラメントとの間に配置される内部リードの形態を説明するための拡大断面図
【図３】本発明のフィラメントランプを示す斜視図
【図４】本発明のフィラメントランプの内部リードとフィラメントの接続を説明するための拡大断面図
【図５】従来のフィラメントランプを示す斜視図
【符号の説明】
【００４６】
１ フィラメントランプ
２ 発光管
３ａ、３ｂ 封止部
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ 金属箔
１２ａ、１２ｂ フィラメント
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ 内部リード
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ 外部リード
１５ａ、１５ｂ 先端
１６ａ、１６ｂ 渡し部
１７ａ、１７ｂ 位置出し部
１８ａ、１８ｂ サブコイル
１９ａ、１９ｂ 凹部
２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ 金属箔
２４、２５、２６ フィラメント
２４ａ、２４ｂ 内部リード
２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂ 外部リード
３１ 先端
３２ 渡し部
３３ 位置出し部
３４ リング部
３５ サブコイル
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハの加熱・太陽電池加熱又は液晶の加熱処理に用いられるフィラメントランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程における光照射式加熱装置は、成膜、拡散、アニール等、広範囲に渡って利用されており、いずれの処理も板状の被処理物等の半導体ウェハを急速に加熱することができ、１０００℃以上にまで数秒間〜数十秒間で昇温させるものである。近年は更に高速で昇温させることが要求されてきており、ランプに投入される電力が大電力化してきている。これはスパイクアニールと呼ばれており、２００℃／秒を超える高速で昇温させ、目的温度に達したら直ちに冷却することが行われる。このスパイクアニールにより非常に薄い拡散層（シャロージャンクション）を形成させることができ、半導体素子の性能を向上させることができる。
【０００３】
また、加熱時、半導体ウェハの温度分布が不均一になると、半導体ウェハにスリップと呼ばれる現象、即ち、結晶転移の欠陥が発生し、不良品となるおそれがある。そこで光照射式加熱装置を用いて半導体ウェハを加熱処理する場合には、半導体ウェハの温度分布が均一になるように、加熱・高温保持・冷却する必要がある。温度分布を均一にする提案として、特開２００６−２７９００８には１本の発光管に独立に給電可能な複数のフィラメントを具備したフィラメントランプが提案されており、これにより部分的にフィラメントに入力する電力を変えることができ、高均一な温度分布になるよう調整することができる。
【０００４】
図５は、従来のフィラメントランプ１を示す斜視図である。
両端が端部封止部３ａ、３ｂで気密に封止された直管状の発光管２内には、コイル状のフィラメント１２ａ、１２ｂが発光管２の管軸方向に伸びるよう順次に並んで配置され、各フィラメント１２ａ、１２ｂの両端には、それぞれ給電用の内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが連結されている。
【０００５】
上記の各フィラメントの内部リードは、それぞれ両端封止部に延びて、個別に金属箔を介して外部リードに電気的に接続されている。
即ち、各フィラメント１２ａ、１２ｂの一端側の内部リード１３ａ、１３ｂはそれぞれ一端側封止部３ａの金属箔１１ａ、１１ｂを介して、一端側の外部リード１４ａ、１４ｂに電気的に接続されている。
同様に、他端側の内部リード１３ｃ、１３ｄはそれぞれ他端側封止部３ｂの金属箔１１ｃ、１１ｄを介して、端側の外部リード１４ｃ、１４ｄに電気的に接続されている。
【特許文献１】特開２００６−２７９００８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、フィラメントランプの１本の発光管の中に配置された複数のフィラメントには、独立に給電するために各々のフィラメントに個々に内部リードが配線されるため、隣り合うフィラメントを密接して配置することができない。隣り合うフィラメントの間には発光する部材がないため、非発光部となってしまう。独立に給電可能なフィラメントを具備することによって均一な温度分布となるように加熱しても、隣り合うフィラメントの間が非発光部となって、局所的に温度が低下しかねない。そこで、各々のフィラメントには独立に給電可能に内部リードを取りまわしつつも、隣り合うフィラメント間の非発光部の領域を小さく抑える必要がある。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑み、各々のフィラメントには独立に給電可能に内部リードを取りまわしつつも、隣り合うフィラメント間の非発光領域を小さく抑えることができるフィラメントランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願第１の発明は、両端に封止部が形成された発光管の内部に、複数のフィラメントがそれぞれ発光管の管軸方向に順次並んで配設され、各フィラメントの両端にタングステンよりなる内部リードが連結されたフィラメントランプにおいて、
隣り合うフィラメントとの間に配置される内部リードは、先端に、前記発光管の軸方向にのびる位置出し部と、当該位置出し部に続いて形成された前記発光管の径方向に曲げられた渡し部とを有し、
前記位置出し部にタングステンよりなるサブコイルが巻きつけられ、
前記サブコイルが巻かれた位置出し部にフィラメントが連結されていることを特徴とする。
【０００９】
また、本願第２の発明は、第１の発明において、前記位置出し部の外周面に凹部が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
また、本願第３の発明は、第２の発明において、前記サブコイルの軸方向の長さは、前記凹部の軸方向の長さより大きいことを特徴とする。
【００１１】
また、本願第４の発明は、第１の発明において、前記内部リードは、前記渡し部に続いてリング部が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本願第１の発明によれば、内部リードの先端に、発光管の軸方向にのびる位置出し部と、当該位置出し部に続いて形成された前記発光管の径方向に曲げられた渡し部とを有し、位置出し部にタングステンよりなるサブコイルが巻きつけられ、サブコイルが巻かれた位置出し部にタングステンよりなるフィラメントが連結されることによって、フィラメントの巻線径によらず内部リードの径を決めることができる。したがって、比較的細い径の内部リードを用いて、フィラメントの直近で径方向に曲げることができ、各々のフィラメントには独立に給電可能に内部リードを取りまわしつつも、給電のためにフィラメント間に配置された内部リードが必要とする軸方向の長さを短くすることができ、隣り合うフィラメント間の非発光領域を小さく抑えることができる。
【００１３】
本願第２の発明によれば、凹部が形成された位置に配置されたサブコイルは沈むので、凹部が形成されていない位置出し部に配置されたサブコイルとの間に段差が生じる。サブコイルの段差が引っかかりとなるので、サブコイルが巻かれた位置出し部にフィラメントを挿通して固定することができる。
【００１４】
本願第３の発明によれば、サブコイルの軸方向の長さを、前記凹部の軸方向の長さより長くすることによって、サブコイルは位置出し部に挿入された状態でプレスされるので、凹部に対応する位置に配置されたサブコイルは凹部に入り込んで潰れる。サブコイルは、フィラメントランプの点灯・消灯に伴い膨張収縮するが、凹部に沈んだサブコイルが凹部の側面に当たって軸方向の移動を抑止するので、凹部がサブコイルの位置ずれ防止の役割を有する。
【００１５】
本願第４の発明によれば、渡し部に続いてリング部を設けることによって、リング部が発光管の内表面に当接することで、内部リードの発光管内部における位置が定まる。したがって、リング部に対する位置出し部を、発光管の軸中心に一致するように構成すれば、発光管の内部での位置決めができる。そして、フィラメントを発光管の軸中心に配置することができる。また、一端の封止部でのみ保持されるフィラメントは、点灯中に他端が垂れ下がるサグといわれる現象が生じやすいが、他端を保持する内部リードがリング部によって発光管内部における位置がずれないようになっているので、サグを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、第１の実施形態のフィラメントランプ１を示す斜視図である。
フィラメントランプ１は、例えば石英ガラス等の光透過性材料からなる発光管２を備える。発光管２の両端には金属箔１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが埋設されたピンチシールにより封止部３ａ、３ｂが形成され、発光管内部が気密に封止されている。発光管２の内部には、例えばタングステンからなり、発光管２の軸方向において２つに分割されたフィラメント１２ａ、１２ｂが、同一軸上に発光管２の軸に沿って空間Ｌを隔てて配設されている。
【００１７】
この空間Ｌは、フィラメント１２ａ、１２ｂが存在しない空間であって非発光領域であるため、空間Ｌの全長が大きすぎる場合、被処理物上での照射光の強度分布にバラツキが生じる。そのため空間Ｌの全長はできるだけ小さい方が望ましい。
【００１８】
しかしながら、フィラメントランプ１は、２つに分割されたフィラメント１２ａ、１２ｂがそれぞれ独立に給電されることが特徴である。したがって、フィラメント１２ａ、１２ｂに個々に内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが配線されるため、隣り合うフィラメント１２ａ、１２ｂを密接して配置することができない。
【００１９】
フィラメント１２ａは、一端側に金属箔１１ａに接続された内部リード１３ａが電気的に接続され、他端側に金属箔１１ｄに接続された内部リード１３ｄが電気的に接続されている。
フィラメント１２ｂは、フィラメント１２ａと同様にして、一端側に金属箔１１ｃに接続された内部リード１３ｃが電気的に接続され、他端側に金属箔１１ｂに接続された内部リード１３ｂが電気的に接続されている。内部リード１３ｂは、フィラメント１２ｂの他端側に接続されている。
【００２０】
さらに、封止部３ａ側の金属箔１１ａ、１１ｂには、それぞれ封止部３ａから外部に導出する外部リード１４ａ、１４ｂが電気的に接続され、封止部３ｂ側の金属箔１１ｃ、１１ｄにも同様にして、それぞれ外部リード１４ｃ、１４ｄが電気的に接続されている。これにより、フィラメント１２ａは外部リード１４ａ、１４ｄに電気的に接続され、フィラメント１２ｂは外部リード１４ｂ、１４ｃに電気的に接続される。
【００２１】
図２は、第１の実施形態のフィラメントランプ１における隣り合うフィラメント１２ａ、１２ｂとの間に配置される内部リード１３ｂ、１３ｄの形態を説明するための拡大断面図である。
内部リード１３ｂ、１３ｄは、フィラメント材料と同じタングステンにより形成される。高エネルギーを必要とする加熱プロセスにおいて、内部リード１３ｂ、１３ｄは非常に高温にさらされる。高温に加熱されたモリブデン材が発光管内部に存在すると、モリブデンがハロゲンガスと反応してしまい、発光管内部の表面に赤茶色の変色した物質が付着する。発光管２の内表面が変色すると、フィラメントランプ１から放射する光の照度不均一が発生する。このような理由のため、内部リード１３ｂ、１３ｄの材質はフィラメント材料と同じタングステンを使う必要がある。
【００２２】
しかし、タングステンは非常に加工性が悪いため、太いものでは曲げ加工などが困難になる。しかもマルチフィラメント・ヒータのような複数回路を有するランプにおいては、内部リード１３ｂ、１３ｄの取り回しも複雑化するため、太い内部リードを発光管２の内部に配置することができない。
【００２３】
そこで、径の小さい細い内部リード１３ｂ、１３ｄを使用して、フィラメント１２ａ、１２ｂの直近で曲げ加工を実現し、非発光部Ｌを短くすることが求められる。タングステンにより形成された内部リード１３ｂ、１３ｄでも、径を小さく細くすることによって、発光管近傍に軸方向に延びる内部リード１３ｂ、１３ｄの先端１５ａ、１５ｂに発光管２の径方向に曲げて渡し部１６ａ、１６ｂを形成し、渡し部１６ａ、１６ｂの発光管２の軸中心に対応する位置で、再度軸方向に曲げて位置出し部１７ａ、１７ｂを形成する。このようにして、発光管近傍に軸方向に延びる内部リード１３ｂ、１３ｄの先端１５ａ、１５ｂに発光管２の軸中心に一致するようにのびる位置出し部１７ａ、１７ｂを形成することで、給電のためにフィラメント１２ａ、１２ｂ間に配置された内部リード１３ｂ、１３ｄが必要とする軸方向の長さを短くすることができ、非発光領域を小さく抑えることができる。
【００２４】
内部リード１３ｂ、１３ｄの位置出し部１７ａ、１７ｂにはサブコイル１８ａ、１８ｂが巻きつけられ、サブコイル１８ａ、１８ｂが巻かれた位置出し部１７ａ、１７ｂにフィラメント１２ａ、１２ｂを挿通して固定することになる。フィラメント１２ａ、１２ｂの巻線径は、サブコイル１８ａ、１８ｂを含めた位置出し部１７ａ、１７ｂの径に合わせなければ固定することができないが、サブコイル１８ａ、１８ｂの線径等を適宜選択することにより、サブコイル１８ａ、１８ｂを含めた位置出し部１７ａ、１７ｂの径を調整することができる。位置出し部１７ａ、１７ｂにサブコイル１８ａ、１８ｂを巻きつけることにより、内部リード１３ｂ、１３ｄの径によらずフィラメント１２ａ、１２ｂの巻線径を選択することができる。
【００２５】
ただし、内部リード１３ｂ、１３ｄをあまり細くしてしまうと、フィラメント１２ａ、１２ｂと同様に発光してしまい、好ましくない。特に、内部リード１３ｂ、１３ｄはフィラメント１２ａ、１２ｂを避けて発光管近傍に配置されるため、発光管近傍で発光することで、発光管２への熱負荷も増えてしまい、これにより制御性が悪くなってしまう。したがって、内部リード１３ｂ、１３ｄの径は、フィラメント素線径より太く、好ましくはフィラメント素線径の２倍以上となるように構成される。
【００２６】
サブコイル１８ａ、１８ｂは、内部リード１３ｂ、１３ｄの位置出し部１７ａ、１７ｂに挿入され、その上からプレスされて固定される。位置出し部１７ａ、１７ｂの外周面の中央に、表面が削り取られて僅かに陥没した凹部１９ａ、１９ｂが形成される。凹部１９ａ、１９ｂが形成された位置では、位置出し部１７ａ、１７ｂは断面略半円状になっている。一方、位置出し部１７ａ、１７ｂの先端および末端には凹部１９ａ、１９ｂが形成されず、断面円状になっている。なお、凹部１９ａ、１９ｂは位置出し部１７ａ、１７ｂの外周面に形成すればよく、凹部１９ａ、１９ｂの開口がどちらの方向に向くように形成されてもよい。
【００２７】
サブコイル１８ａ、１８ｂの軸方向の長さは、位置出し部１７ａ、１７ｂに形成された凹部１９ａ、１９ｂの軸方向の長さより長くなるように組み合わされる。サブコイル１８ａ、１８ｂは位置出し部１７ａ、１７ｂに挿入された状態でプレスされるので、凹部１９ａ、１９ｂに対応する位置に配置されたサブコイル１８ａ、１８ｂは凹部１９ａ、１９ｂに入り込んで潰れる。サブコイル１８ａ、１８ｂは、フィラメントランプ１の点灯・消灯に伴い膨張収縮するが、凹部１９ａ、１９ｂに沈んだサブコイル１８ａ、１８ｂが凹部１９ａ、１９ｂの側面に当たって軸方向の移動を抑止するので、凹部１９ａ、１９ｂがサブコイル１８ａ、１８ｂの位置ずれ防止の役割を有する。
【００２８】
位置出し部１７ａ、１７ｂに凹部１９ａ、１９ｂを設けることによって、加工性が悪く溶接ができないタングステン材によっても、内部リード１３ｂ、１３ｄとサブコイル１８ａ、１８ｂとフィラメント１２ａ、１２ｂを別体にて組み立てることができる。内部リード１３ｂ、１３ｄとサブコイル１８ａ、１８ｂとフィラメント１２ａ、１２ｂとを別体とすることで、それぞれの素線径や巻線径を他の部材の寸法等によらず設計することができる。
【００２９】
凹部１９ａ、１９ｂが形成された位置に配置されたサブコイル１８ａ、１８ｂは沈むので、凹部１９ａ、１９ｂが形成されていない位置出し部１７ａ、１７ｂに配置されたサブコイル１８ａ、１８ｂとの間に段差が生じる。サブコイル１８ａ、１８ｂの段差が引っかかりとなるので、サブコイル１８ａ、１８ｂが巻かれた位置出し部１７ａ、１７ｂにフィラメント１２ａ、１２ｂを挿通して固定することができる。
【００３０】
サブコイル１８ａ、１８ｂに嵌め合わされたフィラメント１２ａ、１２ｂの端部は、内部リード１３ｂ、１３ｄが熱の逃げ道となるために熱が奪われて温度が下がるため、非発光領域となる。しかしながら、比較的細い径の内部リード１３ｂ、１３ｄを用いることによって、発光管近傍で軸方向にのびる内部リード１３ｂ、１３ｄをフィラメント１２ａ、１２ｂの直近で径方向に曲げることができる。さらに、発光管２の中心軸で再度軸方向に曲げて軸方向の長さが短い位置出し部１７ａ、１７ｂを形成している。この部分にサブコイル１８ａ、１８ｂを用いてフィラメント１２ａ、１２ｂを接続することで、非発光領域を小さくすることができる。
【００３１】
以下に具体的な数値を例示する。
リード線径 Ｒ ：φ０．７ｍｍ〜１．０ｍｍ
位置出し部 長さ ：３．０ｍｍ〜４．０ｍｍ
渡し部 長さ ：３．０ｍｍ〜８．０ｍｍ
凹部（深さ） ｈ ：０．３ｍｍ
（長さ） ｊ ：２ｍｍ
サブコイル素線径 ：φ０．１５ｍｍ〜０．４ｍｍ
ねじ込み長さｋ ：３〜５ｍｍ
フィラメント素線径 ：φ０．３〜０．５ｍｍ
巻線径 ｍ ：φ２．１〜２．７ｍｍ
隣り合うリードは間隔Ｐが２ｍｍとなるように配置され、位置出し部の軸方向の長さＩが３ｍｍとなるので、非発光領域の軸方向の長さＬを１０ｍｍに抑えることができる。
【００３２】
図３は、第２の実施形態のフィラメントランプ１を示す斜視図である。発光管２内には、３つのフィラメント２４、２５、２６が管軸方向に並んで配置されている。各封止部３ａ、３ｂの直近に配置された２つのフィラメント２４、２６の両端にそれぞれ連結された内部リード２４ａ、２４ｂ、２６ａ、２６ｂが、フィラメント２４、２６の直近の同一封止部方向に延在して、該封止部３ａ、３ｂで保持されるとともに、２つのフィラメント２４、２６の間に配置されたフィラメント２５の両端に連結された内部リード２５ａ、２５ｂが、発光管２の軸方向において互いに異なる方向に延在して両端の各封止部３ａ、３ｂで保持されている。
【００３３】
詳細には、一端部の封止部３ａに直近するフィラメント２４の内部リード２４ａ、２４ｂは、封止部３ａから延在してそれぞれフィラメント２４の端部に接続されている。これら内部リード２４ａ、２４ｂは共に、同一の封止部３ａにおいて金属箔２１ａ、２１ｂと接続するように保持されている。
【００３４】
一方、中央部に位置するフィラメント２５の内部リード２５ａ、２５ｂはそれぞれ両端の封止部３ａ、３ｂ方向に延在し、当該封止部３ａ、３ｂで金属箔２２ａ、２２ｂと接続するように保持されている。
他端側の封止部３ｂに直近するフィラメント２６に関しても、上記フィラメント２４と同様に、その内部リード２６ａ、２６ｂは他端部の封止部３ｂ内で金属箔２３ａ、２３ｂと接続するように保持されている。
【００３５】
金属箔２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂには、それぞれ外部リード２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂが接続されている。
【００３６】
また、発光管２の内部の封止部３ａ、３ｂ近傍には、ガラスブリッジ３６が設けられている。該ガラスブリッジ３６は、一対の円柱状ガラス部材からなり、その間にそれぞれ内部リード２４ａ、２４ｂ、２５ａ、内部リード２５ｂ、２６ａ、２６ｂが狭持される。
【００３７】
上記のような構成とすることにより、中央部のフィラメント２５の近傍には内部リードが延在することがなく、被処理体の直上に位置するフィラメント２５からの照射光が内部リードによって遮られることがなく、均一照射が達成される。
【００３８】
中央部に位置するフィラメント２５にはサポータ３７が複数取り付けられているので、フィラメント２５自体が発光管２の軸中心に配置される機能を有する。したがって、フィラメント２５の両端は、折り曲げられた内部リード２５ａ、２５ｂに接続されて保持されているだけであるが、フィラメント２５の軸中心を発光管２の軸中心に合わせて配置することができる。
【００３９】
一方、両端に配置されるフィラメント２４、２６は、フィラメント２４、２６に平行して内部リード２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ｂが配置されるため、フィラメント２４、２６にサポータを取り付けることができない。したがって、フィラメント２４、２６は、内部リード２４ａ、２４ｂ、２６ａ、２６ｂの先端の位置によって発光管２の内部に配置される位置が決まる。
【００４０】
封止部３ａ、３ｂから導出される内部リード２４ａ、２６ａは、発光管２の軸中心に引き出すことによって比較的容易に位置出しすることができるが、中央に位置するフィラメント２５の直近に引き回される内部リード２４ｂ、２６ｂは先端を曲げて形成されるだけなので、位置出しが難しい。
【００４１】
図４は、第２の実施形態のフィラメントランプ１における非発光領域に配置される内部リード２６ｂの形状を説明するための拡大斜視図である。
封止部３ｂの直近に配置されたフィラメント２６に、隣り合うフィラメント２５との間に配置されて連結する内部リード２６ｂについて説明する。内部リード２６ｂも、軸方向にのびる位置出し部３３にサブコイル３５を介してフィラメント２６が保持される。位置出し部３３に続いて発光管２の径方向に曲げられた渡し部３２が形成され、内部リード２６ｂを発光管近傍に導く。渡し部３２に続いて、発光管２の内表面に接するように湾曲するリング部３４が形成される。リング部３４から軸方向にのびる線が金属箔２３ｂに接続される。
【００４２】
リング部３４が発光管２の内表面に当接することで、内部リード２６ｂの発光管内部における位置が定まる。したがって、リング部３４に対する位置出し部３３を、発光管２の軸中心に一致するように構成すれば、発光管２の内部での位置決めができる。そして、フィラメント２６を発光管２の軸中心に配置することができる。
【００４３】
また、フィラメント２６は一端の封止部３ｂでのみ保持されるので、点灯中に他端が垂れ下がるサグといわれる現象が生じやすいが、他端を保持する内部リード２６ｂがリング部３４によって発光管内部における位置がずれないようになっているので、サグを防止することができる。
【００４４】
なお、第１の実施形態に示すフィラメントランプも、第２の実施形態に示すフィラメントランプも、封止部３ａ、３ｂがピンチシールされたものであるが、ピンチシールに替えてシュリンクシールにしたフィラメントランプに対しても本発明の内部リードの構成を適用することができる。本発明の内部リードは発光管の内部に配置される構成であるので、封止部の構造によらず適用することができるためである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のフィラメントランプを示す斜視図
【図２】本発明のフィラメントランプの隣り合うフィラメントとの間に配置される内部リードの形態を説明するための拡大断面図
【図３】本発明のフィラメントランプを示す斜視図
【図４】本発明のフィラメントランプの内部リードとフィラメントの接続を説明するための拡大断面図
【図５】従来のフィラメントランプを示す斜視図
【符号の説明】
【００４６】
１ フィラメントランプ
２ 発光管
３ａ、３ｂ 封止部
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ 金属箔
１２ａ、１２ｂ フィラメント
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ 内部リード
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ 外部リード
１５ａ、１５ｂ 先端
１６ａ、１６ｂ 渡し部
１７ａ、１７ｂ 位置出し部
１８ａ、１８ｂ サブコイル
１９ａ、１９ｂ 凹部
２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ 金属箔
２４、２５、２６ フィラメント
２４ａ、２４ｂ 内部リード
２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂ 外部リード
３１ 先端
３２ 渡し部
３３ 位置出し部
３４ リング部
３５ サブコイル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端に封止部が形成された発光管の内部に、複数のフィラメントがそれぞれ発光管の管軸方向に順次並んで配設され、各フィラメントの両端にタングステンよりなる内部リードが連結されたフィラメントランプにおいて、
隣り合うフィラメントとの間に配置される内部リードは、先端に、前記発光管の軸方向にのびる位置出し部と、当該位置出し部に続いて形成された前記発光管の径方向に曲げられた渡し部とを有し、
前記位置出し部にタングステンよりなるサブコイルが巻きつけられ、
前記サブコイルが巻かれた位置出し部にフィラメントが連結されていることを特徴とするフィラメントランプ。
【請求項２】
前記位置出し部の外周面に凹部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィラメントランプ。
【請求項３】
前記サブコイルの軸方向の長さは、前記凹部の軸方向の長さより大きいことを特徴とする請求項２に記載のフィラメントランプ。
【請求項４】
前記内部リードは、前記渡し部に続いてリング部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィラメントランプ。
【請求項１】
両端に封止部が形成された発光管の内部に、複数のフィラメントがそれぞれ発光管の管軸方向に順次並んで配設され、各フィラメントの両端にタングステンよりなる内部リードが連結されたフィラメントランプにおいて、
隣り合うフィラメントとの間に配置される内部リードは、先端に、前記発光管の軸方向にのびる位置出し部と、当該位置出し部に続いて形成された前記発光管の径方向に曲げられた渡し部とを有し、
前記位置出し部にタングステンよりなるサブコイルが巻きつけられ、
前記サブコイルが巻かれた位置出し部にフィラメントが連結されていることを特徴とするフィラメントランプ。
【請求項２】
前記位置出し部の外周面に凹部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィラメントランプ。
【請求項３】
前記サブコイルの軸方向の長さは、前記凹部の軸方向の長さより大きいことを特徴とする請求項２に記載のフィラメントランプ。
【請求項４】
前記内部リードは、前記渡し部に続いてリング部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィラメントランプ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１０−３３８５７（Ｐ２０１０−３３８５７Ａ）
【公開日】平成２２年２月１２日（２０１０．２．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１９４２６１（Ｐ２００８−１９４２６１）
【出願日】平成２０年７月２９日（２００８．７．２９）
【出願人】（０００１０２２１２）ウシオ電機株式会社 (1,414)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年２月１２日（２０１０．２．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年７月２９日（２００８．７．２９）
【出願人】（０００１０２２１２）ウシオ電機株式会社 (1,414)
【Ｆターム（参考）】
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