ペリクル収納ケース用コーナークリップ
【課題】磨耗粉を低減することのできるペリクル収納ケース用コーナークリップを提供する。
【解決手段】ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成される、ペリクル収納ケースに用いるコーナークリップ。前記コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることが特徴である。
【解決手段】ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成される、ペリクル収納ケースに用いるコーナークリップ。前記コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることが特徴である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は摩擦による磨耗粉の発生を抑止することのできる収納ケースに関し、特に、半導体製造におけるフォトリソグラフィー工程で使用するレチクル又はフォトマスク防塵用のペリクルを収納するための、収納ケース用コーナークリップに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置における高密度化及び高集積化の要求に伴い、フォトリソグラフィー工程におけるパターンの微細化が進行した。これにともなって、フォトマスク上に付着した微細な異物でも転写パターンの欠陥になるようになったため、このフォトマスクヘの異物の付着を防止するために、フォトマスクにペリクルを装着することが現在では不可欠となっている。
【０００３】
このペリクルは、ペリクル膜となる透明薄膜を金属フレームの片面に張設したものであるが、これをフォトマスクに装着すると透明薄膜とフォトマスク面の距離だけ露光時の焦点がずれることになるので、透明薄膜上には比較的大きな異物の付着まで許容される。
【０００４】
しかしながら、ペリクルの製造時又は搬送時に、ペリクル膜又は金属フレーム内部に異物が付着すると、使用中に異物がフォトマスク上に落下する可能性があり、これが半導体チップの不良を招く原因となるため、ペリクルの搬送は、ペリクルの清浄度を保つように設計されたプラスチック製のケースに収納して行なわれるのが一般的である。
【０００５】
図１は公知のペリクル収納ケースを示す図である。図示されているように、ペリクル4をトレイ2の上に置き、その上からペリクル4にかぶせるようにカバー3を置いて、カバー3でペリクル4の上肩部を固定する(特許文献１)。しかしながらこのままではトレイ2とカバー3の固定ができないので、コーナークリップ5を用いてこれらを固定することが行われている。
【０００６】
図２は公知のコーナークリップである。このコーナークリップには、図示されているようにペリクルトレイ2とカバー3を嵌合させた状態のペリクル収納ケース1における四隅の角部を挿入する貫通穴5hが開けられており、貫通穴5h内部には、押圧部5lや、カバー周縁リブ3uに引っ掛ける構造を有する突起状の係止部5uが設けられている（特許文献２）。
【０００７】
コーナークリップ5を嵌めるには、収納ケース１の抵抗力に対応する必要があるため、その材料としては、ペリクル収納ケースに使用される材料である、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン等の樹脂類よりも、弾性のある材料が採用されている。そのため、コーナークリップ5をペリクル収納ケース1に嵌める際に、コーナークリップ5の押圧部5l、係止部5uとペリクル収納ケース1の間で摩擦が生じ、磨耗粉が発生するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】実開平１-１２０１４８号公報
【特許文献２】実用新案第３０４２６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明者は、上記の課題を解決すべく鋭意検討した結果、コーナークリップ5の材料として、デュロメータ硬度がD58〜D64である樹脂を使用することにより、ペリクル収納ケース1にコーナークリップ5を嵌める際の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができることを見出し、本発明に到達した。
したがって本発明の目的は、ペリクル収納ケース1にコーナークリップ5を嵌める際の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができる、コーナークリップを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち本発明は、ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成されるペリクル収納ケースに用いるコーナークリップであって、該コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることを特徴とするペリクル収納ケース用コーナークリップである。
本発明においては、特に成形容易性の観点からウレタン樹脂又はポリエチレンが好ましいが、特に高密度ポリエチレンを使用することが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
ペリクルを載置するトレイとペリクルを覆うようにトレイと嵌合するカバーで構成されるペリクル収納ケースに本発明のコーナークリップを使用した場合には、コーナークリップとペリクル収納ケースとの間の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ペリクル収納ケースにコーナークリップを使用した状態を説明する図であり、Ａ図は平面図、Ｂ図は側面図、Ｃ図はＡ−Ａ断面図である。
【図２】ペリクル収納ケース用コーナークリップの構造を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図1はペリクル収納ケースの使用状態を説明する図である。図中の符号1はペリクル収納ケース、２はトレイ、２lはトレイ周縁裏面、３はカバー、３uはカバー周縁リブ、４はペリクル、５はクリップ、５aは内側開口部、５bは外側開口部、５hは貫通穴、５oは外側リブ、５iは内側リブ、５uは係止部、５lは押圧部である。
【００１４】
図１から明らかなように、ペリクル収納ケースは、トレイ２にペリクル４を載置した後、カバー３をペリクル４に覆い被せ、トレイ２の接続部とカバー３の接続部を互いに嵌合させて使用するケースである。この時、内部に収容されたペリクル４が動かないように、カバー３でペリクル４の上肩部を固定する（Ｃ図）。
【００１５】
本発明のペリクル収納ケース用コーナークリップ５は、ペリクル４を収納したケースが、その移動中に意図に反して開くことがないようにロックするためのクリップであり、このクリップを、Ａ図に示したようにケースの四隅に装着することによって、収納ケースへのペリクルの収納を完了する。
【００１６】
図２に示されているように、コーナークリップには、トレイ２とカバーを嵌合させたペリクル収納ケースの角部を挿入することのできる貫通穴５hが設けられている。また、その内側上部には、カバー周縁リブ３uに系止させてコーナークリップ５が外れないようにするための係止部５uが設けられ、その内側下部には、トレイ周縁裏面２lを押し付けて、ズレを防止するための押圧部５lが設けられている。
【００１７】
本発明のコーナークリップには、デュロメータ硬度がD52以上の樹脂材料を使用する。このような樹脂材料は適度な弾性を有するので、これにより、コーナークリップ５を手で変形させてペリクル収納ケース1に嵌めることが可能となり、コーナークリップと収納ケースとの間の摩擦を低減することができるので、摩耗粉の発生が抑制される。本発明においては、射出成型の成形性が良いという観点から、特に、ポリエチレン又はポリウレタン樹脂を使用することが好ましい。
【００１８】
本発明のコーナークリップに使用する材料の硬さは、軟らかければペリクル収納ケースに嵌めやすいという利点がある一方、クリップ表面が擦れて磨耗粉を発生しやすいという問題があるため、磨耗粉の発生を抑止するために、本発明ではデュロメータ硬度がD58以上の樹脂材料を使用する。一方、硬すぎた場合には、ペリクルケースにダメージを与えてしまいペリクルケースから磨耗粉を発生するという問題があるため、D64以下の樹脂材料を使用する。これは、密度で表現すると、0.94g/cm3〜0.95g/cm3の樹脂材料を使用することが好ましいこととほぼ同等である。
以下、本発明を実施例及び比較例によって更に詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【００１９】
実施例１，２及び比較例１，２
本実験に用いたペリクル収納ケースは図1に示したものと同じであり、ペリクル４を載置するトレイ２と、トレイ２を覆うようにトレイ２と嵌合するカバー３、及び、前記トレイ２とカバー３を嵌合させた状態の、ペリクル収納ケース１における四隅の角部を挿入する貫通穴５hが開けられたコーナークリップ５によって構成した。
【００２０】
本実験に用いたコーナークリップは図２に示したものと同じであり、トレイ２とカバー３を嵌合させた状態の、ペリクル収納ケースにおける四隅の角部を挿入する貫通穴５h、その内側上部にカバー３の周縁リブ３uに系止させてコーナークリップ５が外れないようにするための係止部５uを有すると共に、その内側下部にトレイ２の周縁裏面２lを押し付けて、ズレを防止するための押圧部５lが設けられているものを使用した。
【００２１】
トレイ２、カバー３、及びクリップ５は、共に射出成型により製造し、材質としては、それぞれＡＢＳ系帯電防止樹脂、ＰＭＭＡ系帯電防止樹脂、又はポリエチレン樹脂を使用した。
【００２２】
コーナークリップに用いたポリエチレン樹脂としては、デュロメータ硬度が、それぞれ、D46、D52、D58、D64、D70、D78（密度0.92、0.93、0.94、0.95、0.96、0.97g/cm3）の６種類の樹脂を準備してテストした。
【００２３】
実験は、まずサイズが149×122×6.3mmのペリクル用トレイ２、カバー３、及びコーナークリップ５を、クラス1000のクリーンルームに入れ、界面活性剤、純水にて超音波洗浄を行い、その後、クラス1のクリーンルーム中でペリクル４をトレイ２に載置した後、カバー３を被せ、コーナークリップ５を嵌めてペリクル４を収納させた。次いで、クリーン手袋をした手でコーナークリップ５を外したり嵌めたりする作業を１０回繰り返し、暗室で、300ルクスの集光ランプをカバー３とトレイ２に照射しながら、付着した異物の数を目視で計測した。その結果は表1に示した通りである。
【００２４】
【表１】
【００２５】
デュロメータ硬度がD52以下である、比較例1及び２のコーナークリップ５の場合には、クリップ材料が軟らかいため、係止部５uとカバー周縁リブ３uとの摩擦、及び押圧部５lとカバー周縁裏面２lとの摩擦により、クリップ磨耗粉の発生が確認された。一方、デュロメータ硬度がD64を超える、比較例3及び4のコーナークリップ５の場合には、クリップ材料が硬いため、係止部５uとカバー周縁リブ３uとの摩擦、及び押圧部５lとカバー周縁裏面２lとの摩擦により、ケースの磨耗粉の発生が確認された。これに対し、デュロメータ硬度がD58以上D64以下である本発明のコーナークリップ５の場合には、材料が適度に硬いため、磨耗粉の発生が確認されなかった。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明のコーナークリップを使用することにより、コーナークリップをペリクル収納ケースに嵌める際に生じる磨耗粉の発生を抑制することができるので、本発明は特にフォトリソグラフィーの分野において有用である。
【符号の説明】
【００２７】
1・・・ペリクル収納ケース
2・・・トレイ
2l・・トレイ周縁裏面
3・・・カバー
3u・・カバー周縁リブ
4・・・ペリクル
5・・・クリップ
5a・・内側開口部
5b・・外側開口部
5h・・貫通穴
5o・・外側リブ
5i・・内側リブ
5u・・係止部
5l・・押圧部
【技術分野】
【０００１】
本発明は摩擦による磨耗粉の発生を抑止することのできる収納ケースに関し、特に、半導体製造におけるフォトリソグラフィー工程で使用するレチクル又はフォトマスク防塵用のペリクルを収納するための、収納ケース用コーナークリップに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置における高密度化及び高集積化の要求に伴い、フォトリソグラフィー工程におけるパターンの微細化が進行した。これにともなって、フォトマスク上に付着した微細な異物でも転写パターンの欠陥になるようになったため、このフォトマスクヘの異物の付着を防止するために、フォトマスクにペリクルを装着することが現在では不可欠となっている。
【０００３】
このペリクルは、ペリクル膜となる透明薄膜を金属フレームの片面に張設したものであるが、これをフォトマスクに装着すると透明薄膜とフォトマスク面の距離だけ露光時の焦点がずれることになるので、透明薄膜上には比較的大きな異物の付着まで許容される。
【０００４】
しかしながら、ペリクルの製造時又は搬送時に、ペリクル膜又は金属フレーム内部に異物が付着すると、使用中に異物がフォトマスク上に落下する可能性があり、これが半導体チップの不良を招く原因となるため、ペリクルの搬送は、ペリクルの清浄度を保つように設計されたプラスチック製のケースに収納して行なわれるのが一般的である。
【０００５】
図１は公知のペリクル収納ケースを示す図である。図示されているように、ペリクル4をトレイ2の上に置き、その上からペリクル4にかぶせるようにカバー3を置いて、カバー3でペリクル4の上肩部を固定する(特許文献１)。しかしながらこのままではトレイ2とカバー3の固定ができないので、コーナークリップ5を用いてこれらを固定することが行われている。
【０００６】
図２は公知のコーナークリップである。このコーナークリップには、図示されているようにペリクルトレイ2とカバー3を嵌合させた状態のペリクル収納ケース1における四隅の角部を挿入する貫通穴5hが開けられており、貫通穴5h内部には、押圧部5lや、カバー周縁リブ3uに引っ掛ける構造を有する突起状の係止部5uが設けられている（特許文献２）。
【０００７】
コーナークリップ5を嵌めるには、収納ケース１の抵抗力に対応する必要があるため、その材料としては、ペリクル収納ケースに使用される材料である、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン等の樹脂類よりも、弾性のある材料が採用されている。そのため、コーナークリップ5をペリクル収納ケース1に嵌める際に、コーナークリップ5の押圧部5l、係止部5uとペリクル収納ケース1の間で摩擦が生じ、磨耗粉が発生するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】実開平１-１２０１４８号公報
【特許文献２】実用新案第３０４２６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明者は、上記の課題を解決すべく鋭意検討した結果、コーナークリップ5の材料として、デュロメータ硬度がD58〜D64である樹脂を使用することにより、ペリクル収納ケース1にコーナークリップ5を嵌める際の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができることを見出し、本発明に到達した。
したがって本発明の目的は、ペリクル収納ケース1にコーナークリップ5を嵌める際の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができる、コーナークリップを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち本発明は、ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成されるペリクル収納ケースに用いるコーナークリップであって、該コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることを特徴とするペリクル収納ケース用コーナークリップである。
本発明においては、特に成形容易性の観点からウレタン樹脂又はポリエチレンが好ましいが、特に高密度ポリエチレンを使用することが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
ペリクルを載置するトレイとペリクルを覆うようにトレイと嵌合するカバーで構成されるペリクル収納ケースに本発明のコーナークリップを使用した場合には、コーナークリップとペリクル収納ケースとの間の摩擦による磨耗粉の発生を抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ペリクル収納ケースにコーナークリップを使用した状態を説明する図であり、Ａ図は平面図、Ｂ図は側面図、Ｃ図はＡ−Ａ断面図である。
【図２】ペリクル収納ケース用コーナークリップの構造を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図1はペリクル収納ケースの使用状態を説明する図である。図中の符号1はペリクル収納ケース、２はトレイ、２lはトレイ周縁裏面、３はカバー、３uはカバー周縁リブ、４はペリクル、５はクリップ、５aは内側開口部、５bは外側開口部、５hは貫通穴、５oは外側リブ、５iは内側リブ、５uは係止部、５lは押圧部である。
【００１４】
図１から明らかなように、ペリクル収納ケースは、トレイ２にペリクル４を載置した後、カバー３をペリクル４に覆い被せ、トレイ２の接続部とカバー３の接続部を互いに嵌合させて使用するケースである。この時、内部に収容されたペリクル４が動かないように、カバー３でペリクル４の上肩部を固定する（Ｃ図）。
【００１５】
本発明のペリクル収納ケース用コーナークリップ５は、ペリクル４を収納したケースが、その移動中に意図に反して開くことがないようにロックするためのクリップであり、このクリップを、Ａ図に示したようにケースの四隅に装着することによって、収納ケースへのペリクルの収納を完了する。
【００１６】
図２に示されているように、コーナークリップには、トレイ２とカバーを嵌合させたペリクル収納ケースの角部を挿入することのできる貫通穴５hが設けられている。また、その内側上部には、カバー周縁リブ３uに系止させてコーナークリップ５が外れないようにするための係止部５uが設けられ、その内側下部には、トレイ周縁裏面２lを押し付けて、ズレを防止するための押圧部５lが設けられている。
【００１７】
本発明のコーナークリップには、デュロメータ硬度がD52以上の樹脂材料を使用する。このような樹脂材料は適度な弾性を有するので、これにより、コーナークリップ５を手で変形させてペリクル収納ケース1に嵌めることが可能となり、コーナークリップと収納ケースとの間の摩擦を低減することができるので、摩耗粉の発生が抑制される。本発明においては、射出成型の成形性が良いという観点から、特に、ポリエチレン又はポリウレタン樹脂を使用することが好ましい。
【００１８】
本発明のコーナークリップに使用する材料の硬さは、軟らかければペリクル収納ケースに嵌めやすいという利点がある一方、クリップ表面が擦れて磨耗粉を発生しやすいという問題があるため、磨耗粉の発生を抑止するために、本発明ではデュロメータ硬度がD58以上の樹脂材料を使用する。一方、硬すぎた場合には、ペリクルケースにダメージを与えてしまいペリクルケースから磨耗粉を発生するという問題があるため、D64以下の樹脂材料を使用する。これは、密度で表現すると、0.94g/cm3〜0.95g/cm3の樹脂材料を使用することが好ましいこととほぼ同等である。
以下、本発明を実施例及び比較例によって更に詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【００１９】
実施例１，２及び比較例１，２
本実験に用いたペリクル収納ケースは図1に示したものと同じであり、ペリクル４を載置するトレイ２と、トレイ２を覆うようにトレイ２と嵌合するカバー３、及び、前記トレイ２とカバー３を嵌合させた状態の、ペリクル収納ケース１における四隅の角部を挿入する貫通穴５hが開けられたコーナークリップ５によって構成した。
【００２０】
本実験に用いたコーナークリップは図２に示したものと同じであり、トレイ２とカバー３を嵌合させた状態の、ペリクル収納ケースにおける四隅の角部を挿入する貫通穴５h、その内側上部にカバー３の周縁リブ３uに系止させてコーナークリップ５が外れないようにするための係止部５uを有すると共に、その内側下部にトレイ２の周縁裏面２lを押し付けて、ズレを防止するための押圧部５lが設けられているものを使用した。
【００２１】
トレイ２、カバー３、及びクリップ５は、共に射出成型により製造し、材質としては、それぞれＡＢＳ系帯電防止樹脂、ＰＭＭＡ系帯電防止樹脂、又はポリエチレン樹脂を使用した。
【００２２】
コーナークリップに用いたポリエチレン樹脂としては、デュロメータ硬度が、それぞれ、D46、D52、D58、D64、D70、D78（密度0.92、0.93、0.94、0.95、0.96、0.97g/cm3）の６種類の樹脂を準備してテストした。
【００２３】
実験は、まずサイズが149×122×6.3mmのペリクル用トレイ２、カバー３、及びコーナークリップ５を、クラス1000のクリーンルームに入れ、界面活性剤、純水にて超音波洗浄を行い、その後、クラス1のクリーンルーム中でペリクル４をトレイ２に載置した後、カバー３を被せ、コーナークリップ５を嵌めてペリクル４を収納させた。次いで、クリーン手袋をした手でコーナークリップ５を外したり嵌めたりする作業を１０回繰り返し、暗室で、300ルクスの集光ランプをカバー３とトレイ２に照射しながら、付着した異物の数を目視で計測した。その結果は表1に示した通りである。
【００２４】
【表１】
【００２５】
デュロメータ硬度がD52以下である、比較例1及び２のコーナークリップ５の場合には、クリップ材料が軟らかいため、係止部５uとカバー周縁リブ３uとの摩擦、及び押圧部５lとカバー周縁裏面２lとの摩擦により、クリップ磨耗粉の発生が確認された。一方、デュロメータ硬度がD64を超える、比較例3及び4のコーナークリップ５の場合には、クリップ材料が硬いため、係止部５uとカバー周縁リブ３uとの摩擦、及び押圧部５lとカバー周縁裏面２lとの摩擦により、ケースの磨耗粉の発生が確認された。これに対し、デュロメータ硬度がD58以上D64以下である本発明のコーナークリップ５の場合には、材料が適度に硬いため、磨耗粉の発生が確認されなかった。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明のコーナークリップを使用することにより、コーナークリップをペリクル収納ケースに嵌める際に生じる磨耗粉の発生を抑制することができるので、本発明は特にフォトリソグラフィーの分野において有用である。
【符号の説明】
【００２７】
1・・・ペリクル収納ケース
2・・・トレイ
2l・・トレイ周縁裏面
3・・・カバー
3u・・カバー周縁リブ
4・・・ペリクル
5・・・クリップ
5a・・内側開口部
5b・・外側開口部
5h・・貫通穴
5o・・外側リブ
5i・・内側リブ
5u・・係止部
5l・・押圧部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成されるペリクル収納ケースに用いるコーナークリップであって、該コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることを特徴とするペリクル収納ケース用コーナークリップ。
【請求項２】
前記樹脂が、ウレタン樹脂又はポリエチレンである、請求項1に記載されたペリクル収納ケース用コーナークリップ。
【請求項３】
前記樹脂が高密度ポリエチレンである、請求項1に記載されたペリクル収納ケース用コーナークリップ。
【請求項１】
ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成されるペリクル収納ケースに用いるコーナークリップであって、該コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることを特徴とするペリクル収納ケース用コーナークリップ。
【請求項２】
前記樹脂が、ウレタン樹脂又はポリエチレンである、請求項1に記載されたペリクル収納ケース用コーナークリップ。
【請求項３】
前記樹脂が高密度ポリエチレンである、請求項1に記載されたペリクル収納ケース用コーナークリップ。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１２−４６２３９（Ｐ２０１２−４６２３９Ａ）
【公開日】平成２４年３月８日（２０１２．３．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１９２３１０（Ｐ２０１０−１９２３１０）
【出願日】平成２２年８月３０日（２０１０．８．３０）
【出願人】（０００００２０６０）信越化学工業株式会社 (3,361)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月８日（２０１２．３．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年８月３０日（２０１０．８．３０）
【出願人】（０００００２０６０）信越化学工業株式会社 (3,361)
【Ｆターム（参考）】
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