低湿処理設備
【課題】ワーク処理空間をワーク処理に要求される低湿環境に安定的に保つ。
【解決手段】周辺空間に対する連通口４，５を備える隔壁２によりワーク処理空間３を囲い、このワーク処理空間３に除湿空気ＳＡ１を供給して、ワーク処理空間３を低湿環境にする低湿化用の給気手段８，１９ａを備える低湿処理設備において、連通口４，５を、拡張側開口がワーク処理空間３に対して開口するベルマウス構造２９にする。
【解決手段】周辺空間に対する連通口４，５を備える隔壁２によりワーク処理空間３を囲い、このワーク処理空間３に除湿空気ＳＡ１を供給して、ワーク処理空間３を低湿環境にする低湿化用の給気手段８，１９ａを備える低湿処理設備において、連通口４，５を、拡張側開口がワーク処理空間３に対して開口するベルマウス構造２９にする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばリチウム電池の生産ラインなど、高度の低湿環境においてワークの処理を行なう低湿処理設備に関し、
詳しくは、周辺空間に対する連通口を備える隔壁によりワーク処理空間を囲い、このワーク処理空間に除湿空気を供給して、前記ワーク処理空間を低湿環境にする低湿化用の給気手段を備える低湿処理設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の低湿処理設備として、除湿空気（ドライエア）の供給により内部を高度の低湿環境（例えば、露点温度が−６０℃）にするトンネル状のワーク処理空間を設け、このワーク処理空間に複数の抵抗板をワーク搬送方向に並べて設置し、これら抵抗板にワークを通過させる開口を形成することで、それら抵抗板によりワーク移動に伴うワーク処理空間での圧力変動を抑制して、ワーク処理空間を安定した低湿環境に保つようにするものが提案されている。
【０００３】
そして、この設備においては、抵抗板に形成する開口（単に板材を切り抜いた状態の開口）を、抵抗板に沿うスライド板の移動により開口面積の調整が可能な開口にしたり、搬送ワークの当接に伴う弾性変形で開くゴム板製の押し開き扉を備える開口にすることが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２３９４３７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記した従来設備では、ワーク処理空間への除湿空気の供給に伴い、抵抗板における上記切り抜き状の開口を通じて（扉を備える開口ではその扉が開放されたときに）ワーク処理空間から外部の周辺空間に向かう空気流が生じるが、この空気流が抵抗板の切り抜き状開口を通過する際、通過空気の流れ（特に開口縁部における通過空気の流れ）に乱れが生じて部分的な渦流や逆流が発生し、この気流乱れのために、各々の抵抗板において抵抗板の下流側（周辺空間側）における相対的に高湿な空気が抵抗板の上流側に侵入し、これが原因でワーク処理空間の低湿環境が不安定になるとともに平均湿度が高くなって、ワーク処理空間でのワーク処理に悪影響を及ぼす問題があった。
【０００６】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、開口構造に対する合理的な改良により上記の如き問題を効果的に解消する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１特徴構成は、
周辺空間に対する連通口を備える隔壁によりワーク処理空間を囲い、このワーク処理空間に除湿空気を供給して、前記ワーク処理空間を低湿環境にする低湿化用の給気手段を備える低湿処理設備であって、
前記連通口を、拡張側開口が前記ワーク処理空間に対して開口するベルマウス構造にしてある点にある。
【０００８】
この構成によれば、ワーク処理空間への除湿空気の供給に伴い連通口を通じてワーク処理空間から周辺空間に向かう空気流が生じることにおいて、連通口における通過空気の流れ（特に連通口の入口部における流れ）を、上記ベルマウス構造による気流案内により乱れの少ない円滑かつ安定的な流れにすることができて、連通口を先述した従来設備における抵抗板開口の如き単なる切り抜き状の開口にするのに比べ、通過気流の乱れに原因する連通口の下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間を一層安定的にワーク処理に適した低湿環境に保つことができる。
【０００９】
また、ワーク処理空間の低湿化も一層促進することができて、その分、ワーク処理空間に対する除湿空気の供給風量を低減するなどして運転コストを低減する、あるいは、ワーク処理空間を平均湿度のより低い一層高度な低湿環境にすることもできる。
【００１０】
なお、この構成の実施において、連通口はどのような用途の開口であってもよく、また、常開の開口に限らず、扉を備える開閉可能な開口であってもよい。
【００１１】
さらに、上記ベルマウス構造の横断面形状も円形に限られるものではなく、三角形や四角形あるいはそれ以上の多角形であってもよく、また、楕円などであってもよい。
【００１２】
本発明の第２特徴構成は、
前記連通口のベルマウス構造における縮小側開口部をベルマウス構造の中心軸芯方向に延びる直筒状部にしてある点にある。
【００１３】
この構成によれば、ベルマウス構造による気流案内とそれに続く上記直筒状部による気流案内との協働により、連通口における通過空気の流れ（特に連通口の出口部における流れ）を一層乱れの少ない円滑かつ安定的な流れにすることができて、通過気流の乱れに原因する連通口の下流側から上流側への高湿空気の侵入を一層効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間をさらに安定的にワーク処理に適した低湿環境に保つことができ、また、ワーク処理空間の低湿化もさらに効果的に促進することができる。
【００１４】
本発明の第３特徴構成は、
前記連通口が、前記ワーク処理空間に対するワーク搬入出口である点にある。
【００１５】
この構成によれば、ワーク搬入出のために常開となる、ないしは、頻繁に開放されるワーク搬入出口において、前述の如くベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止するから、ワーク処理空間における低湿環境の安定化やワーク処理空間の低湿化促進をより確実かつ効果的に達成することができる。
【００１６】
なお、この構成の実施において、ワーク搬入出口は、搬入口と搬出口とが兼用のものに限らず、搬入口と搬出口とが各別のものであってもよい。
【００１７】
本発明の第４特徴構成は、
前記連通口を通じて前記ワーク処理空間に連通し、かつ、前記周辺空間に対して開口する外部開口を備える補助室を設け、
前記連通口のベルマウス構造化とともに、前記外部開口を、拡張側開口が前記補助室に対して開口するベルマウス構造にしてある点にある。
【００１８】
この構成によれば、連通口において前述の如くベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止するのに加えて、連通口と直列な上記外部開口についても同様にベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間における低湿環境の安定化やワーク処理空間の低湿化促進を一層確実かつ効果的に達成することができる。
【００１９】
なお、この構成の実施においては、補助室を直列配置の複数の補助分室に区画し、補助分室どうしを連通する分室連通口も、拡張側開口が上流側の補助分室に対して開口するベルマウス構造にするようにしてもよい。
【００２０】
本発明の第５特徴構成は、
前記給気手段による前記ワーク処理空間への除湿空気の供給に伴い前記周辺空間に除湿空気を供給する補助給気手段を設け、
この補助給気手段により前記周辺空間に供給する除湿空気の一部又は全部を、前記周辺空間に供給する通常給気状態から前記ワーク処理空間に供給する非常時給気状態に切り換える給気切換手段を設けてある点にある。
【００２１】
この構成によれば、何らかの原因でワーク処理空間に外部の高湿空気が侵入する状態になったとき、あるいは、その虞が生じたとき、上記の通常給気状態から非常時給気状態に切り換えて、ワーク処理空間に対する除湿空気の供給風量を増大させることにより、その風量増大によるワーク処理空間の気圧上昇をもってワーク処理空間への外部からの高湿空気の侵入を阻止することができ、また、その侵入を阻止した状態での除湿空気の供給によりワーク処理空間の低湿化も継続することができ、これにより、ワーク処理空間への高湿空気侵入によるワーク処理への悪影響を一層確実かつ効果的に防止することができる。
【００２２】
また、通常給気状態では、ワーク処理空間の周辺空間にも除湿空気を供給して、その周辺空間もある程度低湿化することで、ワーク処理空間を一層効果的に低湿化することができる。
【００２３】
なお、この構成の実施において、補助給気手段により供給する除湿空気は、給気手段によりワーク処理空間に供給する除湿空気と湿度が同等程度の空気に限られるものではなく、給気手段によりワーク処理空間に供給する除湿空気よりある程度高湿の空気であってもよい。
【００２４】
本発明の第６特徴構成は、
常閉扉を備える臨時開口を前記隔壁に設け、
前記連通口のベルマウス構造化とともに、前記臨時開口を、拡張側開口が前記ワーク処理空間に対して開口するベルマウス構造にしてある点にある。
【００２５】
この構成によれば、連通口において前述の如くベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止するのに加えて、上記常閉扉が開放されたときにおける臨時開口においても同様に、ベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間における低湿環境の安定化やワーク処理空間の低湿化促進をさらに確実かつ効果的に達成することができる。
【００２６】
本発明の第７特徴構成は、
前記臨時開口における前記常閉扉の開放時に前記ワーク処理空間に対する除湿空気の給気風量を自動的に増大させる風量制御手段を設けてある点にある。
【００２７】
この構成によれば、常閉扉の開放時にワーク処理空間に対する除湿空気の給気風量を自動的に増大させることにより、前述した非常時供給状態への切り換え時と同様に、その風量増大によるワーク処理空間の気圧上昇をもって臨時開口を通じたワーク処理空間への外部からの高湿空気の侵入を阻止することができ、また、その侵入を阻止した状態での除湿空気の供給によりワーク処理空間の低湿化も継続することができ、これにより、ワーク処理空間への高湿空気侵入によるワーク処理への悪影響を一層確実かつ効果的に防止することができる。
【００２８】
本発明の第８特徴構成は、
前記隔壁に、前記ワーク処理空間の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなる差圧ダンパを設けてある点にある。
【００２９】
この構成によれば、上記差圧ダンパの開度変化によりワーク処理空間の気圧変化が抑制されることで、前述した連通口のベルマウス構造化と相俟って、連通口での通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を一層効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間における低湿環境の安定化やワーク処理空間の低湿化促進をさらに確実かつ効果的に達成することができる。
【００３０】
なお、この構成の実施において前述の補助室を設ける場合、上記差圧ダンパはワーク処理空間と補助室との間の隔壁部分に設けて、ワーク処理空間と補助室との気圧差に応じて開度変化させるようにするのが望ましい。
【００３１】
また、その場合、補助室とその外部の周辺空間との間にも、補助室の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなると同様の差圧ダンパを装備するのが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】第１実施形態を示すシステム構成図
【図２】処理域出口の湿度分布を示すグラフ
【図３】ベルマウス構造を示す斜視図
【図４】第２実施形態を示すシステム構成図
【発明を実施するための形態】
【００３３】
〔第１実施形態〕
図１は低湿処理設備を示し、１はリチウム電池の製造などを行なう作業室であり、この作業室１の室内には、局所ドライエリアとして隔壁２により囲ったトンネル状のワーク処理空間３を設けてある。
【００３４】
ワーク処理空間３の一端において隔壁２にはワーク搬入口４を形成し、ワーク処理空間３の他端において隔壁２にはワーク搬出口５を形成し、これらワーク搬入出口４，５（換言すれば、作業室内の周辺空間に対してワーク処理空間３を連通させる連通口）の開口面積は、ワーク処理空間３の内部横断面積より小さく制限してある。
【００３５】
ワーク処理空間３の内部は、ワーク搬出入口４，５を通じてワークＷを搬送する一連のワーク搬送ラインＬにしてあり、ワーク搬入口４を通じてワーク処理空間３に搬入したワークＷを、ワーク処理空間３の内部において所要の低湿度雰囲気下で処理し、処理済のワークＷをワーク搬出口５を通じてワーク処理空間３から搬出する。
【００３６】
ワーク処理空間３の一端側には、ワーク搬入口４の通過に先立ちワークＷを通過させる入口側の補助室６を形成し、ワーク処理空間３の他端側には、ワーク搬出口５を通過したワークＷを通過させる出口側の補助室７を形成してあり、これら入口側補助室６のワーク入口６ａ、及び、出口側補助室７のワーク出口７ａ（換言すれば、作業室内の周辺空間に対して開口する補助室６，７の外部開口）の開口面積も、各補助室６，７の内部横断面積より小さく制限してある。
【００３７】
ワーク処理空間３には内部の空気を排出する排気口３ｂを設けてあり、また同様に、各補助室６，７にも内部の空気を排出する補助室排気口６ｂ，７ｂを設けてある。
【００３８】
８はワーク処理空間３を低湿化する吸着ロータ式除湿機であり、この除湿機８は、吸着剤Ｘを保持させた通気性の吸着ロータ８ａを備え、再生域９とパージ域１０と処理域１１と第２処理域１２と外気処理域１３との５域を、その順に吸着ロータ回転方向Ｒの上手側から並べた状態で吸着ロータ８ａの回転域に区画形成した構造にしてある。
【００３９】
つまり、処理域１１、第２処理域１２、外気処理域１３の夫々では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、それら各域１１〜１３に空気通過させて、それら通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡを各域１１〜１３に位置する吸着ロータ部分に通風することで、それら吸着ロータ部分の保持吸着剤Ｘによる水分吸着により各通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡを除湿し、それら除湿した空気を各域１１〜１３の出口から送出する。
【００４０】
また、再生域９では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、高温の再生用気体ＨＡを再生域９に通過させて、その高温再生用気体ＨＡを再生域９に位置する吸着ロータ部分に通風することで、その吸着ロータ部分における保持吸着剤Ｘの吸着水分（即ち、先の処理域１１、第２処理域１２、外気処理域１３での吸着水分）を高温再生用気体ＨＡに脱着させ、これにより、その吸着ロータ部分の保持吸着剤Ｘを再生する。
【００４１】
そしてまた、パージ域１０では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、パージ用気体ＰＡをパージ域１０に通過させて、そのパージ用気体ＰＡをパージ域１０に位置する吸着ロータ部分に通風することで、その吸着ロータ部分（即ち、先の再生域通過で昇温した吸着ロータ部分）を次の処理域１１への移行に先立ち冷却するとともに、その吸着ロータ部分に残存する再生用気体ＨＡを掃気する。
【００４２】
なお、この除湿機８では、再生域９から再生域出口路１４へ排出される使用済再生用気体ＨＡ′の一部ＨＡ″を循環路１５を通じて再生用加熱器１６に導くとともに、パージ域１０から排出される使用済パージ用気体ＰＡ′をパージ域出口路１７を通じて同じく再生用加熱器１６に導き、これら使用済再生用気体ＨＡ′の一部ＨＡ″と使用済パージ用気体ＰＡ′との混合気体を再生用加熱器１６で加熱して、その混合加熱気体を高温再生用気体ＨＡとして再生域入口路１８を通じ再生域９に送給する。
【００４３】
また、再生域９から再生域出口路１４へ排出される使用済再生用気体ＨＡ′のうち、循環路１５を通じて再生用加熱器１６に導くもの以外は再生域出口路１４を通じて外部へ排出する。
【００４４】
処理域１１と第２処理域１２と外気処理域１３との３域夫々での通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡに対する除湿効果を比較すると、再生域９及びパージ域１０を通過した再生処理直後の吸着ロータ部分が通過する処理域１１での除湿効果が最も高いが、処理域１１だけを見た場合、吸着ロータ式除湿機８では一般に、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布に図２のグラフＢに示す如き吸着ロータ回転方向Ｒでの偏りが生じ、極言すれば、相対的に除湿度の高くて低湿の除湿空気ＳＡ１と、相対的に除湿度が低くて高湿の除湿空気ＳＡ２とが処理域１１の出口から並列的に送出される状態になる。
【００４５】
このことに着目して本例の除湿機８では、上記湿度分布に従って処理域１１の出口を、除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１が送出される第１出口１１Ｘと、除湿度の低い第２除湿空気ＳＡ２が送出される第２出口１１Ｙとに吸着ロータ回転方向Ｒで区分し、第１出口１１Ｘから送出される第１除湿空気ＳＡ１（例えば露点温度−８０℃の除湿空気）を第１給気路１９ａを通じワーク処理空間３に供給することで、ワーク処理空間３をワーク処理に必要な低湿度状態（例えば露点温度−７０℃以下）に調整するようにしてある。
【００４６】
また、第２出口１１Ｙから送出される第２除湿空気ＳＡ２（例えば露点温度−６０℃の除湿空気）を、作業室１の室内（即ち、作業室１におけるワーク処理空間３の周辺空間）に第２給気路１９ｂを通じて供給することで、作業室１の室内（周辺空間）をサブドライエリアとしてワーク処理空間３に準じた低湿度状態（例えば露点温度−３０℃以下）に調整する。
【００４７】
即ち、除湿機８および第１給気路１９ａは、除湿度の高い除湿空気をワーク処理空間３に供給してワーク処理空間３を低湿環境にする低湿化用の給気手段を構成する。
また、除湿機８及び第２給気路１９ｂは、除湿度の低い除湿空気をワーク処理空間３の周辺空間に供給して、その周辺空間をワーク処理空間３に準じた低湿環境にする補助給気手段を構成する。
【００４８】
具体的には、本例の除湿機８では、処理域１１の出口における上記湿度分布が、同図２のグラフＢに示す如く、吸着ロータ回転方向Ｒにおける処理域１１の中央よりも少し吸着ロータ回転方向Ｒの上手側の部分に最も低湿度となる底部が形成される湿度分布になることに従って、処理域１１の出口を、吸着ロータ回転方向Ｒの上手側に位置する上手側出口１１ａと、吸着ロータ回転方向Ｒの下手側に位置する下手側出口１１ｂと、それら上手側出口１１ａと下手側出口１１ｂとの間に位置する中央出口１１ｃとに３分割し、これら区分出口のうち上記湿度分布の最底部と、それに続く深底部とに対応位置する中央出口１１ｃを上記第１出口１１Ｘとし、上手側出口１１ａと下手側出口１１ｂとの夫々を上記第２出口１１Ｙとしてある。
【００４９】
厳密に言えば、上記湿度分布の最底部と、それに続く深底部とが中央出口１１ｃの開口範囲内に対応位置するように、上記３つの分割出口１１ａ〜１１ｃの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲を互いに異ならせてあり、特に、中央出口１１ｃの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲を、下手側出口１１ｂの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲より小さくしてある。
【００５０】
つまり、このように処理域１１から送出される除湿空気ＳＡのうち相対的に除湿度が高くて低湿な第１除湿空気ＳＡ１のみをワーク処理空間３に供給することで、処理域１１から送出される除湿空気ＳＡの全量をワーク処理空間３に供給するのに比べ、ワーク処理空間３を一層効果的かつ効率的に低湿化し得るようにしてある。
【００５１】
また、第２出口１１Ｙから送出される第２除湿空気ＳＡ２を作業室１におけるワーク処理空間３の周辺空間に供給して、その周辺空間（作業室１内）もワーク処理空間３に準じた低湿度状態にすることで、ワーク処理空間３における低湿度状態をより安定的に保持し得るようにしてある。
【００５２】
なお、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布に上記の如き吸着ロータ回転方向Ｒでの偏りが生じるのは、処理域１１に位置する吸着ロータ部分に進入した除湿対象空気ＭＡが吸着ロータ８ａの回転により吸着ロータ回転方向Ｒの下手側へ若干位置ズレした状態で処理域１１の出口から除湿空気ＳＡとして送出されることと、処理域１１内でも吸着ロータ回転方向Ｒの下手側ほど保持吸着剤Ｘの吸着水分量が多くなって除湿効果が徐々に低下することとの相互関係や、パージ域１０から処理域１１に移行した直後の吸着ロータ部分が未だ十分に冷却されていないことなどが一因になっていると推察される。
【００５３】
ワーク処理空間３は開口面積を制限したワーク搬出入口４，５の通気抵抗、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７の存在により、除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１の充満状態に保持されるが、第１給気路１９ａを通じた第１除湿空気ＳＡ１の供給に伴いワーク処理空間３から排出される第１排出空気ＲＡ１は、一部を排気口３ｂを通じて第１還気路２０へ排出し、残部はワーク搬出入口４，５を通じて入口側及び出口側の補助室６，７に受け入れる。
【００５４】
そして、ワーク搬出入口４，５を通じて各補助室６，７に受け入れたワーク処理空間３からの第１排出空気ＲＡ１の一部は、入口側補助室６のワーク入口６ａ及び出口側補助室７のワーク出口７ａを通じて作業室１における周辺空間に受け入れ、他方、ワーク搬出入口４，５を通じて各補助室６，７に受け入れたワーク処理空間３からの第１排出空気ＲＡ１の残部は、補助室排出空気として各補助室６，７の補助室排気口６ｂ，７ｂを通じて第１還気路２０へ排出し、これら補助室排出空気ＲＡ１はワーク処理空間３の排気口３ｂを通じて排出された第１排出空気ＲＡ１とともに第１還気路２０を通じて処理域１１に還送する。
【００５５】
これに対し、第２給気路１９ｂを通じた第２除湿空気ＳＡ２の供給、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７を通じた第１排出空気ＲＡ１の受け入れに伴いサブドライエリアとしての作業室１から排出される第２排出空気ＲＡ２は、その一部を排気路２１を通じて系外に排出し、残部を第２還気路２２を通じ第２処理域１２に送給して第２処理域１２に位置する吸着ロータ部分に通風することで除湿する。
【００５６】
また、外気路２３を通じて導く外気ＯＡを外気処理域１３に送給して外気処理域１３に位置する吸着ロータ部分に通風することで除湿する。
【００５７】
そして、第２処理域１２から送出される除湿第２排出空気ＲＡ２′を第２処理域出口路２４を通じて、第１還気路２０が導く第１排出空気ＲＡ１に合流させるとともに、外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′を外気処理域出口路２５を通じて、同じく第１還気路２０が導く第１排出空気ＲＡ１に合流させ、これにより、ワーク処理空間３の排気口３ｂから排出される低湿の第１排出空気ＲＡ１と、補助室排気口６ｂ，７ｂから排出される補助室排出空気ＲＡ１（実質的にはワーク処理空間３から排出される低湿の第１排出空気）と、第２処理域１２から送出される除湿第２排出空気ＲＡ２′と、外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′とを混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気（即ち、ワーク処理空間３及び作業室１における周辺空間に供給する除湿空気ＳＡの原空気）として処理域１１に送給する。
【００５８】
つまり、処理域１１よりも除湿効果の低い第２処理域１２で予め除湿した除湿第２排出空気ＲＡ２′及び、第２処理域１２よりもさらに除湿効果の低い外気処理域１３で予め除湿した除湿外気ＯＡ′を低湿の第１排出空気ＲＡ１に混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気として処理域１１に送給することで、外気混合による湿度面での混合損失、及び、排気混合による湿度面での混合損失を回避して、処理域１１の除湿負荷を軽減し、これにより、前述した第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙとの区分によるワーク処理空間３の低湿化促進と相俟って、ワーク処理空間３を一層効率的かつ効果的に低湿化し得るようにしてある。
【００５９】
なお、パージ域１０に通過させるパージ用気体ＰＡについては、外気処理域１３から外気処理域出口路２５へ送出される除湿外気ＯＡ′の一部を外気処理域出口路２５からパージ域入口路２５Ｂへ分流させて、その分流除湿外気ＯＡ′をパージ用気体としてパージ域１０に通過させるようにしてある。
【００６０】
サブドライエリアとしての作業室１に第２除湿空気ＳＡ２を供給する第２給気路１９ｂには、給気切換手段として、第２給気路１９ｂから分岐してワーク処理空間３に接続した分岐給気路２６を設けるとともに、第２除湿空気ＳＡ２を第２給気路１９ｂを通じて作業室１に供給する通常給気状態と、第２除湿空気ＳＡ２を第２給気路１９ｂから分岐給気路２６を通じてワーク処理空間３に供給する非常時給気状態とに、第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を切り換える給気切換ダンパ２７を設けてある。
【００６１】
即ち、ワーク処理空間３の隔壁２に設けられた常閉扉である非常用ドア２８ａが開かれるなどして、作業室１の室内空気などの相対的に高湿な外部空気がワーク処理空間３に侵入する状態になったとき、ないし、その虞が生じたときには、上記給気切換ダンパ２７により第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を上記の通常給気状態から非常時給気状態に切り換えて、第２除湿空気ＳＡ２の一部又は全部を第１除湿空気ＳＡ１とともにワーク処理空間３に供給することで、ワーク処理空間３の気圧を上昇させてワーク処理空間３への外部空気の侵入を防止するとともに、その侵入防止状態での第１及び第２除湿空気ＳＡ１，ＳＡ２の供給により、ワーク処理空間３の低湿状態を確実かつ安定的に保持し得るようにしてある。
【００６２】
なお、非常用ドア２８ａが開かれたとき給気切換ダンパ２７を切り換えて、第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を通常給気状態から非常時給気状態に切り換える場合、ドアセンサにより非常用ドア２８ａの開扉を検知したり、ワーク処理空間３の気圧を圧力センサにより検出して、その気圧検出に基づき非常用ドア２８ａの開扉を検知し、これら開扉検知に基づいて給気切換ダンパ２７を自動的に切り換え動作させる風量制御手段を設けるのが望ましい。
【００６３】
換言すれば、この風量制御手段は、常閉扉の開放時にワーク処理空間３に対する除湿空気の給気風量を自動的に増大させる。
【００６４】
図１においてＦはファンを示し、また、Ｖは風量調整用のダンパを示す。
【００６５】
周辺空間に対する連通口であるワーク処理空間３のワーク搬出入口４，５、並びに、周辺空間に対して開口する外部開口である各補助室６，７のワーク入出口６ａ，７ａの夫々は、図１及び図３に示すように、拡張側開口２９ａが上流側（即ち、ワーク処理空間３の側）に対して開口し、かつ、縮小側開口２９ｂが下流側（即ち、周辺空間の側）に対して開口するラッパ状のベルマウス構造にしてある。
【００６６】
また、非常用ドア２８ａを装備した臨時開口としての非常口２８も同様のベルマウス構造にしてある。
【００６７】
つまり、上記ベルマウス構造による気流案内により各口４，５，６ａ，７ａ，２８の通過気流を乱れの少ない円滑かつ安定的な気流し、これにより、通過気流の乱れによる部分的な渦流や逆流に原因して各口下流側の相対的に高湿な空気が各口の上流側へ侵入することを防止し、そのことで、ワーク処理空間３を一層確実かつ安定的にワーク処理に適した低湿環境に保ち得るように、また、ワーク処理空間３を一層効果的かつ効率的に低湿化し得るようにしてある。
【００６８】
上記ベルマウス構造について具体的には、縦断面視において筒孔の内周面が拡張側開口２９ａの側ほど筒孔中心軸芯ｐから大きく離間する湾曲形状（即ち、ラッパ状）の筒体２９ｃを開口形成部材とし、その筒体２９ｃをワーク処理空間３の隔壁２や補助室６，７の室壁に対して貫通状態に装備することで、その筒体２９ｃの筒孔を上記の各口４，５，６ａ，７ａ，２８にしてある。
【００６９】
筒体２９ｃは、その拡張側開口２９ａがワーク処理空間３の隔壁２や補助室６，７の室壁における壁面上に位置する状態にして装備してあり、筒体２９ｃにおける縮小側開口２９ｂの部分は、ワーク処理空間３の隔壁２や補助室６，７の室壁から空気通過方向の下流側へ突出させてある。
【００７０】
また、壁から突出させる筒体２９ｃの縮小側開口部は、筒孔中心軸芯ｐ（即ち、ベルマウス中心軸芯）の方向に延びる直筒状部２９ｄにしてあり、この直筒状部２９ｄによる通過気流の案内により、上記ベルマウス構造による通過気流の案内と相俟って、各口４，５，６ａ，７ａ，２８における通過気流を一層乱れの少ないものにする。
【００７１】
なお、筒体２９ｃにおける筒孔の横断面形状は円形に限られるものではなく、四角形やその他の多角形あるいは楕円形状などであってもよい。
【００７２】
ワーク処理空間３と各補助室６，７との間の隔壁部分には、ワーク処理空間３の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなる差圧ダンパ３０を装備してあり、また、各補助室６，７と周辺空間との間の仕切壁部分にも、各補助室６，７の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなる同様の差圧ダンパ３１を装備してある。
【００７３】
即ち、これら差圧ダンパ３０の開度変化により、ワーク処理空間３や各補助室６，７の気圧変動を抑制することで、前記した各口４，５，６ａ，７ａ，２８のベルマウス構造化と相俟って、各口４，５，６ａ，７ａ，２８での通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を一層確実かつ効果的に防止する。
【００７４】
〔第２実施形態〕
図４は、ワーク処理空間３に要求される低湿度条件が比較的緩くて高湿で、ワーク処理空間３と作業室１における周辺空間との湿度差条件が比較的小さい場合に好適な簡易式の低湿ワーク処理設備を示す。
【００７５】
この簡易式の低湿ワーク処理設備では、第１実施形態の低湿ワーク処理設備との主な相違点として、第２処理域１２、第２還気路２２、ワーク処理空間３の排気口３ｂ、補助室排気口６ｂ，７ｂを省略してある。
【００７６】
そして、第１給気路１９ａを通じた第１除湿空気ＳＡ１の供給に伴いワーク処理空間３から排出される第１排出空気ＲＡ１は、その全量をワーク搬出入口４，５から入口側及び出口側の補助室６，７を通じてサブドライエリアとしての作業室１内に受け入れる。
【００７７】
また、第２給気路１９ｂを通じた第２除湿空気ＳＡ２の供給、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７を通じた第１排出空気ＲＡ１の受け入れに伴いサブドライエリアとしての作業室１から排出される第２排出空気ＲＡ２は、その一部を排気路２１を通じて系外に排出し、残部は還気路２２Ａを通じて処理域１１に送給する。
【００７８】
外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′は、外気処理域出口路２５Ａを通じて還気路２２Ａにおける第２排出空気ＲＡ２に合流させ、これにより、サブドライエリアとしての作業室１からの第２排出空気ＲＡ２と除湿外気ＯＡ′とを混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気として処理域１１に送給するようにしてある。
【００７９】
ワーク処理空間３のワーク搬出入口４，５、各補助室６，７のワーク入出口６ａ，７ａ、非常用ドア２８ａを備える非常口２８の夫々は、第１実施形態と同様、ベルマウス構造にしてあり、また、ワーク処理空間３と各補助室６，７との間の隔壁部分、及び、各補助室６，７と周辺空間との間の仕切壁部分には、第１実施形態と同様の差圧ダンパ３０，３１を装備してある。
【００８０】
なお、第１実施形態の低湿処理設備と同等の構成部分については、第１実施形態で用いた符号と同一の符号を付してある。
【００８１】
〔別実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
【００８２】
前述の実施形態では、除湿機８における処理域１１の出口を第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙと区分して、第１出口１１Ｘから送出される除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１をワーク処理空間３に供給し、第２出口１１Ｙから送出される除湿度の低い第２除湿空気ＳＡ２をワーク処理空間３の周辺空間に供給する例を示したが、これに代え、ワーク処理空間３に供給する除湿空気とその周辺空間に供給する除湿空気とを各別の除湿機により生成すうようにしてもよく、また、周辺空間に対する除湿空気の供給を省略して、ワーク処理空間３にのみ除湿空気を供給するようにしてもよい。
【００８３】
前述の実施形態では、各口４，５，６ａ，７ａ，２８をベルマウス構造２９にするのに、拡張側開口２９ａが壁面上に位置するように筒体２９ｃを装備したが、逆に、縮小側開口２９ｂを壁面上に位置させて拡張側開口２９ａの部分を壁面から突出させるように筒体２９ｃを配置してもよく、また、拡張側開口２９ａの部分と縮小側開口２９ｂの部分との両方を互いに逆向きに壁面から突出させるように筒体２９ｃを配置してもよい。
【００８４】
ベルマウス構造２９にしてワーク処理空間３の隔壁２に設ける連通口は、ワーク搬入出口に限られるものではなく、ワーク処理機器の移動用開口やワーク処理操作の操作用開口、あるいは、点検口などの常閉扉を備える臨時開口など、どのような用途の開口であってもよい。
【００８５】
また、ワーク処理空間３の用途も、リチウム電池の製造に限らず、低湿度環境を必要とする用途であれば、どのような用途であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明による低湿処理設備は、低湿度環境を要する各種分野において、その低湿度環境の形成に適用することができる。
【符号の説明】
【００８７】
４，５ 連通口，ワーク搬入出口
２ 隔壁
３ ワーク処理空間
ＳＡ１，ＳＡ２ 除湿空気
８，１９ａ 給気手段
２９ａ 拡張側開口
２９ ベルマウス構造
２９ｄ 直筒状部
６ａ，７ａ 外部開口
６，７ 補助室
８，１９ｂ 補助給気手段
２６，２７ 給気切換手段
２８ａ 常閉扉
２８ 臨時開口
３０ 差圧ダンパ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばリチウム電池の生産ラインなど、高度の低湿環境においてワークの処理を行なう低湿処理設備に関し、
詳しくは、周辺空間に対する連通口を備える隔壁によりワーク処理空間を囲い、このワーク処理空間に除湿空気を供給して、前記ワーク処理空間を低湿環境にする低湿化用の給気手段を備える低湿処理設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の低湿処理設備として、除湿空気（ドライエア）の供給により内部を高度の低湿環境（例えば、露点温度が−６０℃）にするトンネル状のワーク処理空間を設け、このワーク処理空間に複数の抵抗板をワーク搬送方向に並べて設置し、これら抵抗板にワークを通過させる開口を形成することで、それら抵抗板によりワーク移動に伴うワーク処理空間での圧力変動を抑制して、ワーク処理空間を安定した低湿環境に保つようにするものが提案されている。
【０００３】
そして、この設備においては、抵抗板に形成する開口（単に板材を切り抜いた状態の開口）を、抵抗板に沿うスライド板の移動により開口面積の調整が可能な開口にしたり、搬送ワークの当接に伴う弾性変形で開くゴム板製の押し開き扉を備える開口にすることが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２３９４３７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記した従来設備では、ワーク処理空間への除湿空気の供給に伴い、抵抗板における上記切り抜き状の開口を通じて（扉を備える開口ではその扉が開放されたときに）ワーク処理空間から外部の周辺空間に向かう空気流が生じるが、この空気流が抵抗板の切り抜き状開口を通過する際、通過空気の流れ（特に開口縁部における通過空気の流れ）に乱れが生じて部分的な渦流や逆流が発生し、この気流乱れのために、各々の抵抗板において抵抗板の下流側（周辺空間側）における相対的に高湿な空気が抵抗板の上流側に侵入し、これが原因でワーク処理空間の低湿環境が不安定になるとともに平均湿度が高くなって、ワーク処理空間でのワーク処理に悪影響を及ぼす問題があった。
【０００６】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、開口構造に対する合理的な改良により上記の如き問題を効果的に解消する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１特徴構成は、
周辺空間に対する連通口を備える隔壁によりワーク処理空間を囲い、このワーク処理空間に除湿空気を供給して、前記ワーク処理空間を低湿環境にする低湿化用の給気手段を備える低湿処理設備であって、
前記連通口を、拡張側開口が前記ワーク処理空間に対して開口するベルマウス構造にしてある点にある。
【０００８】
この構成によれば、ワーク処理空間への除湿空気の供給に伴い連通口を通じてワーク処理空間から周辺空間に向かう空気流が生じることにおいて、連通口における通過空気の流れ（特に連通口の入口部における流れ）を、上記ベルマウス構造による気流案内により乱れの少ない円滑かつ安定的な流れにすることができて、連通口を先述した従来設備における抵抗板開口の如き単なる切り抜き状の開口にするのに比べ、通過気流の乱れに原因する連通口の下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間を一層安定的にワーク処理に適した低湿環境に保つことができる。
【０００９】
また、ワーク処理空間の低湿化も一層促進することができて、その分、ワーク処理空間に対する除湿空気の供給風量を低減するなどして運転コストを低減する、あるいは、ワーク処理空間を平均湿度のより低い一層高度な低湿環境にすることもできる。
【００１０】
なお、この構成の実施において、連通口はどのような用途の開口であってもよく、また、常開の開口に限らず、扉を備える開閉可能な開口であってもよい。
【００１１】
さらに、上記ベルマウス構造の横断面形状も円形に限られるものではなく、三角形や四角形あるいはそれ以上の多角形であってもよく、また、楕円などであってもよい。
【００１２】
本発明の第２特徴構成は、
前記連通口のベルマウス構造における縮小側開口部をベルマウス構造の中心軸芯方向に延びる直筒状部にしてある点にある。
【００１３】
この構成によれば、ベルマウス構造による気流案内とそれに続く上記直筒状部による気流案内との協働により、連通口における通過空気の流れ（特に連通口の出口部における流れ）を一層乱れの少ない円滑かつ安定的な流れにすることができて、通過気流の乱れに原因する連通口の下流側から上流側への高湿空気の侵入を一層効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間をさらに安定的にワーク処理に適した低湿環境に保つことができ、また、ワーク処理空間の低湿化もさらに効果的に促進することができる。
【００１４】
本発明の第３特徴構成は、
前記連通口が、前記ワーク処理空間に対するワーク搬入出口である点にある。
【００１５】
この構成によれば、ワーク搬入出のために常開となる、ないしは、頻繁に開放されるワーク搬入出口において、前述の如くベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止するから、ワーク処理空間における低湿環境の安定化やワーク処理空間の低湿化促進をより確実かつ効果的に達成することができる。
【００１６】
なお、この構成の実施において、ワーク搬入出口は、搬入口と搬出口とが兼用のものに限らず、搬入口と搬出口とが各別のものであってもよい。
【００１７】
本発明の第４特徴構成は、
前記連通口を通じて前記ワーク処理空間に連通し、かつ、前記周辺空間に対して開口する外部開口を備える補助室を設け、
前記連通口のベルマウス構造化とともに、前記外部開口を、拡張側開口が前記補助室に対して開口するベルマウス構造にしてある点にある。
【００１８】
この構成によれば、連通口において前述の如くベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止するのに加えて、連通口と直列な上記外部開口についても同様にベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間における低湿環境の安定化やワーク処理空間の低湿化促進を一層確実かつ効果的に達成することができる。
【００１９】
なお、この構成の実施においては、補助室を直列配置の複数の補助分室に区画し、補助分室どうしを連通する分室連通口も、拡張側開口が上流側の補助分室に対して開口するベルマウス構造にするようにしてもよい。
【００２０】
本発明の第５特徴構成は、
前記給気手段による前記ワーク処理空間への除湿空気の供給に伴い前記周辺空間に除湿空気を供給する補助給気手段を設け、
この補助給気手段により前記周辺空間に供給する除湿空気の一部又は全部を、前記周辺空間に供給する通常給気状態から前記ワーク処理空間に供給する非常時給気状態に切り換える給気切換手段を設けてある点にある。
【００２１】
この構成によれば、何らかの原因でワーク処理空間に外部の高湿空気が侵入する状態になったとき、あるいは、その虞が生じたとき、上記の通常給気状態から非常時給気状態に切り換えて、ワーク処理空間に対する除湿空気の供給風量を増大させることにより、その風量増大によるワーク処理空間の気圧上昇をもってワーク処理空間への外部からの高湿空気の侵入を阻止することができ、また、その侵入を阻止した状態での除湿空気の供給によりワーク処理空間の低湿化も継続することができ、これにより、ワーク処理空間への高湿空気侵入によるワーク処理への悪影響を一層確実かつ効果的に防止することができる。
【００２２】
また、通常給気状態では、ワーク処理空間の周辺空間にも除湿空気を供給して、その周辺空間もある程度低湿化することで、ワーク処理空間を一層効果的に低湿化することができる。
【００２３】
なお、この構成の実施において、補助給気手段により供給する除湿空気は、給気手段によりワーク処理空間に供給する除湿空気と湿度が同等程度の空気に限られるものではなく、給気手段によりワーク処理空間に供給する除湿空気よりある程度高湿の空気であってもよい。
【００２４】
本発明の第６特徴構成は、
常閉扉を備える臨時開口を前記隔壁に設け、
前記連通口のベルマウス構造化とともに、前記臨時開口を、拡張側開口が前記ワーク処理空間に対して開口するベルマウス構造にしてある点にある。
【００２５】
この構成によれば、連通口において前述の如くベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止するのに加えて、上記常閉扉が開放されたときにおける臨時開口においても同様に、ベルマウス構造による気流案内により通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間における低湿環境の安定化やワーク処理空間の低湿化促進をさらに確実かつ効果的に達成することができる。
【００２６】
本発明の第７特徴構成は、
前記臨時開口における前記常閉扉の開放時に前記ワーク処理空間に対する除湿空気の給気風量を自動的に増大させる風量制御手段を設けてある点にある。
【００２７】
この構成によれば、常閉扉の開放時にワーク処理空間に対する除湿空気の給気風量を自動的に増大させることにより、前述した非常時供給状態への切り換え時と同様に、その風量増大によるワーク処理空間の気圧上昇をもって臨時開口を通じたワーク処理空間への外部からの高湿空気の侵入を阻止することができ、また、その侵入を阻止した状態での除湿空気の供給によりワーク処理空間の低湿化も継続することができ、これにより、ワーク処理空間への高湿空気侵入によるワーク処理への悪影響を一層確実かつ効果的に防止することができる。
【００２８】
本発明の第８特徴構成は、
前記隔壁に、前記ワーク処理空間の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなる差圧ダンパを設けてある点にある。
【００２９】
この構成によれば、上記差圧ダンパの開度変化によりワーク処理空間の気圧変化が抑制されることで、前述した連通口のベルマウス構造化と相俟って、連通口での通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を一層効果的に防止することができ、これにより、ワーク処理空間における低湿環境の安定化やワーク処理空間の低湿化促進をさらに確実かつ効果的に達成することができる。
【００３０】
なお、この構成の実施において前述の補助室を設ける場合、上記差圧ダンパはワーク処理空間と補助室との間の隔壁部分に設けて、ワーク処理空間と補助室との気圧差に応じて開度変化させるようにするのが望ましい。
【００３１】
また、その場合、補助室とその外部の周辺空間との間にも、補助室の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなると同様の差圧ダンパを装備するのが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】第１実施形態を示すシステム構成図
【図２】処理域出口の湿度分布を示すグラフ
【図３】ベルマウス構造を示す斜視図
【図４】第２実施形態を示すシステム構成図
【発明を実施するための形態】
【００３３】
〔第１実施形態〕
図１は低湿処理設備を示し、１はリチウム電池の製造などを行なう作業室であり、この作業室１の室内には、局所ドライエリアとして隔壁２により囲ったトンネル状のワーク処理空間３を設けてある。
【００３４】
ワーク処理空間３の一端において隔壁２にはワーク搬入口４を形成し、ワーク処理空間３の他端において隔壁２にはワーク搬出口５を形成し、これらワーク搬入出口４，５（換言すれば、作業室内の周辺空間に対してワーク処理空間３を連通させる連通口）の開口面積は、ワーク処理空間３の内部横断面積より小さく制限してある。
【００３５】
ワーク処理空間３の内部は、ワーク搬出入口４，５を通じてワークＷを搬送する一連のワーク搬送ラインＬにしてあり、ワーク搬入口４を通じてワーク処理空間３に搬入したワークＷを、ワーク処理空間３の内部において所要の低湿度雰囲気下で処理し、処理済のワークＷをワーク搬出口５を通じてワーク処理空間３から搬出する。
【００３６】
ワーク処理空間３の一端側には、ワーク搬入口４の通過に先立ちワークＷを通過させる入口側の補助室６を形成し、ワーク処理空間３の他端側には、ワーク搬出口５を通過したワークＷを通過させる出口側の補助室７を形成してあり、これら入口側補助室６のワーク入口６ａ、及び、出口側補助室７のワーク出口７ａ（換言すれば、作業室内の周辺空間に対して開口する補助室６，７の外部開口）の開口面積も、各補助室６，７の内部横断面積より小さく制限してある。
【００３７】
ワーク処理空間３には内部の空気を排出する排気口３ｂを設けてあり、また同様に、各補助室６，７にも内部の空気を排出する補助室排気口６ｂ，７ｂを設けてある。
【００３８】
８はワーク処理空間３を低湿化する吸着ロータ式除湿機であり、この除湿機８は、吸着剤Ｘを保持させた通気性の吸着ロータ８ａを備え、再生域９とパージ域１０と処理域１１と第２処理域１２と外気処理域１３との５域を、その順に吸着ロータ回転方向Ｒの上手側から並べた状態で吸着ロータ８ａの回転域に区画形成した構造にしてある。
【００３９】
つまり、処理域１１、第２処理域１２、外気処理域１３の夫々では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、それら各域１１〜１３に空気通過させて、それら通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡを各域１１〜１３に位置する吸着ロータ部分に通風することで、それら吸着ロータ部分の保持吸着剤Ｘによる水分吸着により各通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡを除湿し、それら除湿した空気を各域１１〜１３の出口から送出する。
【００４０】
また、再生域９では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、高温の再生用気体ＨＡを再生域９に通過させて、その高温再生用気体ＨＡを再生域９に位置する吸着ロータ部分に通風することで、その吸着ロータ部分における保持吸着剤Ｘの吸着水分（即ち、先の処理域１１、第２処理域１２、外気処理域１３での吸着水分）を高温再生用気体ＨＡに脱着させ、これにより、その吸着ロータ部分の保持吸着剤Ｘを再生する。
【００４１】
そしてまた、パージ域１０では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、パージ用気体ＰＡをパージ域１０に通過させて、そのパージ用気体ＰＡをパージ域１０に位置する吸着ロータ部分に通風することで、その吸着ロータ部分（即ち、先の再生域通過で昇温した吸着ロータ部分）を次の処理域１１への移行に先立ち冷却するとともに、その吸着ロータ部分に残存する再生用気体ＨＡを掃気する。
【００４２】
なお、この除湿機８では、再生域９から再生域出口路１４へ排出される使用済再生用気体ＨＡ′の一部ＨＡ″を循環路１５を通じて再生用加熱器１６に導くとともに、パージ域１０から排出される使用済パージ用気体ＰＡ′をパージ域出口路１７を通じて同じく再生用加熱器１６に導き、これら使用済再生用気体ＨＡ′の一部ＨＡ″と使用済パージ用気体ＰＡ′との混合気体を再生用加熱器１６で加熱して、その混合加熱気体を高温再生用気体ＨＡとして再生域入口路１８を通じ再生域９に送給する。
【００４３】
また、再生域９から再生域出口路１４へ排出される使用済再生用気体ＨＡ′のうち、循環路１５を通じて再生用加熱器１６に導くもの以外は再生域出口路１４を通じて外部へ排出する。
【００４４】
処理域１１と第２処理域１２と外気処理域１３との３域夫々での通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡに対する除湿効果を比較すると、再生域９及びパージ域１０を通過した再生処理直後の吸着ロータ部分が通過する処理域１１での除湿効果が最も高いが、処理域１１だけを見た場合、吸着ロータ式除湿機８では一般に、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布に図２のグラフＢに示す如き吸着ロータ回転方向Ｒでの偏りが生じ、極言すれば、相対的に除湿度の高くて低湿の除湿空気ＳＡ１と、相対的に除湿度が低くて高湿の除湿空気ＳＡ２とが処理域１１の出口から並列的に送出される状態になる。
【００４５】
このことに着目して本例の除湿機８では、上記湿度分布に従って処理域１１の出口を、除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１が送出される第１出口１１Ｘと、除湿度の低い第２除湿空気ＳＡ２が送出される第２出口１１Ｙとに吸着ロータ回転方向Ｒで区分し、第１出口１１Ｘから送出される第１除湿空気ＳＡ１（例えば露点温度−８０℃の除湿空気）を第１給気路１９ａを通じワーク処理空間３に供給することで、ワーク処理空間３をワーク処理に必要な低湿度状態（例えば露点温度−７０℃以下）に調整するようにしてある。
【００４６】
また、第２出口１１Ｙから送出される第２除湿空気ＳＡ２（例えば露点温度−６０℃の除湿空気）を、作業室１の室内（即ち、作業室１におけるワーク処理空間３の周辺空間）に第２給気路１９ｂを通じて供給することで、作業室１の室内（周辺空間）をサブドライエリアとしてワーク処理空間３に準じた低湿度状態（例えば露点温度−３０℃以下）に調整する。
【００４７】
即ち、除湿機８および第１給気路１９ａは、除湿度の高い除湿空気をワーク処理空間３に供給してワーク処理空間３を低湿環境にする低湿化用の給気手段を構成する。
また、除湿機８及び第２給気路１９ｂは、除湿度の低い除湿空気をワーク処理空間３の周辺空間に供給して、その周辺空間をワーク処理空間３に準じた低湿環境にする補助給気手段を構成する。
【００４８】
具体的には、本例の除湿機８では、処理域１１の出口における上記湿度分布が、同図２のグラフＢに示す如く、吸着ロータ回転方向Ｒにおける処理域１１の中央よりも少し吸着ロータ回転方向Ｒの上手側の部分に最も低湿度となる底部が形成される湿度分布になることに従って、処理域１１の出口を、吸着ロータ回転方向Ｒの上手側に位置する上手側出口１１ａと、吸着ロータ回転方向Ｒの下手側に位置する下手側出口１１ｂと、それら上手側出口１１ａと下手側出口１１ｂとの間に位置する中央出口１１ｃとに３分割し、これら区分出口のうち上記湿度分布の最底部と、それに続く深底部とに対応位置する中央出口１１ｃを上記第１出口１１Ｘとし、上手側出口１１ａと下手側出口１１ｂとの夫々を上記第２出口１１Ｙとしてある。
【００４９】
厳密に言えば、上記湿度分布の最底部と、それに続く深底部とが中央出口１１ｃの開口範囲内に対応位置するように、上記３つの分割出口１１ａ〜１１ｃの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲を互いに異ならせてあり、特に、中央出口１１ｃの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲を、下手側出口１１ｂの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲より小さくしてある。
【００５０】
つまり、このように処理域１１から送出される除湿空気ＳＡのうち相対的に除湿度が高くて低湿な第１除湿空気ＳＡ１のみをワーク処理空間３に供給することで、処理域１１から送出される除湿空気ＳＡの全量をワーク処理空間３に供給するのに比べ、ワーク処理空間３を一層効果的かつ効率的に低湿化し得るようにしてある。
【００５１】
また、第２出口１１Ｙから送出される第２除湿空気ＳＡ２を作業室１におけるワーク処理空間３の周辺空間に供給して、その周辺空間（作業室１内）もワーク処理空間３に準じた低湿度状態にすることで、ワーク処理空間３における低湿度状態をより安定的に保持し得るようにしてある。
【００５２】
なお、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布に上記の如き吸着ロータ回転方向Ｒでの偏りが生じるのは、処理域１１に位置する吸着ロータ部分に進入した除湿対象空気ＭＡが吸着ロータ８ａの回転により吸着ロータ回転方向Ｒの下手側へ若干位置ズレした状態で処理域１１の出口から除湿空気ＳＡとして送出されることと、処理域１１内でも吸着ロータ回転方向Ｒの下手側ほど保持吸着剤Ｘの吸着水分量が多くなって除湿効果が徐々に低下することとの相互関係や、パージ域１０から処理域１１に移行した直後の吸着ロータ部分が未だ十分に冷却されていないことなどが一因になっていると推察される。
【００５３】
ワーク処理空間３は開口面積を制限したワーク搬出入口４，５の通気抵抗、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７の存在により、除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１の充満状態に保持されるが、第１給気路１９ａを通じた第１除湿空気ＳＡ１の供給に伴いワーク処理空間３から排出される第１排出空気ＲＡ１は、一部を排気口３ｂを通じて第１還気路２０へ排出し、残部はワーク搬出入口４，５を通じて入口側及び出口側の補助室６，７に受け入れる。
【００５４】
そして、ワーク搬出入口４，５を通じて各補助室６，７に受け入れたワーク処理空間３からの第１排出空気ＲＡ１の一部は、入口側補助室６のワーク入口６ａ及び出口側補助室７のワーク出口７ａを通じて作業室１における周辺空間に受け入れ、他方、ワーク搬出入口４，５を通じて各補助室６，７に受け入れたワーク処理空間３からの第１排出空気ＲＡ１の残部は、補助室排出空気として各補助室６，７の補助室排気口６ｂ，７ｂを通じて第１還気路２０へ排出し、これら補助室排出空気ＲＡ１はワーク処理空間３の排気口３ｂを通じて排出された第１排出空気ＲＡ１とともに第１還気路２０を通じて処理域１１に還送する。
【００５５】
これに対し、第２給気路１９ｂを通じた第２除湿空気ＳＡ２の供給、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７を通じた第１排出空気ＲＡ１の受け入れに伴いサブドライエリアとしての作業室１から排出される第２排出空気ＲＡ２は、その一部を排気路２１を通じて系外に排出し、残部を第２還気路２２を通じ第２処理域１２に送給して第２処理域１２に位置する吸着ロータ部分に通風することで除湿する。
【００５６】
また、外気路２３を通じて導く外気ＯＡを外気処理域１３に送給して外気処理域１３に位置する吸着ロータ部分に通風することで除湿する。
【００５７】
そして、第２処理域１２から送出される除湿第２排出空気ＲＡ２′を第２処理域出口路２４を通じて、第１還気路２０が導く第１排出空気ＲＡ１に合流させるとともに、外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′を外気処理域出口路２５を通じて、同じく第１還気路２０が導く第１排出空気ＲＡ１に合流させ、これにより、ワーク処理空間３の排気口３ｂから排出される低湿の第１排出空気ＲＡ１と、補助室排気口６ｂ，７ｂから排出される補助室排出空気ＲＡ１（実質的にはワーク処理空間３から排出される低湿の第１排出空気）と、第２処理域１２から送出される除湿第２排出空気ＲＡ２′と、外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′とを混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気（即ち、ワーク処理空間３及び作業室１における周辺空間に供給する除湿空気ＳＡの原空気）として処理域１１に送給する。
【００５８】
つまり、処理域１１よりも除湿効果の低い第２処理域１２で予め除湿した除湿第２排出空気ＲＡ２′及び、第２処理域１２よりもさらに除湿効果の低い外気処理域１３で予め除湿した除湿外気ＯＡ′を低湿の第１排出空気ＲＡ１に混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気として処理域１１に送給することで、外気混合による湿度面での混合損失、及び、排気混合による湿度面での混合損失を回避して、処理域１１の除湿負荷を軽減し、これにより、前述した第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙとの区分によるワーク処理空間３の低湿化促進と相俟って、ワーク処理空間３を一層効率的かつ効果的に低湿化し得るようにしてある。
【００５９】
なお、パージ域１０に通過させるパージ用気体ＰＡについては、外気処理域１３から外気処理域出口路２５へ送出される除湿外気ＯＡ′の一部を外気処理域出口路２５からパージ域入口路２５Ｂへ分流させて、その分流除湿外気ＯＡ′をパージ用気体としてパージ域１０に通過させるようにしてある。
【００６０】
サブドライエリアとしての作業室１に第２除湿空気ＳＡ２を供給する第２給気路１９ｂには、給気切換手段として、第２給気路１９ｂから分岐してワーク処理空間３に接続した分岐給気路２６を設けるとともに、第２除湿空気ＳＡ２を第２給気路１９ｂを通じて作業室１に供給する通常給気状態と、第２除湿空気ＳＡ２を第２給気路１９ｂから分岐給気路２６を通じてワーク処理空間３に供給する非常時給気状態とに、第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を切り換える給気切換ダンパ２７を設けてある。
【００６１】
即ち、ワーク処理空間３の隔壁２に設けられた常閉扉である非常用ドア２８ａが開かれるなどして、作業室１の室内空気などの相対的に高湿な外部空気がワーク処理空間３に侵入する状態になったとき、ないし、その虞が生じたときには、上記給気切換ダンパ２７により第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を上記の通常給気状態から非常時給気状態に切り換えて、第２除湿空気ＳＡ２の一部又は全部を第１除湿空気ＳＡ１とともにワーク処理空間３に供給することで、ワーク処理空間３の気圧を上昇させてワーク処理空間３への外部空気の侵入を防止するとともに、その侵入防止状態での第１及び第２除湿空気ＳＡ１，ＳＡ２の供給により、ワーク処理空間３の低湿状態を確実かつ安定的に保持し得るようにしてある。
【００６２】
なお、非常用ドア２８ａが開かれたとき給気切換ダンパ２７を切り換えて、第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を通常給気状態から非常時給気状態に切り換える場合、ドアセンサにより非常用ドア２８ａの開扉を検知したり、ワーク処理空間３の気圧を圧力センサにより検出して、その気圧検出に基づき非常用ドア２８ａの開扉を検知し、これら開扉検知に基づいて給気切換ダンパ２７を自動的に切り換え動作させる風量制御手段を設けるのが望ましい。
【００６３】
換言すれば、この風量制御手段は、常閉扉の開放時にワーク処理空間３に対する除湿空気の給気風量を自動的に増大させる。
【００６４】
図１においてＦはファンを示し、また、Ｖは風量調整用のダンパを示す。
【００６５】
周辺空間に対する連通口であるワーク処理空間３のワーク搬出入口４，５、並びに、周辺空間に対して開口する外部開口である各補助室６，７のワーク入出口６ａ，７ａの夫々は、図１及び図３に示すように、拡張側開口２９ａが上流側（即ち、ワーク処理空間３の側）に対して開口し、かつ、縮小側開口２９ｂが下流側（即ち、周辺空間の側）に対して開口するラッパ状のベルマウス構造にしてある。
【００６６】
また、非常用ドア２８ａを装備した臨時開口としての非常口２８も同様のベルマウス構造にしてある。
【００６７】
つまり、上記ベルマウス構造による気流案内により各口４，５，６ａ，７ａ，２８の通過気流を乱れの少ない円滑かつ安定的な気流し、これにより、通過気流の乱れによる部分的な渦流や逆流に原因して各口下流側の相対的に高湿な空気が各口の上流側へ侵入することを防止し、そのことで、ワーク処理空間３を一層確実かつ安定的にワーク処理に適した低湿環境に保ち得るように、また、ワーク処理空間３を一層効果的かつ効率的に低湿化し得るようにしてある。
【００６８】
上記ベルマウス構造について具体的には、縦断面視において筒孔の内周面が拡張側開口２９ａの側ほど筒孔中心軸芯ｐから大きく離間する湾曲形状（即ち、ラッパ状）の筒体２９ｃを開口形成部材とし、その筒体２９ｃをワーク処理空間３の隔壁２や補助室６，７の室壁に対して貫通状態に装備することで、その筒体２９ｃの筒孔を上記の各口４，５，６ａ，７ａ，２８にしてある。
【００６９】
筒体２９ｃは、その拡張側開口２９ａがワーク処理空間３の隔壁２や補助室６，７の室壁における壁面上に位置する状態にして装備してあり、筒体２９ｃにおける縮小側開口２９ｂの部分は、ワーク処理空間３の隔壁２や補助室６，７の室壁から空気通過方向の下流側へ突出させてある。
【００７０】
また、壁から突出させる筒体２９ｃの縮小側開口部は、筒孔中心軸芯ｐ（即ち、ベルマウス中心軸芯）の方向に延びる直筒状部２９ｄにしてあり、この直筒状部２９ｄによる通過気流の案内により、上記ベルマウス構造による通過気流の案内と相俟って、各口４，５，６ａ，７ａ，２８における通過気流を一層乱れの少ないものにする。
【００７１】
なお、筒体２９ｃにおける筒孔の横断面形状は円形に限られるものではなく、四角形やその他の多角形あるいは楕円形状などであってもよい。
【００７２】
ワーク処理空間３と各補助室６，７との間の隔壁部分には、ワーク処理空間３の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなる差圧ダンパ３０を装備してあり、また、各補助室６，７と周辺空間との間の仕切壁部分にも、各補助室６，７の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなる同様の差圧ダンパ３１を装備してある。
【００７３】
即ち、これら差圧ダンパ３０の開度変化により、ワーク処理空間３や各補助室６，７の気圧変動を抑制することで、前記した各口４，５，６ａ，７ａ，２８のベルマウス構造化と相俟って、各口４，５，６ａ，７ａ，２８での通過気流の乱れに原因する下流側から上流側への高湿空気の侵入を一層確実かつ効果的に防止する。
【００７４】
〔第２実施形態〕
図４は、ワーク処理空間３に要求される低湿度条件が比較的緩くて高湿で、ワーク処理空間３と作業室１における周辺空間との湿度差条件が比較的小さい場合に好適な簡易式の低湿ワーク処理設備を示す。
【００７５】
この簡易式の低湿ワーク処理設備では、第１実施形態の低湿ワーク処理設備との主な相違点として、第２処理域１２、第２還気路２２、ワーク処理空間３の排気口３ｂ、補助室排気口６ｂ，７ｂを省略してある。
【００７６】
そして、第１給気路１９ａを通じた第１除湿空気ＳＡ１の供給に伴いワーク処理空間３から排出される第１排出空気ＲＡ１は、その全量をワーク搬出入口４，５から入口側及び出口側の補助室６，７を通じてサブドライエリアとしての作業室１内に受け入れる。
【００７７】
また、第２給気路１９ｂを通じた第２除湿空気ＳＡ２の供給、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７を通じた第１排出空気ＲＡ１の受け入れに伴いサブドライエリアとしての作業室１から排出される第２排出空気ＲＡ２は、その一部を排気路２１を通じて系外に排出し、残部は還気路２２Ａを通じて処理域１１に送給する。
【００７８】
外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′は、外気処理域出口路２５Ａを通じて還気路２２Ａにおける第２排出空気ＲＡ２に合流させ、これにより、サブドライエリアとしての作業室１からの第２排出空気ＲＡ２と除湿外気ＯＡ′とを混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気として処理域１１に送給するようにしてある。
【００７９】
ワーク処理空間３のワーク搬出入口４，５、各補助室６，７のワーク入出口６ａ，７ａ、非常用ドア２８ａを備える非常口２８の夫々は、第１実施形態と同様、ベルマウス構造にしてあり、また、ワーク処理空間３と各補助室６，７との間の隔壁部分、及び、各補助室６，７と周辺空間との間の仕切壁部分には、第１実施形態と同様の差圧ダンパ３０，３１を装備してある。
【００８０】
なお、第１実施形態の低湿処理設備と同等の構成部分については、第１実施形態で用いた符号と同一の符号を付してある。
【００８１】
〔別実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
【００８２】
前述の実施形態では、除湿機８における処理域１１の出口を第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙと区分して、第１出口１１Ｘから送出される除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１をワーク処理空間３に供給し、第２出口１１Ｙから送出される除湿度の低い第２除湿空気ＳＡ２をワーク処理空間３の周辺空間に供給する例を示したが、これに代え、ワーク処理空間３に供給する除湿空気とその周辺空間に供給する除湿空気とを各別の除湿機により生成すうようにしてもよく、また、周辺空間に対する除湿空気の供給を省略して、ワーク処理空間３にのみ除湿空気を供給するようにしてもよい。
【００８３】
前述の実施形態では、各口４，５，６ａ，７ａ，２８をベルマウス構造２９にするのに、拡張側開口２９ａが壁面上に位置するように筒体２９ｃを装備したが、逆に、縮小側開口２９ｂを壁面上に位置させて拡張側開口２９ａの部分を壁面から突出させるように筒体２９ｃを配置してもよく、また、拡張側開口２９ａの部分と縮小側開口２９ｂの部分との両方を互いに逆向きに壁面から突出させるように筒体２９ｃを配置してもよい。
【００８４】
ベルマウス構造２９にしてワーク処理空間３の隔壁２に設ける連通口は、ワーク搬入出口に限られるものではなく、ワーク処理機器の移動用開口やワーク処理操作の操作用開口、あるいは、点検口などの常閉扉を備える臨時開口など、どのような用途の開口であってもよい。
【００８５】
また、ワーク処理空間３の用途も、リチウム電池の製造に限らず、低湿度環境を必要とする用途であれば、どのような用途であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明による低湿処理設備は、低湿度環境を要する各種分野において、その低湿度環境の形成に適用することができる。
【符号の説明】
【００８７】
４，５ 連通口，ワーク搬入出口
２ 隔壁
３ ワーク処理空間
ＳＡ１，ＳＡ２ 除湿空気
８，１９ａ 給気手段
２９ａ 拡張側開口
２９ ベルマウス構造
２９ｄ 直筒状部
６ａ，７ａ 外部開口
６，７ 補助室
８，１９ｂ 補助給気手段
２６，２７ 給気切換手段
２８ａ 常閉扉
２８ 臨時開口
３０ 差圧ダンパ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周辺空間に対する連通口を備える隔壁によりワーク処理空間を囲い、このワーク処理空間に除湿空気を供給して、前記ワーク処理空間を低湿環境にする低湿化用の給気手段を備える低湿処理設備であって、
前記連通口を、拡張側開口が前記ワーク処理空間に対して開口するベルマウス構造にしてある低湿処理設備。
【請求項２】
前記連通口のベルマウス構造における縮小側開口部をベルマウス構造の中心軸芯方向に延びる直筒状部にしてある請求項１記載の低湿処理設備。
【請求項３】
前記連通口が、前記ワーク処理空間に対するワーク搬入出口である請求項１又は２記載の低湿処理設備。
【請求項４】
前記連通口を通じて前記ワーク処理空間に連通し、かつ、前記周辺空間に対して開口する外部開口を備える補助室を設け、
前記連通口のベルマウス構造化とともに、前記外部開口を、拡張側開口が前記補助室に対して開口するベルマウス構造にしてある請求項１〜３のいずれか１項に記載の低湿処理設備。
【請求項５】
前記給気手段による前記ワーク処理空間への除湿空気の供給に伴い前記周辺空間に除湿空気を供給する補助給気手段を設け、
この補助給気手段により前記周辺空間に供給する除湿空気の一部又は全部を、前記周辺空間に供給する通常給気状態から前記ワーク処理空間に供給する非常時給気状態に切り換える給気切換手段を設けてある請求項１〜４のいずれか１項に記載の低湿処理設備。
【請求項６】
常閉扉を備える臨時開口を前記隔壁に設け、
前記連通口のベルマウス構造化とともに、前記臨時開口を、拡張側開口が前記ワーク処理空間に対して開口するベルマウス構造にしてある請求項１〜５のいずれか１項に記載の低湿処理設備。
【請求項７】
前記臨時開口における前記常閉扉の開放時に前記ワーク処理空間に対する除湿空気の給気風量を自動的に増大させる風量制御手段を設けてある請求項６記載の低湿処理設備。
【請求項８】
前記隔壁に、前記ワーク処理空間の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなる差圧ダンパを設けてある請求項１〜７のいずれか１項に記載の低湿処理設備。
【請求項１】
周辺空間に対する連通口を備える隔壁によりワーク処理空間を囲い、このワーク処理空間に除湿空気を供給して、前記ワーク処理空間を低湿環境にする低湿化用の給気手段を備える低湿処理設備であって、
前記連通口を、拡張側開口が前記ワーク処理空間に対して開口するベルマウス構造にしてある低湿処理設備。
【請求項２】
前記連通口のベルマウス構造における縮小側開口部をベルマウス構造の中心軸芯方向に延びる直筒状部にしてある請求項１記載の低湿処理設備。
【請求項３】
前記連通口が、前記ワーク処理空間に対するワーク搬入出口である請求項１又は２記載の低湿処理設備。
【請求項４】
前記連通口を通じて前記ワーク処理空間に連通し、かつ、前記周辺空間に対して開口する外部開口を備える補助室を設け、
前記連通口のベルマウス構造化とともに、前記外部開口を、拡張側開口が前記補助室に対して開口するベルマウス構造にしてある請求項１〜３のいずれか１項に記載の低湿処理設備。
【請求項５】
前記給気手段による前記ワーク処理空間への除湿空気の供給に伴い前記周辺空間に除湿空気を供給する補助給気手段を設け、
この補助給気手段により前記周辺空間に供給する除湿空気の一部又は全部を、前記周辺空間に供給する通常給気状態から前記ワーク処理空間に供給する非常時給気状態に切り換える給気切換手段を設けてある請求項１〜４のいずれか１項に記載の低湿処理設備。
【請求項６】
常閉扉を備える臨時開口を前記隔壁に設け、
前記連通口のベルマウス構造化とともに、前記臨時開口を、拡張側開口が前記ワーク処理空間に対して開口するベルマウス構造にしてある請求項１〜５のいずれか１項に記載の低湿処理設備。
【請求項７】
前記臨時開口における前記常閉扉の開放時に前記ワーク処理空間に対する除湿空気の給気風量を自動的に増大させる風量制御手段を設けてある請求項６記載の低湿処理設備。
【請求項８】
前記隔壁に、前記ワーク処理空間の気圧上昇によりダンパ前後の気圧差が大きくなるほど開度が大きくなる差圧ダンパを設けてある請求項１〜７のいずれか１項に記載の低湿処理設備。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１３−７６５３６（Ｐ２０１３−７６５３６Ａ）
【公開日】平成２５年４月２５日（２０１３．４．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１７７１４（Ｐ２０１１−２１７７１４）
【出願日】平成２３年９月３０日（２０１１．９．３０）
【出願人】（０００１４９７９０）株式会社大気社 (136)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月２５日（２０１３．４．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月３０日（２０１１．９．３０）
【出願人】（０００１４９７９０）株式会社大気社 (136)
【Ｆターム（参考）】
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