【課題】小型、省エネルギーの除湿機を有するミニエンを提供する。
【解決手段】ミニエンにおいて、ウェーハ搬送を行う搬送室を内部に有するミニエン本体と、ミニエン本体の排気側と吸気側との間に設置され、ミニエン本体の内部を除湿する除湿機とを備えている。そして、除湿機は、吸着式除湿機からなり、水分を吸着する除湿材に供給する空気を冷却するプレクーラー２７、アフタークーラー２８と、水分を吸着する除湿材に供給する空気を加熱する排気ヒーター３３、再生ヒーター２３とを備え、プレクーラー２７、アフタークーラー２８と排気ヒーター３３、再生ヒーター２３との熱源にペルチェ素子４１が使用されている。 （もっと読む）

【課題】低湿度での吸湿性に優れているばかりか、耐水熱性にも優れた調湿剤を提供する。
【解決手段】Ｓｉ／Ａｌ原子比が３乃至１５の範囲にあり、Ｎａ_２Ｏ換算でのＮａ含量が２．５乃至７．０質量％の範囲にあり、Ｘ線小角散乱法で測定した一次粒子径が２．０乃至４．５ｎｍである非晶質シリカ・アルミニウム複合体からなる。該調湿剤は、窒素吸着等温線おいて、相対圧が０．５以下でのＮ２吸着量が全吸着量の５０％以上にあり、アルゴン吸着により測定した細孔容積が０．０２０乃至０．１１０ｃｍ３／ｇの範囲にある。 （もっと読む）

【課題】吸着性能、加工性能、量産性をすべて満足し、吸着素子の原シートとなり得る吸着シートを提供する。
【解決手段】基材上に、含有される吸着材の平均細孔径が互いに異なる２種以上の吸着材層Ａ，Ｂ，Ｃを有し、（Ｉ）吸着材層は、有機バインダーと吸着材とを含み、有機バインダーの含有量が１０重量％以上、（II）吸着材層は、基材の同一面上にストライプ状に設けられ、（III）吸着材層は、吸着シート１Ａ，１Ｂ，１ＣのＭＤ方向に沿う中心線Ｌに対して非対称に設けられ、（IV）２５℃の水蒸気吸着等温線において、相対蒸気圧が０．０１〜０．９５の範囲で、相対蒸気圧が０．１５変化したときの飽和吸着量の変化量が最大である相対蒸気圧の範囲が、中心線の右側と左側で０．０５以上異なり、（Ｖ）中心線の右側と左側で、平均厚みの差が２０μｍ以下である、吸着シート。 （もっと読む）

【目的】 本発明の目的は、高い吸湿性、放湿性を有し、かつその吸湿、放湿性能を短時間で発現することのできる吸脱湿剤を提供することにある。
【解決手段】
−ＳＯ₃Ｒ^Ｘで表される基を１．５ｍｍｏｌ／ｇ以上有する重合体からなる吸脱湿剤。 （もっと読む）

【課題】よりいっそうの運転コストを削減したドライルーム用給排気システムを提供する。
【解決手段】ドライルーム１，２に給気する空気を除湿し、ドライルーム１，２に給気ダクト３を介して接続されている除湿手段１０と、ドライルーム１，２外へ排気された空気中の揮発性有機化合物を除去し、製造装置１ａ，２ａに排気ダクト４を介して接続されている揮発性有機化合物除去手段１１と、を備え、ドライルーム１，２には少なくとも２つの製造装置１ａ，２ａが設けられているとともに、除湿手段１０、揮発性有機化合物除去手段１１及び２つの製造装置１ａ，２ａがダクトを介して相互に接続され、２つの製造装置１ａ，２ａのうちの一方の製造装置から少なくとも他方の製造装置に前記ダクトを介して給気が行われることを特徴とする、ドライルーム用給排気システム１００。 （もっと読む）

【課題】コジェネレーションシステム等による熱を再生熱源として利用できない場合であっても、デシカントロータの通気性吸湿体を良好に再生して空調できると共に、除湿冷房運転に加えて加湿暖房運転も実行することができる。
【解決手段】第１気体を第１空調流路Ｒ１にて空調した後に第１加湿機１１１にて加湿して空調用空気ＳＡとして空調対象空間Ｓへ導くと共に、再生用空気を第２空調流路Ｒ２へ導く第１運転状態と、第２気体を第２空調流路Ｒ２にて空調した後に第１加湿機１１１にて加湿して空調用空気ＳＡとして空調対象空間Ｓへ導くと共に、吸湿用空気をデシカントロータ１１２の吸湿部１２ａへ導く第２運転状態とを、択一的に切り替える切替手段１１０、１１７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】低外気温時にも室内の加湿を十分に行うことができる調湿装置を提供する。
【解決手段】室外空気が第１及び第２吸着熱交換器（31,32）のうちの凝縮器となる放湿吸着熱交換器を通過して室内に供給される一方、室内空気が第１及び第２吸着熱交換器（31,32）のうちの蒸発器となる吸湿吸着熱交換器を通過して室外に排出される加湿運転を行う調湿装置（10）を前提とする。この調湿装置（10）に、冷媒回路に接続されると共に、加湿運転の際に、空気通路における室外空気の流れの放湿吸着熱交換器の上流側に位置し且つ凝縮器として機能して室外空気を加熱する予熱熱交換器（34）と、冷媒回路に接続されると共に、加湿運転の際に、空気通路における室内空気の流れの吸湿吸着熱交換器の下流側に位置し且つ蒸発器として機能して室内空気の熱を回収する熱回収熱交換器（35）とを設ける。 （もっと読む）

【課題】凝縮器の熱伝達効率を向上させる。
【解決手段】除湿機の凝縮器４０は、空気中の水分を吸着した吸着部材から放出された水分を含む再生空気を冷却空気によって冷却して、再生空気中の水分を凝縮させるものであって、積層された複数枚の金属シート５１を有する。金属シート５１の隙間によって、再生空気が通過する再生流路４１と冷却空気が通過する冷却流路４２とが構成される。また、再生流路４１と冷却流路４２は交互に並んでいる。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの観点から、地球環境の課題として現在の電動式圧縮機を持った冷凍サイクルで室内を冷暖房するシステムに対し、太陽熱や燃料電池の排熱で作動することができる冷暖房装置の実現は過去多くの技術検討や提案がなされてきた。最も製品価格が安い方式としての吸着式除湿を生かした冷房機ではそのエネルギー効率はＣＯＰ＝０．５程度であり、莫大な熱源量が必要で、装置の大きさが大きすぎるという基本的課題があった。
【解決手段】熱源を消費する吸着式除湿機と合わせて、５０％以上の熱量割合を占める冷却用に極めて簡単な構造で高性能な水蒸発式冷却器の技術を開発した。これと吸着式除湿器との組み合わせの最適化を実現し上記の課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】凝縮器の冷却流路の壁厚を薄くして、熱伝達性を向上させる。
【解決手段】除湿機の凝縮器４０は、空気中の水分を吸着した吸着部材から放出された水分を含む再生空気を冷却空気によって冷却して、再生空気中の水分を凝縮させるものであって、再生空気が通過する隙間４０ｂが形成されるように積層された複数枚の伝熱シート４２を有する。複数枚の伝熱シート４２は、筒状孔部（４３Ａまたは４３Ｂ）をそれぞれ有している。複数枚の伝熱シート４２の筒状孔部は、積層状態において連通して冷却空気Ｆが通過する冷却流路４０ａを構成する。 （もっと読む）

【課題】蒸発温度を上げて冷房運転の高効率化を実現する空気調和装置を提供する。
【解決手段】 空気調和装置１０では、制御部７０が、冷房運転において、空気を第１吸着熱交換器１９または第２吸着熱交換器２３で潜熱処理し、その空気を主熱交換器１５で顕熱処理することができる。主熱交換器１５では顕熱処理だけが行なわれるので、制御部７０は主熱交換器１５内での冷媒の蒸発温度を上げることができ、その結果、成績係数が向上する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、除湿効率が高く、除湿後の空気の温度上昇が少なく、圧力損失が適正な除湿用フィルター素子を提供することである。
【解決手段】平面状シートと波形シートとを一体化してなる片波成形体が交互に積層された多数の透孔を有する除湿用フィルター素子において、平面状シート及び波形シートのどちらか一方に吸着型除湿剤を、他方に蓄熱剤を含有してなるシートからなる除湿用フィルター素子。 （もっと読む）

【課題】透湿膜を介して液体吸収剤が空気と水分を授受するための調湿用モジュールにおいて、液体吸収剤の温度変化を抑えることによって調湿用モジュールの小型化を図る。
【解決手段】調湿用モジュール（40）は、仕切り部材（45）と伝熱部材（46）とを備えている。仕切り部材（45）は、空気通路（42）と吸収剤通路（41）を仕切っている。仕切り部材（45）の一部または全部は、透湿膜（62）によって構成されている。吸収剤通路（41）を流れる液体吸収剤は、透湿膜（62）を介して、空気通路（42）を流れる空気と水分の授受を行う。伝熱部材（46）は、吸収剤通路（41）に設けられ、液体吸収剤に囲まれる。伝熱部材（46）を流れる熱媒体は、吸収剤通路（41）を流れる液体吸収剤と熱交換を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体吸収剤の冷却または加熱を電力需要のピーク時間帯以外に行うようにし、電力需給の逼迫を回避する。
【解決手段】調湿装置（10）は、調湿運転の停止時に再生通路（3）の流出端および流入端を連通して再生通路（3）内で液体吸収剤が循環する再生回路を形成する再生状態と、調湿運転時に調湿通路（2）および再生通路（3）を連通して調湿通路（2）および再生通路（3）の間で液体吸収剤が循環する調湿回路を形成する調湿状態とに吸収剤回路（1）を切り換える。 （もっと読む）

【課題】ワーク処理空間をワーク処理に要求される低湿環境に安定的に保つ。
【解決手段】周辺空間に対する連通口４，５を備える隔壁２によりワーク処理空間３を囲い、このワーク処理空間３に除湿空気ＳＡ１を供給して、ワーク処理空間３を低湿環境にする低湿化用の給気手段８，１９ａを備える低湿処理設備において、連通口４，５を、拡張側開口がワーク処理空間３に対して開口するベルマウス構造２９にする。 （もっと読む）

【課題】熱中症の発生を抑制できる室内環境を得ることができる空調システムを提供する。
【解決手段】空調システムは、空気調和部（10,50）と、空気の温度と空気の湿度との双方に基づいて熱中症指数を求める導出部（43）と、導出部（43）で導出した熱中症指数に基づいて空気調和部（10,50）の能力を調節する制御部（44）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】除湿運転後に、タンク内の水の排水しなくても加湿運転を行えるようにする。
【解決手段】除加湿機１は、除湿ユニット２０と、加湿ユニット３０と、ファン４と、除湿ユニット２０から排出される凝縮水を貯留する除湿タンク２と、加湿ユニット３０に供給するための水を貯留する加湿タンク３とを備えている。除湿タンク２は、除湿ユニット２０の下方に配置され、加湿タンク３は、加湿ユニット３０とファン４の横に配置されている。 （もっと読む）

【課題】四季を通じて快適な室内空間を得る。
【解決手段】温度が２３℃を超えると電磁弁１３を閉め、第２電磁弁２３及び最上階電磁弁２ａ３を開き、メインファン１２によって床下部２０から小屋裏部３０へ向かう空気の流れをメインダクト１内に作り出すとともにサブファン２２を作動させるようにし、１５℃を下回ると電磁弁１３を開き、第２電磁弁２３及び最上階電磁弁２ａ３を閉じ、メインファン１２によって小屋裏部３０から床下部２０へ向かう空気の流れをメインダクト１内に作り出し、１５〜２３℃であると電磁弁１３を閉じ、第２電磁弁２３を閉じ、最上階電磁弁２ａ３を開き、最上階ダクト２ａ及びメインダクト１を通じてメインファン１２によって床下部２０へ向かう空気の流れを作り出し、床下部２０と部屋１０１と最上階ダクト２ａとの間を空気が循環するように制御して建築物Ａの住環境部１０を空調する。 （もっと読む）

【課題】既設の空気調和装置に追加しての設置も可能であり、換気における熱交換を、確実に還気空気を供給空気に混入させることなく実行できる空気調和装置を提供する。
【解決手段】ハニカム体にイオン交換樹脂よりなる吸着剤を担持した熱交換ロータ１を、外気を通過させる外気通過ゾーン２と室内還気を通過させる還気通過ゾーン３とに分割し、外気通過ゾーンに空気を送る第１送風機６と、外気通過ゾーンから空気を吸い出す第２送風機７と、還気通過ゾーンに空気を送る第３送風機９とを設け、これらの送風機によって外気を熱交換ロータ１を介して室内に供給し、室内の空気を大気放出するようにし、各送風機によって外気の静圧より室内供給空気の静圧を低く、室内からの還気空気の静圧を室内供給空気の静圧よりも低く、大気放出空気の静圧を還気空気の静圧よりも低くする。 （もっと読む）

【課題】室外空気の温度（外気温度）が低温度の場合でも、調湿装置の運転を良好に行えるようにする。
【解決手段】調湿装置の冷媒回路（30）に、第１吸着熱交換器（33a）及びレヒート補助熱交換器（35）で冷媒を放熱させるとともに第２吸着熱交換器（33b）で冷媒を吸熱させる第１状態と、上記第２吸着熱交換器（33b）及び上記補助熱交換器（35）で冷媒を放熱させるとともに上記第１吸着熱交換器（33a）で冷媒を吸熱させる第２状態とに切換可能な冷媒側の切換部（32,36a）を設ける。 （もっと読む）