説明

偏芯測定装置

【課題】 穴開け装置によって開けられる穴の精度を従来より向上することができる偏芯測定装置を提供する。
【解決手段】 偏芯測定装置10は、マスターゲージ11を介して受光した赤外光32aに基づいてマスターゲージ11の偏芯量を測定する偏芯量測定部12と、マスターゲージ11を介して受光した赤外光32aに基づいてマスターゲージ11の回転数を測定する回転数測定部13と、マスターゲージ11の偏芯量及び回転数を表示する液晶表示器26とを有することを特徴とする。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、回転体の偏芯量を測定する偏芯測定装置に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、IC(Integrated Circuit)の高密度化に伴い、ICを搭載するプリント基板もパターンが微細化し、プリント基板に実装されるIC以外の実装部品も小さくなっている。そのため、プリント基板に形成される穴は、直径が微細化し、位置及び形状も高精度化している。
【0003】
したがって、プリント基板に穴を開ける穴開け装置としては、例えば、直径100μmの微細なドリルを穴の精度を維持するために20万rpm以上で回転させる高速エアースピンドル装置が普及している。
【0004】
穴の精度を維持するためには、穴開け装置の偏芯量を測定する必要があり、従来の偏芯測定装置としては、穴開け装置によって回転させられる回転体の偏芯量を測定し表示する偏芯測定装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
【特許文献1】特開平11−351817号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
穴開け装置によって回転させられる回転体の偏芯量は、回転体の回転数に応じて変わるので、穴開け装置によって開けられる穴の精度を向上するためには、穴開け装置毎に回転体の偏芯量と回転数との相関を得る必要がある。
【0006】
しかしながら、従来の偏芯測定装置においては、回転体の偏芯量を測定し表示することはできるが、穴開け装置によって回転させられる回転体の偏芯量と回転数との相関を得ることはできないという問題がある。
【0007】
本発明は、従来の問題を解決するためになされたもので、穴開け装置によって開けられる穴の精度を従来より向上することができる偏芯測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の偏芯測定装置は、回転体を介して受光した光に基づいて前記回転体の偏芯量を測定する偏芯量測定部と、前記回転体を介して受光した光に基づいて前記回転体の回転数を測定する回転数測定部と、前記偏芯量及び前記回転数を表示する表示部とを有することを特徴とする。
【0009】
この構成により、本発明の偏芯測定装置は、回転体を介して受光した光に基づいて回転体の偏芯量と回転数とを測定し表示することができるので、穴開け装置によって回転させられる回転体の偏芯量と回転数との相関を得ることができ、穴開け装置によって開けられる穴の精度を従来より向上することができる。
【0010】
また、本発明の偏芯測定装置の前記回転数測定部は、前記回転体を介して受光した光に基づいて取得した前記偏芯量の変化の周波数に基づいて前記回転数を取得することが好ましい。
【0011】
この構成により、本発明の偏芯測定装置は、回転体の偏芯量の変化の周波数に基づいて回転体の回転数を取得するので、回転体に特別な加工を施さなくても、回転体の回転数を取得することができる。
【0012】
また、本発明の偏芯測定装置の前記回転体は、光の反射率が互いに異なる複数のパターンが表面に形成され、前記回転数測定部は、前記パターンによって反射された光の光量の変化に基づいて前記回転数を取得することが好ましい。
【0013】
この構成により、本発明の偏芯測定装置は、回転体の偏芯量の変化の周波数に基づいて回転数を取得する場合と比較して、回転体の回転数を高精度に測定することができる。
【0014】
また、本発明の偏芯測定装置の前記偏芯量測定部は、前記偏芯量の実効値を取得し、前記表示部は、前記偏芯量の実効値を表示することが好ましい。
【0015】
この構成により、本発明の偏芯測定装置は、穴開け装置の偏芯回転のパワーのモニター値である偏芯量の実効値を表示するので、穴開け装置が実際にドリルを装着して穴を開けた場合の穴の位置及び直径のズレに近い偏芯量を表示することができる。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、穴開け装置によって開けられる穴の精度を従来より向上することができる偏芯測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【0018】
(第1の実施の形態)
まず、第1の実施の形態に係る偏芯測定装置の構成について説明する。
【0019】
図1は、本実施の形態に係る偏芯測定装置10の斜視図である。
【0020】
図1に示すように、偏芯測定装置10は、高精度のコレットチャックや高速回転機構からなる穴開け装置90に装着された回転体としての高真円度の円柱であるマスターゲージ11が挿入される挿入孔21aが形成されたケース21と、パーソナルコンピュータなどの外部機器に接続されたコード95が接続される端子22と、内部に図示していないLED(Light Emitting Diode)を有する電源スイッチ23と、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の中心位置が適正であるか否かを表示するLEDであるCENTERランプ24と、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の挿入量が適正であるか否かを表示するLEDであるDEPTHランプ25と、液晶表示器26とを有している。
【0021】
図2は、偏芯測定装置10の内部構成のブロック図である。
【0022】
図2に示すように、偏芯測定装置10は、乾電池や安定化電源回路などの定電流電源31と、定電流電源31から供給される電流に応じて挿入孔21a(図1参照。)の延在方向とは直交する方向に赤外光32aを発光する赤外発光ダイオード32と、赤外発光ダイオード32によって発せられた赤外光32aを透過し外乱光を遮断する赤外透過フィルタ33と、赤外透過フィルタ33によって透過された赤外光32aを受光して電流信号に変換するフォトダイオード34と、フォトダイオード34によって出力された電流信号を電圧信号に変換するプリアンプ35と、プリアンプ35によって出力された電圧信号のうち高周波数成分を抽出するハイパスフィルタ36と、ハイパスフィルタ36によって抽出された電圧信号を増幅する増幅器37と、増幅器37によって増幅された電圧信号をアナログ信号からデジタル信号に変換するAD(Analog−to−Digital)変換器38と、プリアンプ35によって出力された電圧信号のうち低周波数成分を抽出するローパスフィルタ39と、ローパスフィルタ39によって抽出された電圧信号をアナログ信号からデジタル信号に変換するAD変換器40と、AD変換器38、40によって出力された電圧信号に基づいて種々の演算を行う演算器41とを有している。
【0023】
また、偏芯測定装置10は、図示していないが、挿入孔21aの延在方向と、赤外光32aの光軸方向との両方に直交する方向に赤外光を発光する赤外発光ダイオードや、この赤外発光ダイオードによって発光された赤外光を受光するフォトダイオードなどからなる位置センサを有している。この位置センサは、挿入孔21a内に挿入されたマスターゲージ11による赤外光の遮断量によって、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の挿入量を検出するものである。
【0024】
定電流電源31は、赤外発光ダイオード32だけではなく、電源スイッチ23のLED、CENTERランプ24、DEPTHランプ25、液晶表示器26、プリアンプ35、ハイパスフィルタ36、増幅器37、AD変換器38、ローパスフィルタ39、AD変換器40、演算器41などにも電力を供給するようになっている。
【0025】
赤外発光ダイオード32によって発光された赤外光32aのうちマスターゲージ11に当たった赤外光は、マスターゲージ11によって遮られるので、フォトダイオード34に届かない。そのため、赤外発光ダイオード32によって発光された赤外光32aの光路中にマスターゲージ11が進入する量が増えるほど、AD変換器38によって出力される電圧信号の値は減少する。穴開け装置によってマスターゲージ11が偏芯運動させられている場合、赤外発光ダイオード32によって発光された赤外光32aの光路中にマスターゲージ11が進入する量がマスターゲージ11の回転に伴って変化するので、AD変換器38によって出力される電圧信号は、交流信号になる。したがって、演算器41は、AD変換器38によって出力された交流信号に基づいてマスターゲージ11の偏芯量を算出することができ、算出した偏芯量に基づいて偏芯量のピーク値と、偏芯量の二乗平均平方根である実効値とを偏芯量の変化の周期毎に算出する。即ち、フォトダイオード34、プリアンプ35、ハイパスフィルタ36、増幅器37、AD変換器38及び演算器41は、マスターゲージ11を介して受光した赤外光32aに基づいてマスターゲージ11の偏芯量を測定するようになっており、偏芯量測定部12を構成している。
【0026】
また、演算器41は、算出した偏芯量に基づいて偏芯量の変化の周波数(Hz)の60倍であるマスターゲージ11の回転数(rpm)を算出する。即ち、フォトダイオード34、プリアンプ35、ハイパスフィルタ36、増幅器37、AD変換器38及び演算器41は、マスターゲージ11を介して受光した赤外光32aに基づいてマスターゲージ11の回転数を測定するようになっており、回転数測定部13を構成している。
【0027】
また、演算器41は、算出したマスターゲージ11の偏芯量及び回転数を、図3に示すように、液晶表示器26に表示させるようになっている。即ち、液晶表示器26は、マスターゲージ11の偏芯量及び回転数を表示する表示部を構成している。
【0028】
また、演算器41は、AD変換器40によって出力された電圧信号に基づいて、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の中心位置が適正であるか否かを判定するようになっている。そして、演算器41は、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の中心位置が適正であると判定したとき、CENTERランプ24を緑色に点灯させるようになっており、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の中心位置が適正であると判定していないとき、CENTERランプ24を黄色に点灯させるようになっている。
【0029】
また、演算器41は、位置センサからの信号に基づいて、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の挿入量が適正であるか否かを判定するようになっている。そして、演算器41は、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の挿入量が適正であると判定したとき、DEPTHランプ25を緑色に点灯させるようになっており、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の挿入量が適正であると判定していないとき、DEPTHランプ25を黄色に点灯させるようになっている。
【0030】
次に、偏芯測定装置10の動作について説明する。
【0031】
まず、偏芯測定装置10は、穴開け装置のステージの上に設置されて電源スイッチ23が押されると、電源スイッチ23のLEDなどの各部品に定電流電源31から電力を供給する。したがって、電源スイッチ23のLEDは、点灯する。ここで、マスターゲージ11が挿入孔21aに挿入されていない場合、演算器41は、CENTERランプ24及びDEPTHランプ25を黄色に点灯させ、回転数が0rpmで偏芯量が0μmであることを液晶表示器26に表示させる。
【0032】
次いで、偏芯測定装置10は、ドリルの代わりにマスターゲージ11が装着された穴開け装置によってマスターゲージ11が挿入孔21aに挿入される。ここで、演算器41は、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の中心位置が適正ではない場合、CENTERランプ24を黄色に点灯させ、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の中心位置が適正である場合、CENTERランプ24を緑色に点灯させる。また、演算器41は、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の挿入量が適正ではない場合、DEPTHランプ25を黄色に点灯させ、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の挿入量が適正である場合、DEPTHランプ25を緑色に点灯させる。したがって、操作者は、CENTERランプ24及びDEPTHランプ25が共に緑色に点灯するように、挿入孔21aに対するマスターゲージ11の中心位置及び挿入量を調整することができる。
【0033】
また、演算器41は、AD変換器38によって出力された交流信号に基づいて、穴開け装置によって回転させられているマスターゲージ11の偏芯量のピーク値及び実効値と、回転数とを算出し、液晶表示器26に表示させる。
【0034】
ここで、演算器41は、偏芯量についてピーク値及び実効値のうち操作者によって選択された方を液晶表示器26に表示させる。即ち、演算器41は、電源スイッチ23が3秒未満の期間押される毎に、偏芯量についてピーク値及び実効値のうち液晶表示器26に表示させる方を変更する。そして、演算器41は、液晶表示器26にピーク値を表示させている場合には図3における「RMS」の左の丸を白丸にして「P−P」の左の丸を黒丸にすることによってピーク値を表示させていることを表示し、液晶表示器26に実効値を表示させている場合には図3における「RMS」の左の丸を黒丸にして「P−P」の左の丸を白丸にすることによって実効値を表示させていることを表示する。
【0035】
また、演算器41は、算出したマスターゲージ11の偏芯量のピーク値及び実効値と、回転数とを端子22を介して外部機器に出力する。したがって、外部機器は、マスターゲージ11の偏芯量のピーク値及び実効値と、回転数とを活用することができる。
【0036】
最後に、偏芯測定装置10は、電源スイッチ23が3秒以上の期間押されると、電源スイッチ23のLEDなどの各部品への定電流電源31からの電力の供給を停止する。したがって、電源スイッチ23のLED、CENTERランプ24及びDEPTHランプ25は消灯し、液晶表示器26の表示も消える。
【0037】
なお、偏芯測定装置10は、本実施の形態において偏芯量のピーク値及び実効値のうち何れか一方を表示するようになっているが、偏芯量のピーク値及び実効値の両方を同時に表示するようになっていても良い。
【0038】
以上に説明したように、偏芯測定装置10は、マスターゲージ11を介して受光した赤外光32aに基づいてマスターゲージ11の偏芯量と回転数とを測定し表示することができるので、穴開け装置によって回転させられるマスターゲージ11の偏芯量と回転数との相関を得ることができ、穴開け装置によって開けられる穴の精度を従来より向上することができる。
【0039】
また、偏芯測定装置10は、マスターゲージ11の偏芯量の変化の周波数に基づいてマスターゲージ11の回転数を取得するので、マスターゲージ11に特別な加工を施さなくても、マスターゲージ11の回転数を取得することができる。
【0040】
また、偏芯測定装置10は、穴開け装置の偏芯回転のパワーのモニター値である偏芯量の実効値を表示するので、穴開け装置が実際にドリルを装着して穴を開けた場合の穴の位置及び直径のズレに近い偏芯量を表示することができる。なお、偏芯測定装置10は、偏芯量のピーク値も表示することができるので、穴開け装置のメンテナンスを容易化することができる。
【0041】
(第2の実施の形態)
まず、第2の実施の形態に係る偏芯測定装置の構成について説明する。
【0042】
なお、本実施の形態に係る偏芯測定装置の構成のうち、第1の実施の形態に係る偏芯測定装置10(図1参照。)の構成と同様な構成については、偏芯測定装置10の構成と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【0043】
図4は、本実施の形態に係る偏芯測定装置のマスターゲージ61及び反射センサ62の斜視図である。
【0044】
図4に示すように、本実施の形態に係る偏芯測定装置の構成は、光の反射率が互いに異なる複数のパターン61aが表面に形成されたマスターゲージ61をマスターゲージ11(図1参照。)に代えて偏芯測定装置10が備え、マスターゲージ61の表面に形成されたパターン61aによって反射された光62aの光量の変化に基づいてマスターゲージ61の回転を検知する反射センサ62を偏芯測定装置10がケース21(図1参照。)の挿入孔21a(図1参照。)の近傍に更に備えた構成と同様である。
【0045】
反射センサ62は、本実施の形態に係る偏芯測定装置の回転数測定部の構成の1つである。
【0046】
次に、本実施の形態に係る偏芯測定装置の動作について説明する。
【0047】
なお、本実施の形態に係る偏芯測定装置の動作のうち、マスターゲージ61の回転数の取得以外の動作については、偏芯測定装置10の動作と同様であるので、説明を省略する。
【0048】
マスターゲージ61が回転すると、反射センサ62は、マスターゲージ61の表面に形成されたパターン61aによって反射された光62aの光量の変化に基づいてマスターゲージ61の回転を検知する。
【0049】
演算器41(図2参照。)は、反射センサ62からの検知結果に基づいて、マスターゲージ61の回転数を取得する。
【0050】
以上に説明したように、偏芯測定装置10は、マスターゲージ61の表面に形成されたパターン61aによって反射された光62aの光量の変化に基づいてマスターゲージ61の回転数を取得するので、マスターゲージ61の偏芯量の変化の周波数に基づいて回転数を取得する場合と比較して、マスターゲージ61の回転数を高精度に測定することができる。例えば、偏芯測定装置10は、偏芯量が極めて小さい場合であっても、マスターゲージ61の回転数を高精度に測定することができる。また、偏芯測定装置10は、穴開け装置に振動が生じているときやマスターゲージ61にねじり振動が生じているときなど、マスターゲージ61の偏芯量の変化の周波数に基づいて回転数を取得する場合にはノイズとなる振動が生じているときであっても、マスターゲージ61の回転数を高精度に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【0051】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る偏芯測定装置の斜視図である。
【図2】図1に示す偏芯測定装置の内部構成のブロック図である。
【図3】図1に示す偏芯測定装置の液晶表示器の表示例を示す図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態に係る偏芯測定装置のマスターゲージ及び反射センサの斜視図である。
【符号の説明】
【0052】
10 偏芯測定装置
11 マスターゲージ(回転体)
12 偏芯量測定部
13 回転数測定部
26 液晶表示器(表示部)
32a 赤外光(光)
61 マスターゲージ(回転体)
61a パターン
62a 光


【特許請求の範囲】
【請求項1】
回転体を介して受光した光に基づいて前記回転体の偏芯量を測定する偏芯量測定部と、前記回転体を介して受光した光に基づいて前記回転体の回転数を測定する回転数測定部と、前記偏芯量及び前記回転数を表示する表示部とを有することを特徴とする偏芯測定装置。
【請求項2】
前記回転数測定部は、前記回転体を介して受光した光に基づいて取得した前記偏芯量の変化の周波数に基づいて前記回転数を取得することを特徴とする請求項1に記載の偏芯測定装置。
【請求項3】
前記回転体は、光の反射率が互いに異なる複数のパターンが表面に形成され、
前記回転数測定部は、前記パターンによって反射された光の光量の変化に基づいて前記回転数を取得することを特徴とする請求項1に記載の偏芯測定装置。
【請求項4】
前記偏芯量測定部は、前記偏芯量の実効値を取得し、
前記表示部は、前記偏芯量の実効値を表示することを特徴とする請求項1に記載の偏芯測定装置。


【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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