光センサ
【課題】紫外光検出器が配置されているケーシング内の酸素を確実に取り除き、オゾンの発生を防止すると共に、紫外光を正確に測定でき、エキシマランプ等の紫外線光源の点灯状態を正確に測定できる光センサの提供。
【解決手段】ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器２３が配置され紫外光が通過する貫通孔２１４を有する第１のケーシング２１と、紫外光が通過する貫通孔２２３を有する第２のケーシング２２からなり、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２は、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２の間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材３が配置され、前記窓材３と第１のケーシング２１の間には、シール部材４１が配置されており、第１のケーシング２１内には、酸素除去剤５が配置されていることを特徴とする。
【解決手段】ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器２３が配置され紫外光が通過する貫通孔２１４を有する第１のケーシング２１と、紫外光が通過する貫通孔２２３を有する第２のケーシング２２からなり、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２は、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２の間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材３が配置され、前記窓材３と第１のケーシング２１の間には、シール部材４１が配置されており、第１のケーシング２１内には、酸素除去剤５が配置されていることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプ等の紫外線光源から放射される紫外光を検知する光センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、例えば液晶表示パネルのガラス基板の紫外線照射による洗浄工程などにおいては、波長２００ｎｍ以下の真空紫外光を放射するエキシマランプを具えてなる紫外線照射装置が用いられている。
【０００３】
図４を用いて、このような紫外線照射装置を説明する。
紫外線照射装置１０は、光取出窓１１と本体ケース１２と金属ブロック１３を有し、本体ケース１２の内部にエキシマランプ１が配置されている。
光取出窓１１は光透過部材でありエキシマランプ１から放射される紫外光を透過するもので、例えば合成石英ガラスから構成される。本体ケース１２は、ステンレスからなるもので一方の側壁にはガス導入口１２ａが、他方の側壁にはガス排出口１２ｂが形成される。
このガス導入口１２ａからは窒素ガス等の不活性ガスが導入され、ガス排出口１２ｂから残存していた酸素ガスとともに不活性ガスが排出される。
１６は、金属ブロック１３を冷却する水冷パイプである。
【０００４】
金属ブロック１３は、溝部が形成され、各溝部はエキシマランプ１の半分の部分が嵌まるようになっている。また、金属ブロック１３には、各々のエキシマランプ１を臨むように貫通孔が形成されており、金属ブロック１３の上方であって、貫通孔を臨む位置に光センサ１５が組み込まれおり、この光センサ１５によってエキシマランプ１からの放射光を検知するものである。（特許文献１参照）
【０００５】
例えば、このような紫外線照射装置を用いた液晶表示パネルのガラス基板のドライ洗浄工程は、通常、被処理物である液晶用ガラス基板をベルトコンベアーなどの適宜の搬送手段によって搬送して紫外線照射装置による光照射領域に導入し、紫外光を連続照射することにより行われている。
【０００６】
このような紫外線照射装置においては、信頼性の高い紫外光照射処理を行うためには、エキシマランプの点灯状態が適正な状態、例えば十分な強度で紫外光が照射されている状態であるか否かを確認することが必要となるが、主として放射される光が紫外光であることから、当該エキシマランプの点灯状態は目視にて確認することができない。
このため、エキシマランプの点灯状態を確認するために、エキシマランプから放射される紫外光を検出する光センサを用いて、エキシマランプの点灯状態を測定する方法が知られている。（特許文献２参照）
【０００７】
図５は、光センサの説明図である。
光センサ１５は、紫外光を検出する半導体センサーより紫外光検出器１５１が配置された金属基板１５２に、金属キャップ１５３が被せられており、この金属キャップ１５３には紫外光が通過する貫通孔が形成されており、この貫通孔には紫外光を透過するガラス製の窓材１５４が接着されている。そして、金属キャップ１５３と金属基板１５２は溶接やロウ材等の手段で接合されている。
そして、金属キャップ１５３内の密閉空間内に酸素が存在すると紫外光が酸素に吸収されてしまい、紫外光が紫外光検出器１５１に到達しなくなるので、金属キャップ１５３内に窒素等の不活性ガスを封入するものである。
そして、窓材１５４を透過した紫外光が金属キャップ１５３内に照射され、紫外光検出器１５１に到達して紫外光が検出されるものである。
【０００８】
図４に示すように、このような光センサ１５は、金属ブロック１３の貫通孔よりエキシマランプから放射された紫外光が光センサ１５の前方の窓材１５４に到達する構造になっており、窓材１５４と金属ブロック１３の貫通孔の間は本体ケース１２内部と連通した空間になっており、紫外光が吸収されない不活性ガス雰囲気となっている。そして、紫外光が窓材１５４を透過し紫外光検出器１５１で検出され、エキシマランプの点灯状態を測定できるものである。
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−２２１４９０号公報
【特許文献２】特開２００４−０３７１７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図５で示す光センサ１５では、密閉された金属キャップ１５３内に不活性ガスが封入された構造であり、通常、このような光センサ１５の製造は、紫外光検出器１５１が配置された金属基板１５２と、窓材１５４が接着された金属キャップ１５３を、不活性ガス雰囲気中の組み立て空間に配置し、この状態で金属キャップ１５３の金属基板１５２と接触している部分を加熱して溶融して密閉構造とするものである。
【００１１】
しかしながら、このような製造方法によって組み立てられた光センサ１５では、組み立て工程中に不活性ガス雰囲気中に微量の酸素が混入していた場合、その酸素が密閉された金属キャップ１５３に封入されることになる。
【００１２】
この結果、密閉された金属キャップ１５３に酸素が存在することにより、窓材１５４を透過した紫外光の一部が酸素によって吸収され、紫外光検出器１５１に到達しなくなり、正確に紫外光を測定することができなくなるという問題があった。
さらには、紫外光の一部が酸素によって吸収され、金属キャップ１５３内でオゾンが発生し、このオゾンによって紫外光検出器２３が劣化し、正確に紫外光を測定することができなくなるという問題があった。
【００１３】
さらに、金属キャップ１５３は、紫外光が照射される方向に位置しており、紫外線照射装置内のエキシマランプの熱を受けやすくなっており、金属キャップ１５３が加熱され膨張し、ランプ消灯後は金属キャップ１５３の温度が下がり収縮し、膨張・収縮を繰り返すことにより、金属キャップ１５３と金属基板１５２の接合箇所が破壊され、金属キャップ１５３内の不活性ガスが流出し、大気が流入することがあった。
この結果、金属キャップ１５３に酸素が流入し、窓材１５４を透過した紫外光の一部が酸素によって吸収され、紫外光検出器１５１に到達しなくなったり、或いは、金属キャップ１５３内でオゾンが発生し、このオゾンによって紫外光検出器２３が劣化し、正確に紫外光を測定することができなくなるという問題があった。
【００１４】
さらに、図４に示すように、光センサ１５は、被処理物が処理される本体ケース１２の内部空間と金属ブロック１３の貫通孔を介して繋がっており、被処理物を処理する際に発生する汚染物質が飛散して、光センサ１５の窓材１５４が汚染されることがある。
窓材１５４が汚染されても、窓材１５４は金属キャップ１５３に接着されたものであり、窓材１５４だけを取り替えることができず、汚染された窓材１５４を使用することにより紫外光の透過率が減少し、正確に紫外光を測定することができなくなるという問題があった。
【００１５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであって、その目的は、紫外光検出器が配置されているケーシング内の酸素を確実に取り除き、オゾンの発生を防止すると共に、紫外光検出器によって紫外光を正確に測定でき、エキシマランプ等の紫外線光源の点灯状態を正確に測定できる光センサを提供することにある。
さらには、紫外光を透過する窓材が汚染された場合に、簡単に窓材のみを交換でき、常に、紫外光を正確に測定できる光センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１に記載の光センサは、ケーシング内に配置された紫外光検出器によって紫外光を検出する光センサにおいて、前記ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、前記第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、前記第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、前記窓材と前記第１のケーシングの間には、シール部材が配置されており、前記第１のケーシング内には、酸素除去剤が配置されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項２に記載の光センサは、請求項１に記載の光センサであって、特に、前記窓材と前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項３に記載の光センサは、請求項１または請求項２に記載の光センサであって、特に、前記第１のケーシング内には、水分吸着剤が配置されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項４に記載の光センサは、ケーシング内に配置された紫外光検出器によって紫外光を検出する光センサにおいて、前記ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、前記第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、前記第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、前記第１のケーシングと前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されており、前記窓材と前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されており、前記第１のケーシング内には、酸素除去剤が配置されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項５に記載の光センサは、請求項４に記載の光センサであって、特に、前記第１のケーシングには、前記窓材の方向に開口を有する第１の流通孔と第２の流通孔を有し、前記第１の流通孔と第２の流通孔は前記第１のケーシング内の連通孔につながっており、前記連通孔内に前記酸素除去剤が配置され、前記第１の流通孔と第２の流通孔の開口径が異なっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の光センサは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、窓材と第１のケーシングの間にはシール部材が配置されており、第１のケーシング内には酸素除去剤が配置されているので、紫外光検出器が配置されている密閉空間内には酸素が存在せず、窓材を透過した紫外光が酸素に吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、紫外光検出器が配置されている密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器の劣化も防止することができる。
【００２２】
本発明の光センサは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、第１のケーシングと第２のケーシングの間にはシール部材が配置されており、窓材と第２のケーシングの間にはシール部材が配置されており、第１のケーシング内には酸素除去剤が配置されているので、紫外光検出器が配置されている密閉空間内には酸素が存在せず、窓材を透過した紫外光が酸素に吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、紫外光検出器が配置されている密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器の劣化も防止することができる。
【００２３】
本発明の光センサは、窓材と第１のケーシングの間にシール部材が配置されており、さらに、窓材と第２のケーシングの間にも別のシール部材が配置されているので、第２のケーシングが膨張・収縮を繰り返しても、この膨張・収縮の応力は、窓材と第２のケーシングの間に配置されたシール部材と窓材と第１のケーシングの間に配置されたシール部材の双方で吸収されることになり、第１のケーシングと窓材によって区画された第１のケーシング内の密閉空間は常に密閉された状態を保つことができ、外気が密閉空間内に進入することがなく、常に、正確に、紫外光検出器によって紫外光を検出することができる。
【００２４】
第１のケーシングには、窓材の方向に開口を有する第１の流通孔と第２の流通孔を有し、第１の流通孔と第２の流通孔は前記第１のケーシング内の連通孔につながっており、連通孔内に前記酸素除去剤が配置され、記第１の流通孔と第２の流通孔の開口径が異なっているので、窓材が加熱されて、第１の流通孔と第２の流通孔と連通孔を通る対流を発生させることができ、この対流は酸素除去剤を通るものであり、確実に、酸素を除去することできるものである。
【００２５】
さらに、第１のケーシング内に水分吸着剤が配置されているので、光センサの組み立て工程において、密閉空間内に水分が入っても、確実にその水分を水分吸着剤で吸着することができ、紫外光検出器の水分による劣化を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本願発明の光センサを説明する。
図１は、本願発明の光センサの断面図である。
光センサＡは、紫外光によって劣化しない金属製の第１のケーシング２１と第２のケーシング２２を有している。
第１のケーシング２１は、大径円盤状の基板部２１１と、この基板部２１１から立設して内部に空間を有する基板部２１１より小径の筒部２１２からなり、筒部２１２の反基板部側は基板部２１１の中心方向に伸びる前方縁部２１３が形成されており、この前方縁部２１３より基板２１１の中心方向には、紫外光が通過する貫通孔２１４が形成されており、筒部２１２の内部の底部には、紫外光を検出する半導体センサーからなる紫外光検出器２３が配置されている。
第２のケーシング２２は、内部に空間を有する円筒状の基体部２２１と、この基体部２２１には底部２２２が形成され、底部２２２には中心に紫外光が通過する貫通孔２２３が形成されている。
【００２７】
第１のケーシング２１の立設した筒部２１２は、第２のケーシング２２の基体部２２１の内部に挿入されており、第１のケーシング２１の貫通孔２１４と、第２のケーシング２２の貫通孔２２３が重なるように配置されている。
第１のケーシング２１と第２のケーシング２２の間であって、それぞれのケーシング２１，２２の貫通孔２１４，２２３に対向する位置に紫外光を透過する窓材３が配置されている。
この窓材３は石英ガラス製のものである。
【００２８】
窓材３と第１のケーシング２１の前方縁部２１３の間には、シール部材である弾性変形するＯリング４１が配置されており、このＯリング４１によって、窓材３と第１のケーシング２１がシールされ、第１のケーシング２１と窓材３によって第１のケーシング２１内が密閉空間となっており、この密閉空間に酸素除去剤５が配置されている。
酸素除去剤５は、第１のケーシング２１の前方縁部２１３の内部空間側の壁面には設けられている。
この酸素除去剤５としては、金属の酸化作用により酸素を吸収する不可逆反応的構造のものとして、チタン、鉄、マンガンなどであり、微細気泡に酸素分子が入り込み吸着する可逆反応的構造のものとして、シリカ、活性炭などである。
【００２９】
窓材３と第２のケーシング２２の底部２２２の間には、シール部材である弾性変形するＯリング４２が配置されており、このＯリング４２によって、窓材３と第２のケーシング２２がシールされている。
なお、図示はしていないが、適宜の手段で、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２を押圧して、それぞれのケーシング２１，２２と窓材３との間に配置されたＯリング４１，４２を変形させて、密着させるものである。
【００３０】
この光センサＡは、組み立て工程中に、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内に酸素が存在する状態になっても、この酸素は酸素除去剤５によって速やかに除去され、完成した光センサＡでは、この密閉空間には酸素が存在しなくなるものである。
【００３１】
このような光センサＡによれば、エキシマランプから紫外光が放射されると第２のケーシング２２の貫通孔２２３を紫外光が通過し、その紫外光が窓材３を透過し、さらに、その紫外光は第１のケーシング２１の貫通孔２１４を通過して、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内の密閉空間に照射され、紫外光検出器２３に到達し、紫外光が検出される。
【００３２】
この時、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内の密閉空間には、酸素除去剤５によって、確実に酸素が除去された構造になっているので、窓材３を透過してきた紫外光が酸素によって吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器２３に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器２３の劣化も防止することができ、正確に紫外光を測定することができる。
【００３３】
さらに、第２のケーシング２２は、紫外光が照射される方向に位置しており、紫外線照射装置内のエキシマランプの熱を受けやすくなっており、第２のケーシング２２が加熱され膨張し、ランプ消灯後は第２のケーシング２２の温度が下がり収縮し、膨張・収縮を繰り返すことになるが、この膨張・収縮の応力は窓材３との間に配置されたＯリング４２で吸収されることになり、さらに、窓材３と第１のケーシング２１との間にはＯリング４１が配置されているので、第２のケーシング２２の膨張・収縮応力がＯリング４２を介して窓材３に伝達されても、その伝達された応力はＯリング４１で吸収されるのであり、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内の密閉空間は常に密閉された状態を保つことができ、外気が密閉空間内に進入することがなく、常に、正確に、紫外光検出器２３によって紫外光を検出することができる。
【００３４】
さらに、窓材３は、Ｏリング４１，４２によって、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２の間に挟持された構造であり、窓材３が被処理物を処理する際に発生する汚染物質で汚染されても、簡単に窓材３のみを交換することができ、常に、正確に紫外光を測定することができる。
【００３５】
図１では、窓材３と第２のケーシング２２との間にはＯリング４２が配置されているが、このＯリング４２を取り除いて、第２のケーシング２２の底部２２２で、直接、窓材３を第１のケーシング２１の筒部２１２の方向に押える構造であってもよい。
この構造であっても、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内を密閉空間とすることができ、密閉空間に配置された酸素除去剤５によって、確実に酸素が除去された構造になり、窓材３を透過してきた紫外光が酸素によって吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器２３に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器２３の劣化も防止することができ、正確に紫外光を測定することができる。
【００３６】
また、第１のケーシング２１と窓材３によって第１のケーシング２１内が密閉空間となっており、この密閉空間に水分吸着剤６を配置してもよい。
水分吸着剤６は、第１のケーシング２１の前方縁部２１３の内部空間側の壁面には設けられている。
この水分吸着剤６は、塩化カルシウム、生石灰、天然ゼオライト、シリカゲルＡ型、シリカゲルＢ型、シリカゲル青である。
このように、密閉空間に水分吸着剤６を配置することにより、光センサの組み立て工程において、密閉空間内に水分が入っても、確実にその水分を水分吸着剤６で吸着することができるので、紫外光検出器２３の水分による劣化を防止することができる。
【００３７】
図２は光センサの他の実施例であり、光センサＢでは、窓材３と第２のケーシング２２底部２２２の間には、シール部材であるメタルパッキン４５が配置されており、このメタルパッキン４５によって、窓材３と第２のケーシング２２がシールされている。
第１のケーシング２１の前方縁部２１３には凹部が形成されており、この凹部にＯリング４１が配置されており、Ｏリング４１によって、窓材３と第１のケーシング２１がシールされている。
第１のケーシング２１の基板部２１１には凹部が形成されており、この凹部にＯリング４３が配置されており、Ｏリング４３によって、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２がシールされている。
そして、第１のケーシング２１の筒部２１２と第２のケーシング２２の基体部２２１の間に十分な空間を作ることにより、第２のケーシング２２が加熱されて高温になっても、その熱が第１のケーシング２１に伝わり難くすることができ、第１のケーシング２１に設けられた紫外光検出器２３の温度上昇を抑制でき、紫外光検出器２３が熱で劣化することを防止できる。
【００３８】
紫外光検出器２３の熱劣化を確実に防止する手段として、第１のケーシング２１の基板部２１１の上方に冷却手段を設けてもよい。
具体的には、空冷のための基板部２１１に冷却フィンをつける、或いは、内部に冷却水が循環する冷却ブロックを基板部２１１に接触させる、或いは、ペルーチェ素子を基板部２１１に取り付ける構造がある。
【００３９】
なお、図２においても、窓材３と第２のケーシング２２との間のシール部材であるメタルパッキン４５を取り除いて、第２のケーシング２２の底部２２２で、直接、窓材３を第１のケーシング２１の筒部２１２の方向に押える構造であってもよい。
この構造であっても、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内を密閉空間とすることができ、密閉空間に配置された酸素除去剤５によって、確実に酸素が除去された構造になり、窓材３を透過してきた紫外光が酸素によって吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器２３に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器２３の劣化も防止することができ、正確に紫外光を測定することができる。
【００４０】
図３は、光センサの他の実施例であり、光センサＣは、第２のケーシング２２の基体部２２１の前方側には段部２２４が形成されており、この段部２２４と第１のケーシング２１の筒部２１２の前面との間に、シール部材であるリング状のメタルパッキン４４が配置されており、さらに、窓材３と第２のケーシング２２の底部２２２の間にも、シール部材であるリング状のメタルパッキン４５が配置されている。
そして、第１のケーシング２１の筒部２１２の上部外周にはネジ山が切られており、第２のケーシング２２の基体部２２１の上部内周にはネジ溝が切られており、筒部２１２が基体部２２１の内部に回転して挿入されことにより、筒部２１２と基体部２２１が螺合して、筒部２１２が基体部２２１の前方に進むことにより、それぞれのケーシング２１，２２と窓材３との間に配置されたメタルパッキン４４，４５が変形し、それぞれの部材が密着するものである。
【００４１】
また、窓材３と第１のケーシング２１の筒部２１２の内部空間との間にできる空間にバネ部材７が配置されており、バネ部材７の一端側が窓材３に当接し、他端側に紫外光検出器２３が取り付けられている。
【００４２】
さらに、第１のケーシング２１には、窓材３の方向に開口を有する第１の流通孔２１５と第２の流通孔２１６を有し、第１の流通孔２１５と第２の流通孔２１６は第１のケーシング２１内の連通孔２１７につながっており、この連通孔２１７内に酸素除去剤５が配置されている。
そして、第１の流通孔２１５と第２の流通孔２１６の開口径が異なっており、第１の流通孔２１５の開口径は５ｍｍ、第２の流通孔２１６の開口径は３ｍｍとなっている。
【００４３】
この光センサＣにおいては、窓材３は紫外光が照射されるので加熱されて高温状態になっているので、第１のケーシング２１内であって窓材３近傍の空間の温度が高くなっている。
そして、この空間に連通するように、第１の流通孔２１５と第２の流通孔２１６が繋がっているので、この空間で対流が発生する。そして、第１の流通孔２１５の開口径が第２の流通孔２１６の開口径より大きくなっているので、第１の流通孔２１５内に対流が流れ込み、その対流が連通孔２１７を通り、第２の流通孔２１６から排出される構造になる。
【００４４】
さらに、対流が流れる連通孔２１７には、酸素除去剤５が配置されているので、確実に、酸素を除去することできる。
この結果、紫外光検出器２３が配置されている密閉空間内には酸素が存在せず、窓材を透過した紫外光が酸素に吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、紫外光検出器が配置されている密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器の劣化も防止することができる。
【００４５】
なお、酸素除去剤５で酸素が完全に取り除くことができない場合、極微量のオゾンが発生することがあるが、第１の流通孔２１５と連通孔２１７と第２の流通孔２１６で構成される流通路内であって、酸素除去剤５に対して対流が流れ込む上流側に、活性炭などのオゾン分解触媒を配置すれば、オゾンを確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本願発明の光センサの説明図である。
【図２】本願発明の他の実施例の光センサの説明図である。
【図３】本願発明の他の実施例の光センサの説明図である。
【図４】紫外線照射装置の説明図である。
【図５】従来の光センサの説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
Ａ 光センサ
２１ 第１のケーシング
２２ 第２のケーシング
３ 窓材
４１ Ｏリング
４２ Ｏリング
５ 酸素除去剤
６ 水分吸着剤
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプ等の紫外線光源から放射される紫外光を検知する光センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、例えば液晶表示パネルのガラス基板の紫外線照射による洗浄工程などにおいては、波長２００ｎｍ以下の真空紫外光を放射するエキシマランプを具えてなる紫外線照射装置が用いられている。
【０００３】
図４を用いて、このような紫外線照射装置を説明する。
紫外線照射装置１０は、光取出窓１１と本体ケース１２と金属ブロック１３を有し、本体ケース１２の内部にエキシマランプ１が配置されている。
光取出窓１１は光透過部材でありエキシマランプ１から放射される紫外光を透過するもので、例えば合成石英ガラスから構成される。本体ケース１２は、ステンレスからなるもので一方の側壁にはガス導入口１２ａが、他方の側壁にはガス排出口１２ｂが形成される。
このガス導入口１２ａからは窒素ガス等の不活性ガスが導入され、ガス排出口１２ｂから残存していた酸素ガスとともに不活性ガスが排出される。
１６は、金属ブロック１３を冷却する水冷パイプである。
【０００４】
金属ブロック１３は、溝部が形成され、各溝部はエキシマランプ１の半分の部分が嵌まるようになっている。また、金属ブロック１３には、各々のエキシマランプ１を臨むように貫通孔が形成されており、金属ブロック１３の上方であって、貫通孔を臨む位置に光センサ１５が組み込まれおり、この光センサ１５によってエキシマランプ１からの放射光を検知するものである。（特許文献１参照）
【０００５】
例えば、このような紫外線照射装置を用いた液晶表示パネルのガラス基板のドライ洗浄工程は、通常、被処理物である液晶用ガラス基板をベルトコンベアーなどの適宜の搬送手段によって搬送して紫外線照射装置による光照射領域に導入し、紫外光を連続照射することにより行われている。
【０００６】
このような紫外線照射装置においては、信頼性の高い紫外光照射処理を行うためには、エキシマランプの点灯状態が適正な状態、例えば十分な強度で紫外光が照射されている状態であるか否かを確認することが必要となるが、主として放射される光が紫外光であることから、当該エキシマランプの点灯状態は目視にて確認することができない。
このため、エキシマランプの点灯状態を確認するために、エキシマランプから放射される紫外光を検出する光センサを用いて、エキシマランプの点灯状態を測定する方法が知られている。（特許文献２参照）
【０００７】
図５は、光センサの説明図である。
光センサ１５は、紫外光を検出する半導体センサーより紫外光検出器１５１が配置された金属基板１５２に、金属キャップ１５３が被せられており、この金属キャップ１５３には紫外光が通過する貫通孔が形成されており、この貫通孔には紫外光を透過するガラス製の窓材１５４が接着されている。そして、金属キャップ１５３と金属基板１５２は溶接やロウ材等の手段で接合されている。
そして、金属キャップ１５３内の密閉空間内に酸素が存在すると紫外光が酸素に吸収されてしまい、紫外光が紫外光検出器１５１に到達しなくなるので、金属キャップ１５３内に窒素等の不活性ガスを封入するものである。
そして、窓材１５４を透過した紫外光が金属キャップ１５３内に照射され、紫外光検出器１５１に到達して紫外光が検出されるものである。
【０００８】
図４に示すように、このような光センサ１５は、金属ブロック１３の貫通孔よりエキシマランプから放射された紫外光が光センサ１５の前方の窓材１５４に到達する構造になっており、窓材１５４と金属ブロック１３の貫通孔の間は本体ケース１２内部と連通した空間になっており、紫外光が吸収されない不活性ガス雰囲気となっている。そして、紫外光が窓材１５４を透過し紫外光検出器１５１で検出され、エキシマランプの点灯状態を測定できるものである。
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−２２１４９０号公報
【特許文献２】特開２００４−０３７１７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図５で示す光センサ１５では、密閉された金属キャップ１５３内に不活性ガスが封入された構造であり、通常、このような光センサ１５の製造は、紫外光検出器１５１が配置された金属基板１５２と、窓材１５４が接着された金属キャップ１５３を、不活性ガス雰囲気中の組み立て空間に配置し、この状態で金属キャップ１５３の金属基板１５２と接触している部分を加熱して溶融して密閉構造とするものである。
【００１１】
しかしながら、このような製造方法によって組み立てられた光センサ１５では、組み立て工程中に不活性ガス雰囲気中に微量の酸素が混入していた場合、その酸素が密閉された金属キャップ１５３に封入されることになる。
【００１２】
この結果、密閉された金属キャップ１５３に酸素が存在することにより、窓材１５４を透過した紫外光の一部が酸素によって吸収され、紫外光検出器１５１に到達しなくなり、正確に紫外光を測定することができなくなるという問題があった。
さらには、紫外光の一部が酸素によって吸収され、金属キャップ１５３内でオゾンが発生し、このオゾンによって紫外光検出器２３が劣化し、正確に紫外光を測定することができなくなるという問題があった。
【００１３】
さらに、金属キャップ１５３は、紫外光が照射される方向に位置しており、紫外線照射装置内のエキシマランプの熱を受けやすくなっており、金属キャップ１５３が加熱され膨張し、ランプ消灯後は金属キャップ１５３の温度が下がり収縮し、膨張・収縮を繰り返すことにより、金属キャップ１５３と金属基板１５２の接合箇所が破壊され、金属キャップ１５３内の不活性ガスが流出し、大気が流入することがあった。
この結果、金属キャップ１５３に酸素が流入し、窓材１５４を透過した紫外光の一部が酸素によって吸収され、紫外光検出器１５１に到達しなくなったり、或いは、金属キャップ１５３内でオゾンが発生し、このオゾンによって紫外光検出器２３が劣化し、正確に紫外光を測定することができなくなるという問題があった。
【００１４】
さらに、図４に示すように、光センサ１５は、被処理物が処理される本体ケース１２の内部空間と金属ブロック１３の貫通孔を介して繋がっており、被処理物を処理する際に発生する汚染物質が飛散して、光センサ１５の窓材１５４が汚染されることがある。
窓材１５４が汚染されても、窓材１５４は金属キャップ１５３に接着されたものであり、窓材１５４だけを取り替えることができず、汚染された窓材１５４を使用することにより紫外光の透過率が減少し、正確に紫外光を測定することができなくなるという問題があった。
【００１５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであって、その目的は、紫外光検出器が配置されているケーシング内の酸素を確実に取り除き、オゾンの発生を防止すると共に、紫外光検出器によって紫外光を正確に測定でき、エキシマランプ等の紫外線光源の点灯状態を正確に測定できる光センサを提供することにある。
さらには、紫外光を透過する窓材が汚染された場合に、簡単に窓材のみを交換でき、常に、紫外光を正確に測定できる光センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１に記載の光センサは、ケーシング内に配置された紫外光検出器によって紫外光を検出する光センサにおいて、前記ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、前記第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、前記第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、前記窓材と前記第１のケーシングの間には、シール部材が配置されており、前記第１のケーシング内には、酸素除去剤が配置されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項２に記載の光センサは、請求項１に記載の光センサであって、特に、前記窓材と前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項３に記載の光センサは、請求項１または請求項２に記載の光センサであって、特に、前記第１のケーシング内には、水分吸着剤が配置されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項４に記載の光センサは、ケーシング内に配置された紫外光検出器によって紫外光を検出する光センサにおいて、前記ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、前記第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、前記第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、前記第１のケーシングと前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されており、前記窓材と前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されており、前記第１のケーシング内には、酸素除去剤が配置されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項５に記載の光センサは、請求項４に記載の光センサであって、特に、前記第１のケーシングには、前記窓材の方向に開口を有する第１の流通孔と第２の流通孔を有し、前記第１の流通孔と第２の流通孔は前記第１のケーシング内の連通孔につながっており、前記連通孔内に前記酸素除去剤が配置され、前記第１の流通孔と第２の流通孔の開口径が異なっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の光センサは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、窓材と第１のケーシングの間にはシール部材が配置されており、第１のケーシング内には酸素除去剤が配置されているので、紫外光検出器が配置されている密閉空間内には酸素が存在せず、窓材を透過した紫外光が酸素に吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、紫外光検出器が配置されている密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器の劣化も防止することができる。
【００２２】
本発明の光センサは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、第１のケーシングと第２のケーシングの間にはシール部材が配置されており、窓材と第２のケーシングの間にはシール部材が配置されており、第１のケーシング内には酸素除去剤が配置されているので、紫外光検出器が配置されている密閉空間内には酸素が存在せず、窓材を透過した紫外光が酸素に吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、紫外光検出器が配置されている密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器の劣化も防止することができる。
【００２３】
本発明の光センサは、窓材と第１のケーシングの間にシール部材が配置されており、さらに、窓材と第２のケーシングの間にも別のシール部材が配置されているので、第２のケーシングが膨張・収縮を繰り返しても、この膨張・収縮の応力は、窓材と第２のケーシングの間に配置されたシール部材と窓材と第１のケーシングの間に配置されたシール部材の双方で吸収されることになり、第１のケーシングと窓材によって区画された第１のケーシング内の密閉空間は常に密閉された状態を保つことができ、外気が密閉空間内に進入することがなく、常に、正確に、紫外光検出器によって紫外光を検出することができる。
【００２４】
第１のケーシングには、窓材の方向に開口を有する第１の流通孔と第２の流通孔を有し、第１の流通孔と第２の流通孔は前記第１のケーシング内の連通孔につながっており、連通孔内に前記酸素除去剤が配置され、記第１の流通孔と第２の流通孔の開口径が異なっているので、窓材が加熱されて、第１の流通孔と第２の流通孔と連通孔を通る対流を発生させることができ、この対流は酸素除去剤を通るものであり、確実に、酸素を除去することできるものである。
【００２５】
さらに、第１のケーシング内に水分吸着剤が配置されているので、光センサの組み立て工程において、密閉空間内に水分が入っても、確実にその水分を水分吸着剤で吸着することができ、紫外光検出器の水分による劣化を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本願発明の光センサを説明する。
図１は、本願発明の光センサの断面図である。
光センサＡは、紫外光によって劣化しない金属製の第１のケーシング２１と第２のケーシング２２を有している。
第１のケーシング２１は、大径円盤状の基板部２１１と、この基板部２１１から立設して内部に空間を有する基板部２１１より小径の筒部２１２からなり、筒部２１２の反基板部側は基板部２１１の中心方向に伸びる前方縁部２１３が形成されており、この前方縁部２１３より基板２１１の中心方向には、紫外光が通過する貫通孔２１４が形成されており、筒部２１２の内部の底部には、紫外光を検出する半導体センサーからなる紫外光検出器２３が配置されている。
第２のケーシング２２は、内部に空間を有する円筒状の基体部２２１と、この基体部２２１には底部２２２が形成され、底部２２２には中心に紫外光が通過する貫通孔２２３が形成されている。
【００２７】
第１のケーシング２１の立設した筒部２１２は、第２のケーシング２２の基体部２２１の内部に挿入されており、第１のケーシング２１の貫通孔２１４と、第２のケーシング２２の貫通孔２２３が重なるように配置されている。
第１のケーシング２１と第２のケーシング２２の間であって、それぞれのケーシング２１，２２の貫通孔２１４，２２３に対向する位置に紫外光を透過する窓材３が配置されている。
この窓材３は石英ガラス製のものである。
【００２８】
窓材３と第１のケーシング２１の前方縁部２１３の間には、シール部材である弾性変形するＯリング４１が配置されており、このＯリング４１によって、窓材３と第１のケーシング２１がシールされ、第１のケーシング２１と窓材３によって第１のケーシング２１内が密閉空間となっており、この密閉空間に酸素除去剤５が配置されている。
酸素除去剤５は、第１のケーシング２１の前方縁部２１３の内部空間側の壁面には設けられている。
この酸素除去剤５としては、金属の酸化作用により酸素を吸収する不可逆反応的構造のものとして、チタン、鉄、マンガンなどであり、微細気泡に酸素分子が入り込み吸着する可逆反応的構造のものとして、シリカ、活性炭などである。
【００２９】
窓材３と第２のケーシング２２の底部２２２の間には、シール部材である弾性変形するＯリング４２が配置されており、このＯリング４２によって、窓材３と第２のケーシング２２がシールされている。
なお、図示はしていないが、適宜の手段で、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２を押圧して、それぞれのケーシング２１，２２と窓材３との間に配置されたＯリング４１，４２を変形させて、密着させるものである。
【００３０】
この光センサＡは、組み立て工程中に、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内に酸素が存在する状態になっても、この酸素は酸素除去剤５によって速やかに除去され、完成した光センサＡでは、この密閉空間には酸素が存在しなくなるものである。
【００３１】
このような光センサＡによれば、エキシマランプから紫外光が放射されると第２のケーシング２２の貫通孔２２３を紫外光が通過し、その紫外光が窓材３を透過し、さらに、その紫外光は第１のケーシング２１の貫通孔２１４を通過して、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内の密閉空間に照射され、紫外光検出器２３に到達し、紫外光が検出される。
【００３２】
この時、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内の密閉空間には、酸素除去剤５によって、確実に酸素が除去された構造になっているので、窓材３を透過してきた紫外光が酸素によって吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器２３に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器２３の劣化も防止することができ、正確に紫外光を測定することができる。
【００３３】
さらに、第２のケーシング２２は、紫外光が照射される方向に位置しており、紫外線照射装置内のエキシマランプの熱を受けやすくなっており、第２のケーシング２２が加熱され膨張し、ランプ消灯後は第２のケーシング２２の温度が下がり収縮し、膨張・収縮を繰り返すことになるが、この膨張・収縮の応力は窓材３との間に配置されたＯリング４２で吸収されることになり、さらに、窓材３と第１のケーシング２１との間にはＯリング４１が配置されているので、第２のケーシング２２の膨張・収縮応力がＯリング４２を介して窓材３に伝達されても、その伝達された応力はＯリング４１で吸収されるのであり、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内の密閉空間は常に密閉された状態を保つことができ、外気が密閉空間内に進入することがなく、常に、正確に、紫外光検出器２３によって紫外光を検出することができる。
【００３４】
さらに、窓材３は、Ｏリング４１，４２によって、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２の間に挟持された構造であり、窓材３が被処理物を処理する際に発生する汚染物質で汚染されても、簡単に窓材３のみを交換することができ、常に、正確に紫外光を測定することができる。
【００３５】
図１では、窓材３と第２のケーシング２２との間にはＯリング４２が配置されているが、このＯリング４２を取り除いて、第２のケーシング２２の底部２２２で、直接、窓材３を第１のケーシング２１の筒部２１２の方向に押える構造であってもよい。
この構造であっても、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内を密閉空間とすることができ、密閉空間に配置された酸素除去剤５によって、確実に酸素が除去された構造になり、窓材３を透過してきた紫外光が酸素によって吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器２３に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器２３の劣化も防止することができ、正確に紫外光を測定することができる。
【００３６】
また、第１のケーシング２１と窓材３によって第１のケーシング２１内が密閉空間となっており、この密閉空間に水分吸着剤６を配置してもよい。
水分吸着剤６は、第１のケーシング２１の前方縁部２１３の内部空間側の壁面には設けられている。
この水分吸着剤６は、塩化カルシウム、生石灰、天然ゼオライト、シリカゲルＡ型、シリカゲルＢ型、シリカゲル青である。
このように、密閉空間に水分吸着剤６を配置することにより、光センサの組み立て工程において、密閉空間内に水分が入っても、確実にその水分を水分吸着剤６で吸着することができるので、紫外光検出器２３の水分による劣化を防止することができる。
【００３７】
図２は光センサの他の実施例であり、光センサＢでは、窓材３と第２のケーシング２２底部２２２の間には、シール部材であるメタルパッキン４５が配置されており、このメタルパッキン４５によって、窓材３と第２のケーシング２２がシールされている。
第１のケーシング２１の前方縁部２１３には凹部が形成されており、この凹部にＯリング４１が配置されており、Ｏリング４１によって、窓材３と第１のケーシング２１がシールされている。
第１のケーシング２１の基板部２１１には凹部が形成されており、この凹部にＯリング４３が配置されており、Ｏリング４３によって、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２がシールされている。
そして、第１のケーシング２１の筒部２１２と第２のケーシング２２の基体部２２１の間に十分な空間を作ることにより、第２のケーシング２２が加熱されて高温になっても、その熱が第１のケーシング２１に伝わり難くすることができ、第１のケーシング２１に設けられた紫外光検出器２３の温度上昇を抑制でき、紫外光検出器２３が熱で劣化することを防止できる。
【００３８】
紫外光検出器２３の熱劣化を確実に防止する手段として、第１のケーシング２１の基板部２１１の上方に冷却手段を設けてもよい。
具体的には、空冷のための基板部２１１に冷却フィンをつける、或いは、内部に冷却水が循環する冷却ブロックを基板部２１１に接触させる、或いは、ペルーチェ素子を基板部２１１に取り付ける構造がある。
【００３９】
なお、図２においても、窓材３と第２のケーシング２２との間のシール部材であるメタルパッキン４５を取り除いて、第２のケーシング２２の底部２２２で、直接、窓材３を第１のケーシング２１の筒部２１２の方向に押える構造であってもよい。
この構造であっても、第１のケーシング２１と窓材３によって区画された第１のケーシング２１内を密閉空間とすることができ、密閉空間に配置された酸素除去剤５によって、確実に酸素が除去された構造になり、窓材３を透過してきた紫外光が酸素によって吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器２３に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器２３の劣化も防止することができ、正確に紫外光を測定することができる。
【００４０】
図３は、光センサの他の実施例であり、光センサＣは、第２のケーシング２２の基体部２２１の前方側には段部２２４が形成されており、この段部２２４と第１のケーシング２１の筒部２１２の前面との間に、シール部材であるリング状のメタルパッキン４４が配置されており、さらに、窓材３と第２のケーシング２２の底部２２２の間にも、シール部材であるリング状のメタルパッキン４５が配置されている。
そして、第１のケーシング２１の筒部２１２の上部外周にはネジ山が切られており、第２のケーシング２２の基体部２２１の上部内周にはネジ溝が切られており、筒部２１２が基体部２２１の内部に回転して挿入されことにより、筒部２１２と基体部２２１が螺合して、筒部２１２が基体部２２１の前方に進むことにより、それぞれのケーシング２１，２２と窓材３との間に配置されたメタルパッキン４４，４５が変形し、それぞれの部材が密着するものである。
【００４１】
また、窓材３と第１のケーシング２１の筒部２１２の内部空間との間にできる空間にバネ部材７が配置されており、バネ部材７の一端側が窓材３に当接し、他端側に紫外光検出器２３が取り付けられている。
【００４２】
さらに、第１のケーシング２１には、窓材３の方向に開口を有する第１の流通孔２１５と第２の流通孔２１６を有し、第１の流通孔２１５と第２の流通孔２１６は第１のケーシング２１内の連通孔２１７につながっており、この連通孔２１７内に酸素除去剤５が配置されている。
そして、第１の流通孔２１５と第２の流通孔２１６の開口径が異なっており、第１の流通孔２１５の開口径は５ｍｍ、第２の流通孔２１６の開口径は３ｍｍとなっている。
【００４３】
この光センサＣにおいては、窓材３は紫外光が照射されるので加熱されて高温状態になっているので、第１のケーシング２１内であって窓材３近傍の空間の温度が高くなっている。
そして、この空間に連通するように、第１の流通孔２１５と第２の流通孔２１６が繋がっているので、この空間で対流が発生する。そして、第１の流通孔２１５の開口径が第２の流通孔２１６の開口径より大きくなっているので、第１の流通孔２１５内に対流が流れ込み、その対流が連通孔２１７を通り、第２の流通孔２１６から排出される構造になる。
【００４４】
さらに、対流が流れる連通孔２１７には、酸素除去剤５が配置されているので、確実に、酸素を除去することできる。
この結果、紫外光検出器２３が配置されている密閉空間内には酸素が存在せず、窓材を透過した紫外光が酸素に吸収されず、減衰されない状態で紫外光検出器に到達し、正確に紫外光を測定することができる。さらには、紫外光検出器が配置されている密閉空間内でオンゾが発生せず、紫外光検出器の劣化も防止することができる。
【００４５】
なお、酸素除去剤５で酸素が完全に取り除くことができない場合、極微量のオゾンが発生することがあるが、第１の流通孔２１５と連通孔２１７と第２の流通孔２１６で構成される流通路内であって、酸素除去剤５に対して対流が流れ込む上流側に、活性炭などのオゾン分解触媒を配置すれば、オゾンを確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本願発明の光センサの説明図である。
【図２】本願発明の他の実施例の光センサの説明図である。
【図３】本願発明の他の実施例の光センサの説明図である。
【図４】紫外線照射装置の説明図である。
【図５】従来の光センサの説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
Ａ 光センサ
２１ 第１のケーシング
２２ 第２のケーシング
３ 窓材
４１ Ｏリング
４２ Ｏリング
５ 酸素除去剤
６ 水分吸着剤
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング内に配置された紫外光検出器によって紫外光を検出する光センサにおいて、
前記ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、
前記第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、
前記第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、
前記窓材と前記第１のケーシングの間には、シール部材が配置されており、
前記第１のケーシング内には、酸素除去剤が配置されていることを特徴とする光センサ。
【請求項２】
前記窓材と前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光センサ。
【請求項３】
前記第１のケーシング内には、水分吸着剤が配置されていることを特徴とする請求項１または請求２に記載の光センサ。
【請求項４】
ケーシング内に配置された紫外光検出器によって紫外光を検出する光センサにおいて、
前記ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、
前記第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、
前記第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、
前記第１のケーシングと前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されており、
前記窓材と前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されており、
前記第１のケーシング内には、酸素除去剤が配置されていることを特徴とする光センサ。
【請求項５】
前記第１のケーシングには、前記窓材の方向に開口を有する第１の流通孔と第２の流通孔を有し、
前記第１の流通孔と第２の流通孔は前記第１のケーシング内の連通孔につながっており、
前記連通孔内に前記酸素除去剤が配置され、
前記第１の流通孔と第２の流通孔の開口径が異なっていることを特徴とする請求項４に記載の光センサ。
【請求項１】
ケーシング内に配置された紫外光検出器によって紫外光を検出する光センサにおいて、
前記ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、
前記第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、
前記第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、
前記窓材と前記第１のケーシングの間には、シール部材が配置されており、
前記第１のケーシング内には、酸素除去剤が配置されていることを特徴とする光センサ。
【請求項２】
前記窓材と前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光センサ。
【請求項３】
前記第１のケーシング内には、水分吸着剤が配置されていることを特徴とする請求項１または請求２に記載の光センサ。
【請求項４】
ケーシング内に配置された紫外光検出器によって紫外光を検出する光センサにおいて、
前記ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器が配置され紫外光が通過する貫通孔を有する第１のケーシングと、紫外光が通過する貫通孔を有する第２のケーシングからなり、
前記第１のケーシングと第２のケーシングは、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、
前記第１のケーシングと第２のケーシングの間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材が配置され、
前記第１のケーシングと前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されており、
前記窓材と前記第２のケーシングの間には、シール部材が配置されており、
前記第１のケーシング内には、酸素除去剤が配置されていることを特徴とする光センサ。
【請求項５】
前記第１のケーシングには、前記窓材の方向に開口を有する第１の流通孔と第２の流通孔を有し、
前記第１の流通孔と第２の流通孔は前記第１のケーシング内の連通孔につながっており、
前記連通孔内に前記酸素除去剤が配置され、
前記第１の流通孔と第２の流通孔の開口径が異なっていることを特徴とする請求項４に記載の光センサ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００９−２６５０８１（Ｐ２００９−２６５０８１Ａ）
【公開日】平成２１年１１月１２日（２００９．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−３１６３４９（Ｐ２００８−３１６３４９）
【出願日】平成２０年１２月１２日（２００８．１２．１２）
【出願人】（０００１０２２１２）ウシオ電機株式会社 (1,414)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１１月１２日（２００９．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１２月１２日（２００８．１２．１２）
【出願人】（０００１０２２１２）ウシオ電機株式会社 (1,414)
【Ｆターム（参考）】
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