【課題】入射光の入射位置及び入射方向を同時に検出することができるようにした光検出装置を提供する。
【解決手段】第一の平面内にマトリックス状に配置した複数個の光検出素子から成る第一の光センサアレイ１１と、第一の平面の光入射側と反対側にて所定間隔ｄで平行に隔置した第二の平面内にマトリックス状に配置した複数個の光検出素子から成る第二のセンサアレイ１２と、スポット状の入射光による第一及び第二の光センサアレイ１１、１２からの検出信号に基づいて、当該入射光の第一及び第二の光センサアレイ１１、１２上における入射位置Ｐ１，Ｐ２を演算すると共に、演算した入射位置間の偏位量ΔＰから当該入射光の入射角度θを演算して、当該入射光の入射位置及び入射方向を決定する信号処理部１４と、を含むように、光検出装置１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】主に本発明の赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証を含み、先ずエピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証を行い、これによりエピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換する。熱影像品質統合テスト検証を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整する。熱影像アレーモジュール雛形を継続して行い、インジウム柱接合方式を利用し、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象となる光源からの光の光学特性が正確に検査できることで、検査効率の向上を図ることができると共に、高い検査信頼性を得ることができる。
【解決手段】検査装置は、検査対象となるＬＥＤからの光を採光部２により取り込み、ＬＥＤの光学的な検査を分光器により行うためのものである。採光部２は、ＬＥＤに向けて光を取り入れるための開口部が設けられていると共に、取り入れた光を分光器へ出力する光ファイバ４が基端部に設けられたカップ状のケース部２１と、ＬＥＤから開口部を通じて光ファイバ４へ至るまでの光軸を含む範囲以外の範囲を遮蔽する環状に形成された遮蔽部材２２１がケース部２１内の奥行き方向に沿って１０枚配置され、光軸に対して斜行して開口部に入射する光を制限する光調整部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】光源装置を大型化することなく、光源装置の異常を検出可能とすること。
【解決手段】励起光源１６、光ファイバ１８、波長変換ユニット２０を順に接続して構成された光源装置と、該光源装置の正常な動作を確認する動作確認装置１４と、からなる照明システムは、光源装置における波長変換部を備える光信号射出端３２と動作確認装置とを直接物理的に接続するための接続部４０と、該接続部により光信号射出端と動作確認装置とが接続された状態で、光信号射出端から射出された光信号を検出する光量センサ２８と、該光量センサでの検出結果に基づき、励起光源と光ファイバと波長変換ユニットの動作を判定する判定回路を有する光源制御器２２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】照明光源が発光した光を受光して光学測定を行うときに、照明光源に熱のダメージを与えることなく正確に光学測定を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明の光学測定装置は、ＬＥＤ８に対して電源部７が駆動電流を供給することでＬＥＤ８を発光させる発光部２と、ＬＥＤ８が発光した光Ｌを受光してＬＥＤ８の光学測定を行う測光部５と、発光部２と測光部５との間を接続し、発光部２の発光タイミングと測光部５の測定タイミングとを同期させるためのトリガ信号ｔｒｉｇを伝送するトリガ信号伝送部２０と、を備えている。これにより、光学測定を正確に行うことができ、ＬＥＤ８に対して作用する熱のダメージを軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】生産ラインの環境の影響を受けることなく、また、装置を複雑な構成にすることなく、ワーク（発光装置）から照射された光の測定を行うことができる積分球装置及び光測定方法を提供すること。
【解決手段】積分球装置１は、光を反射する球内面を有する球面拡散反射体２と、発光装置Ｗからの光を入射するように前記球面拡散反射体の光入射口１０に設けた拡散板と、この拡散板から入射した前記発光装置Ｗの光が前記球面拡散反射体の球面内に設けた光検出位置５に直接入射しないように当該球面拡散反射体内に設置した遮光板４と、を備え、前記拡散板は、前記光入射口から前記球面拡散反射体内に向かって凸状となる半球面形状に形成された半球面形状拡散板３である構成とした。 （もっと読む）

【課題】
パルス光のピークパワーの状態をリアルタイムにモニターできる、ピークパワーモニター装置およびピークパワーのモニター方法を提供する。
【解決手段】
測定対象であるレーザーパルス光を２つの光に分波する分波器と、分波された２つの光をそれぞれ受ける、第１光検出器および第２光検出器と、信号演算処理器と、出力器と、を有し、前記第１光検出器は１光子吸収を利用して受けた光のエネルギーを第１信号に変換するとともに、前記第２光検出器は２光子吸収を利用して受けた光のエネルギーを第２信号に変換しており、前記信号演算処理器は、前記第２信号を前記第１信号で除した商を求め、前記商より前記パルス光のピークパワーの状態を表す演算機能を有しており、前記パルス光のピークパワーの状態を表す信号を、前記出力器に出力しモニターすることを特徴とするピークパワーモニター装置である。 （もっと読む）

【課題】 車両前照灯であるヘッドライトの照射分布を模擬確認するヘッドライトテスターにおいて、ヘッドライトの形状映像を撮像し、ヘッドライトテスターを移動させすることにより前記ヘッドライトの座標位置を決定し、前記ヘッドライトを自動的に車両正対することを課題とする。
【解決手段】 車両前照灯であるヘッドライトの照射分布を模擬確認するヘッドライトテスターにおいて、前照灯の形状映像を撮像し、モニター上の画面よりヘッドライト形状の座標を求め、ヘッドライトテスターの移動情報と前記座標からヘッドライトの形状を判断することにより、その正対位置を決定しヘッドライトテスターを正対位置に自動的に移動し測定するヘッドライトテスターを提供する。 （もっと読む）

【課題】標本面の測定領域に照射される単位面積当たり光強度を正確に算出する技術を提供する。
【解決手段】顕微鏡から射出される光の強度を測定する光強度測定ユニット１は、開口絞り３と、視野絞り５と、開口絞り３と視野絞り５の間に配置される少なくとも１枚の測定レンズ４と、顕微鏡に装着するためのインターフェース部２ａとを含んで構成される。開口絞り３は、少なくとも１枚の測定レンズ４の後側焦点面近傍に位置することで、対物レンズの瞳と同様に作用する。視野絞り５は、少なくとも１枚の測定レンズ４の前側焦点面近傍に位置することで、単位面積当たり光強度の算出に用いられる面積を確定する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光以外の波長を有した露光光を容易に評価する露光量評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一つの実施形態によれば、フォトマスクが、露光光のうちＥＵＶ光よりも長い波長を有した長波長光を反射し且つ前記ＥＵＶ光を吸収する長波長光反射膜を有している。また、フォトマスクは、前記長波長光反射膜の上層側に配置されるとともに前記ＥＵＶ光および前記長波長光を吸収する吸収膜を用いて形成されたマスクパターンを有している。そして、フォトマスクと、レジストが塗布された露光対象の基板と、をＥＵＶ露光装置内にセットする。前記フォトマスクに対し前記マスクパターン側から前記露光光を照射するとともに、前記フォトマスクで反射された露光光を前記基板に照射する。そして、前記基板に照射された露光光の露光量に基づいて、前記基板に照射された長波長光の光量分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象または検査対象となる光源の配光特性を瞬時に測定または判定することで、生産ラインにおける光源を高速に検査することができるとともに、経時変化する光源の放射強度を正確に測定することができる配光特性測定装置、配光特性検査装置、配光特性測定プログラム、配光特性測定方法および配光特性検査方法を提供する。
【解決手段】配光特性測定装置１００は、光源１０を覆うように半球状に形成され当該半球の頂点が光源１０の中心軸と一致するように配置される半球状拡散板３０と、光源１０から照射され半球状拡散板３０を透過した光を撮像する撮像装置５０と、Ｘ軸垂直光強度およびＹ軸垂直光強度を抽出する垂直光強度抽出手段６１と、Ｘ軸垂直光強度およびＹ軸垂直光強度をＸ軸断面放射強度およびＹ軸断面放射強度に変換する放射強度算出手段６３と、を備えている。 （もっと読む）

【解決手段】光子検出器 光子検出システムはアバランシェフォトダイオードを具備し、アバランシェフォトダイオードは、第１導電型を有する第１半導体層と第２導電型を有する第２半導体層とから形成されたｐｎ接合を具備し、第１導電型はｎ型またはｐ型から選択され、第２導電型は第１導電型とは異なりかつｎ型またはｐ型から選択され、第１半導体層は第１導電型のドーパントでドープされるドープ層であり、低い場の複数ゾーンに囲まれた高い場の複数ゾーンの複数のアイランドを第１層が具備するように、第１導電型のドーパントの濃度に変化があり、高いおよび低い場の複数ゾーンは、ｐｎ接合の平面で横方向に分布していて、ドーパント濃度は、高い場の複数ゾーンでは低い場の複数ゾーンよりも高く、前記システムは、さらにバイアス部を具備し、前記バイアス部は、時間に関して静的である電圧、および時間変動する電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】被写体に対する出力信号の精度の向上を図ること。
【解決手段】第１の取得部６０１によって受光素子群から暗電流の値を取得し、特定部６０２によって、受光感度特性に基づいて、第１の取得部６０１で取得された各受光素子からの暗電流の値に対応する受光感度を特定する。つぎに、比率算出部６０３によって、特定部６０２で特定された受光感度と補正目標である所定の受光感度との比率を受光素子毎に補正係数として算出し、この補正係数を記憶部６０４に記憶する。そして、補正部６０６は、記憶部６０４に記憶されている補正係数を用いて、第２の取得部６０５で取得した出力信号を補正する。出力部６０７は補正された出力信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】極紫外線（ＥＵＶ）光源のための測定機器を提供する。
【解決手段】「ＥＵＶ光源」測定のためのシステム及び方法。第１の態様では、ＥＵＶ光源電力出力を測定するためのシステムは、ＥＵＶ光経路に沿って配置された光電子原料物質を含み、この物質を露出させてある一定量の光電子を発生させることができる。システムは、更に、光電子を検出してＥＵＶ電力を示す出力を生成するための検出器を含むことができる。別の態様では、ＥＵＶ光強度を測定するためのシステムは、ＥＵＶ光経路に沿って配置可能な多層ミラー、例えばＭｏ／Ｓｉを含み、このミラーを露出させてミラーに光電流を発生させることができる。電流モニタをミラーに接続し、光電流を測定してＥＵＶ電力を示す出力を生成することができる。更に別の態様では、オフラインＥＵＶ測定システムは、光特性を測定するための計器、及びＭｏＳｉ₂／Ｓｉ多層ミラーを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】太陽電池の照射光量に対する分光感度の非線形性を補償する。
【解決手段】太陽電池評価装置１におけるソーラシミュレータ（照明光源）３の光量校正を行う光源評価装置１０において、分光放射計１３によってソーラシミュレータ３の照射光を取込み、その分光放射照度Ｌ（λ）を求める。一方、分光感度測定装置５では、白色バイアス光の強度を複数ｉ段階に変化させ、都度、分光光源から輝線照射を行うＤＳＲ法によって、太陽電池２の分光感度Ｐｉ（λ）＝Ｐ（λ，Ｉｂ）＝Ｐ（λ，∫Ｌ（λ）ｄλ）を求める。そして演算部１４は、２つの分光放射照度Ｓ（λ）および分光放射照度Ｌ（λ）と分光感度Ｐｉ（λ）とから、基準太陽光で規定の短絡電流Ｉｓｔｃとなるときの照射光エネルギーＥｓｓおよび実際にソーラシミュレータ３による照射光エネルギーＥｓｓを求め、両者が一致するようにソーラシミュレータ３の光量をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】基板に取り付けられた状態の光源の全光量を明るい環境下でも測定できる全光量測定システムの提供。
【解決手段】光を正反射する反射面部１１３を内面に有し、直接光と反射光とが通過する第一開口１１１と、光源３００を配置するための第一挿入孔１１２とを有する第一筐体１０１と、第二開口１２１と、第二挿入孔１２２と、光を吸収する吸収面部１２３を内面に有する第二筐体１０２と、第一光量と、第二光量とを検出する検出手段１０３と、全光量を算出する演算手段１０４と、迷光の第一空間１１０への進入を阻止する柔軟性のある第一遮光部材１４１と、迷光の第二空間１２０への進入を阻止する柔軟性のある第二遮光部材１４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡素且つ省スペースな装置構成でありながら、十分な角度分解能が得られる、光源の配光特性測定装置を提供する。
【解決手段】 光源１１の配光特性測定装置１であって、所望の角度分解能に応じて、可変アパチャー１５の開口径を変化させるか、又は移動機構１９により光源１１及び積分球１３の少なくとも一方を移動させるかする毎に、光強度検出器２１により積分球１３の射出側開口１３ｂからの射出光の強度を検出させる動作を、扇形回転アパチャー１７を中心角ずつ回転させる毎に繰り返し、得られた検出結果を用いて、光源１１の３次元配光特性を求める。 （もっと読む）