【課題】半導体ウェハの端部に欠けが発生するのを抑制することが可能で、且つ、製造歩留まりの向上を図ることが可能な半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ１２１の表面側に薄膜部１２３を形成する薄膜部形成工程と、薄膜部１２３上にレジスト膜１２４を形成するフォトリソグラフィ工程と、レジスト膜１２４をエッチングマスクとして薄膜部１２３をエッチングすることで半導体ウェハ１２１の表面の一部１２１ｄを露出させる第１エッチング工程と、半導体ウェハ１２１の表面の一部１２１ｄから半導体ウェハ１２１をエッチングする第２エッチング工程とを備え、フォトリソグラフィ工程では、薄膜部１２３のうち半導体ウェハ１２１の端部１３１に形成されている部位１２３ｄにレジスト膜１２４を形成しないようにし、第１エッチング工程では、薄膜部１２３の上記部位１２３ａをエッチング装置に設けた遮蔽物１２６によって保護する。 （もっと読む）

【課題】清浄な状態に維持できる光センサの提供。
【解決手段】燃焼室７における燃焼過程での放射光を検出する光センサ１は、その先端に配置されて燃焼室７に面する少なくとも１個のレンズ２を有する。レンズ２の周辺部のまわりには加熱装置４が巻きつけられており、その加熱装置４が、光センサの先端を、レンズ２を覆う燃焼室７からの煤を焼き尽くす温度まで加熱して、光センサ１を清浄な状態に維持するようになっている。 （もっと読む）

【課題】レンズ固着のための接着剤のはみ出しを低減し、開口径を高精度に維持しつつ、高精度で信頼性の高い赤外線検出を行うことが可能な赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】基板１０上に配置され、赤外線を検出する赤外線センサ素子３０と、赤外線センサ素子３０の出力を処理する信号処理回路素子４０と、赤外線センサ素子から所定の距離を隔てて設けられ、外部の赤外線を前記赤外線センサ素子に結像するための光学部材としてのレンズ２２を備えた光学部材用開口窓２３を有し、赤外線センサ素子および信号処理回路素子を収容するケースとを具備した赤外線センサモジュールであって、光学部材用開口窓２３は、その周縁部２３Ｒで、光学部材を装着する面側に肉薄部を有し、光学部材の周縁部と光学部材用開口窓の周縁部との間に凹状部２５を構成し、凹状部２５が、接着剤２４の充填される充填部を構成する。 （もっと読む）

【課題】走査光学系の光学異常を容易且つ高精度に検査するための走査光学系光量測定方法を提供する。
【解決手段】光走査装置１のレーザダイオード１１１より射出された走査ビームを連続点灯させて走査している状態で、フォトセンサ３及びスリット２を移動ステージ４により走査速度よりも遅い速度で主走査方向に移動させ、フォトセンサ３の移動中にフォトセンサ３を走査ビームが通過するよりも短いサンプリング周期で測定を行う。 （もっと読む）

【課題】投光面での光量の減少を抑え、光の強度を高め、また、投光面に対する傷、埃等が付くことにより光量が減少した場合に容易にこの投光面を交換する。
【解決手段】光を投光する投光部と、光を受光する受光部と、投光部または、投光部及び受光部を収納する筐体５と、投光部により投光された光を集光して検出領域に投光するレンズ７を有し、筐体に取り付けられるアタッチメント６とを備える。 （もっと読む）

【課題】エキシマランプと、該エキシマランプから放射光を測定する光センサーとを有するエキシマランプ装置において、光センサーの移動機構を設けることなく構造を簡略なものとして、パーティクルの発生を防止すると共に、経時的に安定した放射光の測定ができるようにした構造を提供しようとするものである。
【解決手段】前記光センサーが、光モニター部と、該光モニター部にエキシマランプからの放射光を導く導光管とからなり、該導光管の内壁には周方向の溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来と比べて高精度かつ小型の赤外線センサを提供すること。
【解決手段】赤外線センサ１０は、赤外線領域の光の検出機能を有する光電変換部を備えた量子型光電変換素子１と、量子型光電変換素子１に電気的に接続されたリードフレーム（図示せず）の接続端子３と、量子型光電変換素子１及び接続端子３を封止する樹脂モールド２と、金属ボール４を介して接続端子３と電気的に接続された光学調整部５とを備える。光学調整部５は、赤外線領域の光を量子型光電変換素子１に導く機能を有する。接続端子３には、金属ボール４との間のパッド３ａ〜ｄが設けられている（３ｃ及び３ｄは図示せず）。光学調整部５は、発熱素子７及び温度測定素子８を備え、これらの素子は、パッド６ａ〜ｄを介して接続端子３ａ〜ｄと電気的に接続される。量子型光電変換素子１は接続端子３ｅ〜ｆを介して外部回路に接続される。発熱素子７に瞬間的に電流を流すことによって、光学調整部５の基板とその周囲の結露を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサの汚れを防止でき、且つ、赤外線センサの汚れを防止する部材の汚れの程度を検知できる、温度検出装置を提供する。
【解決手段】被測定体３２に対して非接触に配置された、赤外線センサ３７と、赤外線センサ３７を被測定体３２から遮るように、両者間に配置され、被測定体３２から放射される赤外線が透過する、赤外線透過フィルタ３６と、被測定体３２と赤外線透過フィルタ３６との間の距離Ｘを変更する、距離変更手段３８と、を備えた温度検出装置３５であって、赤外線センサ３７は、距離変更手段３８によって距離Ｘが変更された場合でも、赤外線透過フィルタ３６を透過した赤外線を検出して、被測定体３２の温度を検出するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】 素子を基体表面上に直接配設することにより、電子部品をある程度低背化させることができる。しかしながら、一方で、素子を基体表面上に直接配設しているため、電子部品の製造時および使用時に基体から発生する気体分子の影響を素子が大きく受け、素子の特性が低下する可能性がある。
【解決手段】 主面に第１の凹部５を有する基体３と、第１の凹部５内に配設された素子７と、第１の凹部５を封止するように基体３上に配設された蓋体９とを備え、基体３が、素子７の下に位置する部分に第２の凹部１１を有し、第２の凹部１１の開口部が素子７の下に位置する部分と素子７の周囲に位置する部分とを有していて、第２の凹部１１において基体３が素子７から部分的に離隔し、第２の凹部１１内に配設されたゲッター材１３を更に備えた電子部品１とする。 （もっと読む）

【課題】
塵埃や油の飛沫の多いエレベーター環境下で光学式センサを用いる際、光学窓若しくはレンズ，ミラー等の汚れを、簡便な手法で防止する。
【解決手段】
一方の端部に外部流体と接する開口部を有し、他方の端部に光学窓０２０６を有する鏡筒０２０７と、該鏡筒に対し熱対流を生成せしめる手段を有する。 （もっと読む）

【課題】開発コスト、製品コストが大幅に上昇することなく、レンズの表面に付着した汚れを確実に除去することができる自動洗浄式光センサを提供する。
【解決手段】制御装置１１の画像処理用プロセッサ１２は、光センサ２の先端部３に設けられたレンズ４の表面に煤や有機物或いは無機物の汚れが付着することにより燃焼室１における検出対象領域からの光の照度が低下した場合は、レンズ４の表面に形成された櫛歯状電極トランスデューサ６に通電する。これにより、レンズ４の表面に表面弾性波が発生し、レンズ４の表面に付着した汚れを霧化することができるので、レンズ４の表面を清浄化することができる。 （もっと読む）

【課題】開発コスト、製品コストが大幅に上昇することなく、レンズの表面に付着した煤や有機物あるいは無機物の汚れを確実に除去することができる自動洗浄式光センサを提供する。
【解決手段】制御装置１５の画像処理用プロセッサ１６は、光センサ２の先端部３に設けられたレンズ７の表面に煤や有機物あるいは無機物の汚れが付着することにより燃焼室１における検出対象領域からの光の照度が低下した場合は、先端部３に設けられたヒータ電極１０に通電する。これにより、ヒータ電極１０から輻射エネルギがレンズ７の表面に集光状態で照射されるので、煤や有機物あるいは無機物の汚れを加熱焼却してレンズ７の表面を清浄化することができる。 （もっと読む）

【課題】紫外光検出器が配置されているケーシング内の酸素を確実に取り除き、オゾンの発生を防止すると共に、紫外光を正確に測定でき、エキシマランプ等の紫外線光源の点灯状態を正確に測定できる光センサの提供。
【解決手段】ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器２３が配置され紫外光が通過する貫通孔２１４を有する第１のケーシング２１と、紫外光が通過する貫通孔２２３を有する第２のケーシング２２からなり、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２は、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２の間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材３が配置され、前記窓材３と第１のケーシング２１の間には、シール部材４１が配置されており、第１のケーシング２１内には、酸素除去剤５が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】受光量の変動要因を簡易な構成によって判別できるファイバセンサを提供すること。
【解決手段】ファイバセンサ１は、モニタ用受光素子１４の受光量Ｐ１と第１基準受光量Ｐｔｈ１との比較を行う第１比較演算手段３１と、検出手段３０による被検出物Ｗの非検出時における受光素子１８の受光量Ｐ２と第２基準受光量Ｐｔｈ２との比較を行う第２比較演算手段３２とを備える。ファイバセンサ１のファイバ異常判別手段３３は、モニタ用受光素子１４の受光量Ｐ１が第１基準受光量Ｐｔｈ１以上であり、受光素子１８の受光量Ｐ２が第２基準受光量Ｐｔｈ２を下回った場合、投光用ファイバ２１および受光用ファイバ２２のうちの少なくとも１つに関連するファイバ異常を判別する。報知手段４１は、ファイバ異常判別手段３３の判別結果を外部へ報知する。 （もっと読む）

【課題】低輝度における高精度の標準光源を提供すること。
【解決手段】光源Ｌ_ｓを含む光源ボックスＳ_０で輝度Ｌ_ｓが定義される。第１の積分球Ｓ_１内の内壁上相互拡散反射によって、その内壁上に輝度Ｌ_０を第１の積分球Ｓ_１の半径の２乗に反比例する一定の減衰率で減衰させた輝度Ｌ_１が定義される。第２の積分球Ｓ_２内の内壁上相互拡散反射によって、その内壁に輝度Ｌ_１を積分球Ｓ_２の半径の２乗に反比例する一定の減衰率でさらに減衰させた輝度Ｌ_２が定義される。第２の積分球でさらに減衰した輝度Ｌ_２は、第２の積分球Ｓ_２上の出力開口部Ａ_２３で定義され、標準光源出力が得られる。 （もっと読む）

【課題】 光学センサ装置において、高い校正精度が維持されるようにすることを目的としている。
【解決手段】 光学センサ装置において、入射した光を集光するセンサ光学系と、前記センサ光学系で集光した光を電気信号に変換する検出器と、前記検出器で変換した電気信号に対する補正用データを求める校正としての信号処理を行う信号処理部と、前記信号処理部による校正で求めた前記補正用データを蓄積するデータ蓄積部と、前記信号処理部による校正時に前記センサ光学系の入射側に配置され、前記センサ光学系に入射する光を複数のピンホールによる回折作用で拡散させるピンホール構造部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 赤外線センサーの窓材の汚れによる赤外線センサーの出力異常を未然に検出して安定して被加熱物の温度測定ができる赤外線センサーを提供する。
【解決手段】 赤外線透過窓材６を取り付けた赤外線光路を有するハウジング２と、受光面を前記赤外線透過窓材６に向けてハウジング２内に設けられた所定数の互いに受光赤外線波長領域の異なる赤外線受光素子１０と、赤外線照射面を前記赤外線透過窓材に向けてハウジング２内に設けられた赤外線光源１２とを有する赤外線センサー１００。 （もっと読む）

【課題】試験光源や受光窓等の部品の特性バラツキによる影響を受けることなく、正確に受光窓の汚損度を測定できる火災感知器を提供する。
【解決手段】ＭＰＵ９は、汚損度確認試験に入ると、炎のちらつきとほぼ同じ状態になるように、２Ｈｚの周波数で試験光源４を点滅し、この状態が所定時間経過したときに、赤外センサ３により検知された赤外検知信号の値を取得する。その後、第１の閾値と同じくＥＥＰＲＯＭ８に格納されたチェックサムが正常か否かを判定し、チェックサムが正常のときは第１の閾値も正しいと判断して、第１の閾値及び予め設定された第２の閾値のうち値の大きい方を選択し、第１の閾値が正常でないときは第２の閾値を選択し、そして、先に取得した赤外検知信号の値が第１の閾値或いは第２の閾値より大きいとき受光窓１の汚損度合い正常と判断する。 （もっと読む）

【課題】光センサを保護する透明カバーを安定に、しかも確実に装着することができ、またその清掃や交換を簡易に行い得るようにした簡易な構造の光検出器を提供する。
【解決手段】先端部に光センサを装着する棒状のホルダと、このホルダを収納すると共に上記光センサに対向する部位に開口部を形成した筒状のケースと、上記開口部を覆って上記ケースの先端部に着脱自在に装着される透明カバーとを具備した光検出器であって、特に前記透明カバーを、前記ケースの先端面に位置付けられる主体部と、この主体部の両端からそれぞれ延びて互いに対向し、前記ケースの先端部をその両側面から挟み込む一対の脚部と、これらの一対の脚部にそれぞれ設けられて前記ケースの先端部側面に形成された係合部に嵌合する嵌合部とを備えた構造とする。 （もっと読む）

【課題】 環境温度等の変化によるドリフトや長期使用に伴う感度の劣化、光学系の汚れが生じたとしても、測温用赤外線検出器の出力値を高精度に校正して所定の温度分布の計測精度を著しく向上できる放射温度計を提供する。
【解決手段】 測定対象物が放射する赤外線を受光し、その受光赤外線の温度に応じて抵抗値又は電圧値が変化するサーミスタボロメータ型赤外線検出素子３１からなる測温用赤外線検出器３の視野を断続的に遮断・開放するシャッター５の移動経路上に、自己発熱がなく、かつ、シャッター５が放射する赤外線を直接に受光し、その受光赤外線の温度から該シャッター５の表面温度を非接触で計測する補償用赤外線検出器６を設け、この補償用赤外線検出器６の計測出力値により測温用赤外線検出器３の出力値を校正するように構成している。
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