処理環境からガスを抽出するためのプローブとシステム
プロセス環境からガスを抽出するプローブ（Ｓ）は、管状要素（２）を備え、これは、前記プロセス環境内に配置される。この管状要素は、一端にガス吸引開口（ＴＳ）を有し、内部キャビティ（ＣＡ）が構成され、これにより、プロセス環境の内部は、ガス取り出しシステムと流体連通するようになっている。さらに、前記プローブは、第２の管状要素（１）を含み、これは、第１の管状要素（２）のキャビティの内部へのびている。この第２の管状要素は、吸引開口端部（即ち、プロセス環境側）に配置の一端（ＵＧ）を有し、これは、前記加速されたガス状流体を第１の管状要素（２）の吸引開口へむけ噴射し、そこから前記プロセス環境へ戻す構造になっている。また、前記プローブに結合できるプロセス環境からガスを引き抜くシステムが回路（４０，Ｃ）を備え、これでプローブの第１の管状要素（２）のキャビティ（ＣＡ）を介してプロセス環境からガスを吸引し、更に、回路（５０，Ｃ）を備え、これで、プローブの第２の管状要素（１）を介して同じプロセス環境へ前記ガスを噴射するようにするシステムも考えられる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的にはガスが発生することが含まれる化学プロセス、例えば、燃焼工程の規制および制御のためのシステムに関するものである。
【０００２】
ファーネス内にプローブを取り付けて、該ファーネスからガスを抽出し、抽出したガスを分析装置へ送るシステムは、知られている。
【０００３】
ガス抽出のために、このようなシステムは、（プローブを介しての）吸引のために低出力で低い圧力の小形ポンプを使用している。このことは、ガスを熱い状態／霧状で処理することを意味し、これによってガスの流れに沿うカップリング、チューブおよび種々の部品類を攻撃する腐食性の酸が発生してしまい、環境状況を悪化させてしまう。前記システムにおける凝縮物の沈殿（ホットガス／霧状ガス内をひかれる）を防ぐには、吸引チューブ、フィルターおよびチューブを加熱する必要があるが、よい結果はでない（パッキングや酸などの問題）。
【０００４】
さらに、前記プローブは、操作上信頼性に欠けてしまうガス吸引チューブを閉塞してしまう重大な問題をもつ。
【０００５】
さらには、従来のプローブにおいては、ダストの濾過をフィルターのみで行っていて、これは、オーバーロードであり、詰まるもとになる。前記プローブを清浄するには、圧縮空気での清浄化サイクル（プログラム可能）で行われるが、多くの場合、フィルターを完全にもとに戻すことはできず、さらには、これで分析すべきガス内へ汚染物が導入される。
【０００６】
これらの問題のため、ファーネスガス分析の値は、そこそこのもので、不規則であり、特に代替燃料が存在している場合、ラインの正しい管理に誤りを生じさせてしまう。これら後者の場合、現在商業的に使用されている最良のプローブは、限界に達している。人手による細心の継続した監視と保守によってのみ満足できる結果が得られる。
【０００７】
この発明の一つの目的は、プロセス環境からガスを抽出するプローブを提供するものであって、このプローブは、少なくとも該プローブの閉塞の発生を少なくすることができるものであって、即ち、継続的なメインテナンスを中断することなしに、その使用を継続することを保証するものである。
【０００８】
この目的は、この発明似よれば、請求項１に規定の特徴をもつプロセス環境からガスを抽出するためのプローブによって達成される。
【０００９】
前記プローブのための好ましい実施例を従属請求項に定義する。
【００１０】
この発明の他の目的は、ほとんど完璧な態様で前記プローブを経てダストおよび凝縮物の侵入を減らすと共に分析の継続性と信頼性を保証するプロセス環境からガスを抽出するためのシステム提供することである。
【００１１】
この目的は、この発明によれば、請求項１１に定義の特徴をもつプロセス環境からガスを抽出するためのシステムにより達成される。
【００１２】
前記システムの好ましい実施例を従属請求項に定義する。
【００１３】
このシステムは、この発明による前記プローブとのコラボレーションにより、ダスト発生を抑え（フィルターへのストレスを減らす）、ガスを乾燥させ（閉塞をなくし、酸を発生させない）、そして、クリーニングの点では、圧縮空気に頼らず、同じプロセスガスを利用すること（変更が無いため分析を継続できる）でセルフクリーニングを行うことができる。
【００１４】
このシステムの使用で、ファーネスからガスの抽出が可能となり、これによって従前の分析手段によって前記ガスを分析できる。これによって、ファーネスの燃焼ガスの信頼性がある分析が得られる。したがって、これにより装置の制御を最適にし（燃料消費を抑え、ファーネス製品の品質／量を改善する）、さらに 大気中への放出のモニター／低減の制御を最適にする。
【００１５】
このシステムは、どのタイプのファーネスにも適用でき（使用条件の如何に拘らず；温度，ダストレベル、スチーム、酸など）、燃料のタイプ（代替燃料／廃棄燃料でも）も制限無く、そして、処理マリアルもどのようなものでもよい。
【００１６】
前記プローブは、セメント炉向けになっているが、異なるタイプの産業；スチールワークス、サーモエレクトリック・プラント、化学／石油化学産業、炭素粉砕および貯蔵、焼却炉、爆発性粉体貯蔵サイロなど、即ち、後続の分析のためにガス抽出が必要になるそれらすべてのセクター（ファーネス、サイロ、煙突、パイプワークなど）に使用できる。
【００１７】
この発明によるプローブとシステムの突出した特徴は、メインテナンスの必要度を低下させることにある。これは、ダスト／凝縮物を吸引せず、コンプレッサにより保証される圧縮ガスを強力に、かつ、継続して散布することによって達成される。
【００１８】
前記フィルターは、プローブをクリーニングするために急速に放出する間のガスのパワフルな対流によるセルフクリーニングによって使用寿命が長い。
【００１９】
さらに、ドライダストを減らすには、ファーネスからの圧縮ガスを用い、水散布を行わないことで達成される。さらに、ガス乾燥で結果的に酸類を抑制できる。このシステムは、ここでもまた圧縮ガスの作用でル連続サイクルの状態でセルフクリーニングを行うもので、したがって、ファーネスからのガスを使用することでのガス分析を正確なものにしない（汚染してしまう）圧縮ガスでの作用による洗浄サイクルを必要としない。これによってガス処理のための数多くのコントロールパネル類（フィルター、制酸剤、発泡チャンバなどが付属）、ソレノイドバルブ類のコントロールパネル類および各種の専用電気制御パネル類（ＰＬＣが付属）の使用が不要になる。
【００２０】
高温での使用においては前記プローブは、水冷される。ホットゾーン（ガス回路）をコールドゾーン（水冷ジャケット）から離す濃縮を防ぐ中間部が備えられていて、抽出されたガスをその温度に維持する。この構成によって、吸引チューブの内壁に凝縮物が生成されず、これによって、前記ダストが滞留しなくなるようにする。ガスと冷却の二つのチャンバは、別個のもので、フランジにより接続される。これによって、ファーネスからガス回路のみを取り外すことができ（ファーネスが操業中であっても検査や洗浄ができるようにするため）、ファーネスには、冷却システムのみが置かれるようになっている。
【００２１】
前記システムの信頼性と継続性によって、その出力を自動ファーネス管理に利用できる（Ｏ２ がピークに達する圧縮空気での洗浄を行わない）。前記コンプレッサのキャパシティは、高く、したがって通常のシステムにおけるよりもリスポンスが早く、生じ得る小さなロスは、問題がない、したがって、より信頼性がある分析が得られる。
【００２２】
前記プローブは、短時間で簡単に設置でき、それに接続することができる存在するシステムを適合させるのに、さほどの作業を必要としない、さらに、前記ファーネス内の最適位置（ダストポイントが一番小さいところなど）を探すのに手間を要しない。
【００２３】
この発明の好ましいもので、限定されない実施例を添付の図面を参照しながらここに記載する。
【００２４】
図１を参照すると、例えばファーネス（図示せず）のようなプロセス環境からガスを抽出するシステム、プローブＳ、コンプレッサＣ、冷却水をプローブＳへ供給する管路２０とプロービＳからこの水を排出する管路３０、プローブＳからガスを吸引する管路４０と前記ガスをルオーブＳ／プロセス環境へ再注入するための管路５０を備えている。
【００２５】
このシステムには、コンプレッサＣとソレノイドＥＶｉＧ，ＥＶ２Ｇに電圧が供給され、例えば水などの流体がプローブＳの冷却のために供給され、例えば空気などの圧縮流体がソレノイドバルブ・アクチュエータＥＶ１Ｇ，ＥＶ２Ｇへ供給される。また別に密閉回路水をもつ低温冷却装置を冷却シウテムに使用できるようになっている。
【００２６】
図３を参照すると、必須形態のプローブＳは、例えば、ＡＩＳＩ３０４スチールの同心の２本のチューブ１，２を備えているが、高温に耐え、酸腐食に耐えるさらに適当なマテリアルも使用できる。外側チューブ２は、ガスの吸引に専ら用いられ、内側チューブ１は、ガスの供給である。このプローブＳは、低温環境での使用が可能である。これを高温度で使用するには、水冷ジャケット（図４に図示）を設けることが必要である。
【００２７】
図２においては、ガス循環チャンバと水冷ジャケットＣＲＡが設けられたプローブＳが示されている。この例（水冷つき）は、高温度のためのものであって、支持フランジＦＳによりファーネスの壁に取り付け、固定されている。プローブヘッドＴＳには、保護コーンＣＰが取りつれられ、これは、前記プオーブ内への不純物の侵入に対する第１のバリヤとして作用する。
【００２８】
最も外側の３本のチューブ３，４，５は、冷却チャンバＣＲＡを構成し、該チャンバ内を水が流れるようになっている（フランジＦＳでファーネスに取り付けられ、取り付け、固定が行われる）。ジャケットＣＲＡの最も内側のチューブ３と中間のチューブ４の間の空間が水のフィルターＦＡにより水供給管路２０につながっており、ジャケッＣＲＡの中間チューブ４と外側チューブ５の間の空間が人手操作のバルブＶＭＡにより水放出管路３０につながっていて、該バルブにより冷却水の流量レートが規制されるようになっている。供給管路２０の上流と放出管路３０の下流には、それぞれ冷却水レリーフバルブＶＳＡが配置されている。さらに、放出管路３０内には、水圧制御のセンサＴＡと水量制御のセンサＦａが配置されている。
【００２９】
最も内側の２本のチューブ１，２は、ガス引き抜きプローブを的確に構成する（フランジＦＬにより冷媒ジャケットにぴったり結合して、装置が作動中であっても簡単かつ即座に取り外すことができるようになっている。
【００３０】
前記二つのチャンバを連結（ガスと冷却、即ち、第２と第３のチューブ２，３を内部での作業から外部へ）することで、前記プローブの底部（ファーネス外側サイド）で閉塞し、ガスがなめるように通る頭部ＴＳ（ファーネス内側サイド）で開放している空間ＩＮを生じさせる。これによって、ガス吸引チューブ２（第２のチューブ）内における濃縮物の生成が防げ、過剰に冷却せずにガスを引き抜くことができる。前記ガスは、第１と第２のチューブ１，２により構成されているチャンバＣＡに吸引され、コンプレッサＣにより同心の中央チューブ（第１のチューブ）を介してファーネスの内部へ再び射出される。中央チューブのファーネス側端部ＵＧが閉塞され、これで噴出されたガスが圧縮される。好ましくは、この端部は、ノズルを有する。また別に、同じ中央チューブ１をプローブ頭部ＴＳへ向けガスを噴射するようにすることもできる（例えば、該チューブを毛細管として形成できる）。このようにして、前記ガスは、ある程度の圧力と動的エネルギーをもつようになり、ダストのバリヤとなり、プローブ頭部ＴＳを清浄にする。事実上は、前記ガスは、管路４０を経て吸引され、コンプレッサＣにより適当な圧力と速度で管路５０を経てファーネスへ戻される。前記ガスの吸引および供給回路４０，５０（ファーネス−コンプレッサ−ファーネス）においては、ブランチ４１が取り付けられ、分析すべき極めて低い割合の流体が、上昇させるコンプレッサＣをもつポンプＰＭにより在来の分析装置Ｏ２−ＣＯ−ＮＯＸへ送られる。分析装置の上流には、分析装置へのガス流量を調整するレギュレータＲＦと分析装置へのガスの圧力をコントロールするセンサＰ２ｇが設けられている。これらの分析装置は、さらには、フィルターＦ３Ｇで保護されていて、このフィルターは、アンチ酸／濃縮物として機能する。分析装置の下流には、前記分析装置からガスを排出するガス放出器ＳＧが配置されている。
【００３１】
ガスがコンプレッサＣとポンプＰＭに達する前に吸引管路４０における上流フィルタＦ１Ｇ，Ｆ２Ｇにより適切に濾過される。フィルターＦ１Ｇは、ダストデカンタＤに連結していて、前記回路に存在するダストを減少させるようにしている。循環流体の高いフローレートによりリスポンス時間の短縮が保証され、ファーネスの管理に利点を与える。
【００３２】
コンプレッサのガス圧力のコントロールのためのセンサＰ１ｇとコンプレッサＣの過剰ガス圧のためのバルブＶＳＧは、コンプレッサＣの供給側に接続している。
【００３３】
また二つの貯蔵部Ｓ１Ｇ（減圧されている）とＳ２Ｇ（加圧されている）が前記システムにおけるコンプレッッサＣの吸引側と供給側のそれぞれに存在している。これらは、濃縮物を集め、コンプレッサの圧力／減圧を安定化させる。得には、貯蔵部Ｓ２Ｇは、濃縮物を減らすための冷却装置／乾燥装置ＲＥを形成する。貯蔵部Ｓ２Ｇの下流は、濃縮物自動放出バルブＶＡＣと接続し、濃縮物ＳＣを排出するようになっている。前記貯蔵部には、また、二つのタイミング・ソレノイドバルブＥＶ１Ｇ，ＥＶ２Ｇが備えられていて、条件に応じての設定可能時間に対しサイクリックの態様でそれぞれのサーボ・バルブを作動させるようになっている。ソレノイドバルブＥＶ１Ｇは、二方バルブで、減圧された貯蔵部Ｓ１ＧとプローブＳの吸引側との間に設けられており、プローブＳからの吸引を停止し、これによって、供給のスラストを補強し、前記プローブ頭部の清浄化をよりよくする。ソレノイドバルブＥＶ１Ｆの下流には、コンプレッサＣへのガスの流れをコントロールするセンサＦｇが配置されている。前記一つの上流に鵜設置の三方ソレノイドバルブＥＶ２Ｇは、吸引チューブ２に向けて、圧力貯蔵部Ｓ２Ｇにおける流体を一杯のジェット流で強く放出する機能をもつ。この大量の流体が通常の流れと反対の方向へ高速度で流れ、ファーネス内部へ向け堆積したマテリアルをふきとばし、かくして、対抗する流れによる清浄化になる（バックウオッシング）。
【００３４】
提案されたプローブのタイプは、乾燥ダストの排除、ガス乾燥およびヘッド清浄を連続して行うことができ、マテリアルの詰まりを防ぐ。吸引されたガスの分析は、中断されることなく連続して行われ（即時でもそれることなく）、これは、圧縮空気での清浄サイクルを必要としないからである（Ｏ２ピークに達する）。これは、前記ファーネス内で同じガスを再循環するコンプレッサを利用することでできる；前記供給チューブの内部末端に位置するノズルを閉塞することで、別個の圧力と動的エネルギーにより前記ガスを吸引し、前記ファーネスへ戻す。前記チューブは、前記吸引チューブと同心になっているから、ダスト濾過バリヤとなり、さらに前記頭部を清浄に保つ。同様に、これは、吸引したガスを十分に乾燥させる。ダストがきれいにされた冷たい乾燥したガスは、濃縮したり、又は、酸にならず、固まらなくなる。ダストと濃縮物は、最初からカットアウトから、ファーネスへ戻され、前記分析器具にそって搬送されないようになっている。この点は、前記管路、コネクタとコンプレッサ、ポンプ、分析器およびコノロールセンサとセキュリティセンサにとって利点であり、これらの効率と耐用年数を大幅に増やす。さらに、これらは、商業的に経済的なものになり、それらをさらに高価な耐酸化性のものにする必要がない。この発明による前記プローブとシステムは、ダストを減らし（フィルターへの負荷を減らす）、前記ガスを乾燥させ（固化をなくし、酸を発生させない）ものであり、そして、前記プローブは、圧縮空気の助けをかりず、同じ処理ガスを利用してのセルフクリーニングのものである（変更が無いため、分析が継続される）。
【００３５】
このプローブの強い点は、コンプレッサの中央チューブであって、これにより、ガスをある程度の圧力と動的エネルギーでファーネスへ再循環させることができる。当然ではあるが、コンプレッサの代わりに、他の形式の連続サイクルマシンを使用することができる。
【００３６】
前記コンプレッサと分岐理論とで、以下のような点が得られる；ダストフリーおよび乾燥されたガス（バリヤ効果により）、そして、圧縮空気による清浄化サイクルの必要性無しにヘッドがセルフクリーニングできる（分析ガスの中断と変更が無い連続サイクルにより）。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】この発明によるファーネスから燃焼したガスを引き抜くシステムの説明図；
【図２】この発明によるファーネスから燃焼したガスを引き抜くプローブの側面略図；
【図３】冷却ジャケットを省いた図２のプローブの側面略図；
【図４】図２のプローブの冷却ジャケットの側面略図。
【符号の説明】
【００３８】
（Ｓ） プローブ
（ＴＳ） ガス吸引開口
（ＣＡ） 内部キャビティ
（ＵＧ） 配置の一端
（４０，Ｃ） 回路
（１）、（２） 第１、第２の管状要素
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的にはガスが発生することが含まれる化学プロセス、例えば、燃焼工程の規制および制御のためのシステムに関するものである。
【０００２】
ファーネス内にプローブを取り付けて、該ファーネスからガスを抽出し、抽出したガスを分析装置へ送るシステムは、知られている。
【０００３】
ガス抽出のために、このようなシステムは、（プローブを介しての）吸引のために低出力で低い圧力の小形ポンプを使用している。このことは、ガスを熱い状態／霧状で処理することを意味し、これによってガスの流れに沿うカップリング、チューブおよび種々の部品類を攻撃する腐食性の酸が発生してしまい、環境状況を悪化させてしまう。前記システムにおける凝縮物の沈殿（ホットガス／霧状ガス内をひかれる）を防ぐには、吸引チューブ、フィルターおよびチューブを加熱する必要があるが、よい結果はでない（パッキングや酸などの問題）。
【０００４】
さらに、前記プローブは、操作上信頼性に欠けてしまうガス吸引チューブを閉塞してしまう重大な問題をもつ。
【０００５】
さらには、従来のプローブにおいては、ダストの濾過をフィルターのみで行っていて、これは、オーバーロードであり、詰まるもとになる。前記プローブを清浄するには、圧縮空気での清浄化サイクル（プログラム可能）で行われるが、多くの場合、フィルターを完全にもとに戻すことはできず、さらには、これで分析すべきガス内へ汚染物が導入される。
【０００６】
これらの問題のため、ファーネスガス分析の値は、そこそこのもので、不規則であり、特に代替燃料が存在している場合、ラインの正しい管理に誤りを生じさせてしまう。これら後者の場合、現在商業的に使用されている最良のプローブは、限界に達している。人手による細心の継続した監視と保守によってのみ満足できる結果が得られる。
【０００７】
この発明の一つの目的は、プロセス環境からガスを抽出するプローブを提供するものであって、このプローブは、少なくとも該プローブの閉塞の発生を少なくすることができるものであって、即ち、継続的なメインテナンスを中断することなしに、その使用を継続することを保証するものである。
【０００８】
この目的は、この発明似よれば、請求項１に規定の特徴をもつプロセス環境からガスを抽出するためのプローブによって達成される。
【０００９】
前記プローブのための好ましい実施例を従属請求項に定義する。
【００１０】
この発明の他の目的は、ほとんど完璧な態様で前記プローブを経てダストおよび凝縮物の侵入を減らすと共に分析の継続性と信頼性を保証するプロセス環境からガスを抽出するためのシステム提供することである。
【００１１】
この目的は、この発明によれば、請求項１１に定義の特徴をもつプロセス環境からガスを抽出するためのシステムにより達成される。
【００１２】
前記システムの好ましい実施例を従属請求項に定義する。
【００１３】
このシステムは、この発明による前記プローブとのコラボレーションにより、ダスト発生を抑え（フィルターへのストレスを減らす）、ガスを乾燥させ（閉塞をなくし、酸を発生させない）、そして、クリーニングの点では、圧縮空気に頼らず、同じプロセスガスを利用すること（変更が無いため分析を継続できる）でセルフクリーニングを行うことができる。
【００１４】
このシステムの使用で、ファーネスからガスの抽出が可能となり、これによって従前の分析手段によって前記ガスを分析できる。これによって、ファーネスの燃焼ガスの信頼性がある分析が得られる。したがって、これにより装置の制御を最適にし（燃料消費を抑え、ファーネス製品の品質／量を改善する）、さらに 大気中への放出のモニター／低減の制御を最適にする。
【００１５】
このシステムは、どのタイプのファーネスにも適用でき（使用条件の如何に拘らず；温度，ダストレベル、スチーム、酸など）、燃料のタイプ（代替燃料／廃棄燃料でも）も制限無く、そして、処理マリアルもどのようなものでもよい。
【００１６】
前記プローブは、セメント炉向けになっているが、異なるタイプの産業；スチールワークス、サーモエレクトリック・プラント、化学／石油化学産業、炭素粉砕および貯蔵、焼却炉、爆発性粉体貯蔵サイロなど、即ち、後続の分析のためにガス抽出が必要になるそれらすべてのセクター（ファーネス、サイロ、煙突、パイプワークなど）に使用できる。
【００１７】
この発明によるプローブとシステムの突出した特徴は、メインテナンスの必要度を低下させることにある。これは、ダスト／凝縮物を吸引せず、コンプレッサにより保証される圧縮ガスを強力に、かつ、継続して散布することによって達成される。
【００１８】
前記フィルターは、プローブをクリーニングするために急速に放出する間のガスのパワフルな対流によるセルフクリーニングによって使用寿命が長い。
【００１９】
さらに、ドライダストを減らすには、ファーネスからの圧縮ガスを用い、水散布を行わないことで達成される。さらに、ガス乾燥で結果的に酸類を抑制できる。このシステムは、ここでもまた圧縮ガスの作用でル連続サイクルの状態でセルフクリーニングを行うもので、したがって、ファーネスからのガスを使用することでのガス分析を正確なものにしない（汚染してしまう）圧縮ガスでの作用による洗浄サイクルを必要としない。これによってガス処理のための数多くのコントロールパネル類（フィルター、制酸剤、発泡チャンバなどが付属）、ソレノイドバルブ類のコントロールパネル類および各種の専用電気制御パネル類（ＰＬＣが付属）の使用が不要になる。
【００２０】
高温での使用においては前記プローブは、水冷される。ホットゾーン（ガス回路）をコールドゾーン（水冷ジャケット）から離す濃縮を防ぐ中間部が備えられていて、抽出されたガスをその温度に維持する。この構成によって、吸引チューブの内壁に凝縮物が生成されず、これによって、前記ダストが滞留しなくなるようにする。ガスと冷却の二つのチャンバは、別個のもので、フランジにより接続される。これによって、ファーネスからガス回路のみを取り外すことができ（ファーネスが操業中であっても検査や洗浄ができるようにするため）、ファーネスには、冷却システムのみが置かれるようになっている。
【００２１】
前記システムの信頼性と継続性によって、その出力を自動ファーネス管理に利用できる（Ｏ２ がピークに達する圧縮空気での洗浄を行わない）。前記コンプレッサのキャパシティは、高く、したがって通常のシステムにおけるよりもリスポンスが早く、生じ得る小さなロスは、問題がない、したがって、より信頼性がある分析が得られる。
【００２２】
前記プローブは、短時間で簡単に設置でき、それに接続することができる存在するシステムを適合させるのに、さほどの作業を必要としない、さらに、前記ファーネス内の最適位置（ダストポイントが一番小さいところなど）を探すのに手間を要しない。
【００２３】
この発明の好ましいもので、限定されない実施例を添付の図面を参照しながらここに記載する。
【００２４】
図１を参照すると、例えばファーネス（図示せず）のようなプロセス環境からガスを抽出するシステム、プローブＳ、コンプレッサＣ、冷却水をプローブＳへ供給する管路２０とプロービＳからこの水を排出する管路３０、プローブＳからガスを吸引する管路４０と前記ガスをルオーブＳ／プロセス環境へ再注入するための管路５０を備えている。
【００２５】
このシステムには、コンプレッサＣとソレノイドＥＶｉＧ，ＥＶ２Ｇに電圧が供給され、例えば水などの流体がプローブＳの冷却のために供給され、例えば空気などの圧縮流体がソレノイドバルブ・アクチュエータＥＶ１Ｇ，ＥＶ２Ｇへ供給される。また別に密閉回路水をもつ低温冷却装置を冷却シウテムに使用できるようになっている。
【００２６】
図３を参照すると、必須形態のプローブＳは、例えば、ＡＩＳＩ３０４スチールの同心の２本のチューブ１，２を備えているが、高温に耐え、酸腐食に耐えるさらに適当なマテリアルも使用できる。外側チューブ２は、ガスの吸引に専ら用いられ、内側チューブ１は、ガスの供給である。このプローブＳは、低温環境での使用が可能である。これを高温度で使用するには、水冷ジャケット（図４に図示）を設けることが必要である。
【００２７】
図２においては、ガス循環チャンバと水冷ジャケットＣＲＡが設けられたプローブＳが示されている。この例（水冷つき）は、高温度のためのものであって、支持フランジＦＳによりファーネスの壁に取り付け、固定されている。プローブヘッドＴＳには、保護コーンＣＰが取りつれられ、これは、前記プオーブ内への不純物の侵入に対する第１のバリヤとして作用する。
【００２８】
最も外側の３本のチューブ３，４，５は、冷却チャンバＣＲＡを構成し、該チャンバ内を水が流れるようになっている（フランジＦＳでファーネスに取り付けられ、取り付け、固定が行われる）。ジャケットＣＲＡの最も内側のチューブ３と中間のチューブ４の間の空間が水のフィルターＦＡにより水供給管路２０につながっており、ジャケッＣＲＡの中間チューブ４と外側チューブ５の間の空間が人手操作のバルブＶＭＡにより水放出管路３０につながっていて、該バルブにより冷却水の流量レートが規制されるようになっている。供給管路２０の上流と放出管路３０の下流には、それぞれ冷却水レリーフバルブＶＳＡが配置されている。さらに、放出管路３０内には、水圧制御のセンサＴＡと水量制御のセンサＦａが配置されている。
【００２９】
最も内側の２本のチューブ１，２は、ガス引き抜きプローブを的確に構成する（フランジＦＬにより冷媒ジャケットにぴったり結合して、装置が作動中であっても簡単かつ即座に取り外すことができるようになっている。
【００３０】
前記二つのチャンバを連結（ガスと冷却、即ち、第２と第３のチューブ２，３を内部での作業から外部へ）することで、前記プローブの底部（ファーネス外側サイド）で閉塞し、ガスがなめるように通る頭部ＴＳ（ファーネス内側サイド）で開放している空間ＩＮを生じさせる。これによって、ガス吸引チューブ２（第２のチューブ）内における濃縮物の生成が防げ、過剰に冷却せずにガスを引き抜くことができる。前記ガスは、第１と第２のチューブ１，２により構成されているチャンバＣＡに吸引され、コンプレッサＣにより同心の中央チューブ（第１のチューブ）を介してファーネスの内部へ再び射出される。中央チューブのファーネス側端部ＵＧが閉塞され、これで噴出されたガスが圧縮される。好ましくは、この端部は、ノズルを有する。また別に、同じ中央チューブ１をプローブ頭部ＴＳへ向けガスを噴射するようにすることもできる（例えば、該チューブを毛細管として形成できる）。このようにして、前記ガスは、ある程度の圧力と動的エネルギーをもつようになり、ダストのバリヤとなり、プローブ頭部ＴＳを清浄にする。事実上は、前記ガスは、管路４０を経て吸引され、コンプレッサＣにより適当な圧力と速度で管路５０を経てファーネスへ戻される。前記ガスの吸引および供給回路４０，５０（ファーネス−コンプレッサ−ファーネス）においては、ブランチ４１が取り付けられ、分析すべき極めて低い割合の流体が、上昇させるコンプレッサＣをもつポンプＰＭにより在来の分析装置Ｏ２−ＣＯ−ＮＯＸへ送られる。分析装置の上流には、分析装置へのガス流量を調整するレギュレータＲＦと分析装置へのガスの圧力をコントロールするセンサＰ２ｇが設けられている。これらの分析装置は、さらには、フィルターＦ３Ｇで保護されていて、このフィルターは、アンチ酸／濃縮物として機能する。分析装置の下流には、前記分析装置からガスを排出するガス放出器ＳＧが配置されている。
【００３１】
ガスがコンプレッサＣとポンプＰＭに達する前に吸引管路４０における上流フィルタＦ１Ｇ，Ｆ２Ｇにより適切に濾過される。フィルターＦ１Ｇは、ダストデカンタＤに連結していて、前記回路に存在するダストを減少させるようにしている。循環流体の高いフローレートによりリスポンス時間の短縮が保証され、ファーネスの管理に利点を与える。
【００３２】
コンプレッサのガス圧力のコントロールのためのセンサＰ１ｇとコンプレッサＣの過剰ガス圧のためのバルブＶＳＧは、コンプレッサＣの供給側に接続している。
【００３３】
また二つの貯蔵部Ｓ１Ｇ（減圧されている）とＳ２Ｇ（加圧されている）が前記システムにおけるコンプレッッサＣの吸引側と供給側のそれぞれに存在している。これらは、濃縮物を集め、コンプレッサの圧力／減圧を安定化させる。得には、貯蔵部Ｓ２Ｇは、濃縮物を減らすための冷却装置／乾燥装置ＲＥを形成する。貯蔵部Ｓ２Ｇの下流は、濃縮物自動放出バルブＶＡＣと接続し、濃縮物ＳＣを排出するようになっている。前記貯蔵部には、また、二つのタイミング・ソレノイドバルブＥＶ１Ｇ，ＥＶ２Ｇが備えられていて、条件に応じての設定可能時間に対しサイクリックの態様でそれぞれのサーボ・バルブを作動させるようになっている。ソレノイドバルブＥＶ１Ｇは、二方バルブで、減圧された貯蔵部Ｓ１ＧとプローブＳの吸引側との間に設けられており、プローブＳからの吸引を停止し、これによって、供給のスラストを補強し、前記プローブ頭部の清浄化をよりよくする。ソレノイドバルブＥＶ１Ｆの下流には、コンプレッサＣへのガスの流れをコントロールするセンサＦｇが配置されている。前記一つの上流に鵜設置の三方ソレノイドバルブＥＶ２Ｇは、吸引チューブ２に向けて、圧力貯蔵部Ｓ２Ｇにおける流体を一杯のジェット流で強く放出する機能をもつ。この大量の流体が通常の流れと反対の方向へ高速度で流れ、ファーネス内部へ向け堆積したマテリアルをふきとばし、かくして、対抗する流れによる清浄化になる（バックウオッシング）。
【００３４】
提案されたプローブのタイプは、乾燥ダストの排除、ガス乾燥およびヘッド清浄を連続して行うことができ、マテリアルの詰まりを防ぐ。吸引されたガスの分析は、中断されることなく連続して行われ（即時でもそれることなく）、これは、圧縮空気での清浄サイクルを必要としないからである（Ｏ２ピークに達する）。これは、前記ファーネス内で同じガスを再循環するコンプレッサを利用することでできる；前記供給チューブの内部末端に位置するノズルを閉塞することで、別個の圧力と動的エネルギーにより前記ガスを吸引し、前記ファーネスへ戻す。前記チューブは、前記吸引チューブと同心になっているから、ダスト濾過バリヤとなり、さらに前記頭部を清浄に保つ。同様に、これは、吸引したガスを十分に乾燥させる。ダストがきれいにされた冷たい乾燥したガスは、濃縮したり、又は、酸にならず、固まらなくなる。ダストと濃縮物は、最初からカットアウトから、ファーネスへ戻され、前記分析器具にそって搬送されないようになっている。この点は、前記管路、コネクタとコンプレッサ、ポンプ、分析器およびコノロールセンサとセキュリティセンサにとって利点であり、これらの効率と耐用年数を大幅に増やす。さらに、これらは、商業的に経済的なものになり、それらをさらに高価な耐酸化性のものにする必要がない。この発明による前記プローブとシステムは、ダストを減らし（フィルターへの負荷を減らす）、前記ガスを乾燥させ（固化をなくし、酸を発生させない）ものであり、そして、前記プローブは、圧縮空気の助けをかりず、同じ処理ガスを利用してのセルフクリーニングのものである（変更が無いため、分析が継続される）。
【００３５】
このプローブの強い点は、コンプレッサの中央チューブであって、これにより、ガスをある程度の圧力と動的エネルギーでファーネスへ再循環させることができる。当然ではあるが、コンプレッサの代わりに、他の形式の連続サイクルマシンを使用することができる。
【００３６】
前記コンプレッサと分岐理論とで、以下のような点が得られる；ダストフリーおよび乾燥されたガス（バリヤ効果により）、そして、圧縮空気による清浄化サイクルの必要性無しにヘッドがセルフクリーニングできる（分析ガスの中断と変更が無い連続サイクルにより）。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】この発明によるファーネスから燃焼したガスを引き抜くシステムの説明図；
【図２】この発明によるファーネスから燃焼したガスを引き抜くプローブの側面略図；
【図３】冷却ジャケットを省いた図２のプローブの側面略図；
【図４】図２のプローブの冷却ジャケットの側面略図。
【符号の説明】
【００３８】
（Ｓ） プローブ
（ＴＳ） ガス吸引開口
（ＣＡ） 内部キャビティ
（ＵＧ） 配置の一端
（４０，Ｃ） 回路
（１）、（２） 第１、第２の管状要素
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状要素（２）を備えている、プロセス環境からガスを抽出するプローブ（Ｓ）であって、
これは、前記プロセス環境内に配置され、前記管状要素は、一端にガス吸引開口（ＴＳ）を有し、内部キャビティ（ＣＡ）を構成し、これにより、プロセス環境の内部は、ガス取り出しシステムと流体連通するようになっているプローブであって、第２の管状要素（１）を含み、これは、さらに、第１の管状要素（２）と結合した噴射手段（１）を備え、これで前記ガス状流体をキャビティ（ＣＡ）の内部へ噴射し、前記第１の管状要素（２）の前記吸引懐古へ向けて加速させ、そこから再び前記プロセス環境へ流入するように操作することを特徴とするもの。
【請求項２】
前記噴射手段は、前記第１の管状要素（２）のキャビティ（ＣＡ）内へのびている第２の管状要素（１）を備え、これによって、前記加速されたガス状流体を前記第１の管状要素（２）の前記吸引開口に向け噴射し、そこから再び前記プロセス環境へ流入させることができる構成になっている請求項１によるプローブ。
【請求項３】
前記第２の管状要素（１）の端部が前記吸引開口側、即ち、プロセス環境側に配置され、ノズル（ＵＧ）が設けられている請求項２によるプローブ。
【請求項４】
前記第１（２）と第２（１）の管状要素が同心である請求項１または請求項２によるプローブ。
【請求項５】
前記第１（２）と第２（１）の管状要素に組み込められ、第１の管状要素（２）に対し第２の管状要素（１）スライドできるようにするコネクタ要素（ＣＲ，Ｔ）、穴あきナット（ＤＴ）とガス密閉シールを含む請求項４によるプローブ。
【請求項６】
前記第１の管状要素（２）のまわりに配置の冷却ジャケット（ＣＲＡ）をさらに含む前記請求項のいずれか一つによるプローブ。
【請求項７】
前記冷却ジャケットが前記ジャケットと第１の管状要素（２）の間に空間部（ＩＮ）が介在するように配置されている請求項６によるプローブ。
【請求項８】
前記冷却ジャケットは、前記プローブ（Ｓ）の前記第１の管状要素（２）に着脱自由に取り付けられる請求項６から請求項８のいずれか一つによるプローブ。
【請求項９】
前記冷却ジャケットは、クローズされた流体回路を介して低温冷却器に流体連通しているり請求項６から請求項８のいずれか一つによるプローブ。
【請求項１０】
さらに前記吸引開口（ＴＳ）に近接して配置されたシールド要素（ＣＰ）を含む前記請求項のいずれか一つによるプローブ。
【請求項１１】
プローブ（Ｓ）の第１の管状要素（２）を介してプロセス環境からガスを吸引する手段を備えている前記請求項のいずれか一つによるプローブに結合できるプロセス環境からガスを抽出するシステムであって、該システムは、さらに前記ガスをプローブ／プロセス環境へ再噴射するための手段（５０，Ｃ）を含み、これは、プローブ（Ｓ）の前記噴出手段（１）に流体連通するように配置されていることを特徴とするもの。
【請求項１２】
前記ガスを吸引する前記手段（４０，Ｃ）と前記ガスを再噴射する前記手段は、共通の連続サイクル手段（Ｃ）を備え、これは、前記ガスを吸引し、圧縮し、同じプロセス環境へ前記ガスを戻す作用を行うことができるもので、即ち、前記ガスに圧力と動的エネルギーを与えるようになっている請求項１１によるシステム。
【請求項１３】
プローブ（Ｓ）の前記噴射手段（１）における圧力を安定化し、プローブ（Ｓ）の前記第１の管状要（２）ス状流体をキャビティ（ＣＡ）の内部へ噴射し、前記第１の管状要素（２）を対流清浄するために前記ガスを急速に放出させて循環させる、即ち、バック清浄させるため前記連続循環マシン（Ｃ）のの供給口に配置され貯蔵部（Ｓ２Ｇ）をさらに含む請求項１２によるシステム。
【請求項１４】
ガスを吸引する前記手段（４０，Ｃ）と同じプロセスガスで循環的に、かつ、連続的にプローブ清浄を行うガス再噴射手段（５０，Ｃ）に連結している制御手段（ＥＶ１Ｇ，ＥＶ２Ｇ）をさらに含む請求項１１から請求項１３のいずれか一つによるシステム。
【請求項１５】
前記ガスのフラクションをテイクオフするために前記吸引手段（４０，Ｃ）に連結しているテイクオフ手段（４１，ＰＭ）をさらに含み、前記テイクオフ手段は、前記ガスの分析のために分析器手段（Ｏ２−ＣＯ−ＮＯＸ）にさらに連結している請求項１１から請求項１４のいずれか一つによるシステム。
【請求項１６】
前記プローブ（Ｓ）の下流に配置され、前記ガスにおけるダストがさらに減る４うになっている請求項１１から請求項１５のいずれか一つによるシステム。
【請求項１７】
前記プローブ（Ｓ）の第１の管状要素（２）に連結している真空計（Ｖｇ）と前記プローブの作用状況をモニタするプローブ（Ｓ）の噴射手段（１）に連結のマノメータ（Ｍｇ）をさらに含む請求項１１から請求項１６のいずれか一つによるシステム。
【請求項１】
管状要素（２）を備えている、プロセス環境からガスを抽出するプローブ（Ｓ）であって、
これは、前記プロセス環境内に配置され、前記管状要素は、一端にガス吸引開口（ＴＳ）を有し、内部キャビティ（ＣＡ）を構成し、これにより、プロセス環境の内部は、ガス取り出しシステムと流体連通するようになっているプローブであって、第２の管状要素（１）を含み、これは、さらに、第１の管状要素（２）と結合した噴射手段（１）を備え、これで前記ガス状流体をキャビティ（ＣＡ）の内部へ噴射し、前記第１の管状要素（２）の前記吸引懐古へ向けて加速させ、そこから再び前記プロセス環境へ流入するように操作することを特徴とするもの。
【請求項２】
前記噴射手段は、前記第１の管状要素（２）のキャビティ（ＣＡ）内へのびている第２の管状要素（１）を備え、これによって、前記加速されたガス状流体を前記第１の管状要素（２）の前記吸引開口に向け噴射し、そこから再び前記プロセス環境へ流入させることができる構成になっている請求項１によるプローブ。
【請求項３】
前記第２の管状要素（１）の端部が前記吸引開口側、即ち、プロセス環境側に配置され、ノズル（ＵＧ）が設けられている請求項２によるプローブ。
【請求項４】
前記第１（２）と第２（１）の管状要素が同心である請求項１または請求項２によるプローブ。
【請求項５】
前記第１（２）と第２（１）の管状要素に組み込められ、第１の管状要素（２）に対し第２の管状要素（１）スライドできるようにするコネクタ要素（ＣＲ，Ｔ）、穴あきナット（ＤＴ）とガス密閉シールを含む請求項４によるプローブ。
【請求項６】
前記第１の管状要素（２）のまわりに配置の冷却ジャケット（ＣＲＡ）をさらに含む前記請求項のいずれか一つによるプローブ。
【請求項７】
前記冷却ジャケットが前記ジャケットと第１の管状要素（２）の間に空間部（ＩＮ）が介在するように配置されている請求項６によるプローブ。
【請求項８】
前記冷却ジャケットは、前記プローブ（Ｓ）の前記第１の管状要素（２）に着脱自由に取り付けられる請求項６から請求項８のいずれか一つによるプローブ。
【請求項９】
前記冷却ジャケットは、クローズされた流体回路を介して低温冷却器に流体連通しているり請求項６から請求項８のいずれか一つによるプローブ。
【請求項１０】
さらに前記吸引開口（ＴＳ）に近接して配置されたシールド要素（ＣＰ）を含む前記請求項のいずれか一つによるプローブ。
【請求項１１】
プローブ（Ｓ）の第１の管状要素（２）を介してプロセス環境からガスを吸引する手段を備えている前記請求項のいずれか一つによるプローブに結合できるプロセス環境からガスを抽出するシステムであって、該システムは、さらに前記ガスをプローブ／プロセス環境へ再噴射するための手段（５０，Ｃ）を含み、これは、プローブ（Ｓ）の前記噴出手段（１）に流体連通するように配置されていることを特徴とするもの。
【請求項１２】
前記ガスを吸引する前記手段（４０，Ｃ）と前記ガスを再噴射する前記手段は、共通の連続サイクル手段（Ｃ）を備え、これは、前記ガスを吸引し、圧縮し、同じプロセス環境へ前記ガスを戻す作用を行うことができるもので、即ち、前記ガスに圧力と動的エネルギーを与えるようになっている請求項１１によるシステム。
【請求項１３】
プローブ（Ｓ）の前記噴射手段（１）における圧力を安定化し、プローブ（Ｓ）の前記第１の管状要（２）ス状流体をキャビティ（ＣＡ）の内部へ噴射し、前記第１の管状要素（２）を対流清浄するために前記ガスを急速に放出させて循環させる、即ち、バック清浄させるため前記連続循環マシン（Ｃ）のの供給口に配置され貯蔵部（Ｓ２Ｇ）をさらに含む請求項１２によるシステム。
【請求項１４】
ガスを吸引する前記手段（４０，Ｃ）と同じプロセスガスで循環的に、かつ、連続的にプローブ清浄を行うガス再噴射手段（５０，Ｃ）に連結している制御手段（ＥＶ１Ｇ，ＥＶ２Ｇ）をさらに含む請求項１１から請求項１３のいずれか一つによるシステム。
【請求項１５】
前記ガスのフラクションをテイクオフするために前記吸引手段（４０，Ｃ）に連結しているテイクオフ手段（４１，ＰＭ）をさらに含み、前記テイクオフ手段は、前記ガスの分析のために分析器手段（Ｏ２−ＣＯ−ＮＯＸ）にさらに連結している請求項１１から請求項１４のいずれか一つによるシステム。
【請求項１６】
前記プローブ（Ｓ）の下流に配置され、前記ガスにおけるダストがさらに減る４うになっている請求項１１から請求項１５のいずれか一つによるシステム。
【請求項１７】
前記プローブ（Ｓ）の第１の管状要素（２）に連結している真空計（Ｖｇ）と前記プローブの作用状況をモニタするプローブ（Ｓ）の噴射手段（１）に連結のマノメータ（Ｍｇ）をさらに含む請求項１１から請求項１６のいずれか一つによるシステム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公表番号】特表２００７−５３２８７３（Ｐ２００７−５３２８７３Ａ）
【公表日】平成１９年１１月１５日（２００７．１１．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−５０６９０３（Ｐ２００７−５０６９０３）
【出願日】平成１７年４月７日（２００５．４．７）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＩＢ２００５／０５１１４５
【国際公開番号】ＷＯ２００５／０９８３９２
【国際公開日】平成１７年１０月２０日（２００５．１０．２０）
【出願人】（５０６３３８９０６）
【氏名又は名称原語表記】ＢＲＵＺＺＩ， Ｄｏｍｅｎｉｃｏ
【住所又は居所原語表記】Ｖｉａ Ｆａｌｄｅｌｌａ ５７，Ｉ−１３０４４ Ｃｒｅｓｃｅｎｔｉｎｏ （Ｖｅｒｃｅｌｌｉ） ＩＴＡＬＹ
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成１９年１１月１５日（２００７．１１．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年４月７日（２００５．４．７）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＩＢ２００５／０５１１４５
【国際公開番号】ＷＯ２００５／０９８３９２
【国際公開日】平成１７年１０月２０日（２００５．１０．２０）
【出願人】（５０６３３８９０６）
【氏名又は名称原語表記】ＢＲＵＺＺＩ， Ｄｏｍｅｎｉｃｏ
【住所又は居所原語表記】Ｖｉａ Ｆａｌｄｅｌｌａ ５７，Ｉ−１３０４４ Ｃｒｅｓｃｅｎｔｉｎｏ （Ｖｅｒｃｅｌｌｉ） ＩＴＡＬＹ
【Ｆターム（参考）】
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