吸着装置及びフィルム貼付装置
【課題】フィルムの貼付に際して、フィルムの吸着及び吸着解除を確実に行うフィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】フィルム貼付装置１００のフィルム貼付部１０は、回転軸２０に回転可能に支持される円筒状の外側枠体３０と、回転軸２０に外側枠体３０と独立に回転可能に支持される内側枠体４０との間に形成される閉空間Ｅを有する。フィルムステージ５０は、外側枠体３０の円筒面にフィルム５１を供給する。貼付ステージ６０は、円筒面に供給されたフィルム５１を貼付する液晶パネル６１を載置する。閉空間Ｅが、外側枠体３０の第１の隔壁３４と、内側枠体４０の第２の隔壁４１とによって、大気に連通する第１の領域Ｆと、減圧される第２の領域Ｇとに区画され、外側枠体３０及び内側枠体４０のいずれかを回転させて、第１の領域Ｆ及び第２の領域Ｇを縮小又は拡大させて、フィルム５１を吸着又は吸着解除する。
【解決手段】フィルム貼付装置１００のフィルム貼付部１０は、回転軸２０に回転可能に支持される円筒状の外側枠体３０と、回転軸２０に外側枠体３０と独立に回転可能に支持される内側枠体４０との間に形成される閉空間Ｅを有する。フィルムステージ５０は、外側枠体３０の円筒面にフィルム５１を供給する。貼付ステージ６０は、円筒面に供給されたフィルム５１を貼付する液晶パネル６１を載置する。閉空間Ｅが、外側枠体３０の第１の隔壁３４と、内側枠体４０の第２の隔壁４１とによって、大気に連通する第１の領域Ｆと、減圧される第２の領域Ｇとに区画され、外側枠体３０及び内側枠体４０のいずれかを回転させて、第１の領域Ｆ及び第２の領域Ｇを縮小又は拡大させて、フィルム５１を吸着又は吸着解除する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着装置及びフィルム貼付装置に関し、更に詳しくは、フィルム状の物体などを吸着するために利用される吸着装置、及び表示パネル等の貼付対象にフィルムを貼付するフィルム貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、液晶パネルに偏光板フィルムを貼り付ける液晶表示素子用フィルム貼付装置が記載されている。液晶表示素子用フィルム貼付装置では、液晶パネルをテーブル上に保持し、偏光板フィルムを吸着面が湾曲形状の支持体に吸着し、偏光板フィルムの端部が液晶パネルの端部に当接したとき、支持体の吸着孔より吸着解除の給気を行い、液晶パネルの移動と共に、偏光板フィルムにクリーンエアを吹き付けつつ貼り付ける。
【０００３】
特許文献１には、液晶パネルと偏光板フィルムの粘着材層が当接する領域近傍で順次吸着を解除することは記載されているが、その具体的な構成の記載がない。
【０００４】
これに対して、特許文献２には、偏光膜吸着用のチャックドラムの内側に、ガスケットで仕切る溝空間を持つドラムを挿入し、チャックドラムのみを回転し、ガスケットで仕切る溝空間の減圧で偏光膜を吸着させ、逆回転で偏光膜端から吸着作用を消滅させて、液晶表示素子に偏光膜を貼付する技術が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−４２３１５号公報（段落００４９）
【特許文献２】特開昭５７−５１７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献２に記載の技術は、ガスケットで溝空間が固定化されており、フィルムの吸着及び吸着解除に際して、溝空間の減圧を高精度で調整しなければ、フィルムの貼付位置がずれてしまうという問題があった。
【０００７】
また、フィルムの落下や貼付位置ずれ等を回避するためには、特許文献１に記載のように、エアー吹き付け機構を新たに設置することも考えられる。しかし、この場合には、液晶パネルと偏光板フィルムの間にエアーによって巻き込まれたゴミが混入するという問題があった。さらに、エアーを吹き付けることにより液晶パネルと偏光板フィルムの間にエアー溜りが生じて気泡が発生するという問題もあった。
【０００８】
本発明は、フィルム状の物体や粉末状の物質などの取付や運搬などに供することができる吸着装置を提供することを目的とする。また、本発明は、フィルムの貼付に際して、フィルムの吸着及び吸着解除を確実に行うことができるフィルム貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、回転軸に回転可能に支持される円筒状の外側枠体と、前記回転軸に前記外側枠体と独立に回転可能に支持され、前記外側枠体よりも小径の円筒状の内側枠体との間に形成される閉空間を有し、
前記閉空間が、前記外側枠体に一体的に支持され前記閉空間内に突出する第１の隔壁と、前記内側枠体に一体的に支持され、前記閉空間内に突出する第２の隔壁とによって、第１の領域及び第２の領域に区画されており、
前記第１の領域及び前記第２の領域は、前記外側枠体の円筒面に配列された複数のスリットによって外部と連通すると共に、前記第１の領域は大気接続孔を介して大気又は加圧系に接続し、前記第２の領域は減圧接続孔を介して減圧装置によって減圧されていることを特徴とする吸着装置を提供する。
【００１０】
本発明は、上述の吸着装置と、前記外側枠体の円筒面にフィルムを供給するフィルムステージと、前記円筒面に供給されたフィルムを貼付する貼付対象を載置する貼付ステージとを備えるフィルム貼付装置であって、
前記フィルムステージを前記外側枠体の円筒面に近づけ、前記第２の領域が拡大するように前記外側枠体及び前記内側枠体の少なくとも一方を回転させて、前記スリットを介してフィルムを前記外側枠体の円筒面に吸着させる第１の工程と、
前記貼付ステージを前記外側枠体の円筒面に近づけ、前記第２の領域が縮小するように前記外側枠体及び前記内側枠体の少なくとも一方を回転させて、前記貼付対象にフィルムを貼付する第２の工程とを含んで作動することを特徴とするフィルム貼付装置を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の吸着装置によると、外側枠体及び内側枠体の少なくとも一方を回転させて、減圧空間となる第２の領域を拡大又は縮小させることにより、物体を外側枠体の表面に吸着させ、或いは、第２の領域内に吸入し、次いで、外側枠体の表面から離脱させ、或いは、第２の領域から排出することができ、フィルム状の物体や粉末状の物質などの取付や運搬などに供することが出来る。
【００１２】
本発明のフィルム貼付装置によると、外側枠体と内側枠体との間に形成される閉空間が、第１の隔壁と第２の隔壁とによって、大気と連通する第１の領域と、減圧される第２の領域とに区画され、これらの第１及び第２の領域を、外側枠体及び内側枠体の少なくとも一方を回転させることによって、縮小又は拡大できる。その結果として、フィルムを貼付する際に、吸着力を容易に制御して、フィルムの吸着及び吸着解除を確実に行うことができる。なお、第１の領域は大気系及び加圧系と共に、第２の領域よりは大気に近い減圧系にも接続することも出来る。一例として、第１の領域を加圧系に接続した場合には、フィルム吸着面とフィルムとの密着力が高すぎる際にフィルムの剥離を促進させるのに有効である。また、第２の領域よりは大気に近い減圧系に第１の領域を接続した場合には、柔軟性の低いフィルムなどを用いる際に、フィルム吸着面からの意図しない剥離を抑制するのに有効である。以下の説明では、第１の領域と外部を接続する孔を、単に大気接続孔と記載する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照し、本発明の例示的な実施の形態について詳細に説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。フィルム貼付装置１００は、フィルム貼付部１０と、フィルムステージ５０と、貼付ステージ６０とを備える。フィルム貼付部１０は、回転軸２０に回転可能に支持される円筒状の外側枠体３０と、回転軸２０に外側枠体３０と独立に回転可能に支持され、外側枠体３０よりも小径の円筒状の内側枠体４０とを有し、外側枠体３０と内側枠体４０との間には、閉空間Ｅが形成される。フィルムステージ５０は、外側枠体３０の円筒面にフィルム５１を供給する。貼付ステージ６０は、円筒面に供給されたフィルム５１を貼付する貼付対象となる液晶パネル６１を載置する。同図では、外側枠体３０が反時計回りに回転し、外側枠体３０に吸着されているフィルム５１と、貼付ステージ６０上の液晶パネル６１とが当接し、フィルム５１を液晶パネル６１に貼付する状態を示している。
【００１４】
本実施形態では、フィルム５１は、偏光板や位相差板等の光学フィルム、又は可撓性樹脂材料からなる光学フィルムである。また、貼付対象としては、液晶パネル６１である。しかし、本発明のフィルム貼付装置１００では、貼付対象としては、貼付ステージ６０に載置できるフィルムであればよい。一例として、貼付対象は、ＬＣＤ装置に用いられる基板であり、例えば、可撓性の小さいガラス基板や、可撓性の大きいＰＥＳフィルム（ポリエーテルサルフォン）であってもよい。
【００１５】
図２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれフィルム貼付部１０の側面、及び、Ａ−Ｂ線に沿った断面を示す図である。外側枠体３０は、円筒面（以下、フィルム吸着面ともいう）３１に形成された吸着溝３２及び吸着孔３３と、外側枠体３０に一体的に支持され閉空間Ｅ内に突出する外側の障壁（以下、第１の隔壁という）３４とを有する。第１の隔壁３４には、その内部に外部と連通するための大気接続孔３４ａと、図示しない減圧装置に接続される減圧接続孔３４ｂとが形成されている。また、内側枠体４０は、同図（ｂ）に示すように、内側枠体４０に一体的に支持され、閉空間Ｅ内に突出する内側の障壁（以下、第２の隔壁という）４１を有する。なお、図２（ｂ）では、吸着孔３３及び吸着溝３２を省略している。
【００１６】
図１に示した閉空間Ｅは、図２（ｂ）に示すように、外側枠体３０の第１の隔壁３４と、内側枠体４０の第２の隔壁４１とによって、第１の領域Ｆ及び第２の領域Ｇに区画されている。第１の隔壁３４は、内側枠体４０の外表面（内側枠体外壁）４２を摺動し、第２の隔壁４１は、外側枠体３０の内表面（外側枠体内壁）３５を摺動する。つまり、第１の隔壁３４の先端３４ｃが、内側枠体外壁４２に接触しており、また、第２の隔壁４１の先端４１ｃが、外側枠体内壁３５に接触している。先端３４ｃ，４１ｃは、同図に黒丸で示しており、同図以降も同様とし、符号は省略する。なお、外側枠体内壁３５と内側枠体外壁４２とにより閉空間Ｅが規定されている。
【００１７】
第１の領域Ｆは、大気接続孔３４ａを介して外部に連通しているので大気圧に維持される。第２の領域Ｇは、減圧接続孔３４ｂを介して減圧装置により減圧された減圧空間となる。なお、同図には、外側枠体３０と内側枠体４０とがそれぞれ回転軸２０を介して回転する方向を矢印で示している。
【００１８】
図３（ａ）及び（ｂ）は、それぞれフィルム貼付部１０の正面、及び、Ｃ−Ｄ線に沿った断面を示す図である。同図（ｂ）では、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に形成されている吸着溝３２と吸着孔３３との断面形状が示されている。減圧空間Ｇの吸着力が吸着孔３３及び吸着溝３２を介してフィルム５１に作用し、フィルム５１は、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に吸着されている。なお、同図（ｂ）では、吸着溝３２を吸着孔３３よりも大きな径としたが、その径や形状は適宜変更可能である。
【００１９】
次に、図４を参照して、フィルム貼付部１０がフィルム５１を吸着又は吸着解除する原理について説明する。まず、同図（ａ）では、閉空間Ｅが、第１の隔壁３４及び第２の隔壁４１によって、減圧接続孔３４ｂを減圧装置に接続して減圧状態にある減圧空間Ｇ（以下、第２の領域ともいう）と、大気接続孔３４ａが開放して大気圧にある空間（以下、大気圧空間又は第１の領域という）Ｆとに区画されている。
【００２０】
減圧空間Ｇに連通する吸着孔ｂ１〜ｂ４は、フィルムステージ５０から供給されるフィルム５１を配置すれば、フィルム５１をフィルム吸着面３１に吸着する。一方、大気圧空間Ｆに位置する吸着孔ｂ５〜ｂ８は、フィルム５１を吸着できない。同図（ａ）では吸着孔ｂ１〜ｂ４を介してフィルム５１をフィルム吸着面３１に吸着させた状態を示している。
【００２１】
ここで、外側枠体３０と内側枠体４０の少なくとも一方を回転させると、第１の隔壁３４と第２の隔壁４１の相対位置が変化する。そのため、閉空間Ｅでの減圧空間Ｇと大気圧空間Ｆとの空間容積（空間エリア）が変化する、即ち拡大又は縮小する。
【００２２】
同図（ｂ）は、減圧空間Ｇの容積を小さくする方向に、外側枠体３０を回転させた状態を示している。この際、減圧空間Ｇに連通する吸着孔３３は、吸着孔ｂ１及び吸着孔ｂ２である。つまり、ここに位置するフィルム部位ａ１−ａ２は、フィルム吸着面３１で保持される。
【００２３】
一方、大気圧空間Ｆに連通する吸着孔ｂ３〜ｂ５では、ここに位置するフィルム部位ａ３−ａ４は、フィルム吸着面３１に吸着されない。このようにして、フィルム貼付部１０では、フィルム５１の脱着（吸着及び吸着解除）が可能となる。
【００２４】
以下、図５〜図８を用いて、フィルム貼付装置１００の動作を詳述する。なお、図５及び図６は、フィルム５１をフィルム貼付部１０に吸着する動作（以下、第１の工程という）を示している。また、図７及び図８は、フィルム貼付部１０に吸着されたフィルム５１の吸着を解除すると共に、液晶パネル６１に貼付する動作（以下、第２の工程という）を示している。
【００２５】
まず、第１の工程について説明する。第１の工程では、フィルムステージ５０を外側枠体３０のフィルム吸着面３１に近づけ、第２の領域Ｇが拡大するように外側枠体３０を一方向に回転させる。また、フィルムステージ５０をフィルム吸着面３１の移動方向と同方向に移動させて、吸着孔３３及び吸着溝３２を介して、フィルム５１を外側枠体３０のフィルム吸着面３１に吸着させる。ここで、「同方向」とは、フィルムステージ５０と外側枠体３０との接線における方向をいう。
【００２６】
以下、第１の工程を具体的に説明する。まず、図５に示すように、フィルム５１を吸着する前は、第２の隔壁４１が吸着孔ｂ１よりも第１の隔壁３４側に位置し、全ての吸着孔が非減圧状態となっている。この状態でフィルム５１と外側枠体３０のフィルム吸着面３１とを当接させる。
【００２７】
続いて、図６（ａ）に示すように、反時計方向に吸着孔ｂ１と吸着孔ｂ２の間まで、内側枠体４０を回転させる。その後、内側枠体４０は、その位置を維持したまま、フィルム５１を搭載したフィルムステージ５０と外側枠体３０とを連動して、同図に示す矢印の向きに、それぞれ移動（左方向）及び回転（時計回り）させる。そのため、同図（ｂ）に示すように、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に、該フィルム５１が保持される。
【００２８】
このようにして、フィルムステージ５０に配置されたフィルム５１は、減圧状態にある減圧空間Ｇに連結された吸着溝３２によって、フィルム吸着面３１に保持される。ここで、フィルム５１を吸着孔ｂ１で吸着するために内側枠体４０を回転させる例を示したが、この動作を実施せずに、内側枠体４０はその位置を維持したままフィルム５１を搭載したフィルムステージ５０と外側枠体３０とを連動して、同図に示す矢印の向きに、それぞれ移動（左方向）及び回転（時計回り）させ、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に、該フィルム５１を保持してもよい。
【００２９】
次に、第２の工程について説明する。第２の工程では、貼付ステージ６０を外側枠体３０のフィルム吸着面３１に近づけ、第２の領域Ｇが縮小するように、外側枠体３０を逆方向（反時計回り）に回転させ、貼付ステージ６０をフィム吸着面３１の移動方向と同方向に移動させて、液晶パネル６１にフィルム５１を貼付する。ここで、「同方向」とは、貼付ステージ６０と外側枠体３０との接線における方向をいう。
【００３０】
以下、第２の工程を具体的に説明する。まず、図７（ａ）に示すように、第２の隔壁４１と第１の隔壁３４の間に形成される減圧空間Ｇの空間容積（エリア）が変化しないように、外側枠体３０及び内側枠体４０が連動して、貼付ステージ６０に載置された液晶パネル６１のフィルム貼付け開始位置まで、フィルム吸着面３１にフィルム５１を保持したまま回転及び移動を行い、フィルム５１と液晶パネル６１とを当接させる。なお、この際、フィルム５１と液晶パネル６１との位置合わせ（アライメント）は、公知の光学方式又は機械的な方式であってもよい。
【００３１】
続いて、内側枠体４０は、同図（ｂ）に示すように、上記位置を保持したまま、フィルム５１を吸着している外側枠体３０と、貼付ステージ６０とを、同図の矢印の向きに夫々連動して回転及び移動することにより、フィルム５１を液晶パネル６１に貼付する。このような第２の工程では、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に保持されたフィルム５１が、大気圧に維持される大気圧空間Ｆによって、フィルム吸着面３１から容易に剥離（吸着解除）できる。
【００３２】
なお、同図（ｂ）に示す第２の工程で、外側枠体３０を逆方向（反時計回り）に回転させ、貼付ステージ６０をフィム吸着面３１の移動方向と同方向に移動させるようにしたが、これに限定されず、貼付ステージ６０を移動させず、外側枠体３０を逆方向に回転させてもよい。つまり、フィルム５１をフィルム吸着面３１から剥離されるのは、外側枠体３０と貼付ステージ６０との相対的な位置関係に依存する。
【００３３】
次いで、フィルム吸着面３１の外側のフィルム面には、液晶パネル６１と容易に接着可能な接着層が設けられており、該接着層と液晶パネル６１とが接触すれば、フィルム５１が外側枠体３０のフィルム吸着面３１から剥離して、図８に示すように、液晶パネル６１に貼付される。
【００３４】
本実施形態に係るフィルム貼付装置によれば、以下の効果を奏する。即ち、閉空間Ｅが、第１の隔壁３４と第２の隔壁４１とによって、大気圧空間となる第１の領域Ｆと、減圧される第２の領域Ｇとに区画され、これらの空間が、外側枠体３０及び／又は内側枠体４０の回転に伴って、縮小又は拡大される。つまり、枠体の回転によって、これらの空間の圧力状態を容易に制御して、フィルム５１を液晶パネル６１に貼付できる。
【００３５】
また、フィルム５１は、減圧空間でフィルム吸着面３１に保持され、かつ、フィルム貼付時には、大気圧空間によりスムーズにフィルム吸着面３１から離れる。その結果として、フィルム５１と液晶パネル６１とを指定の位置で精度よく貼付できる。さらに、フィルム５１に不要なテンションをかけずに、液晶パネル６１に貼付できるので、フィルム５１がシワにならない。
【００３６】
さらには、フィルム５１は、貼り始めから貼り終わりまで確実にフィルム吸着面３１に保持されるので、貼付途中でフィルム５１が落下することはなく、エアー吹付けによる保持が不要である。そのため、フィルム５１と液晶パネル６１との間に気泡を入れずに貼付できる。
【００３７】
なお、貼付状態をさらに好適なものとするには、フィルム吸着面３１や貼付ステージ６０に、硬度２０〜４０度程度の弾性を有するゴム又は樹脂等の弾性体を用いるとよい。その理由は、以下の通りである。液晶パネル６１には、部材の歪みや装置の歪み等で、ガラス表面には略５０μｍ程度の高低差を有するうねりがある。これに対して、フィルム吸着面３１や貼付ステージ６０に弾性を持たせることで、上記うねりにフィルム５１や液晶パネル６１が倣い、貼付圧力が均等にかかるので、気泡がより入り難くなる。つまり、平坦度の粗悪な貼付対象にもフィルム５１を好適に貼付できる。
【００３８】
さらに、近年、液晶パネル６１の軽量化に伴い、液晶パネル６１の基材であるガラス基板も薄板化が進展しており、フィルム吸着面３１や貼付ステージ６０に弾性を持たせることは、ガラスの割れ、欠け等を防止する等の効果もある。その他に、気泡の混入防止による低級ガラスの使用が可能となり、また、ガラスの薄板化の使用による軽量化を図ることもできる。
【００３９】
対角２インチ〜２３インチまでの液晶パネル６１への適用を考慮して、該範囲で、液晶パネル６１に対応した大きさのガラス板を用いて、一般的に市販されている液晶用偏光板を用いた偏光板貼付試験を行った。このとき、偏光板を吸着する真空圧力は−０．２ｋｇｆ／ｃｍ２程度以上の真空度であれば、貼付時に偏光板が落下せずに好適に貼付できることを確認している。
【００４０】
また、外側枠体３０の第１の隔壁３４と、内側枠体４０の第２の隔壁４１とを用いて減圧制御が可能であるので、多数のメカニカルバルブを装置に採用する必要がない。このため、装置の製造コストの低下や故障率の低減を実現できる。
【００４１】
また、外側枠体３０と内側枠体４０の相対的な角度を変えて、減圧空間Ｇ及び大気圧空間Ｆの容積を変えるだけで、複数のフィルム５１のサイズ（長さ）に対応できる。これにより、液晶表示装置を製造する際のコストを低減できる。
【００４２】
なお、フィルム貼付装置１００では、第１の領域（大気圧空間）Ｆは大気系及び加圧系と共に、第２の領域（減圧空間）Ｇよりは大気に近い減圧系に接続してもよい。このようにすれば、一例として第１の領域Ｆを加圧系に接続した場合には、フィルム吸着面３１とフィルム５１との密着力が高すぎる際にフィルムの剥離を促進させるのに有効である。また、第２の領域Ｇよりは大気に近い減圧系に第１の領域Ｆを接続した場合には、柔軟性の低いフィルム等を用いる際に、フィルム吸着面３１からの意図しない剥離を抑制するのに有効である。
【００４３】
ここで、フィルム貼付装置１００によりフィルム５１が貼付された液晶パネル６１は、液晶表示装置に用いられる。なお、液晶表示装置は、表示用電極を有する一対のガラス等の基板間に液晶等を充填させて、ガラス面上に偏光板を貼付けた後に、表示用回路基板等を取付けて、バックライトと共にシャーシに組込んで形成されるものである。
【００４４】
（第２の実施形態）
図９は、本発明の第２の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。同図（ａ）は、フィルム貼付部１０Ａの正面を示し、同図（ｂ）は、Ｈ−Ｉ線に沿った断面を示す図である。また、図１０（ａ）は、フィルム貼付部１０Ａの側面を示し、同図（ｂ）及び（ｃ）は、Ｊ−Ｋ線に沿った断面を示す図である。フィルム貼付部１０Ａは、外側枠体３０及び内側枠体４０に加えて、貼付枠体７０で空間を作る点で、上記フィルム貼付部１０と異なる。
【００４５】
即ち、フィルム貼付部１０Ａは、図９（ｂ）に示すように、回転軸２０に回転可能に支持された外側枠体３０、内側枠体４０及び貼付枠体７０を互いに当接させて、圧力状態を制御する閉空間Ｅを形成している。
【００４６】
貼付枠体７０には、図９（ｂ）及び図１０（ａ）に示すように、貼付枠体７０の内側に位置する上記閉空間Ｅと、フィルム吸着面７１に配置された吸着溝３２とを連結する、複数の吸着孔（吸着孔ｂ１及び吸着孔ｂ２）が配置されている。つまり、貼付枠体７０は、吸着溝及び吸着孔と、フィルム吸着面７１とを有しており、外側枠体３０には吸着孔を設ける必要がない。なお、貼付枠体７０は、回転軸２０の軸方向に内側枠体４０よりも外側に伸びる拡張部に相当する。
【００４７】
次に、フィルム貼付部１０Ａの動作について説明する。閉空間Ｅは、図１０（ｂ）に示すように、隔壁３４，４１により、減圧空間である第２の領域Ｇと、大気圧空間である第１の領域Ｆとに区画されている。そのため、減圧空間に位置する吸着孔ｃ２と吸着孔ｃ３は、フィルム吸着面７１に配置された吸着溝３２にフィルム５１を配置すれば、フィルム５１を保持できる。一方、大気圧空間に位置する吸着孔ｃ１とｃ４は、非減圧状態であるので、フィルム５１を吸着できない。
【００４８】
つまり、同図（ｂ）には、外側枠体３０と内側枠体４０の少なくとも一方を回転させると、第１の隔壁３４と第２の隔壁４１の相対位置が変化するので、減圧空間及び大気圧空間の空間容積が変化する。このように同図（ａ）及び（ｂ）では、減圧空間及び大気圧空間の空間容積が変化する状態が示されている。
【００４９】
図１０（ｃ）は、外側枠体３０と貼付枠体７０を同期させて同じ方向に回転させた状態、ここでは減圧空間の容積を小さくする方向に、枠体３０，７０を回転させた状態を示している。ここで、減圧空間に接続する吸着孔はｃ２であり、フィルム５１は、ここに位置する吸着溝ｄ２によってフィルム吸着面７１で保持される。一方、大気圧空間に接続する吸着孔ｃ１とｃ３及びｃ４は、大気圧（又は加圧）となるので、フィルム吸着面７１に位置する吸着溝ｄ１とｄ３及びｄ４も大気圧（又は加圧）となる。このため、フィルム５１は吸着されない。このようにして、フィルム貼付部１０Ａでは、フィルム５１の脱着が可能となる。
【００５０】
従って、貼付枠体７０のフィルム吸着面７１に保持されたフィルム５１は、非減圧状態にある空間によって、フィルム吸着面７１から容易に剥離できる。ここで、フィルム吸着面７１の外側のフィルム面には、液晶パネル６１と容易に接着可能な接着層が設けられており、該接着層と液晶パネル６１とが接触すれば、フィルム５１が貼付枠体７０のフィルム吸着面７１から剥離して、液晶パネル６１に貼付される。
【００５１】
このように本実施形態によれば、外側枠体３０と内側枠体４０とを製造した後に、フィルム５１の幅に合わせた貼付枠体７０を用意しておけば、フィルム５１の幅に合わせて各種貼付枠体７０を交換することもできる。
【００５２】
（第３の実施形態）
図１１は、本発明の第３の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。ここでのフィルム貼付部１０Ｂは、減圧接続孔及び大気接続孔の配置位置が、第１の実施形態及び第２の実施形態のフィルム貼付部１０，１０Ａと異なっている。即ち、フィルム貼付部１０Ｂでは、第１の隔壁３４ではなく、第２の隔壁４１での側面の対向する位置に、減圧接続孔４１ｂ及び大気接続孔４１ａをそれぞれ配置している。
【００５３】
フィルム貼付部１０Ｂでは、減圧接続孔４１ｂと大気接続孔４１ａを第２の隔壁４１に設けることにより、外部減圧接続孔と外部大気接続孔を内側枠体４０に設けることができる。つまり、外側枠体３０は、フィルム５１を貼付する際に大きく回転するが（動作範囲が大きい）、内部枠体４０は外側枠体３０に比べて動作範囲が小さい。このため、外部減圧接続孔と外部大気接続孔を内側枠体４０に設けると、外部との接続配管の構成がシンプルで容易になり、さらに、接続配管の小型化、超寿命化も図ることができる。従って、装置の製造やメンテナンスのコストを下げることができる。
【００５４】
（第４の実施形態）
図１２は、本発明の第４の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。ここでのフィルム貼付部１０Ｃは、同図（ａ）及び（ｂ）に示すように、２種類の接続孔が第１の隔壁３４を挟むようにして、その近傍に配置されている。
【００５５】
即ち、フィルム貼付部１０Ｃでは、減圧接続孔３４ｂと大気接続孔３４ａを隔壁の側面に設けるのではなく、第１の隔壁３４を挟むようにして、その近傍に設けている。その結果として、２種類の接続孔３４ａ，３４ｂの加工を容易に行うことができ、装置の製造コストを下げることができる。
【００５６】
（第５の実施形態）
図１３（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第５の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。ここでのフィルム貼付部１０Ｄは、２種類の接続孔を共に第２の隔壁４１を挟むようにして、その近傍に配置している。
【００５７】
フィルム貼付部１０Ｄでは、減圧接続孔４１ｂと大気接続孔４１ａを第２の隔壁４１を挟むようにして、その近傍に設けることにより、外部減圧接続孔と外部大気接続孔を内側枠体４０に設けることができる。
【００５８】
従って、フィルム貼付部１０Ｄでは、上記したフィルム貼付部１０Ｂと同様に、外部との接続配管の構成を簡素化でき、さらに、接続配管の小型化、超寿命化を図ることができる。また、２種類の接続孔の加工が容易となり、装置の製造やメンテナンスのコストを下げることができる。
【００５９】
なお、上記各実施形態では、２種類の接続孔の配置を複数示したが、これに限定されず、これらを適宜に組み合わせてもよい。一例としては、２種類の接続孔のうち、一方の接続孔を隔壁の側面に、他方の接続孔を、隔壁を挟んでその近傍に配置してもよい。
【００６０】
（第６の実施形態）
図１４は、本発明の第６の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。ここでのフィルム貼付部１０Ｅでは、外側枠体３０の第１の隔壁３４、及び、内側枠体４０の第２の隔壁４１が、それぞれ２組配置された点で、上記各実施形態と異なっている。フィルム貼付部１０Ｅでは、同図（ａ）に示すように、減圧空間及び大気圧空間をそれぞれ２つ区画することが可能となる。なお、それぞれの隔壁３４，４１の数をさらに増やしてもよく、また、減圧接続孔及び大気接続孔の配置位置は、上記各実施形態で示した配置を適宜選択してもよい。
【００６１】
以下、図１４（ｂ）〜図１５（ｂ）を参照して、フィルム貼付部１０Ｅの動作を説明する。まず、図１４（ｂ）に示すように、フィルムステージｓ１に搭載したフィルムｆ１、及び、フィルムステージｓ２に搭載したフィルムｆ２と、外側枠体３０のフィルム吸着面３１とを当接させる。
【００６２】
続いて、図１５（ａ）に示すように、フィルムステージｓ１とフィルムステージｓ２と外側枠体３０とを同期して、矢印の方向に移動させると共に、フィルム吸着面３１も矢印の方向に回転させる。これにより、フィルムステージｓ１，ｓ２に配置されたフィルムｆ１及びｆ２は、共にフィルム吸着面３１に同時に保持される。
【００６３】
なお、図１４（ａ）は、フィルムを保持した際の第１の隔壁３４と第２の隔壁４１の位置関係を示す図である。このように、フィルムｆ１及びｆ２は、第１の隔壁３４と第２の隔壁４１とで形成される減圧空間に位置する吸着孔ｂ１〜ｂ４及び吸着孔ｂ５〜ｂ８でそれぞれ保持される。
【００６４】
次いで、フィルムの貼付は、図１５（ｂ）に示すように、対抗した面に配置した貼付ステージｔ１と貼付ステージｔ２が液晶パネルｐ１及び液晶パネルｐ２を搭載して、フィルムの貼付開始位置まで移動する。さらに、貼付ステージｔ１と貼付ステージｔ２を同期して、図１５（ｂ）の矢印の方向に移動させると共に、フィルム吸着面３１も矢印の方向に回転させる。その後、図１５（ｂ）に示すように、フィルム吸着面３１に保持されたフィルムは、フィルム吸着面３１から剥離し液晶パネルに貼付けられる。
【００６５】
本実施形態によれば、１回の動作でフィルムの着脱及びフィルム貼付が可能であり、単位時間当たりの処理能力を２倍まで高められる。その結果として、液晶表示装置を製造する際のコストを下げることができる。
【００６６】
上記各実施形態では、吸着溝３２を単なる穴としたが、これに限定されず、図１６（ａ）に示すように吸着溝３２にさらに多孔質体３１ａを配置してもよく、また、図１６（ｂ）に示すように、吸着溝３２に微細孔体３１ｂを用いてもよい。つまり、吸着溝３２に多孔質体３１ａ（同図（ａ））、又は、小径の孔を配置した微細孔体３１ｂ（同図（ｂ））によりフィルムを吸着することで、フィルムと直接接触して吸着するひとつひとつの吸着部位が微細となる。
【００６７】
従って、吸着部位によるフィルムへのダメージも小さくなり、視認し難くなると共に、その程度も軽減できる（又は発生しない）。従って、不良品を減らして歩留を向上できる。なお、ダメージとは、吸着により、対象物の吸着部分が盛上ることや吸着部位の形状が痕跡としてフィルム表面に残る現象をいう。
【００６８】
また、図１７に示すように吸着溝３２にボール３６を備えてもよい。なお、同図（ａ）は、吸着孔３３が減圧状態であることを示しており、同図（ｂ）は、吸着孔３３が大気又は加圧状態であることを示している。吸着溝３２にボール３６を備えることで、フィルムを剥離する場合にボール３６がフィルム吸着面３１より飛び出すので、フィルムの剥離が容易となる。さらに、フィルムを剥離する際に大気接続孔を介在して吸着孔３３を加圧した場合であっても、ボール３６がバルブとして機能し、加圧した気体が吸着溝３２から漏れことを防止する。
【００６９】
吸着孔３３が減圧空間にある場合には、同図（ａ）に示すように、ボール３６はスプリング３７に打ち勝って持上げられて、フィルム吸着面３１から引き込まれ、フィルムの吸着がバイパス孔３８を経由して行われる。
【００７０】
吸着孔３３が大気又は加圧空間に有る場合には、同図（ｂ）に示すように、ボール３６は内部に備えたスプリング３７によりボール受け３９に押し付けられ、ボール受け３９と接触して気密を保ち、気体の漏れを防止すると共に、ボール３６がフィルム吸着面より露出し、フィルムを強制的に剥離する。
【００７１】
このように、フィルムを強制的に剥離する機構を設けることで、フィルムがフィルム吸着面３１に静電気等により張り付いた場合でも容易に剥離できる。さらに、仮に、加圧（ブロー）気体等のフィルム剥離の補助手段を用いた場合であっても、フィルムの剥離の完了した吸着溝３２からの気体の漏れを防止でき、気体の漏れによるゴミの巻上げ等を防ぐことができる。従って、フィルムの張り付きによるフィルムの剥離不良を減らすと共に、巻上げたゴミによる不良品を減らすことで歩留を上げられるという効果がある。
【００７２】
さらに、図１８に示すように、吸着溝３２にボール３６及び多孔質体３１ａを備えてもよい。なお、同図（ａ）は吸着孔３３が減圧状態であることを示し、同図（ｂ）は、吸着孔３３が加圧状態であることを示す。吸着溝３２にボール３６を備えたことにより、フィルムの剥離で吸着孔３３を加圧した場合に、ボール３６がバルブとして機能し、加圧した気体が吸着溝３２から漏れるのを防止する。
【００７３】
吸着孔３３が減圧空間にある場合には、同図（ａ）に示すように、ボール３６はスプリング３７により押し上げられ、フィルムの吸着はバイパス孔３８を経由して行われる。また、吸着孔３３が大気圧空間（ここでは、加圧空間）に有る場合には、同図（ｂ）に示すように、ボール３６はスプリング３７に打ち勝って下に押し下げられて、ボール受け３９と接触して気密を保ち、加圧気体の漏れを防止する。
【００７４】
このようにすれば、加圧（ブロー）気体等のフィルム剥離の補助手段を用いた場合でもフィルムの剥離の完了した吸着溝３２からの気体の漏れを防止でき、気体の漏れによるゴミの巻上げ等を防ぐことができる。従って、巻上げたゴミによる不良品を減らすことで歩留を向上できる。
【００７５】
以上説明したように、本発明のフィルム貼付装置では、以下の態様の採用が可能である。
【００７６】
第１の領域及び第２の領域の組が複数形成される。円筒面にフィルムを複数吸着できるので、効率を高めることができる。
【００７７】
大気接続孔及び減圧接続孔を、第１の隔壁に形成してもよい。大気接続孔及び減圧接続孔が、第２の隔壁に形成されている。この場合には、第２の隔壁は、第１の隔壁に比べて動作範囲が小さいので、大気接続孔及び減圧接続孔に接続される配管の構成を簡素化できる。なお、大気接続孔及び減圧接続孔をそれぞれ、第１及び第２の隔壁に形成してもよい。
【００７８】
大気接続孔及び減圧接続孔が、回転軸の軸方向に沿って形成されている。第１及び第２の隔壁を加工する必要がなく、大気接続孔及び減圧接続孔を容易に形成できる。
【００７９】
スリットの表面に、多孔質体又は微細孔体が配設されている。この場合には、フィルムを吸着する際に、フィルムが傷つくことがない。
【００８０】
スリットが、スプリングによって付勢されるボール弁によって閉止可能である。円筒面に吸着されたフィルムが、ボール弁により強制的に円筒面から剥離されるので、吸着力が低下すると、フィルムを確実に吸着解除できる。
【００８１】
外側枠体は、回転軸の軸方向に内側枠体よりも外側に伸びる軸方向拡張部を備えており、該軸方向拡張部にスリットが形成されている。この場合には、軸方向拡張部にフィルムが吸着されるので、フィルムの幅に応じた軸方向拡張部を用意するだけで、各種フィルムを貼付できる。
【００８２】
外側枠体の円筒面又は軸方向拡張部の円筒面が弾性体で形成されている。この場合には、貼付対象にうねりがあっても、フィルムを好適に貼付できる。
【００８３】
貼付対象として表示パネルを採用できる。また、フィルムとして、光学フィルム又は、保護フィルムを採用できる。なお、光学フィルムとしては、偏光フィルム、位相差フィルムがある。
【００８４】
上記フィルム貼付装置のフィルム貼付部は、フィルムの貼付以外の用途にも使用可能である。例えば、減圧空間となる第２の領域を拡大又は縮小させることにより、物体を外側枠体の表面に吸着させ、或いは、第２の領域内に吸入し、次いで、外側枠体の表面から離脱させ、或いは、第２の領域から排出することができ、フィルム状の物体や粉末状の物質などの取付けや運搬などに供することが出来る吸着装置として利用可能である。
【００８５】
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明の吸着装置及びフィルム貼付装置は、上記実施形態の構成にのみ限定されるものではなく、上記実施形態の構成から種々の修正及び変更を施したものも、本発明の範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれフィルム貼付部の側面と断面とを示す図。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれフィルム貼付部の正面と断面とを示す図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、フィルム貼付部によるフィルムの吸着及び吸着解除の原理を説明する図。
【図５】フィルムを吸着する前のフィルム貼付部の状態を示す図。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、図５に続いてフィルムを吸着する際でのフィルム貼付部の動作を示す図。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、図６に続いて吸着したフィルムを吸着解除する際でのフィルム貼付部の動作を示す図。
【図８】図７に続いて、フィルムを吸着解除したフィルム貼付部の状態を示す図。
【図９】（ａ）及び（ｂ）本発明の第２の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、図９に示すフィルム貼付部の動作を示す図。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１２】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第４の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第５の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１４】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第６の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１５】（ａ）及び（ｂ）は、図１４に示すフィルム貼付部の動作を示す図。
【図１６】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ吸着溝に多孔質体又は微細孔体を配置した例を示す図。
【図１７】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ吸着溝にボール弁を配置した例を示す図。
【図１８】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ吸着溝にボール弁及び多孔質体を配置した例を示す図。
【符号の説明】
【００８７】
１０：フィルム貼付部
２０：回転軸
３０：外側枠体
３４：第１の隔壁（外側の障壁）
４０：内側枠体
４１：第２の隔壁（内側の障壁）
５０：フィルムステージ
５１：フィルム
６０：貼付ステージ
６１：液晶パネル
１００：フィルム貼付装置
Ｅ：閉空間
Ｆ：第１の領域（大気圧空間）
Ｇ：第２の領域（減圧空間）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着装置及びフィルム貼付装置に関し、更に詳しくは、フィルム状の物体などを吸着するために利用される吸着装置、及び表示パネル等の貼付対象にフィルムを貼付するフィルム貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、液晶パネルに偏光板フィルムを貼り付ける液晶表示素子用フィルム貼付装置が記載されている。液晶表示素子用フィルム貼付装置では、液晶パネルをテーブル上に保持し、偏光板フィルムを吸着面が湾曲形状の支持体に吸着し、偏光板フィルムの端部が液晶パネルの端部に当接したとき、支持体の吸着孔より吸着解除の給気を行い、液晶パネルの移動と共に、偏光板フィルムにクリーンエアを吹き付けつつ貼り付ける。
【０００３】
特許文献１には、液晶パネルと偏光板フィルムの粘着材層が当接する領域近傍で順次吸着を解除することは記載されているが、その具体的な構成の記載がない。
【０００４】
これに対して、特許文献２には、偏光膜吸着用のチャックドラムの内側に、ガスケットで仕切る溝空間を持つドラムを挿入し、チャックドラムのみを回転し、ガスケットで仕切る溝空間の減圧で偏光膜を吸着させ、逆回転で偏光膜端から吸着作用を消滅させて、液晶表示素子に偏光膜を貼付する技術が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−４２３１５号公報（段落００４９）
【特許文献２】特開昭５７−５１７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献２に記載の技術は、ガスケットで溝空間が固定化されており、フィルムの吸着及び吸着解除に際して、溝空間の減圧を高精度で調整しなければ、フィルムの貼付位置がずれてしまうという問題があった。
【０００７】
また、フィルムの落下や貼付位置ずれ等を回避するためには、特許文献１に記載のように、エアー吹き付け機構を新たに設置することも考えられる。しかし、この場合には、液晶パネルと偏光板フィルムの間にエアーによって巻き込まれたゴミが混入するという問題があった。さらに、エアーを吹き付けることにより液晶パネルと偏光板フィルムの間にエアー溜りが生じて気泡が発生するという問題もあった。
【０００８】
本発明は、フィルム状の物体や粉末状の物質などの取付や運搬などに供することができる吸着装置を提供することを目的とする。また、本発明は、フィルムの貼付に際して、フィルムの吸着及び吸着解除を確実に行うことができるフィルム貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、回転軸に回転可能に支持される円筒状の外側枠体と、前記回転軸に前記外側枠体と独立に回転可能に支持され、前記外側枠体よりも小径の円筒状の内側枠体との間に形成される閉空間を有し、
前記閉空間が、前記外側枠体に一体的に支持され前記閉空間内に突出する第１の隔壁と、前記内側枠体に一体的に支持され、前記閉空間内に突出する第２の隔壁とによって、第１の領域及び第２の領域に区画されており、
前記第１の領域及び前記第２の領域は、前記外側枠体の円筒面に配列された複数のスリットによって外部と連通すると共に、前記第１の領域は大気接続孔を介して大気又は加圧系に接続し、前記第２の領域は減圧接続孔を介して減圧装置によって減圧されていることを特徴とする吸着装置を提供する。
【００１０】
本発明は、上述の吸着装置と、前記外側枠体の円筒面にフィルムを供給するフィルムステージと、前記円筒面に供給されたフィルムを貼付する貼付対象を載置する貼付ステージとを備えるフィルム貼付装置であって、
前記フィルムステージを前記外側枠体の円筒面に近づけ、前記第２の領域が拡大するように前記外側枠体及び前記内側枠体の少なくとも一方を回転させて、前記スリットを介してフィルムを前記外側枠体の円筒面に吸着させる第１の工程と、
前記貼付ステージを前記外側枠体の円筒面に近づけ、前記第２の領域が縮小するように前記外側枠体及び前記内側枠体の少なくとも一方を回転させて、前記貼付対象にフィルムを貼付する第２の工程とを含んで作動することを特徴とするフィルム貼付装置を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の吸着装置によると、外側枠体及び内側枠体の少なくとも一方を回転させて、減圧空間となる第２の領域を拡大又は縮小させることにより、物体を外側枠体の表面に吸着させ、或いは、第２の領域内に吸入し、次いで、外側枠体の表面から離脱させ、或いは、第２の領域から排出することができ、フィルム状の物体や粉末状の物質などの取付や運搬などに供することが出来る。
【００１２】
本発明のフィルム貼付装置によると、外側枠体と内側枠体との間に形成される閉空間が、第１の隔壁と第２の隔壁とによって、大気と連通する第１の領域と、減圧される第２の領域とに区画され、これらの第１及び第２の領域を、外側枠体及び内側枠体の少なくとも一方を回転させることによって、縮小又は拡大できる。その結果として、フィルムを貼付する際に、吸着力を容易に制御して、フィルムの吸着及び吸着解除を確実に行うことができる。なお、第１の領域は大気系及び加圧系と共に、第２の領域よりは大気に近い減圧系にも接続することも出来る。一例として、第１の領域を加圧系に接続した場合には、フィルム吸着面とフィルムとの密着力が高すぎる際にフィルムの剥離を促進させるのに有効である。また、第２の領域よりは大気に近い減圧系に第１の領域を接続した場合には、柔軟性の低いフィルムなどを用いる際に、フィルム吸着面からの意図しない剥離を抑制するのに有効である。以下の説明では、第１の領域と外部を接続する孔を、単に大気接続孔と記載する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照し、本発明の例示的な実施の形態について詳細に説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。フィルム貼付装置１００は、フィルム貼付部１０と、フィルムステージ５０と、貼付ステージ６０とを備える。フィルム貼付部１０は、回転軸２０に回転可能に支持される円筒状の外側枠体３０と、回転軸２０に外側枠体３０と独立に回転可能に支持され、外側枠体３０よりも小径の円筒状の内側枠体４０とを有し、外側枠体３０と内側枠体４０との間には、閉空間Ｅが形成される。フィルムステージ５０は、外側枠体３０の円筒面にフィルム５１を供給する。貼付ステージ６０は、円筒面に供給されたフィルム５１を貼付する貼付対象となる液晶パネル６１を載置する。同図では、外側枠体３０が反時計回りに回転し、外側枠体３０に吸着されているフィルム５１と、貼付ステージ６０上の液晶パネル６１とが当接し、フィルム５１を液晶パネル６１に貼付する状態を示している。
【００１４】
本実施形態では、フィルム５１は、偏光板や位相差板等の光学フィルム、又は可撓性樹脂材料からなる光学フィルムである。また、貼付対象としては、液晶パネル６１である。しかし、本発明のフィルム貼付装置１００では、貼付対象としては、貼付ステージ６０に載置できるフィルムであればよい。一例として、貼付対象は、ＬＣＤ装置に用いられる基板であり、例えば、可撓性の小さいガラス基板や、可撓性の大きいＰＥＳフィルム（ポリエーテルサルフォン）であってもよい。
【００１５】
図２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれフィルム貼付部１０の側面、及び、Ａ−Ｂ線に沿った断面を示す図である。外側枠体３０は、円筒面（以下、フィルム吸着面ともいう）３１に形成された吸着溝３２及び吸着孔３３と、外側枠体３０に一体的に支持され閉空間Ｅ内に突出する外側の障壁（以下、第１の隔壁という）３４とを有する。第１の隔壁３４には、その内部に外部と連通するための大気接続孔３４ａと、図示しない減圧装置に接続される減圧接続孔３４ｂとが形成されている。また、内側枠体４０は、同図（ｂ）に示すように、内側枠体４０に一体的に支持され、閉空間Ｅ内に突出する内側の障壁（以下、第２の隔壁という）４１を有する。なお、図２（ｂ）では、吸着孔３３及び吸着溝３２を省略している。
【００１６】
図１に示した閉空間Ｅは、図２（ｂ）に示すように、外側枠体３０の第１の隔壁３４と、内側枠体４０の第２の隔壁４１とによって、第１の領域Ｆ及び第２の領域Ｇに区画されている。第１の隔壁３４は、内側枠体４０の外表面（内側枠体外壁）４２を摺動し、第２の隔壁４１は、外側枠体３０の内表面（外側枠体内壁）３５を摺動する。つまり、第１の隔壁３４の先端３４ｃが、内側枠体外壁４２に接触しており、また、第２の隔壁４１の先端４１ｃが、外側枠体内壁３５に接触している。先端３４ｃ，４１ｃは、同図に黒丸で示しており、同図以降も同様とし、符号は省略する。なお、外側枠体内壁３５と内側枠体外壁４２とにより閉空間Ｅが規定されている。
【００１７】
第１の領域Ｆは、大気接続孔３４ａを介して外部に連通しているので大気圧に維持される。第２の領域Ｇは、減圧接続孔３４ｂを介して減圧装置により減圧された減圧空間となる。なお、同図には、外側枠体３０と内側枠体４０とがそれぞれ回転軸２０を介して回転する方向を矢印で示している。
【００１８】
図３（ａ）及び（ｂ）は、それぞれフィルム貼付部１０の正面、及び、Ｃ−Ｄ線に沿った断面を示す図である。同図（ｂ）では、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に形成されている吸着溝３２と吸着孔３３との断面形状が示されている。減圧空間Ｇの吸着力が吸着孔３３及び吸着溝３２を介してフィルム５１に作用し、フィルム５１は、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に吸着されている。なお、同図（ｂ）では、吸着溝３２を吸着孔３３よりも大きな径としたが、その径や形状は適宜変更可能である。
【００１９】
次に、図４を参照して、フィルム貼付部１０がフィルム５１を吸着又は吸着解除する原理について説明する。まず、同図（ａ）では、閉空間Ｅが、第１の隔壁３４及び第２の隔壁４１によって、減圧接続孔３４ｂを減圧装置に接続して減圧状態にある減圧空間Ｇ（以下、第２の領域ともいう）と、大気接続孔３４ａが開放して大気圧にある空間（以下、大気圧空間又は第１の領域という）Ｆとに区画されている。
【００２０】
減圧空間Ｇに連通する吸着孔ｂ１〜ｂ４は、フィルムステージ５０から供給されるフィルム５１を配置すれば、フィルム５１をフィルム吸着面３１に吸着する。一方、大気圧空間Ｆに位置する吸着孔ｂ５〜ｂ８は、フィルム５１を吸着できない。同図（ａ）では吸着孔ｂ１〜ｂ４を介してフィルム５１をフィルム吸着面３１に吸着させた状態を示している。
【００２１】
ここで、外側枠体３０と内側枠体４０の少なくとも一方を回転させると、第１の隔壁３４と第２の隔壁４１の相対位置が変化する。そのため、閉空間Ｅでの減圧空間Ｇと大気圧空間Ｆとの空間容積（空間エリア）が変化する、即ち拡大又は縮小する。
【００２２】
同図（ｂ）は、減圧空間Ｇの容積を小さくする方向に、外側枠体３０を回転させた状態を示している。この際、減圧空間Ｇに連通する吸着孔３３は、吸着孔ｂ１及び吸着孔ｂ２である。つまり、ここに位置するフィルム部位ａ１−ａ２は、フィルム吸着面３１で保持される。
【００２３】
一方、大気圧空間Ｆに連通する吸着孔ｂ３〜ｂ５では、ここに位置するフィルム部位ａ３−ａ４は、フィルム吸着面３１に吸着されない。このようにして、フィルム貼付部１０では、フィルム５１の脱着（吸着及び吸着解除）が可能となる。
【００２４】
以下、図５〜図８を用いて、フィルム貼付装置１００の動作を詳述する。なお、図５及び図６は、フィルム５１をフィルム貼付部１０に吸着する動作（以下、第１の工程という）を示している。また、図７及び図８は、フィルム貼付部１０に吸着されたフィルム５１の吸着を解除すると共に、液晶パネル６１に貼付する動作（以下、第２の工程という）を示している。
【００２５】
まず、第１の工程について説明する。第１の工程では、フィルムステージ５０を外側枠体３０のフィルム吸着面３１に近づけ、第２の領域Ｇが拡大するように外側枠体３０を一方向に回転させる。また、フィルムステージ５０をフィルム吸着面３１の移動方向と同方向に移動させて、吸着孔３３及び吸着溝３２を介して、フィルム５１を外側枠体３０のフィルム吸着面３１に吸着させる。ここで、「同方向」とは、フィルムステージ５０と外側枠体３０との接線における方向をいう。
【００２６】
以下、第１の工程を具体的に説明する。まず、図５に示すように、フィルム５１を吸着する前は、第２の隔壁４１が吸着孔ｂ１よりも第１の隔壁３４側に位置し、全ての吸着孔が非減圧状態となっている。この状態でフィルム５１と外側枠体３０のフィルム吸着面３１とを当接させる。
【００２７】
続いて、図６（ａ）に示すように、反時計方向に吸着孔ｂ１と吸着孔ｂ２の間まで、内側枠体４０を回転させる。その後、内側枠体４０は、その位置を維持したまま、フィルム５１を搭載したフィルムステージ５０と外側枠体３０とを連動して、同図に示す矢印の向きに、それぞれ移動（左方向）及び回転（時計回り）させる。そのため、同図（ｂ）に示すように、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に、該フィルム５１が保持される。
【００２８】
このようにして、フィルムステージ５０に配置されたフィルム５１は、減圧状態にある減圧空間Ｇに連結された吸着溝３２によって、フィルム吸着面３１に保持される。ここで、フィルム５１を吸着孔ｂ１で吸着するために内側枠体４０を回転させる例を示したが、この動作を実施せずに、内側枠体４０はその位置を維持したままフィルム５１を搭載したフィルムステージ５０と外側枠体３０とを連動して、同図に示す矢印の向きに、それぞれ移動（左方向）及び回転（時計回り）させ、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に、該フィルム５１を保持してもよい。
【００２９】
次に、第２の工程について説明する。第２の工程では、貼付ステージ６０を外側枠体３０のフィルム吸着面３１に近づけ、第２の領域Ｇが縮小するように、外側枠体３０を逆方向（反時計回り）に回転させ、貼付ステージ６０をフィム吸着面３１の移動方向と同方向に移動させて、液晶パネル６１にフィルム５１を貼付する。ここで、「同方向」とは、貼付ステージ６０と外側枠体３０との接線における方向をいう。
【００３０】
以下、第２の工程を具体的に説明する。まず、図７（ａ）に示すように、第２の隔壁４１と第１の隔壁３４の間に形成される減圧空間Ｇの空間容積（エリア）が変化しないように、外側枠体３０及び内側枠体４０が連動して、貼付ステージ６０に載置された液晶パネル６１のフィルム貼付け開始位置まで、フィルム吸着面３１にフィルム５１を保持したまま回転及び移動を行い、フィルム５１と液晶パネル６１とを当接させる。なお、この際、フィルム５１と液晶パネル６１との位置合わせ（アライメント）は、公知の光学方式又は機械的な方式であってもよい。
【００３１】
続いて、内側枠体４０は、同図（ｂ）に示すように、上記位置を保持したまま、フィルム５１を吸着している外側枠体３０と、貼付ステージ６０とを、同図の矢印の向きに夫々連動して回転及び移動することにより、フィルム５１を液晶パネル６１に貼付する。このような第２の工程では、外側枠体３０のフィルム吸着面３１に保持されたフィルム５１が、大気圧に維持される大気圧空間Ｆによって、フィルム吸着面３１から容易に剥離（吸着解除）できる。
【００３２】
なお、同図（ｂ）に示す第２の工程で、外側枠体３０を逆方向（反時計回り）に回転させ、貼付ステージ６０をフィム吸着面３１の移動方向と同方向に移動させるようにしたが、これに限定されず、貼付ステージ６０を移動させず、外側枠体３０を逆方向に回転させてもよい。つまり、フィルム５１をフィルム吸着面３１から剥離されるのは、外側枠体３０と貼付ステージ６０との相対的な位置関係に依存する。
【００３３】
次いで、フィルム吸着面３１の外側のフィルム面には、液晶パネル６１と容易に接着可能な接着層が設けられており、該接着層と液晶パネル６１とが接触すれば、フィルム５１が外側枠体３０のフィルム吸着面３１から剥離して、図８に示すように、液晶パネル６１に貼付される。
【００３４】
本実施形態に係るフィルム貼付装置によれば、以下の効果を奏する。即ち、閉空間Ｅが、第１の隔壁３４と第２の隔壁４１とによって、大気圧空間となる第１の領域Ｆと、減圧される第２の領域Ｇとに区画され、これらの空間が、外側枠体３０及び／又は内側枠体４０の回転に伴って、縮小又は拡大される。つまり、枠体の回転によって、これらの空間の圧力状態を容易に制御して、フィルム５１を液晶パネル６１に貼付できる。
【００３５】
また、フィルム５１は、減圧空間でフィルム吸着面３１に保持され、かつ、フィルム貼付時には、大気圧空間によりスムーズにフィルム吸着面３１から離れる。その結果として、フィルム５１と液晶パネル６１とを指定の位置で精度よく貼付できる。さらに、フィルム５１に不要なテンションをかけずに、液晶パネル６１に貼付できるので、フィルム５１がシワにならない。
【００３６】
さらには、フィルム５１は、貼り始めから貼り終わりまで確実にフィルム吸着面３１に保持されるので、貼付途中でフィルム５１が落下することはなく、エアー吹付けによる保持が不要である。そのため、フィルム５１と液晶パネル６１との間に気泡を入れずに貼付できる。
【００３７】
なお、貼付状態をさらに好適なものとするには、フィルム吸着面３１や貼付ステージ６０に、硬度２０〜４０度程度の弾性を有するゴム又は樹脂等の弾性体を用いるとよい。その理由は、以下の通りである。液晶パネル６１には、部材の歪みや装置の歪み等で、ガラス表面には略５０μｍ程度の高低差を有するうねりがある。これに対して、フィルム吸着面３１や貼付ステージ６０に弾性を持たせることで、上記うねりにフィルム５１や液晶パネル６１が倣い、貼付圧力が均等にかかるので、気泡がより入り難くなる。つまり、平坦度の粗悪な貼付対象にもフィルム５１を好適に貼付できる。
【００３８】
さらに、近年、液晶パネル６１の軽量化に伴い、液晶パネル６１の基材であるガラス基板も薄板化が進展しており、フィルム吸着面３１や貼付ステージ６０に弾性を持たせることは、ガラスの割れ、欠け等を防止する等の効果もある。その他に、気泡の混入防止による低級ガラスの使用が可能となり、また、ガラスの薄板化の使用による軽量化を図ることもできる。
【００３９】
対角２インチ〜２３インチまでの液晶パネル６１への適用を考慮して、該範囲で、液晶パネル６１に対応した大きさのガラス板を用いて、一般的に市販されている液晶用偏光板を用いた偏光板貼付試験を行った。このとき、偏光板を吸着する真空圧力は−０．２ｋｇｆ／ｃｍ２程度以上の真空度であれば、貼付時に偏光板が落下せずに好適に貼付できることを確認している。
【００４０】
また、外側枠体３０の第１の隔壁３４と、内側枠体４０の第２の隔壁４１とを用いて減圧制御が可能であるので、多数のメカニカルバルブを装置に採用する必要がない。このため、装置の製造コストの低下や故障率の低減を実現できる。
【００４１】
また、外側枠体３０と内側枠体４０の相対的な角度を変えて、減圧空間Ｇ及び大気圧空間Ｆの容積を変えるだけで、複数のフィルム５１のサイズ（長さ）に対応できる。これにより、液晶表示装置を製造する際のコストを低減できる。
【００４２】
なお、フィルム貼付装置１００では、第１の領域（大気圧空間）Ｆは大気系及び加圧系と共に、第２の領域（減圧空間）Ｇよりは大気に近い減圧系に接続してもよい。このようにすれば、一例として第１の領域Ｆを加圧系に接続した場合には、フィルム吸着面３１とフィルム５１との密着力が高すぎる際にフィルムの剥離を促進させるのに有効である。また、第２の領域Ｇよりは大気に近い減圧系に第１の領域Ｆを接続した場合には、柔軟性の低いフィルム等を用いる際に、フィルム吸着面３１からの意図しない剥離を抑制するのに有効である。
【００４３】
ここで、フィルム貼付装置１００によりフィルム５１が貼付された液晶パネル６１は、液晶表示装置に用いられる。なお、液晶表示装置は、表示用電極を有する一対のガラス等の基板間に液晶等を充填させて、ガラス面上に偏光板を貼付けた後に、表示用回路基板等を取付けて、バックライトと共にシャーシに組込んで形成されるものである。
【００４４】
（第２の実施形態）
図９は、本発明の第２の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。同図（ａ）は、フィルム貼付部１０Ａの正面を示し、同図（ｂ）は、Ｈ−Ｉ線に沿った断面を示す図である。また、図１０（ａ）は、フィルム貼付部１０Ａの側面を示し、同図（ｂ）及び（ｃ）は、Ｊ−Ｋ線に沿った断面を示す図である。フィルム貼付部１０Ａは、外側枠体３０及び内側枠体４０に加えて、貼付枠体７０で空間を作る点で、上記フィルム貼付部１０と異なる。
【００４５】
即ち、フィルム貼付部１０Ａは、図９（ｂ）に示すように、回転軸２０に回転可能に支持された外側枠体３０、内側枠体４０及び貼付枠体７０を互いに当接させて、圧力状態を制御する閉空間Ｅを形成している。
【００４６】
貼付枠体７０には、図９（ｂ）及び図１０（ａ）に示すように、貼付枠体７０の内側に位置する上記閉空間Ｅと、フィルム吸着面７１に配置された吸着溝３２とを連結する、複数の吸着孔（吸着孔ｂ１及び吸着孔ｂ２）が配置されている。つまり、貼付枠体７０は、吸着溝及び吸着孔と、フィルム吸着面７１とを有しており、外側枠体３０には吸着孔を設ける必要がない。なお、貼付枠体７０は、回転軸２０の軸方向に内側枠体４０よりも外側に伸びる拡張部に相当する。
【００４７】
次に、フィルム貼付部１０Ａの動作について説明する。閉空間Ｅは、図１０（ｂ）に示すように、隔壁３４，４１により、減圧空間である第２の領域Ｇと、大気圧空間である第１の領域Ｆとに区画されている。そのため、減圧空間に位置する吸着孔ｃ２と吸着孔ｃ３は、フィルム吸着面７１に配置された吸着溝３２にフィルム５１を配置すれば、フィルム５１を保持できる。一方、大気圧空間に位置する吸着孔ｃ１とｃ４は、非減圧状態であるので、フィルム５１を吸着できない。
【００４８】
つまり、同図（ｂ）には、外側枠体３０と内側枠体４０の少なくとも一方を回転させると、第１の隔壁３４と第２の隔壁４１の相対位置が変化するので、減圧空間及び大気圧空間の空間容積が変化する。このように同図（ａ）及び（ｂ）では、減圧空間及び大気圧空間の空間容積が変化する状態が示されている。
【００４９】
図１０（ｃ）は、外側枠体３０と貼付枠体７０を同期させて同じ方向に回転させた状態、ここでは減圧空間の容積を小さくする方向に、枠体３０，７０を回転させた状態を示している。ここで、減圧空間に接続する吸着孔はｃ２であり、フィルム５１は、ここに位置する吸着溝ｄ２によってフィルム吸着面７１で保持される。一方、大気圧空間に接続する吸着孔ｃ１とｃ３及びｃ４は、大気圧（又は加圧）となるので、フィルム吸着面７１に位置する吸着溝ｄ１とｄ３及びｄ４も大気圧（又は加圧）となる。このため、フィルム５１は吸着されない。このようにして、フィルム貼付部１０Ａでは、フィルム５１の脱着が可能となる。
【００５０】
従って、貼付枠体７０のフィルム吸着面７１に保持されたフィルム５１は、非減圧状態にある空間によって、フィルム吸着面７１から容易に剥離できる。ここで、フィルム吸着面７１の外側のフィルム面には、液晶パネル６１と容易に接着可能な接着層が設けられており、該接着層と液晶パネル６１とが接触すれば、フィルム５１が貼付枠体７０のフィルム吸着面７１から剥離して、液晶パネル６１に貼付される。
【００５１】
このように本実施形態によれば、外側枠体３０と内側枠体４０とを製造した後に、フィルム５１の幅に合わせた貼付枠体７０を用意しておけば、フィルム５１の幅に合わせて各種貼付枠体７０を交換することもできる。
【００５２】
（第３の実施形態）
図１１は、本発明の第３の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。ここでのフィルム貼付部１０Ｂは、減圧接続孔及び大気接続孔の配置位置が、第１の実施形態及び第２の実施形態のフィルム貼付部１０，１０Ａと異なっている。即ち、フィルム貼付部１０Ｂでは、第１の隔壁３４ではなく、第２の隔壁４１での側面の対向する位置に、減圧接続孔４１ｂ及び大気接続孔４１ａをそれぞれ配置している。
【００５３】
フィルム貼付部１０Ｂでは、減圧接続孔４１ｂと大気接続孔４１ａを第２の隔壁４１に設けることにより、外部減圧接続孔と外部大気接続孔を内側枠体４０に設けることができる。つまり、外側枠体３０は、フィルム５１を貼付する際に大きく回転するが（動作範囲が大きい）、内部枠体４０は外側枠体３０に比べて動作範囲が小さい。このため、外部減圧接続孔と外部大気接続孔を内側枠体４０に設けると、外部との接続配管の構成がシンプルで容易になり、さらに、接続配管の小型化、超寿命化も図ることができる。従って、装置の製造やメンテナンスのコストを下げることができる。
【００５４】
（第４の実施形態）
図１２は、本発明の第４の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。ここでのフィルム貼付部１０Ｃは、同図（ａ）及び（ｂ）に示すように、２種類の接続孔が第１の隔壁３４を挟むようにして、その近傍に配置されている。
【００５５】
即ち、フィルム貼付部１０Ｃでは、減圧接続孔３４ｂと大気接続孔３４ａを隔壁の側面に設けるのではなく、第１の隔壁３４を挟むようにして、その近傍に設けている。その結果として、２種類の接続孔３４ａ，３４ｂの加工を容易に行うことができ、装置の製造コストを下げることができる。
【００５６】
（第５の実施形態）
図１３（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第５の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。ここでのフィルム貼付部１０Ｄは、２種類の接続孔を共に第２の隔壁４１を挟むようにして、その近傍に配置している。
【００５７】
フィルム貼付部１０Ｄでは、減圧接続孔４１ｂと大気接続孔４１ａを第２の隔壁４１を挟むようにして、その近傍に設けることにより、外部減圧接続孔と外部大気接続孔を内側枠体４０に設けることができる。
【００５８】
従って、フィルム貼付部１０Ｄでは、上記したフィルム貼付部１０Ｂと同様に、外部との接続配管の構成を簡素化でき、さらに、接続配管の小型化、超寿命化を図ることができる。また、２種類の接続孔の加工が容易となり、装置の製造やメンテナンスのコストを下げることができる。
【００５９】
なお、上記各実施形態では、２種類の接続孔の配置を複数示したが、これに限定されず、これらを適宜に組み合わせてもよい。一例としては、２種類の接続孔のうち、一方の接続孔を隔壁の側面に、他方の接続孔を、隔壁を挟んでその近傍に配置してもよい。
【００６０】
（第６の実施形態）
図１４は、本発明の第６の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図である。ここでのフィルム貼付部１０Ｅでは、外側枠体３０の第１の隔壁３４、及び、内側枠体４０の第２の隔壁４１が、それぞれ２組配置された点で、上記各実施形態と異なっている。フィルム貼付部１０Ｅでは、同図（ａ）に示すように、減圧空間及び大気圧空間をそれぞれ２つ区画することが可能となる。なお、それぞれの隔壁３４，４１の数をさらに増やしてもよく、また、減圧接続孔及び大気接続孔の配置位置は、上記各実施形態で示した配置を適宜選択してもよい。
【００６１】
以下、図１４（ｂ）〜図１５（ｂ）を参照して、フィルム貼付部１０Ｅの動作を説明する。まず、図１４（ｂ）に示すように、フィルムステージｓ１に搭載したフィルムｆ１、及び、フィルムステージｓ２に搭載したフィルムｆ２と、外側枠体３０のフィルム吸着面３１とを当接させる。
【００６２】
続いて、図１５（ａ）に示すように、フィルムステージｓ１とフィルムステージｓ２と外側枠体３０とを同期して、矢印の方向に移動させると共に、フィルム吸着面３１も矢印の方向に回転させる。これにより、フィルムステージｓ１，ｓ２に配置されたフィルムｆ１及びｆ２は、共にフィルム吸着面３１に同時に保持される。
【００６３】
なお、図１４（ａ）は、フィルムを保持した際の第１の隔壁３４と第２の隔壁４１の位置関係を示す図である。このように、フィルムｆ１及びｆ２は、第１の隔壁３４と第２の隔壁４１とで形成される減圧空間に位置する吸着孔ｂ１〜ｂ４及び吸着孔ｂ５〜ｂ８でそれぞれ保持される。
【００６４】
次いで、フィルムの貼付は、図１５（ｂ）に示すように、対抗した面に配置した貼付ステージｔ１と貼付ステージｔ２が液晶パネルｐ１及び液晶パネルｐ２を搭載して、フィルムの貼付開始位置まで移動する。さらに、貼付ステージｔ１と貼付ステージｔ２を同期して、図１５（ｂ）の矢印の方向に移動させると共に、フィルム吸着面３１も矢印の方向に回転させる。その後、図１５（ｂ）に示すように、フィルム吸着面３１に保持されたフィルムは、フィルム吸着面３１から剥離し液晶パネルに貼付けられる。
【００６５】
本実施形態によれば、１回の動作でフィルムの着脱及びフィルム貼付が可能であり、単位時間当たりの処理能力を２倍まで高められる。その結果として、液晶表示装置を製造する際のコストを下げることができる。
【００６６】
上記各実施形態では、吸着溝３２を単なる穴としたが、これに限定されず、図１６（ａ）に示すように吸着溝３２にさらに多孔質体３１ａを配置してもよく、また、図１６（ｂ）に示すように、吸着溝３２に微細孔体３１ｂを用いてもよい。つまり、吸着溝３２に多孔質体３１ａ（同図（ａ））、又は、小径の孔を配置した微細孔体３１ｂ（同図（ｂ））によりフィルムを吸着することで、フィルムと直接接触して吸着するひとつひとつの吸着部位が微細となる。
【００６７】
従って、吸着部位によるフィルムへのダメージも小さくなり、視認し難くなると共に、その程度も軽減できる（又は発生しない）。従って、不良品を減らして歩留を向上できる。なお、ダメージとは、吸着により、対象物の吸着部分が盛上ることや吸着部位の形状が痕跡としてフィルム表面に残る現象をいう。
【００６８】
また、図１７に示すように吸着溝３２にボール３６を備えてもよい。なお、同図（ａ）は、吸着孔３３が減圧状態であることを示しており、同図（ｂ）は、吸着孔３３が大気又は加圧状態であることを示している。吸着溝３２にボール３６を備えることで、フィルムを剥離する場合にボール３６がフィルム吸着面３１より飛び出すので、フィルムの剥離が容易となる。さらに、フィルムを剥離する際に大気接続孔を介在して吸着孔３３を加圧した場合であっても、ボール３６がバルブとして機能し、加圧した気体が吸着溝３２から漏れことを防止する。
【００６９】
吸着孔３３が減圧空間にある場合には、同図（ａ）に示すように、ボール３６はスプリング３７に打ち勝って持上げられて、フィルム吸着面３１から引き込まれ、フィルムの吸着がバイパス孔３８を経由して行われる。
【００７０】
吸着孔３３が大気又は加圧空間に有る場合には、同図（ｂ）に示すように、ボール３６は内部に備えたスプリング３７によりボール受け３９に押し付けられ、ボール受け３９と接触して気密を保ち、気体の漏れを防止すると共に、ボール３６がフィルム吸着面より露出し、フィルムを強制的に剥離する。
【００７１】
このように、フィルムを強制的に剥離する機構を設けることで、フィルムがフィルム吸着面３１に静電気等により張り付いた場合でも容易に剥離できる。さらに、仮に、加圧（ブロー）気体等のフィルム剥離の補助手段を用いた場合であっても、フィルムの剥離の完了した吸着溝３２からの気体の漏れを防止でき、気体の漏れによるゴミの巻上げ等を防ぐことができる。従って、フィルムの張り付きによるフィルムの剥離不良を減らすと共に、巻上げたゴミによる不良品を減らすことで歩留を上げられるという効果がある。
【００７２】
さらに、図１８に示すように、吸着溝３２にボール３６及び多孔質体３１ａを備えてもよい。なお、同図（ａ）は吸着孔３３が減圧状態であることを示し、同図（ｂ）は、吸着孔３３が加圧状態であることを示す。吸着溝３２にボール３６を備えたことにより、フィルムの剥離で吸着孔３３を加圧した場合に、ボール３６がバルブとして機能し、加圧した気体が吸着溝３２から漏れるのを防止する。
【００７３】
吸着孔３３が減圧空間にある場合には、同図（ａ）に示すように、ボール３６はスプリング３７により押し上げられ、フィルムの吸着はバイパス孔３８を経由して行われる。また、吸着孔３３が大気圧空間（ここでは、加圧空間）に有る場合には、同図（ｂ）に示すように、ボール３６はスプリング３７に打ち勝って下に押し下げられて、ボール受け３９と接触して気密を保ち、加圧気体の漏れを防止する。
【００７４】
このようにすれば、加圧（ブロー）気体等のフィルム剥離の補助手段を用いた場合でもフィルムの剥離の完了した吸着溝３２からの気体の漏れを防止でき、気体の漏れによるゴミの巻上げ等を防ぐことができる。従って、巻上げたゴミによる不良品を減らすことで歩留を向上できる。
【００７５】
以上説明したように、本発明のフィルム貼付装置では、以下の態様の採用が可能である。
【００７６】
第１の領域及び第２の領域の組が複数形成される。円筒面にフィルムを複数吸着できるので、効率を高めることができる。
【００７７】
大気接続孔及び減圧接続孔を、第１の隔壁に形成してもよい。大気接続孔及び減圧接続孔が、第２の隔壁に形成されている。この場合には、第２の隔壁は、第１の隔壁に比べて動作範囲が小さいので、大気接続孔及び減圧接続孔に接続される配管の構成を簡素化できる。なお、大気接続孔及び減圧接続孔をそれぞれ、第１及び第２の隔壁に形成してもよい。
【００７８】
大気接続孔及び減圧接続孔が、回転軸の軸方向に沿って形成されている。第１及び第２の隔壁を加工する必要がなく、大気接続孔及び減圧接続孔を容易に形成できる。
【００７９】
スリットの表面に、多孔質体又は微細孔体が配設されている。この場合には、フィルムを吸着する際に、フィルムが傷つくことがない。
【００８０】
スリットが、スプリングによって付勢されるボール弁によって閉止可能である。円筒面に吸着されたフィルムが、ボール弁により強制的に円筒面から剥離されるので、吸着力が低下すると、フィルムを確実に吸着解除できる。
【００８１】
外側枠体は、回転軸の軸方向に内側枠体よりも外側に伸びる軸方向拡張部を備えており、該軸方向拡張部にスリットが形成されている。この場合には、軸方向拡張部にフィルムが吸着されるので、フィルムの幅に応じた軸方向拡張部を用意するだけで、各種フィルムを貼付できる。
【００８２】
外側枠体の円筒面又は軸方向拡張部の円筒面が弾性体で形成されている。この場合には、貼付対象にうねりがあっても、フィルムを好適に貼付できる。
【００８３】
貼付対象として表示パネルを採用できる。また、フィルムとして、光学フィルム又は、保護フィルムを採用できる。なお、光学フィルムとしては、偏光フィルム、位相差フィルムがある。
【００８４】
上記フィルム貼付装置のフィルム貼付部は、フィルムの貼付以外の用途にも使用可能である。例えば、減圧空間となる第２の領域を拡大又は縮小させることにより、物体を外側枠体の表面に吸着させ、或いは、第２の領域内に吸入し、次いで、外側枠体の表面から離脱させ、或いは、第２の領域から排出することができ、フィルム状の物体や粉末状の物質などの取付けや運搬などに供することが出来る吸着装置として利用可能である。
【００８５】
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明の吸着装置及びフィルム貼付装置は、上記実施形態の構成にのみ限定されるものではなく、上記実施形態の構成から種々の修正及び変更を施したものも、本発明の範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれフィルム貼付部の側面と断面とを示す図。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれフィルム貼付部の正面と断面とを示す図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、フィルム貼付部によるフィルムの吸着及び吸着解除の原理を説明する図。
【図５】フィルムを吸着する前のフィルム貼付部の状態を示す図。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、図５に続いてフィルムを吸着する際でのフィルム貼付部の動作を示す図。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、図６に続いて吸着したフィルムを吸着解除する際でのフィルム貼付部の動作を示す図。
【図８】図７に続いて、フィルムを吸着解除したフィルム貼付部の状態を示す図。
【図９】（ａ）及び（ｂ）本発明の第２の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、図９に示すフィルム貼付部の動作を示す図。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１２】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第４の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第５の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１４】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第６の実施形態に係るフィルム貼付装置の構成を示す図。
【図１５】（ａ）及び（ｂ）は、図１４に示すフィルム貼付部の動作を示す図。
【図１６】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ吸着溝に多孔質体又は微細孔体を配置した例を示す図。
【図１７】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ吸着溝にボール弁を配置した例を示す図。
【図１８】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ吸着溝にボール弁及び多孔質体を配置した例を示す図。
【符号の説明】
【００８７】
１０：フィルム貼付部
２０：回転軸
３０：外側枠体
３４：第１の隔壁（外側の障壁）
４０：内側枠体
４１：第２の隔壁（内側の障壁）
５０：フィルムステージ
５１：フィルム
６０：貼付ステージ
６１：液晶パネル
１００：フィルム貼付装置
Ｅ：閉空間
Ｆ：第１の領域（大気圧空間）
Ｇ：第２の領域（減圧空間）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に回転可能に支持される円筒状の外側枠体と、前記回転軸に前記外側枠体と独立に回転可能に支持され、前記外側枠体よりも小径の円筒状の内側枠体との間に形成される閉空間を有し、
前記閉空間が、前記外側枠体に一体的に支持され前記閉空間内に突出する第１の隔壁と、前記内側枠体に一体的に支持され、前記閉空間内に突出する第２の隔壁とによって、第１の領域及び第２の領域に区画されており、
前記第１の領域及び前記第２の領域は、前記外側枠体の円筒面に配列された複数のスリットによって外部と連通すると共に、前記第１の領域は大気接続孔を介して大気又は加圧系に接続し、前記第２の領域は減圧接続孔を介して減圧装置によって減圧されていることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
前記第１の領域及び第２の領域の組が複数形成される、請求項１に記載の吸着装置。
【請求項３】
前記大気接続孔及び減圧接続孔が、前記第１の隔壁に形成されている、請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項４】
前記大気接続孔及び減圧接続孔が、前記第２の隔壁に形成されている、請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項５】
前記大気接続孔及び減圧接続孔がそれぞれ、前記第１及び第２の隔壁に形成されている、請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項６】
前記大気接続孔及び減圧接続孔が、前記回転軸の軸方向に沿って形成されている、請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項７】
前記スリットの表面に、多孔質体又は微細孔体が配設されている、請求項１〜６の何れか一に記載の吸着装置。
【請求項８】
前記スリットが、スプリングによって付勢されるボール弁によって閉止可能である、請求項１〜６の何れか一に記載の吸着装置。
【請求項９】
前記外側枠体の円筒面が弾性体で形成されている、請求項１〜８の何れか一に記載の吸着装置。
【請求項１０】
前記外側枠体は、回転軸の軸方向に前記内側枠体よりも外側に伸びる軸方向拡張部を備えており、該軸方向拡張部に前記スリットが形成されている、請求項１〜８の何れか一に記載の吸着装置。
【請求項１１】
前記軸方向拡張部の円筒面が弾性体で形成されている、請求項１０に記載の吸着装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れか一に記載の吸着装置と、前記外側枠体の円筒面にフィルムを供給するフィルムステージと、前記円筒面に供給されたフィルムを貼付する貼付対象を載置する貼付ステージとを備えるフィルム貼付装置であって、
前記フィルムステージを前記外側枠体の円筒面に近づけ、前記第２の領域が拡大するように前記外側枠体及び前記内側枠体の少なくとも一方を回転させて、前記スリットを介してフィルムを前記外側枠体の円筒面に吸着させる第１の工程と、
前記貼付ステージを前記外側枠体の円筒面に近づけ、前記第２の領域が縮小するように前記外側枠体及び前記内側枠体の少なくとも一方を回転させて、前記貼付対象にフィルムを貼付する第２の工程とを含んで作動することを特徴とするフィルム貼付装置。
【請求項１３】
前記貼付対象が表示パネルであり、前記フィルムが、光学フィルム、又は、保護フィルムである、請求項１２に記載のフィルム貼付装置。
【請求項１４】
前記光学フィルムは、偏光フィルム又は位相差フィルムである、請求項１３に記載のフィルム貼付装置。
【請求項１】
回転軸に回転可能に支持される円筒状の外側枠体と、前記回転軸に前記外側枠体と独立に回転可能に支持され、前記外側枠体よりも小径の円筒状の内側枠体との間に形成される閉空間を有し、
前記閉空間が、前記外側枠体に一体的に支持され前記閉空間内に突出する第１の隔壁と、前記内側枠体に一体的に支持され、前記閉空間内に突出する第２の隔壁とによって、第１の領域及び第２の領域に区画されており、
前記第１の領域及び前記第２の領域は、前記外側枠体の円筒面に配列された複数のスリットによって外部と連通すると共に、前記第１の領域は大気接続孔を介して大気又は加圧系に接続し、前記第２の領域は減圧接続孔を介して減圧装置によって減圧されていることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
前記第１の領域及び第２の領域の組が複数形成される、請求項１に記載の吸着装置。
【請求項３】
前記大気接続孔及び減圧接続孔が、前記第１の隔壁に形成されている、請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項４】
前記大気接続孔及び減圧接続孔が、前記第２の隔壁に形成されている、請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項５】
前記大気接続孔及び減圧接続孔がそれぞれ、前記第１及び第２の隔壁に形成されている、請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項６】
前記大気接続孔及び減圧接続孔が、前記回転軸の軸方向に沿って形成されている、請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項７】
前記スリットの表面に、多孔質体又は微細孔体が配設されている、請求項１〜６の何れか一に記載の吸着装置。
【請求項８】
前記スリットが、スプリングによって付勢されるボール弁によって閉止可能である、請求項１〜６の何れか一に記載の吸着装置。
【請求項９】
前記外側枠体の円筒面が弾性体で形成されている、請求項１〜８の何れか一に記載の吸着装置。
【請求項１０】
前記外側枠体は、回転軸の軸方向に前記内側枠体よりも外側に伸びる軸方向拡張部を備えており、該軸方向拡張部に前記スリットが形成されている、請求項１〜８の何れか一に記載の吸着装置。
【請求項１１】
前記軸方向拡張部の円筒面が弾性体で形成されている、請求項１０に記載の吸着装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れか一に記載の吸着装置と、前記外側枠体の円筒面にフィルムを供給するフィルムステージと、前記円筒面に供給されたフィルムを貼付する貼付対象を載置する貼付ステージとを備えるフィルム貼付装置であって、
前記フィルムステージを前記外側枠体の円筒面に近づけ、前記第２の領域が拡大するように前記外側枠体及び前記内側枠体の少なくとも一方を回転させて、前記スリットを介してフィルムを前記外側枠体の円筒面に吸着させる第１の工程と、
前記貼付ステージを前記外側枠体の円筒面に近づけ、前記第２の領域が縮小するように前記外側枠体及び前記内側枠体の少なくとも一方を回転させて、前記貼付対象にフィルムを貼付する第２の工程とを含んで作動することを特徴とするフィルム貼付装置。
【請求項１３】
前記貼付対象が表示パネルであり、前記フィルムが、光学フィルム、又は、保護フィルムである、請求項１２に記載のフィルム貼付装置。
【請求項１４】
前記光学フィルムは、偏光フィルム又は位相差フィルムである、請求項１３に記載のフィルム貼付装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
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【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２００９−２２７４３０（Ｐ２００９−２２７４３０Ａ）
【公開日】平成２１年１０月８日（２００９．１０．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−７６９５５（Ｐ２００８−７６９５５）
【出願日】平成２０年３月２５日（２００８．３．２５）
【出願人】（３０３０１８８２７）ＮＥＣ液晶テクノロジー株式会社 (547)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１０月８日（２００９．１０．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年３月２５日（２００８．３．２５）
【出願人】（３０３０１８８２７）ＮＥＣ液晶テクノロジー株式会社 (547)
【Ｆターム（参考）】
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