【課題】 基板の搬送速度を変更した場合においても、基板を均一に処理することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板１００を水平方向に搬送する搬送ローラ９と、処理液吐出口２１が形成され、この処理液吐出口２１とガラス基板１００の表面との間が処理液の液膜により液密状態となる位置に配置された処理液吐出ノズル２と、処理液保持面３１を備え、処理液吐出口２１と処理液保持面３１との間に処理液の液溜まりを形成可能となる位置に配置された液溜まり保持部材３と、ガラス基板１００の表面に供給された処理液がガラス基板１００の搬送方向に対して上流側に流出することを防止するためのエアナイフ５と、ガラス基板１００の裏面に洗浄液を供給する一対の裏面洗浄部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 多量の処理液を消費することなく基板の表面全域に有効に処理液を供給することが可能であり、さらに、処理液を回収して再利用することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 各塗布ユニット１ａ、１ｂは、複数の搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００の表面に処理液を供給するための第１処理液吐出ノズル２と、この第１処理液吐出ノズル２との間に処理液の液溜まりを形成するとともに、複数の搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００の裏面に処理液を供給するための第２処理液吐出ノズル４とを備える。搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００に対し、このような構成を有する２個の塗布ユニット１ａ、１ｂの作用により、その表面および裏面への処理液の塗布が、繰り返し実行される。 （もっと読む）

【課題】表示部材と機能性部材を接着部材で接着した表示パネルを、表示部材と機能性部材とに分離することで各部材を再利用する表示パネルの再生方法において、両者を正確な位置にて分離し、各部材を傷付けずに行うことができる加工方法を提供する。
【解決手段】表示部材と機能性部材を透明な接着部材で接合した表示パネルＡとしての加工物に対して、溶剤や潤滑剤等を用いずに縦方向に押し付けて切断するワイヤ３と、表示パネルＡを分離する切断面の延長面上をワイヤ３と一致させるように前記表示パネルＡを保持する固定ユニット３８と、表示パネルＡをワイヤ３により切断するようにワイヤ３と前記固定ユニット３８とを切断面に沿って相対的に移動させる機構とからなる切断装置を用いて透明な接着部材を切断し、表示パネルＡを割裂した後、接着部材の残渣を剥離、除去する。 （もっと読む）

【課題】異なる材質が貼り合わされている平面部材の左右面または上下面を同時に研磨および／または洗浄を行うことができる平面部材研磨・洗浄装置を提供する。
【解決手段】研磨・洗浄装置は、両面が異なる材質からなる平面部材１１１、１１２を垂直にした場合の左右面、または水平にした場合の上下面を同時に研磨および／または洗浄をすることができる。前記研磨・洗浄装置は、平面部材の一つの面を研磨および／または洗浄する複数組の第１ブラシ組立体１３１、１３４と、平面部材の他の面で、異なる材質からなる面を研磨および／または洗浄する前記第１のブラシ組立体と異なる種類のブラシ毛および異なる構造からなる複数組の第２ブラシ組立体１３２、１３５、１３３ｎ、１３３ｎ’とから構成され、制御装置によって、異なる駆動態様および駆動速度でそれぞれ制御される。 （もっと読む）

【課題】無機配向膜が水分や不純物を吸着することを抑制しながら、無機配向膜を選択的に形成することのできる液晶装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】液晶装置１００において、素子基板１０に配向膜１６を形成するにあたっては、犠牲膜形成工程において、素子基板１０における配向膜１６の非形成領域１０ｈに犠牲膜１８ａ、１８ｂを形成した後、無機配向膜形成工程において、犠牲膜１８ａ、１８ｂの表面側に、シリコン酸化膜等からなる配向膜１６を斜め蒸着する。次に、リフトオフ工程では、犠牲膜１８ａ、１８ｂを選択的にエッチングする反応性ガスによって犠牲膜１８ａ、１８ｂを除去する。ここで、犠牲膜１８ａ、１８ｂはシリコン膜であり、反応性ガスは二フッ化キセノンガスである。 （もっと読む）

【課題】洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄対象である搬送中の板状部材２の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段３ａ、３ｂを備え、板状部材２に洗浄液を供給しつつ洗浄手段３ａ、３ｂを回転させて搬送中の板状部材２を洗浄する洗浄装置１であって、複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段３ａと、該洗浄手段３ａと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段３ｂとからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段３ａ、３ｂは、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの天井面などに処理液や蒸気などが付着しない枚葉式の基板処理装置を提供する。
【解決手段】ハウジング１と、前記ハウジング１内に基板３を保持する保持手段２と、前記基板３の処理面３ａに対して処理液を供給する供給手段８と、前記ハウジング１内に気体を取り込む取り込み口１ａと、前記ハウジング１内の処理液の蒸気を当該ハウジング１から排出する排出口１ｃとを備え、前記保持手段２は前記処理面３ａを前記ハウジング１の底部１ｂに向けて前記基板３を保持し、前記取り込み口１ａから前記排出口１ｃへ向かう気流を形成し、前記気流によって処理液の蒸気を当該ハウジング１から排出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上の場所によってばらつきのないより均一な膜のパターニング形状を得るエッチング方法およびエッチング処理装置、を提供する。
【解決手段】エッチング方法は、１断目エッチング処理槽６１において、温度ｔ１を有するエッチング液を用いて、金属膜の表層を除去する工程と、金属膜の表層を除去する工程の後に、２〜４段目エッチング処理槽６２〜６４において、温度ｔ１よりも高い温度ｔ２を有するエッチング液を用いて、金属膜をパターニングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板上に存在する異物（主としてガラスカレット）の各種サイズ（例えば、１０μｍから１０００μｍの範囲）に適宜対応しうる清掃機能を有するガラス基板表面清掃装置、方法を提供。
【解決手段】 ガラス基板５０を支持し、第一の方向（図３中Ｍ）に前記ガラス基板を搬送するためのガラス基板支持搬送機構２０と、前記第一の方向に対し交差する第二の方向（図３中Ｎ）に前記ガラス基板の表面上で摺動させて、前記ガラス基板表面に付着した異物３００を除去するための清掃ベルト１１を有するガラス基板清掃機構１０とを有するガラス基板表面清掃装置１００であって、前記清掃ベルト１１が、当該表面に複数の三次元構造研磨材塗膜７０と、当該塗膜間に位置する溝６０とを有し、前記溝６０の溝幅６２が前記ガラス基板表面に付着した異物３００の外形幅寸法より広いガラス基板表面清掃装置１００。 （もっと読む）

【課題】清掃装置によるＣＦ基板の損傷を防止することにある。
【解決手段】プローブ装置は、電極を備える被検査体の上方に配置されて、またプローブ装置本体と、該プローブ装置本体に結合された清掃装置と、該清掃装置を前記プローブ装置に結合する結合装置とを含む。前記プローブ装置本体は、前記電極に接触されるように下方に向けられた針先を有する。前記清掃装置は、前記プローブ装置本体と前記被検査体とが相寄り相離れる上下方向への相対移動により前記電極に接触可能の前端部を前記針先より下方及び前方に備える。前記結合装置は、上方ほど後方となる斜めの方向に前記清掃装置と前記プローブ装置本体とを相対的に移動可能に結合している。 （もっと読む）

【課題】光学部材の欠点を効果的に回収する。
【解決手段】回収装置２は、光学部材とセパレータとが分離可能に積層されてなるシート片を移送する移送部５０と、移送部５０によって移送されるシート片の光学部材が欠点を含まない良品光学部材であるか欠点を含む不良品光学部材（不良品貼合シートＦ１２）であるかを判定する判定部１０と、シート片に接触して光学部材からセパレータＦ３を分離するナイフエッジ２０を、移送部５０によって移送されるシート片の光学部材が判定部１０によって良品光学部材と判定されたときに、このシート片と接触しない位置に移動する移動部２１と、ナイフエッジ２０に接触しないで移送部５０によって移送されたシート片を回収する回収部５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ガラス・シリコン薄膜・フイルム等の大面積基板の薬液反応において、薬液との接液を面状態とし、さらに節液状態で行える超音波薬液反応装置を提供することにある。
【解決手段】 薬液供給口２１，３２より薬液６０を上下薬液槽２０，３０に送り、上部薬液槽２０の液吸引パイプ２３からの流量バランスで、基板出入り口になる上下槽間の空隙部１２に薬液６０を保持する。薬液６０には下部槽３０より超音波定在波１３が付加され、振動波の最大振幅位置と一致させた空隙レベルに基板５０をローラー４０で搬送し、キャビテーション効果で基板表裏の薬液反応を促進化させる。液吸引パイプ２３の位置を振動波の最小振幅位置と一致させ液面レベルを反射面として機能させる。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去する基板処理方法および基板処理装置において、スループットの低下を招くことなく、しかも優れた面内均一性でパーティクル等を除去する。
【解決手段】基板Ｗの回転中心Ｐ（０）から基板Ｗの外縁側に離れた初期位置Ｐ（Ｒin）の上方に冷却ガス吐出ノズル７を配置し、回転している基板Ｗの初期位置Ｐ（Ｒin）に冷却ガスを供給して、初期位置Ｐ（Ｒin）および回転中心Ｐ（０）を含む初期領域に付着するＤＩＷを凝固させる。そして、初期凝固領域ＦＲ0の形成に続いて、ノズル７から冷却ガスを供給しながら初期位置Ｐ（Ｒin）の上方から基板Ｗの外縁部の上方まで移動させることによって、凝固される範囲を基板Ｗの外縁側に広げて基板表面Ｗｆに付着していた全ＤＩＷ（凝固対象液）を凝固して液膜ＬＦ全体を凍結する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液としてのキレート過水液の濃度変化を抑制することが可能であり、その結果、使用するキレート過水液の材料費を低減することが可能な基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１Ａは、循環路と、濃度センサ２１と、制御部２６とを備える。循環路は、キレート過水液１００を用いてガラス基板２００の洗浄を行なう洗浄槽１０と、キレート過水液１００を一時的に貯留する貯留槽１６と、これら洗浄槽１０および貯留槽１６を接続する送り管１８および戻し管１５とを含んでいる。濃度センサ２１は、キレート過水液１００の濃度を検出するためのものであり、送り管１８に設けられている。制御部２６は、濃度センサ２１によって検出された濃度情報に基づいて所定量の純水を貯留槽１６に供給することでキレート過水液１００の濃度管理を行なう。 （もっと読む）

【課題】無機配向膜が形成された基板を適正に再利用できる液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】対向基板に無機配向膜を形成する工程と、無機配向膜の欠陥を検査する工程と、検査工程において無機配向膜に欠陥が検出された場合に、無機配向膜をフッ素系の処理ガスを用いて除去する工程と、フッ素系成分を含む残渣を除去するべく対向基板を純水超音波洗浄する工程と、対向基板に再び無機配向膜を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】砒素及びその化合物の環境中への溶出を抑制する、砒素を含むガラス粉砕物の加熱方法、ガラス粉砕物からの砒素溶出防止方法及びガラス材料を提供する。
【解決手段】砒素及び／又はその化合物を含む粉砕したガラスと、金属化合物と、を含む混合物を加熱する、砒素を含むガラス粉砕物の加熱方法であって、
前記金属化合物は、水酸化アルミニウム、炭酸ナトリウムと水酸化マグネシウムとの組合せ、炭酸銅と炭酸ナトリウムとの組合せ、炭酸銅と水酸化マグネシウムとの組合せ、炭酸カルシウムと炭酸ナトリウムとの組合せ、及び、炭酸カルシウムと水酸化マグネシウムとの組合せ、からなる群より選ばれる少なくとも一つを含有する加熱方法。 （もっと読む）

【課題】フィルムの排出に必要な構成を簡単にすることを実現する。
【解決手段】本発明のフィルム剥離装置において、液晶パネル１を搬送する搬送ユニットは、保護フィルム５ａにおける第１の角部が初期剥離された位置Ａから第２の角部が剥離される位置Ｂまで、液晶パネル１を、液晶パネル１の下面に対して垂直な線を軸として回転させながら、円弧状軌道に沿って移動させ、位置Ｂから第２の角部における粘着面が排出ユニットに接触する位置Ｃまで、液晶パネル１を、保護フィルム５ａにおける剥離された第２の角部の対角方向と、液晶パネル１の下面の法線方向との合力方向に移動させ、位置Ｃから第３および第４の角部が剥離される位置Ｅまで、液晶パネル１を、保護フィルム５ａにおける剥離された部分と液晶パネル１に貼り付けられた部分との境界線Ｌに対し垂直な方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】貼付けフィルムから剥離フィルムを剥離する際に発生する剥離帯電を十分に除電することができる貼付け装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる貼付け装置は、剥離フィルム２を剥離する剥離箇所に配置される案内部材５と、剥離フィルム２に切れ目を入れる刃７と、刃７により剥離フィルム２に形成された切れ目から前記剥離箇所へ、除電器により送気されたイオン化エアを送るための開口部１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光の乱反射を減らした液晶ディスプレイ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の基板が相互対向して配され、その間に液晶層が形成された液晶ディスプレイパネルと、液晶ディスプレイパネルの下部に配され、液晶ディスプレイパネルに光を照射するバックライトユニットと、を備えるが、液晶層が形成された部分に対して離隔して配された基板の表面に形成された欠陥ホール内に充填され、基板の表面に対して水平面になるように充填材が形成され、充填材が充填された欠陥ホール上にカバー部材が付着されたことを特徴とする液晶ディスプレイ装置である。これにより、充填材によって欠陥ホールが形成された領域を充填させるので、光の乱反射を未然に防止する。このように、エッチング工程で発生する物理的な限界を克服して超薄型加工を通じて薄型のディスプレイ装置を具現可能である。 （もっと読む）