基板処理装置
【課題】装置の稼動状態を確実に知らせることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】稼働状態を示す複数のシグナル表示機器としてのシグナルタワー及びブザーと、予め個別に設定された前記シグナルタワー及びブザーに対応する動作条件を表示する表記器とを備えた基板処理装置であって、前記シグナルタワー及びブザーは、複数の動作条件のいずれかにより動作し、前記表示器において、前記シグナルタワーの動作条件として前記ブザーが鳴動することが設定可能であることを特徴とする。
【解決手段】稼働状態を示す複数のシグナル表示機器としてのシグナルタワー及びブザーと、予め個別に設定された前記シグナルタワー及びブザーに対応する動作条件を表示する表記器とを備えた基板処理装置であって、前記シグナルタワー及びブザーは、複数の動作条件のいずれかにより動作し、前記表示器において、前記シグナルタワーの動作条件として前記ブザーが鳴動することが設定可能であることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス等の基板を処理するための基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板処理装置において、稼動状態を外部に表示する（知らせる）ものとしてシグナル表示機器が広く用いられている。例えば、シグナル表示機器として、ブザー（連続音、断続音あるいは音声などを出す装置）、シグナルタワー（複数の色別に配列された電飾を点灯、点滅等させる装置）などが一般的に用いられている。これらのシグナル表示機器は、ユーザ（オペレータ）より予め設定された動作条件によって動作（鳴動、点灯、点滅及び消灯など）し、基板処理装置の稼動状態を外部に伝えるようになっている。以前のブザーは、異常か正常かを把握する程度の機能でよかったが、近年、シグナル表示機器の動作条件が複雑になっており、ブザー機能の充実が要求されている。
【０００３】
特に、複数の基板処理装置が設置された大規模な工場などにおいては、各基板処理装置の稼動状態をリアルタイムに把握可能なシグナル表示機器が必要とされている。
【０００４】
これらのシグナル表示機器を動作させる動作条件において、一つの動作条件（例えば「基板処理装置がＡの状態のときに点灯する（鳴動する）」）の他に、複数の動作条件（例えば「基板処理装置がＡの状態またはＢの状態のときに点灯する（鳴動する）」）を設定することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、複数の動作条件でシグナル表示機器を制御している場合、現在のシグナル（シグナル表示機器の動作状態）が、これら複数の動作条件のうちどの動作条件により、シグナル表示機器の表示が行われているかが分からないという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解消し、シグナル表示機器が複数の動作条件のうちどの動作条件を満たして動作しているかを表示することができる基板処理装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の特徴とするところは、稼動状態を示すシグナル表示機器を備えた基板処理装置において、複数の動作条件のいずれかにより動作するシグナル表示機器と、前記シグナル表示機器の動作時に動作原因が前記複数の動作条件のいずれかであることを表示する表示器とを備えた基板処理装置にある。
【０００８】
好適には、前記シグナル表示機器としてシグナルタワーを備え、前記表示器は、前記シグナルタワーの動作状態を表示する。
【０００９】
好適には、前記シグナル表示機器としてブザーを備え、前記表示器は、前記ブザーの動作状態を表示する。
【００１０】
好適には、前記動作条件として、論理式や括弧を一つの枠の中に独立して設定可能とする。
【００１１】
好適には、前記表示器は、前記シグナル表示機器が複数の動作条件のうちどの動作条件を満たして動作しているかを表示する。
【００１２】
好適には、前記表示器は、前記動作条件のほかに、ホストコンピュータからの指示の有無を表示する。メンテナンスが必要な場合、所定の基板処理装置に作業者を呼ぶためにリモート指示を行なうことがある。シグナルタワーやブザーの動作を制御することで、工場内に複数の基板処理装置が並んでいても所定の基板処理装置を容易に把握できる。
【００１３】
好適には、前記表示器は、前記動作状態の優先順位を選択して表示する。
【００１４】
好適には、前記動作条件及びホストコンピュータの指示のどちらかを優先させるか選択可能である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シグナル表示機器が複数の動作条件を満たして動作している場合であっても、複数の動作条件のうちどの動作条件を満たして動作しているかを表示することができ、もって基板処理装置の稼動状態を確実に知らせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す透視側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板処理装置が用いられた基板処理システムの構成を例示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る基板処理装置のハードウェア構成を、制御装置を中心に例示する図である。
【図５】本発明の実施形態に係る基板処理装置のシグナル制御装置により実行されるシグナル制御プログラムの機能構成を例示する図である。
【図６】本発明の実施形態に係る基板処理装置のシグナル表示機器における動作条件及び動作状態を表示させる一連の処理を示したフロー図である。
【図７】本発明の実施形態に係る基板処理装置のシグナル表示機器の動作条件となる基板処理装置の稼動状態の一例を示す表である。
【図８】本発明の実施形態に係る基板処理装置の表示器に表示された第１の入力画面を例示する図である。
【図９】本発明の実施形態に係る基板処理装置の表示器に表示された第１のモニタ画面を例示する図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る基板処理装置の表示器に表示された第２の入力画面を例示する図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る基板処理装置の表示器に表示された第２のモニタ画面を例示する図である。
【図１２】シグナル制御装置上で動作する鳴動制御プログラムの構成を示す図である。
【図１３】鳴動制御プログラムの記憶関係部に記憶されている関係を例示する図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る基板処理装置の全体動作（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明を実施する最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図１は、本発明に適用される基板処理装置の斜視図として示されている。また、図２は図１に示す基板処理装置の側面透視図である。
【００１８】
図１および図２に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の基板処理装置１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００１９】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００２０】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２１】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図１に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）および脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００２２】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００２３】
図１に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２４】
図１に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側およびボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５およびウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００２５】
次に、本発明の基板処理装置１００の動作について説明する。
図１および図２に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００２６】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。
【００２７】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００２８】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。
【００２９】
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体の外部へ払出される。
【００３０】
次に、上述した基板処理装置１００を用いた基板処理システム３００の一例を図３に基づいて説明する。
図３に示すように、基板処理システム３００は、ホストコンピュータ３０２及び上述した複数の基板処理装置１００を有する。複数の基板処理装置１００及びホストコンピュータ３０２は例えばＬＡＮなどの通信回線３０４を介して接続され、ホストコンピュータ３０２からの指示（出力信号）がそれぞれの基板処理装置１００に対して送信（出力）されるようになっている。
【００３１】
基板処理装置１００は、シグナル表示機器３０６を有する。具体的には、シグナル表示機器３０６として、例えば信号灯（シグナルタワー３０８）及び音出力装置（ブザー３１０）を備え、これらのシグナルタワー３０８及びブザー３１０が動作することにより、基板処理装置１００の稼動状態を外部に示すようになっている。
【００３２】
シグナルタワー３０８は、ＬＥＤや電球等が複数段（例えば４段）に積層された光源を有し、それぞれの光源がそれぞれ異なった色（例えば赤・緑・黄・青など）で発光するようになっている。また、それぞれの光源（色）は、それぞれ個別に動作（点灯、点滅、消灯等）、もしくは、それぞれの光源（色）が併合（マージ）して動作（例えば全色が点滅など）するようになっている。
ブザー３１０は、例えば連続音、断続音、音声およびメロディなどの音色を所定の音圧レベルで鳴動する（動作する）ことができるようになっている。
また、これらシグナルタワー３０８及びブザー３１０は、動作状態（例えば点灯、点滅、鳴動などの状態）を出力値として接続された所定の装置に出力することができるようになっている。
【００３３】
ユーザインターフェイス装置（ＵＩ装置）３１２は、基板処理装置１００と一体に、又はネットワークを介して設けられている。このＵＩ装置３１２は、例えば液晶表示のパネル部（表示器３１４）を有し、この表示器３１４に表示画面（例えば後述する第１のモニタ画面３１６、第２のモニタ画面３７４）及び操作画面（例えば後述する第１の入力画面３１８、第２の入力画面３６４）が表示されるようになっている。表示画面は、シグナル表示機器３０６が動作する動作条件およびシグナル表示機器３０６が動作条件を満たしていることを示す動作状態（点灯、点滅、鳴動等）を表示し、また、操作画面には、シグナル表示機器３０６が動作する少なくとも一つの動作条件が入力（設定）できるようになっている。
【００３４】
また、基板処理装置１００内にはシグナル制御装置３２０が設けられ、このシグナル制御装置３２０には、上述したホストコンピュータ３０２、シグナル表示機器３０６及びＵＩ装置３１２が電気回線あるいは通信回線を介して接続されており、該シグナル制御装置３２０は、シグナル表示機器３０６及びＵＩ装置３１２などを制御するようになっている。
【００３５】
図４にシグナル制御装置３２０を中心としたハードウェア構成が示されている。
図４に示すように、シグナル制御装置３２０は、ＣＰＵ３２２及びメモリ３２４などを含み、このシグナル制御装置３２０には、例えば後述するシグナル制御プログラム５が記憶（格納）されている。このシグナル制御装置３２０は、ユーザ（オペレータ）の要求に応じて、ホストコンピュータ３０２及びＵＩ装置３１２を介してシグナル表示機器３０６の動作を制御したり、シグナル表示機器３０６の動作状態等をＵＩ装置３１２などに表示させたりするようになっている。また、基板処理装置１００からの装置の稼動状態に関する情報を取得している。ただし、この稼動状態とシグナル表示機器３０６の動作については後述する。尚、図４では表示画面と操作画面が１つの画面に表示されているが、これらが切替表示される形態も本願の範囲に含まれるのは言うまでも無い。
【００３６】
図５にシグナル制御装置３２０により実行されるシグナル制御プログラム５の機能構成が示されている。図５に示すように、シグナル制御プログラム５は、アクセス管理部３３０、制御部３３２及びシグナルＩ／Ｏ部３３４を有する。
【００３７】
アクセス管理部３３０は、ホストコンピュータ３０２及びＵＩ装置３１２を介してユーザ（オペレータ）からのシグナル表示機器３０６の動作条件の指示を受付けるようになっている。さらに、ユーザ（オペレータ）より与えられたシグナル表示機器３０６の動作条件を解読し、与えられた動作条件にミスがないかどうかをチェックし、チェック結果がＮＧの場合は、そのＮＧの要因（原因）及び該チェック結果をＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示し、チェック結果がＯＫの場合は、該動作条件を制御部３３２に送信するようになっている。
【００３８】
また、このアクセス管理部３３０は、シグナル制御装置３２０と通信するユーザの認証（アクセス制限）、データの暗号化、接続条件（常時接続・不定期接続）を管理し、また、外部の装置（ホストコンピュータ３０２やＵＩ装置３１２など）よりコマンドとして入力された言語（文字列やソースコード）を実行するために所定の処理を行なって翻訳する機能を有する。
【００３９】
また、アクセス管理部３３０は、後述するように制御部３３２よりシグナル表示機器３０６の動作条件の翻訳結果（条件が成立した状態のもの）を受付け、さらにシグナルＩ／Ｏ部３３４よりシグナル表示機器３０６のモニタリング（監視）結果（動作状態）を受付けるようになっている。さらに、これらシグナル表示機器３０６の動作条件とシグナル表示機器３０６の動作状態とをＵＩ装置３１２の表示画面に表示し、所定の間隔で表示画面を更新するようになっている。
【００４０】
制御部３３２は、アクセス管理部３３０より送信されたシグナル表示機器３０６の動作条件を受付け、該動作条件に対して所定の処理を行なうことにより翻訳し、シグナル表示機器３０６への出力値を決定するようになっている。この決定した出力値をシグナルＩ／Ｏ部３３４に送信し、同時に、動作条件の翻訳結果（条件が成立した状態のもの）をアクセス管理部３３０に送信（通知）するようになっている。
【００４１】
シグナルＩ／Ｏ部３３４は、制御部３３２より送信された出力値をシグナル表示機器３０６へ出力するようになっている。また、シグナルＩ／Ｏ部３３４は、シグナル表示機器３０６から送信される動作状態（点灯、点滅、鳴動などの状態）の出力値を受付け、この出力値を常時監視（モニタリング）し、モニタリング（監視）結果（シグナル表示機器３０６の動作状態）をアクセス管理部３３０に送信するようになっている。
【００４２】
次に、シグナル表示機器３０６の動作条件及び動作状態を表示させる一連の処理を図６に基づいて説明する。図６にシグナル表示機器３０６の動作条件及び動作状態を表示させる一連の処理におけるフローが示されている。
【００４３】
図６に示すように、処理１において、アクセス管理部３３０は、ユーザ（オペレータ）によりＵＩ装置３１２の入力画面に入力されたシグナル表示機器３０６の動作条件を受付け、与えられた動作条件にミスが無いかどうか（後述するように括弧の欠落が無いか、入力項目の未入力が無いかなどを）チェック（判定）する。チェック結果がＯＫ（ミス無し）の場合は、該動作条件を制御部３３２に送信し、処理２に移行する。一方、チェック結果がＮＧ（ミス有り）の場合は処理１−１に移行し、チェック結果がＮＧである要因（原因）と該チェック結果とをＵＩ装置３１２の表示画面に表示する。
【００４４】
処理２において、制御部３３２は、アクセス管理部３３０より送信されたシグナル表示機器３０６の動作条件を受付け、該動作条件に対して所定の処理を行なうことにより翻訳し、シグナル表示機器３０６への出力値を決定する。
【００４５】
処理３−１において、制御部３３２は、決定した出力値をシグナルＩ／Ｏ部３３４に送信する。また、シグナルＩ／Ｏ部３３４は、制御部３３２より送信された出力値をシグナル表示機器３０６へ出力する。さらに、シグナルＩ／Ｏ部３３４は、シグナル表示機器３０６から送信される動作状態（点灯、点滅、鳴動などの状態）の出力値を受付け、この出力値を常時監視（モニタリング）し、モニタリング（監視）結果（シグナル表示機器３０６の動作状態）をアクセス管理部３３０に送信する。
【００４６】
処理３−２において、制御部３３２は、処理３−１と同時に、シグナル表示機器３０６の動作条件をアクセス管理部３３０に送信（通知）する。
【００４７】
処理４において、アクセス管理部３３０は、制御部３３２よりシグナル表示機器３０６の動作条件を受付け、さらにシグナルＩ／Ｏ部３３４よりシグナル表示機器３０６の動作状態を受付ける。これらシグナル表示機器３０６の動作条件と動作状態とをＵＩ装置３１２の表示画面に表示し、所定の間隔で表示画面を更新する。
【００４８】
次にシグナル表示機器３０６の動作条件及び動作状態の表示方法について図７乃至図１１に基づいて説明する。
図７にシグナル表示機器３０６（シグナルタワー３０８及びブザー３１０）の動作条件となる基板処理装置１００の稼動状態の一例（一部）が示されている。図７に示すように、シグナル表示機器３０６を動作させる条件として複数の要因（要件）を設定することができる。すなわち、ユーザ（オペレータ）は、シグナル表示機器３０６の動作条件として、１つの要因（要件）を設定（例えば図７に示す「装置『スタート待ち』」など）してもよいし、論理式（または（ＡＮＤ）、かつ（ＯＲ）などの論理理論式）を用いて設定（例えば「装置『ＲＥＳＥＴ』または装置『スタート待ち』」など）してもよい。
【００４９】
[シグナルタワー]
[入力画面]
図８にＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示された操作画面としての第１の入力画面３１８が示されている。ユーザは、この第１の入力画面３１８に対して操作することにより、シグナルタワー３０８の動作条件を設定する。
【００５０】
図８に示すように、第１の入力画面３１８において、シグナルタワー３０８の点灯条件とシグナルタワー３０８の点滅条件を設定することができる。
【００５１】
第１の入力画面３１８の中央部には、複数の（例えば４つの）色識別入力部３４０が表示されている。これら色識別入力部３４０は、例えば４色（赤、緑、黄および青など）から選択し、シグナルタワー３０８の発光色を設定するようになっている。また、それぞれの色識別入力部３４０の下部にはそれぞれの色識別入力部３４０に対応する（例えば４つの）優先設定入力部３４２が表示されている。それぞれの優先設定入力部３４２には、それぞれの色識別入力部３４０において設定されたそれぞれの発光色の優先する動作（点灯動作および点滅動作）を設定するようになっている。すなわち、シグナルタワー３０８の動作状態（点灯動作、点滅動作等）の優先順位を選択して表示することができる。
【００５２】
また、第１の入力画面３１８には、それぞれの色識別部３４０に対応する（例えば４つの）点灯条件入力部３４４が表示されている。それぞれの点灯条件入力部３４４は、複数の第１の装置状態入力部３４６と複数の第１の成立条件入力部３４８とを有する。
【００５３】
複数の（例えば２つの）第１の装置状態入力部３４６のそれぞれには、上述したシグナルタワー３０８の発光色（色識別入力部３４０において選択した色）を点灯させるときの基板処理装置１００の稼動状態（例えば「キャリア搬入中」、「キャリア搬出中」など）を入力するようになっている。この第１の装置状態入力部３４６に入力した装置の状態は、後述する論理式における構成要件となる。
【００５４】
複数の（例えば６つの）第１の成立条件入力部３４８のそれぞれには、論理式における接続句（例えば、「または」（ｏｒ）、「かつ」（ａｎｄ）、「である」、「でない」など）及び括弧を入力するようになっている。
【００５５】
すなわち、点灯条件入力部３４４にはシグナルタワー３０４の点灯条件（動作条件）として、論理式（構成要件および接続句）や括弧を一つの枠の中（例えば第１の装置状態入力部３４０、第１の成立条件入力部３４８など）に独立して設定することができる。したがって、点灯条件が見やすくなり、例えば括弧が２つ以上重なるような点灯条件があっても設定ミスを防止できる。
また、シグナルタワー３０８の点灯条件（動作条件）を満たす論理式として、複数の条件（要因）を設定することができる。例えば、図８に示すように、シグナルタワー３０８の黄色を点灯させる条件を、例えば「キャリア搬入中である、または、キャリア搬出中である」との論理式として設定することができる。
【００５６】
また、入力画面３１８には、それぞれの色識別部３４０に対応する（例えば４つの）点滅条件入力部３５０が表示されている。この点滅条件入力部３５０は、上述した点灯条件入力部３４４とそれぞれ同様の機能を有する複数の第２の装置状態入力部３５２と複数の第２の成立条件入力部３５４とを有する。図８ではこれら点灯条件入力部３４４と点滅条件入力部３５０に動作状態が２つしか入力できないように表示されているが、これに限らず更に多くの動作状態が入力可能である。
【００５７】
また、第１の入力画面３１８には、図示しない優先指示設定入力部が表示される。この優先指示設定入力部を設定することにより、点灯条件入力部３４４等で設定された動作条件およびホストコンピュータ３０２の指示のどちらかを優先させるか選択可能とすることができる。
【００５８】
なお、論理式は上述したものに限らず、より複雑な論理式を設定することもできる。例えば、第１の構成要件をＡ、第２の構成要件をＢ、第３の構成要件をＣとすると、（Ａ）ｏｒ（（ＢａｎｄＣ））というような複雑な論理式も設定することができる。また、論理式の満たす条件が複雑でも論理式や括弧を１つの枠の中で設定するので、設定ミスが無いだけでなく、ユーザにも分かりやすい表示になる。
【００５９】
なお、シグナルタワー３０８の動作条件の設定は、上述したものに限らず、同一色を一定の間隔で点灯動作と点滅動作を繰り返すように設定するようにしてもよい。
【００６０】
[モニタ画面]
図９にＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示された表示画面としての第１のモニタ画面３１６が示されている。ユーザは、この第１のモニタ画面３１６を視認（確認）することにより、シグナルタワー３０８の動作条件および動作状態を把握できるようになっている。
【００６１】
図９に示すように、第１のモニタ画面３１６は、上述した第１の入力画面３１８において設定したシグナルタワー３０８の動作条件（点灯条件および点滅条件）及び現在のシグナルタワー３０８の動作状態を表示するようになっている。
【００６２】
第１のモニタ画面３１６の中央部には、上述した第１の入力画面３１８の色識別部３４０で設定された色（例えば４色（赤、緑、黄および青など））がそれぞれの色で発色表示されるようになっている。
【００６３】
また、第１のモニタ画面３１６には、上述した色識別入力部３４０で設定されたそれぞれの色に対する点灯状態表示部３５８が表示されている。この点灯状態表示部３５８には上述した点灯条件入力部３４４で設定した点灯条件が表示されるようになっており、この点灯条件を満たした場合には該点灯条件を満たしていることを示すようになっている。具体的には、点灯状態表示部３５８の一部分の背景色が他の背景部と異なる色で発色するようになっている。したがって、シグナルタワー３０８が複数の点灯条件を満たしていても（複数の点灯条件が設定されていても）どの点灯条件を満たして点灯しているかを表示するようになっている。
【００６４】
また、第１のモニタ画面３１６には、上述した色識別入力部３４０で設定されたそれぞれの色に対する点滅状態表示部３６０が表示されている。この点滅状態表示部３６０には上述した点滅条件入力部３５０で設定した点滅条件が表示されるようになっており、この点滅条件を満たした場合には該点滅条件を満たしていることを示すようになっている。具体的には、点滅状態表示部３６０の一部分の背景色が他の背景部と異なる色で発色するようになっている。したがって、シグナルタワー３０８が複数の点滅条件を満たしていても（複数の点滅条件が設定されていても）どの点滅条件を満たして点滅しているかを表示するようになっている。
【００６５】
また、それぞれの点灯状態表示部３５８及び点滅状態表示部３６０はホストコンピュータ指示表示部（第１のホストアイコン３６２）を有している。この第１のホストアイコン３６２は、ホストコンピュータ３０２からの指示（シグナルタワー３０８の点灯条件および点滅条件の設定など）があった場合に表示されるようになっている。
【００６６】
例えば、図９に示すように、シグナルタワー３０８の黄色の点灯条件、すなわち例えば「キャリア搬入中である、または、キャリア搬出中である」との点灯条件が表示されており、「キャリア搬出中である」との点灯条件の表示部の背景色が他の背景部と異なる色で表示されている場合、ユーザ（オペレータ）は、「キャリア搬出中である」との点灯条件（要因）により、シグナルタワー３０８の黄色が点灯していると把握することができる。
また、ユーザ（オペレータ）は、ホストアイコン３６２の表示の有無により、ホストコンピュータ３０２からの指示の有無を確認することができる。
【００６７】
なお、シグナルタワー３０８に光源（色）を追加し、ホストコンピュータ３０２から指示があった場合に、追加した光源（色）を動作（点灯、点滅など）させるようにしてもよい。これにより、ユーザ（オペレータ）が入力する点灯条件（要因）とホストコンピュータ３０２からの指示による動作（点灯、点滅）を明確に切り分けることができる。したがって、ユーザ（オペレータ）はシグナルタワー３０８の点灯状態を見るだけで、ホストコンピュータ３０２からの指示であり、基板処理装置１００の稼動状態とは関係無いことが分かる。また、ホストコンピュータ３０２から指示があった場合、１つの光源のみを動作させるだけでなく、一度に複数の光源（色）を動作（点灯、点滅など）させるようにしてもよい。
【００６８】
[ブザー]
次にブザー３１０の動作条件および動作状態の表示方法について図１０及び図１１に基づいて説明する。なお、上述したシグナルタワー動作条件および動作状態の表示方法と重複する説明は省略する。
【００６９】
[入力画面]
図１０にＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示された操作画面としての第２の入力画面３６４が示されている。ユーザは、この第２の入力画面３６４に対して操作することにより、ブザー３１０の動作条件を設定するようになっている。
【００７０】
第２の入力画面３６４には、複数の（例えば３つの）音色識別入力部３６６が表示されている。これらの音色識別入力部３６６において、例えば３種類の音色（連続音、断続音１および断続音２など）から選択し、ブザー３１０の音色を設定するようになっている。また、それぞれの音色識別入力部３６６の近傍にはそれぞれの音色識別入力部３６６に対応する（例えば３つの）鳴動条件入力部３６８が表示されている。この鳴動条件入力部３６８は、複数の第３の装置状態入力部３７０と複数の第３の成立条件入力部３７２とを有する。
【００７１】
[モニタ画面]
図１１にＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示された表示画面としての第２のモニタ画面３７４が示されている。ユーザは、この第２のモニタ画面３７４を視認（確認）することにより、ブザー３１０の鳴動条件（動作条件）および鳴動状態（動作状態）を把握できるようになっている。
【００７２】
図１１に示すように、第２のモニタ画面３７４には、上述した第２の入力画面３６４において設定したそれぞれのブザー３１０の動作条件（鳴動条件）及び現在のブザー３１０の動作状態が表示される鳴動状態表示部３４６が表示されるようになっている。
【００７３】
それぞれの鳴動状態表示部３７６には、上述した鳴動条件入力部３６８で設定した鳴動（動作）条件が表示されるようになっており、鳴動条件を満たした場合には該鳴動条件を満たしていることを示すようになっている。具体的には鳴動状態表示部３７６の一部分の背景色が他の背景部と異なる色で発色するようになっている。したがって、ブザー３１０が複数の鳴動条件を満たしていても（複数の鳴動条件が設定されていても）どの鳴動条件を満たして鳴動（動作）しているかを表示するようになっている。さらに、それぞれの鳴動条件表示部３７６には、現在のブザー３１０の鳴動状態（鳴動の有無）を図示する鳴動有無表示部３７８が表示されている。図１１では、「１」と「２」の鳴動条件が満たされているが、どちらか一方の音色を優先するようにしてもよい。例えば、「１」の鳴動条件である「アラーム発生中である」に対応する音色のみを鳴動するようにしてもよい。
【００７４】
また、それぞれの鳴動状態表示部３６０はホストコンピュータ指示表示部（第２のホストアイコン３８０）を有している。この第２のホストアイコン３８０は、ホストコンピュータ３０２からの指示（ブザー３１０の鳴動条件の設定など）があった場合に表示されるようになっている。
【００７５】
上述したように、シグナル表示機器３０６の動作条件とシグナル表示機器３０６の動作状態とをＵＩ装置３１２の表示画面に表示することにより、シグナル表示機器３０６に複数の動作条件が設定されていてもどの動作条件を満たして動作しているかを表示するので、ユーザ（オペレータ）は、現在の基板処理装置１００の状態を正しく把握することができる。また、シグナル表示機器３０６の動作状態がユーザの期待した動作と異なる場合、モニタ画面（第１のモニタ画面３１６及び第２のモニタ画面３７４）を確認（視認）することにより（現在のシグナル表示機器３０６の動作条件とシグナル表示機器３０６の動作状態とを確認することにより）、ソフトウェアによる制御異常であるのか（動作条件が不正）、もしくはハードウェアによる制御異常であるのか（機器の故障、誤配線など）を判断することができる。
【００７６】
ここで、シグナル表示機器３０６の動作検証について説明する。
例えばシグナル表示機器３０６における動作検証の一例として、シグナルタワー３０８について動作検証を行う。具体的には、表示器３１４に表示された第１の入力画面３１８で一つ一つのシグナル点灯（点滅）条件を設定し、表示器３１４の第１のモニタ画面３１６に表示されたシグナルタワー３０８の動作状態（点灯又は点滅）と実際に基板処理装置１００上部に設けられたシグナルタワー３０８の動作状態（点灯又は点滅）とを比較しながら確認する。
このとき、表示器３１４の第１のモニタ画面３１６に表示されたシグナルタワー３０８は所望の動作を行っているが、実際に基板処理装置１００上部に設けられたシグナルタワー３０８において所望の動作が行われない場合には、配線ミスや断線のようなハードウェアの故障が考えられる。
他方、どちらのシグナルタワー３０８においても所望の動作が行われない（実際に設けられたシグナルタワー３０８及び第１のモニタ画面３１６からの反応がない）場合、配線ミスや断線のようなハードウェアの故障だけでなく、設定条件の入力ミスやソフトウェアの故障が考えられる。
そして、シグナルタワー３０８に関する点灯（点滅）条件の全てについてチェックＯＫとなればシグナルタワー３０８についての動作検証が終了する。
このように、操作画面上に表示されたシグナルタワー３０８と実際に基板処理装置に設けられたシグナルタワー３０８との両方で動作検証を行うことにより、ソフトウェアによる制御異常であるのか、ハードウェアによる制御異常であるのかを判断することができるので、エラーが発生しても動作検証が容易に行われる。
【００７７】
また、複数の基板処理装置１００における複数のブザー３１０が同時に鳴動する条件を満たした場合においても、ブザー３１０の動作条件とブザー３１０の動作状態とが第２のモニタ画面３７４に表示されるので、ユーザ（オペレータ）は聴覚的に（耳で）判断するのみではなく、視覚的に判断することが可能となり、誤った判断を防止することができる。
【００７８】
更に、本発明における図１０の設定画面のように、障害報告ブザー（アラームブザー）以外にも複数の音色の異なるブザーを付帯させることにより、装置の周辺にいる人に対して、装置の状態を音により効果的に知らせることができる。例えば、成膜技術の開発時及び研究時若しくはメンテナンス時には、装置周辺にいる作業者が、音色を聞くだけで装置の稼動状態を知ることができる。
【００７９】
図１２は、シグナル制御装置３２０上で動作する鳴動制御プログラム４０の構成を示す図である。
図１２に示すように、鳴動制御プログラム４０は、基板処理制御部４００、状態受付部４０２、鳴動制御部４０４、設定部４０６及び関係記憶部４０８を有する。鳴動制御プログラム４０は、シグナル制御装置３２０に格納され、メモリ３２４にロードされて、図示しないＯＳ上でＣＰＵ３２２により実行される。
【００８０】
鳴動制御プログラム４０において、基板処理制御部４００は、当該プログラムのほかの構成要素を制御し、基板処理装置１００及び材料搬送装置に対して基板処理に関する処理の指示を発行する。例えば、基板処理制御部４００は、材料搬送装置に対して、ウエハ移載指示及び成膜処理後のウエハ回収指示を発行する。また、基板処理制御部４００は、基板処理装置１００に対して、ウエハ処理指示を発行する。さらに、基板処理制御部４００は、ホストコンピュータ３０２との間で、基板処理装置１００の状態に関するデータの送受信を行う。
【００８１】
関係記憶部４０８は、基板処理装置１００及び材料搬送装置の少なくともいずれかの状態と、ブザー３１０による鳴動の態様との関係を記憶する。より具体的には、関係記憶部４０８は、基板処理装置１００等の状態と、当該状態の際に鳴動するブザー３１０のブザー種類及び鳴動時間との関係を記憶する。なお、この関係の実施例は、後で詳述する。関係記憶部４０８は、メモリ３２４及び図示しない記憶装置の少なくともいずれかにより実現される。
【００８２】
状態受付部４０２は、基板処理装置１００、材料搬送装置及びホストコンピュータ３０２のそれぞれから出力される当該装置の状態の報告を受け付けて、鳴動制御部４０４に対して出力する。
【００８３】
鳴動制御部４０４は、状態受付部４０２により受け付けられた状態と、関係記憶部４０８に記憶されている関係とに基づいて、ブザー３１０の鳴動を制御する。より具体的には、鳴動制御部４０４は、状態受付部４０２から装置の状態を受け付けると、関係記憶部４０８を参照し、当該状態におけるブザー３１０の鳴動の態様を確認する。関係記憶部４０８は、当該態様に基づいて、ブザー３１０のブザーの種類と鳴動時間を制御して、ブザー３１０を鳴動させる。
【００８４】
設定部４０６は、関係記憶部４０８に記憶されている関係を設定する。より具体的には、設定部４０６は、作業者によりＵＩ装置３１２を介して送信された内容に基づいて、関係記憶部４０８に記憶されている関係のデータの登録、更新及び削除を行う。
【００８５】
図１３は、鳴動制御プログラム４０の関係記憶部４０８に記憶されている関係を例示する図である。
図１３に例示するように、関係データのそれぞれには、装置状態、ブザー種類及び鳴動時間（秒）が含まれる。装置状態は、基板処理装置１００等の状態を示し、例えば、リセット、スタート待ち、ラン、エンド、アイドル、ホールド、レディなどである。ブザー種類は、対応する装置状態の際にブザー３１０により鳴動されるブザーの種類であり、例えば、連続音１〜４、断続音１〜４及び鳴動なしのいずれかである。鳴動時間は、ブザー３１０が鳴動する時間を示す。
【００８６】
例えば、シグナル制御装置３２０が、装置状態が「ノットレディ」である旨の報告を受け付けた場合、当該状態は図１３に示される関係には含まれないので、シグナル制御装置３２０は、ブザー３１０を鳴動させない。例えば、シグナル制御装置３２０が、装置状態が「リセット」である旨の報告を受け付けた場合、シグナル制御装置３２０は、連続音２のブザーを１分間鳴動させるようにブザー３１０を制御する。
【００８７】
また、例えば、シグナル制御装置３２０が、装置状態が「スタート待ち」である旨の報告を受け付けた場合、シグナル制御装置３２０は連続音１のブザーを鳴動し続け、鳴動は作業者により手動で停止される。例えば、シグナル制御装置３２０が、装置状態が「エンド」である旨の報告を受け付けた場合、当該状態は図１３に示される関係に含まれるが、ブザー種類が「鳴動なし」であるので、シグナル制御装置３２０は、ブザー３１０を鳴動させない。
【００８８】
なお、鳴動時間が「自動停止しない」と設定されている場合、装置の状態が作業者により他の状態に遷移されることにより、鳴動が停止されてもよい。関係記憶部４０８に記憶される関係は、本例に限定されず、他のデータが含まれていてもよい。例えば、シグナルタワー３０８の動作状態を付加してもよい。
【００８９】
次に、鳴動制御プログラム４０の状態受付部４０２により受け付けられる装置の状態を詳述する。
装置状態には、基板処理装置１００等が動作するモードの状態を示す装置モード、基板処理過程においてキャリアの搬送の状態を示すキャリア搬送、及びホストコンピュータ３０２とのデータの送受信の状態を示すホスト通信が含まれる。以降、装置モード、キャリア搬送及びホスト通信それぞれの状態を説明する。
【００９０】
装置モードの状態には、リセット、スタート待ち、ラン、エンド、アイドル、ホールド、レディ、ＰＭスタート待ち、ステップブザー及びアラーム発生中が含まれる。
ここで、リセットは、装置が安全な状態で停止したことを意味する。装置のメンテナンスが人的介在により行われる場合、装置が安全な状態で停止していることが必要である。スタート待ちは、ジョブを実行する前に設定内容などの最終確認をとる場合、又は実行タイミングを図る際に人的介在を必要とする場合、ジョブ実行準備が整ってスタート指示待ち状態になったことを意味する。
【００９１】
ランは、ジョブが実行したことを意味する。エンドは、プロセス装置でのレシピが終了したことを意味する。炉内のメンテナンスは、プロセス装置でのレシピ実行後に行われる場合がある。アイドルは、処理炉が待機状態であることを意味する。処理炉が待機状態であれば、炉単独での処理が可能である。ホールドは、一時停止状態を意味する。ジョブ実行中又はレシピ実行中に一時停止し、その要因が人的介在により取り除かれる必要がある。レディは、装置が待機状態であることを意味する。基板処理装置１００、材料搬送装置が待機状態であれば、次のジョブを実行することができるので、ジョブの生成、キャリアの準備など、人的介在が必要になる。
【００９２】
ＰＭスタート待ちは、基板処理装置１００単独のレシピスタート待ち状態を意味する。レシピが基板処理装置１００単体で実行される場合、実行前に装置の状態や実行タイミングを考慮するために、人的介在が必要となる。ステップブザーは、レシピの指定した処理が実行したことを意味する。レシピの進行状況を確認し、又はレシピの要所で人的介在を要する場合がある。アラーム発生中は、装置に異常が発生したことを意味する。装置に異常が発生した場合、人的介在が必要となる。
【００９３】
キャリア搬送の状態には、キャリア搬送中、キャリア搬出中、搬入キャリア受け渡し中、搬出キャリア受け渡し中、払い出し待ちキャリア有り、処理終了キャリア有り、処理待ちキャリア有り、バッファ空有り［製品］、バッファ空有り［モニタ］、バッファ空有り［モニタ２］、バッファ空有り［リターンモニタ］、バッファ空有り［リターンモニタ２］、ロードポート［自動］及びロードポート［手動］が含まれる。
【００９４】
キャリア搬入中は、指示したキャリア全ての搬入が終わるまでを意味する。複数のキャリアが内部バッファへ搬入されるとき、人的介在によりキャリアが一つずつロードポートにセットされる。キャリア搬出中は、支持したキャリア全ての搬出が終わるまでを意味する。内部バッファから複数のキャリアが搬出されるとき、人的介在によりキャリアが一つずつロードポートから取り出される。
【００９５】
搬入キャリア受け渡し中は、ロードポートの開閉動作中を意味する。キャリアが内部バッファへ搬入される場合、人的介在によりロードポートの開閉操作が行われる。搬出キャリア受け渡し中は、ロードポートの開閉動作中を意味する。キャリアが内部バッファから搬出される場合、人的介在によりロードポートの開閉操作が行われる。払い出し待ちキャリア有りは、キャリアが搬出されロードポートにある状態を意味する。キャリアが装置から搬出され、人的介在によりロードポートからキャリアが取り上げられる必要がある。
【００９６】
処理終了キャリア有りは、内部バッファに処理済キャリアが滞在していることを意味する。処理済ウエハを回収したキャリアが内部バッファに滞在すると、人的介在によりそのキャリアが搬出される必要がある。処理待ちキャリア有りは、内部バッファに未処理キャリアが滞在していることを意味する。装置内に未処理のキャリアが滞在する場合、人的介在によりそのキャリア内のウエハの処理が行われる必要がある。
【００９７】
バッファ空有り［製品］は、製品用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内の製品用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、製品用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。バッファ空有り［モニタ］は、モニタ用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内のモニタ用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、モニタ用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。バッファ空有り［モニタ２］は、モニタ２用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内のモニタ２用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、モニタ２用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。
【００９８】
バッファ空有り［リターンモニタ］は、リターンモニタ用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内のリターンモニタ用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、リターンモニタ用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。バッファ空有り［リターンモニタ２］は、リターンモニタ２用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内のリターンモニタ２用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、リターンモニタ２用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。
【００９９】
ロードポート［自動］は、ロードポートが自動制御であることを意味する。ロードポートが自動制御モードに設定された場合、人的介在は不要になったことが知らされる。ロードポート［手動］は、ロードポートが手動制御であることを意味する。ロードポートが手動制御モードに設定された場合、以降のキャリア搬入出では人的介在が必要であることが知らされる。
【０１００】
ホスト通信の状態には、オンライン［リモート］、オンライン［ローカル］及びオフラインが含まれる。
ここで、オンライン［リモート］は、ホスト側で「リモートモード」と指定し、装置状態を報告していることを意味する。ホストコンピュータ３０２との通信が行われ、装置状態がホストコンピュータ３０２に対して報告されていることが知らされる。オンライン［ローカル］は、ホスト側で「ローカルモード」と指定し、装置状態を報告していることを意味する。ホストコンピュータ３０２との通信が行われ、装置状態がホストコンピュータ３０２に対して報告されていることが知らされる。オフラインは、ホストコンピュータ３０２と通信していないことを意味する。ホストコンピュータ３０２との通信が行われていない状態であることが知らされる。
【０１０１】
図１４は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１００の全体動作（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
基板処理装置１００においては、シグナル制御装置３２０上で動作する鳴動制御プログラム４０の基板処理制御部４００が制御している。図１４に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、状態受付部４０２が、基板処理装置１００、材料搬送装置等の装置から当該装置の状態の報告を受け付けたか否かを判定する。鳴動制御プログラム４０は、装置の状態の報告が受け付けられた場合にはＳ１０２の処理に進み、そうでない場合にはＳ１００の処理に戻る。例えば、状態受付部４０２は、基板処理装置１００がレディ状態である場合、当該装置の状態がレディである旨を受け付け、ジョブが実行された場合、当該装置の状態がランである旨を受け付け、基板処理装置１００でのレシピが終了した場合、当該装置の状態がエンドである旨を受け付ける。
【０１０２】
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、鳴動制御部４０４は、関係記憶部４０８に記憶されている関係を参照して、状態受付部４０２により受け付けられた装置の状態に対応するブザー３１０の鳴動の態様を確認する。
【０１０３】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、鳴動制御部４０４は、受け付けられた装置の状態に対応する鳴動の態様で、ブザー３１０を鳴動させる。例えば、受け付けられた装置の状態の報告が、装置モードがレディ状態である旨のものであった場合、ブザー３１０は、鳴動制御部４０４の制御により、ブザー種類を連続音３として３０秒間鳴動する。また、例えば、受け付けられた装置の状態の報告が、装置モードがラン状態である旨のものであった場合、ブザー３１０は、鳴動制御部４０４の制御により、ブザー種類を断続音４として３０秒間鳴動する。
【０１０４】
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、基板処理制御部４００は、基板処理が終了したか否かを判定する。鳴動制御プログラム４０は、基板処理が終了したと判定された場合には処理を終了し、そうでない場合にはＳ１００の処理に戻る。本実施の形態において、例えば装置の状態がランであっても、エラーが発生した場合、エラー発生時の設定に従って鳴動させることが可能である。
【０１０５】
なお、本発明は、基板処理装置として、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置でも適用できる。また、成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理等を含む。
【符号の説明】
【０１０６】
５ シグナル制御プログラム
４０ 鳴動制御プログラム
１００ 基板処理装置
１０３ 正面メンテナンス口
１０４ 正面メンテナンス扉
１０５ 回転式ポッド棚
１１０ ポッド
１１１ 筐体
１１１ａ 正面壁
１１２ ポッド搬入搬出口
１１３ フロントシャッタ
１１４ ロードポート
１１５ ボートエレベータ
１１６ 支柱
１１７ 棚板
１１８ ポッド搬送装置
１１８ａ ポッドエレベータ
１１８ｂ ポッド搬送機構
１１９ サブ筐体
１１９ａ サブ筐体の正面壁
１２０ ウエハ搬入搬出口
１２１ ポッドオープナ
１２２ 載置台
１２３ キャップ着脱機構
１２４ 移載室
１２５ ウエハ移載機構
１２５ａ ウエハ移載装置
１２５ｂ ウエハ移載装置エレベータ
１２５ｃ ツイーザ
１２６ 待機部
１２８ アーム
１３３ クリーンエア
１３４ クリーンユニット
１３５ ノッチ合わせ装置
１４７ 炉口シャッタ
２００ ウエハ
２０２ 処理炉
２１７ ボート
２１９ シールキャップ
３００ 基板処理システム
３０２ ホストコンピュータ
３０４ 通信回線
３０６ シグナル表示機器
３０８ シグナルタワー
３１０ ブザー
３１２ ＵＩ装置
３１４ 表示器
３１６ 第１のモニタ画面
３１８ 第１の入力画面
３２０ シグナル制御装置
３２２ ＣＰＵ
３２４ メモリ
３２６ 動作条件
３３０ アクセス管理部
３３２ 制御部
３３４ シグナルI/O部
３４０ 色識別入力部
３４２ 優先設定入力部
３４４ 点灯条件入力部
３４６ 第１の装置状態入力部
３４８ 第１の成立条件入力部
３５０ 点滅条件入力部
３５２ 第２の装置状態入力部
３５４ 第２の成立条件入力部
３５８ 点灯状態表示部
３６０ 点滅状態表示部
３６２ ホストアイコン
３６４ 第２の入力画面
３６６ 音色識別入力部
３６８ 鳴動条件入力部
３７０ 第３の装置状態入力部
３７２ 第３の成立条件入力部
３７４ 第２のモニタ画面
３７６ 鳴動状態表示部
３７８ 鳴動有無表示部
３８０ 第２のホストアイコン
４００ 基板処理制御部
４０２ 状態受付部
４０４ 鳴動制御部
４０６ 設定部
４０８ 関係記憶部
Ｓ１０ 全体動作
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス等の基板を処理するための基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板処理装置において、稼動状態を外部に表示する（知らせる）ものとしてシグナル表示機器が広く用いられている。例えば、シグナル表示機器として、ブザー（連続音、断続音あるいは音声などを出す装置）、シグナルタワー（複数の色別に配列された電飾を点灯、点滅等させる装置）などが一般的に用いられている。これらのシグナル表示機器は、ユーザ（オペレータ）より予め設定された動作条件によって動作（鳴動、点灯、点滅及び消灯など）し、基板処理装置の稼動状態を外部に伝えるようになっている。以前のブザーは、異常か正常かを把握する程度の機能でよかったが、近年、シグナル表示機器の動作条件が複雑になっており、ブザー機能の充実が要求されている。
【０００３】
特に、複数の基板処理装置が設置された大規模な工場などにおいては、各基板処理装置の稼動状態をリアルタイムに把握可能なシグナル表示機器が必要とされている。
【０００４】
これらのシグナル表示機器を動作させる動作条件において、一つの動作条件（例えば「基板処理装置がＡの状態のときに点灯する（鳴動する）」）の他に、複数の動作条件（例えば「基板処理装置がＡの状態またはＢの状態のときに点灯する（鳴動する）」）を設定することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、複数の動作条件でシグナル表示機器を制御している場合、現在のシグナル（シグナル表示機器の動作状態）が、これら複数の動作条件のうちどの動作条件により、シグナル表示機器の表示が行われているかが分からないという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解消し、シグナル表示機器が複数の動作条件のうちどの動作条件を満たして動作しているかを表示することができる基板処理装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の特徴とするところは、稼動状態を示すシグナル表示機器を備えた基板処理装置において、複数の動作条件のいずれかにより動作するシグナル表示機器と、前記シグナル表示機器の動作時に動作原因が前記複数の動作条件のいずれかであることを表示する表示器とを備えた基板処理装置にある。
【０００８】
好適には、前記シグナル表示機器としてシグナルタワーを備え、前記表示器は、前記シグナルタワーの動作状態を表示する。
【０００９】
好適には、前記シグナル表示機器としてブザーを備え、前記表示器は、前記ブザーの動作状態を表示する。
【００１０】
好適には、前記動作条件として、論理式や括弧を一つの枠の中に独立して設定可能とする。
【００１１】
好適には、前記表示器は、前記シグナル表示機器が複数の動作条件のうちどの動作条件を満たして動作しているかを表示する。
【００１２】
好適には、前記表示器は、前記動作条件のほかに、ホストコンピュータからの指示の有無を表示する。メンテナンスが必要な場合、所定の基板処理装置に作業者を呼ぶためにリモート指示を行なうことがある。シグナルタワーやブザーの動作を制御することで、工場内に複数の基板処理装置が並んでいても所定の基板処理装置を容易に把握できる。
【００１３】
好適には、前記表示器は、前記動作状態の優先順位を選択して表示する。
【００１４】
好適には、前記動作条件及びホストコンピュータの指示のどちらかを優先させるか選択可能である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シグナル表示機器が複数の動作条件を満たして動作している場合であっても、複数の動作条件のうちどの動作条件を満たして動作しているかを表示することができ、もって基板処理装置の稼動状態を確実に知らせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す透視側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板処理装置が用いられた基板処理システムの構成を例示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る基板処理装置のハードウェア構成を、制御装置を中心に例示する図である。
【図５】本発明の実施形態に係る基板処理装置のシグナル制御装置により実行されるシグナル制御プログラムの機能構成を例示する図である。
【図６】本発明の実施形態に係る基板処理装置のシグナル表示機器における動作条件及び動作状態を表示させる一連の処理を示したフロー図である。
【図７】本発明の実施形態に係る基板処理装置のシグナル表示機器の動作条件となる基板処理装置の稼動状態の一例を示す表である。
【図８】本発明の実施形態に係る基板処理装置の表示器に表示された第１の入力画面を例示する図である。
【図９】本発明の実施形態に係る基板処理装置の表示器に表示された第１のモニタ画面を例示する図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る基板処理装置の表示器に表示された第２の入力画面を例示する図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る基板処理装置の表示器に表示された第２のモニタ画面を例示する図である。
【図１２】シグナル制御装置上で動作する鳴動制御プログラムの構成を示す図である。
【図１３】鳴動制御プログラムの記憶関係部に記憶されている関係を例示する図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る基板処理装置の全体動作（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明を実施する最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図１は、本発明に適用される基板処理装置の斜視図として示されている。また、図２は図１に示す基板処理装置の側面透視図である。
【００１８】
図１および図２に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の基板処理装置１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００１９】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００２０】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２１】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図１に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）および脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００２２】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００２３】
図１に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２４】
図１に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側およびボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５およびウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００２５】
次に、本発明の基板処理装置１００の動作について説明する。
図１および図２に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００２６】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。
【００２７】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００２８】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。
【００２９】
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体の外部へ払出される。
【００３０】
次に、上述した基板処理装置１００を用いた基板処理システム３００の一例を図３に基づいて説明する。
図３に示すように、基板処理システム３００は、ホストコンピュータ３０２及び上述した複数の基板処理装置１００を有する。複数の基板処理装置１００及びホストコンピュータ３０２は例えばＬＡＮなどの通信回線３０４を介して接続され、ホストコンピュータ３０２からの指示（出力信号）がそれぞれの基板処理装置１００に対して送信（出力）されるようになっている。
【００３１】
基板処理装置１００は、シグナル表示機器３０６を有する。具体的には、シグナル表示機器３０６として、例えば信号灯（シグナルタワー３０８）及び音出力装置（ブザー３１０）を備え、これらのシグナルタワー３０８及びブザー３１０が動作することにより、基板処理装置１００の稼動状態を外部に示すようになっている。
【００３２】
シグナルタワー３０８は、ＬＥＤや電球等が複数段（例えば４段）に積層された光源を有し、それぞれの光源がそれぞれ異なった色（例えば赤・緑・黄・青など）で発光するようになっている。また、それぞれの光源（色）は、それぞれ個別に動作（点灯、点滅、消灯等）、もしくは、それぞれの光源（色）が併合（マージ）して動作（例えば全色が点滅など）するようになっている。
ブザー３１０は、例えば連続音、断続音、音声およびメロディなどの音色を所定の音圧レベルで鳴動する（動作する）ことができるようになっている。
また、これらシグナルタワー３０８及びブザー３１０は、動作状態（例えば点灯、点滅、鳴動などの状態）を出力値として接続された所定の装置に出力することができるようになっている。
【００３３】
ユーザインターフェイス装置（ＵＩ装置）３１２は、基板処理装置１００と一体に、又はネットワークを介して設けられている。このＵＩ装置３１２は、例えば液晶表示のパネル部（表示器３１４）を有し、この表示器３１４に表示画面（例えば後述する第１のモニタ画面３１６、第２のモニタ画面３７４）及び操作画面（例えば後述する第１の入力画面３１８、第２の入力画面３６４）が表示されるようになっている。表示画面は、シグナル表示機器３０６が動作する動作条件およびシグナル表示機器３０６が動作条件を満たしていることを示す動作状態（点灯、点滅、鳴動等）を表示し、また、操作画面には、シグナル表示機器３０６が動作する少なくとも一つの動作条件が入力（設定）できるようになっている。
【００３４】
また、基板処理装置１００内にはシグナル制御装置３２０が設けられ、このシグナル制御装置３２０には、上述したホストコンピュータ３０２、シグナル表示機器３０６及びＵＩ装置３１２が電気回線あるいは通信回線を介して接続されており、該シグナル制御装置３２０は、シグナル表示機器３０６及びＵＩ装置３１２などを制御するようになっている。
【００３５】
図４にシグナル制御装置３２０を中心としたハードウェア構成が示されている。
図４に示すように、シグナル制御装置３２０は、ＣＰＵ３２２及びメモリ３２４などを含み、このシグナル制御装置３２０には、例えば後述するシグナル制御プログラム５が記憶（格納）されている。このシグナル制御装置３２０は、ユーザ（オペレータ）の要求に応じて、ホストコンピュータ３０２及びＵＩ装置３１２を介してシグナル表示機器３０６の動作を制御したり、シグナル表示機器３０６の動作状態等をＵＩ装置３１２などに表示させたりするようになっている。また、基板処理装置１００からの装置の稼動状態に関する情報を取得している。ただし、この稼動状態とシグナル表示機器３０６の動作については後述する。尚、図４では表示画面と操作画面が１つの画面に表示されているが、これらが切替表示される形態も本願の範囲に含まれるのは言うまでも無い。
【００３６】
図５にシグナル制御装置３２０により実行されるシグナル制御プログラム５の機能構成が示されている。図５に示すように、シグナル制御プログラム５は、アクセス管理部３３０、制御部３３２及びシグナルＩ／Ｏ部３３４を有する。
【００３７】
アクセス管理部３３０は、ホストコンピュータ３０２及びＵＩ装置３１２を介してユーザ（オペレータ）からのシグナル表示機器３０６の動作条件の指示を受付けるようになっている。さらに、ユーザ（オペレータ）より与えられたシグナル表示機器３０６の動作条件を解読し、与えられた動作条件にミスがないかどうかをチェックし、チェック結果がＮＧの場合は、そのＮＧの要因（原因）及び該チェック結果をＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示し、チェック結果がＯＫの場合は、該動作条件を制御部３３２に送信するようになっている。
【００３８】
また、このアクセス管理部３３０は、シグナル制御装置３２０と通信するユーザの認証（アクセス制限）、データの暗号化、接続条件（常時接続・不定期接続）を管理し、また、外部の装置（ホストコンピュータ３０２やＵＩ装置３１２など）よりコマンドとして入力された言語（文字列やソースコード）を実行するために所定の処理を行なって翻訳する機能を有する。
【００３９】
また、アクセス管理部３３０は、後述するように制御部３３２よりシグナル表示機器３０６の動作条件の翻訳結果（条件が成立した状態のもの）を受付け、さらにシグナルＩ／Ｏ部３３４よりシグナル表示機器３０６のモニタリング（監視）結果（動作状態）を受付けるようになっている。さらに、これらシグナル表示機器３０６の動作条件とシグナル表示機器３０６の動作状態とをＵＩ装置３１２の表示画面に表示し、所定の間隔で表示画面を更新するようになっている。
【００４０】
制御部３３２は、アクセス管理部３３０より送信されたシグナル表示機器３０６の動作条件を受付け、該動作条件に対して所定の処理を行なうことにより翻訳し、シグナル表示機器３０６への出力値を決定するようになっている。この決定した出力値をシグナルＩ／Ｏ部３３４に送信し、同時に、動作条件の翻訳結果（条件が成立した状態のもの）をアクセス管理部３３０に送信（通知）するようになっている。
【００４１】
シグナルＩ／Ｏ部３３４は、制御部３３２より送信された出力値をシグナル表示機器３０６へ出力するようになっている。また、シグナルＩ／Ｏ部３３４は、シグナル表示機器３０６から送信される動作状態（点灯、点滅、鳴動などの状態）の出力値を受付け、この出力値を常時監視（モニタリング）し、モニタリング（監視）結果（シグナル表示機器３０６の動作状態）をアクセス管理部３３０に送信するようになっている。
【００４２】
次に、シグナル表示機器３０６の動作条件及び動作状態を表示させる一連の処理を図６に基づいて説明する。図６にシグナル表示機器３０６の動作条件及び動作状態を表示させる一連の処理におけるフローが示されている。
【００４３】
図６に示すように、処理１において、アクセス管理部３３０は、ユーザ（オペレータ）によりＵＩ装置３１２の入力画面に入力されたシグナル表示機器３０６の動作条件を受付け、与えられた動作条件にミスが無いかどうか（後述するように括弧の欠落が無いか、入力項目の未入力が無いかなどを）チェック（判定）する。チェック結果がＯＫ（ミス無し）の場合は、該動作条件を制御部３３２に送信し、処理２に移行する。一方、チェック結果がＮＧ（ミス有り）の場合は処理１−１に移行し、チェック結果がＮＧである要因（原因）と該チェック結果とをＵＩ装置３１２の表示画面に表示する。
【００４４】
処理２において、制御部３３２は、アクセス管理部３３０より送信されたシグナル表示機器３０６の動作条件を受付け、該動作条件に対して所定の処理を行なうことにより翻訳し、シグナル表示機器３０６への出力値を決定する。
【００４５】
処理３−１において、制御部３３２は、決定した出力値をシグナルＩ／Ｏ部３３４に送信する。また、シグナルＩ／Ｏ部３３４は、制御部３３２より送信された出力値をシグナル表示機器３０６へ出力する。さらに、シグナルＩ／Ｏ部３３４は、シグナル表示機器３０６から送信される動作状態（点灯、点滅、鳴動などの状態）の出力値を受付け、この出力値を常時監視（モニタリング）し、モニタリング（監視）結果（シグナル表示機器３０６の動作状態）をアクセス管理部３３０に送信する。
【００４６】
処理３−２において、制御部３３２は、処理３−１と同時に、シグナル表示機器３０６の動作条件をアクセス管理部３３０に送信（通知）する。
【００４７】
処理４において、アクセス管理部３３０は、制御部３３２よりシグナル表示機器３０６の動作条件を受付け、さらにシグナルＩ／Ｏ部３３４よりシグナル表示機器３０６の動作状態を受付ける。これらシグナル表示機器３０６の動作条件と動作状態とをＵＩ装置３１２の表示画面に表示し、所定の間隔で表示画面を更新する。
【００４８】
次にシグナル表示機器３０６の動作条件及び動作状態の表示方法について図７乃至図１１に基づいて説明する。
図７にシグナル表示機器３０６（シグナルタワー３０８及びブザー３１０）の動作条件となる基板処理装置１００の稼動状態の一例（一部）が示されている。図７に示すように、シグナル表示機器３０６を動作させる条件として複数の要因（要件）を設定することができる。すなわち、ユーザ（オペレータ）は、シグナル表示機器３０６の動作条件として、１つの要因（要件）を設定（例えば図７に示す「装置『スタート待ち』」など）してもよいし、論理式（または（ＡＮＤ）、かつ（ＯＲ）などの論理理論式）を用いて設定（例えば「装置『ＲＥＳＥＴ』または装置『スタート待ち』」など）してもよい。
【００４９】
[シグナルタワー]
[入力画面]
図８にＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示された操作画面としての第１の入力画面３１８が示されている。ユーザは、この第１の入力画面３１８に対して操作することにより、シグナルタワー３０８の動作条件を設定する。
【００５０】
図８に示すように、第１の入力画面３１８において、シグナルタワー３０８の点灯条件とシグナルタワー３０８の点滅条件を設定することができる。
【００５１】
第１の入力画面３１８の中央部には、複数の（例えば４つの）色識別入力部３４０が表示されている。これら色識別入力部３４０は、例えば４色（赤、緑、黄および青など）から選択し、シグナルタワー３０８の発光色を設定するようになっている。また、それぞれの色識別入力部３４０の下部にはそれぞれの色識別入力部３４０に対応する（例えば４つの）優先設定入力部３４２が表示されている。それぞれの優先設定入力部３４２には、それぞれの色識別入力部３４０において設定されたそれぞれの発光色の優先する動作（点灯動作および点滅動作）を設定するようになっている。すなわち、シグナルタワー３０８の動作状態（点灯動作、点滅動作等）の優先順位を選択して表示することができる。
【００５２】
また、第１の入力画面３１８には、それぞれの色識別部３４０に対応する（例えば４つの）点灯条件入力部３４４が表示されている。それぞれの点灯条件入力部３４４は、複数の第１の装置状態入力部３４６と複数の第１の成立条件入力部３４８とを有する。
【００５３】
複数の（例えば２つの）第１の装置状態入力部３４６のそれぞれには、上述したシグナルタワー３０８の発光色（色識別入力部３４０において選択した色）を点灯させるときの基板処理装置１００の稼動状態（例えば「キャリア搬入中」、「キャリア搬出中」など）を入力するようになっている。この第１の装置状態入力部３４６に入力した装置の状態は、後述する論理式における構成要件となる。
【００５４】
複数の（例えば６つの）第１の成立条件入力部３４８のそれぞれには、論理式における接続句（例えば、「または」（ｏｒ）、「かつ」（ａｎｄ）、「である」、「でない」など）及び括弧を入力するようになっている。
【００５５】
すなわち、点灯条件入力部３４４にはシグナルタワー３０４の点灯条件（動作条件）として、論理式（構成要件および接続句）や括弧を一つの枠の中（例えば第１の装置状態入力部３４０、第１の成立条件入力部３４８など）に独立して設定することができる。したがって、点灯条件が見やすくなり、例えば括弧が２つ以上重なるような点灯条件があっても設定ミスを防止できる。
また、シグナルタワー３０８の点灯条件（動作条件）を満たす論理式として、複数の条件（要因）を設定することができる。例えば、図８に示すように、シグナルタワー３０８の黄色を点灯させる条件を、例えば「キャリア搬入中である、または、キャリア搬出中である」との論理式として設定することができる。
【００５６】
また、入力画面３１８には、それぞれの色識別部３４０に対応する（例えば４つの）点滅条件入力部３５０が表示されている。この点滅条件入力部３５０は、上述した点灯条件入力部３４４とそれぞれ同様の機能を有する複数の第２の装置状態入力部３５２と複数の第２の成立条件入力部３５４とを有する。図８ではこれら点灯条件入力部３４４と点滅条件入力部３５０に動作状態が２つしか入力できないように表示されているが、これに限らず更に多くの動作状態が入力可能である。
【００５７】
また、第１の入力画面３１８には、図示しない優先指示設定入力部が表示される。この優先指示設定入力部を設定することにより、点灯条件入力部３４４等で設定された動作条件およびホストコンピュータ３０２の指示のどちらかを優先させるか選択可能とすることができる。
【００５８】
なお、論理式は上述したものに限らず、より複雑な論理式を設定することもできる。例えば、第１の構成要件をＡ、第２の構成要件をＢ、第３の構成要件をＣとすると、（Ａ）ｏｒ（（ＢａｎｄＣ））というような複雑な論理式も設定することができる。また、論理式の満たす条件が複雑でも論理式や括弧を１つの枠の中で設定するので、設定ミスが無いだけでなく、ユーザにも分かりやすい表示になる。
【００５９】
なお、シグナルタワー３０８の動作条件の設定は、上述したものに限らず、同一色を一定の間隔で点灯動作と点滅動作を繰り返すように設定するようにしてもよい。
【００６０】
[モニタ画面]
図９にＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示された表示画面としての第１のモニタ画面３１６が示されている。ユーザは、この第１のモニタ画面３１６を視認（確認）することにより、シグナルタワー３０８の動作条件および動作状態を把握できるようになっている。
【００６１】
図９に示すように、第１のモニタ画面３１６は、上述した第１の入力画面３１８において設定したシグナルタワー３０８の動作条件（点灯条件および点滅条件）及び現在のシグナルタワー３０８の動作状態を表示するようになっている。
【００６２】
第１のモニタ画面３１６の中央部には、上述した第１の入力画面３１８の色識別部３４０で設定された色（例えば４色（赤、緑、黄および青など））がそれぞれの色で発色表示されるようになっている。
【００６３】
また、第１のモニタ画面３１６には、上述した色識別入力部３４０で設定されたそれぞれの色に対する点灯状態表示部３５８が表示されている。この点灯状態表示部３５８には上述した点灯条件入力部３４４で設定した点灯条件が表示されるようになっており、この点灯条件を満たした場合には該点灯条件を満たしていることを示すようになっている。具体的には、点灯状態表示部３５８の一部分の背景色が他の背景部と異なる色で発色するようになっている。したがって、シグナルタワー３０８が複数の点灯条件を満たしていても（複数の点灯条件が設定されていても）どの点灯条件を満たして点灯しているかを表示するようになっている。
【００６４】
また、第１のモニタ画面３１６には、上述した色識別入力部３４０で設定されたそれぞれの色に対する点滅状態表示部３６０が表示されている。この点滅状態表示部３６０には上述した点滅条件入力部３５０で設定した点滅条件が表示されるようになっており、この点滅条件を満たした場合には該点滅条件を満たしていることを示すようになっている。具体的には、点滅状態表示部３６０の一部分の背景色が他の背景部と異なる色で発色するようになっている。したがって、シグナルタワー３０８が複数の点滅条件を満たしていても（複数の点滅条件が設定されていても）どの点滅条件を満たして点滅しているかを表示するようになっている。
【００６５】
また、それぞれの点灯状態表示部３５８及び点滅状態表示部３６０はホストコンピュータ指示表示部（第１のホストアイコン３６２）を有している。この第１のホストアイコン３６２は、ホストコンピュータ３０２からの指示（シグナルタワー３０８の点灯条件および点滅条件の設定など）があった場合に表示されるようになっている。
【００６６】
例えば、図９に示すように、シグナルタワー３０８の黄色の点灯条件、すなわち例えば「キャリア搬入中である、または、キャリア搬出中である」との点灯条件が表示されており、「キャリア搬出中である」との点灯条件の表示部の背景色が他の背景部と異なる色で表示されている場合、ユーザ（オペレータ）は、「キャリア搬出中である」との点灯条件（要因）により、シグナルタワー３０８の黄色が点灯していると把握することができる。
また、ユーザ（オペレータ）は、ホストアイコン３６２の表示の有無により、ホストコンピュータ３０２からの指示の有無を確認することができる。
【００６７】
なお、シグナルタワー３０８に光源（色）を追加し、ホストコンピュータ３０２から指示があった場合に、追加した光源（色）を動作（点灯、点滅など）させるようにしてもよい。これにより、ユーザ（オペレータ）が入力する点灯条件（要因）とホストコンピュータ３０２からの指示による動作（点灯、点滅）を明確に切り分けることができる。したがって、ユーザ（オペレータ）はシグナルタワー３０８の点灯状態を見るだけで、ホストコンピュータ３０２からの指示であり、基板処理装置１００の稼動状態とは関係無いことが分かる。また、ホストコンピュータ３０２から指示があった場合、１つの光源のみを動作させるだけでなく、一度に複数の光源（色）を動作（点灯、点滅など）させるようにしてもよい。
【００６８】
[ブザー]
次にブザー３１０の動作条件および動作状態の表示方法について図１０及び図１１に基づいて説明する。なお、上述したシグナルタワー動作条件および動作状態の表示方法と重複する説明は省略する。
【００６９】
[入力画面]
図１０にＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示された操作画面としての第２の入力画面３６４が示されている。ユーザは、この第２の入力画面３６４に対して操作することにより、ブザー３１０の動作条件を設定するようになっている。
【００７０】
第２の入力画面３６４には、複数の（例えば３つの）音色識別入力部３６６が表示されている。これらの音色識別入力部３６６において、例えば３種類の音色（連続音、断続音１および断続音２など）から選択し、ブザー３１０の音色を設定するようになっている。また、それぞれの音色識別入力部３６６の近傍にはそれぞれの音色識別入力部３６６に対応する（例えば３つの）鳴動条件入力部３６８が表示されている。この鳴動条件入力部３６８は、複数の第３の装置状態入力部３７０と複数の第３の成立条件入力部３７２とを有する。
【００７１】
[モニタ画面]
図１１にＵＩ装置３１２の表示器３１４に表示された表示画面としての第２のモニタ画面３７４が示されている。ユーザは、この第２のモニタ画面３７４を視認（確認）することにより、ブザー３１０の鳴動条件（動作条件）および鳴動状態（動作状態）を把握できるようになっている。
【００７２】
図１１に示すように、第２のモニタ画面３７４には、上述した第２の入力画面３６４において設定したそれぞれのブザー３１０の動作条件（鳴動条件）及び現在のブザー３１０の動作状態が表示される鳴動状態表示部３４６が表示されるようになっている。
【００７３】
それぞれの鳴動状態表示部３７６には、上述した鳴動条件入力部３６８で設定した鳴動（動作）条件が表示されるようになっており、鳴動条件を満たした場合には該鳴動条件を満たしていることを示すようになっている。具体的には鳴動状態表示部３７６の一部分の背景色が他の背景部と異なる色で発色するようになっている。したがって、ブザー３１０が複数の鳴動条件を満たしていても（複数の鳴動条件が設定されていても）どの鳴動条件を満たして鳴動（動作）しているかを表示するようになっている。さらに、それぞれの鳴動条件表示部３７６には、現在のブザー３１０の鳴動状態（鳴動の有無）を図示する鳴動有無表示部３７８が表示されている。図１１では、「１」と「２」の鳴動条件が満たされているが、どちらか一方の音色を優先するようにしてもよい。例えば、「１」の鳴動条件である「アラーム発生中である」に対応する音色のみを鳴動するようにしてもよい。
【００７４】
また、それぞれの鳴動状態表示部３６０はホストコンピュータ指示表示部（第２のホストアイコン３８０）を有している。この第２のホストアイコン３８０は、ホストコンピュータ３０２からの指示（ブザー３１０の鳴動条件の設定など）があった場合に表示されるようになっている。
【００７５】
上述したように、シグナル表示機器３０６の動作条件とシグナル表示機器３０６の動作状態とをＵＩ装置３１２の表示画面に表示することにより、シグナル表示機器３０６に複数の動作条件が設定されていてもどの動作条件を満たして動作しているかを表示するので、ユーザ（オペレータ）は、現在の基板処理装置１００の状態を正しく把握することができる。また、シグナル表示機器３０６の動作状態がユーザの期待した動作と異なる場合、モニタ画面（第１のモニタ画面３１６及び第２のモニタ画面３７４）を確認（視認）することにより（現在のシグナル表示機器３０６の動作条件とシグナル表示機器３０６の動作状態とを確認することにより）、ソフトウェアによる制御異常であるのか（動作条件が不正）、もしくはハードウェアによる制御異常であるのか（機器の故障、誤配線など）を判断することができる。
【００７６】
ここで、シグナル表示機器３０６の動作検証について説明する。
例えばシグナル表示機器３０６における動作検証の一例として、シグナルタワー３０８について動作検証を行う。具体的には、表示器３１４に表示された第１の入力画面３１８で一つ一つのシグナル点灯（点滅）条件を設定し、表示器３１４の第１のモニタ画面３１６に表示されたシグナルタワー３０８の動作状態（点灯又は点滅）と実際に基板処理装置１００上部に設けられたシグナルタワー３０８の動作状態（点灯又は点滅）とを比較しながら確認する。
このとき、表示器３１４の第１のモニタ画面３１６に表示されたシグナルタワー３０８は所望の動作を行っているが、実際に基板処理装置１００上部に設けられたシグナルタワー３０８において所望の動作が行われない場合には、配線ミスや断線のようなハードウェアの故障が考えられる。
他方、どちらのシグナルタワー３０８においても所望の動作が行われない（実際に設けられたシグナルタワー３０８及び第１のモニタ画面３１６からの反応がない）場合、配線ミスや断線のようなハードウェアの故障だけでなく、設定条件の入力ミスやソフトウェアの故障が考えられる。
そして、シグナルタワー３０８に関する点灯（点滅）条件の全てについてチェックＯＫとなればシグナルタワー３０８についての動作検証が終了する。
このように、操作画面上に表示されたシグナルタワー３０８と実際に基板処理装置に設けられたシグナルタワー３０８との両方で動作検証を行うことにより、ソフトウェアによる制御異常であるのか、ハードウェアによる制御異常であるのかを判断することができるので、エラーが発生しても動作検証が容易に行われる。
【００７７】
また、複数の基板処理装置１００における複数のブザー３１０が同時に鳴動する条件を満たした場合においても、ブザー３１０の動作条件とブザー３１０の動作状態とが第２のモニタ画面３７４に表示されるので、ユーザ（オペレータ）は聴覚的に（耳で）判断するのみではなく、視覚的に判断することが可能となり、誤った判断を防止することができる。
【００７８】
更に、本発明における図１０の設定画面のように、障害報告ブザー（アラームブザー）以外にも複数の音色の異なるブザーを付帯させることにより、装置の周辺にいる人に対して、装置の状態を音により効果的に知らせることができる。例えば、成膜技術の開発時及び研究時若しくはメンテナンス時には、装置周辺にいる作業者が、音色を聞くだけで装置の稼動状態を知ることができる。
【００７９】
図１２は、シグナル制御装置３２０上で動作する鳴動制御プログラム４０の構成を示す図である。
図１２に示すように、鳴動制御プログラム４０は、基板処理制御部４００、状態受付部４０２、鳴動制御部４０４、設定部４０６及び関係記憶部４０８を有する。鳴動制御プログラム４０は、シグナル制御装置３２０に格納され、メモリ３２４にロードされて、図示しないＯＳ上でＣＰＵ３２２により実行される。
【００８０】
鳴動制御プログラム４０において、基板処理制御部４００は、当該プログラムのほかの構成要素を制御し、基板処理装置１００及び材料搬送装置に対して基板処理に関する処理の指示を発行する。例えば、基板処理制御部４００は、材料搬送装置に対して、ウエハ移載指示及び成膜処理後のウエハ回収指示を発行する。また、基板処理制御部４００は、基板処理装置１００に対して、ウエハ処理指示を発行する。さらに、基板処理制御部４００は、ホストコンピュータ３０２との間で、基板処理装置１００の状態に関するデータの送受信を行う。
【００８１】
関係記憶部４０８は、基板処理装置１００及び材料搬送装置の少なくともいずれかの状態と、ブザー３１０による鳴動の態様との関係を記憶する。より具体的には、関係記憶部４０８は、基板処理装置１００等の状態と、当該状態の際に鳴動するブザー３１０のブザー種類及び鳴動時間との関係を記憶する。なお、この関係の実施例は、後で詳述する。関係記憶部４０８は、メモリ３２４及び図示しない記憶装置の少なくともいずれかにより実現される。
【００８２】
状態受付部４０２は、基板処理装置１００、材料搬送装置及びホストコンピュータ３０２のそれぞれから出力される当該装置の状態の報告を受け付けて、鳴動制御部４０４に対して出力する。
【００８３】
鳴動制御部４０４は、状態受付部４０２により受け付けられた状態と、関係記憶部４０８に記憶されている関係とに基づいて、ブザー３１０の鳴動を制御する。より具体的には、鳴動制御部４０４は、状態受付部４０２から装置の状態を受け付けると、関係記憶部４０８を参照し、当該状態におけるブザー３１０の鳴動の態様を確認する。関係記憶部４０８は、当該態様に基づいて、ブザー３１０のブザーの種類と鳴動時間を制御して、ブザー３１０を鳴動させる。
【００８４】
設定部４０６は、関係記憶部４０８に記憶されている関係を設定する。より具体的には、設定部４０６は、作業者によりＵＩ装置３１２を介して送信された内容に基づいて、関係記憶部４０８に記憶されている関係のデータの登録、更新及び削除を行う。
【００８５】
図１３は、鳴動制御プログラム４０の関係記憶部４０８に記憶されている関係を例示する図である。
図１３に例示するように、関係データのそれぞれには、装置状態、ブザー種類及び鳴動時間（秒）が含まれる。装置状態は、基板処理装置１００等の状態を示し、例えば、リセット、スタート待ち、ラン、エンド、アイドル、ホールド、レディなどである。ブザー種類は、対応する装置状態の際にブザー３１０により鳴動されるブザーの種類であり、例えば、連続音１〜４、断続音１〜４及び鳴動なしのいずれかである。鳴動時間は、ブザー３１０が鳴動する時間を示す。
【００８６】
例えば、シグナル制御装置３２０が、装置状態が「ノットレディ」である旨の報告を受け付けた場合、当該状態は図１３に示される関係には含まれないので、シグナル制御装置３２０は、ブザー３１０を鳴動させない。例えば、シグナル制御装置３２０が、装置状態が「リセット」である旨の報告を受け付けた場合、シグナル制御装置３２０は、連続音２のブザーを１分間鳴動させるようにブザー３１０を制御する。
【００８７】
また、例えば、シグナル制御装置３２０が、装置状態が「スタート待ち」である旨の報告を受け付けた場合、シグナル制御装置３２０は連続音１のブザーを鳴動し続け、鳴動は作業者により手動で停止される。例えば、シグナル制御装置３２０が、装置状態が「エンド」である旨の報告を受け付けた場合、当該状態は図１３に示される関係に含まれるが、ブザー種類が「鳴動なし」であるので、シグナル制御装置３２０は、ブザー３１０を鳴動させない。
【００８８】
なお、鳴動時間が「自動停止しない」と設定されている場合、装置の状態が作業者により他の状態に遷移されることにより、鳴動が停止されてもよい。関係記憶部４０８に記憶される関係は、本例に限定されず、他のデータが含まれていてもよい。例えば、シグナルタワー３０８の動作状態を付加してもよい。
【００８９】
次に、鳴動制御プログラム４０の状態受付部４０２により受け付けられる装置の状態を詳述する。
装置状態には、基板処理装置１００等が動作するモードの状態を示す装置モード、基板処理過程においてキャリアの搬送の状態を示すキャリア搬送、及びホストコンピュータ３０２とのデータの送受信の状態を示すホスト通信が含まれる。以降、装置モード、キャリア搬送及びホスト通信それぞれの状態を説明する。
【００９０】
装置モードの状態には、リセット、スタート待ち、ラン、エンド、アイドル、ホールド、レディ、ＰＭスタート待ち、ステップブザー及びアラーム発生中が含まれる。
ここで、リセットは、装置が安全な状態で停止したことを意味する。装置のメンテナンスが人的介在により行われる場合、装置が安全な状態で停止していることが必要である。スタート待ちは、ジョブを実行する前に設定内容などの最終確認をとる場合、又は実行タイミングを図る際に人的介在を必要とする場合、ジョブ実行準備が整ってスタート指示待ち状態になったことを意味する。
【００９１】
ランは、ジョブが実行したことを意味する。エンドは、プロセス装置でのレシピが終了したことを意味する。炉内のメンテナンスは、プロセス装置でのレシピ実行後に行われる場合がある。アイドルは、処理炉が待機状態であることを意味する。処理炉が待機状態であれば、炉単独での処理が可能である。ホールドは、一時停止状態を意味する。ジョブ実行中又はレシピ実行中に一時停止し、その要因が人的介在により取り除かれる必要がある。レディは、装置が待機状態であることを意味する。基板処理装置１００、材料搬送装置が待機状態であれば、次のジョブを実行することができるので、ジョブの生成、キャリアの準備など、人的介在が必要になる。
【００９２】
ＰＭスタート待ちは、基板処理装置１００単独のレシピスタート待ち状態を意味する。レシピが基板処理装置１００単体で実行される場合、実行前に装置の状態や実行タイミングを考慮するために、人的介在が必要となる。ステップブザーは、レシピの指定した処理が実行したことを意味する。レシピの進行状況を確認し、又はレシピの要所で人的介在を要する場合がある。アラーム発生中は、装置に異常が発生したことを意味する。装置に異常が発生した場合、人的介在が必要となる。
【００９３】
キャリア搬送の状態には、キャリア搬送中、キャリア搬出中、搬入キャリア受け渡し中、搬出キャリア受け渡し中、払い出し待ちキャリア有り、処理終了キャリア有り、処理待ちキャリア有り、バッファ空有り［製品］、バッファ空有り［モニタ］、バッファ空有り［モニタ２］、バッファ空有り［リターンモニタ］、バッファ空有り［リターンモニタ２］、ロードポート［自動］及びロードポート［手動］が含まれる。
【００９４】
キャリア搬入中は、指示したキャリア全ての搬入が終わるまでを意味する。複数のキャリアが内部バッファへ搬入されるとき、人的介在によりキャリアが一つずつロードポートにセットされる。キャリア搬出中は、支持したキャリア全ての搬出が終わるまでを意味する。内部バッファから複数のキャリアが搬出されるとき、人的介在によりキャリアが一つずつロードポートから取り出される。
【００９５】
搬入キャリア受け渡し中は、ロードポートの開閉動作中を意味する。キャリアが内部バッファへ搬入される場合、人的介在によりロードポートの開閉操作が行われる。搬出キャリア受け渡し中は、ロードポートの開閉動作中を意味する。キャリアが内部バッファから搬出される場合、人的介在によりロードポートの開閉操作が行われる。払い出し待ちキャリア有りは、キャリアが搬出されロードポートにある状態を意味する。キャリアが装置から搬出され、人的介在によりロードポートからキャリアが取り上げられる必要がある。
【００９６】
処理終了キャリア有りは、内部バッファに処理済キャリアが滞在していることを意味する。処理済ウエハを回収したキャリアが内部バッファに滞在すると、人的介在によりそのキャリアが搬出される必要がある。処理待ちキャリア有りは、内部バッファに未処理キャリアが滞在していることを意味する。装置内に未処理のキャリアが滞在する場合、人的介在によりそのキャリア内のウエハの処理が行われる必要がある。
【００９７】
バッファ空有り［製品］は、製品用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内の製品用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、製品用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。バッファ空有り［モニタ］は、モニタ用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内のモニタ用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、モニタ用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。バッファ空有り［モニタ２］は、モニタ２用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内のモニタ２用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、モニタ２用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。
【００９８】
バッファ空有り［リターンモニタ］は、リターンモニタ用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内のリターンモニタ用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、リターンモニタ用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。バッファ空有り［リターンモニタ２］は、リターンモニタ２用キャリアの内部バッファに空容量があることを意味する。装置内のリターンモニタ２用キャリアの内部バッファに空容量がある場合、リターンモニタ２用キャリアを搬入しておくことにより、次処理の準備ができる。
【００９９】
ロードポート［自動］は、ロードポートが自動制御であることを意味する。ロードポートが自動制御モードに設定された場合、人的介在は不要になったことが知らされる。ロードポート［手動］は、ロードポートが手動制御であることを意味する。ロードポートが手動制御モードに設定された場合、以降のキャリア搬入出では人的介在が必要であることが知らされる。
【０１００】
ホスト通信の状態には、オンライン［リモート］、オンライン［ローカル］及びオフラインが含まれる。
ここで、オンライン［リモート］は、ホスト側で「リモートモード」と指定し、装置状態を報告していることを意味する。ホストコンピュータ３０２との通信が行われ、装置状態がホストコンピュータ３０２に対して報告されていることが知らされる。オンライン［ローカル］は、ホスト側で「ローカルモード」と指定し、装置状態を報告していることを意味する。ホストコンピュータ３０２との通信が行われ、装置状態がホストコンピュータ３０２に対して報告されていることが知らされる。オフラインは、ホストコンピュータ３０２と通信していないことを意味する。ホストコンピュータ３０２との通信が行われていない状態であることが知らされる。
【０１０１】
図１４は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１００の全体動作（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
基板処理装置１００においては、シグナル制御装置３２０上で動作する鳴動制御プログラム４０の基板処理制御部４００が制御している。図１４に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、状態受付部４０２が、基板処理装置１００、材料搬送装置等の装置から当該装置の状態の報告を受け付けたか否かを判定する。鳴動制御プログラム４０は、装置の状態の報告が受け付けられた場合にはＳ１０２の処理に進み、そうでない場合にはＳ１００の処理に戻る。例えば、状態受付部４０２は、基板処理装置１００がレディ状態である場合、当該装置の状態がレディである旨を受け付け、ジョブが実行された場合、当該装置の状態がランである旨を受け付け、基板処理装置１００でのレシピが終了した場合、当該装置の状態がエンドである旨を受け付ける。
【０１０２】
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、鳴動制御部４０４は、関係記憶部４０８に記憶されている関係を参照して、状態受付部４０２により受け付けられた装置の状態に対応するブザー３１０の鳴動の態様を確認する。
【０１０３】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、鳴動制御部４０４は、受け付けられた装置の状態に対応する鳴動の態様で、ブザー３１０を鳴動させる。例えば、受け付けられた装置の状態の報告が、装置モードがレディ状態である旨のものであった場合、ブザー３１０は、鳴動制御部４０４の制御により、ブザー種類を連続音３として３０秒間鳴動する。また、例えば、受け付けられた装置の状態の報告が、装置モードがラン状態である旨のものであった場合、ブザー３１０は、鳴動制御部４０４の制御により、ブザー種類を断続音４として３０秒間鳴動する。
【０１０４】
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、基板処理制御部４００は、基板処理が終了したか否かを判定する。鳴動制御プログラム４０は、基板処理が終了したと判定された場合には処理を終了し、そうでない場合にはＳ１００の処理に戻る。本実施の形態において、例えば装置の状態がランであっても、エラーが発生した場合、エラー発生時の設定に従って鳴動させることが可能である。
【０１０５】
なお、本発明は、基板処理装置として、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置でも適用できる。また、成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理等を含む。
【符号の説明】
【０１０６】
５ シグナル制御プログラム
４０ 鳴動制御プログラム
１００ 基板処理装置
１０３ 正面メンテナンス口
１０４ 正面メンテナンス扉
１０５ 回転式ポッド棚
１１０ ポッド
１１１ 筐体
１１１ａ 正面壁
１１２ ポッド搬入搬出口
１１３ フロントシャッタ
１１４ ロードポート
１１５ ボートエレベータ
１１６ 支柱
１１７ 棚板
１１８ ポッド搬送装置
１１８ａ ポッドエレベータ
１１８ｂ ポッド搬送機構
１１９ サブ筐体
１１９ａ サブ筐体の正面壁
１２０ ウエハ搬入搬出口
１２１ ポッドオープナ
１２２ 載置台
１２３ キャップ着脱機構
１２４ 移載室
１２５ ウエハ移載機構
１２５ａ ウエハ移載装置
１２５ｂ ウエハ移載装置エレベータ
１２５ｃ ツイーザ
１２６ 待機部
１２８ アーム
１３３ クリーンエア
１３４ クリーンユニット
１３５ ノッチ合わせ装置
１４７ 炉口シャッタ
２００ ウエハ
２０２ 処理炉
２１７ ボート
２１９ シールキャップ
３００ 基板処理システム
３０２ ホストコンピュータ
３０４ 通信回線
３０６ シグナル表示機器
３０８ シグナルタワー
３１０ ブザー
３１２ ＵＩ装置
３１４ 表示器
３１６ 第１のモニタ画面
３１８ 第１の入力画面
３２０ シグナル制御装置
３２２ ＣＰＵ
３２４ メモリ
３２６ 動作条件
３３０ アクセス管理部
３３２ 制御部
３３４ シグナルI/O部
３４０ 色識別入力部
３４２ 優先設定入力部
３４４ 点灯条件入力部
３４６ 第１の装置状態入力部
３４８ 第１の成立条件入力部
３５０ 点滅条件入力部
３５２ 第２の装置状態入力部
３５４ 第２の成立条件入力部
３５８ 点灯状態表示部
３６０ 点滅状態表示部
３６２ ホストアイコン
３６４ 第２の入力画面
３６６ 音色識別入力部
３６８ 鳴動条件入力部
３７０ 第３の装置状態入力部
３７２ 第３の成立条件入力部
３７４ 第２のモニタ画面
３７６ 鳴動状態表示部
３７８ 鳴動有無表示部
３８０ 第２のホストアイコン
４００ 基板処理制御部
４０２ 状態受付部
４０４ 鳴動制御部
４０６ 設定部
４０８ 関係記憶部
Ｓ１０ 全体動作
【特許請求の範囲】
【請求項１】
稼働状態を示す複数のシグナル表示機器としてのシグナルタワー及びブザーと、予め個別に設定された前記シグナルタワー及びブザーに対応する動作条件を表示する表記器とを備えた基板処理装置であって、
前記シグナルタワー及びブザーは、複数の動作条件のいずれかにより動作し、
前記表示器において、前記シグナルタワーの動作条件として前記ブザーが鳴動することが設定可能であることを特徴とする
基板処理装置。
【請求項２】
稼働状態を示す複数のシグナル表示機器としてのシグナルタワー及びブザーと、予め個別に設定された前記シグナルタワー及びブザーに対応する動作条件を表示する表記器とを備えた基板処理装置の表示方法であって、
前記シグナルタワー及びブザーを、複数の動作条件のいずれかにより動作させ、
前記表示器において、前記シグナルタワーの動作条件として前記ブザーが鳴動することが設定可能とさせることを特徴とする
基板処理装置の表示方法。
【請求項１】
稼働状態を示す複数のシグナル表示機器としてのシグナルタワー及びブザーと、予め個別に設定された前記シグナルタワー及びブザーに対応する動作条件を表示する表記器とを備えた基板処理装置であって、
前記シグナルタワー及びブザーは、複数の動作条件のいずれかにより動作し、
前記表示器において、前記シグナルタワーの動作条件として前記ブザーが鳴動することが設定可能であることを特徴とする
基板処理装置。
【請求項２】
稼働状態を示す複数のシグナル表示機器としてのシグナルタワー及びブザーと、予め個別に設定された前記シグナルタワー及びブザーに対応する動作条件を表示する表記器とを備えた基板処理装置の表示方法であって、
前記シグナルタワー及びブザーを、複数の動作条件のいずれかにより動作させ、
前記表示器において、前記シグナルタワーの動作条件として前記ブザーが鳴動することが設定可能とさせることを特徴とする
基板処理装置の表示方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１２−８９８５３（Ｐ２０１２−８９８５３Ａ）
【公開日】平成２４年５月１０日（２０１２．５．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４３２２２（Ｐ２０１１−２４３２２２）
【出願日】平成２３年１１月７日（２０１１．１１．７）
【分割の表示】特願２００７−５３６５９１（Ｐ２００７−５３６５９１）の分割
【原出願日】平成１８年９月２６日（２００６．９．２６）
【出願人】（０００００１１２２）株式会社日立国際電気 (5,007)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月１０日（２０１２．５．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月７日（２０１１．１１．７）
【分割の表示】特願２００７−５３６５９１（Ｐ２００７−５３６５９１）の分割
【原出願日】平成１８年９月２６日（２００６．９．２６）
【出願人】（０００００１１２２）株式会社日立国際電気 (5,007)
【Ｆターム（参考）】
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