基板貼り合わせ装置
【課題】 基板の大型化によりチャンバのサイズが大きくなっても、架台の設置面積の増大を防止し、装置の軽量、輸送性の向上を図ること。
【解決手段】 架台１１に立設される複数本の柱１２の間に配置されるチャンバ１３に基板１を出し入れ可能にし、柱１２に支持される上ステージ２２と、架台１１上で支持される下ステージ２４をチャンバ１３内に配置し、チャンバ１３内に供給され、上ステージ２２に保持された上基板１Ａと、下ステージ２４に保持された下基板１Ｂとを貼り合わせる基板貼り合わせ装置１０において、前記複数本の柱１２が、チャンバ１３の周囲であって、該チャンバ１３の基板出し入れ方向Ｌで相対する正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれを含む２つの面Ｆa、Ｆbに挟まれる範囲Ｒ内に立設されてなるもの。
【解決手段】 架台１１に立設される複数本の柱１２の間に配置されるチャンバ１３に基板１を出し入れ可能にし、柱１２に支持される上ステージ２２と、架台１１上で支持される下ステージ２４をチャンバ１３内に配置し、チャンバ１３内に供給され、上ステージ２２に保持された上基板１Ａと、下ステージ２４に保持された下基板１Ｂとを貼り合わせる基板貼り合わせ装置１０において、前記複数本の柱１２が、チャンバ１３の周囲であって、該チャンバ１３の基板出し入れ方向Ｌで相対する正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれを含む２つの面Ｆa、Ｆbに挟まれる範囲Ｒ内に立設されてなるもの。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバ内に設けられた上ステージと下ステージを上下方向に相対移動させて、上ステージに保持された上基板と下ステージに保持された下基板を、チャンバ内を減圧した状態で貼り合わせる基板貼り合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造工程においては、矩形状の透明なガラス又は樹脂からなる上基板と下基板のうち、下基板にペースト状の接着剤を枠状に塗布するとともにこの接着剤で囲まれる領域内に液晶を滴下し、この下基板と上基板とを減圧雰囲気下で貼り合わせることが行なわれる。
【０００３】
従来の基板貼り合わせ装置は、特許文献１に記載の如く、架台の外縁寄りに立設される複数本の柱の間に配置されるチャンバに基板を出し入れ可能にし、柱に支持される上ステージと、架台に支持される下ステージをチャンバ内に配置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2002-323694
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の基板貼り合わせ装置にあっては、架台の外縁寄りに立設される複数本の柱を、矩形状チャンバの周囲であって、チャンバの矩形の対角線上の４位置に立設している。基板の大型化によりチャンバのサイズが大きくなると、チャンバの周囲の柱も外方に移動し、結果として架台の設置面積が大きくなり、装置の大重量、輸送の困難を招く。
【０００６】
本発明の課題は、基板の大型化によりチャンバのサイズが大きくなっても、架台の設置面積の増大を防止し、装置の軽量、輸送性の向上を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、架台に立設される複数本の柱の間に配置されるチャンバに基板を出し入れ可能にし、柱に支持される上ステージと、架台上で支持される下ステージをチャンバ内に配置し、チャンバ内に供給され、上ステージに保持された上基板と、下ステージに保持された下基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記複数本の柱が、チャンバの周囲であって、該チャンバの基板出し入れ方向で相対する正面部と背面部のそれぞれを含む２つの面に挟まれる範囲内に立設されてなるようにしたものである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において更に、前記柱及びチャンバを囲む周囲の全周にカバーを設け、チャンバの正面部と背面部のそれぞれに面して設けられるカバーが、該チャンバの側から基板出し入れ方向に沿う外方向きに張り出し状に設けられ、かつ着脱可能に設けられるようにしたものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に係る発明において更に、前記チャンバは平面視で長方形を成し、前記チャンバの正面部と背面部は、長辺側の面であるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
複数本の柱が、チャンバの周囲であって、該チャンバの基板出し入れ方向で相対する正面部と背面部のそれぞれを含む２つの面に挟まれる範囲内に立設される。基板の大型化によりチャンバのサイズが基板出し入れ方向で大きくなっても、このチャンバの大サイズ化が柱を外方に移動するものにならない。従って、架台のサイズＫを基板出し入れ方向ではチャンバのサイズＲ以下（Ｋ≦Ｒ）にでき、架台の設置面積の増大を防止できるものになり、装置の軽量、輸送性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は基板貼り合わせ装置を示す正面図である。
【図２】図２は図１の側面図である。
【図３】図３は図１のIII−III線に沿う断面図である。
【図４】図４は基板貼り合わせ装置を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
基板貼り合わせ装置１０は、図１〜図３に示す如く、架台１１の外縁寄りに立設される複数本、本実施例では平面視で矩形状をなす架台１１の四隅のそれぞれに配置される４本の柱１２の間にチャンバ１３を配置し、このチャンバ１３に基板１（上下の基板１Ａ、１Ｂ）を出し入れ可能にする。
【００１３】
基板貼り合わせ装置１０は、チャンバ１３を上下に２分割した上下のチャンバ体１３Ａ、１３Ｂにより構成している（チャンバ１３は単一チャンバ体により構成されても可）。即ち、４本の柱１２の上部に板状支持体１４を架設し、板状支持体１４の下面中央部に設けたチャンバ昇降装置１５に上チャンバ体１３Ａを昇降可能に吊下げ支持する。また、架台１１の上面に設けたステー１６の上に下チャンバ体１３Ｂを支持する。チャンバ昇降装置１５により昇降される上チャンバ体１３Ａが下チャンバ体１３Ｂに対して昇降し、上チャンバ体１３Ａを下降位置で下チャンバ体１３Ｂに突き当てることにてチャンバ１３が閉止され、上チャンバ体１３Ａを上昇させて下チャンバ体１３Ｂから離すことにてチャンバ１３が開放される。チャンバ１３が閉止された状態で、真空ポンプからなる減圧装置（不図示）がチャンバ１３内の雰囲気を減圧するとともに、減圧されたチャンバ１３内の雰囲気を気体供給装置（不図示）により大気圧に戻すことができる。
【００１４】
基板貼り合わせ装置１０は、チャンバ昇降装置１５にステージ昇降装置２１を介して上ステージ２２を吊下げ支持し、この上ステージ２２を上チャンバ体１３Ａの内部に配置している。上ステージ２２は、その下面に静電吸着盤や真空吸着盤等の基板吸着手段を有し、チャンバ１３内に供給された上基板１Ａを保持する。基板貼り合わせ装置１０は、架台１１の上面にＸＹ移動テーブル及びθ旋回テーブルからなる水平移動装置２３を設け、この水平移動装置２３の上に下ステージ２４を支持し、この下ステージ２４を下チャンバ体１３Ｂの内部に配置している。下ステージ２４は、その上面に真空吸着盤等の真空吸着手段を有し、チャンバ１３内に供給された下基板１Ｂを保持する。
【００１５】
基板貼り合わせ装置１０は、架台１１の上部で、４本の柱１２の周囲であって、柱１２、チャンバ１３及び板状支持体１４を囲む周囲に全周に防塵カバー３１を設けている。チャンバ１３の正面部に設けられる正面カバー３１Ａは、基板出し入れ口３２を備えている。基板貼り合わせ装置１０がクリーンルームに設置されるとき、基板出し入れ口３２は常時開放できる。但し、基板出し入れ口３２はシャッターを備えて開閉されるものでも良い。
【００１６】
基板貼り合わせ装置１０は、制御装置（不図示）により、チャンバ昇降装置１５、ステージ昇降装置２１、水平移動装置２３等を制御し、上基板１Ａと下基板１Ｂを以下のようにして貼り合わせる。
【００１７】
(1)図１に示す如く、チャンバ１３が開放された状態において、上基板１Ａがカバー３１の基板出し入れ口３２経由で、チャンバ１３内の上ステージ２２の下面に供給されて保持される。
【００１８】
(2)下基板１Ｂがカバー３１の基板出し入れ口３２経由で、チャンバ１３内の下ステージ２４の上面に供給されて保持される。下ステージ２４に保持される下基板１Ｂは、シール剤が枠状に塗布され、このシール剤で囲まれる領域内に液晶が滴下されている。
【００１９】
(3)チャンバ昇降装置１５により上チャンバ体１３Ａを下降して下チャンバ体１３Ｂに突き当て、チャンバ１３を閉止する。その後、不図示の減圧装置にてチャンバ１３内を減圧する。
【００２０】
(4)チャンバ１３内が所定の真空圧に到達したならば、ステージ昇降装置２１により上ステージ２２を下ステージ２４に対する位置合せ作業位置まで下降し、不図示のカメラにより上基板１Ａと下基板１Ｂの位置合せマークの位置ずれ量を検出し、この位置ずれ量がなくなるように水平移動装置２３を駆動し、上基板１Ａと下基板１Ｂを位置合せする。
【００２１】
(5)ステージ昇降装置２１により上ステージ２２を下ステージ２４に対して更に下降し、上基板１Ａを下基板１Ｂに一定時間押付ける。上下の基板１Ａ、１Ｂの押付けを解除し、上ステージ２２から上基板１Ａを吸着解除し、ステージ昇降装置２１により上ステージ２２のみを上昇させる。
【００２２】
(6)不図示の気体供給装置によりチャンバ１３内を大気圧に戻した後、チャンバ昇降装置１５により上チャンバ体１３Ａを上昇する。貼り合わされた上下の基板１Ａ、１Ｂをカバー３１の基板出し入れ口３２から取出す。
【００２３】
しかるに、本実施例の基板貼り合わせ装置１０では、架台１１に立設される４本の柱１２が、図４に示す如く、チャンバ１３の周囲であって、チャンバ１３の基板出し入れ方向Ｌ（チャンバ１３の正面部に設けられている正面カバー３１Ａの基板出し入れ口３２が臨む方向）で相対する正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれを含む２つの面Ｆa、Ｆbに挟まれる範囲（チャンバサイズ）Ｒ内に立設される。本実施例では、チャンバ１３の左右両側の上記範囲Ｒ内に各２本の柱１２を立設したが、それらの範囲Ｒ内に何本の柱１２を立設しても良い。
【００２４】
また、本実施例の基板貼り合わせ装置１０では、チャンバ１３の正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれに面して設けられる正面カバー３１Ａと背面カバー３１Ｂが、図２に示す如く（図２で正面カバー３１Ａは取外され、背面カバー３１Ｂは取付けられた状態を示している）、チャンバ１３の側から基板出し入れ方向Ｌに沿う外方向きに張り出し状（張り出し量δ、δｂ）に設けられ、かつ架台１１、柱１２又は板状支持体１４等に対し着脱可能に設けられる。正面カバー３１Ａ、背面カバー３１Ｂ等は、基板貼り合わせ装置１０の輸送段階等で取外し可能にされる。
【００２５】
本実施例によれば、以下の作用効果を奏する。
(a)複数本の柱１２が、チャンバ１３の周囲であって、該チャンバ１３の基板出し入れ方向Ｌで相対する正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれを含む２つの面Ｆa、Ｆbに挟まれる範囲Ｒ内に立設される。基板１（１Ａ、１Ｂ）の大型化によりチャンバ１３のサイズが基板出し入れ方向Ｌで大きくなっても、このチャンバ１３の大サイズ化が柱１２を基板出し入れ方向において外方に移動するものにならない。従って、架台１１のサイズＫを基板出し入れ方向Ｌではチャンバ１３のサイズＲ以下（Ｋ≦Ｒ）にでき、架台１１の設置面積の増大が防止（抑制）できるものになり、装置の軽量、輸送性の向上を図ることができる。
【００２６】
(b)チャンバ１３の周囲で、チャンバ１３に対する基板１（１Ａ、１Ｂ）の出し入れに干渉しない領域に柱１２を立設した。従って、チャンバ１３に対する基板出し入れ方向Ｌの自由度を、チャンバ１３の正面部Ａが臨む前方180度の広角にまで高め、基板１（１Ａ、１Ｂ）の出し入れ性も向上できる。
【００２７】
(c)チャンバ１３の正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれに沿って設けられるカバー３１Ａ、３１Ｂが、該チャンバ１３の側から基板出し入れ方向Ｌに沿う外方向きに張り出し状に設けられ、かつ着脱可能に設けられる。装置の輸送時に、上記のカバー３１Ａ、３１Ｂを取外しておくことにより、基板出し入れ方向Ｌにおけるチャンバ１３のサイズを、輸送制限サイズ（トラックの荷台幅等）ぎりぎりまで拡大できる。よって、架台１１の設置面積の増大を抑制しながら、より大型基板への対応が可能となる。
【００２８】
尚、チャンバ１３の平面視の形状が長方形である場合、基板の出し入れ方向Ｌはその長辺に対向する方向にすると良い。このように構成することで、基板の出し入れ方向Ｌにおける架台のサイズＫの増大を抑制する効果をより高めることができる。また、基板出し入れ方向Ｌがチャンバの短辺方向になることから、長手方向を基板出し入れ方向Ｌとした場合よりも架台のサイズＫを一層小さくすることができるので、荷台の前後方向に対して幅方向の大きさの制約が厳しいトラック等での輸送においてより好適である。
【００２９】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明によれば、基板の大型化によりチャンバのサイズが大きくなっても、架台の設置面積の増大を防止し、装置の軽量、輸送性の向上を図ることができる。
【符号の説明】
【００３１】
１ 基板
１Ａ 上基板
１Ｂ 下基板
１０ 基板貼り合わせ装置
１１ 架台
１２ 柱
１３ チャンバ
２２ 上ステージ
２４ 下ステージ
３１Ａ 正面カバー
３１Ｂ 背面カバー
３２ 基板出し入れ口
Ａ 正面部
Ｂ 背面部
Ｆa、Ｆb 面
Ｌ 基板出し入れ方向
Ｋ 架台サイズ
Ｒ チャンバサイズ、範囲
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバ内に設けられた上ステージと下ステージを上下方向に相対移動させて、上ステージに保持された上基板と下ステージに保持された下基板を、チャンバ内を減圧した状態で貼り合わせる基板貼り合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造工程においては、矩形状の透明なガラス又は樹脂からなる上基板と下基板のうち、下基板にペースト状の接着剤を枠状に塗布するとともにこの接着剤で囲まれる領域内に液晶を滴下し、この下基板と上基板とを減圧雰囲気下で貼り合わせることが行なわれる。
【０００３】
従来の基板貼り合わせ装置は、特許文献１に記載の如く、架台の外縁寄りに立設される複数本の柱の間に配置されるチャンバに基板を出し入れ可能にし、柱に支持される上ステージと、架台に支持される下ステージをチャンバ内に配置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2002-323694
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の基板貼り合わせ装置にあっては、架台の外縁寄りに立設される複数本の柱を、矩形状チャンバの周囲であって、チャンバの矩形の対角線上の４位置に立設している。基板の大型化によりチャンバのサイズが大きくなると、チャンバの周囲の柱も外方に移動し、結果として架台の設置面積が大きくなり、装置の大重量、輸送の困難を招く。
【０００６】
本発明の課題は、基板の大型化によりチャンバのサイズが大きくなっても、架台の設置面積の増大を防止し、装置の軽量、輸送性の向上を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、架台に立設される複数本の柱の間に配置されるチャンバに基板を出し入れ可能にし、柱に支持される上ステージと、架台上で支持される下ステージをチャンバ内に配置し、チャンバ内に供給され、上ステージに保持された上基板と、下ステージに保持された下基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、前記複数本の柱が、チャンバの周囲であって、該チャンバの基板出し入れ方向で相対する正面部と背面部のそれぞれを含む２つの面に挟まれる範囲内に立設されてなるようにしたものである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において更に、前記柱及びチャンバを囲む周囲の全周にカバーを設け、チャンバの正面部と背面部のそれぞれに面して設けられるカバーが、該チャンバの側から基板出し入れ方向に沿う外方向きに張り出し状に設けられ、かつ着脱可能に設けられるようにしたものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に係る発明において更に、前記チャンバは平面視で長方形を成し、前記チャンバの正面部と背面部は、長辺側の面であるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
複数本の柱が、チャンバの周囲であって、該チャンバの基板出し入れ方向で相対する正面部と背面部のそれぞれを含む２つの面に挟まれる範囲内に立設される。基板の大型化によりチャンバのサイズが基板出し入れ方向で大きくなっても、このチャンバの大サイズ化が柱を外方に移動するものにならない。従って、架台のサイズＫを基板出し入れ方向ではチャンバのサイズＲ以下（Ｋ≦Ｒ）にでき、架台の設置面積の増大を防止できるものになり、装置の軽量、輸送性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は基板貼り合わせ装置を示す正面図である。
【図２】図２は図１の側面図である。
【図３】図３は図１のIII−III線に沿う断面図である。
【図４】図４は基板貼り合わせ装置を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
基板貼り合わせ装置１０は、図１〜図３に示す如く、架台１１の外縁寄りに立設される複数本、本実施例では平面視で矩形状をなす架台１１の四隅のそれぞれに配置される４本の柱１２の間にチャンバ１３を配置し、このチャンバ１３に基板１（上下の基板１Ａ、１Ｂ）を出し入れ可能にする。
【００１３】
基板貼り合わせ装置１０は、チャンバ１３を上下に２分割した上下のチャンバ体１３Ａ、１３Ｂにより構成している（チャンバ１３は単一チャンバ体により構成されても可）。即ち、４本の柱１２の上部に板状支持体１４を架設し、板状支持体１４の下面中央部に設けたチャンバ昇降装置１５に上チャンバ体１３Ａを昇降可能に吊下げ支持する。また、架台１１の上面に設けたステー１６の上に下チャンバ体１３Ｂを支持する。チャンバ昇降装置１５により昇降される上チャンバ体１３Ａが下チャンバ体１３Ｂに対して昇降し、上チャンバ体１３Ａを下降位置で下チャンバ体１３Ｂに突き当てることにてチャンバ１３が閉止され、上チャンバ体１３Ａを上昇させて下チャンバ体１３Ｂから離すことにてチャンバ１３が開放される。チャンバ１３が閉止された状態で、真空ポンプからなる減圧装置（不図示）がチャンバ１３内の雰囲気を減圧するとともに、減圧されたチャンバ１３内の雰囲気を気体供給装置（不図示）により大気圧に戻すことができる。
【００１４】
基板貼り合わせ装置１０は、チャンバ昇降装置１５にステージ昇降装置２１を介して上ステージ２２を吊下げ支持し、この上ステージ２２を上チャンバ体１３Ａの内部に配置している。上ステージ２２は、その下面に静電吸着盤や真空吸着盤等の基板吸着手段を有し、チャンバ１３内に供給された上基板１Ａを保持する。基板貼り合わせ装置１０は、架台１１の上面にＸＹ移動テーブル及びθ旋回テーブルからなる水平移動装置２３を設け、この水平移動装置２３の上に下ステージ２４を支持し、この下ステージ２４を下チャンバ体１３Ｂの内部に配置している。下ステージ２４は、その上面に真空吸着盤等の真空吸着手段を有し、チャンバ１３内に供給された下基板１Ｂを保持する。
【００１５】
基板貼り合わせ装置１０は、架台１１の上部で、４本の柱１２の周囲であって、柱１２、チャンバ１３及び板状支持体１４を囲む周囲に全周に防塵カバー３１を設けている。チャンバ１３の正面部に設けられる正面カバー３１Ａは、基板出し入れ口３２を備えている。基板貼り合わせ装置１０がクリーンルームに設置されるとき、基板出し入れ口３２は常時開放できる。但し、基板出し入れ口３２はシャッターを備えて開閉されるものでも良い。
【００１６】
基板貼り合わせ装置１０は、制御装置（不図示）により、チャンバ昇降装置１５、ステージ昇降装置２１、水平移動装置２３等を制御し、上基板１Ａと下基板１Ｂを以下のようにして貼り合わせる。
【００１７】
(1)図１に示す如く、チャンバ１３が開放された状態において、上基板１Ａがカバー３１の基板出し入れ口３２経由で、チャンバ１３内の上ステージ２２の下面に供給されて保持される。
【００１８】
(2)下基板１Ｂがカバー３１の基板出し入れ口３２経由で、チャンバ１３内の下ステージ２４の上面に供給されて保持される。下ステージ２４に保持される下基板１Ｂは、シール剤が枠状に塗布され、このシール剤で囲まれる領域内に液晶が滴下されている。
【００１９】
(3)チャンバ昇降装置１５により上チャンバ体１３Ａを下降して下チャンバ体１３Ｂに突き当て、チャンバ１３を閉止する。その後、不図示の減圧装置にてチャンバ１３内を減圧する。
【００２０】
(4)チャンバ１３内が所定の真空圧に到達したならば、ステージ昇降装置２１により上ステージ２２を下ステージ２４に対する位置合せ作業位置まで下降し、不図示のカメラにより上基板１Ａと下基板１Ｂの位置合せマークの位置ずれ量を検出し、この位置ずれ量がなくなるように水平移動装置２３を駆動し、上基板１Ａと下基板１Ｂを位置合せする。
【００２１】
(5)ステージ昇降装置２１により上ステージ２２を下ステージ２４に対して更に下降し、上基板１Ａを下基板１Ｂに一定時間押付ける。上下の基板１Ａ、１Ｂの押付けを解除し、上ステージ２２から上基板１Ａを吸着解除し、ステージ昇降装置２１により上ステージ２２のみを上昇させる。
【００２２】
(6)不図示の気体供給装置によりチャンバ１３内を大気圧に戻した後、チャンバ昇降装置１５により上チャンバ体１３Ａを上昇する。貼り合わされた上下の基板１Ａ、１Ｂをカバー３１の基板出し入れ口３２から取出す。
【００２３】
しかるに、本実施例の基板貼り合わせ装置１０では、架台１１に立設される４本の柱１２が、図４に示す如く、チャンバ１３の周囲であって、チャンバ１３の基板出し入れ方向Ｌ（チャンバ１３の正面部に設けられている正面カバー３１Ａの基板出し入れ口３２が臨む方向）で相対する正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれを含む２つの面Ｆa、Ｆbに挟まれる範囲（チャンバサイズ）Ｒ内に立設される。本実施例では、チャンバ１３の左右両側の上記範囲Ｒ内に各２本の柱１２を立設したが、それらの範囲Ｒ内に何本の柱１２を立設しても良い。
【００２４】
また、本実施例の基板貼り合わせ装置１０では、チャンバ１３の正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれに面して設けられる正面カバー３１Ａと背面カバー３１Ｂが、図２に示す如く（図２で正面カバー３１Ａは取外され、背面カバー３１Ｂは取付けられた状態を示している）、チャンバ１３の側から基板出し入れ方向Ｌに沿う外方向きに張り出し状（張り出し量δ、δｂ）に設けられ、かつ架台１１、柱１２又は板状支持体１４等に対し着脱可能に設けられる。正面カバー３１Ａ、背面カバー３１Ｂ等は、基板貼り合わせ装置１０の輸送段階等で取外し可能にされる。
【００２５】
本実施例によれば、以下の作用効果を奏する。
(a)複数本の柱１２が、チャンバ１３の周囲であって、該チャンバ１３の基板出し入れ方向Ｌで相対する正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれを含む２つの面Ｆa、Ｆbに挟まれる範囲Ｒ内に立設される。基板１（１Ａ、１Ｂ）の大型化によりチャンバ１３のサイズが基板出し入れ方向Ｌで大きくなっても、このチャンバ１３の大サイズ化が柱１２を基板出し入れ方向において外方に移動するものにならない。従って、架台１１のサイズＫを基板出し入れ方向Ｌではチャンバ１３のサイズＲ以下（Ｋ≦Ｒ）にでき、架台１１の設置面積の増大が防止（抑制）できるものになり、装置の軽量、輸送性の向上を図ることができる。
【００２６】
(b)チャンバ１３の周囲で、チャンバ１３に対する基板１（１Ａ、１Ｂ）の出し入れに干渉しない領域に柱１２を立設した。従って、チャンバ１３に対する基板出し入れ方向Ｌの自由度を、チャンバ１３の正面部Ａが臨む前方180度の広角にまで高め、基板１（１Ａ、１Ｂ）の出し入れ性も向上できる。
【００２７】
(c)チャンバ１３の正面部Ａと背面部Ｂのそれぞれに沿って設けられるカバー３１Ａ、３１Ｂが、該チャンバ１３の側から基板出し入れ方向Ｌに沿う外方向きに張り出し状に設けられ、かつ着脱可能に設けられる。装置の輸送時に、上記のカバー３１Ａ、３１Ｂを取外しておくことにより、基板出し入れ方向Ｌにおけるチャンバ１３のサイズを、輸送制限サイズ（トラックの荷台幅等）ぎりぎりまで拡大できる。よって、架台１１の設置面積の増大を抑制しながら、より大型基板への対応が可能となる。
【００２８】
尚、チャンバ１３の平面視の形状が長方形である場合、基板の出し入れ方向Ｌはその長辺に対向する方向にすると良い。このように構成することで、基板の出し入れ方向Ｌにおける架台のサイズＫの増大を抑制する効果をより高めることができる。また、基板出し入れ方向Ｌがチャンバの短辺方向になることから、長手方向を基板出し入れ方向Ｌとした場合よりも架台のサイズＫを一層小さくすることができるので、荷台の前後方向に対して幅方向の大きさの制約が厳しいトラック等での輸送においてより好適である。
【００２９】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明によれば、基板の大型化によりチャンバのサイズが大きくなっても、架台の設置面積の増大を防止し、装置の軽量、輸送性の向上を図ることができる。
【符号の説明】
【００３１】
１ 基板
１Ａ 上基板
１Ｂ 下基板
１０ 基板貼り合わせ装置
１１ 架台
１２ 柱
１３ チャンバ
２２ 上ステージ
２４ 下ステージ
３１Ａ 正面カバー
３１Ｂ 背面カバー
３２ 基板出し入れ口
Ａ 正面部
Ｂ 背面部
Ｆa、Ｆb 面
Ｌ 基板出し入れ方向
Ｋ 架台サイズ
Ｒ チャンバサイズ、範囲
【特許請求の範囲】
【請求項１】
架台に立設される複数本の柱の間に配置されるチャンバに基板を出し入れ可能にし、
柱に支持される上ステージと、架台上で支持される下ステージをチャンバ内に配置し、
チャンバ内に供給され、上ステージに保持された上基板と、下ステージに保持された下基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記複数本の柱が、チャンバの周囲であって、該チャンバの基板出し入れ方向で相対する正面部と背面部のそれぞれを含む２つの面に挟まれる範囲内に立設されてなることを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記柱及びチャンバを囲む周囲の全周にカバーを設け、
チャンバの正面部と背面部のそれぞれに面して設けられるカバーが、該チャンバの側から基板出し入れ方向に沿う外方向きに張り出し状に設けられ、かつ着脱可能に設けられる請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記チャンバは平面視で長方形を成し、
前記チャンバの正面部と背面部は、長辺側の面である請求項１又は２に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項１】
架台に立設される複数本の柱の間に配置されるチャンバに基板を出し入れ可能にし、
柱に支持される上ステージと、架台上で支持される下ステージをチャンバ内に配置し、
チャンバ内に供給され、上ステージに保持された上基板と、下ステージに保持された下基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
前記複数本の柱が、チャンバの周囲であって、該チャンバの基板出し入れ方向で相対する正面部と背面部のそれぞれを含む２つの面に挟まれる範囲内に立設されてなることを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記柱及びチャンバを囲む周囲の全周にカバーを設け、
チャンバの正面部と背面部のそれぞれに面して設けられるカバーが、該チャンバの側から基板出し入れ方向に沿う外方向きに張り出し状に設けられ、かつ着脱可能に設けられる請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記チャンバは平面視で長方形を成し、
前記チャンバの正面部と背面部は、長辺側の面である請求項１又は２に記載の基板貼り合わせ装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１２−１４１２０（Ｐ２０１２−１４１２０Ａ）
【公開日】平成２４年１月１９日（２０１２．１．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１５３３０６（Ｐ２０１０−１５３３０６）
【出願日】平成２２年７月５日（２０１０．７．５）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１月１９日（２０１２．１．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月５日（２０１０．７．５）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
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