外観検査装置及び外観検査方法

【課題】検査対象物の部分によって色調又は光沢が異なる場合でも検査対象物全体の露光調節を行うことができるとともに、検査対象物の形状が製造時の公差によって異なる場合であっても欠陥の有無を正確に判定することが可能となる、外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段３３は、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭が撮像可能な第一露光条件と、撮像エリアにおける欠陥Ｂが撮像可能な、第一露光条件と異なる第二露光条件と、のそれぞれで検査対象物Ｗを撮像し、画像処理手段１１が備える判定手段１４は、第一露光条件で撮像した検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像である撮像エリア画像ＳＰ１と、第二露光条件で撮像した撮像エリアの画像である第二画像Ｐ２と、を組み合わせて組み合わせ画像Ｐ３を作成することにより、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Ｂの有無を判定する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置及び外観検査方法に関し、詳しくは、検査対象物の外観を画像処理にて検査し、その表面における欠陥の有無を判定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＣＤカメラなどの撮像手段により金属板などの検査対象物を撮像し、撮像した画像により検査対象物の表面における欠陥の有無を検査する技術が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１９７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１には、レンズ絞りを一定にした状態で検査対象物の色調及び／又は光沢に応じて照明灯の明るさを変化させて、ＣＣＤカメラの露光を調節する技術が記載されている。
しかし、上記技術によれば、検査対象物の部位によって色調又は光沢が異なる場合は、検査対象物全体の露光調節を行うことが困難であった。
【０００５】
一方、カムシャフトなどの検査対象物の表面における欠陥の有無を検査する場合、撮像手段により検査対象物を撮像した画像と、予め準備した検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像データ（基準画像データ）と、を組み合わせることにより、検査対象物における撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を判定する技術が用いられている。
【０００６】
上記従来技術について、具体的に図９から図１３を用いて説明する。ここで用いられる検査対象物は、円形の溝部とこの溝部の周囲に形成された平板部とを有する（図２を参照）。このため、検査対象物を撮像した画像には、溝部の形状による陰影（図９における網掛け部分）が表れる。詳細には図９に示す如く、検査対象物の画像において、溝部の内外の両側面に陰影が表れ、溝部の中央部には陰影が表れていない。
【０００７】
検査対象物の表面における欠陥の有無を検査する場合は図９に示す如く、検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像である、基準画像データを予め準備する。この基準画像データとなる撮像エリアは、図９中のａ１部分に示す如く、前記溝部の周囲に形成された平板部の一部であり、平板部の内周端と外周端との間にある所定の部分である。
【０００８】
そして、図９に示す画像の如く、撮像手段で検査対象物を撮像する。
さらに、撮像した画像から、所定の輝度測定ライン（図９におけるＬ０１）に沿って輝度プロファイルを作成する。図１０（ａ）は検査対象物を輝度測定ラインＬ０１で軸方向に切断した場合の仮想断面図である。また、図１０（ｂ）は図１０（ａ）における破線で示した領域α０の輝度プロファイルである。図１０（ｂ）に示す如く、陰影が表れる溝部の両側面は輝度が低下し、陰影が表れない平板部及び溝部の中央部は輝度が上昇する。即ち、溝部の外側面に形成された陰影の部分から外側へいくに従って輝度が上昇し、最大値に達する部分（図１０（ｂ）に示すＦｅ０１）に該当する箇所（図１０（ｂ）に示すＥ０１）が平板部の内周端Ｅ０１であると認定するのである。
【０００９】
そして、図９に示す如く、撮像した画像において平板部の内周端Ｅ０１と認定した部分と、基準画像データにおける内側の基準エッジとが一致するように、基準画像データを撮像した画像に組み合わせる。これにより、検査対象物における撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を判定するのである。より詳細には、欠陥が撮像エリア内の基準エッジに対して位置する場所によって、検査対象物における欠陥の位置や大きさを特定する。換言すれば、基準画像データとなる撮像エリアは、平板部の内周端と外周端をそれぞれ内側と外側の基準エッジとし、この基準エッジからの距離や位置関係によって欠陥の位置や大きさを特定するのである。
【００１０】
しかし、上記従来技術において、検査対象物の溝部は、製造時の公差によってその形状が異なる場合があり、この場合に検査対象物の欠陥の有無を正確に判定することが困難となることがある。
【００１１】
例えば、図１１（ａ）に示す仮想断面図の如く溝部の幅が大きい場合（図１１（ａ）に示した二点差線が平均的な溝部の形状であるとする）は、撮像手段で撮像した画像に基準画像データを組み合わせることができなくなる。具体的には、図１１（ａ）における破線で示した領域β０の輝度プロファイルである図１１（ｂ）に示す如く、溝部の外側面に形成された陰影の外側で輝度が大きくなる部分（図１１（ｂ）に示すＦｅ０２）に該当する箇所（図１１（ｂ）に示すＥ０２）が平板部の内周端であると認定される。一方、基準画像データは予め準備されたものであるため、平板部の内周端と、基準画像データにおける内側の基準エッジとが一致するように、撮像した画像に基準画像データを組み合わせると、撮像した画像と基準画像データとが一致しないのである。このため、検査対象物の溝部が製造時の公差によって大きくなった場合は、検査対象物における撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を正確に判定することが難しかったのである。
【００１２】
一方、図１２（ａ）に示す如く溝部の深さが浅い場合（図１２（ａ）に示した二点差線が平均的な溝部の形状であるとする）には、照明光による反射光が強くなり、図１３に示す如く検査対象物を撮像した画像に溝部の形状による陰影が部分的にしか表れないことがある。この場合、撮像手段で撮像した画像に基準画像データを組み合わせることができなくなる場合がある。具体的には、図１２（ａ）における破線で示した領域γ０の輝度プロファイルである図１２（ｂ）に示す如く輝度プロファイルを作成しても、反射光が強いために、溝部の両側面で輝度が低下することがない。つまり、溝部の外側面に形成された陰影の外側で輝度が大きくなる部分が現れず、平板部の内周端を認定することができないのである。このため、検査対象物の溝部が製造時の公差によって浅くなった場合は、図１３に示す如く、撮像した画像に基準画像データを組み合わせることができず、検査対象物における撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を判定することができなかったのである。
【００１３】
そこで本発明は、上記現状に鑑み、検査対象物の部分によって色調又は光沢が異なる場合でも検査対象物全体の露光調節を行うことができるとともに、検査対象物の形状が製造時の公差によって異なる場合であっても欠陥の有無を正確に判定することが可能となる、外観検査装置及び外観検査方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１５】
即ち、請求項１においては、検査対象物の画像を異なる露光条件で撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像した検査対象物の画像から、前記検査対象物の表面における欠陥の有無を判定する画像処理手段と、を備える外観検査装置であって、前記撮像手段は、前記検査対象物における撮像エリアの輪郭が撮像可能な第一露光条件と、前記撮像エリアにおける欠陥が撮像可能な、前記第一露光条件と異なる第二露光条件と、のそれぞれで前記検査対象物を撮像し、前記画像処理手段は、前記第一露光条件で撮像した前記検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像と、前記第二露光条件で撮像した前記撮像エリアの画像と、を組み合わせることにより、前記検査対象物における撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を判定するものである。
【００１６】
請求項２においては、第一露光条件で、検査対象物における撮像エリアの輪郭を撮像する、第一撮像工程と、前記撮像エリアにおける欠陥が撮像可能な、前記第一露光条件と異なる第二露光条件で、前記撮像エリアを撮像する、第二撮像工程と、前記第一露光条件で撮像した前記検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像と、前記第二露光条件で撮像した前記撮像エリアの画像と、を組み合わせることにより、前記検査対象物における撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を判定する、判定工程と、を備えるものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１８】
本発明により、外観検査装置及び外観検査方法において、検査対象物の部分によって色調又は光沢が異なる場合でも検査対象物全体の露光調節を行うことができるとともに、検査対象物の形状が製造時の公差によって異なる場合であっても欠陥の有無を正確に判定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第一実施形態に係る外観検査装置のブロック構成図。
【図２】同じく外観検査装置において第一露光条件で撮像した検査対象物を示した図。
【図３】同じく外観検査装置における外観検査のフローチャートを示した図。
【図４】同じく外観検査装置における第一画像及び撮像エリア画像を示した図。
【図５】（ａ）は検査対象物における仮想断面図、（ｂ）は（ａ）中の領域αの輝度プロファイルを示した図。
【図６】同じく外観検査装置において第二露光条件で撮像した検査対象物を示した図。
【図７】同じく外観検査装置における第二画像、撮像エリア画像、及び、組み合わせ画像を示した図。
【図８】第二実施形態に係る外観検査装置における撮像手段を示した図。
【図９】従来技術に係る外観検査装置における画像、基準画像データ、及び、組み合わせ画像を示した図。
【図１０】（ａ）は従来技術に係る検査対象物における仮想断面図、（ｂ）は（ａ）中の領域α０の輝度プロファイルを示した図。
【図１１】（ａ）は従来技術に係る検査対象物における仮想断面図、（ｂ）は（ａ）中の領域β０の輝度プロファイルを示した図。
【図１２】（ａ）は従来技術に係る検査対象物における仮想断面図、（ｂ）は（ａ）中の領域γ０の輝度プロファイルを示した図。
【図１３】同じく従来技術に係る外観検査装置における画像及び基準画像データを示した図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、発明の実施の形態を説明する。
なお、本発明の技術的範囲は以下の実施例に限定されるものではなく、本明細書及び図面に記載した事項から明らかになる本発明が真に意図する技術的思想の範囲全体に、広く及ぶものである。
【００２１】
［外観検査装置１０］
まず始めに、本発明の第一実施形態に係る外観検査装置１０の概略について、図１を用いて説明する。
本実施形態に係る外観検査装置１０は図１に示す如く、汎用型の電子計算機で構成された画像処理手段１１、及び、この画像処理手段１１に内蔵される制御手段１２とフィールドネットワーク通信機器等によりそれぞれ電気的に接続された、入力手段３１、出力手段３２、照明を具備する撮像手段３３などを主な要素として備える。また、画像処理手段１１はその内部に、制御手段１２とそれぞれ電気的に接続された記憶手段１３、及び、各種の演算を行って、撮像手段３３で撮像した検査対象物Ｗの画像から、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Ｂ（図６を参照）の有無を判定する判定手段１４を備えている。
【００２２】
前記の各種手段について、例えば、入力手段３１としては、画像処理手段１１に接続されたキーボードやマウス等が用いられる。入力手段３１からは、検査対象物Ｗの初期データや演算プログラム等が入力される。出力手段３２としては、画像処理手段１１に接続されたモニタ等が用いられる。出力手段３２では、判定手段１４による演算結果や判定結果等が出力される。
【００２３】
撮像手段３３は図２に示す検査対象物Ｗの撮影を行うものであり、本実施形態においてはその内部に照明を備えたＣＣＤカメラ又はＣＭＯＳカメラが用いられる。撮像手段３３は、検査対象物Ｗの画像を異なる露光条件で撮像することが可能である。具体的には後述するように、撮像手段３３は検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭が撮像可能な第一露光条件と、撮像エリアにおける欠陥Ｂが撮像可能な、第一露光条件と異なる第二露光条件と、のそれぞれで検査対象物Ｗを撮像することが可能である。
【００２４】
判定手段１４による検査対象物Ｗにおける欠陥Ｂの有無についての判定精度を高めるためには、撮像手段３３として画素数の高いカメラを用いることが望ましい。なお、撮像手段３３は、アナログカメラ又はデジタルカメラの何れについても用いることが可能である。
【００２５】
制御手段１２としては、画像処理手段１１に接続されている前記各手段の動作や作業工程を制御する制御盤等が用いられる。
記憶手段１３や判定手段１４としては、電子計算機におけるＲＡＭやＲＯＭ等からなる記憶部や、ＣＰＵからなる演算処理部等が用いられる。判定手段１４には画像処理を行う画像処理ボードが配設される。記憶手段１３には、検査対象物Ｗに関するＣＡＤ（ＣｏｍｐｕｔｅｒＡｉｄｅｄＤｅｓｉｇｎ）データの情報や、その他演算処理を実行するためのプログラム等が格納される。
【００２６】
そして、画像処理手段１１が備える判定手段１４は後述する如く、第一露光条件で撮像した検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像（図４における撮像エリア画像ＳＰ１）と、第二露光条件で撮像した撮像エリアの画像（図７における第二画像Ｐ２）と、を組み合わせた画像（図７における組み合わせ画像Ｐ３）を作成することにより、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Ｂの有無を判定するのである。
【００２７】
［検査対象物Ｗ］
次に、本実施形態に係る外観検査装置１０の検査対象である検査対象物Ｗについて、図２を用いて説明する。
本実施形態に係る検査対象物Ｗとしては図１及び図２に示す如く、カムシャフトが用いられる。検査対象物Ｗであるカムシャフトは、軸の周囲に形成された円形の溝部Ｗｄと、この溝部Ｗｄの周囲に形成された円盤状の平板部Ｗｆとを有する。そして、本実施形態においては、外観検査装置１０で平板部Ｗｆにおける欠陥Ｂの有無を判定するものとする。具体的には、平板部Ｗｆを図２の破線で示す如く、撮像エリアとして４５度ずつ八箇所の部分に分割し、矢印Ｒのように回転させながらそれぞれの部分について撮像して、欠陥Ｂがないかどうかを判断するのである。
【００２８】
なお、検査対象物Ｗの形状は、本実施形態で図２に示す形状に限定されず、他の形状を検査対象物とすることも可能である。また、本実施形態において検査対象物Ｗはカムシャフトが用いられるが、他の部品に対して外観検査装置１０を用いて外観検査を行うことも可能である。さらに、検査対象物Ｗの撮像エリアを分割することなく、一回のみの撮像で全エリアを撮像する構成とすることも可能である。
【００２９】
［ワーク種別判別方法］
次に、上記の如く構成された外観検査装置１０において、検査対象物Ｗにおける欠陥Ｂの有無を判定する方法を、図３から図７を用いて説明する。
本実施形態に係る外観検査装置１０で行う外観検査方法は図３に示す如く、第一露光条件で、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭を撮像する、第一撮像工程（図３中のステップＳ１１からステップＳ１ｎ）と、撮像エリアにおける欠陥Ｂが撮像可能な、第一露光条件と異なる第二露光条件で、撮像エリアを撮像する、第二撮像工程（図３中のステップＳ２１からステップＳ２ｍ）と、を備える。そして、外観検査方法はさらに、第一露光条件で撮像した検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭の画像と、第二露光条件で撮像した撮像エリアの画像と、を組み合わせる（図３中のステップＳ３１）ことにより、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を判定する（図３中のステップＳ３２）、判定工程と、を備える。
【００３０】
以下、上記の各工程について具体的に説明する。
第一撮像工程においては、撮像手段３３において第一露光条件で、検査対象物Ｗにおける撮像エリアＡ１（図２において分割した部分のうちの一つ）の輪郭を撮像する。第一露光条件で撮像した画像を第一画像Ｐ１とする。第一露光条件とは、図２及び図４に示す如く、第一画像Ｐ１に溝部Ｗｄの形状による陰影（図２及び図４における網掛け部分）が表れる程度に調節された露光条件である。換言すれば、第一画像Ｐ１には、溝部Ｗｄの形状による陰影が表れるのである。詳細には、第一画像Ｐ１には図２及び図４に示す如く溝部Ｗｄの内外の両側面に陰影が表れ、溝部の中央部には陰影が表れていない。このように、第一露光条件は、検査対象物Ｗの製造時の公差によって溝部Ｗｄの形状が異なった場合でも、後述する如く画像処理手段１１において溝部Ｗｄの形状による陰影が認識できる程度の露光条件であれば良い。
【００３１】
そして、画像処理手段１１において、第一画像Ｐ１から所定の輝度測定ライン（図４におけるＬ１）に沿って輝度プロファイルを作成する。図５（ａ）は検査対象物Ｗを輝度測定ラインＬ１で軸方向に切断した場合の仮想断面図である。また、図５（ｂ）は図５（ａ）における破線で示した領域α１の輝度プロファイルである。図５（ｂ）に示す如く、陰影が表れる溝部Ｗｄの両側面（図５（ｂ）中のｄ１及びｄ２）は輝度が低下し、陰影が表れない溝部の中央部（図５（ｂ）中のｂ１）及び平板部（図５（ｂ）中のｂ２）は輝度が上昇する。そして、溝部の外側面に形成された陰影の部分（図５（ｂ）中のｄ２）から外側へいくに従って輝度が上昇し、最大値に達する部分、即ち、輝度プロファイルの傾きが０となる部分（図５（ｂ）に示すＦｅ１）に該当する箇所（図５（ｂ）に示すＥ１）が、図４に示す一つの撮像エリアＡ１における平板部Ｗｆの内周端Ｅ１であると認定するのである。
【００３２】
さらに、図４に示す如く、第一画像Ｐ１において平板部Ｗｆの内周端Ｅ１と認定した部分を、欠陥Ｂの判定において位置関係の基準とする基準エッジＳｅとして、第一画像Ｐ１に基づいて基準画像データＳｄ１を作成する。基準画像データＳｄ１は検査対象物Ｗにおける一つの撮像エリアを示している。そして、この基準画像データＳｄ１を包含する画像を撮像エリア画像ＳＰ１として作成するのである。
【００３３】
より詳細には、図２に示す如く八つの部分に分割した撮像エリアのうち、検査対象物Ｗを矢印Ｒのように回転させながら第一露光条件で複数個（ｎ個：本実施形態においてはｎ≦８）の部分についてｎ回撮像し、それぞれの第一画像Ｐ１で認定された内周端Ｅ１の位置の平均値を用いて基準エッジＳｅの位置を算出するのである。なお、本実施形態においては第一露光条件で複数回（ｎ回）の撮像をする構成としているが、第一露光条件による撮像は一回のみとすることも可能である。ただし、基準エッジＳｅの位置精度を向上させる観点からは、第一露光条件による撮像を複数回行うことが好ましい。
【００３４】
次に、第二撮像工程においては、撮像手段３３において、それぞれの撮像エリアにおける欠陥Ｂが撮像可能な、第一露光条件と異なる第二露光条件で、第一撮像工程で撮像した撮像エリアＡ１と同じ撮像エリアＡ１を撮像する。第二露光条件で撮像した画像を第二画像Ｐ２とする。第二露光条件とは、図６及び図７に示す如く、第二画像Ｐ２に欠陥Ｂによる陰影が表れる程度に調節された露光条件であり、第一露光条件よりも露光が大きく設定される。このため、第二画像Ｐ２には、溝部Ｗｄの形状による陰影（図６及び図７における網掛け部分）が部分的にしか表れない場合がある。
【００３５】
より詳細には、図６に示す如く八つの部分に分割した撮像エリアのうち、検査対象物Ｗを矢印Ｒのように一方向へ回転させながら第二露光条件で複数個（ｍ個：本実施形態においてはｍ＝８）の部分についてｍ回撮像し、ｍ個の第二画像Ｐ２を作成するのである。
【００３６】
そして、判定工程においては図７に示す如く、画像処理手段１１により、第一露光条件で撮像した検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭の画像である撮像エリア画像ＳＰ１と、第二露光条件で撮像した撮像エリアＡ１の画像である第二画像Ｐ２と、を組み合わせて、組み合わせ画像Ｐ３を作成する。そして、判定手段１４において組み合わせ画像Ｐ３を用いて、検査対象物Ｗにおける撮像エリアＡ１の輪郭内における欠陥Ｂの有無を判定する。
【００３７】
より詳細には、欠陥Ｂが撮像エリアＡ１内において、基準エッジＳｅに対してどこに位置するかによって、検査対象物Ｗにおける欠陥Ｂの位置や大きさを特定する。換言すれば、基準エッジＳｅからの距離や位置関係によって欠陥Ｂの位置や大きさを特定するのである。また、他の撮像エリアについても撮像エリアＡ１と同様にして、欠陥Ｂの有無を判定するのである。
【００３８】
上記の如く、本実施形態に係る外観検査装置１０による外観検査方法によれば、検査対象物Ｗの部位によって色調又は光沢が異なる場合であっても、露光条件を調節して異なる露光条件（第一露光条件及び第二露光条件）で検査対象物Ｗを撮像することにより、欠陥Ｂの有無を判定することができる。具体的には、画像処理手段１１において溝部Ｗｄの形状による陰影が認識できる第一露光条件と、第一露光条件よりも露光が大きく、欠陥Ｂによる陰影が表れる程度に調節された第二露光条件と、の二つの露光条件で検査対象物Ｗを撮像することにより、欠陥Ｂの有無が判定可能となる。このため、検査対象物Ｗの部位ごとに外観検査の評価基準（欠陥Ｂの有無の判定基準）を変更することが可能となるのである。
【００３９】
また、本実施形態においては、検査対象物Ｗの形状が製造時の公差によって異なる場合であっても、検査対象物Ｗの欠陥Ｂの有無を正確に判定することが可能となる。
【００４０】
具体的には、本実施形態によれば、溝部Ｗｄの形状に応じて平板部Ｗｆの内周端Ｅ１と認定した部分を基準エッジＳｅとして基準画像データＳｄ１を作成し、撮像エリア画像ＳＰ１として作成する構成としている。このため、検査対象物Ｗの溝部Ｗｄの幅が、図１１（ａ）に示す仮想断面図の如く大きい場合であっても、図７に示す如く、第二画像Ｐ２における平板部Ｗｆの内周端と基準画像データＳｄ１における内側の基準エッジＳｅとが一致するように、第二画像Ｐ２と、溝部Ｗｄの形状に応じて作成した撮像エリア画像ＳＰ１と、を組み合わせることができるのである。これにより、組み合わせ画像Ｐ３において基準画像データＳｄ１の基準エッジＳｅを用いることが可能となり、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Ｂの有無を正確に判定することができるのである。
【００４１】
また、本実施形態によれば、第一撮像工程において、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭を、溝部Ｗｄの形状による陰影が認識できる第一露光条件で撮像し、基準画像データＳｄ１を作成する構成としている。このため、図１２（ａ）に示す如く検査対象物Ｗの溝部Ｗｄの深さが浅く、第二露光条件において検査対象物Ｗを撮像した第二画像Ｐ２に溝部Ｗｄの形状による陰影が照明光による反射光によって表れない場合であっても、図７に示す如く、第二画像Ｐ２と撮像エリア画像ＳＰ１とを組み合わせることによって、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Ｂの有無を正確に判定することができるのである。
【００４２】
上記の如く、本実施形態に係る外観検査装置１０による外観検査方法によれば、検査対象物Ｗの部位によって色調又は光沢が異なる場合でも検査対象物Ｗの全体の露光調節を行うことができる。また、検査対象物Ｗの形状が製造時の公差によって異なる場合であっても欠陥Ｂの有無を正確に判定することが可能となるのである。
【００４３】
なお、本実施形態において、基準エッジＳｅの作成にあたっては検査対象物Ｗであるカムシャフトの溝部Ｗｄを用いたが、基準エッジＳｅとする箇所は限定されるものではない。つまり、第一露光条件において、画像処理手段１１において検査対象物Ｗの形状による陰影が認識できる部位であれば、基準エッジＳｅの作成に用いることが可能である。
【００４４】
また、本実施形態においては、第一露光条件で検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭を撮像する第一撮像工程の後に、撮像エリアにおける欠陥Ｂが撮像可能な第二露光条件で撮像エリアを撮像する第二撮像工程を行う構成としたが、この順序は逆にすることも可能である。
【００４５】
さらに、第二実施形態に係る外観検査装置によれば、第一撮像工程と第二撮像工程を同時に行うことも可能である。具体的には、本実施形態に係る外観検査装置は図８に示す如く、撮像手段として、第一露光条件で撮像を行う第一撮像手段３３ａと、第二露光条件で撮像を行う第二撮像手段３３ｂとを備える。なお、本実施形態においては、前記第一実施形態と同様の構成についてはその詳細な説明を省略する。
【００４６】
そして、図８に示す如く分光器によって第一撮像手段３３ａおよび第二撮像手段３３ｂに入射する光の量を調節して、それぞれの撮像手段における露光条件を変更することにより、第一撮像工程と第二撮像工程とを同時に行う構成としているのである。
【符号の説明】
【００４７】
１０外観検査装置
１１画像処理手段
１４判定手段
３３撮像手段
Ｂ欠陥
Ｗ検査対象物
ＳＰ１撮像エリア画像
Ｐ２第二画像
Ｐ３組み合わせ画像

【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の画像を異なる露光条件で撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像した検査対象物の画像から、前記検査対象物の表面における欠陥の有無を判定する画像処理手段と、を備える外観検査装置であって、
前記撮像手段は、前記検査対象物における撮像エリアの輪郭が撮像可能な第一露光条件と、前記撮像エリアにおける欠陥が撮像可能な、前記第一露光条件と異なる第二露光条件と、のそれぞれで前記検査対象物を撮像し、
前記画像処理手段は、前記第一露光条件で撮像した前記検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像と、前記第二露光条件で撮像した前記撮像エリアの画像と、を組み合わせることにより、前記検査対象物における撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を判定する、
ことを特徴とする、外観検査装置。
【請求項２】
第一露光条件で、検査対象物における撮像エリアの輪郭を撮像する、第一撮像工程と、
前記撮像エリアにおける欠陥が撮像可能な、前記第一露光条件と異なる第二露光条件で、前記撮像エリアを撮像する、第二撮像工程と、
前記第一露光条件で撮像した前記検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像と、前記第二露光条件で撮像した前記撮像エリアの画像と、を組み合わせることにより、前記検査対象物における撮像エリアの輪郭内における欠陥の有無を判定する、判定工程と、を備える、
ことを特徴とする、外観検査方法。

【図１】