感光性樹脂組成物およびこれを使用したパターン形成方法

【構成】本発明は、シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。
【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、パターン精度および加工性に優れている。

Notice: Undefined index: DEJ in /mnt/www/gzt_disp.php on line 298

【特許請求の範囲】
【請求項１】シロキサンポリマーと塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】該シロキサンポリマーがアルカリ可溶性であることを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】該塩基発生剤が活性化学線の作用で塩基性化合物を発生するものであることを特徴とする請求項１または２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】請求項１〜３いずれか記載の感光性樹脂組成物を基板上に塗布、プリベーク後、マスクを介して露光し、つづいて現像することを特徴とするパターン形成方法。
【請求項５】マスクを介して露光後、現像前に、加熱することを特徴とする請求項４記載のパターン形成方法。