移動装置
【課題】可動体の移動距離に応じて長尺化した場合でも自重による撓み量を小さくして、テーブルの背を低く設定可能なカバーを備えたコンパクトな移動装置を提供する。
【解決手段】可動体２を所定方向に案内する複数の直動案内４と、その複数の直動案内の間にあって直動案内に沿って可動体を移動させる駆動部６とが基台１０に設けられた移動装置であって、駆動部を覆うカバー16,18が可動体の移動方向に沿って設けられており、カバーは、その側部を可動体の移動方向に沿って複数箇所で基台に固定可能に構成されている。この場合、カバーは、相互に着脱自在に連結可能な複数のカバー構成体16k,18kを備えて構成されており、それぞれのカバー構成体は、その側部を可動体の移動方向に沿って所定間隔で基台に固定可能に構成されている。
【解決手段】可動体２を所定方向に案内する複数の直動案内４と、その複数の直動案内の間にあって直動案内に沿って可動体を移動させる駆動部６とが基台１０に設けられた移動装置であって、駆動部を覆うカバー16,18が可動体の移動方向に沿って設けられており、カバーは、その側部を可動体の移動方向に沿って複数箇所で基台に固定可能に構成されている。この場合、カバーは、相互に着脱自在に連結可能な複数のカバー構成体16k,18kを備えて構成されており、それぞれのカバー構成体は、その側部を可動体の移動方向に沿って所定間隔で基台に固定可能に構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動体を直動案内に沿って移動させる移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば液晶や半導体などの各種基板の検査や製造に際し、例えば検査用ツールや製造用器具などを搭載可能な可動体を直動案内に沿って移動させる移動装置が知られている。このような移動装置には、装置内部を外界から隔離するために、例えば特許文献１に示すようなカバーを備えて構成される場合がある。その一例として図４(ａ)〜(ｃ)には、可動体２を直動案内４に沿って移動させるための駆動部６のみをカバー８で覆った移動装置が示されている。なお、直動案内４は可動体２の移動方向両側にそれぞれ設けられており、駆動部６は、相互の直動案内４の間の領域に介在されている。
【０００３】
直動案内４は、可動体２の移動方向に沿って延出したガイドレール４ａと、ガイドレール４ａに沿って摺動自在に設けられた例えば２つのスライダ４ｂとを備えている。この場合、ガイドレール４ａは、基台１０の両側に可動体２の移動方向に沿って突設された固定面１０ｓ上に固定されており、スライダ４ｂは可動体２に連結されている。なお特に参照符号は付さないが、ガイドレール４ａの両外側には、可動体２の移動方向に沿って延出した図示しない転動体が転動する転動溝が形成されており、一方、スライダ４ｂの両内側にも図示しない転動体が転動する転動溝が形成されている。そして、スライダ４ｂ内を循環する複数の転動体が、対向するガイドレール４ａの転動溝とスライダ４ｂの転動溝との間を転動可能となっている。これにより、スライダ４ｂは、ガイドレール４ａから外れたり或いは脱落すること無く当該ガイドレール４ａに沿って摺動する。
【０００４】
また、駆動部６は、可動体２の移動方向に沿って延出したボールねじ６ａと、ボールねじ６ａに螺合し且つボールねじ６ａを回転させることで当該ボールねじ６ａに沿って移動可能なナット６ｂ(図１(ｂ))とを備えている。ボールねじ６ａは、その両端が図示しない支持部で回転自在に支持されており、支持部は基台１０に固定(突設)されている。また、ボールねじ６ａの一端側は、図示しないモータの回転軸に接続されており、モータを回転させることでボールねじ６ａを所望の回転速度で回転させることができる。また、ナット６ｂには、フランジ６ｆが一体成形されており、当該フランジ６ｆには、ブラケット１２が取り付けられている。ブラケット１２は、駆動部６を覆っているカバー８や直動案内４のスライダ４ｂに接触しないように延出し、その延出端部が可動体２の裏面に連結されている。
【０００５】
このような構成において、モータを回転させると、その回転運動は、モータの回転軸からボールねじ６ａに伝達され、当該ボールねじ６ａを回転させる。このとき、ボールねじ６ａの回転によりナット６ｂが当該ボールねじ６ａに沿って移動するが、その際の移動力はフランジ６ｆからブラケット１２を介して可動体２に伝達される。この場合、可動体２に固定された各スライダ４ｂが各ガイドレール４ａに沿って摺動することにより、当該可動体２を所定方向に移動させることができる。
【０００６】
また、この例の移動装置に用いられたカバー８は、駆動部６のボールねじ６ａに沿って延出した長尺の薄板状カバー体８ａと、薄板状カバー体８ａの両側から下方に延出した壁部８ｂとを備えて構成されており、両壁部８ｂの間には、ナット６ｂ及びフランジ６ｆが通過可能な空間領域が構成されている。このようなカバー８は、薄板状カバー体８ａを可動体２と駆動部６との間に介在した状態で、その長手方向両端のねじ穴８ｃから基台１０(或いは、ボールねじ６ａの支持部)に対して固定用ねじ(図示しない)を締結することで位置決め固定されている。この状態において、駆動部６(ボールねじ６ａ、ナット６ｂ)は、その上側が薄板状カバー体８ａで覆われると共に、その両側が壁部８ｂにより覆われ、可動体２を移動させる際、ナット６ｂ及びフランジ６ｆは、薄板状カバー体８ａと両壁部８ｂとで構成された空間領域を通過する。
【０００７】
また、例えば図５(ａ)〜(ｃ)には、駆動部６及び当該駆動部６の両側に設けられた直動案内４の全体をカバー１４で覆った移動装置が示されている。この例の移動装置に用いられたカバー１４は、駆動部６及び直動案内４の上側全体を覆う長尺の薄板状カバー体１４ａと、薄板状カバー体１４ａの両側から下方に延出した壁部１４ｂとを備えて構成されている。なお、駆動部６及び直動案内４は、上述した移動装置(図４(ａ),(ｂ))と同様の構成であるため、その説明は省略する。
【０００８】
この場合、薄板状カバー体１４ａには、壁部１４ｂよりも長手方向に突出した突出部１４ｔが設けられており、当該突出部１４ｔの両側にねじ穴１４ｃが形成されている。このようなカバー１４は、薄板状カバー体１４ａを可動体２の上側に位置付けた状態で、各ねじ穴１４ｃから基台１０(或いは、図示しないカバー固定用部位)に対して固定用ねじ(図示しない)を締結することで位置決め固定されている。なお、可動体２は、その両側部分が薄板状カバー体１４ａを越えて且つカバー１４の長手方向を横断する方向に延出し、そこから薄板状カバー体１４ａの上部側に向けて突出している。
【０００９】
ところで、上述したような移動装置のカバー8,14は、いずれも可動部２の移動方向に沿って長尺の形状を成しており、その長手方向両端のみが固定用ねじで締結されている。この場合、例えば図４(ｄ)及び図５(ｄ)に示すように、カバー8,14は、その自重により撓んだ状態で固定されることになる。このことは、カバー8,14が長尺になるに従って大きな撓みとなってあらわれる。
【００１０】
移動装置には、その高さ方向のコンパクト化が望まれているが、従来では、長尺のカバー8,14の撓み量を考慮して装置の上下に余裕代を確保する必要上、テーブルの背Ｈを高く設定しなければならなかった。別の言い方をすると、従来の移動装置では、テーブルの背Ｈを低く設定する(装置の高さ方向のコンパクト化を図る)には限界があった。
【００１１】
この場合、テーブルの背Ｈを低く設定する(装置の高さ方向のコンパクト化を図る)ためには、カバー8,14を短尺化すれば良いが、それでは、長尺の駆動部６や直動案内４を覆うことができなくなってしまう。なお、テーブルの背Ｈとは、基台１０が基準面(図示しない)に固定されていると仮定した場合において、当該基準面から可動体２の上面(特に参照符号は付さない)までの高さ寸法を指す。
【特許文献１】実用新案登録公報第２５１８６１１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、このような問題を解決するためになされており、その目的は、可動体の移動距離に応じて長尺化した場合でも自重による撓み量を小さくして、テーブルの背を低く設定することが可能なカバーを備えたコンパクトな移動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような目的を達成するために、本発明は、可動体を所定方向に案内する複数の直動案内と、その複数の直動案内の間にあって直動案内に沿って可動体を移動させる駆動部とが基台に設けられた移動装置であって、直動案内又は駆動部、或いは、直動案内及び駆動部の双方を覆うカバーが可動体の移動方向に沿って設けられており、カバーは、その側部を可動体の移動方向に沿って複数箇所で基台に固定可能に構成されている。この場合、カバーは、単体の場合だけで無く、相互に着脱自在に連結可能な複数のカバー構成体を備えて構成されていても良く、それぞれのカバー構成体は、その側部を可動体の移動方向に沿って所定間隔で基台に固定可能に構成されている場合もある。
【００１４】
このような発明において、カバー構成体は、少なくとも駆動部の一側を覆う一側カバー部と、駆動部の上側を覆う上側カバー部と、一側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、カバー構成体の他側に構成された隙間を通して相互に連結されている。また他の構成として、カバー構成体は、少なくとも駆動部の一側を覆う一側カバー部と、駆動部及び直動案内の上側を同時に覆う上側カバー部と、一側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、カバー構成体の他側に構成された隙間を通して相互に連結されている。
【００１５】
また、本発明において、カバー構成体は、駆動部の他側を覆う他側カバー部と、他側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、上側カバー部と他側カバー部との間に構成された隙間を通して相互に連結されている。更に、カバー構成体は、少なくとも直動案内の一側を覆う案内カバー部と、案内カバー部を基台に固定する案内固定部とを有している。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、カバーの側部を可動体の移動方向に沿って所定間隔で基台に固定可能に構成したことにより、可動体の移動距離に応じて長尺化した場合でも自重による撓み量を小さくして、テーブルの背を低く設定することが可能なカバーを備えたコンパクトな移動装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の第１の実施の形態に係る移動装置について、図１(ａ)〜(ｅ)を参照して説明する。本実施の形態はカバーの改良であり、他の構成(例えば、直動案内４、駆動部６、基台１０)は、上述した従来の移動装置(図４(ａ),(ｂ))と同一の構成である。このため、同一の構成には図面上で同一符号を付して、その説明は省略する。
【００１８】
図１(ａ)に示すように、本実施の形態の移動装置に適用したカバー１６は、駆動部６全体を覆うように可動体２の移動方向に沿って設けられており、当該カバー１６の側部が可動体２の移動方向に沿って所定間隔で基台１０に対して固定可能に構成されている。具体的に説明すると、カバー１６は、相互に着脱自在に連結可能な複数のカバー構成体１６ｋを備えて構成されており、それぞれのカバー構成体１６ｋは、その側部を可動体２の移動方向に沿って所定間隔で基台１０に固定可能に構成されている。
【００１９】
各カバー構成体１６ｋは、駆動部６の一側を覆う一側カバー部１６ａと、駆動部６の上側を覆う上側カバー部１６ｂと、一側カバー部１６ａを基台１０に固定する固定部１６ｃとを有しており、可動体２と駆動部６とは、カバー構成体１６ｋの他側に構成された隙間を通して相互に連結されている。この場合、各カバー構成体１６ｋにおいて、一側カバー部１６ａは、固定部１６ｃから駆動部６の一側に沿って立ち上げられており、上側カバー部１６ｂは、一側カバー部１６ａの頂部から駆動部６の他側方向に折り返されている。
【００２０】
このような構成において、まず、駆動部６の長さ(例えば、ボールねじ６ａの全長)に応じて、当該駆動部６の全体を覆うことが可能な数のカバー構成体１６ｋを用意する。続いて、一側カバー部１６ａ及び上側カバー部１６ｂにより駆動部６の一側及び上側を覆うように、複数のカバー構成体１６ｋを駆動部６(ボールねじ６ａ)に沿って互いに連結させて並べる。そして、各カバー構成体１６ｋの固定部１６ｃを基台１０に固定する。
【００２１】
ここで、固定部１６ｃを基台１０に固定する方法としては、例えばねじ止め、接着、溶接、嵌合など各種の方法を適用することができるが、ここでは一例として、ねじＰで固定部１６ｃを基台１０に固定(締結)する方法を想定する。なお図面上、各カバー構成体１６ｋ(固定部１６ｃ)は、その両端の２箇所をねじＰで固定(締結)しているが、３箇所或いはそれ以上の箇所を固定(締結)しても良い。
【００２２】
また、複数のカバー構成体１６ｋ相互の連結部分は、端部同士を突き当てるようにすれば良い。或いは、例えば図１(ｂ)に示すように一方にクランク状に折り返された係合部Ｌを構成し、連結するようにしても良い。これにより、当該連結部分において、外部からの異物(例えば、水、塵埃など)の浸入や、内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)の漏洩を防止することができる。
【００２３】
このように複数のカバー構成体１６ｋを基台１０に固定した状態において、各カバー構成体１６ｋの他側(駆動部６の他側)には隙間が構成される。この場合、ブラケット１２の一端１２ａを当該隙間に通して延出させて可動体２に接続することにより、可動体２と駆動部６とを相互に連結させることができる。なお、ブラケット１２の一端１２ａと可動体２との連結方法としては、例えばねじ止め、接着、溶接、嵌合など各種の方法を適用することができる。
【００２４】
以上、本実施の形態の移動装置によれば、カバー１６の側部のみを可動体２の移動方向に沿って所定間隔で基台１０に固定可能に構成したことにより、可動体２の移動距離に応じて駆動部６(ボールねじ６ａ)が長尺化した場合でも、カバー１６の自重による撓み量を小さくすることができる。即ち、従来では長尺のカバーの長手方向両端のみを固定する構成であったため、カバーの自重による撓み量が大きくなり、その大きな撓み量を考慮して装置の上下に余裕代を確保する必要上、テーブルの背Ｈを低く設定する(装置の高さ方向のコンパクト化を図る)には限界があった。しかしながら、本実施の形態では、カバー１６の側部を基台１０に固定する構成としたことにより、カバー１６の自重による撓み量を小さくすることができ、その結果、テーブルの背Ｈを低く設定することが可能となり、装置の高さ方向のコンパクト化を図ることができる。
【００２５】
また、本実施の形態によれば、複数のカバー構成体１６ｋを用意して並べるだけで、必要なだけ駆動部６の長尺化(例えば、ボールねじ６ａの全長の長尺化)に対応することができる。これにより、移動装置に対するカバー１６の組込及び固定作業が容易となり、その結果、移動装置の製造コストを大幅に削減することが可能となる。
更に、従来では、駆動部６の保守点検に際し、カバー全体を取り外さなければならなかったが、本実施の形態では、複数のカバー構成体１６ｋを部分的に取り外すことができるため、保守点検作業を容易に且つ効率的に行うことが可能となる。
【００２６】
また、従来では、駆動部６全体を覆うように比較的長尺の一体物のカバーの長手方向両端を固定しているため、当該固定のための空間を装置の長手方向両側に確保する必要があった。しかし、本実施の形態では、カバー１６の側部のみを基台１０に固定する構成としたことにより、従来のような無駄な空間を確保する必要が無いため、移動装置の高さ方向のコンパクト化と共に、長手方向のコンパクト化も同時に図ることが可能となる。
【００２７】
なお、上述した実施の形態では、移動装置を水平面上に位置付けた場合を想定しているが、例えば図１(ｃ)に示すように、水平面Ｍ１に対して垂直に立ち上げられた垂直壁Ｍ２に移動装置を固定する場合には、カバー１６(カバー構成体１６ｋ)の一側カバー部１６ａが水平面Ｍ１側に位置付けられるように固定するようにしても良い。
ここで、水平面Ｍ１に例えば液晶や半導体などの各種基板がセットされ、可動体２に例えば検査用ツールや製造用器具などが搭載される場合を想定すると、検査時や製造時に各種基板上に駆動部６内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)が落下する場合がある。この場合には、一側カバー部１６ａを水平面Ｍ１側に位置付けることにより、当該水平面Ｍ１への発塵(潤滑剤)の落下を一側カバー部１６ａで防止することができる。なお、駆動部６内部への異物(例えば、水、塵埃など)が浸入を重要視する装置構成であれば、当該移動装置の天地を逆転し、一側カバー部１６ａを上側(水平面Ｍ１とは反対側)に位置付ければ良い。
なお、本明細書及び請求の範囲でいう「上側カバー部」「一側カバー部」等の表現は、基台１０のガイドレール４ａの固定面１０ｃを基準とする。以下、移動装置を垂直壁Ｍ２に固定するいずれの場合も同様である。
【００２８】
また、上述した移動装置の他の構成例として、例えば図１(ｄ)に示すように、断面Ｌ字状のカバー１８を駆動部６の他側を覆うように増設しても良い。この構成例において、カバー１８は、駆動部６の他側を覆う他側カバー部１８ａと、他側カバー部１８ａを基台１０に固定する固定部１８ｃとを有する複数のカバー構成体１８ｋを備えている。なお、カバー構成体１８ｋは、上述したカバー構成体１６ｋと同様に、相互に着脱自在に連結可能に構成されている。また、各カバー構成体１６ｋは、その側部(固定部１８ｃ)を可動体２の移動方向に沿って所定間隔で基台１０に固定可能に構成されている。
【００２９】
この場合、上側カバー部１６ｂと他側カバー部１８ａとの間に隙間が構成されており、ブラケット１２の一端１２ａを当該隙間に通して延出させて可動体２に接続することにより、可動体２と駆動部６とを相互に連結させることができる。なお、ブラケット１２の一端１２ａと可動体２との連結方法としては、例えばねじ止め、接着、溶接、嵌合など各種の方法を適用することができる。また、固定部１８ｃを基台１０に固定する方法は、上述したカバー１６の固定部１６ｃと同様の方法を適用することができる。
【００３０】
このような構成によれば、２つのカバー16,18を用いたことにより、駆動部６の両側及び上側を同時に覆うことができるため、当該駆動部６への異物(例えば、水、塵埃など)の浸入や、駆動部６内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)の漏洩をより確実に防止することができる。この場合、水平面Ｍ１に対して垂直に立ち上げられた垂直壁Ｍ２に移動装置を固定する構成では、例えば図１(ｅ)に示すようにカバー１８を上側に位置付けても、或いは天地を逆転してカバー１８を水平面Ｍ１側に位置付けても駆動部６内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)の落下を防止することが可能となる。なお、他の効果は、上述した実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。
【００３１】
また、上述したカバー16,18において、各カバー構成体16k,18kの長さ、一側カバー部１６ａ及び他側カバー部１８ａの高さ、上側カバー部１６ｂの幅については特に説明しなかったが、これらは駆動部６の例えば大きさや形状に応じて任意に設定されるため、ここでは特に数値限定はしない。更に、各カバー構成体16k,18kの長さは、全て同一寸法に設定しても良いし、移動装置の長さや駆動部６の長尺の程度に応じて異なる長さのカバー構成体16k,18kを構成しても良い。
【００３２】
また、上述した実施の形態では、駆動部６を覆うためのカバー16,18を想定して説明したが、これに限定されることは無く、移動装置の他の構成(例えば、直動案内４)全体を覆うカバーを増設しても良い。なお、かかるカバーも側部のみを基台１０に固定するように構成されている。
【００３３】
第１の変形例として、例えば図２(ａ)には、カバー１６を有する移動装置が示されており、当該移動装置に設けられたカバー２０は、直動案内４を覆う案内カバー部２０ａと、案内カバー部２０ａを基台１０に固定する案内固定部(側部)２０ｂとを有する複数のカバー構成体２０ｋを備えている。なお、この構成例のカバー構成体２０ｋも上述したカバー構成体16k,18kと同様に、相互に着脱自在に連結可能に構成されており、直動案内４の長さに応じて所定数のカバー構成体２０ｋを互いに連結することで、直動案内４の全体を覆うことができる。
【００３４】
この場合、案内カバー部２０ａは、基台１０の側面から直動案内４を越えて延出し、その上部が可動体２側に折り返されているが、折り返さずに可動体２の両側に並列させても良い。なお、図面上、カバー構成体２０ｋは、２つの直動案内４を両側から覆うように２つ配置されているが、いずれか一方のみで構成しても良い。また、案内固定部２０ｂを基台１０に固定する方法は、上述したカバー16,18の固定部16c,18cと同様の方法を適用することができる。
【００３５】
このような構成によれば、カバー２０により直動案内４を外部から隔離することができるため、直動案内４の内部(例えば、ガイドレール４ａとスライダ４ｂとの間)への異物(例えば、水、塵埃など)の浸入を防止することができる。この結果、長期に亘って可動体２の移動安定性及び移動円滑性を一定に維持し続けることが可能となる。
また、カバー２０を設けたことで、駆動部６は、カバー１６やカバー２０で二重に覆われた構成となり、駆動部６内部への異物の浸入や、駆動部６から外部への発塵の漏洩をより確実に防止することが可能となる。
【００３６】
第２の変形例として、例えば図２(ｂ)に示すように、カバー16,18を有する移動装置に更にカバー２０を増設しても良い。なお、カバー２０の構成は、上述した第１の変形例(図２(ａ))と同様であるため、その説明は省略する。
このような構成によれば、駆動部６の両側をそれぞれ２つのカバー16,20及び18,20で二重に覆うことができるため、例えば図１(ｅ)に示すように移動装置を垂直壁Ｍ２に固定した場合でも、駆動部６及び直動案内４内部へ異物が浸入したり、駆動部６から水平面Ｍ１に発塵(潤滑剤)が落下することは無い。かかる効果は、移動装置の転地を逆転して固定しても同様である。なお、他の効果は、上述した第１の変形例と同様であるため、その説明は省略する。
【００３７】
第３の変形例として、例えば図２(ｃ)に示すように、カバー１８をカバー１６と同一形状に構成し、これらカバー16,18を駆動部６を挟んで両側に対向配置しても良い。この場合、カバー１６の上側カバー部１６ｂに対向して、カバー１８に上側カバー部１８ｂを増設する。そして、双方の上側カバー部16b,18bの間の隙間を通してブラケット１２の一端１２ａを延出させて可動体２に接続することにより、可動体２と駆動部６とを相互に連結させることができる。なお、ブラケット１２の一端１２ａと可動体２との連結方法としては、例えばねじ止め、接着、溶接、嵌合など各種の方法を適用することができる。
【００３８】
第４の変形例として、例えば図２(ｄ)に示すように、上述した第３の変形例の移動装置に更にカバー２０を増設しても良い。なお、カバー２０の構成は、上述した第１の変形例(図２(ａ))と同様であるため、その説明は省略する。
【００３９】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る移動装置について、図３(ａ)〜(ｃ)を参照して説明する。なお、本実施の形態はカバー１６(カバー構成体１６ｋ)の改良であり、他の構成は上述した第１の実施の形態(図１)と同一の構成である。このため、同一の構成には図面上で同一符号を付して、その説明は省略する。
【００４０】
図３(ａ)に示すように、本実施の形態のカバー１６(カバー構成体１６ｋ)において、上側カバー部１６ｂは、直動案内４と駆動部６を同時に覆うことができるように構成されている。この構成を実現するために、上側カバー部１６ｂの両側には、各直動案内４方向に所定量だけ突出した突出部１６ｄが設けられており、各直動案内４は、その上側が上側カバー部１６ｂの突出部１６ｄで同時に覆われる。この場合、可動体２の移動中に突出部１６ｄと接触しないように、可動体２には、逃げ部２ｇを構成することが好ましい。なお、逃げ部２ｇの大きさは、突出部１６ｄの突出量に応じて適宜変更することができる。
【００４１】
以上、本実施の形態によれば、上側カバー部１６ｂの両側に突出部１６ｄを設けることにより、直動案内４と駆動部６を同時に覆うことができる。この場合、直動案内４を覆うためのカバーを別途必要としないため、装置全体の部品点数を削減することができ、その結果、移動装置の製造コストを低減することが可能となる。なお、他の効果は、上述した第１の実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。
【００４２】
上述した実施の形態では、移動装置を水平面上に位置付けた場合を想定しているが、例えば図３(ｂ)に示すように、水平面Ｍ１に対して垂直に立ち上げられた垂直壁Ｍ２に移動装置を固定する場合には、カバー１６(カバー構成体１６ｋ)の一側カバー部１６ａが水平面Ｍ１側に位置付けられるように固定するようにしても良い。このような配置によれば、駆動部６内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)が水平面Ｍ１に落下するのを防止することができる。この場合、駆動部６内部への異物(例えば、水、塵埃など)が浸入を重要視する装置構成であれば、当該移動装置の天地を逆転し、一側カバー部１６ａを上側(水平面Ｍ１とは反対側)に位置付ければ良い。
【００４３】
なお、本実施の形態の他の構成例としては、例えば図３(ｃ)に示すように、駆動部６の他側を覆うカバー１８(カバー構成体１８ｋ)を更に配置しても良い。この場合、カバー１８(カバー構成体１８ｋ)の構成や効果については、上述した第１の実施の形態(図１(ｄ))と同様であるため、その説明は省略する。また、本実施の形態の移動装置(図３(ａ),(ｃ))に例えば第１の変形例で説明したようなカバー２０(図２(ａ))を設けて、各直動案内４を覆うように構成しても良い。
また、図３(ｃ)のカバーの構成、或いは、図３(ａ),(ｃ)のカバーの構成に第１の変形例で説明したようなカバー２０を付加した構成のものを垂直壁Ｍ２に固定するようにしても良く、それらの天地を逆転した構成も適宜選択可能である。
【００４４】
なお、上述した第１及び第２の実施の形態では、カバー16,18,20を複数のカバー構成体16k,18k,20kから成るようにしたが、それぞれ１つの(単体の)カバー16,18,20として構成しても、側部を可動体２の移動方向に沿って複数箇所で基台１０に固定することにより、撓みを抑制することができるため、そのようにしても良い。
また、上述した第１及び第２の実施の形態では、ボールねじ６ａとナット６ｂとの組み合わせから成る駆動部６を想定したが、これに限定されることは無く、可動体２を直動案内４に沿って移動させることができれば、任意の駆動機構(例えば、ベルト駆動、リニアモータ、エアシリンダなど)を駆動部６として適用することが可能である。
【００４５】
その一例としてベルト駆動の駆動部６では、直動案内４に沿って走行するベルトを基台１０に配置し、当該ベルトと可動体２とを所定の連結部材で連結する。これにより、ベルトを走行させると、これに従って連結部材と共に可動体２を直動案内４に沿って移動させることができる。
【００４６】
また、リニアモータの駆動部６では、例えば可動体２の下面に例えば３相のコイルを装着する。そして、基台１０の表面(コイルに対向する面)をステータとして構成し、ここに複数の永久磁石を可動体２の移動方向に沿って所定間隔で配列する。この場合、複数の永久磁石は、隣り合う永久磁石の磁極(Ｎ極とＳ極)が交互に並ぶように配列する。これにより、コントローラから３相のコイルに順次電流を流して、各コイルの磁極をＳ極またはＮ極に変えると、その際の磁極と永久磁石の磁束とが反応することにより、フレミングの左手の法則に従って可動体２を直動案内４に沿って移動させることができる。
また、上記各実施の形態では、直動案内として転動体を介在して成る転がり案内を用いたが、これに限らず、例えば静圧軸受を用いた直動案内など他のものも使用可能である。
【００４７】
また、上述したカバー16,18,20の材質については、移動装置の使用目的や使用環境に応じて、任意の材料(金属材料、絶縁材料、樹脂材料、木材など)を適用することができるため、ここでは特に限定しない。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】(ａ)は、本発明の第１の実施の形態に係る移動装置に適用したカバーの構成を部分的に切断して示す斜視図、(ｂ)は、複数のカバー構成体相互を連結するための構成例を示す断面図、(ｃ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図であって、移動装置を垂直壁に固定した構成例を示す断面図、(ｄ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図であって、移動装置の他の構成例を示す断面図、(ｅ)は、同図(ｄ)の移動装置を垂直壁に固定した構成例を示す断面図。
【図２】(ａ)は、本発明の第１の変形例に係る移動装置の構成例を示す断面図、(ｂ)は、本発明の第２の変形例に係る移動装置の構成例を示す断面図、(ｃ)は、本発明の第３の変形例に係る移動装置の構成例を示す断面図、(ｄ)は、本発明の第４の変形例に係る移動装置の構成例を示す断面図。
【図３】(ａ)は、本発明の第２の実施の形態に係る移動装置に適用したカバーの構成例を示す断面図、(ｂ)は、同図(ａ)の移動装置を垂直壁に固定した構成例を示す断面図、(ｃ)は、移動装置の他の構成例を示す断面図。
【図４】(ａ)は、従来使用例のカバーが適用された移動装置の平面図、(ｂ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図、(ｃ)は、従来使用例のカバーの斜視図、(ｄ)は、従来使用例のカバーが撓んだ状態を示す斜視図。
【図５】(ａ)は、従来使用例の他のカバーが適用された移動装置の平面図、(ｂ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図、(ｃ)は、従来使用例の他のカバーの斜視図、(ｄ)は、従来使用例のカバーが撓んだ状態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４９】
２ 可動体
４ 直動案内
６ 駆動部
１０ 基台
16,18 カバー
16k,18k カバー構成体
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動体を直動案内に沿って移動させる移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば液晶や半導体などの各種基板の検査や製造に際し、例えば検査用ツールや製造用器具などを搭載可能な可動体を直動案内に沿って移動させる移動装置が知られている。このような移動装置には、装置内部を外界から隔離するために、例えば特許文献１に示すようなカバーを備えて構成される場合がある。その一例として図４(ａ)〜(ｃ)には、可動体２を直動案内４に沿って移動させるための駆動部６のみをカバー８で覆った移動装置が示されている。なお、直動案内４は可動体２の移動方向両側にそれぞれ設けられており、駆動部６は、相互の直動案内４の間の領域に介在されている。
【０００３】
直動案内４は、可動体２の移動方向に沿って延出したガイドレール４ａと、ガイドレール４ａに沿って摺動自在に設けられた例えば２つのスライダ４ｂとを備えている。この場合、ガイドレール４ａは、基台１０の両側に可動体２の移動方向に沿って突設された固定面１０ｓ上に固定されており、スライダ４ｂは可動体２に連結されている。なお特に参照符号は付さないが、ガイドレール４ａの両外側には、可動体２の移動方向に沿って延出した図示しない転動体が転動する転動溝が形成されており、一方、スライダ４ｂの両内側にも図示しない転動体が転動する転動溝が形成されている。そして、スライダ４ｂ内を循環する複数の転動体が、対向するガイドレール４ａの転動溝とスライダ４ｂの転動溝との間を転動可能となっている。これにより、スライダ４ｂは、ガイドレール４ａから外れたり或いは脱落すること無く当該ガイドレール４ａに沿って摺動する。
【０００４】
また、駆動部６は、可動体２の移動方向に沿って延出したボールねじ６ａと、ボールねじ６ａに螺合し且つボールねじ６ａを回転させることで当該ボールねじ６ａに沿って移動可能なナット６ｂ(図１(ｂ))とを備えている。ボールねじ６ａは、その両端が図示しない支持部で回転自在に支持されており、支持部は基台１０に固定(突設)されている。また、ボールねじ６ａの一端側は、図示しないモータの回転軸に接続されており、モータを回転させることでボールねじ６ａを所望の回転速度で回転させることができる。また、ナット６ｂには、フランジ６ｆが一体成形されており、当該フランジ６ｆには、ブラケット１２が取り付けられている。ブラケット１２は、駆動部６を覆っているカバー８や直動案内４のスライダ４ｂに接触しないように延出し、その延出端部が可動体２の裏面に連結されている。
【０００５】
このような構成において、モータを回転させると、その回転運動は、モータの回転軸からボールねじ６ａに伝達され、当該ボールねじ６ａを回転させる。このとき、ボールねじ６ａの回転によりナット６ｂが当該ボールねじ６ａに沿って移動するが、その際の移動力はフランジ６ｆからブラケット１２を介して可動体２に伝達される。この場合、可動体２に固定された各スライダ４ｂが各ガイドレール４ａに沿って摺動することにより、当該可動体２を所定方向に移動させることができる。
【０００６】
また、この例の移動装置に用いられたカバー８は、駆動部６のボールねじ６ａに沿って延出した長尺の薄板状カバー体８ａと、薄板状カバー体８ａの両側から下方に延出した壁部８ｂとを備えて構成されており、両壁部８ｂの間には、ナット６ｂ及びフランジ６ｆが通過可能な空間領域が構成されている。このようなカバー８は、薄板状カバー体８ａを可動体２と駆動部６との間に介在した状態で、その長手方向両端のねじ穴８ｃから基台１０(或いは、ボールねじ６ａの支持部)に対して固定用ねじ(図示しない)を締結することで位置決め固定されている。この状態において、駆動部６(ボールねじ６ａ、ナット６ｂ)は、その上側が薄板状カバー体８ａで覆われると共に、その両側が壁部８ｂにより覆われ、可動体２を移動させる際、ナット６ｂ及びフランジ６ｆは、薄板状カバー体８ａと両壁部８ｂとで構成された空間領域を通過する。
【０００７】
また、例えば図５(ａ)〜(ｃ)には、駆動部６及び当該駆動部６の両側に設けられた直動案内４の全体をカバー１４で覆った移動装置が示されている。この例の移動装置に用いられたカバー１４は、駆動部６及び直動案内４の上側全体を覆う長尺の薄板状カバー体１４ａと、薄板状カバー体１４ａの両側から下方に延出した壁部１４ｂとを備えて構成されている。なお、駆動部６及び直動案内４は、上述した移動装置(図４(ａ),(ｂ))と同様の構成であるため、その説明は省略する。
【０００８】
この場合、薄板状カバー体１４ａには、壁部１４ｂよりも長手方向に突出した突出部１４ｔが設けられており、当該突出部１４ｔの両側にねじ穴１４ｃが形成されている。このようなカバー１４は、薄板状カバー体１４ａを可動体２の上側に位置付けた状態で、各ねじ穴１４ｃから基台１０(或いは、図示しないカバー固定用部位)に対して固定用ねじ(図示しない)を締結することで位置決め固定されている。なお、可動体２は、その両側部分が薄板状カバー体１４ａを越えて且つカバー１４の長手方向を横断する方向に延出し、そこから薄板状カバー体１４ａの上部側に向けて突出している。
【０００９】
ところで、上述したような移動装置のカバー8,14は、いずれも可動部２の移動方向に沿って長尺の形状を成しており、その長手方向両端のみが固定用ねじで締結されている。この場合、例えば図４(ｄ)及び図５(ｄ)に示すように、カバー8,14は、その自重により撓んだ状態で固定されることになる。このことは、カバー8,14が長尺になるに従って大きな撓みとなってあらわれる。
【００１０】
移動装置には、その高さ方向のコンパクト化が望まれているが、従来では、長尺のカバー8,14の撓み量を考慮して装置の上下に余裕代を確保する必要上、テーブルの背Ｈを高く設定しなければならなかった。別の言い方をすると、従来の移動装置では、テーブルの背Ｈを低く設定する(装置の高さ方向のコンパクト化を図る)には限界があった。
【００１１】
この場合、テーブルの背Ｈを低く設定する(装置の高さ方向のコンパクト化を図る)ためには、カバー8,14を短尺化すれば良いが、それでは、長尺の駆動部６や直動案内４を覆うことができなくなってしまう。なお、テーブルの背Ｈとは、基台１０が基準面(図示しない)に固定されていると仮定した場合において、当該基準面から可動体２の上面(特に参照符号は付さない)までの高さ寸法を指す。
【特許文献１】実用新案登録公報第２５１８６１１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、このような問題を解決するためになされており、その目的は、可動体の移動距離に応じて長尺化した場合でも自重による撓み量を小さくして、テーブルの背を低く設定することが可能なカバーを備えたコンパクトな移動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような目的を達成するために、本発明は、可動体を所定方向に案内する複数の直動案内と、その複数の直動案内の間にあって直動案内に沿って可動体を移動させる駆動部とが基台に設けられた移動装置であって、直動案内又は駆動部、或いは、直動案内及び駆動部の双方を覆うカバーが可動体の移動方向に沿って設けられており、カバーは、その側部を可動体の移動方向に沿って複数箇所で基台に固定可能に構成されている。この場合、カバーは、単体の場合だけで無く、相互に着脱自在に連結可能な複数のカバー構成体を備えて構成されていても良く、それぞれのカバー構成体は、その側部を可動体の移動方向に沿って所定間隔で基台に固定可能に構成されている場合もある。
【００１４】
このような発明において、カバー構成体は、少なくとも駆動部の一側を覆う一側カバー部と、駆動部の上側を覆う上側カバー部と、一側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、カバー構成体の他側に構成された隙間を通して相互に連結されている。また他の構成として、カバー構成体は、少なくとも駆動部の一側を覆う一側カバー部と、駆動部及び直動案内の上側を同時に覆う上側カバー部と、一側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、カバー構成体の他側に構成された隙間を通して相互に連結されている。
【００１５】
また、本発明において、カバー構成体は、駆動部の他側を覆う他側カバー部と、他側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、上側カバー部と他側カバー部との間に構成された隙間を通して相互に連結されている。更に、カバー構成体は、少なくとも直動案内の一側を覆う案内カバー部と、案内カバー部を基台に固定する案内固定部とを有している。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、カバーの側部を可動体の移動方向に沿って所定間隔で基台に固定可能に構成したことにより、可動体の移動距離に応じて長尺化した場合でも自重による撓み量を小さくして、テーブルの背を低く設定することが可能なカバーを備えたコンパクトな移動装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の第１の実施の形態に係る移動装置について、図１(ａ)〜(ｅ)を参照して説明する。本実施の形態はカバーの改良であり、他の構成(例えば、直動案内４、駆動部６、基台１０)は、上述した従来の移動装置(図４(ａ),(ｂ))と同一の構成である。このため、同一の構成には図面上で同一符号を付して、その説明は省略する。
【００１８】
図１(ａ)に示すように、本実施の形態の移動装置に適用したカバー１６は、駆動部６全体を覆うように可動体２の移動方向に沿って設けられており、当該カバー１６の側部が可動体２の移動方向に沿って所定間隔で基台１０に対して固定可能に構成されている。具体的に説明すると、カバー１６は、相互に着脱自在に連結可能な複数のカバー構成体１６ｋを備えて構成されており、それぞれのカバー構成体１６ｋは、その側部を可動体２の移動方向に沿って所定間隔で基台１０に固定可能に構成されている。
【００１９】
各カバー構成体１６ｋは、駆動部６の一側を覆う一側カバー部１６ａと、駆動部６の上側を覆う上側カバー部１６ｂと、一側カバー部１６ａを基台１０に固定する固定部１６ｃとを有しており、可動体２と駆動部６とは、カバー構成体１６ｋの他側に構成された隙間を通して相互に連結されている。この場合、各カバー構成体１６ｋにおいて、一側カバー部１６ａは、固定部１６ｃから駆動部６の一側に沿って立ち上げられており、上側カバー部１６ｂは、一側カバー部１６ａの頂部から駆動部６の他側方向に折り返されている。
【００２０】
このような構成において、まず、駆動部６の長さ(例えば、ボールねじ６ａの全長)に応じて、当該駆動部６の全体を覆うことが可能な数のカバー構成体１６ｋを用意する。続いて、一側カバー部１６ａ及び上側カバー部１６ｂにより駆動部６の一側及び上側を覆うように、複数のカバー構成体１６ｋを駆動部６(ボールねじ６ａ)に沿って互いに連結させて並べる。そして、各カバー構成体１６ｋの固定部１６ｃを基台１０に固定する。
【００２１】
ここで、固定部１６ｃを基台１０に固定する方法としては、例えばねじ止め、接着、溶接、嵌合など各種の方法を適用することができるが、ここでは一例として、ねじＰで固定部１６ｃを基台１０に固定(締結)する方法を想定する。なお図面上、各カバー構成体１６ｋ(固定部１６ｃ)は、その両端の２箇所をねじＰで固定(締結)しているが、３箇所或いはそれ以上の箇所を固定(締結)しても良い。
【００２２】
また、複数のカバー構成体１６ｋ相互の連結部分は、端部同士を突き当てるようにすれば良い。或いは、例えば図１(ｂ)に示すように一方にクランク状に折り返された係合部Ｌを構成し、連結するようにしても良い。これにより、当該連結部分において、外部からの異物(例えば、水、塵埃など)の浸入や、内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)の漏洩を防止することができる。
【００２３】
このように複数のカバー構成体１６ｋを基台１０に固定した状態において、各カバー構成体１６ｋの他側(駆動部６の他側)には隙間が構成される。この場合、ブラケット１２の一端１２ａを当該隙間に通して延出させて可動体２に接続することにより、可動体２と駆動部６とを相互に連結させることができる。なお、ブラケット１２の一端１２ａと可動体２との連結方法としては、例えばねじ止め、接着、溶接、嵌合など各種の方法を適用することができる。
【００２４】
以上、本実施の形態の移動装置によれば、カバー１６の側部のみを可動体２の移動方向に沿って所定間隔で基台１０に固定可能に構成したことにより、可動体２の移動距離に応じて駆動部６(ボールねじ６ａ)が長尺化した場合でも、カバー１６の自重による撓み量を小さくすることができる。即ち、従来では長尺のカバーの長手方向両端のみを固定する構成であったため、カバーの自重による撓み量が大きくなり、その大きな撓み量を考慮して装置の上下に余裕代を確保する必要上、テーブルの背Ｈを低く設定する(装置の高さ方向のコンパクト化を図る)には限界があった。しかしながら、本実施の形態では、カバー１６の側部を基台１０に固定する構成としたことにより、カバー１６の自重による撓み量を小さくすることができ、その結果、テーブルの背Ｈを低く設定することが可能となり、装置の高さ方向のコンパクト化を図ることができる。
【００２５】
また、本実施の形態によれば、複数のカバー構成体１６ｋを用意して並べるだけで、必要なだけ駆動部６の長尺化(例えば、ボールねじ６ａの全長の長尺化)に対応することができる。これにより、移動装置に対するカバー１６の組込及び固定作業が容易となり、その結果、移動装置の製造コストを大幅に削減することが可能となる。
更に、従来では、駆動部６の保守点検に際し、カバー全体を取り外さなければならなかったが、本実施の形態では、複数のカバー構成体１６ｋを部分的に取り外すことができるため、保守点検作業を容易に且つ効率的に行うことが可能となる。
【００２６】
また、従来では、駆動部６全体を覆うように比較的長尺の一体物のカバーの長手方向両端を固定しているため、当該固定のための空間を装置の長手方向両側に確保する必要があった。しかし、本実施の形態では、カバー１６の側部のみを基台１０に固定する構成としたことにより、従来のような無駄な空間を確保する必要が無いため、移動装置の高さ方向のコンパクト化と共に、長手方向のコンパクト化も同時に図ることが可能となる。
【００２７】
なお、上述した実施の形態では、移動装置を水平面上に位置付けた場合を想定しているが、例えば図１(ｃ)に示すように、水平面Ｍ１に対して垂直に立ち上げられた垂直壁Ｍ２に移動装置を固定する場合には、カバー１６(カバー構成体１６ｋ)の一側カバー部１６ａが水平面Ｍ１側に位置付けられるように固定するようにしても良い。
ここで、水平面Ｍ１に例えば液晶や半導体などの各種基板がセットされ、可動体２に例えば検査用ツールや製造用器具などが搭載される場合を想定すると、検査時や製造時に各種基板上に駆動部６内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)が落下する場合がある。この場合には、一側カバー部１６ａを水平面Ｍ１側に位置付けることにより、当該水平面Ｍ１への発塵(潤滑剤)の落下を一側カバー部１６ａで防止することができる。なお、駆動部６内部への異物(例えば、水、塵埃など)が浸入を重要視する装置構成であれば、当該移動装置の天地を逆転し、一側カバー部１６ａを上側(水平面Ｍ１とは反対側)に位置付ければ良い。
なお、本明細書及び請求の範囲でいう「上側カバー部」「一側カバー部」等の表現は、基台１０のガイドレール４ａの固定面１０ｃを基準とする。以下、移動装置を垂直壁Ｍ２に固定するいずれの場合も同様である。
【００２８】
また、上述した移動装置の他の構成例として、例えば図１(ｄ)に示すように、断面Ｌ字状のカバー１８を駆動部６の他側を覆うように増設しても良い。この構成例において、カバー１８は、駆動部６の他側を覆う他側カバー部１８ａと、他側カバー部１８ａを基台１０に固定する固定部１８ｃとを有する複数のカバー構成体１８ｋを備えている。なお、カバー構成体１８ｋは、上述したカバー構成体１６ｋと同様に、相互に着脱自在に連結可能に構成されている。また、各カバー構成体１６ｋは、その側部(固定部１８ｃ)を可動体２の移動方向に沿って所定間隔で基台１０に固定可能に構成されている。
【００２９】
この場合、上側カバー部１６ｂと他側カバー部１８ａとの間に隙間が構成されており、ブラケット１２の一端１２ａを当該隙間に通して延出させて可動体２に接続することにより、可動体２と駆動部６とを相互に連結させることができる。なお、ブラケット１２の一端１２ａと可動体２との連結方法としては、例えばねじ止め、接着、溶接、嵌合など各種の方法を適用することができる。また、固定部１８ｃを基台１０に固定する方法は、上述したカバー１６の固定部１６ｃと同様の方法を適用することができる。
【００３０】
このような構成によれば、２つのカバー16,18を用いたことにより、駆動部６の両側及び上側を同時に覆うことができるため、当該駆動部６への異物(例えば、水、塵埃など)の浸入や、駆動部６内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)の漏洩をより確実に防止することができる。この場合、水平面Ｍ１に対して垂直に立ち上げられた垂直壁Ｍ２に移動装置を固定する構成では、例えば図１(ｅ)に示すようにカバー１８を上側に位置付けても、或いは天地を逆転してカバー１８を水平面Ｍ１側に位置付けても駆動部６内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)の落下を防止することが可能となる。なお、他の効果は、上述した実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。
【００３１】
また、上述したカバー16,18において、各カバー構成体16k,18kの長さ、一側カバー部１６ａ及び他側カバー部１８ａの高さ、上側カバー部１６ｂの幅については特に説明しなかったが、これらは駆動部６の例えば大きさや形状に応じて任意に設定されるため、ここでは特に数値限定はしない。更に、各カバー構成体16k,18kの長さは、全て同一寸法に設定しても良いし、移動装置の長さや駆動部６の長尺の程度に応じて異なる長さのカバー構成体16k,18kを構成しても良い。
【００３２】
また、上述した実施の形態では、駆動部６を覆うためのカバー16,18を想定して説明したが、これに限定されることは無く、移動装置の他の構成(例えば、直動案内４)全体を覆うカバーを増設しても良い。なお、かかるカバーも側部のみを基台１０に固定するように構成されている。
【００３３】
第１の変形例として、例えば図２(ａ)には、カバー１６を有する移動装置が示されており、当該移動装置に設けられたカバー２０は、直動案内４を覆う案内カバー部２０ａと、案内カバー部２０ａを基台１０に固定する案内固定部(側部)２０ｂとを有する複数のカバー構成体２０ｋを備えている。なお、この構成例のカバー構成体２０ｋも上述したカバー構成体16k,18kと同様に、相互に着脱自在に連結可能に構成されており、直動案内４の長さに応じて所定数のカバー構成体２０ｋを互いに連結することで、直動案内４の全体を覆うことができる。
【００３４】
この場合、案内カバー部２０ａは、基台１０の側面から直動案内４を越えて延出し、その上部が可動体２側に折り返されているが、折り返さずに可動体２の両側に並列させても良い。なお、図面上、カバー構成体２０ｋは、２つの直動案内４を両側から覆うように２つ配置されているが、いずれか一方のみで構成しても良い。また、案内固定部２０ｂを基台１０に固定する方法は、上述したカバー16,18の固定部16c,18cと同様の方法を適用することができる。
【００３５】
このような構成によれば、カバー２０により直動案内４を外部から隔離することができるため、直動案内４の内部(例えば、ガイドレール４ａとスライダ４ｂとの間)への異物(例えば、水、塵埃など)の浸入を防止することができる。この結果、長期に亘って可動体２の移動安定性及び移動円滑性を一定に維持し続けることが可能となる。
また、カバー２０を設けたことで、駆動部６は、カバー１６やカバー２０で二重に覆われた構成となり、駆動部６内部への異物の浸入や、駆動部６から外部への発塵の漏洩をより確実に防止することが可能となる。
【００３６】
第２の変形例として、例えば図２(ｂ)に示すように、カバー16,18を有する移動装置に更にカバー２０を増設しても良い。なお、カバー２０の構成は、上述した第１の変形例(図２(ａ))と同様であるため、その説明は省略する。
このような構成によれば、駆動部６の両側をそれぞれ２つのカバー16,20及び18,20で二重に覆うことができるため、例えば図１(ｅ)に示すように移動装置を垂直壁Ｍ２に固定した場合でも、駆動部６及び直動案内４内部へ異物が浸入したり、駆動部６から水平面Ｍ１に発塵(潤滑剤)が落下することは無い。かかる効果は、移動装置の転地を逆転して固定しても同様である。なお、他の効果は、上述した第１の変形例と同様であるため、その説明は省略する。
【００３７】
第３の変形例として、例えば図２(ｃ)に示すように、カバー１８をカバー１６と同一形状に構成し、これらカバー16,18を駆動部６を挟んで両側に対向配置しても良い。この場合、カバー１６の上側カバー部１６ｂに対向して、カバー１８に上側カバー部１８ｂを増設する。そして、双方の上側カバー部16b,18bの間の隙間を通してブラケット１２の一端１２ａを延出させて可動体２に接続することにより、可動体２と駆動部６とを相互に連結させることができる。なお、ブラケット１２の一端１２ａと可動体２との連結方法としては、例えばねじ止め、接着、溶接、嵌合など各種の方法を適用することができる。
【００３８】
第４の変形例として、例えば図２(ｄ)に示すように、上述した第３の変形例の移動装置に更にカバー２０を増設しても良い。なお、カバー２０の構成は、上述した第１の変形例(図２(ａ))と同様であるため、その説明は省略する。
【００３９】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る移動装置について、図３(ａ)〜(ｃ)を参照して説明する。なお、本実施の形態はカバー１６(カバー構成体１６ｋ)の改良であり、他の構成は上述した第１の実施の形態(図１)と同一の構成である。このため、同一の構成には図面上で同一符号を付して、その説明は省略する。
【００４０】
図３(ａ)に示すように、本実施の形態のカバー１６(カバー構成体１６ｋ)において、上側カバー部１６ｂは、直動案内４と駆動部６を同時に覆うことができるように構成されている。この構成を実現するために、上側カバー部１６ｂの両側には、各直動案内４方向に所定量だけ突出した突出部１６ｄが設けられており、各直動案内４は、その上側が上側カバー部１６ｂの突出部１６ｄで同時に覆われる。この場合、可動体２の移動中に突出部１６ｄと接触しないように、可動体２には、逃げ部２ｇを構成することが好ましい。なお、逃げ部２ｇの大きさは、突出部１６ｄの突出量に応じて適宜変更することができる。
【００４１】
以上、本実施の形態によれば、上側カバー部１６ｂの両側に突出部１６ｄを設けることにより、直動案内４と駆動部６を同時に覆うことができる。この場合、直動案内４を覆うためのカバーを別途必要としないため、装置全体の部品点数を削減することができ、その結果、移動装置の製造コストを低減することが可能となる。なお、他の効果は、上述した第１の実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。
【００４２】
上述した実施の形態では、移動装置を水平面上に位置付けた場合を想定しているが、例えば図３(ｂ)に示すように、水平面Ｍ１に対して垂直に立ち上げられた垂直壁Ｍ２に移動装置を固定する場合には、カバー１６(カバー構成体１６ｋ)の一側カバー部１６ａが水平面Ｍ１側に位置付けられるように固定するようにしても良い。このような配置によれば、駆動部６内部からの発塵(例えば、ボールねじ６ａに塗布された潤滑剤など)が水平面Ｍ１に落下するのを防止することができる。この場合、駆動部６内部への異物(例えば、水、塵埃など)が浸入を重要視する装置構成であれば、当該移動装置の天地を逆転し、一側カバー部１６ａを上側(水平面Ｍ１とは反対側)に位置付ければ良い。
【００４３】
なお、本実施の形態の他の構成例としては、例えば図３(ｃ)に示すように、駆動部６の他側を覆うカバー１８(カバー構成体１８ｋ)を更に配置しても良い。この場合、カバー１８(カバー構成体１８ｋ)の構成や効果については、上述した第１の実施の形態(図１(ｄ))と同様であるため、その説明は省略する。また、本実施の形態の移動装置(図３(ａ),(ｃ))に例えば第１の変形例で説明したようなカバー２０(図２(ａ))を設けて、各直動案内４を覆うように構成しても良い。
また、図３(ｃ)のカバーの構成、或いは、図３(ａ),(ｃ)のカバーの構成に第１の変形例で説明したようなカバー２０を付加した構成のものを垂直壁Ｍ２に固定するようにしても良く、それらの天地を逆転した構成も適宜選択可能である。
【００４４】
なお、上述した第１及び第２の実施の形態では、カバー16,18,20を複数のカバー構成体16k,18k,20kから成るようにしたが、それぞれ１つの(単体の)カバー16,18,20として構成しても、側部を可動体２の移動方向に沿って複数箇所で基台１０に固定することにより、撓みを抑制することができるため、そのようにしても良い。
また、上述した第１及び第２の実施の形態では、ボールねじ６ａとナット６ｂとの組み合わせから成る駆動部６を想定したが、これに限定されることは無く、可動体２を直動案内４に沿って移動させることができれば、任意の駆動機構(例えば、ベルト駆動、リニアモータ、エアシリンダなど)を駆動部６として適用することが可能である。
【００４５】
その一例としてベルト駆動の駆動部６では、直動案内４に沿って走行するベルトを基台１０に配置し、当該ベルトと可動体２とを所定の連結部材で連結する。これにより、ベルトを走行させると、これに従って連結部材と共に可動体２を直動案内４に沿って移動させることができる。
【００４６】
また、リニアモータの駆動部６では、例えば可動体２の下面に例えば３相のコイルを装着する。そして、基台１０の表面(コイルに対向する面)をステータとして構成し、ここに複数の永久磁石を可動体２の移動方向に沿って所定間隔で配列する。この場合、複数の永久磁石は、隣り合う永久磁石の磁極(Ｎ極とＳ極)が交互に並ぶように配列する。これにより、コントローラから３相のコイルに順次電流を流して、各コイルの磁極をＳ極またはＮ極に変えると、その際の磁極と永久磁石の磁束とが反応することにより、フレミングの左手の法則に従って可動体２を直動案内４に沿って移動させることができる。
また、上記各実施の形態では、直動案内として転動体を介在して成る転がり案内を用いたが、これに限らず、例えば静圧軸受を用いた直動案内など他のものも使用可能である。
【００４７】
また、上述したカバー16,18,20の材質については、移動装置の使用目的や使用環境に応じて、任意の材料(金属材料、絶縁材料、樹脂材料、木材など)を適用することができるため、ここでは特に限定しない。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】(ａ)は、本発明の第１の実施の形態に係る移動装置に適用したカバーの構成を部分的に切断して示す斜視図、(ｂ)は、複数のカバー構成体相互を連結するための構成例を示す断面図、(ｃ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図であって、移動装置を垂直壁に固定した構成例を示す断面図、(ｄ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図であって、移動装置の他の構成例を示す断面図、(ｅ)は、同図(ｄ)の移動装置を垂直壁に固定した構成例を示す断面図。
【図２】(ａ)は、本発明の第１の変形例に係る移動装置の構成例を示す断面図、(ｂ)は、本発明の第２の変形例に係る移動装置の構成例を示す断面図、(ｃ)は、本発明の第３の変形例に係る移動装置の構成例を示す断面図、(ｄ)は、本発明の第４の変形例に係る移動装置の構成例を示す断面図。
【図３】(ａ)は、本発明の第２の実施の形態に係る移動装置に適用したカバーの構成例を示す断面図、(ｂ)は、同図(ａ)の移動装置を垂直壁に固定した構成例を示す断面図、(ｃ)は、移動装置の他の構成例を示す断面図。
【図４】(ａ)は、従来使用例のカバーが適用された移動装置の平面図、(ｂ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図、(ｃ)は、従来使用例のカバーの斜視図、(ｄ)は、従来使用例のカバーが撓んだ状態を示す斜視図。
【図５】(ａ)は、従来使用例の他のカバーが適用された移動装置の平面図、(ｂ)は、同図(ａ)のＸ−Ｘ線に沿う断面図、(ｃ)は、従来使用例の他のカバーの斜視図、(ｄ)は、従来使用例のカバーが撓んだ状態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４９】
２ 可動体
４ 直動案内
６ 駆動部
１０ 基台
16,18 カバー
16k,18k カバー構成体
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動体を所定方向に案内する複数の直動案内と、その複数の直動案内の間にあって直動案内に沿って可動体を移動させる駆動部とが基台に設けられた移動装置であって、
直動案内又は駆動部、或いは、直動案内及び駆動部の双方を覆うカバーが可動体の移動方向に沿って設けられており、
カバーは、その側部を可動体の移動方向に沿って複数箇所で基台に固定可能に構成されていることを特徴とする移動装置。
【請求項２】
カバーは、相互に着脱自在に連結可能な複数のカバー構成体を備えて構成されており、それぞれのカバー構成体は、その側部を可動体の移動方向に沿って所定間隔で基台に固定可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項３】
カバー構成体は、少なくとも駆動部の一側を覆う一側カバー部と、駆動部の上側を覆う上側カバー部と、一側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、カバー構成体の他側に構成された隙間を通して相互に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の移動装置。
【請求項４】
カバー構成体は、少なくとも駆動部の一側を覆う一側カバー部と、駆動部及び直動案内の上側を同時に覆う上側カバー部と、一側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、カバー構成体の他側に構成された隙間を通して相互に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の移動装置。
【請求項５】
カバー構成体は、駆動部の他側を覆う他側カバー部と、他側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、上側カバー部と他側カバー部との間に構成された隙間を通して相互に連結されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の移動装置。
【請求項６】
カバー構成体は、少なくとも直動案内の一側を覆う案内カバー部と、案内カバー部を基台に固定する案内固定部とを有していることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の移動装置。
【請求項１】
可動体を所定方向に案内する複数の直動案内と、その複数の直動案内の間にあって直動案内に沿って可動体を移動させる駆動部とが基台に設けられた移動装置であって、
直動案内又は駆動部、或いは、直動案内及び駆動部の双方を覆うカバーが可動体の移動方向に沿って設けられており、
カバーは、その側部を可動体の移動方向に沿って複数箇所で基台に固定可能に構成されていることを特徴とする移動装置。
【請求項２】
カバーは、相互に着脱自在に連結可能な複数のカバー構成体を備えて構成されており、それぞれのカバー構成体は、その側部を可動体の移動方向に沿って所定間隔で基台に固定可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項３】
カバー構成体は、少なくとも駆動部の一側を覆う一側カバー部と、駆動部の上側を覆う上側カバー部と、一側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、カバー構成体の他側に構成された隙間を通して相互に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の移動装置。
【請求項４】
カバー構成体は、少なくとも駆動部の一側を覆う一側カバー部と、駆動部及び直動案内の上側を同時に覆う上側カバー部と、一側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、カバー構成体の他側に構成された隙間を通して相互に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の移動装置。
【請求項５】
カバー構成体は、駆動部の他側を覆う他側カバー部と、他側カバー部を基台に固定する固定部とを有しており、可動体と駆動部とは、上側カバー部と他側カバー部との間に構成された隙間を通して相互に連結されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の移動装置。
【請求項６】
カバー構成体は、少なくとも直動案内の一側を覆う案内カバー部と、案内カバー部を基台に固定する案内固定部とを有していることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の移動装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００６−２８３７９２（Ｐ２００６−２８３７９２Ａ）
【公開日】平成１８年１０月１９日（２００６．１０．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１００９１０（Ｐ２００５−１００９１０）
【出願日】平成１７年３月３１日（２００５．３．３１）
【出願人】（０００００４２０４）日本精工株式会社 (8,378)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１０月１９日（２００６．１０．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年３月３１日（２００５．３．３１）
【出願人】（０００００４２０４）日本精工株式会社 (8,378)
【Ｆターム（参考）】
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