空間光変調器および反射屈折アナモルフィック光学系を用いる単一パス画像形成システム
【課題】一次元の高輝度ライン画像を形成するために、比較的低輝度の二次元変調光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるべく反射屈折アナモルフィック光学系を利用した画像形成システムを提供する。
【解決手段】単一パス画像形成システム100は、光源110および空間光変調器120を利用して二次元変調光場119Bを発生し、かつこの変調光を反射屈折アナモルフィック光学系130を用いてアナモルフィックに画像化しかつ集中させ、画像形成面162上へ高輝度の略一次元ライン画像SLを発生する。反射屈折アナモルフィック光学系130は、変調光場119Bを工程方向へ画像化しかつ集中させる。ライン画像SLは、画像形成面162から湿し溶液を気化するに足るエネルギーを用いて発生される。本画像形成システム100は、ライン画像の全ての成分ピクセル画像を同時に発生し、よって、1200dpi以上の能力を有する印刷装置を容易にする。
【解決手段】単一パス画像形成システム100は、光源110および空間光変調器120を利用して二次元変調光場119Bを発生し、かつこの変調光を反射屈折アナモルフィック光学系130を用いてアナモルフィックに画像化しかつ集中させ、画像形成面162上へ高輝度の略一次元ライン画像SLを発生する。反射屈折アナモルフィック光学系130は、変調光場119Bを工程方向へ画像化しかつ集中させる。ライン画像SLは、画像形成面162から湿し溶液を気化するに足るエネルギーを用いて発生される。本画像形成システム100は、ライン画像の全ての成分ピクセル画像を同時に発生し、よって、1200dpi以上の能力を有する印刷装置を容易にする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は画像形成システム、および特に高速画像形成のために高エネルギー光源を利用する単一パス画像形成システムに関する。
【背景技術】
【0002】
レーザ画像形成システムは、電子写真印刷、マスク付きおよびマスクレス・リソグラフィ・パターニング、表面のレーザダル加工およびレーザ切断機などの用途において、画像を発生させるために広範囲に渡って用いられる。レーザプリンタは、ポリゴンスキャナまたはガルボスキャナを利用することにより工程方向に対して直角にレーザを掃引するラスタ光学スキャナ(ROS:raster optical scanner)を用いることが多いが、切断用途では、レーザ画像形成システムは、フラットベッド型x−yベクトルスキャニングを用いる。
【0003】
レーザROS手法の制約のうちの1つは、画像解像度とライン画像の横方向の広がりとの間に設計上のトレードオフが存在することである。これらのトレードオフは、ライン画像の両極端における画像面の湾曲等の光学性能の制限から生じる。実際には、単一のガルバノメータまたはポリゴンスキャナを用いて、一列20インチの画像形成幅全体で1200dpiの解像度を達成することは極めて困難である。さらに、単一のレーザヘッドによる電動式x−yフラットベッドアーキテクチャは、広範囲の領域にとっては理想的であるが、最高速の印刷工程にとっては時間がかかりすぎる。
【0004】
こうした理由により、広い幅の電子写真法にとって、最大20インチ幅までのモノリシックの発光ダイオード(LED:light emitting diode)アレイには、画像形成上の利点がある。残念ながら、現在のLEDアレイは、ピクセル当たり10ミリワットの出力レベルを提供することができるだけであり、したがって電子写真法などの一部の非熱画像形成用途に役立つだけである。さらに、LEDバーは、経年劣化差および性能差を広げる。単一のLEDが故障すると、LEDバー全体を差し換える必要がある。他の多くの画像形成またはマーキング用途には、より高い出力が必要である。例えば、レーザダル加工、または切断用途は、10W〜100Wの範囲の出力レベルを必要とすることがある。したがって、LEDバーをこれらの高出力用途に用いることはできない。また、ずらして配置された2行以上のヘッドを用いることなくLEDをより高速度または1200dpiを上回る解像度にまで拡張することも困難である。
【0005】
100ミリワット〜100ワットの範囲にある、より高出力の半導体レーザアレイは存在する。ほとんどの場合、これらは全幅で大略1cmのレーザ・ダイオード・バーなどの1Dアレイ形式で存在する。高出力向け光源の別のタイプは、2D面発光VCSELアレイである。しかしながら、これらの高出力レーザ技術のいずれも、最隣接間のレーザピッチを600dpi以上の画像形成解像度に適合可能にはしない。加えて、これらの技術のいずれも、各レーザの個々の高速度制御を可能にはしない。したがって、高出力オーバヘッド投影画像形成システムなどの高出力用途は、Texas Instruments社のDLP(商標)チップまたは液晶アレイなどの空間光変調器と組み合わせたレーザなどの高出力源を用いる場合が多い。
【0006】
先行技術は、画像形成システムが、並んでアレイ構成にされれば重なり合った投影画像を形成すべく使用されることが可能であり、この場合、重なり合いは、複数の画像パターンをつなぎ合わせて1つの途切れのないパターンにするソフトウェアを用いてより大きい画像を形成することができることを示している。このことは、PCボード製造並びにディスプレイシステム用などの、多くのマスクレス・リソグラフィ・システムにおいて示されてきた。従来、高解像度用途向けのこのようなアレイ構成の画像形成システムは、連続的な高解像度画像を互いに繋ぎ合わせるために、2行の画像形成サブシステムまたは二重通過スキャン構成の何れかを用いなければならないように配列されていた。これは、サブ光学系の寸法上、ハードウェアに物理的制約があるためである。画像形成する二重の行構成は、依然として、基板を一方向に移動させる運搬機を用いて途切れなく繋ぎ合されることが可能であるが、このようなシステムは、大量の追加のハードウェア設置場所および各画像形成行間の精度調整を必要とする。
【0007】
マスクレスリソグラフィ用途の場合、画像形成されるフォトレジストの露光と現像との間の時間は決定的に重要とは言えず、したがって単一のラインに沿ってフォトレジストに画像を形成しても、すぐに露光する必要はない。しかしながら、露光と現像との間の時間は、決定的に重要となることがある。例えば、電子写真式レーザ印刷は、時間とともに自然に減衰する電荷を消去することによって感光体に画像を形成することに基づいている。したがって、露光と現像との間の時間は時不変性ではない。このような状況では、露光システムが単一のラインを露光する、または一表面の間隔が狭い幾つかの隣接する高解像度ラインを一度に露光することが望ましい。
【0008】
電子写真式印刷用途に加えて、露光と現像との間の時間が決定的に重要である別のマーキングシステムが存在する。一例は、当初Carleyにより「FOUNTAIN SOLUTION IMAGE APPARATUS FOR ELECTRONIC LITHOGRAPHY(電子リソグラフィ用の湿し水画像装置)」と題する米国特許第3,800,699号明細書において開示された、レーザベースの可変データ・リソグラフィ・マーキング技法である。標準的なオフセットリソグラフィ印刷では、疎水性の画像形成領域および親水性の非画像形成領域を有する静的な画像形成プレートが作成される。水ベースの湿し溶液の薄層はプレートを選択的に湿潤し、かつ油ベースのインクを選択的に拒絶する撥油層を形成する。米国特許第3,800,699号明細書に開示された可変データ・リソグラフィ・マーキングでは、レーザを用いて湿し溶液をパターン切除し、可変画像領域をオン・ザ・フライで形成することができる。このようなシステムでは、湿し溶液の薄層も、周囲空気への圧力の自然な部分的気化が原因で時間とともに厚さが低減する。したがって、画像を形成するレーザ切除ステップのどの時点でも湿し液の膜厚が同じであるように、単一の画像形成パスステップにおいて単一の連続的な高出力レーザ画像形成ラインパターンを形成することも効果的である。しかしながら、大部分のアレイ構成の高出力高解像度画像形成システムの場合、ハードウェアおよび空間光変調器を囲むパッケージングは、通常、途切れのない連続的なラインパターンの画像形成を妨げる。さらに、ダル加工、リソグラフィ、コンピュータ・トゥ・プレート製作、広領域型抜きまたは熱ベース印刷もしくは他の新規な印刷用途などの、レーザ画像形成の多くの領域にとって必要なものは、20インチを越える広い工程幅に渡って拡張可能であると同時に600dpi以上の達成可能解像度、1200dpi以上のピクセルポジショニング解像度またはアドレス可能度を有しかつ単一パスで高解像度、高速度の画像形成を可能にする、1ワットレベルを十分に上回る高い総光パワーを有するレーザベースの画像形成技法である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は、画像形成面上で工程横断(例えば、水平)方向に位置合わせされる略一次元の高輝度ライン画像を形成するために、比較的低輝度の二次元変調光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるべく反射屈折アナモルフィック光学系を利用する画像形成システムに関する。二次元変調光場は、ライン画像の各ドット様ピクセル画像部分が工程(例えば垂直)方向へ拡張される「延伸された」ライン画像を効果的に形成する低輝度の光部分で構成される。低輝度の変調光場を画像化しかつ集中させるべく反射屈折アナモルフィック光学系をこのように利用することは、ライン画像の全体長さに沿った高い合計光強度(即ち、約数百ワット/cm2オーダーの束密度)の同時的発生を容易にし、これにより、ライン画像を構成するあらゆるドット様ピクセル画像部分が同時に発生される(即ち、任意の所定の瞬間にライン画像の1点へ高出力を印加するだけのラスタリング系と対照的)。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一態様によれば、反射屈折アナモルフィック光学系は、一次元ライン画像が画像形成面上へ投射されるように、動作可能式に位置合わせされかつ配置される1つまたは複数の円柱/非円柱レンズおよび1つまたは複数の円柱/非円柱鏡を利用して二次元変調光場を工程方向に画像化しかつ集中させる。1つまたは複数の円柱/非円柱鏡を利用して画像形成面上へ変調光を工程方向に集中させることは、工程横断方向に全屈折アナモルフィック光学系によって達成される可能性のあるものより低いレベルの歪および矢状像面湾曲をもたらし、これにより、正方形または長方形の二次元変調光場の画像形成がより容易にされる。ある実施形態では、二次元変調光場を工程横断方向に拡張するために(即ち、ライン画像の工程横断方向の幅が二次元変調光場の工程横断方向の幅より広くなるように)円柱/非円柱レンズも利用される。工程横断方向沿いの低減された歪および低減された矢状像面湾曲で、変調光場を工程横断方向に拡張しかつ同時的に変調光場を工程方向に集中させることにより、本発明は、例えば単一パス高解像度高速印刷用途に使用されることが可能な高信頼かつ高出力の画像形成システムを提供する。
【0011】
本発明の一実施形態によれば、反射屈折アナモルフィック光学系は、少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子を含む工程横断サブ光学系と、少なくとも1つの円柱/非円柱鏡素子を含む工程方向サブ光学系とを含む。工程横断サブ光学系は、入力される二次元光場と工程方向サブ光学系との間に配置され、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズ素子は、二次元変調光場を工程横断方向に画像化する働きをする。特有の代替実施形態では、工程方向サブ光学系は、所望される工程横断画像形成を達成するように配列される二重レンズ素子または三重レンズ素子の何れかを含む。この配列は、略無制限の長さのスキャンラインを有する集合体を生成するために隣接する光学系と結合される(重複領域といっしょに「繋ぎ合わされる」または混ぜ合わされる)ことが可能な幅広のスキャンラインを発生することを容易にする。工程横断サブ光学系と二次元光場源との間にはコリメートする工程横断方向の円柱/非円柱視野レンズが配置され、かつ二重または三重レンズ素子間に開口停止装置を位置決めすることを有効化するように位置合わせされ、これにより、少数の単体レンズを用いる収差の効率的な補正が有効化され、かつ二重/三重レンズ素子のサイズが最小化される。工程サブ光学系は、工程横断サブ光学系と画像形成面(即ち、サブ光学系出力)との間に位置決めされ、かつ光場を工程方向に画像化しかつ集中させる単一の工程方向円柱/非円柱鏡または二重の工程方向円柱/非円柱鏡の何れかを含む。
【0012】
本発明の一実施形態によれば、本画像形成システムは、均質光発生器および空間光変調器を利用して二次元変調光場を発生しかつ反射屈折アナモルフィック光学系へ投影する。ある特有の実施形態によれば、均質光発生器は、均質な光場を形成するために少なくとも1つの低出力光源と、この光源により発生される光ビームを均質化する光ホモジナイザとを用いる。空間光変調器は、各光変調素子が対応する低輝度均質光部分を受け入れ、かつ受け入れたその均質光部分を反射屈折アナモルフィック光学系へと方向づける(例えば、通す、または反射する)、または受け入れたその光部分を反射屈折アナモルフィック光学系へ届かないように妨げる(例えば、阻む、または遠方へ方向づける)、の何れかであるように均質な光場内に位置合わせされる、個々に構成可能な光変調素子の二次元アレイを含む。均質光を、アナモルフィックに投射し、かつ集中させる前にこのようにして変調することにより、本発明は、任意の所定の瞬間にライン画像の1点に高出力を印加するだけのラスタリング系とは対照的に、画像形成領域全体に沿って高出力ライン画像を同時に生成することができる。
【0013】
ある実施形態において、反射屈折アナモルフィック光学系は、画像形成面にライン画像を形成する集中された光部分が光場を形成する個々の光部分の光強度の少なくとも2倍の光強度を有するように、二次元光場を形成する変調光部分を工程方向へ画像化しかつ集中させる。比較的低出力の均質光は、多数の変調素子上に広がり、かつ単に画像形成面において高輝度を達成するだけであることから、本発明は、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、電子光学回折変調器アレイまたは熱光学吸収体素子アレイ等の低コストである市販の空間光変調デバイスを用いて製造されることが可能である。即ち、ホモジナイザを利用して、拡張された二次元領域に亘って高エネルギレーザ光を広げることにより、所定の領域に亘る(例えば、各変調素子の領域に亘る)光の強度(ワット/cc)は、向上された出力調整ケイパビリティを有する空間光変調器を形成すべく低コストの光学ガラスおよび反射防止コーティングを利用できるように、受け入れ可能なレベルまで低減される。また、光を一様に拡散させることも、点欠陥(例えば、微視的塵粒またはかき傷)の全光透過損失に与える負の画像形成効果を排除する。
【0014】
本発明の一態様によれば、空間光変調器は、二次元アレイに配列される複数の光変調素子と、各変調素子の光変調構造体が予め決められたライン画像データに従って(第1の)「オン」変調状態と(第2の)「オフ」変調状態との間で調整可能であるように、変調素子を個々に制御するためのコントローラとを含む。各光変調構造体は、均質光の関連部分をその変調状態に従って通す、または妨げる/配向し直すように配置される。変調素子のうちの1つが変調「オン」状態にあるとき、変調構造体は、関連するその変調光部分を対応する既定方向へ方向づける(例えば、素子は関連する光部分を反射屈折アナモルフィック光学系へと通すか、反射する)。逆に、変調素子が変調「オフ」状態にあるとき、受信された関連する光部分は、反射屈折アナモルフィック光学系へと通ることを妨げられる(例えば、光変調構造体は関連する光部分を吸収/阻止する、または関連する光部分を反射屈折アナモルフィック光学系から遠方へ反射する)。
【0015】
本発明の一実施形態によれば、空間光変調器の光変調素子は行および列に配列され、反射屈折アナモルフィック光学系は、各列から受信される光部分を細長いライン画像の関連するピクセル画像領域上へ集中させるように配置される。即ち、所定の列における(かつ変調「オン」状態にある)全ての光変調素子から受信される集中された変調光部分は、結果的に生じる画像形成「ピクセル」が、「オン」状態にある所定の列における全ての光変調素子からの複合光であるように、反射屈折アナモルフィック光学系によってライン画像の対応する同じ画像形成領域上へ方向づけられる。本発明の主要な特徴は、各光変調素子により通過される光部分がアナモルフィック光学系によって走査画像へ送達される1ピクセルのバイナリデータを表し、よって、ライン画像を作り上げる各ピクセル画像の明るさは関連する列内の「オン」状態にある素子の数によって制御される、という理解に存する。したがって、各列内に配置される複数の変調素子を個々に制御することにより、かつ各列によって通過される光を対応する画像形成領域上へ集中させることにより、本発明は、一定の(変調されない)均質光を用いるグレースケール・ケイパビリティを有する画像形成システムを提供する。さらに、各列における「オン」ピクセルグループの位置が列の上下に調整されれば、この配列は、ボウ(即ち、直線の「スマイル」)およびスキューのソフトウェアによる電子補正を容易にする。
【0016】
本発明の特有の一実施形態によれば、空間光変調器は、パッケージされた形態でデジタル光プロセッサと称される、Texas Instruments社のDLP(商標)チップを備える。この半導体チップ自体は、デジタル・マイクロミラー・デバイスまたはDMDと称される場合が多い。このDMDは、基板上に配置される微小電気機械式(MEM)ミラー機構の二次元アレイを含み、各MEMミラー機構は、コントローラにより発生される関連の制御信号に従って、第1および第2の傾斜位置間で移動可能式に支持されるミラーを含む。空間光変調器およびアナモルフィック光学系は、各ミラーが、それが第1の傾斜位置にあるときは、受信されるその関連する光部分を反射屈折アナモルフィック光学系へと反射し、かつ第2の傾斜位置にあるときは、受信される関連の光部分をアナモルフィック光学系から遠方にビームダンプへ向けて反射するように、折り畳まれた配列で位置合わせされる。任意選択のヒートシンクは、第2の傾斜位置にビームダンプへ向けて配置されたミラーからの光部分を受信するように、空間光変調器に相対して固定的に位置合わせされる。コンポーネントの各々を固定された相対位置に保持するために利用されるフレームは、任意選択である。反射式DMDベースの画像形成システムの利点は、折り畳まれた光路配列が、システム設置面積の小型化を容易にすることにある。
【0017】
本発明による別の特有の実施形態によれば、DMD式空間光変調器上へ方向づけられる光源からの均質光は、画像形成ドラムシリンダ上へ方向づけられ、この場合、ドラムシリンダの外側(画像形成)表面にはダンピング(湿し)溶液がコーティングされ、かつダンピング溶液は、インク供給構造体の下を通過する前に反射屈折アナモルフィック光学系からの集中された変調光を用いて選択的に気化される。DMD式空間光変調器は、MEMミラー機構の予め決められたグループが(第1の)時間周期の間に関連する画像ピクセルデータ部分のグレースケール値に従って起動され、かつ結果的に生じる変調光が、ドラム外面の細長い走査領域から湿し溶液を除去することによりライン画像を発生させるべく先に述べたようにアナモルフィック光学系によって画像化されかつ集中されるように構成される。続いて、ドラムシリンダが回転して表面領域がインク源の下を通過すると、露出された表面領域上へインク材料が置かれてインクによる外観が形成される。さらなる回転によってインクによる外観が転写ポイントを通過すると、インク材料と表面領域との接着によりインクの外観が印刷媒体へ転写され、印刷媒体上へ印刷されたインク内に「ドット」が生じる。ドラムシリンダがさらに回転すると、表面領域は、後続の露光/印刷サイクル用に表面領域を準備すべく残留インクおよび湿し溶液材料を除去するクリーニング機構の下へ移動する。
【0018】
本発明のこれらの、および他の特徴、態様および優位点は、以下の説明、添付の請求の範囲および添付の図面との関連においてより良く理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】本発明の例示的な一実施形態による、反射屈折アナモルフィック光学系を利用する単純な画像形成システムを示す上側面斜視図である。
【図2】図1の画像形成システムの一部をさらに詳細に示す部分上側斜視図である。
【図3】本発明の一実施形態による、画像形成動作の間の図1の画像形成システムを示す略側面図である。
【図4A】本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成装置により利用される反射屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図4B】本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成装置により利用される反射屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【図5】本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成システムにより利用されるDMD式空間光変調器の一部を示す斜視図である。
【図6】図5のDMD式空間光変調器に属する光変調素子をさらに詳細に示す分解斜視図である。
【図7A】動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図7B】動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図7C】動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図8】本発明の別の特有の実施形態による、折り畳まれて配置されたDMD式空間光変調器および反射屈折アナモルフィック光学系を利用する画像形成システムを示す斜視図である。
【図9】画像形成動作の間の図8の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10A】画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10B】画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10C】画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図11】本発明の別の特有の実施形態による、反射屈折アナモルフィック光学系を含む画像形成システム示す略平面図である。
【図12】動作の間の図11の画像形成システムを示す略側面図である。
【図13】本発明の別の特有の実施形態による、反射屈折アナモルフィック光学系を含む別の画像形成システム示す略平面図である。
【図14】動作の間の図13の画像形成システムを示す略側面図である。
【図15】本発明の別の特有の実施形態による、折り畳まれて配置されたDMD式空間光変調器およびマルチミラー反射屈折アナモルフィック光学系を利用する画像形成システムを示す斜視図である。
【図16】本発明の別の特有の実施形態による、マルチミラー反射屈折アナモルフィック光学系を含む画像形成システム示す略平面図である。
【図17】動作の間の図16の画像形成システムを示す略側面図である。
【図18】本発明の別の特有の実施形態による、マルチミラー反射屈折アナモルフィック光学系を含む別の画像形成システム示す略平面図である。
【図19】動作の間の図18の画像形成システムを示す略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
図1は、画像データIDに応答して二次元変調光場119Bを発生しかつ画像形成面162(例えば、ドラムシリンダ160の表面)上に略一次元のライン画像SLを発生させるべく二次元変調光場119Bを画像化しかつ集中させるために利用される、単純化された単一パス画像形成システム100を示す。システム100は、均質光発生器110を利用して、空間光変調器120上へ投射される二次元均質光場119Aを発生し、空間光変調器120は、画像データIDのうちの1ラインに従って二次元均質光場119Aを変調しかつ反射屈折アナモルフィック光学系130上へ二次元変調光場119Bを送信(投射)するように制御される。反射屈折アナモルフィック光学系130は、画像形成面162上に略一次元ライン画像SLが発生されるように変調光場119Bを画像化しかつ集中させる。
【0021】
図2および図3は、光源110および変調器120を含む、ライン画像SLの発生の間のシステム100の一部を示す。関連する光路は、説明を目的として「広げられた」形式で示されている。
【0022】
以下で述べる例示的な画像形成プロセスは、デジタル画像データ(「画像データファイルID」)を光パターンより成る対応する二次元画像へ変換することを含む。画像形成動作の「画像形成段階」(部分)は、二次元画像の単一ライン(「ライン画像」)を関連するラインデータ(「ライン画像データ部分」)を用いて発生させることを含む。デジタル画像データは、既知の技法に従って格納される。このような画像形成における画像データファイルIDは、図2の下部ではコントローラ180へ送信されて描かれていて、コントローラ180は、画像データファイルIDを一度に1ラインずつ変調器120へ送信する。画像データファイルIDはLID1からLIDnまでの複数のライン画像データグループで構成され、各ライン画像データグループは、関連する一次元ライン画像を集合的に形成する複数のピクセル画像データ部分を含む。例えば、ライン画像データグループLID1は4つのピクセル画像データ部分PID1からPID3を含み、その各々は対応するピクセル画像の色および/またはグレースケール特性に対応する数ビットの画像データを含む。
【0023】
均質光発生器110は、定エネルギーレベル(束密度)を有する連続的な均質光118Aを用いて均質光場119Aを発生する。均質光発生器110は、適切なキャリア111上へ配置される発光素子(レーザまたはLED)115を含む光源112と、光源112と変調器120との間に配置される光均質化光学系(ホモジナイザ)117とを備える。ホモジナイザ117は、光ビーム116を拡大された二次元領域に亘って均質化する(即ち、混合して拡散する)ことにより均質光118を発生し、かつ光ビーム116の発散を減らす。均質光源110は、直線に沿って配置される複数の端面発光レーザダイオードによって、または二次元アレイに配列される複数の垂直キャビティ面発光レーザ(VCSEL)によって実装される。
【0024】
変調器120は均質光場119A内に配置され、かつ変調素子アレイ122と、制御回路126とを含む。空間光変調器120は均質光118Aの一部を変調して、均質光場119Aを、反射屈折アナモルフィック光学系130を介して画像形成面162の細長い画像形成領域167上へ投射される二次元変調光場119Bへ変換する。ある実際的な実施形態では、このような空間光変調器が市販されていて、典型的には、光変調素子(ピクセル)が約5〜20ミクロン間隔で存在する1024x768(SVGA解像度)またはこれより高い解像度の二次元(2D)アレイサイズを有する。
【0025】
空間光変調器120の変調素子アレイ122は、支持構造体124上で4水平行および3垂直列C1〜C3内に配置される素子125−11から125−34までを含む。素子125−11から125−34までは、均質光場119A内に、各変調素子の光変調構造体(例えば、鏡、回折素子または熱光学吸収体素子)が均質光118Aの対応部分を受け入れるように配置され、かつ受け入れた対応する均質光部分を予め決められた方向に沿って反射屈折アナモルフィック光学系130へと選択的に通す、または配向し直すように位置合わせされる(例えば、変調素子125−11は受け入れる光部分118A−11を通すが、変調素子125−21は受け入れる光部分118A−21が反射屈折アナモルフィック光学系130へ通ることを阻止/再配向/防止する)。
【0026】
制御回路126は、画像形成動作の各画像形成段階の間に1つのライン画像データ部分(例えば、ライン画像データ部分LIN1)を格納する制御(メモリ)セル128−11から128−34までのアレイを含む。ある所定の時間において、ライン画像データ部分LIN1はコントローラ180から制御回路126へ送信され、かつライン画像データ部分LIN1は、画像形成面162の細長い画像形成領域167内に対応するライン画像SLを発生させるために用いられる。これに続く画像形成段階では、第2のライン画像データ部分が制御回路126へ書き込まれ(即ち、ライン画像データ部分LIN1が上書きされ)、画像形成面162の別の細長い画像形成領域内に対応する第2のライン画像(不図示)が発生される。このプロセスでは、ライン画像SLの発生後かつ第2のライン画像の発生より前に、画像形成面162を工程(Y軸)方向へ移動(平行移動)させる必要があることに留意されたい。
【0027】
制御回路126の各メモリセル128−11から128−34は、1つのデータビット(1または0)を格納し、各光変調素子125−11から125−34は各々、変調「オン」状態と変調「オフ」状態との間を切換すべく関連するメモリセル128−11から128−34に格納されるデータビットによって個々に制御可能である。所定の変調素子の関連するメモリセルが論理値「1」を格納していれば、この所定の変調素子は「オン」状態に入るように制御され、これにより、受信される関連の光部分がアナモルフィック光学系130へと通される。例えば、変調素子125−11は、メモリセル128−11に格納されている論理「1」に応答して「オン」であり(例えば、透過性にされ)、これにより、受信される光部分118A−11は変調器120を介してアナモルフィック光学系130へと通される。逆に、変調素子125−21は、メモリセル128−21に格納されている論理「0」に応答して「オフ」にされ(例えば、不透明にされ)、これにより、受信される光部分118A−21は阻止される。変調素子125−11から125−34を画像データIDに従って選択的に「オン」または「オフ」にすることにより、変調器120は連続的な均質光118Aの一部を変調し、反射屈折アナモルフィック光学系130上へと配向させる。
【0028】
空間光変調器120からアナモルフィック光学系130へと通過される、または方向づけられる均質光118Aの一部(例えば、均質光部分118A−24)は、個々には変調光部分と称され、かつ集合的には変調光118Bまたは二次元変調光場119Bと称される。
【0029】
図1において、反射屈折アナモルフィック光学系130は、光場119Bを細長い画像形成領域167上へアナモルフィックに画像化しかつ集中させる働きをする。具体的には、反射屈折アナモルフィック光学系130は、二次元変調光場119Bを工程横断(X軸)方向へ画像化するための工程横断サブ光学系133と、二次元変調光場119Bを工程(Y軸)方向へ画像化しかつ集中させるための工程方向サブ光学系137とを含む。サブ光学系133および137は各々、円柱/非円柱レンズ素子134および円柱/非円柱鏡素子138として示されているが、これらのサブ光学系は各々、典型的には2つ以上の光学素子を含む。レンズ素子134は、変調器120から二次元変調光場119Bを受け入れるように位置合わせされ、かつ二次元変調光場119Bを工程横断方向へ画像化する。サブ光学系133からサブ光学系137へ通過される処理光は、画像形成光119C1である。サブ光学系133は、ライン画像SLの工程横断方向の幅W2が二次元変調光場119Bの元の幅W1に等しいか大きいように、変調光を画像化する。鏡素子138は、サブ光学系133から画像形成光119C1を受け入れるように位置合わせされ、画像形成光119C1を工程方向に集中させる。サブ光学系137から画像形成面162へ通される画像化されかつ集中された光は、画像形成集中光119C2である。変調光場119Bの集中の度合いは、工程横断方向沿いよりも工程方向沿いの方が高く、これにより、受け入れられる変調光部分は、画像形成面162上で工程方向に広がる略一次元のライン画像SLを形成すべくアナモルフィックに集束される。即ち、ライン画像SLの工程方向の高さH2は、二次元変調光場119Bの元の高さH1より実質的に(例えば、3分の1以上)小さい。工程方向の歪に起因して、二次元光場119Bが工程方向よりも工程横断方向へ遙かに広い画像形成システムについては、反射屈折アナモルフィック投影光学系の方が適する。鏡素子138を利用することにより、反射屈折アナモルフィック光学系130は、全屈折アナモルフィック光学系を用いる場合に示され得るものよりも低レベルの工程方向の歪および工程横断方向の矢状像面湾曲を示す。
【0030】
図4(A)および図4(B)は、変調器120Eと反射屈折アナモルフィック光学系130Eとを含むシステム100Eを示す。変調器120Eは、反射屈折アナモルフィック光学系130E上へ二次元変調光場119Bを投射し、反射屈折アナモルフィック光学系130Eは、コリメートサブ光学系131Eと、工程横断サブ光学系133Eと、工程方向サブ光学系137Eとを含む。
【0031】
図4(A)は、サブ光学系131E、サブ光学系133Eおよび画像変調光場119Bを示す平面図である。サブ光学系131Eは、変調器120Eから僅かに拡散される光部分をコリメートするように配置される円柱/非円柱コリメート視野レンズ132Eを含む。サブ光学系131Eは、任意選択である。サブ光学系133Eは変調光場119Bを受け入れるように位置合わせされ、かつ変調光場119Bを工程横断方向へ画像化するように成形されかつ配列される円柱/非円柱レンズ134Eを含む。またサブ光学系133Eは、変調光場119Bを工程横断方向へ拡張するようにも作用する。
【0032】
図4(B)は、サブ光学系137Eが変調器120Eにより通過される変調光部分118Bにどのように作用し、かつスキャンラインSLを形成する画像形成集中光場119C1をどのように発生するかを示す側面図である。サブ光学系137Eは、光119C1を工程方向へ画像化しかつ集中させる円柱/非円柱鏡138Eを含み、これにより、画像形成集中変調光119C2が画像形成面162E上へ方向づけられる。サブ光学系137Eをサブ光学系133Eより後に位置合わせすることの優位点は、光パワーの強度がスキャンラインSL上に集中されることを可能にすることにある。鏡138Eの集束能力が増加するにつれて、変調器120E上の光強度は、ライン画像SLの強度と相対的に低減される。しかしながらこれは、鏡138Eが画像形成面162Eへより近接して配置されなければならないことを意味する。
【0033】
図2では、光学系130を利用して変調光場119Bを工程方向に集中させることにより、工程横断方向に広がる画像形成面162上にライン画像SLが形成される。所定のグループ(例えば、グループG1)の全ての変調素子(例えば、125−11から125−14)を起動することによって所定のピクセル画像(例えば、部分P1)が発生されると、ライン画像SLの所定の点上に高い合計光強度(例えば、束密度約数百ワット/cm2のオーダー)が発生され、これにより、例えば単一パス高解像度高速印刷用途において一次元ライン画像SLの全ての部分を同時に生成するために使用されることが可能な高信頼性の高速画像形成システムが促進される。
【0034】
より低い光学解像度におけるマルチレベル画像露光は、ライン画像SLの各ピクセル画像位置上へ方向づけられる露光レベルを変えることにより高品質の画像形成(印刷)を達成するために利用される。具体的には、ライン画像SLにおける各ピクセル画像(例えば、図1における部分P1、P2およびP3)の露光レベルは、変調器120の起動される光変調素子の数および位置を制御することによって変更され、これにより、各ピクセル画像を発生すべく結合される変調光118Bの量および位置が制御される。この手法は、本発明が、マルチレベル(グレースケール)の画像露光特性を提供すべく高い光学解像度を用いて画像形成面に渡るレーザビームを走査しながら高出力レーザを変調する代わりに、画像形成面162上へ変調光を集束すべく比較的低出力の光源を変調しかつ比較的低い光学解像度の画像形成システムを利用することによりライン画像SLの全ての位置において同時にマルチレベル画像露光を提供することにおいて、従来のレーザROSの動作を凌ぐ著しい改良をもたらす。即ち、拡張された二次元領域に渡って広げられる均質光を利用することにより、所定の領域に亘る(例えば、各変調素子125−11から125−34までの領域に亘る)光の強度(ワット/cm2)は、空間光変調器120を形成すべく低コストの光学ガラスおよび反射防止コーティングを利用できるように、受け入れ可能なレベルまで低減され、よって製造コストが低減される。
【0035】
マルチレベル画像露光は、工程方向に略位置合わせされる光変調素子のグループを形成し、各変調素子グループを関連するピクセル画像データ部分に従って構成し、次いで、画像ラインSLを形成すべく結果的に生じる細長いピクセル画像を反射屈折アナモルフィック光学系130を利用して工程方向に画像化しかつ集中させることによって達成される。図2において、変調素子列C1からC3は工程方向に対して平行に位置合わせされ、かつ各変調素子グループG1からG3は、列C1からC3までの各々に配置される変調素子より成る(グループG1は素子125−11から125−14までを含み、グループG2は素子125−21から125−24までを含みかつグループG3は素子125−31から125−34までを含む)。各グループ/列により発生される画像は、効果的には、工程方向へ「延伸された」(長くされた)ピクセル画像を形成する。光学系130は、変調光部分を工程方向に集中させることによって各ピクセル画像(例えば、ピクセル画像P1)を発生することから、各ピクセル画像P1のグレースケール特性は、工程(Y軸)方向に位置合わせされる対応する数の変調素子を構成することによって制御されることが可能である。コントローラ180は、各ピクセル画像データ部分のグレースケール値を解明し、かつライン画像SLの各ピクセル位置において適切なピクセル画像を発生するために制御セル128−11から128−14へ対応する制御データを書き込む。
【0036】
図2は、3つの露光レベル、即ち「完全にオン」、「完全にオフ」および「部分的にオン」を用いるマルチレベル画像露光を示す。ピクセル画像データ部分PID1はグレースケール値「完全にオン」を有していて、グループG1の素子125−11から125−14が全て起動され(「オン」)、よって、均質光場119Aの均質光部分118A−11から118A−14は反射屈折アナモルフィック光学系130へ通される。ピクセル画像データ部分PID2は値「完全にオフ」を有し、よってグループG2の変調素子125−21から125−24は全て、変調素子125−21から125−24上へ方向づけられる均質光118Aが反射屈折アナモルフィック光学系130へ到達することを妨げられる(即ち、阻止される、または配向し直される)ように非活性化され(「オフ」)、これにより、画像形成面162上の第2の画像形成領域部分167−2に光ピクセル画像P2が最小(暗)画像「スポット」として発生される。ピクセル画像データ部分PID3は「部分的にオン」であり、変調素子125−32および125−33が起動されかつ変調素子125−31および125−34が非活性化されて均質光部分を変調素子125−32から125−33を介してのみ通過させ、これにより、画像形成面162の第3の画像形成領域部分167−3にピクセル画像P3が明るい小さな「スポット」として形成される。
【0037】
上述のシステムおよび方法を用いる二次元画像の生成は、画像形成面162を周期的または連続的に工程方向に移動させること(すなわちスクローリング)、および各画像形成段階の後に空間光変調器120を設定し直すことを必要とする。ライン画像データグループLIN1を用いてライン画像SLが発生された後、画像形成面162は上へ移動され、かつ第2の画像形成段階が次の順番のライン画像データグループを変調器120へ書き込むことによって実行され、これにより、ライン画像SLに平行しかつその下に位置合わせされる第2のライン画像が発生される。光源110は、場合により画像形成段階間でトグルされ、または、画像形成動作の全ての画像形成段階を通じて絶えず「オン」状態に保持される。このプロセスを画像データファイルIDの全てのライン画像データグループLIN1〜LINnについて反復することにより、画像データファイルIDにより表現される二次元画像が画像形成面162上に発生される。
【0038】
空間光変調器は、米国テキサス州ダラス所在のTexas Instruments社から入手可能なデジタル光処理(DLP(登録商標))チップ等のデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、米国コロラド州ラファイエット所在のBoulder Nonlinear Systems社から入手可能なLinear Array Liquid Crystal Modulator(リニアアレイ液晶変調器)等の電子光学回折変調器アレイ、または二酸化バナジウム反射または吸収鏡素子等の熱光学吸収素子のアレイを含む、市販のデバイスを用いて実装される。今日、多くの印刷/走査用途は、10:1を超える高い画像コントラスト比を有する1200dpi以上の解像度、小さいピクセルサイズおよび30kHzを超える高速表示行指定機構を必要とし、よって、現時点で好ましい空間光変調器は、その最良の総合性能に起因してDLP(商標)チップである。
【0039】
図5は、複数の微小電気機械式(MEM)ミラー機構125Gで構成される変調素子アレイ122Gを含むDMD式空間光変調器(DMD)120Gの一部を示す。Texas Instruments社によって販売されるDMDと一致して、MEMミラー機構125Gは、半導体基板124G上の長方形アレイ内に配列される。ミラー機構125Gは、ミラー125Gの下に配置される制御回路126Gによって制御される。
【0040】
図6は、アレイ122Gの例示的なミラー機構125G−11をさらに詳細に示している。ミラー機構125G−11は、基板124Gの上面で最上層210と、中央領域220と、下方領域230とに分割される。最上層210は、16マイクロメートル幅である正方形または長方形のアルミニウムミラー(光変調構造体)212を含む。中央領域220は、2つの弾性ねじりヒンジ224によって支持プレート225へ接続されるヨーク222と、1対の高架電極227および228とを含む。下方領域230は、電極プレート231および232と、バイアスプレート235とを含む。ミラー機構125G−11は、制御回路126Gにより発生される制御信号127G−1により2つのデータ状態のうちの何れかを格納するSRAMメモリセル240によって制御される。メモリセル240は、相補的な出力信号DおよびDバーを発生する。
【0041】
下方領域230は、めっき層をエッチングすること、または別段で基板124G上へ形成されるパッシベーション層(不図示)上に金属パッドを形成することによって形成される。電極プレート231および232は各々、バイアス制御信号127G−2、またはメモリセル240により格納される相補的なデータ信号DおよびDバーの何れかを、パッシベーション層を介して広がる金属バイアによって受信するように接続される。
【0042】
中央領域220は下方領域230の上に配置され、ヨーク222は、基板124Gに対するヨーク222の傾斜を容易にすべく後述するように捻れる弾性ねじりヒンジ224によって支持プレート225により移動可能式(回動可能式)に接続されかつ支持される。支持プレート225は、バイアスプレート235の上に配置され、かつバイアスプレート235の領域236上へ固定的に接続される支持ポスト226によってバイアスプレート235へ電気的に接続される。電極プレート227および228は、同様に、各々電極プレート231および232の上に配置され、かつ電極プレート231および232の領域233上へ固定的に接続される支持ポスト229によって電極プレート231および232へ電気的に接続される。ミラー212は、ヨーク222の中央領域223上へ付着されるミラーポスト214によってヨーク222へ固定的に接続される。
【0043】
図7(A)から図7(C)は、動作中のミラー機構125G−11を示す。図7(A)は、受け入れられる光部分118A−Gが第1の角度θ1でミラー212を去る反射光部分118B−G1になる、変調「オン」状態におけるミラー機構125G−11を示す。変調「オン」状態を設定するために、SRAMメモリセル240は、出力信号Dが電極プレート231および高架電極227へ送られる高電圧(VDD)であり、かつ出力信号Dバーが電極プレート232および高架電極228へ送られる低電圧(接地)であるように、あらかじめ書き込まれたデータ値を格納する。これらの電極は、ミラーの位置を静電気引力によって制御する。電極プレート231および232により形成される電極対はヨーク222へ作用するように位置合わせされ、かつ高架電極227および228により形成される電極対はミラー212に作用するように位置合わせされる。ほとんどの時間、ヨーク222の両側へは等しいバイアス電荷が同時に印加される。中央位置へ反転する代わりに、予期されるように、この等しいバイアスは実質的にミラー122をその現行の「オン」位置に保持する。
【0044】
ミラー212を「オン」位置から「オフ」位置へ移動させるために、必要とされる画像データビットが、制御信号127G−1によってSRAMメモリセル240へロードされる。図7(A)において、アレイ122Gの全てのSRAMセルが画像データによってロードされると、バイアス制御信号はディアサートされ、これにより、D信号がSRAMセル240から電極プレート231および高架電極227へ送信され、かつDバーがSRAMセル240から電極プレート232および高架電極228へ送信され、これにより、ミラー212は図7(B)に示されている「オフ」位置へ移動され、これにより、受け入れられた光部分118A−Gはミラー212を第2の角度θ2で去る反射光部分118B−G2になる。続いて、バイアス制御信号127G−2が復元されると、図7(C)で示されているように、ミラー212は「オフ」位置に保持され、次の必要な動作のメモリセル240へのロードが可能になる。
【0045】
図7(A)から図7(C)では、ミラー機構125G−11の回動ねじり軸によって、ミラー212が対角軸を中心としてDLPチップハウジングのx−y座標に対し相対回転する。この対角的な傾斜により、画像形成システム内の空間光変調器から受け入れられる入射光部分は、光の出射角がDLPチップの表面に対して垂直となるように、各ミラー機構125G上へ合成入射角で投影される必要がある。この要件は、画像形成システムの隣り合わせの配置を複雑にする。
【0046】
図8は、DMD120Hを「折り畳まれた」配置で利用するシステム100Hを示し、かつ単純化された反射屈折アナモルフィック光学系130Hを示している。DMD120Hは、均質光場119Aの入射する均質光部分118Aが、「オン」であるMEMミラー機構125Hによって反射屈折アナモルフィック光学系130Hへ向かって反射されるか、「オフ」であるMEMミラー機構125Hによって反射屈折アナモルフィック光学系130Hから遠方へ(例えば、ヒートシンク上へ)反射されるかの何れかであるように、光発生器110Hおよび反射屈折アナモルフィック光学系130Hに対して合成角を成して位置合わせされる。
【0047】
システム100Hは、反射屈折アナモルフィック光学系130Hが、ドラムシリンダ160H上に発生される2つのライン画像の位置および左から右への順序が効果的に「反転される」ように、変調光場119Bを工程方向および工程横断方向の双方へ反転させることによって特徴づけられる。図8の左下部分は、DMD120Hの正面図を示し、かつ図8の右下部分は、画像形成面162Hの画像形成領域167Hの正面図を示す。左下の図は、変調素子列C1が、ライン画像データ部分LIN11の第1のピクセル画像データ部分PID11により制御される第1の変調素子グループG1を形成することを示す。同様に、残りの光変調素子列は、ライン画像データ部分LIN11の残りのピクセル画像データ部分を実装する対応する変調素子グループを形成する。変調素子グループG1〜G8は、空間光変調器120Hへ「上下逆および逆行」式に書き込まれる。サブ光学系133Hは、ピクセル画像データPID11により構成される光変調素子が細長い画像形成領域167Hの右側にピクセル画像P11を発生し、かつピクセル画像データPID18により構成される光変調素子が細長い画像形成領域167Hの左上側にピクセル画像P18を発生するように、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズを用いて変調光場119Aを反転する。サブ光学系137Hは、(反転されない)ピクセル画像部分が細長い画像形成領域167Hの左上部分に現出するように、かつ(反転されない)ピクセル画像P188が細長い画像形成領域167Hの右下部分に現出するように、1つまたは複数の円柱/非円柱鏡を用いてサブ光学系133Hから受け入れられる画像形成光場を反転する。
【0048】
マルチレベル画像露光は、工程(Y軸)方向に略位置合わせされるDMD120HのMEMミラー機構グループを、「部分的にオン」のピクセル画像が関連するMEMミラー機構グループの中央領域に配置される連続的なMEMミラー機構を起動することによって実装されるように構成することにより、システム100Hを用いて達成される。変調素子グループG1は列C1内に配置される変調素子125Hより成り、グループG1は画像ピクセルデータ部分PID11によって、変調素子の全てが「オン」であり、よってピクセル画像P11が最大の明るさを有するように構成される。変調素子グループG8は列C8内に配置される変調素子125Hより成り、グループG8は画像ピクセルデータ部分PID18によって、変調素子の全てが「オフ」であり、よって画像形成面162H上に暗いピクセル画像P18が生成されるように構成される。MEMミラー機構の残りのグループは、3つの例示的なグレースケール値「部分的にオン」を用いて構成され、この場合、グループG2は、列C2の上下に配置される2つの非活性化されたMEMミラー機構と、これらの非活性化されたMEMミラー機構の間に配置される6つの活性化されたMEMミラー機構とによって形成されるグレースケール値「ほとんどオン」を有する。これに対して、グループG7は、列C7の上下に配置される6つの非活性化されたMEMミラー機構と、これらの非活性化されたMEMミラー機構の間に配置される2つの活性化されたMEMミラー機構とを有する「かろうじてオン」であり、かつグループG5は、列C5の上下に配置される4つの非活性化されたMEMミラー機構と、これらの非活性化されたMEMミラー機構の間に配置される4つの活性化されたMEMミラー機構とを有する「中位のオン」である。
【0049】
図9、図10(A)、図10(B)および図10(C)は、ある例示的な画像形成動作中のシステム100Hを示す。これらの略側面図は、工程横断方向の反転および画像化されかつ集中される光の下方反射を無視していることに留意されたい。
【0050】
図9は、例示的な変調素子グループG2がライン画像データグループPID12によって構成され、よってMEMミラー機構125H−22から125H−27が起動されかつMEMミラー機構125H−21および125H−28が非活性化される場合の画像形成システム100H(T1)(即ち、時間T1における画像形成システム100H)を示す。
【0051】
システム100Hはさらに、画像形成領域の上流側のあるポイントで画像形成面162H上へ湿し溶液192を塗布する液体源190と、画像形成領域の下流側のあるポイントでインク材料197を塗布するインク源195とを含む。さらに、転写機構(不図示)は、インク材料197を標的である印刷媒体へ転写するために設けられ、かつクリーニング機構198は、次の露光サイクルのために画像形成面162Hを準備するために設けられる。
【0052】
図9を再度参照すると、その起動された構成状態に起因して、MEMミラー機構(光変調素子)125H−22から125H−27は均質光場119Aの一部を、変調光部分118B−22から118B−27が反射屈折アナモルフィック光学系130Hを介して方向づけられるように反射する(均質光部分は、非活性化されたMEMミラー機構125H−21および125H−28によって反射屈折アナモルフィック光学系130Hから遠方へと配向し直されることに留意されたい)。変調光部分118B−22から118B−27は、反射屈折アナモルフィック光学系130Hによって画像化されかつ集中される変調光場119Bを形成し、これにより、画像形成面162H上の細長い画像形成領域167H−1内にライン画像SL1の一部を形成するピクセル画像P12を生成する集中された変調光場119Cが発生される。具体的には、変調光部分118B−22から118B−27によって形成される関連の集中光は、細長い画像形成領域167H−1から湿し溶液192を除去(気化)する(即ち、これにより、ピクセル画像P21における画像形成面162Hの一部が露光される)。ピクセル画像P21のサイズ(即ち、画像形成面162Hから除去される湿し溶液の量)は、起動されるMEMミラー機構の数によって決定されることに留意されたい。
【0053】
図10(A)、図10(B)および図10(C)は、時間T1に続く変調器120Hが非活性化される時間におけるシステム100Hを示して、表面機能P12(図9参照)が画像形成システム100Hの画像転写動作に従って引き続きどのように利用されるかを示している。図10(A)を参照すると、時間T2において、ドラムシリンダ160Hは既に、表面領域162H−1がインク源195の下を通過するまで回転している。湿し溶液の除去によって、インク材料197は露光された表面領域162H−1へ接着し、インク外形TFが形成される。図10(B)を参照すると、インク外形TFが転写ポイントを通過しつつある時間T3において、インク材料と表面領域162H−1との接着の弱さ、およびインク材料の印刷媒体(不図示)への引力の強さに起因してインク外形TFは印刷媒体へ転写され、結果的に、印刷媒体上へ印刷されるインク内に「ドット」が生じる。続くT4では、図10(C)に示されているように、表面領域162H−1はクリーニング機構198の下を回転され、クリーニング機構198は、残留するインクおよび湿し溶液材料を除去して後続の露光/印刷サイクル用の表面領域162H−1を準備する。上述の画像転写動作に従って、インク材料は、先に述べた画像形成プロセスによって露光される画像形成面162Hの一部上へのみ転写し(即ち、インク材料は湿し溶液192へ接着しない)、これによりインク材料は、本明細書で述べているように、集中光に曝されるドラムローラ160Hの一部からのみ印刷媒体へ転写される。したがって、従来のシステムの場合のようなプレートからの不変データではなく、湿し溶液除去からの可変データが転写される。このプロセスの場合、ラスタ化光源(即ち、スキャンラインと交差して前後にラスタ化される光源)を用いて動作するためには、湿し溶液をリアルタイムで除去するに足る単一の超高出力光(例えば、レーザ)源が必要になると思われる。本発明による画像形成動作の利点は、スキャンライン全体から液体が同時に除去されることにより、複数の比較的低出力の光源を用いてオフセットされた印刷設定が高速で提供されることにある。
【0054】
図11および図12は、本発明の第1の特有の実施形態に従って配置された反射屈折アナモルフィック光学系130Jを含む画像形成システム100Jを示す単純化された上面図および側面図である。反射屈折アナモルフィック光学系130Jは、簡潔さのために単純化された空間光変調器120Jと単純化された画像形成面162Jとの間に配置され、よって、これらのコンポーネントがこれまでに述べた代替の構造体およびディテールを用いて実装され得ることは理解される。
【0055】
図11および図12を参照すると、反射屈折アナモルフィック光学系130Jは、視野レンズ132Jと、工程横断サブ光学系133Jと、工程サブ光学系137Jとを含む。工程横断サブ光学系133Jは、画像形成面162J上へ変調光場119Bを工程横断方向へ図11に示されているレイトレース(破線)ラインに一致して画像化すべく協働的に成形されかつ配置される(第1及び第2の)二重円柱/非円柱レンズ素子134Jおよび135Jを含む。即ち、二重レンズ素子134Jおよび135Jは、工程(X軸)方向に対して平行である中立軸またはゼロ出力軸沿いを中心として一定の湾曲形状を有する光学表面を有し、かつこれらのレンズは、ライン画像SLが画像形成面162J上で工程方向に予め決められた長さを有するように、空間光変調器120Jと画像形成面162Jとの間に位置合わせされる。任意選択のコリメートする視野レンズ132Jは、空間光変調器120Jとレンズ素子134Jとの間に配置される、かつ二重レンズ素子134Jおよび135J間の1点で光を工程横断(X軸)方向に収束するようにレンズ素子134Jと協働的に形成され、よって二重レンズ素子134Jおよび135J間の開口絞りの位置合わせを有効化する工程横断方向の円柱/非円柱レンズである。この配置は、少数の単純なレンズを用いる収差の効率的な補正を可能にし、また、二重レンズ素子134Jおよび135Jのサイズも最小化する。また、視野レンズ132Jは、空間光変調器120Jの表面から離れて僅かに拡散しつつある光部分をコリメートする働きもする。工程サブ光学系137Jは、工程横断サブ光学系133Jから受け入れられる光を画像形成面162J上へ工程(Y軸)方向に図12に示されているレイトレース・ラインに一致するようにして画像化しかつ集中させるべく成形されかつ位置合わせされる単一の円柱/非円柱鏡素子138Jを含む。レンズ138Jの集束能力が増加するにつれて、空間光変調器120J上の光強度は、ライン画像SLの強度と相対的に低減される。しかしながらこれは、円柱/非円柱鏡138Jが画像形成面162Jへより近接して配置されなければならないことを意味する。
【0056】
図13および図14は、本発明の第2の特有の実施形態に従って配置された反射屈折アナモルフィック光学系130Jを含む画像形成システム100Jを示す単純化された上面図および側面図である。反射屈折アナモルフィック光学系130Kは、空間光変調器120Kと画像形成面162Kとの間に描かれているが、先に述べた他の配置で用いられてもよい。反射屈折アナモルフィック光学系130Kは、順次配置される視野レンズ132Kと、工程横断サブ光学系133Kと、工程サブ光学系137Kとを含む。工程横断サブ光学系133Kは、図13におけるレイトレース・ラインにより示されているようにして画像変調光場119Bを画像形成面162K上へ工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置される三重の円柱/非円柱レンズ素子134K、135Kおよび136Kを含む。視野レンズ132Kは、空間光変調器120Kとレンズ素子134Kとの間に位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズであり、かつ開口Y停止装置の工程横断サブ光学系133Kの(第2及び第3の)レンズ素子135Kと136Kとの間の位置決めを有効化するようにレンズ素子134Kおよび135Kと協働的に成形されかつ位置合わせされ、視野レンズ132Jに関連して先に述べた利点と同様の利点を提供する。工程サブ光学系137Kは、変調光場119Bを画像形成面162K上へ工程(Y軸)方向に図14に示されているレイトレース・ラインに一致するようにして画像化しかつ集中させるべく成形されかつ配置される単一の円柱/非円柱鏡素子138Kを含む。
【0057】
図15は、本発明の別の特有の実施形態による、均質光発生器110P、DMD式空間光変調器120Pおよびマルチミラー式反射屈折アナモルフィック光学系130Kを利用する画像形成システム100Pを示す斜視図である。空間光変調器120Pは、(先に述べた)DMD式空間光変調器120Gと略同一であり、かつ先に述べた方法と同様にして、コントローラ180Pから送信される画像データに応答して変調光場119Bを発生するために、均質光発生器110Pに対して合成角を成して位置合わせされる。DMD式画像形成システム100Pは、ドラムローラ160Pの画像形成面162P上へライン画像SL1を発生するために少なくとも2つのミラーを利用する工程サブ光学系137Pを含むことにおいて、これまでの実施形態とは異なる。具体的には、先に述べたサブ光学系と同様に、反射屈折アナモルフィック光学系130Pは、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズにより形成される工程横断サブ光学系133Pを含むが、少なくとも一方は円柱/非円柱鏡である少なくとも2つのミラーにより形成される工程サブ光学系137Qを有する。図15に示されている、かつ図16〜図19を参照して後にさらに詳述されるマルチミラー式反射屈折アナモルフィック光学系アーキテクチャは、工程方向の歪レベルを下げ、かつ反射屈折アナモルフィック光学系に特徴的である工程横断方向の矢状像面湾曲を下げ、かつ、画像形成面(即ち、ドラムシリンダ)の光学系側面上への(即ち、先に述べた実施形態において提示されているような光学系の下ではなく)位置合わせも可能にする。
【0058】
図16および図17は、本発明の別の特有の実施形態に従って配置された第1のマルチミラー式反射屈折アナモルフィック光学系130Qを含む画像形成システム100Qを示す単純化された上面図および側面図である。光学系130Qは、空間光変調器120Qと画像形成面162Qとの間に光路を形成するものとして描かれているが、先に述べたような他の装置またはデバイスにおいて用いられてもよい。アナモルフィック光学系130Qは、視野レンズ132Qと、工程横断サブ光学系133Qと、工程サブ光学系137Qとを含む。工程横断サブ光学系133Qは、図16におけるレイトレース・ラインにより示されているようにして画像変調光場119Bを画像形成面162Q上へ工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置される三重の円柱/非円柱レンズ素子134Q、135Qおよび136Qを含む。視野レンズ132Qは、空間光変調器120Qとレンズ素子134Qとの間に位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズであり、かつ開口絞りの(第2及び第3の)レンズ素子135Qと136Qとの間の位置決めを有効化するようにレンズ素子134Qおよび135Qと協働的に成形されかつ位置合わせされ、これにより視野レンズ132Jに関連して先に述べた利点と同様の利点が提供される。工程サブ光学系137Qは、図17に示されているレイトレース・ラインに一致するようにして変調光場119Bを画像形成面162Q上へ工程(Y軸)方向に画像化しかつ集中させるように成形されかつ配置される分離された折り畳み(平面)鏡138Rおよび円柱/非円柱鏡139Rを含む。
【0059】
表1は、光学系130Qの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。表1(および後出の表2)において、光学系入力(光源)に面する各素子の表面は「S1」と称され、かつ光学系出力に面する各素子の表面は「S2」と称される。例えば、「132Q:S1」は、空間光変調器120Qに面する視野レンズ132Qの表面を指す。曲率値の単位は1/ミリメートル、かつ厚さの値の単位はミリメートルである。光源(即ち、空間光変調器120Qの表面)および標的表面(即ち、画像形成面162Q)は共に、記載された処方に関しては平面であるものとされていることに留意されたい。この光学処方は、光波長980nmも想定している。光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.33を有する。
【表1】
【0060】
図18および図19は、本発明の別の特有の実施形態に従って配置された第2のマルチミラー式反射屈折アナモルフィック光学系130Rを含む画像形成システム100Rを示す単純化された上面図および側面図である。光学系130Rは、空間光変調器120Rと画像形成面162Rとの間に光路を形成するが、先に述べたような他の装置またはデバイスにおいて用いられてもよい。アナモルフィック光学系130Rは、視野レンズ132Rと、工程横断サブ光学系133Rと、工程サブ光学系137Rとを含む。工程横断サブ光学系133Rは、図18におけるレイトレース・ラインにより示されているようにして画像変調光場119Bを画像形成面162R上へ工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置される三重の円柱/非円柱レンズ素子134R、135Rおよび136Rを含む。視野レンズ132Rは、空間光変調器120Rとレンズ素子134Rとの間に位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズであり、かつ開口絞りの(第2及び第3の)レンズ素子135Rと136Rとの間の位置決めを有効化するようにレンズ素子134Rおよび135Rと協働的に成形されかつ位置合わせされ、これにより視野レンズ132Jに関連して先に述べた利点と同様の利点が提供される。工程サブ光学系137Rは、図19に示されているレイトレース・ラインに一致するようにして変調光場119Bを画像形成面162R上へ工程(Y軸)方向に画像化しかつ集中させるように協働的に成形されかつ配置される(第1及び第2の)円柱/非円柱鏡138Qおよび139Qを含む。表2は、反射屈折アナモルフィック光学系130Rの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。この光学処方は、光波長980nmを想定し、かつ、光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.44を有する。
【表2】
【0061】
本発明は、線形である光路を有する(図1参照)、1つの折り畳みを有する(図8参照)または2つの折り畳みを有する(図15参照)ものとして示されているが、当業者には、任意数の任意の光路に沿って折り畳みを含む他の配置が企図されてもよい。さらに、高エネルギーライン画像を発生するための上述の方法は、本明細書に記述されているもの以外のデバイスを用いて達成されてもよい。
【技術分野】
【0001】
本発明は画像形成システム、および特に高速画像形成のために高エネルギー光源を利用する単一パス画像形成システムに関する。
【背景技術】
【0002】
レーザ画像形成システムは、電子写真印刷、マスク付きおよびマスクレス・リソグラフィ・パターニング、表面のレーザダル加工およびレーザ切断機などの用途において、画像を発生させるために広範囲に渡って用いられる。レーザプリンタは、ポリゴンスキャナまたはガルボスキャナを利用することにより工程方向に対して直角にレーザを掃引するラスタ光学スキャナ(ROS:raster optical scanner)を用いることが多いが、切断用途では、レーザ画像形成システムは、フラットベッド型x−yベクトルスキャニングを用いる。
【0003】
レーザROS手法の制約のうちの1つは、画像解像度とライン画像の横方向の広がりとの間に設計上のトレードオフが存在することである。これらのトレードオフは、ライン画像の両極端における画像面の湾曲等の光学性能の制限から生じる。実際には、単一のガルバノメータまたはポリゴンスキャナを用いて、一列20インチの画像形成幅全体で1200dpiの解像度を達成することは極めて困難である。さらに、単一のレーザヘッドによる電動式x−yフラットベッドアーキテクチャは、広範囲の領域にとっては理想的であるが、最高速の印刷工程にとっては時間がかかりすぎる。
【0004】
こうした理由により、広い幅の電子写真法にとって、最大20インチ幅までのモノリシックの発光ダイオード(LED:light emitting diode)アレイには、画像形成上の利点がある。残念ながら、現在のLEDアレイは、ピクセル当たり10ミリワットの出力レベルを提供することができるだけであり、したがって電子写真法などの一部の非熱画像形成用途に役立つだけである。さらに、LEDバーは、経年劣化差および性能差を広げる。単一のLEDが故障すると、LEDバー全体を差し換える必要がある。他の多くの画像形成またはマーキング用途には、より高い出力が必要である。例えば、レーザダル加工、または切断用途は、10W〜100Wの範囲の出力レベルを必要とすることがある。したがって、LEDバーをこれらの高出力用途に用いることはできない。また、ずらして配置された2行以上のヘッドを用いることなくLEDをより高速度または1200dpiを上回る解像度にまで拡張することも困難である。
【0005】
100ミリワット〜100ワットの範囲にある、より高出力の半導体レーザアレイは存在する。ほとんどの場合、これらは全幅で大略1cmのレーザ・ダイオード・バーなどの1Dアレイ形式で存在する。高出力向け光源の別のタイプは、2D面発光VCSELアレイである。しかしながら、これらの高出力レーザ技術のいずれも、最隣接間のレーザピッチを600dpi以上の画像形成解像度に適合可能にはしない。加えて、これらの技術のいずれも、各レーザの個々の高速度制御を可能にはしない。したがって、高出力オーバヘッド投影画像形成システムなどの高出力用途は、Texas Instruments社のDLP(商標)チップまたは液晶アレイなどの空間光変調器と組み合わせたレーザなどの高出力源を用いる場合が多い。
【0006】
先行技術は、画像形成システムが、並んでアレイ構成にされれば重なり合った投影画像を形成すべく使用されることが可能であり、この場合、重なり合いは、複数の画像パターンをつなぎ合わせて1つの途切れのないパターンにするソフトウェアを用いてより大きい画像を形成することができることを示している。このことは、PCボード製造並びにディスプレイシステム用などの、多くのマスクレス・リソグラフィ・システムにおいて示されてきた。従来、高解像度用途向けのこのようなアレイ構成の画像形成システムは、連続的な高解像度画像を互いに繋ぎ合わせるために、2行の画像形成サブシステムまたは二重通過スキャン構成の何れかを用いなければならないように配列されていた。これは、サブ光学系の寸法上、ハードウェアに物理的制約があるためである。画像形成する二重の行構成は、依然として、基板を一方向に移動させる運搬機を用いて途切れなく繋ぎ合されることが可能であるが、このようなシステムは、大量の追加のハードウェア設置場所および各画像形成行間の精度調整を必要とする。
【0007】
マスクレスリソグラフィ用途の場合、画像形成されるフォトレジストの露光と現像との間の時間は決定的に重要とは言えず、したがって単一のラインに沿ってフォトレジストに画像を形成しても、すぐに露光する必要はない。しかしながら、露光と現像との間の時間は、決定的に重要となることがある。例えば、電子写真式レーザ印刷は、時間とともに自然に減衰する電荷を消去することによって感光体に画像を形成することに基づいている。したがって、露光と現像との間の時間は時不変性ではない。このような状況では、露光システムが単一のラインを露光する、または一表面の間隔が狭い幾つかの隣接する高解像度ラインを一度に露光することが望ましい。
【0008】
電子写真式印刷用途に加えて、露光と現像との間の時間が決定的に重要である別のマーキングシステムが存在する。一例は、当初Carleyにより「FOUNTAIN SOLUTION IMAGE APPARATUS FOR ELECTRONIC LITHOGRAPHY(電子リソグラフィ用の湿し水画像装置)」と題する米国特許第3,800,699号明細書において開示された、レーザベースの可変データ・リソグラフィ・マーキング技法である。標準的なオフセットリソグラフィ印刷では、疎水性の画像形成領域および親水性の非画像形成領域を有する静的な画像形成プレートが作成される。水ベースの湿し溶液の薄層はプレートを選択的に湿潤し、かつ油ベースのインクを選択的に拒絶する撥油層を形成する。米国特許第3,800,699号明細書に開示された可変データ・リソグラフィ・マーキングでは、レーザを用いて湿し溶液をパターン切除し、可変画像領域をオン・ザ・フライで形成することができる。このようなシステムでは、湿し溶液の薄層も、周囲空気への圧力の自然な部分的気化が原因で時間とともに厚さが低減する。したがって、画像を形成するレーザ切除ステップのどの時点でも湿し液の膜厚が同じであるように、単一の画像形成パスステップにおいて単一の連続的な高出力レーザ画像形成ラインパターンを形成することも効果的である。しかしながら、大部分のアレイ構成の高出力高解像度画像形成システムの場合、ハードウェアおよび空間光変調器を囲むパッケージングは、通常、途切れのない連続的なラインパターンの画像形成を妨げる。さらに、ダル加工、リソグラフィ、コンピュータ・トゥ・プレート製作、広領域型抜きまたは熱ベース印刷もしくは他の新規な印刷用途などの、レーザ画像形成の多くの領域にとって必要なものは、20インチを越える広い工程幅に渡って拡張可能であると同時に600dpi以上の達成可能解像度、1200dpi以上のピクセルポジショニング解像度またはアドレス可能度を有しかつ単一パスで高解像度、高速度の画像形成を可能にする、1ワットレベルを十分に上回る高い総光パワーを有するレーザベースの画像形成技法である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は、画像形成面上で工程横断(例えば、水平)方向に位置合わせされる略一次元の高輝度ライン画像を形成するために、比較的低輝度の二次元変調光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるべく反射屈折アナモルフィック光学系を利用する画像形成システムに関する。二次元変調光場は、ライン画像の各ドット様ピクセル画像部分が工程(例えば垂直)方向へ拡張される「延伸された」ライン画像を効果的に形成する低輝度の光部分で構成される。低輝度の変調光場を画像化しかつ集中させるべく反射屈折アナモルフィック光学系をこのように利用することは、ライン画像の全体長さに沿った高い合計光強度(即ち、約数百ワット/cm2オーダーの束密度)の同時的発生を容易にし、これにより、ライン画像を構成するあらゆるドット様ピクセル画像部分が同時に発生される(即ち、任意の所定の瞬間にライン画像の1点へ高出力を印加するだけのラスタリング系と対照的)。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一態様によれば、反射屈折アナモルフィック光学系は、一次元ライン画像が画像形成面上へ投射されるように、動作可能式に位置合わせされかつ配置される1つまたは複数の円柱/非円柱レンズおよび1つまたは複数の円柱/非円柱鏡を利用して二次元変調光場を工程方向に画像化しかつ集中させる。1つまたは複数の円柱/非円柱鏡を利用して画像形成面上へ変調光を工程方向に集中させることは、工程横断方向に全屈折アナモルフィック光学系によって達成される可能性のあるものより低いレベルの歪および矢状像面湾曲をもたらし、これにより、正方形または長方形の二次元変調光場の画像形成がより容易にされる。ある実施形態では、二次元変調光場を工程横断方向に拡張するために(即ち、ライン画像の工程横断方向の幅が二次元変調光場の工程横断方向の幅より広くなるように)円柱/非円柱レンズも利用される。工程横断方向沿いの低減された歪および低減された矢状像面湾曲で、変調光場を工程横断方向に拡張しかつ同時的に変調光場を工程方向に集中させることにより、本発明は、例えば単一パス高解像度高速印刷用途に使用されることが可能な高信頼かつ高出力の画像形成システムを提供する。
【0011】
本発明の一実施形態によれば、反射屈折アナモルフィック光学系は、少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子を含む工程横断サブ光学系と、少なくとも1つの円柱/非円柱鏡素子を含む工程方向サブ光学系とを含む。工程横断サブ光学系は、入力される二次元光場と工程方向サブ光学系との間に配置され、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズ素子は、二次元変調光場を工程横断方向に画像化する働きをする。特有の代替実施形態では、工程方向サブ光学系は、所望される工程横断画像形成を達成するように配列される二重レンズ素子または三重レンズ素子の何れかを含む。この配列は、略無制限の長さのスキャンラインを有する集合体を生成するために隣接する光学系と結合される(重複領域といっしょに「繋ぎ合わされる」または混ぜ合わされる)ことが可能な幅広のスキャンラインを発生することを容易にする。工程横断サブ光学系と二次元光場源との間にはコリメートする工程横断方向の円柱/非円柱視野レンズが配置され、かつ二重または三重レンズ素子間に開口停止装置を位置決めすることを有効化するように位置合わせされ、これにより、少数の単体レンズを用いる収差の効率的な補正が有効化され、かつ二重/三重レンズ素子のサイズが最小化される。工程サブ光学系は、工程横断サブ光学系と画像形成面(即ち、サブ光学系出力)との間に位置決めされ、かつ光場を工程方向に画像化しかつ集中させる単一の工程方向円柱/非円柱鏡または二重の工程方向円柱/非円柱鏡の何れかを含む。
【0012】
本発明の一実施形態によれば、本画像形成システムは、均質光発生器および空間光変調器を利用して二次元変調光場を発生しかつ反射屈折アナモルフィック光学系へ投影する。ある特有の実施形態によれば、均質光発生器は、均質な光場を形成するために少なくとも1つの低出力光源と、この光源により発生される光ビームを均質化する光ホモジナイザとを用いる。空間光変調器は、各光変調素子が対応する低輝度均質光部分を受け入れ、かつ受け入れたその均質光部分を反射屈折アナモルフィック光学系へと方向づける(例えば、通す、または反射する)、または受け入れたその光部分を反射屈折アナモルフィック光学系へ届かないように妨げる(例えば、阻む、または遠方へ方向づける)、の何れかであるように均質な光場内に位置合わせされる、個々に構成可能な光変調素子の二次元アレイを含む。均質光を、アナモルフィックに投射し、かつ集中させる前にこのようにして変調することにより、本発明は、任意の所定の瞬間にライン画像の1点に高出力を印加するだけのラスタリング系とは対照的に、画像形成領域全体に沿って高出力ライン画像を同時に生成することができる。
【0013】
ある実施形態において、反射屈折アナモルフィック光学系は、画像形成面にライン画像を形成する集中された光部分が光場を形成する個々の光部分の光強度の少なくとも2倍の光強度を有するように、二次元光場を形成する変調光部分を工程方向へ画像化しかつ集中させる。比較的低出力の均質光は、多数の変調素子上に広がり、かつ単に画像形成面において高輝度を達成するだけであることから、本発明は、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、電子光学回折変調器アレイまたは熱光学吸収体素子アレイ等の低コストである市販の空間光変調デバイスを用いて製造されることが可能である。即ち、ホモジナイザを利用して、拡張された二次元領域に亘って高エネルギレーザ光を広げることにより、所定の領域に亘る(例えば、各変調素子の領域に亘る)光の強度(ワット/cc)は、向上された出力調整ケイパビリティを有する空間光変調器を形成すべく低コストの光学ガラスおよび反射防止コーティングを利用できるように、受け入れ可能なレベルまで低減される。また、光を一様に拡散させることも、点欠陥(例えば、微視的塵粒またはかき傷)の全光透過損失に与える負の画像形成効果を排除する。
【0014】
本発明の一態様によれば、空間光変調器は、二次元アレイに配列される複数の光変調素子と、各変調素子の光変調構造体が予め決められたライン画像データに従って(第1の)「オン」変調状態と(第2の)「オフ」変調状態との間で調整可能であるように、変調素子を個々に制御するためのコントローラとを含む。各光変調構造体は、均質光の関連部分をその変調状態に従って通す、または妨げる/配向し直すように配置される。変調素子のうちの1つが変調「オン」状態にあるとき、変調構造体は、関連するその変調光部分を対応する既定方向へ方向づける(例えば、素子は関連する光部分を反射屈折アナモルフィック光学系へと通すか、反射する)。逆に、変調素子が変調「オフ」状態にあるとき、受信された関連する光部分は、反射屈折アナモルフィック光学系へと通ることを妨げられる(例えば、光変調構造体は関連する光部分を吸収/阻止する、または関連する光部分を反射屈折アナモルフィック光学系から遠方へ反射する)。
【0015】
本発明の一実施形態によれば、空間光変調器の光変調素子は行および列に配列され、反射屈折アナモルフィック光学系は、各列から受信される光部分を細長いライン画像の関連するピクセル画像領域上へ集中させるように配置される。即ち、所定の列における(かつ変調「オン」状態にある)全ての光変調素子から受信される集中された変調光部分は、結果的に生じる画像形成「ピクセル」が、「オン」状態にある所定の列における全ての光変調素子からの複合光であるように、反射屈折アナモルフィック光学系によってライン画像の対応する同じ画像形成領域上へ方向づけられる。本発明の主要な特徴は、各光変調素子により通過される光部分がアナモルフィック光学系によって走査画像へ送達される1ピクセルのバイナリデータを表し、よって、ライン画像を作り上げる各ピクセル画像の明るさは関連する列内の「オン」状態にある素子の数によって制御される、という理解に存する。したがって、各列内に配置される複数の変調素子を個々に制御することにより、かつ各列によって通過される光を対応する画像形成領域上へ集中させることにより、本発明は、一定の(変調されない)均質光を用いるグレースケール・ケイパビリティを有する画像形成システムを提供する。さらに、各列における「オン」ピクセルグループの位置が列の上下に調整されれば、この配列は、ボウ(即ち、直線の「スマイル」)およびスキューのソフトウェアによる電子補正を容易にする。
【0016】
本発明の特有の一実施形態によれば、空間光変調器は、パッケージされた形態でデジタル光プロセッサと称される、Texas Instruments社のDLP(商標)チップを備える。この半導体チップ自体は、デジタル・マイクロミラー・デバイスまたはDMDと称される場合が多い。このDMDは、基板上に配置される微小電気機械式(MEM)ミラー機構の二次元アレイを含み、各MEMミラー機構は、コントローラにより発生される関連の制御信号に従って、第1および第2の傾斜位置間で移動可能式に支持されるミラーを含む。空間光変調器およびアナモルフィック光学系は、各ミラーが、それが第1の傾斜位置にあるときは、受信されるその関連する光部分を反射屈折アナモルフィック光学系へと反射し、かつ第2の傾斜位置にあるときは、受信される関連の光部分をアナモルフィック光学系から遠方にビームダンプへ向けて反射するように、折り畳まれた配列で位置合わせされる。任意選択のヒートシンクは、第2の傾斜位置にビームダンプへ向けて配置されたミラーからの光部分を受信するように、空間光変調器に相対して固定的に位置合わせされる。コンポーネントの各々を固定された相対位置に保持するために利用されるフレームは、任意選択である。反射式DMDベースの画像形成システムの利点は、折り畳まれた光路配列が、システム設置面積の小型化を容易にすることにある。
【0017】
本発明による別の特有の実施形態によれば、DMD式空間光変調器上へ方向づけられる光源からの均質光は、画像形成ドラムシリンダ上へ方向づけられ、この場合、ドラムシリンダの外側(画像形成)表面にはダンピング(湿し)溶液がコーティングされ、かつダンピング溶液は、インク供給構造体の下を通過する前に反射屈折アナモルフィック光学系からの集中された変調光を用いて選択的に気化される。DMD式空間光変調器は、MEMミラー機構の予め決められたグループが(第1の)時間周期の間に関連する画像ピクセルデータ部分のグレースケール値に従って起動され、かつ結果的に生じる変調光が、ドラム外面の細長い走査領域から湿し溶液を除去することによりライン画像を発生させるべく先に述べたようにアナモルフィック光学系によって画像化されかつ集中されるように構成される。続いて、ドラムシリンダが回転して表面領域がインク源の下を通過すると、露出された表面領域上へインク材料が置かれてインクによる外観が形成される。さらなる回転によってインクによる外観が転写ポイントを通過すると、インク材料と表面領域との接着によりインクの外観が印刷媒体へ転写され、印刷媒体上へ印刷されたインク内に「ドット」が生じる。ドラムシリンダがさらに回転すると、表面領域は、後続の露光/印刷サイクル用に表面領域を準備すべく残留インクおよび湿し溶液材料を除去するクリーニング機構の下へ移動する。
【0018】
本発明のこれらの、および他の特徴、態様および優位点は、以下の説明、添付の請求の範囲および添付の図面との関連においてより良く理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】本発明の例示的な一実施形態による、反射屈折アナモルフィック光学系を利用する単純な画像形成システムを示す上側面斜視図である。
【図2】図1の画像形成システムの一部をさらに詳細に示す部分上側斜視図である。
【図3】本発明の一実施形態による、画像形成動作の間の図1の画像形成システムを示す略側面図である。
【図4A】本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成装置により利用される反射屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図4B】本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成装置により利用される反射屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【図5】本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成システムにより利用されるDMD式空間光変調器の一部を示す斜視図である。
【図6】図5のDMD式空間光変調器に属する光変調素子をさらに詳細に示す分解斜視図である。
【図7A】動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図7B】動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図7C】動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図8】本発明の別の特有の実施形態による、折り畳まれて配置されたDMD式空間光変調器および反射屈折アナモルフィック光学系を利用する画像形成システムを示す斜視図である。
【図9】画像形成動作の間の図8の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10A】画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10B】画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10C】画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図11】本発明の別の特有の実施形態による、反射屈折アナモルフィック光学系を含む画像形成システム示す略平面図である。
【図12】動作の間の図11の画像形成システムを示す略側面図である。
【図13】本発明の別の特有の実施形態による、反射屈折アナモルフィック光学系を含む別の画像形成システム示す略平面図である。
【図14】動作の間の図13の画像形成システムを示す略側面図である。
【図15】本発明の別の特有の実施形態による、折り畳まれて配置されたDMD式空間光変調器およびマルチミラー反射屈折アナモルフィック光学系を利用する画像形成システムを示す斜視図である。
【図16】本発明の別の特有の実施形態による、マルチミラー反射屈折アナモルフィック光学系を含む画像形成システム示す略平面図である。
【図17】動作の間の図16の画像形成システムを示す略側面図である。
【図18】本発明の別の特有の実施形態による、マルチミラー反射屈折アナモルフィック光学系を含む別の画像形成システム示す略平面図である。
【図19】動作の間の図18の画像形成システムを示す略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
図1は、画像データIDに応答して二次元変調光場119Bを発生しかつ画像形成面162(例えば、ドラムシリンダ160の表面)上に略一次元のライン画像SLを発生させるべく二次元変調光場119Bを画像化しかつ集中させるために利用される、単純化された単一パス画像形成システム100を示す。システム100は、均質光発生器110を利用して、空間光変調器120上へ投射される二次元均質光場119Aを発生し、空間光変調器120は、画像データIDのうちの1ラインに従って二次元均質光場119Aを変調しかつ反射屈折アナモルフィック光学系130上へ二次元変調光場119Bを送信(投射)するように制御される。反射屈折アナモルフィック光学系130は、画像形成面162上に略一次元ライン画像SLが発生されるように変調光場119Bを画像化しかつ集中させる。
【0021】
図2および図3は、光源110および変調器120を含む、ライン画像SLの発生の間のシステム100の一部を示す。関連する光路は、説明を目的として「広げられた」形式で示されている。
【0022】
以下で述べる例示的な画像形成プロセスは、デジタル画像データ(「画像データファイルID」)を光パターンより成る対応する二次元画像へ変換することを含む。画像形成動作の「画像形成段階」(部分)は、二次元画像の単一ライン(「ライン画像」)を関連するラインデータ(「ライン画像データ部分」)を用いて発生させることを含む。デジタル画像データは、既知の技法に従って格納される。このような画像形成における画像データファイルIDは、図2の下部ではコントローラ180へ送信されて描かれていて、コントローラ180は、画像データファイルIDを一度に1ラインずつ変調器120へ送信する。画像データファイルIDはLID1からLIDnまでの複数のライン画像データグループで構成され、各ライン画像データグループは、関連する一次元ライン画像を集合的に形成する複数のピクセル画像データ部分を含む。例えば、ライン画像データグループLID1は4つのピクセル画像データ部分PID1からPID3を含み、その各々は対応するピクセル画像の色および/またはグレースケール特性に対応する数ビットの画像データを含む。
【0023】
均質光発生器110は、定エネルギーレベル(束密度)を有する連続的な均質光118Aを用いて均質光場119Aを発生する。均質光発生器110は、適切なキャリア111上へ配置される発光素子(レーザまたはLED)115を含む光源112と、光源112と変調器120との間に配置される光均質化光学系(ホモジナイザ)117とを備える。ホモジナイザ117は、光ビーム116を拡大された二次元領域に亘って均質化する(即ち、混合して拡散する)ことにより均質光118を発生し、かつ光ビーム116の発散を減らす。均質光源110は、直線に沿って配置される複数の端面発光レーザダイオードによって、または二次元アレイに配列される複数の垂直キャビティ面発光レーザ(VCSEL)によって実装される。
【0024】
変調器120は均質光場119A内に配置され、かつ変調素子アレイ122と、制御回路126とを含む。空間光変調器120は均質光118Aの一部を変調して、均質光場119Aを、反射屈折アナモルフィック光学系130を介して画像形成面162の細長い画像形成領域167上へ投射される二次元変調光場119Bへ変換する。ある実際的な実施形態では、このような空間光変調器が市販されていて、典型的には、光変調素子(ピクセル)が約5〜20ミクロン間隔で存在する1024x768(SVGA解像度)またはこれより高い解像度の二次元(2D)アレイサイズを有する。
【0025】
空間光変調器120の変調素子アレイ122は、支持構造体124上で4水平行および3垂直列C1〜C3内に配置される素子125−11から125−34までを含む。素子125−11から125−34までは、均質光場119A内に、各変調素子の光変調構造体(例えば、鏡、回折素子または熱光学吸収体素子)が均質光118Aの対応部分を受け入れるように配置され、かつ受け入れた対応する均質光部分を予め決められた方向に沿って反射屈折アナモルフィック光学系130へと選択的に通す、または配向し直すように位置合わせされる(例えば、変調素子125−11は受け入れる光部分118A−11を通すが、変調素子125−21は受け入れる光部分118A−21が反射屈折アナモルフィック光学系130へ通ることを阻止/再配向/防止する)。
【0026】
制御回路126は、画像形成動作の各画像形成段階の間に1つのライン画像データ部分(例えば、ライン画像データ部分LIN1)を格納する制御(メモリ)セル128−11から128−34までのアレイを含む。ある所定の時間において、ライン画像データ部分LIN1はコントローラ180から制御回路126へ送信され、かつライン画像データ部分LIN1は、画像形成面162の細長い画像形成領域167内に対応するライン画像SLを発生させるために用いられる。これに続く画像形成段階では、第2のライン画像データ部分が制御回路126へ書き込まれ(即ち、ライン画像データ部分LIN1が上書きされ)、画像形成面162の別の細長い画像形成領域内に対応する第2のライン画像(不図示)が発生される。このプロセスでは、ライン画像SLの発生後かつ第2のライン画像の発生より前に、画像形成面162を工程(Y軸)方向へ移動(平行移動)させる必要があることに留意されたい。
【0027】
制御回路126の各メモリセル128−11から128−34は、1つのデータビット(1または0)を格納し、各光変調素子125−11から125−34は各々、変調「オン」状態と変調「オフ」状態との間を切換すべく関連するメモリセル128−11から128−34に格納されるデータビットによって個々に制御可能である。所定の変調素子の関連するメモリセルが論理値「1」を格納していれば、この所定の変調素子は「オン」状態に入るように制御され、これにより、受信される関連の光部分がアナモルフィック光学系130へと通される。例えば、変調素子125−11は、メモリセル128−11に格納されている論理「1」に応答して「オン」であり(例えば、透過性にされ)、これにより、受信される光部分118A−11は変調器120を介してアナモルフィック光学系130へと通される。逆に、変調素子125−21は、メモリセル128−21に格納されている論理「0」に応答して「オフ」にされ(例えば、不透明にされ)、これにより、受信される光部分118A−21は阻止される。変調素子125−11から125−34を画像データIDに従って選択的に「オン」または「オフ」にすることにより、変調器120は連続的な均質光118Aの一部を変調し、反射屈折アナモルフィック光学系130上へと配向させる。
【0028】
空間光変調器120からアナモルフィック光学系130へと通過される、または方向づけられる均質光118Aの一部(例えば、均質光部分118A−24)は、個々には変調光部分と称され、かつ集合的には変調光118Bまたは二次元変調光場119Bと称される。
【0029】
図1において、反射屈折アナモルフィック光学系130は、光場119Bを細長い画像形成領域167上へアナモルフィックに画像化しかつ集中させる働きをする。具体的には、反射屈折アナモルフィック光学系130は、二次元変調光場119Bを工程横断(X軸)方向へ画像化するための工程横断サブ光学系133と、二次元変調光場119Bを工程(Y軸)方向へ画像化しかつ集中させるための工程方向サブ光学系137とを含む。サブ光学系133および137は各々、円柱/非円柱レンズ素子134および円柱/非円柱鏡素子138として示されているが、これらのサブ光学系は各々、典型的には2つ以上の光学素子を含む。レンズ素子134は、変調器120から二次元変調光場119Bを受け入れるように位置合わせされ、かつ二次元変調光場119Bを工程横断方向へ画像化する。サブ光学系133からサブ光学系137へ通過される処理光は、画像形成光119C1である。サブ光学系133は、ライン画像SLの工程横断方向の幅W2が二次元変調光場119Bの元の幅W1に等しいか大きいように、変調光を画像化する。鏡素子138は、サブ光学系133から画像形成光119C1を受け入れるように位置合わせされ、画像形成光119C1を工程方向に集中させる。サブ光学系137から画像形成面162へ通される画像化されかつ集中された光は、画像形成集中光119C2である。変調光場119Bの集中の度合いは、工程横断方向沿いよりも工程方向沿いの方が高く、これにより、受け入れられる変調光部分は、画像形成面162上で工程方向に広がる略一次元のライン画像SLを形成すべくアナモルフィックに集束される。即ち、ライン画像SLの工程方向の高さH2は、二次元変調光場119Bの元の高さH1より実質的に(例えば、3分の1以上)小さい。工程方向の歪に起因して、二次元光場119Bが工程方向よりも工程横断方向へ遙かに広い画像形成システムについては、反射屈折アナモルフィック投影光学系の方が適する。鏡素子138を利用することにより、反射屈折アナモルフィック光学系130は、全屈折アナモルフィック光学系を用いる場合に示され得るものよりも低レベルの工程方向の歪および工程横断方向の矢状像面湾曲を示す。
【0030】
図4(A)および図4(B)は、変調器120Eと反射屈折アナモルフィック光学系130Eとを含むシステム100Eを示す。変調器120Eは、反射屈折アナモルフィック光学系130E上へ二次元変調光場119Bを投射し、反射屈折アナモルフィック光学系130Eは、コリメートサブ光学系131Eと、工程横断サブ光学系133Eと、工程方向サブ光学系137Eとを含む。
【0031】
図4(A)は、サブ光学系131E、サブ光学系133Eおよび画像変調光場119Bを示す平面図である。サブ光学系131Eは、変調器120Eから僅かに拡散される光部分をコリメートするように配置される円柱/非円柱コリメート視野レンズ132Eを含む。サブ光学系131Eは、任意選択である。サブ光学系133Eは変調光場119Bを受け入れるように位置合わせされ、かつ変調光場119Bを工程横断方向へ画像化するように成形されかつ配列される円柱/非円柱レンズ134Eを含む。またサブ光学系133Eは、変調光場119Bを工程横断方向へ拡張するようにも作用する。
【0032】
図4(B)は、サブ光学系137Eが変調器120Eにより通過される変調光部分118Bにどのように作用し、かつスキャンラインSLを形成する画像形成集中光場119C1をどのように発生するかを示す側面図である。サブ光学系137Eは、光119C1を工程方向へ画像化しかつ集中させる円柱/非円柱鏡138Eを含み、これにより、画像形成集中変調光119C2が画像形成面162E上へ方向づけられる。サブ光学系137Eをサブ光学系133Eより後に位置合わせすることの優位点は、光パワーの強度がスキャンラインSL上に集中されることを可能にすることにある。鏡138Eの集束能力が増加するにつれて、変調器120E上の光強度は、ライン画像SLの強度と相対的に低減される。しかしながらこれは、鏡138Eが画像形成面162Eへより近接して配置されなければならないことを意味する。
【0033】
図2では、光学系130を利用して変調光場119Bを工程方向に集中させることにより、工程横断方向に広がる画像形成面162上にライン画像SLが形成される。所定のグループ(例えば、グループG1)の全ての変調素子(例えば、125−11から125−14)を起動することによって所定のピクセル画像(例えば、部分P1)が発生されると、ライン画像SLの所定の点上に高い合計光強度(例えば、束密度約数百ワット/cm2のオーダー)が発生され、これにより、例えば単一パス高解像度高速印刷用途において一次元ライン画像SLの全ての部分を同時に生成するために使用されることが可能な高信頼性の高速画像形成システムが促進される。
【0034】
より低い光学解像度におけるマルチレベル画像露光は、ライン画像SLの各ピクセル画像位置上へ方向づけられる露光レベルを変えることにより高品質の画像形成(印刷)を達成するために利用される。具体的には、ライン画像SLにおける各ピクセル画像(例えば、図1における部分P1、P2およびP3)の露光レベルは、変調器120の起動される光変調素子の数および位置を制御することによって変更され、これにより、各ピクセル画像を発生すべく結合される変調光118Bの量および位置が制御される。この手法は、本発明が、マルチレベル(グレースケール)の画像露光特性を提供すべく高い光学解像度を用いて画像形成面に渡るレーザビームを走査しながら高出力レーザを変調する代わりに、画像形成面162上へ変調光を集束すべく比較的低出力の光源を変調しかつ比較的低い光学解像度の画像形成システムを利用することによりライン画像SLの全ての位置において同時にマルチレベル画像露光を提供することにおいて、従来のレーザROSの動作を凌ぐ著しい改良をもたらす。即ち、拡張された二次元領域に渡って広げられる均質光を利用することにより、所定の領域に亘る(例えば、各変調素子125−11から125−34までの領域に亘る)光の強度(ワット/cm2)は、空間光変調器120を形成すべく低コストの光学ガラスおよび反射防止コーティングを利用できるように、受け入れ可能なレベルまで低減され、よって製造コストが低減される。
【0035】
マルチレベル画像露光は、工程方向に略位置合わせされる光変調素子のグループを形成し、各変調素子グループを関連するピクセル画像データ部分に従って構成し、次いで、画像ラインSLを形成すべく結果的に生じる細長いピクセル画像を反射屈折アナモルフィック光学系130を利用して工程方向に画像化しかつ集中させることによって達成される。図2において、変調素子列C1からC3は工程方向に対して平行に位置合わせされ、かつ各変調素子グループG1からG3は、列C1からC3までの各々に配置される変調素子より成る(グループG1は素子125−11から125−14までを含み、グループG2は素子125−21から125−24までを含みかつグループG3は素子125−31から125−34までを含む)。各グループ/列により発生される画像は、効果的には、工程方向へ「延伸された」(長くされた)ピクセル画像を形成する。光学系130は、変調光部分を工程方向に集中させることによって各ピクセル画像(例えば、ピクセル画像P1)を発生することから、各ピクセル画像P1のグレースケール特性は、工程(Y軸)方向に位置合わせされる対応する数の変調素子を構成することによって制御されることが可能である。コントローラ180は、各ピクセル画像データ部分のグレースケール値を解明し、かつライン画像SLの各ピクセル位置において適切なピクセル画像を発生するために制御セル128−11から128−14へ対応する制御データを書き込む。
【0036】
図2は、3つの露光レベル、即ち「完全にオン」、「完全にオフ」および「部分的にオン」を用いるマルチレベル画像露光を示す。ピクセル画像データ部分PID1はグレースケール値「完全にオン」を有していて、グループG1の素子125−11から125−14が全て起動され(「オン」)、よって、均質光場119Aの均質光部分118A−11から118A−14は反射屈折アナモルフィック光学系130へ通される。ピクセル画像データ部分PID2は値「完全にオフ」を有し、よってグループG2の変調素子125−21から125−24は全て、変調素子125−21から125−24上へ方向づけられる均質光118Aが反射屈折アナモルフィック光学系130へ到達することを妨げられる(即ち、阻止される、または配向し直される)ように非活性化され(「オフ」)、これにより、画像形成面162上の第2の画像形成領域部分167−2に光ピクセル画像P2が最小(暗)画像「スポット」として発生される。ピクセル画像データ部分PID3は「部分的にオン」であり、変調素子125−32および125−33が起動されかつ変調素子125−31および125−34が非活性化されて均質光部分を変調素子125−32から125−33を介してのみ通過させ、これにより、画像形成面162の第3の画像形成領域部分167−3にピクセル画像P3が明るい小さな「スポット」として形成される。
【0037】
上述のシステムおよび方法を用いる二次元画像の生成は、画像形成面162を周期的または連続的に工程方向に移動させること(すなわちスクローリング)、および各画像形成段階の後に空間光変調器120を設定し直すことを必要とする。ライン画像データグループLIN1を用いてライン画像SLが発生された後、画像形成面162は上へ移動され、かつ第2の画像形成段階が次の順番のライン画像データグループを変調器120へ書き込むことによって実行され、これにより、ライン画像SLに平行しかつその下に位置合わせされる第2のライン画像が発生される。光源110は、場合により画像形成段階間でトグルされ、または、画像形成動作の全ての画像形成段階を通じて絶えず「オン」状態に保持される。このプロセスを画像データファイルIDの全てのライン画像データグループLIN1〜LINnについて反復することにより、画像データファイルIDにより表現される二次元画像が画像形成面162上に発生される。
【0038】
空間光変調器は、米国テキサス州ダラス所在のTexas Instruments社から入手可能なデジタル光処理(DLP(登録商標))チップ等のデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、米国コロラド州ラファイエット所在のBoulder Nonlinear Systems社から入手可能なLinear Array Liquid Crystal Modulator(リニアアレイ液晶変調器)等の電子光学回折変調器アレイ、または二酸化バナジウム反射または吸収鏡素子等の熱光学吸収素子のアレイを含む、市販のデバイスを用いて実装される。今日、多くの印刷/走査用途は、10:1を超える高い画像コントラスト比を有する1200dpi以上の解像度、小さいピクセルサイズおよび30kHzを超える高速表示行指定機構を必要とし、よって、現時点で好ましい空間光変調器は、その最良の総合性能に起因してDLP(商標)チップである。
【0039】
図5は、複数の微小電気機械式(MEM)ミラー機構125Gで構成される変調素子アレイ122Gを含むDMD式空間光変調器(DMD)120Gの一部を示す。Texas Instruments社によって販売されるDMDと一致して、MEMミラー機構125Gは、半導体基板124G上の長方形アレイ内に配列される。ミラー機構125Gは、ミラー125Gの下に配置される制御回路126Gによって制御される。
【0040】
図6は、アレイ122Gの例示的なミラー機構125G−11をさらに詳細に示している。ミラー機構125G−11は、基板124Gの上面で最上層210と、中央領域220と、下方領域230とに分割される。最上層210は、16マイクロメートル幅である正方形または長方形のアルミニウムミラー(光変調構造体)212を含む。中央領域220は、2つの弾性ねじりヒンジ224によって支持プレート225へ接続されるヨーク222と、1対の高架電極227および228とを含む。下方領域230は、電極プレート231および232と、バイアスプレート235とを含む。ミラー機構125G−11は、制御回路126Gにより発生される制御信号127G−1により2つのデータ状態のうちの何れかを格納するSRAMメモリセル240によって制御される。メモリセル240は、相補的な出力信号DおよびDバーを発生する。
【0041】
下方領域230は、めっき層をエッチングすること、または別段で基板124G上へ形成されるパッシベーション層(不図示)上に金属パッドを形成することによって形成される。電極プレート231および232は各々、バイアス制御信号127G−2、またはメモリセル240により格納される相補的なデータ信号DおよびDバーの何れかを、パッシベーション層を介して広がる金属バイアによって受信するように接続される。
【0042】
中央領域220は下方領域230の上に配置され、ヨーク222は、基板124Gに対するヨーク222の傾斜を容易にすべく後述するように捻れる弾性ねじりヒンジ224によって支持プレート225により移動可能式(回動可能式)に接続されかつ支持される。支持プレート225は、バイアスプレート235の上に配置され、かつバイアスプレート235の領域236上へ固定的に接続される支持ポスト226によってバイアスプレート235へ電気的に接続される。電極プレート227および228は、同様に、各々電極プレート231および232の上に配置され、かつ電極プレート231および232の領域233上へ固定的に接続される支持ポスト229によって電極プレート231および232へ電気的に接続される。ミラー212は、ヨーク222の中央領域223上へ付着されるミラーポスト214によってヨーク222へ固定的に接続される。
【0043】
図7(A)から図7(C)は、動作中のミラー機構125G−11を示す。図7(A)は、受け入れられる光部分118A−Gが第1の角度θ1でミラー212を去る反射光部分118B−G1になる、変調「オン」状態におけるミラー機構125G−11を示す。変調「オン」状態を設定するために、SRAMメモリセル240は、出力信号Dが電極プレート231および高架電極227へ送られる高電圧(VDD)であり、かつ出力信号Dバーが電極プレート232および高架電極228へ送られる低電圧(接地)であるように、あらかじめ書き込まれたデータ値を格納する。これらの電極は、ミラーの位置を静電気引力によって制御する。電極プレート231および232により形成される電極対はヨーク222へ作用するように位置合わせされ、かつ高架電極227および228により形成される電極対はミラー212に作用するように位置合わせされる。ほとんどの時間、ヨーク222の両側へは等しいバイアス電荷が同時に印加される。中央位置へ反転する代わりに、予期されるように、この等しいバイアスは実質的にミラー122をその現行の「オン」位置に保持する。
【0044】
ミラー212を「オン」位置から「オフ」位置へ移動させるために、必要とされる画像データビットが、制御信号127G−1によってSRAMメモリセル240へロードされる。図7(A)において、アレイ122Gの全てのSRAMセルが画像データによってロードされると、バイアス制御信号はディアサートされ、これにより、D信号がSRAMセル240から電極プレート231および高架電極227へ送信され、かつDバーがSRAMセル240から電極プレート232および高架電極228へ送信され、これにより、ミラー212は図7(B)に示されている「オフ」位置へ移動され、これにより、受け入れられた光部分118A−Gはミラー212を第2の角度θ2で去る反射光部分118B−G2になる。続いて、バイアス制御信号127G−2が復元されると、図7(C)で示されているように、ミラー212は「オフ」位置に保持され、次の必要な動作のメモリセル240へのロードが可能になる。
【0045】
図7(A)から図7(C)では、ミラー機構125G−11の回動ねじり軸によって、ミラー212が対角軸を中心としてDLPチップハウジングのx−y座標に対し相対回転する。この対角的な傾斜により、画像形成システム内の空間光変調器から受け入れられる入射光部分は、光の出射角がDLPチップの表面に対して垂直となるように、各ミラー機構125G上へ合成入射角で投影される必要がある。この要件は、画像形成システムの隣り合わせの配置を複雑にする。
【0046】
図8は、DMD120Hを「折り畳まれた」配置で利用するシステム100Hを示し、かつ単純化された反射屈折アナモルフィック光学系130Hを示している。DMD120Hは、均質光場119Aの入射する均質光部分118Aが、「オン」であるMEMミラー機構125Hによって反射屈折アナモルフィック光学系130Hへ向かって反射されるか、「オフ」であるMEMミラー機構125Hによって反射屈折アナモルフィック光学系130Hから遠方へ(例えば、ヒートシンク上へ)反射されるかの何れかであるように、光発生器110Hおよび反射屈折アナモルフィック光学系130Hに対して合成角を成して位置合わせされる。
【0047】
システム100Hは、反射屈折アナモルフィック光学系130Hが、ドラムシリンダ160H上に発生される2つのライン画像の位置および左から右への順序が効果的に「反転される」ように、変調光場119Bを工程方向および工程横断方向の双方へ反転させることによって特徴づけられる。図8の左下部分は、DMD120Hの正面図を示し、かつ図8の右下部分は、画像形成面162Hの画像形成領域167Hの正面図を示す。左下の図は、変調素子列C1が、ライン画像データ部分LIN11の第1のピクセル画像データ部分PID11により制御される第1の変調素子グループG1を形成することを示す。同様に、残りの光変調素子列は、ライン画像データ部分LIN11の残りのピクセル画像データ部分を実装する対応する変調素子グループを形成する。変調素子グループG1〜G8は、空間光変調器120Hへ「上下逆および逆行」式に書き込まれる。サブ光学系133Hは、ピクセル画像データPID11により構成される光変調素子が細長い画像形成領域167Hの右側にピクセル画像P11を発生し、かつピクセル画像データPID18により構成される光変調素子が細長い画像形成領域167Hの左上側にピクセル画像P18を発生するように、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズを用いて変調光場119Aを反転する。サブ光学系137Hは、(反転されない)ピクセル画像部分が細長い画像形成領域167Hの左上部分に現出するように、かつ(反転されない)ピクセル画像P188が細長い画像形成領域167Hの右下部分に現出するように、1つまたは複数の円柱/非円柱鏡を用いてサブ光学系133Hから受け入れられる画像形成光場を反転する。
【0048】
マルチレベル画像露光は、工程(Y軸)方向に略位置合わせされるDMD120HのMEMミラー機構グループを、「部分的にオン」のピクセル画像が関連するMEMミラー機構グループの中央領域に配置される連続的なMEMミラー機構を起動することによって実装されるように構成することにより、システム100Hを用いて達成される。変調素子グループG1は列C1内に配置される変調素子125Hより成り、グループG1は画像ピクセルデータ部分PID11によって、変調素子の全てが「オン」であり、よってピクセル画像P11が最大の明るさを有するように構成される。変調素子グループG8は列C8内に配置される変調素子125Hより成り、グループG8は画像ピクセルデータ部分PID18によって、変調素子の全てが「オフ」であり、よって画像形成面162H上に暗いピクセル画像P18が生成されるように構成される。MEMミラー機構の残りのグループは、3つの例示的なグレースケール値「部分的にオン」を用いて構成され、この場合、グループG2は、列C2の上下に配置される2つの非活性化されたMEMミラー機構と、これらの非活性化されたMEMミラー機構の間に配置される6つの活性化されたMEMミラー機構とによって形成されるグレースケール値「ほとんどオン」を有する。これに対して、グループG7は、列C7の上下に配置される6つの非活性化されたMEMミラー機構と、これらの非活性化されたMEMミラー機構の間に配置される2つの活性化されたMEMミラー機構とを有する「かろうじてオン」であり、かつグループG5は、列C5の上下に配置される4つの非活性化されたMEMミラー機構と、これらの非活性化されたMEMミラー機構の間に配置される4つの活性化されたMEMミラー機構とを有する「中位のオン」である。
【0049】
図9、図10(A)、図10(B)および図10(C)は、ある例示的な画像形成動作中のシステム100Hを示す。これらの略側面図は、工程横断方向の反転および画像化されかつ集中される光の下方反射を無視していることに留意されたい。
【0050】
図9は、例示的な変調素子グループG2がライン画像データグループPID12によって構成され、よってMEMミラー機構125H−22から125H−27が起動されかつMEMミラー機構125H−21および125H−28が非活性化される場合の画像形成システム100H(T1)(即ち、時間T1における画像形成システム100H)を示す。
【0051】
システム100Hはさらに、画像形成領域の上流側のあるポイントで画像形成面162H上へ湿し溶液192を塗布する液体源190と、画像形成領域の下流側のあるポイントでインク材料197を塗布するインク源195とを含む。さらに、転写機構(不図示)は、インク材料197を標的である印刷媒体へ転写するために設けられ、かつクリーニング機構198は、次の露光サイクルのために画像形成面162Hを準備するために設けられる。
【0052】
図9を再度参照すると、その起動された構成状態に起因して、MEMミラー機構(光変調素子)125H−22から125H−27は均質光場119Aの一部を、変調光部分118B−22から118B−27が反射屈折アナモルフィック光学系130Hを介して方向づけられるように反射する(均質光部分は、非活性化されたMEMミラー機構125H−21および125H−28によって反射屈折アナモルフィック光学系130Hから遠方へと配向し直されることに留意されたい)。変調光部分118B−22から118B−27は、反射屈折アナモルフィック光学系130Hによって画像化されかつ集中される変調光場119Bを形成し、これにより、画像形成面162H上の細長い画像形成領域167H−1内にライン画像SL1の一部を形成するピクセル画像P12を生成する集中された変調光場119Cが発生される。具体的には、変調光部分118B−22から118B−27によって形成される関連の集中光は、細長い画像形成領域167H−1から湿し溶液192を除去(気化)する(即ち、これにより、ピクセル画像P21における画像形成面162Hの一部が露光される)。ピクセル画像P21のサイズ(即ち、画像形成面162Hから除去される湿し溶液の量)は、起動されるMEMミラー機構の数によって決定されることに留意されたい。
【0053】
図10(A)、図10(B)および図10(C)は、時間T1に続く変調器120Hが非活性化される時間におけるシステム100Hを示して、表面機能P12(図9参照)が画像形成システム100Hの画像転写動作に従って引き続きどのように利用されるかを示している。図10(A)を参照すると、時間T2において、ドラムシリンダ160Hは既に、表面領域162H−1がインク源195の下を通過するまで回転している。湿し溶液の除去によって、インク材料197は露光された表面領域162H−1へ接着し、インク外形TFが形成される。図10(B)を参照すると、インク外形TFが転写ポイントを通過しつつある時間T3において、インク材料と表面領域162H−1との接着の弱さ、およびインク材料の印刷媒体(不図示)への引力の強さに起因してインク外形TFは印刷媒体へ転写され、結果的に、印刷媒体上へ印刷されるインク内に「ドット」が生じる。続くT4では、図10(C)に示されているように、表面領域162H−1はクリーニング機構198の下を回転され、クリーニング機構198は、残留するインクおよび湿し溶液材料を除去して後続の露光/印刷サイクル用の表面領域162H−1を準備する。上述の画像転写動作に従って、インク材料は、先に述べた画像形成プロセスによって露光される画像形成面162Hの一部上へのみ転写し(即ち、インク材料は湿し溶液192へ接着しない)、これによりインク材料は、本明細書で述べているように、集中光に曝されるドラムローラ160Hの一部からのみ印刷媒体へ転写される。したがって、従来のシステムの場合のようなプレートからの不変データではなく、湿し溶液除去からの可変データが転写される。このプロセスの場合、ラスタ化光源(即ち、スキャンラインと交差して前後にラスタ化される光源)を用いて動作するためには、湿し溶液をリアルタイムで除去するに足る単一の超高出力光(例えば、レーザ)源が必要になると思われる。本発明による画像形成動作の利点は、スキャンライン全体から液体が同時に除去されることにより、複数の比較的低出力の光源を用いてオフセットされた印刷設定が高速で提供されることにある。
【0054】
図11および図12は、本発明の第1の特有の実施形態に従って配置された反射屈折アナモルフィック光学系130Jを含む画像形成システム100Jを示す単純化された上面図および側面図である。反射屈折アナモルフィック光学系130Jは、簡潔さのために単純化された空間光変調器120Jと単純化された画像形成面162Jとの間に配置され、よって、これらのコンポーネントがこれまでに述べた代替の構造体およびディテールを用いて実装され得ることは理解される。
【0055】
図11および図12を参照すると、反射屈折アナモルフィック光学系130Jは、視野レンズ132Jと、工程横断サブ光学系133Jと、工程サブ光学系137Jとを含む。工程横断サブ光学系133Jは、画像形成面162J上へ変調光場119Bを工程横断方向へ図11に示されているレイトレース(破線)ラインに一致して画像化すべく協働的に成形されかつ配置される(第1及び第2の)二重円柱/非円柱レンズ素子134Jおよび135Jを含む。即ち、二重レンズ素子134Jおよび135Jは、工程(X軸)方向に対して平行である中立軸またはゼロ出力軸沿いを中心として一定の湾曲形状を有する光学表面を有し、かつこれらのレンズは、ライン画像SLが画像形成面162J上で工程方向に予め決められた長さを有するように、空間光変調器120Jと画像形成面162Jとの間に位置合わせされる。任意選択のコリメートする視野レンズ132Jは、空間光変調器120Jとレンズ素子134Jとの間に配置される、かつ二重レンズ素子134Jおよび135J間の1点で光を工程横断(X軸)方向に収束するようにレンズ素子134Jと協働的に形成され、よって二重レンズ素子134Jおよび135J間の開口絞りの位置合わせを有効化する工程横断方向の円柱/非円柱レンズである。この配置は、少数の単純なレンズを用いる収差の効率的な補正を可能にし、また、二重レンズ素子134Jおよび135Jのサイズも最小化する。また、視野レンズ132Jは、空間光変調器120Jの表面から離れて僅かに拡散しつつある光部分をコリメートする働きもする。工程サブ光学系137Jは、工程横断サブ光学系133Jから受け入れられる光を画像形成面162J上へ工程(Y軸)方向に図12に示されているレイトレース・ラインに一致するようにして画像化しかつ集中させるべく成形されかつ位置合わせされる単一の円柱/非円柱鏡素子138Jを含む。レンズ138Jの集束能力が増加するにつれて、空間光変調器120J上の光強度は、ライン画像SLの強度と相対的に低減される。しかしながらこれは、円柱/非円柱鏡138Jが画像形成面162Jへより近接して配置されなければならないことを意味する。
【0056】
図13および図14は、本発明の第2の特有の実施形態に従って配置された反射屈折アナモルフィック光学系130Jを含む画像形成システム100Jを示す単純化された上面図および側面図である。反射屈折アナモルフィック光学系130Kは、空間光変調器120Kと画像形成面162Kとの間に描かれているが、先に述べた他の配置で用いられてもよい。反射屈折アナモルフィック光学系130Kは、順次配置される視野レンズ132Kと、工程横断サブ光学系133Kと、工程サブ光学系137Kとを含む。工程横断サブ光学系133Kは、図13におけるレイトレース・ラインにより示されているようにして画像変調光場119Bを画像形成面162K上へ工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置される三重の円柱/非円柱レンズ素子134K、135Kおよび136Kを含む。視野レンズ132Kは、空間光変調器120Kとレンズ素子134Kとの間に位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズであり、かつ開口Y停止装置の工程横断サブ光学系133Kの(第2及び第3の)レンズ素子135Kと136Kとの間の位置決めを有効化するようにレンズ素子134Kおよび135Kと協働的に成形されかつ位置合わせされ、視野レンズ132Jに関連して先に述べた利点と同様の利点を提供する。工程サブ光学系137Kは、変調光場119Bを画像形成面162K上へ工程(Y軸)方向に図14に示されているレイトレース・ラインに一致するようにして画像化しかつ集中させるべく成形されかつ配置される単一の円柱/非円柱鏡素子138Kを含む。
【0057】
図15は、本発明の別の特有の実施形態による、均質光発生器110P、DMD式空間光変調器120Pおよびマルチミラー式反射屈折アナモルフィック光学系130Kを利用する画像形成システム100Pを示す斜視図である。空間光変調器120Pは、(先に述べた)DMD式空間光変調器120Gと略同一であり、かつ先に述べた方法と同様にして、コントローラ180Pから送信される画像データに応答して変調光場119Bを発生するために、均質光発生器110Pに対して合成角を成して位置合わせされる。DMD式画像形成システム100Pは、ドラムローラ160Pの画像形成面162P上へライン画像SL1を発生するために少なくとも2つのミラーを利用する工程サブ光学系137Pを含むことにおいて、これまでの実施形態とは異なる。具体的には、先に述べたサブ光学系と同様に、反射屈折アナモルフィック光学系130Pは、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズにより形成される工程横断サブ光学系133Pを含むが、少なくとも一方は円柱/非円柱鏡である少なくとも2つのミラーにより形成される工程サブ光学系137Qを有する。図15に示されている、かつ図16〜図19を参照して後にさらに詳述されるマルチミラー式反射屈折アナモルフィック光学系アーキテクチャは、工程方向の歪レベルを下げ、かつ反射屈折アナモルフィック光学系に特徴的である工程横断方向の矢状像面湾曲を下げ、かつ、画像形成面(即ち、ドラムシリンダ)の光学系側面上への(即ち、先に述べた実施形態において提示されているような光学系の下ではなく)位置合わせも可能にする。
【0058】
図16および図17は、本発明の別の特有の実施形態に従って配置された第1のマルチミラー式反射屈折アナモルフィック光学系130Qを含む画像形成システム100Qを示す単純化された上面図および側面図である。光学系130Qは、空間光変調器120Qと画像形成面162Qとの間に光路を形成するものとして描かれているが、先に述べたような他の装置またはデバイスにおいて用いられてもよい。アナモルフィック光学系130Qは、視野レンズ132Qと、工程横断サブ光学系133Qと、工程サブ光学系137Qとを含む。工程横断サブ光学系133Qは、図16におけるレイトレース・ラインにより示されているようにして画像変調光場119Bを画像形成面162Q上へ工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置される三重の円柱/非円柱レンズ素子134Q、135Qおよび136Qを含む。視野レンズ132Qは、空間光変調器120Qとレンズ素子134Qとの間に位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズであり、かつ開口絞りの(第2及び第3の)レンズ素子135Qと136Qとの間の位置決めを有効化するようにレンズ素子134Qおよび135Qと協働的に成形されかつ位置合わせされ、これにより視野レンズ132Jに関連して先に述べた利点と同様の利点が提供される。工程サブ光学系137Qは、図17に示されているレイトレース・ラインに一致するようにして変調光場119Bを画像形成面162Q上へ工程(Y軸)方向に画像化しかつ集中させるように成形されかつ配置される分離された折り畳み(平面)鏡138Rおよび円柱/非円柱鏡139Rを含む。
【0059】
表1は、光学系130Qの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。表1(および後出の表2)において、光学系入力(光源)に面する各素子の表面は「S1」と称され、かつ光学系出力に面する各素子の表面は「S2」と称される。例えば、「132Q:S1」は、空間光変調器120Qに面する視野レンズ132Qの表面を指す。曲率値の単位は1/ミリメートル、かつ厚さの値の単位はミリメートルである。光源(即ち、空間光変調器120Qの表面)および標的表面(即ち、画像形成面162Q)は共に、記載された処方に関しては平面であるものとされていることに留意されたい。この光学処方は、光波長980nmも想定している。光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.33を有する。
【表1】
【0060】
図18および図19は、本発明の別の特有の実施形態に従って配置された第2のマルチミラー式反射屈折アナモルフィック光学系130Rを含む画像形成システム100Rを示す単純化された上面図および側面図である。光学系130Rは、空間光変調器120Rと画像形成面162Rとの間に光路を形成するが、先に述べたような他の装置またはデバイスにおいて用いられてもよい。アナモルフィック光学系130Rは、視野レンズ132Rと、工程横断サブ光学系133Rと、工程サブ光学系137Rとを含む。工程横断サブ光学系133Rは、図18におけるレイトレース・ラインにより示されているようにして画像変調光場119Bを画像形成面162R上へ工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置される三重の円柱/非円柱レンズ素子134R、135Rおよび136Rを含む。視野レンズ132Rは、空間光変調器120Rとレンズ素子134Rとの間に位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズであり、かつ開口絞りの(第2及び第3の)レンズ素子135Rと136Rとの間の位置決めを有効化するようにレンズ素子134Rおよび135Rと協働的に成形されかつ位置合わせされ、これにより視野レンズ132Jに関連して先に述べた利点と同様の利点が提供される。工程サブ光学系137Rは、図19に示されているレイトレース・ラインに一致するようにして変調光場119Bを画像形成面162R上へ工程(Y軸)方向に画像化しかつ集中させるように協働的に成形されかつ配置される(第1及び第2の)円柱/非円柱鏡138Qおよび139Qを含む。表2は、反射屈折アナモルフィック光学系130Rの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。この光学処方は、光波長980nmを想定し、かつ、光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.44を有する。
【表2】
【0061】
本発明は、線形である光路を有する(図1参照)、1つの折り畳みを有する(図8参照)または2つの折り畳みを有する(図15参照)ものとして示されているが、当業者には、任意数の任意の光路に沿って折り畳みを含む他の配置が企図されてもよい。さらに、高エネルギーライン画像を発生するための上述の方法は、本明細書に記述されているもの以外のデバイスを用いて達成されてもよい。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
画像データファイルに従って画像形成面上を工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生するための単一パス画像形成システムであって、
第1の光強度を有する光部分を含む二次元変調光場を発生するための手段と、
反射屈折アナモルフィック光学系とを備え、前記反射屈折アナモルフィック光学系は、
前記二次元変調光場を工程横断方向へ画像化すべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子と、
前記画像化される変調光場を、前記画像化されかつ集中される変調光場が前記画像形成面上に前記略一次元ライン画像を形成するように工程方向へ画像化しかつ集中させるべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも1つの円柱/非円柱鏡素子とを含む単一パス画像形成システム。
【請求項2】
画像データファイルに従って画像形成面上を工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生するための単一パス画像形成システムであって、
1つまたは複数の光ビームを発生するための少なくとも1つの光源と、前記1つまたは複数の光ビームを、均質化される光ビームの一部が均質な光場を形成するように均質化するための手段を含む少なくとも1つの光ホモジナイザとを含む均質光発生器と、
アレイ状に配置される複数の光変調素子と、前記複数の光変調素子を、前記二次元光場が第1の変調状態における前記アレイの第1の光変調素子から方向づけられる前記均質な光場の一部によってのみ発生されるように、画像データファイルに従って第1の変調状態および第2の変調状態のうちの一方へと個々に構成するための手段とを含む空間光変調器と、
反射屈折アナモルフィック光学系とを備え、前記反射屈折アナモルフィック光学系は、
前記二次元変調光場を工程横断方向へ画像化すべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子と、
少なくとも1つの円柱/非円柱鏡素子を含む少なくとも2つの鏡素子とを含み、前記少なくとも2つの鏡素子は各々、前記少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子から受け入れられる変調光を、前記少なくとも2つの鏡素子から送信される画像化されかつ集中される変調光場が前記画像形成面上に前記略一次元ライン画像を形成するように、工程方向へ協働的に画像化しかつ集中させるべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される単一パス画像形成システム。
【請求項3】
画像データファイルに従って画像形成面上を工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生するための単一パス画像形成システムであって、
1つまたは複数の光ビームを発生するための少なくとも1つの光源と、前記1つまたは複数の光ビームを、均質化される光ビームの一部が均質な光場を形成するように均質化するための手段を含む少なくとも1つの光ホモジナイザとを含む均質光発生器と、
アレイ状に配置される複数の光変調素子と、前記複数の光変調素子を、前記二次元変調光場が第1の変調状態における前記アレイの第1の光変調素子から方向づけられる前記均質な光場の一部によってのみ発生されるように、画像データファイルに従って第1の変調状態および第2の変調状態のうちの一方へと個々に構成するための手段とを含む空間光変調器であって、前記二次元変調光場は工程横断方向に第1の幅を有しかつ工程方向に第1の高さを有する空間光変調器と、
前記画像形成面上へ前記略一次元ライン画像を発生すべく前記二次元光場を画像化しかつ集中させるための反射屈折アナモルフィック光学系とを備え、前記反射屈折アナモルフィック光学系は、
前記二次元変調光場を、前記略一次元ライン画像が工程横断方向に前記二次元変調光場の前記第1の幅以上である第2の幅を有するように工程横断方向へ画像化しかつ拡張すべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子と、
前記画像化されかつ拡張される変調光場を、前記略一次元ライン画像が工程方向に前記二次元変調光場の前記第1の高さより少なくとも3分の1以上小さい第2の高さを有するように工程方向へ画像化しかつ集中させるべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも2つの円柱/非円柱鏡素子とを含む単一パス画像形成システム。
【請求項1】
画像データファイルに従って画像形成面上を工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生するための単一パス画像形成システムであって、
第1の光強度を有する光部分を含む二次元変調光場を発生するための手段と、
反射屈折アナモルフィック光学系とを備え、前記反射屈折アナモルフィック光学系は、
前記二次元変調光場を工程横断方向へ画像化すべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子と、
前記画像化される変調光場を、前記画像化されかつ集中される変調光場が前記画像形成面上に前記略一次元ライン画像を形成するように工程方向へ画像化しかつ集中させるべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも1つの円柱/非円柱鏡素子とを含む単一パス画像形成システム。
【請求項2】
画像データファイルに従って画像形成面上を工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生するための単一パス画像形成システムであって、
1つまたは複数の光ビームを発生するための少なくとも1つの光源と、前記1つまたは複数の光ビームを、均質化される光ビームの一部が均質な光場を形成するように均質化するための手段を含む少なくとも1つの光ホモジナイザとを含む均質光発生器と、
アレイ状に配置される複数の光変調素子と、前記複数の光変調素子を、前記二次元光場が第1の変調状態における前記アレイの第1の光変調素子から方向づけられる前記均質な光場の一部によってのみ発生されるように、画像データファイルに従って第1の変調状態および第2の変調状態のうちの一方へと個々に構成するための手段とを含む空間光変調器と、
反射屈折アナモルフィック光学系とを備え、前記反射屈折アナモルフィック光学系は、
前記二次元変調光場を工程横断方向へ画像化すべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子と、
少なくとも1つの円柱/非円柱鏡素子を含む少なくとも2つの鏡素子とを含み、前記少なくとも2つの鏡素子は各々、前記少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子から受け入れられる変調光を、前記少なくとも2つの鏡素子から送信される画像化されかつ集中される変調光場が前記画像形成面上に前記略一次元ライン画像を形成するように、工程方向へ協働的に画像化しかつ集中させるべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される単一パス画像形成システム。
【請求項3】
画像データファイルに従って画像形成面上を工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生するための単一パス画像形成システムであって、
1つまたは複数の光ビームを発生するための少なくとも1つの光源と、前記1つまたは複数の光ビームを、均質化される光ビームの一部が均質な光場を形成するように均質化するための手段を含む少なくとも1つの光ホモジナイザとを含む均質光発生器と、
アレイ状に配置される複数の光変調素子と、前記複数の光変調素子を、前記二次元変調光場が第1の変調状態における前記アレイの第1の光変調素子から方向づけられる前記均質な光場の一部によってのみ発生されるように、画像データファイルに従って第1の変調状態および第2の変調状態のうちの一方へと個々に構成するための手段とを含む空間光変調器であって、前記二次元変調光場は工程横断方向に第1の幅を有しかつ工程方向に第1の高さを有する空間光変調器と、
前記画像形成面上へ前記略一次元ライン画像を発生すべく前記二次元光場を画像化しかつ集中させるための反射屈折アナモルフィック光学系とを備え、前記反射屈折アナモルフィック光学系は、
前記二次元変調光場を、前記略一次元ライン画像が工程横断方向に前記二次元変調光場の前記第1の幅以上である第2の幅を有するように工程横断方向へ画像化しかつ拡張すべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも1つの円柱/非円柱レンズ素子と、
前記画像化されかつ拡張される変調光場を、前記略一次元ライン画像が工程方向に前記二次元変調光場の前記第1の高さより少なくとも3分の1以上小さい第2の高さを有するように工程方向へ画像化しかつ集中させるべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される少なくとも2つの円柱/非円柱鏡素子とを含む単一パス画像形成システム。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【公開番号】特開2013−45109(P2013−45109A)
【公開日】平成25年3月4日(2013.3.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−179822(P2012−179822)
【出願日】平成24年8月14日(2012.8.14)
【出願人】(502096543)パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッド (393)
【氏名又は名称原語表記】Palo Alto Research Center Incorporated
【Fターム(参考)】
【公開日】平成25年3月4日(2013.3.4)
【国際特許分類】
【出願日】平成24年8月14日(2012.8.14)
【出願人】(502096543)パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッド (393)
【氏名又は名称原語表記】Palo Alto Research Center Incorporated
【Fターム(参考)】
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