膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び電子機器
【課題】本発明は、基板上に配置されるそれぞれの液状材料の特性に応じて、多数形成されるそれぞれの機能膜の膜厚が不均一になることを抑制することができる膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明による膜形成方法は、基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、機能膜形成領域に、機能膜の材料を含む第一の量の液状材料を配置する材料配置工程と、材料配置工程において配置された液状材料を乾燥させて機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁形成工程において形成する隔壁の高さを変える膜形成方法である。
【解決手段】本発明による膜形成方法は、基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、機能膜形成領域に、機能膜の材料を含む第一の量の液状材料を配置する材料配置工程と、材料配置工程において配置された液状材料を乾燥させて機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁形成工程において形成する隔壁の高さを変える膜形成方法である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜を形成する膜形成方法、当該機能膜を有する電気光学基板の製造方法、及び当該機能膜を有する電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び当該電気光学装置を備える電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜や有機エレクトロルミネセンス（以下、「有機ＥＬ」と表記する。）装置の発光膜などの機能膜を形成する技術として、機能膜の材料を含む液状材料を塗布し、当該液状材料を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。機能膜は厚さによって特性が異なることから、各機能膜において、厚さが実現すべき機能特性に最適な厚さであって、各部分の厚さが均一であることが求められる。同様な理由から、カラー液晶装置などに形成された互いに同一の機能（特性）を備えることが必要な複数の機能膜は、その膜厚が互いに均等であることが求められる。しかし、液状材料を乾燥させることで形成された機能膜は、中央部分が厚い凸形状や、中央部分が薄い凹形状になることで、同一機能膜における膜厚が均一でなかったり、凸形状や凹形状の形状がばらつくことで、機能膜間で膜厚が均等でなかったりする場合があった。
【０００３】
例えばカラー液晶装置のカラーフィルタ膜では、膜厚が均一でないカラーフィルタ膜は、均一であるカラーフィルタ膜とは透過光量が異なることから、当該膜厚が均一でないカラーフィルタ膜が対応する画素の輝度が、膜厚が均一であるカラーフィルタ膜を前提とした画素の輝度とは異なってしまう。画像の最小単位（以降、「絵素」と表記する。）を構成する複数の画素の輝度が前提とした輝度からずれると、絵素の輝度や色が表示すべき輝度や色と異なってしまう。一つのカラー液晶装置に形成された複数のカラーフィルタ膜間で膜厚が均等でない場合には、輝度むらや色むらが発生する。
【０００４】
特許文献１には、液状材料（液体材料）を配置するために滴下する液滴の大きさに対して、液状材料を配置する領域の大きさ及び当該領域を規定する隔壁（バンク）の大きさを規定することで、膜厚のばらつきを少なくすることができる基板（薄膜パターニング用基板）の構成が開示されている。特許文献２には、液状材料の配置領域と当該配置領域を規定する隔壁の側壁とを斜めの連結面で連結し、当該連結面に囲まれた領域に薄膜（画像素子）を形成することで、平坦な薄膜を形成する方法が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３５３５９４号公報
【特許文献２】特開２００４−１９８４８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、機能膜の液状材料の乾燥特性は、当該液状材料に含まれる溶質や溶媒やそれらの含有割合などによって異なっている。液状材料が乾燥して形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状は液状材料の乾燥特性の影響を受けることから、同一環境下で乾燥しても形成される機能膜の断面形状は、液状材料毎に異なっている。このため、特許文献１や特許文献２に開示されたように、液状材料の個別の特性に関わりなく隔壁の形状を規定すると、様々な種類の液状材料において必ずしも均一厚の膜が得られないという課題があった。特に、カラーフィルタを構成する各色のフィルタ膜を形成する場合のように、複数種類の液状材料を同一基板上に配置して機能膜を形成する場合には、１種類の機能膜を均一厚にできても、他の種類の機能膜は必ずしも均一厚にできないことから、同一基板上において、実現すべき機能が実現できるものとできないものとが混在することで、基板全体として好適な機能が得られ難いという課題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するものであり、基板上に配置されるそれぞれの液状材料の特性に応じて、多数形成されるそれぞれの機能膜の膜厚が不均一になることを抑制することができる膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び電子機器を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による膜形成方法は、基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、機能膜形成領域に、機能膜の材料を含む第一の量の液状材料を配置する材料配置工程と、材料配置工程において配置された液状材料を乾燥させて機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁形成工程において形成する隔壁の高さを変えることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る膜形成方法によれば、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁の高さを変える。液状材料を乾燥させることで機能膜を形成する製膜方法においては、隔壁で区画された領域に同一量の液状材料を配置して乾燥させた場合、領域を区画する隔壁の高さによって、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が異なることが本発明の発明者などによって確認されている。本発明に係る膜形成方法によれば、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁の高さを変えることで、機能膜の断面形状を調整することができる。これにより、基板上に形成されるそれぞれの機能膜において、膜厚が不均一になることを抑制することができる。
【００１０】
本発明において、膜形成方法は、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような機能膜を形成するための第一の量の液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、第一の高さより高くすることが好ましい。
【００１１】
隔壁で区画された領域に同一量の液状材料を配置して乾燥させた場合、領域を区画する隔壁の高さが高い方が、形成される機能膜は中央部が周辺部より薄い凹形状になりやすいことが本発明の発明者などによって確認されている。この膜形成方法によれば、機能膜を形成するために機能膜形成領域に配置すべき液状材料の量が第一の量であって、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の断面形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、第一の高さより高くする。これにより、形成される機能膜の断面形状を、中央側の膜厚が周辺側の膜厚より厚い形状から中央側の膜厚が周辺側の膜厚より薄い形状の方に修正することができる。従って、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状を、中央側の膜厚が周辺側の膜厚より厚い凸形状から均一な膜厚に近づけることができる。
【００１２】
本発明において、膜形成方法は、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような機能膜を形成するための第一の量の液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、第一の高さより低くすることが好ましい。
【００１３】
隔壁で区画された領域に同一量の液状材料を配置して乾燥させた場合、領域を区画する隔壁の高さが低い方が、形成される機能膜は中央部が周辺部より厚い凸形状になりやすいことが本発明の発明者などによって確認されている。この膜形成方法によれば、機能膜を形成するために機能膜形成領域に配置すべき液状材料の量が第一の量であって、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の断面形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、第一の高さより低くする。これにより、形成される機能膜の断面形状を、中央側の膜厚が周辺側の膜厚より薄い形状から中央側の膜厚が周辺側の膜厚より厚い形状の方に修正することができる。従って、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状を、中央側の膜厚が周辺側の膜厚より薄い凹形状から均一な膜厚に近づけることができる。
【００１４】
本発明において、膜形成方法は、機能膜形成領域の底面を、当該底面からの隔壁の高さが高くなるように削ることで隔壁の高さを変えることが好ましい。
【００１５】
この膜形成方法によれば、機能膜形成領域の底面が削られることで、基板の厚さ方向において、機能膜形成領域の底面の位置が低くなる。これにより、基板上に形成する隔壁自体の高さを変えることなく、機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、機能膜形成領域側から見て実質的に高くして、隔壁の高さを変えることができる。
【００１６】
本発明において、膜形成方法は、機能膜形成領域の底部に薄膜を形成することで、隔壁の高さを変えることが好ましい。
【００１７】
この膜形成方法によれば、機能膜形成領域の底面に薄膜が形成されることで、基板の厚さ方向において、機能膜形成領域の底面の位置が高くなる。これにより、基板上に形成する隔壁自体の高さを変えることなく、機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、機能膜形成領域側から見て実質的に低くして、隔壁の高さを変えることができる。
【００１８】
本発明による膜形成方法は、基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、機能膜形成領域に機能膜の材料を含む液状材料を配置する材料配置工程と、材料配置工程において配置された液状材料を乾燥させて機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、隔壁の機能膜形成領域を構成する側面が機能膜形成領域の底面となす機能膜形成領域側の立上り角度が第一の角度である場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁形成工程において形成する隔壁の側面が底面となす立上り角度を変えることを特徴とする。
【００１９】
本発明に係る膜形成方法によれば、隔壁の側面の立上り角度が第一の角度である機能膜形成領域に液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁の側面の立上り角度を変える。液状材料を乾燥させることで機能膜を形成する成膜方法においては、機能膜形成領域を区画する隔壁の立上り角度によって、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が異なることが本発明の発明者などによって確認されている。本発明に係る膜形成方法によれば、隔壁の側面の立上り角度が第一の角度である機能膜形成領域に液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁の側面の立上り角度を変えることで、機能膜の断面形状を調整することができる。これにより、基板上に形成されるそれぞれの機能膜において、膜厚が不均一になることを抑制することができる。なお、側面の立上り角度は、側面が機能膜形成領域の底面となす機能膜形成領域側の立上り角度であって、隔壁の断面の角の角度ではなく、機能膜形成領域の断面の角の角度である。
【００２０】
本発明において、膜形成方法は、隔壁の側面が底面となす立上り角度が第一の角度のときに形成される機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような機能膜を形成するための液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の立上り角度を、第一の角度より小さくすることが好ましい。
【００２１】
隔壁で区画された領域に液状材料を配置して乾燥させた場合、機能膜形成領域を区画する隔壁の側面の機能膜形成領域側の立上り角度が小さいほど、形成される機能膜は中央部分の膜厚が周辺部分の膜厚より薄い凹形状になりやすいことが本発明の発明者などによって確認されている。この膜形成方法によれば、隔壁の側面が底面となす立上り角度が第一の角度のときに形成される機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような機能膜を形成するための液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の立上り角度を、第一の角度より小さくする。これにより、形成される機能膜の断面形状を、中央部分が周辺部分より厚い凸形状から中央側の膜厚が周辺側の膜厚より薄い形状の方に近づけるように修正することができる。従って、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状を、中央部分が周辺部分より厚い凸形状から均一な膜厚の断面形状に近づけることができる。
【００２２】
本発明において、膜形成方法は、隔壁の側面が底面となす立上り角度が第一の角度のときに形成される機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような機能膜を形成するための液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の立上り角度を、第一の角度より大きくすることが好ましい。
【００２３】
隔壁で区画された領域に液状材料を配置して乾燥させた場合、機能膜形成領域を区画する隔壁の側面の機能膜形成領域側の立上り角度が大きいほど、形成される機能膜は中央部分の膜厚が周辺部分の膜厚より厚い凸形状になりやすいことが本発明の発明者などによって確認されている。この膜形成方法によれば、隔壁の側面が底面となす立上り角度が第一の角度のときに形成される機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような機能膜を形成するための液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の立上り角度を、第一の角度より大きくする。これにより、形成される機能膜の断面形状を、中央部分が周辺部分より薄い凹形状から中央側の膜厚が周辺側の膜厚より厚い形状の方に修正することができる。従って、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状を、中央部分が周辺部分より薄い凹形状から均一な膜厚の断面形状に近づけることができる。
【００２４】
本発明による電気光学基板の製造方法は、機能膜を有する電気光学基板の製造方法であって、少なくとも１種類の機能膜を上述した膜形成方法を用いて形成することを特徴とする。
【００２５】
本発明に係る電気光学基板の製造方法によれば、機能膜における膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて機能膜を形成することから、一つの機能膜における膜厚のばらつきが小さい、好適な電気光学基板を製造することができる。例えば当該膜形成方法を用いて色要素膜を形成するカラーフィルタ基板であれば、表示するべき色や輝度を正確に表示し易いというように、高性能の電気光学基板を製造することができる。
【００２６】
本発明による電気光学装置の製造方法は、機能膜を有する電気光学装置の製造方法であって、少なくとも１種類の機能膜を上述した膜形成方法を用いて形成することを特徴とする。
【００２７】
本発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、機能膜における膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて機能膜を形成することから、一つの機能膜における膜厚のばらつきが小さい、好適な電気光学装置を製造することができる。例えば当該膜形成方法を用いて発光膜を形成する有機ＥＬ表示装置であれば、表示するべき色や輝度を正確に表示し易いというように、高性能の電気光学装置を製造することができる。
【００２８】
本発明による機能膜は、上述した膜形成方法を用いて形成することを特徴とする。
【００２９】
本発明に係る機能膜の構成によれば、機能膜における膜厚の均一化を実行することができる膜形成方法を用いて形成されていることから、一つの機能膜における膜厚のばらつきが小さい。これにより、機能膜の所望の機能を実現し易い好適な機能膜を実現することができる。
【００３０】
本発明において、機能膜は、機能膜の平面形状が略円形又は略長円形状であることが好ましい。
【００３１】
機能膜材料を含む液状材料を乾燥させて機能膜を形成する場合、形成するべき機能膜の縁の形状によって当該縁の近くの液状材料の乾燥状態が異なる。このため、機能膜の厚みが縁の形状によって部分的に異なり、全体の厚みが均一でなくなる。例えば、多角形の機能膜の辺の部分と角の部分とでは乾燥状態が異なることから、辺の部分と角の部分とで機能膜の厚さが均一でなくなる。この機能膜の構成によれば、機能膜の平面形状が略円形又は略長円形状であって、機能膜の縁は全て円弧の一部であることから、平面形状が多角形である機能膜に比べて、縁の形状が全周で略均一になる。これにより、全周にわたって乾燥状態が略同一になり全周にわたって膜厚を略均一にすることができる。従って、機能膜の形状がばらつく可能性が少ないことから、機能膜の所望の機能を実現し易い機能膜を実現することができる。
【００３２】
本発明による電気光学基板は、機能膜を有する電気光学基板であって、少なくとも１種類の機能膜が、上記した機能膜であることを特徴とする。
【００３３】
本発明に係る電気光学基板によれば、少なくとも１種類の機能膜が、機能膜の所望の機能を実現し易い好適な機能膜であることから、所望の機能を実現し易い好適な電気光学基板を実現することができる。
【００３４】
本発明による電気光学装置は、機能膜を有する電気光学装置であって、少なくとも１種類の機能膜が、上記した機能膜であることを特徴とする。
【００３５】
本発明に係る電気光学装置によれば、少なくとも１種類の機能膜が、機能膜の所望の機能を実現し易い好適な機能膜であることから、所望の機能を実現し易い好適な電気光学装置を実現することができる。
【００３６】
本発明によるカラーフィルタの色要素膜は、上述した膜形成方法を用いて形成されることを特徴とする。
【００３７】
本発明に係るカラーフィルタの色要素膜の構成によれば、色要素膜における膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて形成されていることから、一つの色要素膜における膜厚のばらつきが小さい。これにより、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタの色要素膜を実現することができる。
【００３８】
本発明によるカラーフィルタは、カラーフィルタを構成する色要素膜が、上述した膜形成方法を用いて形成されていることを特徴とする。
【００３９】
本発明に係るカラーフィルタの構成によれば、カラーフィルタを構成する色要素膜が、色要素膜における膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて形成されていることから、一つの色要素膜における膜厚のばらつきが小さい。これにより、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタを実現することができる。
【００４０】
本発明によるカラーフィルタ基板は、上述したカラーフィルタを備えることを特徴とする。
【００４１】
本発明に係るカラーフィルタ基板の構成によれば、カラーフィルタ基板が備えるカラーフィルタは、カラーフィルタを構成する色要素膜が、一つの色要素膜における膜厚のばらつきが小さいことから、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタを実現することができる。これにより、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタ基板を実現することができる。
【００４２】
本発明による液晶表示装置は、上述したカラーフィルタの色要素膜を備えることを特徴とする。
【００４３】
本発明に係る液晶表示装置の構成によれば、液晶表示装置は、膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて形成されていることから、一つの色要素膜における膜厚のばらつきが小さいため、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタの色要素膜を備える。これにより、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適な液晶表示装置を実現することができる。
【００４４】
本発明による電子機器は、上述した電気光学装置を備えることを特徴とする。
【００４５】
本発明に係る電子機器によれば、所望の機能を実現し易い好適な電気光学装置を備えることから、所望の機能を実現し易い好適な電子機器を実現することができる。
【００４６】
本発明による電子機器は、上述した液晶表示装置を備えることを特徴とする。
【００４７】
本発明に係る電子機器によれば、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適な液晶表示装置を備えることから、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適な電子機器を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
以下、本発明に係る膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び電子機器の一実施形態について図面を参照して、説明する。
【００４９】
（第一の実施形態）
第一の実施形態では、膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、及び電気光学装置の一実施形態について、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する工程において、機能膜の一例であるフィルタ膜としての色要素膜を形成する工程で用いられる膜形成方法を例に説明する。
【００５０】
＜液晶表示パネルの構成＞
最初に、図１を参照して、液晶表示パネルについて説明する。図１は、液晶表示パネルの構造を示す概略図である。図１（ａ）は、液晶表示パネルについて、各構成要素とともにフィルタ基板側から見た平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図である。なお、以下の説明に用いた各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
【００５１】
図１（ａ）および（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１０は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子３及び画素電極６ｂを有する素子基板１と、対向電極６ａ及びカラーフィルタ５を有するフィルタ基板２と、シール材４によって接着された素子基板１とフィルタ基板２との隙間に充填された液晶８とを備えている。素子基板１はフィルタ基板２より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。
【００５２】
素子基板１は、厚さおよそ１．２ｍｍの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素を構成する画素電極６ｂと、３端子のうちの一つが画素電極６ｂに接続されたＴＦＴ素子３が形成されている。ＴＦＴ素子３の残りの２端子は、画素電極６ｂを囲んで互いに絶縁状態で格子状に配置されたデータ線（図示省略）と走査線（図示省略）とに接続されている。データ線は、Ｙ軸方向に引き出されて、端子部１６においてデータ線駆動回路部９ａに接続されている。走査線は、Ｘ軸方向に引き出され、左右の額縁領域に形成された２つの走査線駆動回路部９ｂ，９ｂに個々に接続されている。各データ線駆動回路部９ａおよび走査線駆動回路部９ｂの入力側配線は、端子部１６に沿って配列した実装端子１１にそれぞれ接続されている。端子部１６とは反対側の額縁領域には、２つの走査線駆動回路部９ｂ，９ｂを繋ぐ配線１２が設けられている。
【００５３】
フィルタ基板２は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２ａを用いており、共通電極としての対向電極６ａが設けられている。対向電極６ａは、ガラス基板２ａの四隅に設けられた上下導通部１４を介して素子基板１側に設けられた配線と導通しており、当該配線も端子部１６に設けられた実装端子１１に接続されている。また、フィルタ基板２には、画素電極６ｂと対向する位置に色要素膜５３が形成されたカラーフィルタ５が設けられている。
【００５４】
液晶８に面する素子基板１の表面およびフィルタ基板２の表面には、それぞれ配向膜７ｂ、配向膜７ａが形成されている。
【００５５】
液晶表示パネル１０は、外部駆動回路と電気的に繋がる中継基板が実装端子１１に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が各データ線駆動回路部９ａおよび走査線駆動回路部９ｂに入力されることにより、ＴＦＴ素子３が画素電極ごとにスイッチングされ、画素電極６ｂと対向電極６ａとの間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。
【００５６】
尚、図１では図示省略したが、液晶表示パネル１０の表裏面には、それぞれ入出射する光を偏向する偏光板が設けられる。
【００５７】
＜カラーフィルタ＞
次に、図２を参照して、フィルタ基板２に形成されているカラーフィルタ５及びカラーフィルタ５における色要素膜５３の配列について説明する。図２（ａ），（ｂ）は、３色カラーフィルタの配列例を示す模式平面図である。
【００５８】
上述したように、フィルタ基板２は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２ａを用いて形成されている。カラーフィルタ５は、方形状のガラス基板２ａの表面に複数の色要素領域５２をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該色要素領域５２に色要素膜５３を形成することによって形成されている。上述したように、素子基板１とフィルタ基板２とが組み合わされると、色要素膜５３は画素電極６ｂと対向しており、画素電極６ｂと対向電極６ａとの間に駆動電圧を印加して液晶８の配向を変えることで制御される光が色要素膜５３を透過する。色要素膜５３は光学フィルタであって、色要素膜５３を透過した光は色要素膜５３の色に対応した色の光になる。色要素領域５２が機能膜形成領域に相当し、色要素膜５３が機能膜に相当する。フィルタ基板２が、機能膜を有する電気光学基板に相当する。
【００５９】
図２（ａ），（ｂ）に示すように、色要素膜５３は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁５６によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状の色要素領域５２を色材で埋めることによって形成される。例えば、色要素膜５３を構成する色材を含む液状材料を色要素領域５２に充填し、当該液状材料の溶媒を蒸発させて液状材料を乾燥させることで、色要素領域５２を埋める膜状の色要素膜５３を形成する。
【００６０】
色要素膜５３の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。ストライプ配列は、図２（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の色要素膜５３になる配列である。モザイク配列は、図２（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとに色要素膜５３一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの色要素膜５３が３色となる配列である。そして、デルタ配列は、色要素膜５３の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つの色要素膜５３が異なる色となる配色である。
【００６１】
図２（ａ），（ｂ）に示した３色フィルタにおいて、色要素膜５３は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成されたＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂを各１個づつ含む色要素膜５３の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以下、「絵素フィルタ５４」と表記する。）を形成している。１絵素フィルタ５４内の色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂのいずれか１つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁５６はブラックマトリクスとして作用する。
【００６２】
＜液滴吐出法及び液滴吐出ヘッド＞
次に、液状材料を色要素領域５２に充填する際に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００６３】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。
【００６４】
次に、本発明に係るデバイスを液滴吐出法によって製造する際に用いられるデバイス製造装置の液滴吐出ヘッドについて説明する。このデバイス製造装置は、液滴吐出ヘッドから基板に対して液滴を吐出（滴下）することによりデバイスを製造する液滴吐出装置（インクジェット装置）である。図３は、液滴吐出ヘッドの外観の概要を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドの外観の概要を示す斜視図であり、図３（ｂ）は、ノズルの配列を示す模式図である。図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド６２は、例えば、複数の吐出ノズル６７が配列されてなるノズル列６８を有する。図３（ｂ）に示すように吐出ノズル６７の数は例えば１８０であり、吐出ノズル６７の孔径は例えば２８μｍであり、吐出ノズル６７のピッチは例えば１４１μｍである。図３（ａ）に示す基準方向Ｓは、基板上の任意の位置に液滴を着弾させるために液滴吐出ヘッド６２が基板に対して相対移動する際の主走査方向を示し、配列方向Ｔはノズル列６８における吐出ノズル６７の配列方向を示している。
【００６５】
図４（ａ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視図であり、図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の詳細構造を示す断面図である。図４（ａ），（ｂ）に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド６２は、振動板７３と、ノズルプレート７４とを、備えている。振動板７３と、ノズルプレート７４との間には、液状材料タンク（図示省略）から供給孔７７を介して供給される材料液が常に充填される液たまり７５が位置している。また、振動板７３と、ノズルプレート７４との間には、複数のヘッド隔壁７１が位置している。そして、振動板７３と、ノズルプレート７４と、１対のヘッド隔壁７１とによって囲まれた空間がキャビティ７０である。キャビティ７０は吐出ノズル６７に対応して設けられているため、キャビティ７０の数と吐出ノズル６７の数とは同じである。キャビティ７０には、１対のヘッド隔壁７１間に位置する供給口７６を介して、液たまり７５から材料液が供給される。
【００６６】
振動板７３上には、それぞれのキャビティ７０に対応して、振動子７２が位置する。振動子７２は、ピエゾ素子７２ｃと、ピエゾ素子７２ｃを挟む１対の電極７２ａ、７２ｂとから成る。この１対の電極７２ａ、７２ｂに駆動電圧を与えることで、対応する吐出ノズル６７から液状材料が液滴となって吐出される。吐出ノズル６７から吐出される液状材料の一部がノズルプレート７４に付着することを抑制するために、ノズルプレート７４の外面は、液状材料に対して撥液性を有する撥液処理層２Ｐが形成されている。
【００６７】
制御装置（図示省略）は、ピエゾ素子７２ｃへの印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル６７のそれぞれに対して、液状材料の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル６７から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数、基板上に着弾した液滴同士の距離などを変化させることができる。例えば、ノズル列６８に並ぶ複数の吐出ノズル６７の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル６７を選択的に使用することにより、配列方向Ｔの方向では、ノズル列６８の長さの範囲であって吐出ノズル６７のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。基準方向Ｓの方向では、基板上に着弾した液滴同士の距離を、当該液滴を吐出する吐出ノズル６７ごとに個別に変化させることができる。なお、吐出ノズル６７のそれぞれから吐出される液滴の体積は、１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００６８】
＜隔壁高さと膜厚形状＞
次に、図５を参照して、色要素領域５２に充填された液状材料５３０を乾燥させて色要素膜５３を形成する際の、ガラス基板２ａ上に形成された隔壁５６の高さと、形成される色要素膜５３の厚さ方向の断面における断面形状との関係を説明する。図５（ａ）は、隔壁の高さが高い場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図であり、図５（ｂ）は、隔壁の高さが低い場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図である。
【００６９】
図５（ａ）に二点鎖線で示したように色要素領域５２に充填された液状材料５３０は、乾燥して同図に示したような断面形状の色要素膜５３が形成される。図５（ａ）に示したように隔壁５６の高さＨ１が高い場合は、図５（ｂ）に示したように低い場合に比べて、隔壁５６の壁面に濡れ広がる長さが長くなることから、液状材料５３０が乾燥する過程において液状材料５３０が流動・対流・拡散できる距離が長くなる。このため、色要素膜５３の断面形状は、図５（ａ）に示したような、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。
【００７０】
図５（ｂ）に二点鎖線で示したように色要素領域５２に充填された液状材料５３０は、乾燥して同図に示したような断面形状の色要素膜５３が形成される。図５（ｂ）に示したように隔壁５６の高さＨ２が低い場合は、図５（ａ）に示したように高い場合に比べて、隔壁５６の壁面に濡れ広がる長さが短くなることから、液状材料５３０が乾燥する過程において液状材料５３０が流動・対流・拡散できる距離が少ない。このため、色要素膜５３の断面形状は、図５（ｂ）に示したような、中央部が盛り上がるようにして厚くなり、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。
【００７１】
ここで説明した隔壁５６の高さと、形成される色要素膜５３の断面形状との関係は、本発明の発明者らによって実験的に確認されている。なお、凹形状と凸形状の境界である均一な膜厚が得られる隔壁５６の高さは、個々の液状材料の乾燥特性によって異なるため、隔壁５６の形状を決定する前に、乾燥雰囲気や環境温度などの条件を機能膜形成工程と合わせたうえで、確認することが好ましい。
【００７２】
＜フィルタ基板の製造＞
次に、フィルタ基板２の色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂを形成する色要素膜形成工程について、図６および図７を参照して説明する。図６はフィルタ基板の色要素膜形成工程を示すフローチャートであり、図７（ａ）〜（ｄ）はフィルタ基板の色要素膜形成工程を示す模式断面図である。
【００７３】
図６に示したステップＳ１では、図７（ａ）に示すように、ガラス基板２ａの表面の一部をエッチングなどによって取り除くことで、基板凹部５７を形成する。１個の基板凹部５７の大きさは、図２を参照して説明した隔壁５６によって区画形成される１個の色要素領域５２の底面より大きく、隔壁５６を隔てて隣り合う色要素領域５２の底面には達しない大きさにする。
【００７４】
次に、ステップＳ２では、図７（ａ）に示すように、ガラス基板２ａの表面の一部を覆う透明膜５８を形成する。透明膜５８は、例えば、ガラス基板２ａの表面に透明膜５８の材料を含む液状材料を塗布し、乾燥させてガラス基板２ａの表面の全面を覆う透明膜を形成し、フォトエッチングなどで、形成する。１個の透明膜５８の大きさは、基板凹部５７と同様に、隔壁５６によって区画形成される１個の色要素領域５２の底面より大きく、隔壁５６を隔てて隣り合う色要素領域５２の底面には達しない大きさにする。
【００７５】
次に、ステップＳ３では、図７（ｂ）に示すように、ガラス基板２ａの表面に隔壁５６を形成する。隔壁５６は、例えば、ガラス基板２ａの表面に隔壁５６の材料を含む液状材料を塗布し、乾燥させて隔壁膜を形成し、フォトエッチングなどで色要素領域５２などの部分を取り除くことで、形成する。
【００７６】
隔壁５６の高さは、色要素領域底５２Ｂａがガラス基板２ａの表面である色要素領域５２ＢではＨＢであり、色要素領域底５２Ｇａが透明膜５８の表面である色要素領域５２ＧではＨＧであり、色要素領域底５２Ｒａが基板凹部５７の表面である色要素領域５２ＲではＨＲである。色要素領域５２Ｒにおける隔壁５６の高さＨＲは、基板凹部５７を形成することで底部が削られた状態となるような位置に隔壁５６を形成することで、ガラス基板２ａの表面に形成された隔壁５６の高さであるＨＢより高くなっている。色要素領域５２Ｇにおける隔壁５６の高さＨＧは、底部に透明膜５８が形成された状態となるように隔壁５６を形成することで、ガラス基板２ａの表面に形成された隔壁５６の高さであるＨＢより低くなっている。この場合、ステップＳ１とステップＳ２とステップ３とが隔壁形成工程に相当する。
【００７７】
次に、ステップＳ４では、隔壁５６が形成されたガラス基板２ａを洗浄する。ガラス基板２ａが機能膜を形成する基板に相当する。
【００７８】
次に、ステップＳ５では、隔壁５６が形成され洗浄されたガラス基板２ａを、液状材料を充填し易くするために、表面処理する。隔壁裾５６ａに囲まれた色要素領域底５２Ｒａ，５２Ｇａ，５２Ｂａと、隔壁側面５６ｂとが色要素膜５３の材料を含む液状材料５３０に対して親液性となるように処理し、隔壁頂部５６ｃは液状材料５３０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、色要素領域５２に配置された液状材料５３０が色要素領域５２に馴染み易くなると共に、色要素領域５２から溢れ出し難くなる。
【００７９】
次に、ステップＳ６では、色要素材料液を塗布する。図７（ｃ）に示すように、隔壁５６によって形成された複数の色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂのそれぞれに色要素形成材料を含む液状材料５３０を液滴吐出ヘッド６２から液滴５３０ａとして吐出し、色要素領域５２に液状材料５３０を充填する。勿論、異なる色の各色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂが形成される各色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂに対して異なる色要素材料を含む液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを吐出して、充填する。上述した３色カラーフィルタ（図２（ａ），（ｂ）参照）のように、異なる色の各色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂが形成される各色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂに対応して、異なる色要素材料を含む３種の液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを液滴吐出ヘッド６２に順次充填して、各色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂに向けて吐出する。あるいは、複数の液滴吐出ヘッド６２を用意し、それぞれに異なる色要素材料を含む液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを充填して吐出してもよい。色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂにそれぞれ充填する液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂは、形成された各色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量をそれぞれ充填する。ステップＳ６の色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂに液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを充填する工程が、材料配置工程に相当する。
【００８０】
次に、ステップＳ７では、ガラス基板２ａ上に配置した液状材料５３０を乾燥させて、色要素膜５３を形成する。ステップＳ７の乾燥成膜工程を実行して、図７（ｄ）に示すように、色要素膜面５３１Ｒ，５３１Ｇ，５３１Ｂが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂが形成される。
【００８１】
本実施形態の液状材料５３０Ｒは、色要素膜５３Ｒの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が図７（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３２Ｒのように凸形状となる。上述したように、隔壁５６の高さが高い場合は、低い場合に比べて、形成される色要素膜５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。色要素領域底５２Ｒａが基板凹部５７の表面である色要素領域５２Ｒにおける隔壁５６の高さはＨＢより高いＨＲである。これにより、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合の凸形状が是正されて、図７（ｄ）に示したように、色要素膜面５３１Ｒが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｒが形成される。
【００８２】
本実施形態の液状材料５３０Ｇは、色要素膜５３Ｇの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が図７（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３２Ｇのように凹形状となる。上述したように、隔壁５６の高さが低い場合は、高い場合に比べて、形成される色要素膜５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。色要素領域底５２Ｇａが透明膜５８の表面である色要素領域５２Ｇにおける隔壁５６の高さは、ＨＢより低いＨＧである。これにより、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合の凹形状が是正されて、図７（ｄ）に示したように、色要素膜面５３１Ｇが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｇが形成される。
【００８３】
本実施形態の液状材料５３０Ｂは、色要素膜５３Ｂの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が図７（ｄ）に示した表面５３２Ｂのように略平坦なる。これにより、図７（ｄ）に示したように、液状材料５３０Ｂを隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２Ｂに充填して乾燥させることで、色要素膜面５３１Ｂが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｂが形成される。隔壁５６の高さＨＢが、第一の高さに相当する。
【００８４】
なお、色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂの有効な部分には関与しないため図７（ｄ）では省略したが、色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂの縁の部分には、図５に示した色要素膜５３と同様に、液状材料５３０Ｒ，Ｇ，Ｂの隔壁側面５６ｂに濡れ広がった部分が乾燥したものが連なっている。
【００８５】
以下、第一の実施形態の効果を記載する。第一の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液状材料５３０Ｒは、色要素膜５３Ｒの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が凸形状となる。隔壁５６の高さが高い場合は、低い場合に比べて、形成される色要素膜５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。基板凹部５７を設けて色要素領域底５２Ｒａが基板凹部５７の表面である色要素領域５２Ｒにおける隔壁５６の高さをＨＢより高いＨＲとすることで、凸形状を是正して、色要素膜面５３１Ｒが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｒを形成することができる。
【００８６】
（２）液状材料５３０Ｇは、色要素膜５３Ｇの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が凹形状となる。隔壁５６の高さが低い場合は、高い場合に比べて、形成される色要素膜５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。透明膜５８を設けて色要素領域底５２Ｇａが透明膜５８の表面である色要素領域５２Ｇにおける隔壁５６の高さを、ＨＢより低いＨＧとすることで、凹形状を是正して、色要素膜面５３１Ｇが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｇを形成することができる。
【００８７】
（３）液晶表示パネル１０は、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂを備えることで、色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂが透過させるべき光量を透過させることができるような色要素膜５３を容易に形成することができる。従って、透過させるべき光量を透過させることで実現すべき輝度が実現できる、好適な液晶表示パネル１０を実現することができる。
【００８８】
（第二の実施形態）
次に、本発明に係る膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、及び電気光学装置の一実施形態である第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する工程において、機能膜の一例であるフィルタ膜としての色要素膜を形成する工程で用いられる膜形成方法を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置に関する説明は省略する。
【００８９】
本実施形態の液晶表示パネル１００の構成は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル１０と実質的に同一のものである。液晶表示パネル１０とは異なる色要素膜の形状及び色要素膜を形成する工程で用いられる膜形成方法について説明する。
【００９０】
＜カラーフィルタ＞
最初に、フィルタ基板１０２（図８参照）に形成されているカラーフィルタ５（図１参照）における色要素膜１５３の配列について説明する。フィルタ基板１０２は、色要素膜１５３の形状が色要素膜５３と異なる以外は、図１に示したフィルタ基板２と基本的に同様である。図８は、３色カラーフィルタの配列例を示す模式平面図である。
【００９１】
図８に示すように、色要素膜１５３は、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁１５６によって区画されて並んだ複数の色要素領域１５２を色材で埋めることによって形成される。例えば、色要素膜１５３を構成する色材を含む液状材料を色要素領域１５２に充填し、当該液状材料の溶媒を蒸発させて液状材料を乾燥させることで、色要素領域１５２を埋める膜状の色要素膜１５３を形成する。色要素領域１５２が機能膜形成領域に相当し、色要素膜１５３が機能膜に相当する。フィルタ基板１０２が、機能膜を有する電気光学基板に相当する。
【００９２】
ガラス基板２ａ（図１参照）上の３色の色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂは、例えば、図８に示すように、同色系の色要素膜１５３が図面において上下方向に配列したストライプ配列に配置されている。各色要素膜１５３の平面形状は略円形である。図の上下方向に並ぶ色要素膜１５３を一つおきに図の左右方向にずらすことで、色要素膜１５３の配置密度を上げている。
【００９３】
図８に示した３色フィルタにおいて、色要素膜１５３は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成されたＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを各１個づつ含む色要素膜１５３の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタを形成している。１絵素フィルタ内の色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂのいずれか１つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁１５６はブラックマトリクスとして作用する。
【００９４】
＜隔壁面角度と膜厚形状＞
次に、色要素領域１５２に充填された液状材料５３０を乾燥させて色要素膜１５３を形成する際の、ガラス基板２ａ上に形成された隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面であるガラス基板２ａの面となす角度と、形成される色要素膜１５３の厚さ方向の断面における断面形状との関係を説明する。図９（ａ）は、隔壁の壁面が底面となす角度が大きい場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図であり、図９（ｂ）は、壁面が底面となす角度が小さい場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図である。
【００９５】
図９（ａ）に二点鎖線で示したように色要素領域１５２に充填された液状材料５３０は、乾燥して同図に示したような断面形状の色要素膜１５３が形成される。図９（ａ）に示したように隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面であるガラス基板２ａの面となす角度θ１が大きい場合は、図９（ｂ）に示した角度θ２のように小さい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、図９（ａ）に示したような、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。
【００９６】
図９（ｂ）に二点鎖線で示したように色要素領域１５２に充填された液状材料５３０は、乾燥して同図に示したような断面形状の色要素膜１５３が形成される。図９（ｂ）に示したように隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面であるガラス基板２ａの面となす角度θ２が小さい場合は、図９（ａ）に示した角度θ１のように大きい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、図９（ｂ）に示したような、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。
【００９７】
ここで説明した隔壁１５６の壁面がガラス基板２ａの面となす角度と、形成される色要素膜１５３の断面形状との関係は、本発明の発明者らによって実験的に確認されている。なお、凹形状と凸形状の境界である均一な膜厚が得られる壁面と底面とがなす角度は、個々の液状材料の乾燥特性によって異なるため、隔壁１５６の形状を決定する前に、乾燥雰囲気や環境温度などの条件を機能膜形成工程と合わせたうえで、確認することが好ましい。
【００９８】
＜フィルタ基板の製造＞
次に、フィルタ基板１０２の色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを形成する色要素膜形成工程について図１０および図１１を参照して説明する。図１０はフィルタ基板の色要素膜形成工程を示すフローチャートであり、図１１（ａ）〜（ｄ）はフィルタ基板の色要素膜形成工程を示す模式断面図である。
【００９９】
図１０に示したステップＳ２１では、図１１（ａ）に示すように、ガラス基板２ａの表面に隔壁１５６を形成することで、色要素領域１５２を形成する。隔壁１５６は、例えば、ガラス基板２ａの表面に隔壁１５６の材料を含む液状材料を塗布し、乾燥させて隔壁膜を形成し、フォトエッチングなどで色要素領域１５２などの部分を取り除くことで、形成する。隔壁１５６の側面がガラス基板２ａの表面となす角度である立上り角度θ０は各隔壁１５６間において略均一である。
【０１００】
次に、ステップＳ２２では、側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂの角度を調整する。図１１（ｂ）に示すように、充填する液状材料の特性に合わせて側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂが色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａとなす角度を、それぞれ立上り角度θＲ，θＧ，θＢに調整する。立上り角度θＲは立上り角度θ０のままであり、立上り角度θＢは立上り角度θＲ（立上り角度θ０）より大きく、立上り角度θＧは立上り角度θＢよりさらに大きくなっている。側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂがガラス基板２ａの表面と接触する位置である隔壁裾１５６Ｒａ，１５６Ｇａ，１５６Ｂａに囲まれた領域が、色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａである。
【０１０１】
立上り角度θＲ，θＧ，θＢの調整は、例えば、隔壁１５６を焼成して形状を固定化する際のだれ具合を調整することで実行する。フォトエッチングなどで色要素領域１５２などの部分を取り除くことで、形成された状態の隔壁１５６は充分固化されていないため焼成して固化する。その際に隔壁１５６の側面がだれて図１１（ａ）に示した立上り角度θ０が大きくなる。立上り角度θＲ，θＧ，θＢの調整は、隔壁１５６をフォトエッチングの際に光が当っていない側から、即ちガラス基板２ａを介して露光させることで固化させることができることを利用する。
【０１０２】
より詳細には、色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａの周囲の隔壁１５６の側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂの近傍に選択的に露光させることができるマスクを用いて、焼成の前に、色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａの周囲の隔壁１５６の側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂの近傍を適宜露光させる。色要素領域底１５２Ｇａを囲む側面１５６Ｇｂは、露光させないようにマスクすることで、焼成の際にだれが大きくなり、立上り角度θＧは大きくなる。色要素領域底１５２Ｂａを囲む側面１５６Ｂｂは、マスクに開口部を設け露光させるようにすることで、焼成の際にだれる量を抑制する。これにより、側面１５６Ｂｂは側面１５６Ｇｂよりだれの程度が小さくなるため、立上り角度θＢは、立上り角度θＧより小さくなる。即ち、立上り角度θＧは、立上り角度θＢより大きくなる。色要素領域底１５２Ｒａを囲む側面１５６Ｒｂは、マスクに開口部を設け露光させて充分固化させることで、焼成の際には殆どだれないようにする。これにより、側面１５６Ｒｂの立上り角度θＲは、立上り角度θ０が維持されて、立上り角度θ０より大きくなった立上り角度θＢより小さくなる。側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂの角度が立上り角度θＲ，θＧ，θＢに調整されて、当該側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂに囲まれた色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂが形成される。この場合、ステップＳ２１とステップＳ２２とが隔壁形成工程に相当する。
【０１０３】
次に、ステップＳ２３では、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂが形成されたガラス基板２ａを洗浄する。ガラス基板２ａが機能膜を形成する基板に相当する。
【０１０４】
次に、ステップＳ２４では、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂが形成され洗浄されたガラス基板２ａを、液状材料５３０を充填し易くするように、表面処理する。隔壁裾１５６Ｒａ、隔壁裾１５６Ｇａ、又は隔壁裾１５６Ｂａに囲まれた色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａと、側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂとが色要素膜１５３の材料を含む液状材料５３０に対して親液性となるように処理し、隔壁頂部１５６ｃは液状材料５３０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに配置された液状材料５３０が色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに馴染み易くなると共に、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂから溢れ出し難くなる。
【０１０５】
次に、ステップＳ２５では、色要素材料液を塗布する。図１１（ｃ）に示すように、隔壁１５６によって区画形成された複数の色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂのそれぞれに色要素膜１５３の形成材料を含む液状材料５３０を液滴吐出ヘッド６２から液滴５３０ａとして吐出し、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに液状材料５３０を充填する。勿論、異なる色の各色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが形成される各色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに対して異なる色要素材料を含む液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを吐出して、充填する。上述した３色カラーフィルタ（図８参照）のように、異なる色の各色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが形成される各色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに対応して、異なる色要素材料を含む３種の液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを液滴吐出ヘッド６２に順次充填して、各色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに向けて吐出する。あるいは、複数の液滴吐出ヘッド６２を用意し、それぞれに異なる色要素材料を含む液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを充填して吐出してもよい。色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂにそれぞれ充填する液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂは、形成された各色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量をそれぞれ充填する。ステップＳ２５の色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを充填する工程が、材料配置工程に相当する。
【０１０６】
次に、ステップＳ２６では、ガラス基板２ａ上に配置した液状材料５３０を乾燥させて、色要素膜１５３を形成する。ステップＳ２６の乾燥成膜工程を実行して、図１１（ｄ）に示すように、色要素膜面５３６Ｒ，５３６Ｇ，５３６Ｂが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが形成される。
【０１０７】
本実施形態の液状材料５３０Ｒは、色要素膜１５３Ｒの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が図１１（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３７Ｒのように凸形状となる。上述したように、隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面となす角度が小さい場合は、大きい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。ステップＳ２２において側面角度が調整されて、隔壁１５６の側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度である立上り角度θＲは、立上り角度θＢより小さくなっている。これにより、液状材料５３０Ｒを側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合の凸形状が是正されて、図１１（ｄ）に示したように、色要素膜面５３６Ｒが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒが形成される。
【０１０８】
本実施形態の液状材料５３０Ｇは、色要素膜１５３Ｇの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が図１１（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３７Ｇのように凹形状となる。上述したように、隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面となす角度が大きい場合は、小さい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。ステップＳ２２において側面角度が調整されて、隔壁１５６の側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度である立上り角度θＧは、立上り角度θＢより大きくなっている。これにより、液状材料５３０Ｇを側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合の凹形状が是正されて、図１１（ｄ）に示したように、色要素膜面５３６Ｇが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｇが形成される。
【０１０９】
本実施形態の液状材料５３０Ｂは、色要素膜１５３Ｂの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｂｂが色要素領域底１５２Ｂａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が図１１（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３７Ｂのように略平坦になる。これにより、図１１（ｄ）に示したように、液状材料５３０Ｂを側面１５６Ｂｂが色要素領域底１５２Ｂａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２Ｂに充填して乾燥させることで、図１１（ｄ）に示したように、色要素膜面５３６Ｂが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｂが形成される。側面１５６Ｂｂが色要素領域底１５２Ｂａとなす立上り角度θＢが、第一の角度に相当する。
【０１１０】
なお、色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの有効な部分には関与しないため図１１（ｄ）では省略したが、色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの縁の部分には、図９に示した色要素膜１５３と同様に、液状材料５３０Ｒ，Ｇ，Ｂの側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂに濡れ広がった部分が乾燥したものが連なっている。
【０１１１】
以下、第二の実施形態の効果を記載する。第二の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液状材料５３０Ｒは、色要素膜１５３Ｒの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が凸形状となる。隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面となす角度が小さい場合は、大きい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。ステップＳ２２において側面角度を調整して、隔壁１５６の側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度である立上り角度θＲを、立上り角度θＢより小さくしていることで、凸形状を是正して、色要素膜面５３６Ｒが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒを形成することができる。
【０１１２】
（２）液状材料５３０Ｇは、色要素膜１５３Ｇの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が凹形状となる。隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面となす角度が大きい場合は、小さい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。ステップＳ２２において側面角度を調整して、隔壁１５６の側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度である立上り角度θＧを、立上り角度θＢより大きくすることで、凹形状を是正して、色要素膜面５３６Ｇが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｇを形成することができる。
【０１１３】
（３）フィルタ基板１０２は、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを備えることで、色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが透過させるべき光量を透過させることができるような色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを容易に形成することができる。従って、透過させるべき光量を透過させることで実現すべき輝度が実現できる、好適なフィルタ基板１０２を実現することができる。
【０１１４】
（４）液晶表示パネル１００は、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを備えることで、色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが透過させるべき光量を透過させることができるような色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを容易に形成することができる。従って、透過させるべき光量を透過させることで実現すべき輝度が実現できる、好適な液晶表示パネル１００を実現することができる。
【０１１５】
（５）色要素領域１５２の平面形状が円形であって、形成される色要素膜１５３の平面形状が円形である。色要素膜１５３の縁は全て円弧の一部であることから、縁の形状が全周で均一になる。これにより、縁の形状が異なることに起因する厚み方向の形状のばらつきが抑制されることから、全周にわたって乾燥状態が略同一になり全周にわたって色要素膜１５３の膜厚を略均一にすることができる。また、隔壁１５６の側面の立上り角度を変えることが膜厚に及ぼす影響における、縁の形状が異なることに起因するばらつきが抑制されることから、隔壁１５６の側面の立上り角度を変えることによる膜厚の制御を容易に実行することができる。
【０１１６】
（第三の実施形態）
次に、本発明に係る電子機器について説明する。本実施形態の電子機器は、第一の実施形態又は第二の実施形態で説明した液晶表示装置を備えた電子機器である。本実施形態の電子機器の具体例について説明する。
【０１１７】
図１２（ａ）は、電子機器の一例である大型液晶テレビを示す外観斜視図である。図１２（ａ）に示すように、電子機器の一例である大型液晶テレビ２００は、表示部２０１を備えている。表示部２０１は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル１０を表示手段として搭載している。
【０１１８】
図１２（ｂ）は、電子機器の一例であるワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した外観斜視図である。図１２（ｂ）において、携帯型情報処理装置２２０は、情報処理装置筐体２２３を有し、キーボードなどの入力部２２４と表示部２２２とを備えている。表示部２２２は、第二の実施形態で説明した液晶表示パネル１００を表示部２２２を構成する表示手段として搭載している。
【０１１９】
以下、第三の実施形態の効果を記載する。第三の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）大型液晶テレビ２００は、実現すべき輝度が実現できる、好適な液晶表示パネル１０を備えることで、実現すべき輝度が実現できる、好適な表示が可能な液晶テレビを実現することができる。
【０１２０】
（２）携帯型情報処理装置２２０は、実現すべき輝度が実現できる、好適な液晶表示パネル１００を備えることで、実現すべき輝度が実現できる、好適な表示が可能な携帯型情報処理装置を実現することができる。
【０１２１】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、前記各実施形態に限らない。本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１２２】
（変形例１）前記第一の実施形態においては、隔壁５６の高さを変えるために基板凹部５７及び透明膜５８を形成していたが、基板凹部５７及び透明膜５８を形成することは必須ではない。高さが異なる隔壁５６を形成してもよい。隔壁５６を挟んで異なる液状材料を配置する場合には、隔壁５６の頂上に段差を設けたり頂上を傾けたりすることで、単独の隔壁５６で異なる高さの隔壁を形成してもよい。
【０１２３】
（変形例２）前記第一の実施形態においては、隔壁５６の高さを変えるために基板凹部５７及び透明膜５８を形成していたが、基板凹部５７及び透明膜５８の双方を形成することは必須ではない。基板凹部５７の深さを変えて異なる深さの基板凹部５７を形成することでも、異なる隔壁５６の高さを実現することができる。厚さが異なる複数種類の透明膜５８を形成することでも、異なる隔壁５６の高さを実現することができる。
【０１２４】
（変形例３）前記第一及び第二の実施形態においては、隔壁５６，１５６は、隔壁膜を予め形成し、当該隔壁膜から色要素領域５２などの部分を取り除くことで形成する方法を説明したが、隔壁５６，１５６は、直接形成する方法で形成することもできる。例えば、前記第一の実施形態において説明した液滴吐出ヘッド６２を用いて隔壁５６，１５６の材料を含む液状材料を吐出して、基板上の隔壁５６，１５６を形成する位置に選択的に配置することでも形成することができる。この方法によれば、除去する材料が発生しないため、材料が無駄に消費されることを抑制することができる。
【０１２５】
（変形例４）前記第一及び第二の実施形態においては、液状材料を充填する色要素領域５２や色要素領域１５２の平面形状は、略方形又は略円形であったが、液状材料を配置する領域の形状は方形又は円形に限らずどのような形状であってもよい。例えば、長円形状であってもよい。長円形状の縁は全て円弧であり、曲率半径の違いによる差以外は縁の形状が全周で略均一になる。これにより、縁の形状が異なることに起因する厚み方向の形状のばらつきを抑制することができる。また、多角形形状の角部を円弧状にしてもよい。液状材料は角部分に充填し難いものもあるため、そのような液状材料を充填する方形領域の角部分を円弧状にすることで、未充填部分が発生することを抑制することができる。
【０１２６】
（変形例５）前記第一及び第二の実施形態においては、液状材料を配置するためにインクジェット方式の液滴吐出ヘッド６２を用いていたが、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドを用いることは必須ではない。例えばマイクロディスペンサを用いるなど、微少量の液状材料を目的の配置位置に配置できる方法であればよい。
【０１２７】
（変形例６）前記第一及び第二の実施形態においては、ガラス基板２ａの表面処理は、隔壁５６又は隔壁１５６を形成した後に実行していたが、表面処理の実行時期は隔壁５６又は隔壁１５６を形成した後に限らない。前記第一及び第二の実施形態で説明した各部の親液性又は撥液性が形成されればよい。
【０１２８】
（変形例７）前記第一及び第二の実施形態においては、ガラス基板２ａの表面処理を実行することで、前記第一及び第二の実施形態で説明した各部の親液性又は撥液性を形成していたが、表面処理を実行することは必須ではない。液状材料に対して親液性又は撥液性を有する材料を用いて基板や隔壁又はバンクを形成することで、前記第一及び第二の実施形態で説明した各部の親液性又は撥液性を実現してもよい。
【０１２９】
（変形例８）前記第一及び第二の実施形態においては、機能膜の一例として、液晶表示装置のカラーフィルタの色要素膜について説明したが、本発明による膜形成方法は様々な機能膜の形成方法として利用できる。例えば、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層や発光層のような機能膜を形成する膜形成方法としても利用できる。また、液晶表示装置の配向膜のように、１枚の基板上に１枚の大きな機能膜を形成するような膜形成方法としても利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】（ａ）第一の実施形態の液晶表示パネルの構造を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａで示した断面における概略断面図。
【図２】第一の実施形態の液晶表示パネルの３色カラーフィルタの配列例を示す模式平面図。
【図３】（ａ）液滴吐出ヘッドの外観の概要を示す斜視図、（ｂ）ノズルの配列を示す模式図。
【図４】（ａ）液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の詳細構造を示す断面図。
【図５】（ａ）隔壁の高さが高い場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図、（ｂ）隔壁の高さが低い場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図。
【図６】第一の実施形態の液晶表示パネルのフィルタ基板の色要素膜形成工程を示すフローチャート。
【図７】第一の実施形態の液晶表示パネルのフィルタ基板の色要素膜形成工程を示す模式断面図。
【図８】第二の実施形態の液晶表示パネルの３色カラーフィルタの配列例を示す模式平面図。
【図９】（ａ）隔壁の壁面が底面となす角度が大きい場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図、（ｂ）壁面が底面となす角度が小さい場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図。
【図１０】第二の実施形態の液晶表示パネルのフィルタ基板の色要素膜形成工程を示すフローチャート。
【図１１】第二の実施形態の液晶表示パネルのフィルタ基板の色要素膜形成工程を示す模式断面図。
【図１２】（ａ）大型液晶テレビを示す外観斜視図、（ｂ）携帯型情報処理装置の一例を示す外観斜視図。
【符号の説明】
【０１３１】
２…フィルタ基板、２ａ…ガラス基板、５…カラーフィルタ、１０…液晶表示パネル、５２，５２Ｂ，５２Ｇ，５２Ｒ…色要素領域、５３，５３Ｂ，５３Ｇ，５３Ｒ…色要素膜、５６，１５６…隔壁、５６ｂ…隔壁側面、５７…基板凹部、５８…透明膜、１００…液晶表示パネル、１０２…フィルタ基板、１５２，１５２Ｂ，１５２Ｇ，１５２Ｒ…色要素領域、１５３，１５３Ｂ，１５３Ｇ，１５３Ｒ…色要素膜、１５６Ｂｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂ…側面、２００…大型液晶テレビ、２２０…携帯型情報処理装置、５３０，５３０Ｂ，５３０Ｇ，５３０Ｒ…液状材料、５３２Ｂ，５３２Ｇ，５３２Ｒ…表面、５３６Ｂ，５３６Ｇ，５３６Ｒ…色要素膜面。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜を形成する膜形成方法、当該機能膜を有する電気光学基板の製造方法、及び当該機能膜を有する電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び当該電気光学装置を備える電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜や有機エレクトロルミネセンス（以下、「有機ＥＬ」と表記する。）装置の発光膜などの機能膜を形成する技術として、機能膜の材料を含む液状材料を塗布し、当該液状材料を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。機能膜は厚さによって特性が異なることから、各機能膜において、厚さが実現すべき機能特性に最適な厚さであって、各部分の厚さが均一であることが求められる。同様な理由から、カラー液晶装置などに形成された互いに同一の機能（特性）を備えることが必要な複数の機能膜は、その膜厚が互いに均等であることが求められる。しかし、液状材料を乾燥させることで形成された機能膜は、中央部分が厚い凸形状や、中央部分が薄い凹形状になることで、同一機能膜における膜厚が均一でなかったり、凸形状や凹形状の形状がばらつくことで、機能膜間で膜厚が均等でなかったりする場合があった。
【０００３】
例えばカラー液晶装置のカラーフィルタ膜では、膜厚が均一でないカラーフィルタ膜は、均一であるカラーフィルタ膜とは透過光量が異なることから、当該膜厚が均一でないカラーフィルタ膜が対応する画素の輝度が、膜厚が均一であるカラーフィルタ膜を前提とした画素の輝度とは異なってしまう。画像の最小単位（以降、「絵素」と表記する。）を構成する複数の画素の輝度が前提とした輝度からずれると、絵素の輝度や色が表示すべき輝度や色と異なってしまう。一つのカラー液晶装置に形成された複数のカラーフィルタ膜間で膜厚が均等でない場合には、輝度むらや色むらが発生する。
【０００４】
特許文献１には、液状材料（液体材料）を配置するために滴下する液滴の大きさに対して、液状材料を配置する領域の大きさ及び当該領域を規定する隔壁（バンク）の大きさを規定することで、膜厚のばらつきを少なくすることができる基板（薄膜パターニング用基板）の構成が開示されている。特許文献２には、液状材料の配置領域と当該配置領域を規定する隔壁の側壁とを斜めの連結面で連結し、当該連結面に囲まれた領域に薄膜（画像素子）を形成することで、平坦な薄膜を形成する方法が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３５３５９４号公報
【特許文献２】特開２００４−１９８４８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、機能膜の液状材料の乾燥特性は、当該液状材料に含まれる溶質や溶媒やそれらの含有割合などによって異なっている。液状材料が乾燥して形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状は液状材料の乾燥特性の影響を受けることから、同一環境下で乾燥しても形成される機能膜の断面形状は、液状材料毎に異なっている。このため、特許文献１や特許文献２に開示されたように、液状材料の個別の特性に関わりなく隔壁の形状を規定すると、様々な種類の液状材料において必ずしも均一厚の膜が得られないという課題があった。特に、カラーフィルタを構成する各色のフィルタ膜を形成する場合のように、複数種類の液状材料を同一基板上に配置して機能膜を形成する場合には、１種類の機能膜を均一厚にできても、他の種類の機能膜は必ずしも均一厚にできないことから、同一基板上において、実現すべき機能が実現できるものとできないものとが混在することで、基板全体として好適な機能が得られ難いという課題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するものであり、基板上に配置されるそれぞれの液状材料の特性に応じて、多数形成されるそれぞれの機能膜の膜厚が不均一になることを抑制することができる膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び電子機器を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による膜形成方法は、基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、機能膜形成領域に、機能膜の材料を含む第一の量の液状材料を配置する材料配置工程と、材料配置工程において配置された液状材料を乾燥させて機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁形成工程において形成する隔壁の高さを変えることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る膜形成方法によれば、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁の高さを変える。液状材料を乾燥させることで機能膜を形成する製膜方法においては、隔壁で区画された領域に同一量の液状材料を配置して乾燥させた場合、領域を区画する隔壁の高さによって、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が異なることが本発明の発明者などによって確認されている。本発明に係る膜形成方法によれば、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁の高さを変えることで、機能膜の断面形状を調整することができる。これにより、基板上に形成されるそれぞれの機能膜において、膜厚が不均一になることを抑制することができる。
【００１０】
本発明において、膜形成方法は、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような機能膜を形成するための第一の量の液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、第一の高さより高くすることが好ましい。
【００１１】
隔壁で区画された領域に同一量の液状材料を配置して乾燥させた場合、領域を区画する隔壁の高さが高い方が、形成される機能膜は中央部が周辺部より薄い凹形状になりやすいことが本発明の発明者などによって確認されている。この膜形成方法によれば、機能膜を形成するために機能膜形成領域に配置すべき液状材料の量が第一の量であって、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の断面形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、第一の高さより高くする。これにより、形成される機能膜の断面形状を、中央側の膜厚が周辺側の膜厚より厚い形状から中央側の膜厚が周辺側の膜厚より薄い形状の方に修正することができる。従って、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状を、中央側の膜厚が周辺側の膜厚より厚い凸形状から均一な膜厚に近づけることができる。
【００１２】
本発明において、膜形成方法は、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような機能膜を形成するための第一の量の液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、第一の高さより低くすることが好ましい。
【００１３】
隔壁で区画された領域に同一量の液状材料を配置して乾燥させた場合、領域を区画する隔壁の高さが低い方が、形成される機能膜は中央部が周辺部より厚い凸形状になりやすいことが本発明の発明者などによって確認されている。この膜形成方法によれば、機能膜を形成するために機能膜形成領域に配置すべき液状材料の量が第一の量であって、隔壁の高さが第一の高さである機能膜形成領域に第一の量の液状材料を配置した場合に形成される機能膜の断面形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、第一の高さより低くする。これにより、形成される機能膜の断面形状を、中央側の膜厚が周辺側の膜厚より薄い形状から中央側の膜厚が周辺側の膜厚より厚い形状の方に修正することができる。従って、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状を、中央側の膜厚が周辺側の膜厚より薄い凹形状から均一な膜厚に近づけることができる。
【００１４】
本発明において、膜形成方法は、機能膜形成領域の底面を、当該底面からの隔壁の高さが高くなるように削ることで隔壁の高さを変えることが好ましい。
【００１５】
この膜形成方法によれば、機能膜形成領域の底面が削られることで、基板の厚さ方向において、機能膜形成領域の底面の位置が低くなる。これにより、基板上に形成する隔壁自体の高さを変えることなく、機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、機能膜形成領域側から見て実質的に高くして、隔壁の高さを変えることができる。
【００１６】
本発明において、膜形成方法は、機能膜形成領域の底部に薄膜を形成することで、隔壁の高さを変えることが好ましい。
【００１７】
この膜形成方法によれば、機能膜形成領域の底面に薄膜が形成されることで、基板の厚さ方向において、機能膜形成領域の底面の位置が高くなる。これにより、基板上に形成する隔壁自体の高さを変えることなく、機能膜形成領域を区画形成する隔壁の高さを、機能膜形成領域側から見て実質的に低くして、隔壁の高さを変えることができる。
【００１８】
本発明による膜形成方法は、基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、機能膜形成領域に機能膜の材料を含む液状材料を配置する材料配置工程と、材料配置工程において配置された液状材料を乾燥させて機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、隔壁の機能膜形成領域を構成する側面が機能膜形成領域の底面となす機能膜形成領域側の立上り角度が第一の角度である場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁形成工程において形成する隔壁の側面が底面となす立上り角度を変えることを特徴とする。
【００１９】
本発明に係る膜形成方法によれば、隔壁の側面の立上り角度が第一の角度である機能膜形成領域に液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁の側面の立上り角度を変える。液状材料を乾燥させることで機能膜を形成する成膜方法においては、機能膜形成領域を区画する隔壁の立上り角度によって、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が異なることが本発明の発明者などによって確認されている。本発明に係る膜形成方法によれば、隔壁の側面の立上り角度が第一の角度である機能膜形成領域に液状材料を配置した場合に形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、隔壁の側面の立上り角度を変えることで、機能膜の断面形状を調整することができる。これにより、基板上に形成されるそれぞれの機能膜において、膜厚が不均一になることを抑制することができる。なお、側面の立上り角度は、側面が機能膜形成領域の底面となす機能膜形成領域側の立上り角度であって、隔壁の断面の角の角度ではなく、機能膜形成領域の断面の角の角度である。
【００２０】
本発明において、膜形成方法は、隔壁の側面が底面となす立上り角度が第一の角度のときに形成される機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような機能膜を形成するための液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の立上り角度を、第一の角度より小さくすることが好ましい。
【００２１】
隔壁で区画された領域に液状材料を配置して乾燥させた場合、機能膜形成領域を区画する隔壁の側面の機能膜形成領域側の立上り角度が小さいほど、形成される機能膜は中央部分の膜厚が周辺部分の膜厚より薄い凹形状になりやすいことが本発明の発明者などによって確認されている。この膜形成方法によれば、隔壁の側面が底面となす立上り角度が第一の角度のときに形成される機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような機能膜を形成するための液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の立上り角度を、第一の角度より小さくする。これにより、形成される機能膜の断面形状を、中央部分が周辺部分より厚い凸形状から中央側の膜厚が周辺側の膜厚より薄い形状の方に近づけるように修正することができる。従って、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状を、中央部分が周辺部分より厚い凸形状から均一な膜厚の断面形状に近づけることができる。
【００２２】
本発明において、膜形成方法は、隔壁の側面が底面となす立上り角度が第一の角度のときに形成される機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような機能膜を形成するための液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の立上り角度を、第一の角度より大きくすることが好ましい。
【００２３】
隔壁で区画された領域に液状材料を配置して乾燥させた場合、機能膜形成領域を区画する隔壁の側面の機能膜形成領域側の立上り角度が大きいほど、形成される機能膜は中央部分の膜厚が周辺部分の膜厚より厚い凸形状になりやすいことが本発明の発明者などによって確認されている。この膜形成方法によれば、隔壁の側面が底面となす立上り角度が第一の角度のときに形成される機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような機能膜を形成するための液状材料を配置すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁の立上り角度を、第一の角度より大きくする。これにより、形成される機能膜の断面形状を、中央部分が周辺部分より薄い凹形状から中央側の膜厚が周辺側の膜厚より厚い形状の方に修正することができる。従って、形成される機能膜の厚さ方向の断面の断面形状を、中央部分が周辺部分より薄い凹形状から均一な膜厚の断面形状に近づけることができる。
【００２４】
本発明による電気光学基板の製造方法は、機能膜を有する電気光学基板の製造方法であって、少なくとも１種類の機能膜を上述した膜形成方法を用いて形成することを特徴とする。
【００２５】
本発明に係る電気光学基板の製造方法によれば、機能膜における膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて機能膜を形成することから、一つの機能膜における膜厚のばらつきが小さい、好適な電気光学基板を製造することができる。例えば当該膜形成方法を用いて色要素膜を形成するカラーフィルタ基板であれば、表示するべき色や輝度を正確に表示し易いというように、高性能の電気光学基板を製造することができる。
【００２６】
本発明による電気光学装置の製造方法は、機能膜を有する電気光学装置の製造方法であって、少なくとも１種類の機能膜を上述した膜形成方法を用いて形成することを特徴とする。
【００２７】
本発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、機能膜における膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて機能膜を形成することから、一つの機能膜における膜厚のばらつきが小さい、好適な電気光学装置を製造することができる。例えば当該膜形成方法を用いて発光膜を形成する有機ＥＬ表示装置であれば、表示するべき色や輝度を正確に表示し易いというように、高性能の電気光学装置を製造することができる。
【００２８】
本発明による機能膜は、上述した膜形成方法を用いて形成することを特徴とする。
【００２９】
本発明に係る機能膜の構成によれば、機能膜における膜厚の均一化を実行することができる膜形成方法を用いて形成されていることから、一つの機能膜における膜厚のばらつきが小さい。これにより、機能膜の所望の機能を実現し易い好適な機能膜を実現することができる。
【００３０】
本発明において、機能膜は、機能膜の平面形状が略円形又は略長円形状であることが好ましい。
【００３１】
機能膜材料を含む液状材料を乾燥させて機能膜を形成する場合、形成するべき機能膜の縁の形状によって当該縁の近くの液状材料の乾燥状態が異なる。このため、機能膜の厚みが縁の形状によって部分的に異なり、全体の厚みが均一でなくなる。例えば、多角形の機能膜の辺の部分と角の部分とでは乾燥状態が異なることから、辺の部分と角の部分とで機能膜の厚さが均一でなくなる。この機能膜の構成によれば、機能膜の平面形状が略円形又は略長円形状であって、機能膜の縁は全て円弧の一部であることから、平面形状が多角形である機能膜に比べて、縁の形状が全周で略均一になる。これにより、全周にわたって乾燥状態が略同一になり全周にわたって膜厚を略均一にすることができる。従って、機能膜の形状がばらつく可能性が少ないことから、機能膜の所望の機能を実現し易い機能膜を実現することができる。
【００３２】
本発明による電気光学基板は、機能膜を有する電気光学基板であって、少なくとも１種類の機能膜が、上記した機能膜であることを特徴とする。
【００３３】
本発明に係る電気光学基板によれば、少なくとも１種類の機能膜が、機能膜の所望の機能を実現し易い好適な機能膜であることから、所望の機能を実現し易い好適な電気光学基板を実現することができる。
【００３４】
本発明による電気光学装置は、機能膜を有する電気光学装置であって、少なくとも１種類の機能膜が、上記した機能膜であることを特徴とする。
【００３５】
本発明に係る電気光学装置によれば、少なくとも１種類の機能膜が、機能膜の所望の機能を実現し易い好適な機能膜であることから、所望の機能を実現し易い好適な電気光学装置を実現することができる。
【００３６】
本発明によるカラーフィルタの色要素膜は、上述した膜形成方法を用いて形成されることを特徴とする。
【００３７】
本発明に係るカラーフィルタの色要素膜の構成によれば、色要素膜における膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて形成されていることから、一つの色要素膜における膜厚のばらつきが小さい。これにより、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタの色要素膜を実現することができる。
【００３８】
本発明によるカラーフィルタは、カラーフィルタを構成する色要素膜が、上述した膜形成方法を用いて形成されていることを特徴とする。
【００３９】
本発明に係るカラーフィルタの構成によれば、カラーフィルタを構成する色要素膜が、色要素膜における膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて形成されていることから、一つの色要素膜における膜厚のばらつきが小さい。これにより、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタを実現することができる。
【００４０】
本発明によるカラーフィルタ基板は、上述したカラーフィルタを備えることを特徴とする。
【００４１】
本発明に係るカラーフィルタ基板の構成によれば、カラーフィルタ基板が備えるカラーフィルタは、カラーフィルタを構成する色要素膜が、一つの色要素膜における膜厚のばらつきが小さいことから、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタを実現することができる。これにより、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタ基板を実現することができる。
【００４２】
本発明による液晶表示装置は、上述したカラーフィルタの色要素膜を備えることを特徴とする。
【００４３】
本発明に係る液晶表示装置の構成によれば、液晶表示装置は、膜厚の均一化を実現することができる膜形成方法を用いて形成されていることから、一つの色要素膜における膜厚のばらつきが小さいため、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適なカラーフィルタの色要素膜を備える。これにより、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適な液晶表示装置を実現することができる。
【００４４】
本発明による電子機器は、上述した電気光学装置を備えることを特徴とする。
【００４５】
本発明に係る電子機器によれば、所望の機能を実現し易い好適な電気光学装置を備えることから、所望の機能を実現し易い好適な電子機器を実現することができる。
【００４６】
本発明による電子機器は、上述した液晶表示装置を備えることを特徴とする。
【００４７】
本発明に係る電子機器によれば、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適な液晶表示装置を備えることから、表示するべき色や輝度を正確に表示し易い好適な電子機器を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
以下、本発明に係る膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び電子機器の一実施形態について図面を参照して、説明する。
【００４９】
（第一の実施形態）
第一の実施形態では、膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、及び電気光学装置の一実施形態について、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する工程において、機能膜の一例であるフィルタ膜としての色要素膜を形成する工程で用いられる膜形成方法を例に説明する。
【００５０】
＜液晶表示パネルの構成＞
最初に、図１を参照して、液晶表示パネルについて説明する。図１は、液晶表示パネルの構造を示す概略図である。図１（ａ）は、液晶表示パネルについて、各構成要素とともにフィルタ基板側から見た平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図である。なお、以下の説明に用いた各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
【００５１】
図１（ａ）および（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１０は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子３及び画素電極６ｂを有する素子基板１と、対向電極６ａ及びカラーフィルタ５を有するフィルタ基板２と、シール材４によって接着された素子基板１とフィルタ基板２との隙間に充填された液晶８とを備えている。素子基板１はフィルタ基板２より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。
【００５２】
素子基板１は、厚さおよそ１．２ｍｍの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素を構成する画素電極６ｂと、３端子のうちの一つが画素電極６ｂに接続されたＴＦＴ素子３が形成されている。ＴＦＴ素子３の残りの２端子は、画素電極６ｂを囲んで互いに絶縁状態で格子状に配置されたデータ線（図示省略）と走査線（図示省略）とに接続されている。データ線は、Ｙ軸方向に引き出されて、端子部１６においてデータ線駆動回路部９ａに接続されている。走査線は、Ｘ軸方向に引き出され、左右の額縁領域に形成された２つの走査線駆動回路部９ｂ，９ｂに個々に接続されている。各データ線駆動回路部９ａおよび走査線駆動回路部９ｂの入力側配線は、端子部１６に沿って配列した実装端子１１にそれぞれ接続されている。端子部１６とは反対側の額縁領域には、２つの走査線駆動回路部９ｂ，９ｂを繋ぐ配線１２が設けられている。
【００５３】
フィルタ基板２は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２ａを用いており、共通電極としての対向電極６ａが設けられている。対向電極６ａは、ガラス基板２ａの四隅に設けられた上下導通部１４を介して素子基板１側に設けられた配線と導通しており、当該配線も端子部１６に設けられた実装端子１１に接続されている。また、フィルタ基板２には、画素電極６ｂと対向する位置に色要素膜５３が形成されたカラーフィルタ５が設けられている。
【００５４】
液晶８に面する素子基板１の表面およびフィルタ基板２の表面には、それぞれ配向膜７ｂ、配向膜７ａが形成されている。
【００５５】
液晶表示パネル１０は、外部駆動回路と電気的に繋がる中継基板が実装端子１１に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が各データ線駆動回路部９ａおよび走査線駆動回路部９ｂに入力されることにより、ＴＦＴ素子３が画素電極ごとにスイッチングされ、画素電極６ｂと対向電極６ａとの間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。
【００５６】
尚、図１では図示省略したが、液晶表示パネル１０の表裏面には、それぞれ入出射する光を偏向する偏光板が設けられる。
【００５７】
＜カラーフィルタ＞
次に、図２を参照して、フィルタ基板２に形成されているカラーフィルタ５及びカラーフィルタ５における色要素膜５３の配列について説明する。図２（ａ），（ｂ）は、３色カラーフィルタの配列例を示す模式平面図である。
【００５８】
上述したように、フィルタ基板２は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２ａを用いて形成されている。カラーフィルタ５は、方形状のガラス基板２ａの表面に複数の色要素領域５２をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該色要素領域５２に色要素膜５３を形成することによって形成されている。上述したように、素子基板１とフィルタ基板２とが組み合わされると、色要素膜５３は画素電極６ｂと対向しており、画素電極６ｂと対向電極６ａとの間に駆動電圧を印加して液晶８の配向を変えることで制御される光が色要素膜５３を透過する。色要素膜５３は光学フィルタであって、色要素膜５３を透過した光は色要素膜５３の色に対応した色の光になる。色要素領域５２が機能膜形成領域に相当し、色要素膜５３が機能膜に相当する。フィルタ基板２が、機能膜を有する電気光学基板に相当する。
【００５９】
図２（ａ），（ｂ）に示すように、色要素膜５３は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁５６によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状の色要素領域５２を色材で埋めることによって形成される。例えば、色要素膜５３を構成する色材を含む液状材料を色要素領域５２に充填し、当該液状材料の溶媒を蒸発させて液状材料を乾燥させることで、色要素領域５２を埋める膜状の色要素膜５３を形成する。
【００６０】
色要素膜５３の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。ストライプ配列は、図２（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の色要素膜５３になる配列である。モザイク配列は、図２（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとに色要素膜５３一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの色要素膜５３が３色となる配列である。そして、デルタ配列は、色要素膜５３の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つの色要素膜５３が異なる色となる配色である。
【００６１】
図２（ａ），（ｂ）に示した３色フィルタにおいて、色要素膜５３は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成されたＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂを各１個づつ含む色要素膜５３の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以下、「絵素フィルタ５４」と表記する。）を形成している。１絵素フィルタ５４内の色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂのいずれか１つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁５６はブラックマトリクスとして作用する。
【００６２】
＜液滴吐出法及び液滴吐出ヘッド＞
次に、液状材料を色要素領域５２に充填する際に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００６３】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。
【００６４】
次に、本発明に係るデバイスを液滴吐出法によって製造する際に用いられるデバイス製造装置の液滴吐出ヘッドについて説明する。このデバイス製造装置は、液滴吐出ヘッドから基板に対して液滴を吐出（滴下）することによりデバイスを製造する液滴吐出装置（インクジェット装置）である。図３は、液滴吐出ヘッドの外観の概要を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドの外観の概要を示す斜視図であり、図３（ｂ）は、ノズルの配列を示す模式図である。図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド６２は、例えば、複数の吐出ノズル６７が配列されてなるノズル列６８を有する。図３（ｂ）に示すように吐出ノズル６７の数は例えば１８０であり、吐出ノズル６７の孔径は例えば２８μｍであり、吐出ノズル６７のピッチは例えば１４１μｍである。図３（ａ）に示す基準方向Ｓは、基板上の任意の位置に液滴を着弾させるために液滴吐出ヘッド６２が基板に対して相対移動する際の主走査方向を示し、配列方向Ｔはノズル列６８における吐出ノズル６７の配列方向を示している。
【００６５】
図４（ａ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視図であり、図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の詳細構造を示す断面図である。図４（ａ），（ｂ）に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド６２は、振動板７３と、ノズルプレート７４とを、備えている。振動板７３と、ノズルプレート７４との間には、液状材料タンク（図示省略）から供給孔７７を介して供給される材料液が常に充填される液たまり７５が位置している。また、振動板７３と、ノズルプレート７４との間には、複数のヘッド隔壁７１が位置している。そして、振動板７３と、ノズルプレート７４と、１対のヘッド隔壁７１とによって囲まれた空間がキャビティ７０である。キャビティ７０は吐出ノズル６７に対応して設けられているため、キャビティ７０の数と吐出ノズル６７の数とは同じである。キャビティ７０には、１対のヘッド隔壁７１間に位置する供給口７６を介して、液たまり７５から材料液が供給される。
【００６６】
振動板７３上には、それぞれのキャビティ７０に対応して、振動子７２が位置する。振動子７２は、ピエゾ素子７２ｃと、ピエゾ素子７２ｃを挟む１対の電極７２ａ、７２ｂとから成る。この１対の電極７２ａ、７２ｂに駆動電圧を与えることで、対応する吐出ノズル６７から液状材料が液滴となって吐出される。吐出ノズル６７から吐出される液状材料の一部がノズルプレート７４に付着することを抑制するために、ノズルプレート７４の外面は、液状材料に対して撥液性を有する撥液処理層２Ｐが形成されている。
【００６７】
制御装置（図示省略）は、ピエゾ素子７２ｃへの印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル６７のそれぞれに対して、液状材料の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル６７から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数、基板上に着弾した液滴同士の距離などを変化させることができる。例えば、ノズル列６８に並ぶ複数の吐出ノズル６７の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル６７を選択的に使用することにより、配列方向Ｔの方向では、ノズル列６８の長さの範囲であって吐出ノズル６７のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。基準方向Ｓの方向では、基板上に着弾した液滴同士の距離を、当該液滴を吐出する吐出ノズル６７ごとに個別に変化させることができる。なお、吐出ノズル６７のそれぞれから吐出される液滴の体積は、１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００６８】
＜隔壁高さと膜厚形状＞
次に、図５を参照して、色要素領域５２に充填された液状材料５３０を乾燥させて色要素膜５３を形成する際の、ガラス基板２ａ上に形成された隔壁５６の高さと、形成される色要素膜５３の厚さ方向の断面における断面形状との関係を説明する。図５（ａ）は、隔壁の高さが高い場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図であり、図５（ｂ）は、隔壁の高さが低い場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図である。
【００６９】
図５（ａ）に二点鎖線で示したように色要素領域５２に充填された液状材料５３０は、乾燥して同図に示したような断面形状の色要素膜５３が形成される。図５（ａ）に示したように隔壁５６の高さＨ１が高い場合は、図５（ｂ）に示したように低い場合に比べて、隔壁５６の壁面に濡れ広がる長さが長くなることから、液状材料５３０が乾燥する過程において液状材料５３０が流動・対流・拡散できる距離が長くなる。このため、色要素膜５３の断面形状は、図５（ａ）に示したような、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。
【００７０】
図５（ｂ）に二点鎖線で示したように色要素領域５２に充填された液状材料５３０は、乾燥して同図に示したような断面形状の色要素膜５３が形成される。図５（ｂ）に示したように隔壁５６の高さＨ２が低い場合は、図５（ａ）に示したように高い場合に比べて、隔壁５６の壁面に濡れ広がる長さが短くなることから、液状材料５３０が乾燥する過程において液状材料５３０が流動・対流・拡散できる距離が少ない。このため、色要素膜５３の断面形状は、図５（ｂ）に示したような、中央部が盛り上がるようにして厚くなり、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。
【００７１】
ここで説明した隔壁５６の高さと、形成される色要素膜５３の断面形状との関係は、本発明の発明者らによって実験的に確認されている。なお、凹形状と凸形状の境界である均一な膜厚が得られる隔壁５６の高さは、個々の液状材料の乾燥特性によって異なるため、隔壁５６の形状を決定する前に、乾燥雰囲気や環境温度などの条件を機能膜形成工程と合わせたうえで、確認することが好ましい。
【００７２】
＜フィルタ基板の製造＞
次に、フィルタ基板２の色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂを形成する色要素膜形成工程について、図６および図７を参照して説明する。図６はフィルタ基板の色要素膜形成工程を示すフローチャートであり、図７（ａ）〜（ｄ）はフィルタ基板の色要素膜形成工程を示す模式断面図である。
【００７３】
図６に示したステップＳ１では、図７（ａ）に示すように、ガラス基板２ａの表面の一部をエッチングなどによって取り除くことで、基板凹部５７を形成する。１個の基板凹部５７の大きさは、図２を参照して説明した隔壁５６によって区画形成される１個の色要素領域５２の底面より大きく、隔壁５６を隔てて隣り合う色要素領域５２の底面には達しない大きさにする。
【００７４】
次に、ステップＳ２では、図７（ａ）に示すように、ガラス基板２ａの表面の一部を覆う透明膜５８を形成する。透明膜５８は、例えば、ガラス基板２ａの表面に透明膜５８の材料を含む液状材料を塗布し、乾燥させてガラス基板２ａの表面の全面を覆う透明膜を形成し、フォトエッチングなどで、形成する。１個の透明膜５８の大きさは、基板凹部５７と同様に、隔壁５６によって区画形成される１個の色要素領域５２の底面より大きく、隔壁５６を隔てて隣り合う色要素領域５２の底面には達しない大きさにする。
【００７５】
次に、ステップＳ３では、図７（ｂ）に示すように、ガラス基板２ａの表面に隔壁５６を形成する。隔壁５６は、例えば、ガラス基板２ａの表面に隔壁５６の材料を含む液状材料を塗布し、乾燥させて隔壁膜を形成し、フォトエッチングなどで色要素領域５２などの部分を取り除くことで、形成する。
【００７６】
隔壁５６の高さは、色要素領域底５２Ｂａがガラス基板２ａの表面である色要素領域５２ＢではＨＢであり、色要素領域底５２Ｇａが透明膜５８の表面である色要素領域５２ＧではＨＧであり、色要素領域底５２Ｒａが基板凹部５７の表面である色要素領域５２ＲではＨＲである。色要素領域５２Ｒにおける隔壁５６の高さＨＲは、基板凹部５７を形成することで底部が削られた状態となるような位置に隔壁５６を形成することで、ガラス基板２ａの表面に形成された隔壁５６の高さであるＨＢより高くなっている。色要素領域５２Ｇにおける隔壁５６の高さＨＧは、底部に透明膜５８が形成された状態となるように隔壁５６を形成することで、ガラス基板２ａの表面に形成された隔壁５６の高さであるＨＢより低くなっている。この場合、ステップＳ１とステップＳ２とステップ３とが隔壁形成工程に相当する。
【００７７】
次に、ステップＳ４では、隔壁５６が形成されたガラス基板２ａを洗浄する。ガラス基板２ａが機能膜を形成する基板に相当する。
【００７８】
次に、ステップＳ５では、隔壁５６が形成され洗浄されたガラス基板２ａを、液状材料を充填し易くするために、表面処理する。隔壁裾５６ａに囲まれた色要素領域底５２Ｒａ，５２Ｇａ，５２Ｂａと、隔壁側面５６ｂとが色要素膜５３の材料を含む液状材料５３０に対して親液性となるように処理し、隔壁頂部５６ｃは液状材料５３０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、色要素領域５２に配置された液状材料５３０が色要素領域５２に馴染み易くなると共に、色要素領域５２から溢れ出し難くなる。
【００７９】
次に、ステップＳ６では、色要素材料液を塗布する。図７（ｃ）に示すように、隔壁５６によって形成された複数の色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂのそれぞれに色要素形成材料を含む液状材料５３０を液滴吐出ヘッド６２から液滴５３０ａとして吐出し、色要素領域５２に液状材料５３０を充填する。勿論、異なる色の各色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂが形成される各色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂに対して異なる色要素材料を含む液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを吐出して、充填する。上述した３色カラーフィルタ（図２（ａ），（ｂ）参照）のように、異なる色の各色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂが形成される各色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂに対応して、異なる色要素材料を含む３種の液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを液滴吐出ヘッド６２に順次充填して、各色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂに向けて吐出する。あるいは、複数の液滴吐出ヘッド６２を用意し、それぞれに異なる色要素材料を含む液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを充填して吐出してもよい。色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂにそれぞれ充填する液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂは、形成された各色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量をそれぞれ充填する。ステップＳ６の色要素領域５２Ｒ，５２Ｇ，５２Ｂに液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを充填する工程が、材料配置工程に相当する。
【００８０】
次に、ステップＳ７では、ガラス基板２ａ上に配置した液状材料５３０を乾燥させて、色要素膜５３を形成する。ステップＳ７の乾燥成膜工程を実行して、図７（ｄ）に示すように、色要素膜面５３１Ｒ，５３１Ｇ，５３１Ｂが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂが形成される。
【００８１】
本実施形態の液状材料５３０Ｒは、色要素膜５３Ｒの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が図７（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３２Ｒのように凸形状となる。上述したように、隔壁５６の高さが高い場合は、低い場合に比べて、形成される色要素膜５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。色要素領域底５２Ｒａが基板凹部５７の表面である色要素領域５２Ｒにおける隔壁５６の高さはＨＢより高いＨＲである。これにより、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合の凸形状が是正されて、図７（ｄ）に示したように、色要素膜面５３１Ｒが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｒが形成される。
【００８２】
本実施形態の液状材料５３０Ｇは、色要素膜５３Ｇの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が図７（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３２Ｇのように凹形状となる。上述したように、隔壁５６の高さが低い場合は、高い場合に比べて、形成される色要素膜５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。色要素領域底５２Ｇａが透明膜５８の表面である色要素領域５２Ｇにおける隔壁５６の高さは、ＨＢより低いＨＧである。これにより、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合の凹形状が是正されて、図７（ｄ）に示したように、色要素膜面５３１Ｇが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｇが形成される。
【００８３】
本実施形態の液状材料５３０Ｂは、色要素膜５３Ｂの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が図７（ｄ）に示した表面５３２Ｂのように略平坦なる。これにより、図７（ｄ）に示したように、液状材料５３０Ｂを隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２Ｂに充填して乾燥させることで、色要素膜面５３１Ｂが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｂが形成される。隔壁５６の高さＨＢが、第一の高さに相当する。
【００８４】
なお、色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂの有効な部分には関与しないため図７（ｄ）では省略したが、色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂの縁の部分には、図５に示した色要素膜５３と同様に、液状材料５３０Ｒ，Ｇ，Ｂの隔壁側面５６ｂに濡れ広がった部分が乾燥したものが連なっている。
【００８５】
以下、第一の実施形態の効果を記載する。第一の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液状材料５３０Ｒは、色要素膜５３Ｒの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が凸形状となる。隔壁５６の高さが高い場合は、低い場合に比べて、形成される色要素膜５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。基板凹部５７を設けて色要素領域底５２Ｒａが基板凹部５７の表面である色要素領域５２Ｒにおける隔壁５６の高さをＨＢより高いＨＲとすることで、凸形状を是正して、色要素膜面５３１Ｒが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｒを形成することができる。
【００８６】
（２）液状材料５３０Ｇは、色要素膜５３Ｇの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、隔壁５６の高さがＨＢである色要素領域５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜５３の表面が凹形状となる。隔壁５６の高さが低い場合は、高い場合に比べて、形成される色要素膜５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。透明膜５８を設けて色要素領域底５２Ｇａが透明膜５８の表面である色要素領域５２Ｇにおける隔壁５６の高さを、ＨＢより低いＨＧとすることで、凹形状を是正して、色要素膜面５３１Ｇが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｇを形成することができる。
【００８７】
（３）液晶表示パネル１０は、膜厚が略均一な色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂを備えることで、色要素膜５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂが透過させるべき光量を透過させることができるような色要素膜５３を容易に形成することができる。従って、透過させるべき光量を透過させることで実現すべき輝度が実現できる、好適な液晶表示パネル１０を実現することができる。
【００８８】
（第二の実施形態）
次に、本発明に係る膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、及び電気光学装置の一実施形態である第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する工程において、機能膜の一例であるフィルタ膜としての色要素膜を形成する工程で用いられる膜形成方法を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置に関する説明は省略する。
【００８９】
本実施形態の液晶表示パネル１００の構成は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル１０と実質的に同一のものである。液晶表示パネル１０とは異なる色要素膜の形状及び色要素膜を形成する工程で用いられる膜形成方法について説明する。
【００９０】
＜カラーフィルタ＞
最初に、フィルタ基板１０２（図８参照）に形成されているカラーフィルタ５（図１参照）における色要素膜１５３の配列について説明する。フィルタ基板１０２は、色要素膜１５３の形状が色要素膜５３と異なる以外は、図１に示したフィルタ基板２と基本的に同様である。図８は、３色カラーフィルタの配列例を示す模式平面図である。
【００９１】
図８に示すように、色要素膜１５３は、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁１５６によって区画されて並んだ複数の色要素領域１５２を色材で埋めることによって形成される。例えば、色要素膜１５３を構成する色材を含む液状材料を色要素領域１５２に充填し、当該液状材料の溶媒を蒸発させて液状材料を乾燥させることで、色要素領域１５２を埋める膜状の色要素膜１５３を形成する。色要素領域１５２が機能膜形成領域に相当し、色要素膜１５３が機能膜に相当する。フィルタ基板１０２が、機能膜を有する電気光学基板に相当する。
【００９２】
ガラス基板２ａ（図１参照）上の３色の色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂは、例えば、図８に示すように、同色系の色要素膜１５３が図面において上下方向に配列したストライプ配列に配置されている。各色要素膜１５３の平面形状は略円形である。図の上下方向に並ぶ色要素膜１５３を一つおきに図の左右方向にずらすことで、色要素膜１５３の配置密度を上げている。
【００９３】
図８に示した３色フィルタにおいて、色要素膜１５３は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成されたＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを各１個づつ含む色要素膜１５３の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタを形成している。１絵素フィルタ内の色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂのいずれか１つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁１５６はブラックマトリクスとして作用する。
【００９４】
＜隔壁面角度と膜厚形状＞
次に、色要素領域１５２に充填された液状材料５３０を乾燥させて色要素膜１５３を形成する際の、ガラス基板２ａ上に形成された隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面であるガラス基板２ａの面となす角度と、形成される色要素膜１５３の厚さ方向の断面における断面形状との関係を説明する。図９（ａ）は、隔壁の壁面が底面となす角度が大きい場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図であり、図９（ｂ）は、壁面が底面となす角度が小さい場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図である。
【００９５】
図９（ａ）に二点鎖線で示したように色要素領域１５２に充填された液状材料５３０は、乾燥して同図に示したような断面形状の色要素膜１５３が形成される。図９（ａ）に示したように隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面であるガラス基板２ａの面となす角度θ１が大きい場合は、図９（ｂ）に示した角度θ２のように小さい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、図９（ａ）に示したような、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。
【００９６】
図９（ｂ）に二点鎖線で示したように色要素領域１５２に充填された液状材料５３０は、乾燥して同図に示したような断面形状の色要素膜１５３が形成される。図９（ｂ）に示したように隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面であるガラス基板２ａの面となす角度θ２が小さい場合は、図９（ａ）に示した角度θ１のように大きい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、図９（ｂ）に示したような、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。
【００９７】
ここで説明した隔壁１５６の壁面がガラス基板２ａの面となす角度と、形成される色要素膜１５３の断面形状との関係は、本発明の発明者らによって実験的に確認されている。なお、凹形状と凸形状の境界である均一な膜厚が得られる壁面と底面とがなす角度は、個々の液状材料の乾燥特性によって異なるため、隔壁１５６の形状を決定する前に、乾燥雰囲気や環境温度などの条件を機能膜形成工程と合わせたうえで、確認することが好ましい。
【００９８】
＜フィルタ基板の製造＞
次に、フィルタ基板１０２の色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを形成する色要素膜形成工程について図１０および図１１を参照して説明する。図１０はフィルタ基板の色要素膜形成工程を示すフローチャートであり、図１１（ａ）〜（ｄ）はフィルタ基板の色要素膜形成工程を示す模式断面図である。
【００９９】
図１０に示したステップＳ２１では、図１１（ａ）に示すように、ガラス基板２ａの表面に隔壁１５６を形成することで、色要素領域１５２を形成する。隔壁１５６は、例えば、ガラス基板２ａの表面に隔壁１５６の材料を含む液状材料を塗布し、乾燥させて隔壁膜を形成し、フォトエッチングなどで色要素領域１５２などの部分を取り除くことで、形成する。隔壁１５６の側面がガラス基板２ａの表面となす角度である立上り角度θ０は各隔壁１５６間において略均一である。
【０１００】
次に、ステップＳ２２では、側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂの角度を調整する。図１１（ｂ）に示すように、充填する液状材料の特性に合わせて側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂが色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａとなす角度を、それぞれ立上り角度θＲ，θＧ，θＢに調整する。立上り角度θＲは立上り角度θ０のままであり、立上り角度θＢは立上り角度θＲ（立上り角度θ０）より大きく、立上り角度θＧは立上り角度θＢよりさらに大きくなっている。側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂがガラス基板２ａの表面と接触する位置である隔壁裾１５６Ｒａ，１５６Ｇａ，１５６Ｂａに囲まれた領域が、色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａである。
【０１０１】
立上り角度θＲ，θＧ，θＢの調整は、例えば、隔壁１５６を焼成して形状を固定化する際のだれ具合を調整することで実行する。フォトエッチングなどで色要素領域１５２などの部分を取り除くことで、形成された状態の隔壁１５６は充分固化されていないため焼成して固化する。その際に隔壁１５６の側面がだれて図１１（ａ）に示した立上り角度θ０が大きくなる。立上り角度θＲ，θＧ，θＢの調整は、隔壁１５６をフォトエッチングの際に光が当っていない側から、即ちガラス基板２ａを介して露光させることで固化させることができることを利用する。
【０１０２】
より詳細には、色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａの周囲の隔壁１５６の側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂの近傍に選択的に露光させることができるマスクを用いて、焼成の前に、色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａの周囲の隔壁１５６の側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂの近傍を適宜露光させる。色要素領域底１５２Ｇａを囲む側面１５６Ｇｂは、露光させないようにマスクすることで、焼成の際にだれが大きくなり、立上り角度θＧは大きくなる。色要素領域底１５２Ｂａを囲む側面１５６Ｂｂは、マスクに開口部を設け露光させるようにすることで、焼成の際にだれる量を抑制する。これにより、側面１５６Ｂｂは側面１５６Ｇｂよりだれの程度が小さくなるため、立上り角度θＢは、立上り角度θＧより小さくなる。即ち、立上り角度θＧは、立上り角度θＢより大きくなる。色要素領域底１５２Ｒａを囲む側面１５６Ｒｂは、マスクに開口部を設け露光させて充分固化させることで、焼成の際には殆どだれないようにする。これにより、側面１５６Ｒｂの立上り角度θＲは、立上り角度θ０が維持されて、立上り角度θ０より大きくなった立上り角度θＢより小さくなる。側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂの角度が立上り角度θＲ，θＧ，θＢに調整されて、当該側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂに囲まれた色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂが形成される。この場合、ステップＳ２１とステップＳ２２とが隔壁形成工程に相当する。
【０１０３】
次に、ステップＳ２３では、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂが形成されたガラス基板２ａを洗浄する。ガラス基板２ａが機能膜を形成する基板に相当する。
【０１０４】
次に、ステップＳ２４では、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂが形成され洗浄されたガラス基板２ａを、液状材料５３０を充填し易くするように、表面処理する。隔壁裾１５６Ｒａ、隔壁裾１５６Ｇａ、又は隔壁裾１５６Ｂａに囲まれた色要素領域底１５２Ｒａ，１５２Ｇａ，１５２Ｂａと、側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂとが色要素膜１５３の材料を含む液状材料５３０に対して親液性となるように処理し、隔壁頂部１５６ｃは液状材料５３０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに配置された液状材料５３０が色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに馴染み易くなると共に、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂから溢れ出し難くなる。
【０１０５】
次に、ステップＳ２５では、色要素材料液を塗布する。図１１（ｃ）に示すように、隔壁１５６によって区画形成された複数の色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂのそれぞれに色要素膜１５３の形成材料を含む液状材料５３０を液滴吐出ヘッド６２から液滴５３０ａとして吐出し、色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに液状材料５３０を充填する。勿論、異なる色の各色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが形成される各色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに対して異なる色要素材料を含む液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを吐出して、充填する。上述した３色カラーフィルタ（図８参照）のように、異なる色の各色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが形成される各色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに対応して、異なる色要素材料を含む３種の液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを液滴吐出ヘッド６２に順次充填して、各色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに向けて吐出する。あるいは、複数の液滴吐出ヘッド６２を用意し、それぞれに異なる色要素材料を含む液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを充填して吐出してもよい。色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂにそれぞれ充填する液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂは、形成された各色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量をそれぞれ充填する。ステップＳ２５の色要素領域１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂに液状材料５３０Ｒ，５３０Ｇ，５３０Ｂを充填する工程が、材料配置工程に相当する。
【０１０６】
次に、ステップＳ２６では、ガラス基板２ａ上に配置した液状材料５３０を乾燥させて、色要素膜１５３を形成する。ステップＳ２６の乾燥成膜工程を実行して、図１１（ｄ）に示すように、色要素膜面５３６Ｒ，５３６Ｇ，５３６Ｂが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが形成される。
【０１０７】
本実施形態の液状材料５３０Ｒは、色要素膜１５３Ｒの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が図１１（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３７Ｒのように凸形状となる。上述したように、隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面となす角度が小さい場合は、大きい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。ステップＳ２２において側面角度が調整されて、隔壁１５６の側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度である立上り角度θＲは、立上り角度θＢより小さくなっている。これにより、液状材料５３０Ｒを側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合の凸形状が是正されて、図１１（ｄ）に示したように、色要素膜面５３６Ｒが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒが形成される。
【０１０８】
本実施形態の液状材料５３０Ｇは、色要素膜１５３Ｇの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が図１１（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３７Ｇのように凹形状となる。上述したように、隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面となす角度が大きい場合は、小さい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。ステップＳ２２において側面角度が調整されて、隔壁１５６の側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度である立上り角度θＧは、立上り角度θＢより大きくなっている。これにより、液状材料５３０Ｇを側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合の凹形状が是正されて、図１１（ｄ）に示したように、色要素膜面５３６Ｇが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｇが形成される。
【０１０９】
本実施形態の液状材料５３０Ｂは、色要素膜１５３Ｂの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｂｂが色要素領域底１５２Ｂａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が図１１（ｄ）に二点鎖線で示した表面５３７Ｂのように略平坦になる。これにより、図１１（ｄ）に示したように、液状材料５３０Ｂを側面１５６Ｂｂが色要素領域底１５２Ｂａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２Ｂに充填して乾燥させることで、図１１（ｄ）に示したように、色要素膜面５３６Ｂが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｂが形成される。側面１５６Ｂｂが色要素領域底１５２Ｂａとなす立上り角度θＢが、第一の角度に相当する。
【０１１０】
なお、色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの有効な部分には関与しないため図１１（ｄ）では省略したが、色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの縁の部分には、図９に示した色要素膜１５３と同様に、液状材料５３０Ｒ，Ｇ，Ｂの側面１５６Ｒｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂに濡れ広がった部分が乾燥したものが連なっている。
【０１１１】
以下、第二の実施形態の効果を記載する。第二の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液状材料５３０Ｒは、色要素膜１５３Ｒの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が凸形状となる。隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面となす角度が小さい場合は、大きい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて薄い、凹形状となりやすい。ステップＳ２２において側面角度を調整して、隔壁１５６の側面１５６Ｒｂが色要素領域底１５２Ｒａとなす角度である立上り角度θＲを、立上り角度θＢより小さくしていることで、凸形状を是正して、色要素膜面５３６Ｒが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒを形成することができる。
【０１１２】
（２）液状材料５３０Ｇは、色要素膜１５３Ｇの膜厚がカラーフィルタとして適切に機能するような膜厚となるような量を、側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度が立上り角度θＢである色要素領域１５２に充填して乾燥させた場合には、色要素膜１５３の表面が凹形状となる。隔壁１５６の壁面が色要素領域１５２の底面となす角度が大きい場合は、小さい場合に比べて、色要素膜１５３の断面形状は、中央部の厚さが周辺部の厚さに比べて厚い、凸形状となりやすい。ステップＳ２２において側面角度を調整して、隔壁１５６の側面１５６Ｇｂが色要素領域底１５２Ｇａとなす角度である立上り角度θＧを、立上り角度θＢより大きくすることで、凹形状を是正して、色要素膜面５３６Ｇが略平坦であって、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｇを形成することができる。
【０１１３】
（３）フィルタ基板１０２は、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを備えることで、色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが透過させるべき光量を透過させることができるような色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを容易に形成することができる。従って、透過させるべき光量を透過させることで実現すべき輝度が実現できる、好適なフィルタ基板１０２を実現することができる。
【０１１４】
（４）液晶表示パネル１００は、膜厚が略均一な色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを備えることで、色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂが透過させるべき光量を透過させることができるような色要素膜１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂを容易に形成することができる。従って、透過させるべき光量を透過させることで実現すべき輝度が実現できる、好適な液晶表示パネル１００を実現することができる。
【０１１５】
（５）色要素領域１５２の平面形状が円形であって、形成される色要素膜１５３の平面形状が円形である。色要素膜１５３の縁は全て円弧の一部であることから、縁の形状が全周で均一になる。これにより、縁の形状が異なることに起因する厚み方向の形状のばらつきが抑制されることから、全周にわたって乾燥状態が略同一になり全周にわたって色要素膜１５３の膜厚を略均一にすることができる。また、隔壁１５６の側面の立上り角度を変えることが膜厚に及ぼす影響における、縁の形状が異なることに起因するばらつきが抑制されることから、隔壁１５６の側面の立上り角度を変えることによる膜厚の制御を容易に実行することができる。
【０１１６】
（第三の実施形態）
次に、本発明に係る電子機器について説明する。本実施形態の電子機器は、第一の実施形態又は第二の実施形態で説明した液晶表示装置を備えた電子機器である。本実施形態の電子機器の具体例について説明する。
【０１１７】
図１２（ａ）は、電子機器の一例である大型液晶テレビを示す外観斜視図である。図１２（ａ）に示すように、電子機器の一例である大型液晶テレビ２００は、表示部２０１を備えている。表示部２０１は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル１０を表示手段として搭載している。
【０１１８】
図１２（ｂ）は、電子機器の一例であるワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した外観斜視図である。図１２（ｂ）において、携帯型情報処理装置２２０は、情報処理装置筐体２２３を有し、キーボードなどの入力部２２４と表示部２２２とを備えている。表示部２２２は、第二の実施形態で説明した液晶表示パネル１００を表示部２２２を構成する表示手段として搭載している。
【０１１９】
以下、第三の実施形態の効果を記載する。第三の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）大型液晶テレビ２００は、実現すべき輝度が実現できる、好適な液晶表示パネル１０を備えることで、実現すべき輝度が実現できる、好適な表示が可能な液晶テレビを実現することができる。
【０１２０】
（２）携帯型情報処理装置２２０は、実現すべき輝度が実現できる、好適な液晶表示パネル１００を備えることで、実現すべき輝度が実現できる、好適な表示が可能な携帯型情報処理装置を実現することができる。
【０１２１】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、前記各実施形態に限らない。本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１２２】
（変形例１）前記第一の実施形態においては、隔壁５６の高さを変えるために基板凹部５７及び透明膜５８を形成していたが、基板凹部５７及び透明膜５８を形成することは必須ではない。高さが異なる隔壁５６を形成してもよい。隔壁５６を挟んで異なる液状材料を配置する場合には、隔壁５６の頂上に段差を設けたり頂上を傾けたりすることで、単独の隔壁５６で異なる高さの隔壁を形成してもよい。
【０１２３】
（変形例２）前記第一の実施形態においては、隔壁５６の高さを変えるために基板凹部５７及び透明膜５８を形成していたが、基板凹部５７及び透明膜５８の双方を形成することは必須ではない。基板凹部５７の深さを変えて異なる深さの基板凹部５７を形成することでも、異なる隔壁５６の高さを実現することができる。厚さが異なる複数種類の透明膜５８を形成することでも、異なる隔壁５６の高さを実現することができる。
【０１２４】
（変形例３）前記第一及び第二の実施形態においては、隔壁５６，１５６は、隔壁膜を予め形成し、当該隔壁膜から色要素領域５２などの部分を取り除くことで形成する方法を説明したが、隔壁５６，１５６は、直接形成する方法で形成することもできる。例えば、前記第一の実施形態において説明した液滴吐出ヘッド６２を用いて隔壁５６，１５６の材料を含む液状材料を吐出して、基板上の隔壁５６，１５６を形成する位置に選択的に配置することでも形成することができる。この方法によれば、除去する材料が発生しないため、材料が無駄に消費されることを抑制することができる。
【０１２５】
（変形例４）前記第一及び第二の実施形態においては、液状材料を充填する色要素領域５２や色要素領域１５２の平面形状は、略方形又は略円形であったが、液状材料を配置する領域の形状は方形又は円形に限らずどのような形状であってもよい。例えば、長円形状であってもよい。長円形状の縁は全て円弧であり、曲率半径の違いによる差以外は縁の形状が全周で略均一になる。これにより、縁の形状が異なることに起因する厚み方向の形状のばらつきを抑制することができる。また、多角形形状の角部を円弧状にしてもよい。液状材料は角部分に充填し難いものもあるため、そのような液状材料を充填する方形領域の角部分を円弧状にすることで、未充填部分が発生することを抑制することができる。
【０１２６】
（変形例５）前記第一及び第二の実施形態においては、液状材料を配置するためにインクジェット方式の液滴吐出ヘッド６２を用いていたが、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドを用いることは必須ではない。例えばマイクロディスペンサを用いるなど、微少量の液状材料を目的の配置位置に配置できる方法であればよい。
【０１２７】
（変形例６）前記第一及び第二の実施形態においては、ガラス基板２ａの表面処理は、隔壁５６又は隔壁１５６を形成した後に実行していたが、表面処理の実行時期は隔壁５６又は隔壁１５６を形成した後に限らない。前記第一及び第二の実施形態で説明した各部の親液性又は撥液性が形成されればよい。
【０１２８】
（変形例７）前記第一及び第二の実施形態においては、ガラス基板２ａの表面処理を実行することで、前記第一及び第二の実施形態で説明した各部の親液性又は撥液性を形成していたが、表面処理を実行することは必須ではない。液状材料に対して親液性又は撥液性を有する材料を用いて基板や隔壁又はバンクを形成することで、前記第一及び第二の実施形態で説明した各部の親液性又は撥液性を実現してもよい。
【０１２９】
（変形例８）前記第一及び第二の実施形態においては、機能膜の一例として、液晶表示装置のカラーフィルタの色要素膜について説明したが、本発明による膜形成方法は様々な機能膜の形成方法として利用できる。例えば、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層や発光層のような機能膜を形成する膜形成方法としても利用できる。また、液晶表示装置の配向膜のように、１枚の基板上に１枚の大きな機能膜を形成するような膜形成方法としても利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】（ａ）第一の実施形態の液晶表示パネルの構造を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａで示した断面における概略断面図。
【図２】第一の実施形態の液晶表示パネルの３色カラーフィルタの配列例を示す模式平面図。
【図３】（ａ）液滴吐出ヘッドの外観の概要を示す斜視図、（ｂ）ノズルの配列を示す模式図。
【図４】（ａ）液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の詳細構造を示す断面図。
【図５】（ａ）隔壁の高さが高い場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図、（ｂ）隔壁の高さが低い場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図。
【図６】第一の実施形態の液晶表示パネルのフィルタ基板の色要素膜形成工程を示すフローチャート。
【図７】第一の実施形態の液晶表示パネルのフィルタ基板の色要素膜形成工程を示す模式断面図。
【図８】第二の実施形態の液晶表示パネルの３色カラーフィルタの配列例を示す模式平面図。
【図９】（ａ）隔壁の壁面が底面となす角度が大きい場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図、（ｂ）壁面が底面となす角度が小さい場合の色要素膜の断面形状の概要を示す模式断面図。
【図１０】第二の実施形態の液晶表示パネルのフィルタ基板の色要素膜形成工程を示すフローチャート。
【図１１】第二の実施形態の液晶表示パネルのフィルタ基板の色要素膜形成工程を示す模式断面図。
【図１２】（ａ）大型液晶テレビを示す外観斜視図、（ｂ）携帯型情報処理装置の一例を示す外観斜視図。
【符号の説明】
【０１３１】
２…フィルタ基板、２ａ…ガラス基板、５…カラーフィルタ、１０…液晶表示パネル、５２，５２Ｂ，５２Ｇ，５２Ｒ…色要素領域、５３，５３Ｂ，５３Ｇ，５３Ｒ…色要素膜、５６，１５６…隔壁、５６ｂ…隔壁側面、５７…基板凹部、５８…透明膜、１００…液晶表示パネル、１０２…フィルタ基板、１５２，１５２Ｂ，１５２Ｇ，１５２Ｒ…色要素領域、１５３，１５３Ｂ，１５３Ｇ，１５３Ｒ…色要素膜、１５６Ｂｂ，１５６Ｇｂ，１５６Ｂｂ…側面、２００…大型液晶テレビ、２２０…携帯型情報処理装置、５３０，５３０Ｂ，５３０Ｇ，５３０Ｒ…液状材料、５３２Ｂ，５３２Ｇ，５３２Ｒ…表面、５３６Ｂ，５３６Ｇ，５３６Ｒ…色要素膜面。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、
前記機能膜形成領域に、前記機能膜の材料を含む第一の量の液状材料を配置する材料配置工程と、
前記材料配置工程において配置された前記液状材料を乾燥させて前記機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、
前記隔壁の高さが第一の高さである前記機能膜形成領域に前記第一の量の前記液状材料を配置した場合に形成される前記機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、前記隔壁形成工程において形成する前記隔壁の高さを変えることを特徴とする膜形成方法。
【請求項２】
前記隔壁の高さが前記第一の高さである前記機能膜形成領域に前記第一の量の前記液状材料を配置した場合に形成される前記機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような前記機能膜を形成するための前記第一の量の前記液状材料を配置すべき前記機能膜形成領域を区画形成する前記隔壁の高さを、前記第一の高さより高くすることを特徴とする、請求項１に記載の膜形成方法。
【請求項３】
前記隔壁の高さが前記第一の高さである前記機能膜形成領域に前記第一の量の前記液状材料を配置した場合に形成される前記機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような前記機能膜を形成するための前記第一の量の前記液状材料を配置すべき前記機能膜形成領域を区画形成する前記隔壁の高さを、前記第一の高さより低くすることを特徴とする、請求項１に記載の膜形成方法。
【請求項４】
前記機能膜形成領域の底面を、当該底面からの前記隔壁の高さが高くなるように削ることで前記隔壁の高さを変えることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の膜形成方法。
【請求項５】
前記機能膜形成領域の底部に薄膜を形成することで、前記隔壁の高さを変えることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の膜形成方法。
【請求項６】
基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、
前記機能膜形成領域に前記機能膜の材料を含む液状材料を配置する材料配置工程と、
前記材料配置工程において配置された前記液状材料を乾燥させて前記機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、
前記隔壁の前記機能膜形成領域を構成する側面が前記機能膜形成領域の底面となす前記機能膜形成領域側の立上り角度が第一の角度である場合に形成される前記機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、前記隔壁形成工程において形成する前記隔壁の前記側面が前記底面となす前記立上り角度を変えることを特徴とする膜形成方法。
【請求項７】
前記隔壁の前記側面が前記底面となす前記立上り角度が前記第一の角度のときに形成される前記機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような前記機能膜を形成するための前記液状材料を配置すべき前記機能膜形成領域を区画形成する前記隔壁の前記立上り角度を、前記第一の角度より小さくすることを特徴とする請求項６に記載の膜形成方法。
【請求項８】
前記隔壁の前記側面が前記底面となす前記立上り角度が前記第一の角度のときに形成される前記機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような前記機能膜を形成するための前記液状材料を配置すべき前記機能膜形成領域を区画形成する前記隔壁の前記立上り角度を、前記第一の角度より大きくすることを特徴とする請求項６に記載の膜形成方法。
【請求項９】
機能膜を有する電気光学基板の製造方法であって、
少なくとも１種類の前記機能膜を請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成することを特徴とする電気光学基板の製造方法。
【請求項１０】
機能膜を有する電気光学装置の製造方法であって、
少なくとも１種類の前記機能膜を請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成することを特徴とする機能膜。
【請求項１２】
請求項１１に記載の機能膜であって、前記機能膜の平面形状が略円形又は略長円形状であることを特徴とする機能膜。
【請求項１３】
機能膜を有する電気光学基板であって、
少なくとも１種類の前記機能膜が、請求項１１又は１２に記載の機能膜であることを特徴とする電気光学基板。
【請求項１４】
機能膜を有する電気光学装置であって、
少なくとも１種類の前記機能膜が、請求項１１又は１２に記載の機能膜であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成されることを特徴とするカラーフィルタの色要素膜。
【請求項１６】
カラーフィルタを構成する色要素膜が、請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成されていることを特徴とする、カラーフィルタ。
【請求項１７】
請求項１６に記載のカラーフィルタを備えることを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項１８】
請求項１５に記載のカラーフィルタの色要素膜を備えることを特徴とする、液晶表示装置。
【請求項１９】
請求項１４に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする、電子機器。
【請求項２０】
請求項１８に記載の液晶表示装置を備えることを特徴とする、電子機器。
【請求項１】
基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、
前記機能膜形成領域に、前記機能膜の材料を含む第一の量の液状材料を配置する材料配置工程と、
前記材料配置工程において配置された前記液状材料を乾燥させて前記機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、
前記隔壁の高さが第一の高さである前記機能膜形成領域に前記第一の量の前記液状材料を配置した場合に形成される前記機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、前記隔壁形成工程において形成する前記隔壁の高さを変えることを特徴とする膜形成方法。
【請求項２】
前記隔壁の高さが前記第一の高さである前記機能膜形成領域に前記第一の量の前記液状材料を配置した場合に形成される前記機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような前記機能膜を形成するための前記第一の量の前記液状材料を配置すべき前記機能膜形成領域を区画形成する前記隔壁の高さを、前記第一の高さより高くすることを特徴とする、請求項１に記載の膜形成方法。
【請求項３】
前記隔壁の高さが前記第一の高さである前記機能膜形成領域に前記第一の量の前記液状材料を配置した場合に形成される前記機能膜の厚さ方向の断面の断面形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような前記機能膜を形成するための前記第一の量の前記液状材料を配置すべき前記機能膜形成領域を区画形成する前記隔壁の高さを、前記第一の高さより低くすることを特徴とする、請求項１に記載の膜形成方法。
【請求項４】
前記機能膜形成領域の底面を、当該底面からの前記隔壁の高さが高くなるように削ることで前記隔壁の高さを変えることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の膜形成方法。
【請求項５】
前記機能膜形成領域の底部に薄膜を形成することで、前記隔壁の高さを変えることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の膜形成方法。
【請求項６】
基板上に、機能膜を形成すべき機能膜形成領域を区画形成する隔壁を形成する、隔壁形成工程と、
前記機能膜形成領域に前記機能膜の材料を含む液状材料を配置する材料配置工程と、
前記材料配置工程において配置された前記液状材料を乾燥させて前記機能膜を形成する乾燥工程と、を有し、
前記隔壁の前記機能膜形成領域を構成する側面が前記機能膜形成領域の底面となす前記機能膜形成領域側の立上り角度が第一の角度である場合に形成される前記機能膜の厚さ方向の断面の断面形状に応じて、前記隔壁形成工程において形成する前記隔壁の前記側面が前記底面となす前記立上り角度を変えることを特徴とする膜形成方法。
【請求項７】
前記隔壁の前記側面が前記底面となす前記立上り角度が前記第一の角度のときに形成される前記機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より厚い凸形状であるような前記機能膜を形成するための前記液状材料を配置すべき前記機能膜形成領域を区画形成する前記隔壁の前記立上り角度を、前記第一の角度より小さくすることを特徴とする請求項６に記載の膜形成方法。
【請求項８】
前記隔壁の前記側面が前記底面となす前記立上り角度が前記第一の角度のときに形成される前記機能膜の形状が、中央部分が周辺部分より薄い凹形状であるような前記機能膜を形成するための前記液状材料を配置すべき前記機能膜形成領域を区画形成する前記隔壁の前記立上り角度を、前記第一の角度より大きくすることを特徴とする請求項６に記載の膜形成方法。
【請求項９】
機能膜を有する電気光学基板の製造方法であって、
少なくとも１種類の前記機能膜を請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成することを特徴とする電気光学基板の製造方法。
【請求項１０】
機能膜を有する電気光学装置の製造方法であって、
少なくとも１種類の前記機能膜を請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成することを特徴とする機能膜。
【請求項１２】
請求項１１に記載の機能膜であって、前記機能膜の平面形状が略円形又は略長円形状であることを特徴とする機能膜。
【請求項１３】
機能膜を有する電気光学基板であって、
少なくとも１種類の前記機能膜が、請求項１１又は１２に記載の機能膜であることを特徴とする電気光学基板。
【請求項１４】
機能膜を有する電気光学装置であって、
少なくとも１種類の前記機能膜が、請求項１１又は１２に記載の機能膜であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成されることを特徴とするカラーフィルタの色要素膜。
【請求項１６】
カラーフィルタを構成する色要素膜が、請求項１乃至８の何れか１項に記載の膜形成方法を用いて形成されていることを特徴とする、カラーフィルタ。
【請求項１７】
請求項１６に記載のカラーフィルタを備えることを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項１８】
請求項１５に記載のカラーフィルタの色要素膜を備えることを特徴とする、液晶表示装置。
【請求項１９】
請求項１４に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする、電子機器。
【請求項２０】
請求項１８に記載の液晶表示装置を備えることを特徴とする、電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００７−３１０１５６（Ｐ２００７−３１０１５６Ａ）
【公開日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１３９３０５（Ｐ２００６−１３９３０５）
【出願日】平成１８年５月１８日（２００６．５．１８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年５月１８日（２００６．５．１８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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