薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置
【課題】 可撓体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止姿勢角の変化量を確保する操作を、自動的に実行できる磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして、予め、コンピュータシステム９４の記憶部９４２に記憶しておく。薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角を、測定装置９３で測定する。その測定値をコンピュータシステム９４に供給し、測定値に対応する修正条件に基づいて、修正装置９２により、可撓体１２に静止姿勢角修正のための曲げを加える。そして、可撓体１２の曲げを生じる領域にレーザを照射する。
【解決手段】 薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして、予め、コンピュータシステム９４の記憶部９４２に記憶しておく。薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角を、測定装置９３で測定する。その測定値をコンピュータシステム９４に供給し、測定値に対応する修正条件に基づいて、修正装置９２により、可撓体１２に静止姿勢角修正のための曲げを加える。そして、可撓体１２の曲げを生じる領域にレーザを照射する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
浮上型の磁気ヘッド装置では、高密度記録再生を達成するため、ヘッド支持装置によって支持された磁気ヘッドの静止姿勢角が高精度に保持されていることが基本的な要求事項となる。磁気ヘッド装置の静止姿勢角には、ピッチ角と、ロール角とが含まれる。
【０００３】
ところが、磁気ヘッド装置は、ヘッド支持装置（サスペンション）の一端に磁気ヘッドを接着剤によって接着した構造になっているから、この接着構造のために、静止姿勢角が所定の角度からずれを生じることがある。
【０００４】
磁気ヘッド装置は、複雑なプロセスを経て製造された高価な磁気ヘッドを、高精度で高価なヘッド支持装置に取り付けて構成されており、磁気ヘッド装置の段階で、静止姿勢角が所定の角度内にないとして、不良品扱いにすることは、許されない。
【０００５】
静止姿勢角ずれを修正するための修正手段としては、押圧治具を用いた機械的押圧による修正手段が知られている。この押圧治具を用いた静止姿勢角修正方法では、ロードビームの自由端側に取り付けられた可撓体（フレキシャ）の軸線上の１点を支点にして、他点を押圧することによって、可撓体を曲げ、それによって磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する。
【０００６】
しかしながら、機械的押圧により、可撓体に大きな曲げ変位を与えても、可撓体の有する復元力のために、曲げが元に戻る。このことは、所定の静止姿勢角を与える曲げ変位よりも、著しく大きな曲げ変位で、可撓体を曲げなければならないことを意味する。
【０００７】
可撓体に大きな曲げ変位を与えると、ロードビームから可撓体に荷重を加える突起部（ディンプル）と、可撓体との間に隙間を生じ、いわゆるディンプル浮きが発生することがある。ディンプル浮きが発生すると、ロードビームから可撓体に荷重を与えることができなくなり、所定の磁気ヘッド浮上特性を確保することができなくなる。
【０００８】
上述した問題点を解決する手段として、特許文献１、２は、可撓体（フレキシャ）またはロードビームに静止姿勢角修正のための曲げを加え、曲げ領域にレーザを照射して、応力を開放することにより、加えられた曲げ角度に近い角度で曲げる技術を開示している。
【０００９】
確かに、この先行技術によれば、ヘッド支持装置を、小さな曲げ角度で曲げるだけで、大きな静止姿勢角変化量を確保することができるという優れた効果を得ることができる。
【特許文献１】特開２００１−３５７６４４号公報
【特許文献２】特開２００１−３５７６４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、上述した先行技術に更に改良を加え、可撓体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止姿勢角の変化量を確保する操作を、自動的に実行できる磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するため、本発明に係る静止姿勢角修正方法は、ヘッドアーム組立体の可撓体に取り付けられた薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を修正するに当たり、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶しておく。そして、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定し、その測定値に対応する前記修正条件に基づいて、前記可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。
【００１２】
可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加えた場合、可撓体には曲げに応じた応力が発生する。本発明では、可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。これにより、レーザを照射された曲げを生じる領域における応力が、レーザの照射に伴う熱により、開放される。このため、このレーザ照射を受けた領域では、可撓体の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可撓体に与えられる曲げ変化量が小さくとも、可撓体に対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味する。よって、可撓体を、小さな曲げ角度で曲げるだけで、大きな静止姿勢角変化量を確保することができる。
【００１３】
上述した基本ステップは、先に上げた特許文献１、２に既に開示されている。本発明の特徴は、この基本ステップを、自動的に実行するためのステップを含むことにある。即ち、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶しておく。そして、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定し、その測定値に対応する前記修正条件に基づいて、前記可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。
【００１４】
この追加されたステップによれば、ＣＰＵ(コンピュータ）を中心とした磁気ヘッド静止姿勢角修正システムを構築し、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を、自動的に、再現性よく、修正することができる。
【００１５】
上述した磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法は、具体的には、本発明が開示する磁気ヘッド静止姿勢角修正装置によって実施される。この磁気ヘッド静止姿勢角修正装置は、修正装置と、レーザ発振装置と、測定装置と、コンピュータシステムとを含む。
【００１６】
前記修正装置は、前記可撓体に曲げを加えるものであり、前記レーザ発振装置は、曲げ領域にレーザを照射するものである。前記測定装置は、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定する。
【００１７】
前記コンピュータシステムは、コンピュータ（ＣＰＵ）と、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部とを有し、前記ＣＰＵは、前記測定装置から供給された測定値に対応する前記修正条件を前記記憶部から読み出し、読み出された修正条件を前記修正装置に供給する。前記修正装置は、前記コンピュータシステムから供給された修正条件に基づき、前記可撓体に曲げを加える。
【００１８】
上述した磁気ヘッド静止姿勢角修正装置によれば、ＣＰＵを中心とした磁気ヘッド静止姿勢角修正システムを構築し、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を、自動的に、再現性よく、修正することができることは明らかである。
【００１９】
具体的には、前記修正装置は、先端を前記可撓体の表面に押圧し得る複数の可動性修正ピンを有することができる。この場合、前記修正条件は、前記可撓体に対する前記修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、レーザ照射位置との条件を含むことができる。前記修正条件には、更に、レーザの照射時間を含むことができる。
【００２０】
好ましくは、前記修正ピンは、前記可撓体の表面に対して所定の角度をもって配置される。このような構成によれば、小型化された薄膜磁気ヘッド及び可撓体に対しても、複数備えられる修正ピン相互の接触、重なりなどの相互干渉を回避することができる。
【００２１】
前記静止姿勢角測定装置は、ＣＣＤカメラが用いられるほか、レーザオートコリメータを用いることもできる。測定値の定量化という観点からは、レーザオートコリメータが適している。
【発明の効果】
【００２２】
以上述べたように、本発明によれば、可撓体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止姿勢角の変化量を確保する操作を、自動的に実行できる磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置を提供することができる。
【００２３】
本発明の他の目的、構成及び効果については、実施の形態である添付図を参照して詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１は本発明に係る静止姿勢角修正方法の実施に直接に用いられる静止姿勢角修正装置の構成を示す図、図２は本発明に係る静止姿勢角修正方法が適用される磁気ヘッド装置の平面図である。図示された静止姿勢角修正装置は、レーザ発振装置９１と、修正装置９２と、測定装置９３と、コンピュータシステム９４とを含み、磁気ヘッド装置９５に含まれた薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角を修正する。
【００２５】
磁気ヘッド装置９５は、ヘッド支持装置１と、磁気ヘッド２とを含む。ヘッド支持装置１は、ロードビーム１１と、可撓体１２とを含む。ロードビーム１１は、中央を通る長手方向軸線Ｌの自由端近傍に突起部１１１を有する。図示されたロードビーム１１は、幅方向の両側に折り曲げ部１１８(図１参照）を有しており、この折り曲げ部１１８により、剛性を増加させてある。
【００２６】
可撓体１２は薄いバネ板材で構成され、一方の面がロードビーム１１の突起部１１１を有する側の面に取り付けられ、突起部１１１から押圧荷重を受けている。可撓体１２の他方の面には、磁気ヘッド２が取り付けられている。可撓体１２は、接続点１３において、ロードビーム１１の突起部１１１を有する側に、スポット溶着等の手段により貼り合わされている。スポット溶着の代わりに、カシメ等の手段を用いてもよい。可撓体１２は、中央に舌状部１２０を有する。舌状部１２０は、一端が可撓体１２の横枠部１２１に結合されている。可撓体１２の横枠部１２１は両端が外枠部１２３、１２４に連なっている。外枠部１２３、１２４と舌状部１２０との間には、舌状部１２０の周りに、溝１２２が形成されている。舌状部１２０の一面には磁気ヘッド２が接着剤などで取り付けられ、突起部１１１の先端がバネ接触している。
【００２７】
磁気ヘッド装置９５は、その複数個が、例えば、ワークパレット９７１などの上に間隔を隔てて配置され、磁気ヘッド装置(ワーク)９５及びワークパレット９７１は搬送冶具９７３の上に搭載され、押さえ冶具９７２により搬送冶具９７３の上に押し付けられている。
【００２８】
図１に図示された静止姿勢角修正装置は、上述した磁気ヘッド装置における薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角を修正するために用いられる。静止姿勢角には、ピッチ角及びロール角が含まれる。ピッチ角は、ロードビーム１１の長手方向軸線Ｌ（図２参照）の方向にとられた基準線と交差する角度であり、ロール角は長手方向軸線Ｌの周りにとられた角度である。静止姿勢角はヘッド支持装置１に対する磁気ヘッド２の組立状態、ヘッド支持装置１の曲り等の影響を受けて、さまざまに変化する。本発明に係る静止姿勢角修正方法及び修正装置によれば、静止姿勢角を、要求される値に確実に設定することができる。
【００２９】
レーザ発振装置９１は、可撓体１２とロードビーム１１との接続点１３、及び、磁気ヘッド２との間に現れる可撓体１２の領域にレーザＬＡを照射する。レーザ発振装置９１は、ＹＡＧレーザを含め、各種のものを用いることができる。図示されたレーザ発振装置９１は、レーザ発振部９１１と、レーザヘッド９１２とを含む。レーザヘッド９１２は、可撓体１２において、曲げられる部分に向けられている。
【００３０】
修正装置９２は、可撓体１２に静止姿勢角修正のための曲げを加える。図３は修正装置９２の例を示す図である。この実施例では、修正装置９２は、４つの修正ピン９２２〜９２５と、駆動部９３２〜９３５を有する。修正ピン９２２〜９２５は、何れも、駆動部９３２〜９３５によって直線的に送られる可動ピンであり、先端部が可撓体１２の外枠部１２３、１２４に接触できる位置に配置されている。修正ピン９２２、９２４は、可撓体１２の一面側（磁気ヘッド２を取り付けた面側）に配置され、修正ピン９２３、９２５は可撓体１２の他面側に配置されている。図示では、修正ピン９２２と修正ピン９２３とが対向し、修正ピン９２４と修正ピン９２５とが対向しているが、対向していなくてもよい。即ち、互いに異なる位置に配置してもよい。
【００３１】
図示実施例では、修正ピン９２２〜９２５は、可動体１２の面に対して斜めに配置されている。この配置であれば、平面積極小の薄膜磁気ヘッド２及び可撓体１２に対しても、隣接する修正ピン９２２、９２４を支える駆動装置９３２、９３４が、対向する端部でぶつかり合うなどの干渉を回避することができる。隣接する修正ピン９２３、９２５を支える駆動装置９３３、９３５の相互間でも同様である。
【００３２】
測定装置９３は、薄膜磁気ヘッド２の静止傾斜角を検出する。測定装置９３は磁気ヘッド２の例えば空気ベアリング面(以下ＡＢＳ面と称する）に向けられている。測定装置９３によって得られた検出信号は、コンピュータシステム９４に供給される。図示された測定装置９３は、信号処理部９３２と、検出部９３１とを含む。検出部９３１は、例えば、ＣＣＤ、レーザオートコリメータ等の角度検出手段を含む。
【００３３】
コンピュータシステム９４は、ＣＰＵ９４１と、薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部（例えばＲＯＭ）９４２とを有する。ＣＰＵ９４１は、測定装置９３から供給された測定値に対応する修正条件を記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、可撓体１２に曲げを加える。コンピュータシステム９４は、CPU及びメモリ装置を含むプログラム実行装置であり、パソコンやマイコン以外にも、例えばシーケンサユニットと称されるものなども含まれるものとする。
【００３４】
次に、先に挙げた図、特に図１とともに、図４を参照し、本発明に係る静止姿勢角修正方法について説明する。図４は本発明に係る静止姿勢角修正方法のフローチャートである。
【００３５】
まず、ワークパレット９７１のセット、運転開始、ワークパレット搬入、ワーク固定などの準備段階を経ることにより、図１に図示したように、磁気ヘッド装置９５及びワークパレット９７１が搬送冶具９７３の上に搭載され、押さえ冶具９７２により押し付けられている。
【００３６】
この状態で、測定装置９３によって、薄膜磁気ヘッド２の静止傾斜角を検出する。静止傾斜角は、レーザオートコリメータ等で構成された検出部９３１から、薄膜磁気ヘッド２のＡＢＳ面にレーザを照射し、その反射光を捉えて測定する。
【００３７】
測定装置９３の検出部９３１によって得られた検出信号は、信号処理部９３２を経てコンピュータシステム９４に供給される。コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１は、測定装置９３から供給された測定値に対応する修正条件を記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。修正装置９２では、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、修正ピン９２２〜９２５に修正移動動作が与えられ、それによって可撓体１２に曲げを加える。修正条件は、可撓体１２に対する修正ピン９２２〜９２５の当接位置、修正ピン９２２〜９２５の押込み量と、レーザ照射位置の条件を含む。更に、修正条件は、レーザＬＡの照射時間を含むことができる。
【００３８】
コンピュータシステム９４による修正条件の設定、及び、修正ピンの移動制御は本発明の特徴部分をなすものである。次にこの点について、説明する。
【００３９】
既に述べたように、静止姿勢角には、ピッチ角及びロール角が含まれており、静止姿勢角はヘッド支持装置１に対する磁気ヘッド２の組立状態、ヘッド支持装置１の曲り等の影響を受けて、さまざまに変化する。しかも、ピッチ角及びロール角は、水平位置を基準値０として、正、及び、負の値をとる。したがって、ピッチ角及びロール角は、正又は負の所定値に設定しなければならない。
【００４０】
その手段として、本発明では、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けし、これを予め記憶部９４２に記憶しておく。図５はその概念を表わすグラフで、縦軸にピッチ角の測定値に対する修正条件を、正側ランク（ｍ１〜ｍ９）及び負側ランク（−ｍ１〜−ｍ９）のようにランク付けしておく。また、横軸では、ロール角の測定値に対する修正条件を、正側ランク（ｎ１〜ｎ９）及び負側ランク（−ｎ１〜−ｎ９）のようにランク付けしておく。これらは、予め記憶部９４２に記憶しておく。もっとも、ランク数は任意である。そして、測定装置９３から静止傾斜角の信号が供給されたとき、ＣＰＵ９４１により、供給された測定値に対応する修正条件を、記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。
【００４１】
例えば、図５に示す場合、ロール角の測定値に対する修正条件が、正側ランク（ｎ２）であり、ピッチ角の測定値に対する修正条件が負側ランク（−ｍ４）であり、これらが、記憶部９４２から読み出される。
【００４２】
修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、薄膜磁気ヘッド２を支持する可撓体１２に曲げを加える。このとき加えられる曲げは、ロール角に関しては、正側ランク（ｎ２）を、図５のグラフ上で、原点ＯＫに戻す方向であり、ピッチ角に関しては、負側ランク（−ｍ４）を原点ＯＫに戻す方向である。そのような修正条件が、コンピュータシステム９４から修正装置９２に供給され，修正装置９２において，修正ピンの移動制御が実行される。
【００４３】
次に、修正ピンを用いた静止姿勢角修正方法について、具体的に説明する。図６、図７は、図３に示した修正装置によるピッチ角修正方法を示す図である。まず、図６に示すように、修正ピン９２３、９２５を方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３、１２４を押すことにより、ピッチ角を修正することができる。この場合のピッチ角の修正方向Ｐ１を正方向とする。
【００４４】
図７は、ピッチ角を負方向Ｐ２に修正する場合を示し、修正ピン９２２、９２４を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３、１２４を押す。これにより、ピッチ角を負方向Ｐ２に修正することができる。
【００４５】
図８、図９は図３に示した修正装置９２によるロール角修正方法を示す図である。まず、図８に示すように、修正ピン９２３を方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３を押すと同時に、修正ピン９２４を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２４を押す。これにより、ロール角を方向Ｒ１に修正することができる。この場合のロール角の修正方向Ｒ１を正方向とする。
【００４６】
図９は、ロール角を負方向Ｒ２に修正する場合を示し、修正ピン９２２を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３を押すと同時に、修正ピン９２５を方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２４を押す。これにより、ロール角を負方向Ｒ２に修正することができる。
【００４７】
図６〜図９に示したピッチ角及びロール角の修正プロセス中に、レーザ発振装置９１から可撓体１２の表面にレーザＬＡが照射される。レーザＬＡは、図１０に示すように、可撓体１２の曲げを生じる領域６に照射される。レーザＬＡの照射は、一点ではなく、ある長さで、間隔をおいて複数のポイント(例えば１０ポイント）に実行する。レーザＬＡは、可撓体１２の裏面に照射してもよい。
【００４８】
図６〜図９に図示し、説明した操作によって、可撓体１２に機械的な曲げを加えた場合、可撓体１２には曲げに応じた応力が発生する。本発明において、可撓体１２の曲げを生じる領域６にレーザＬＡを照射するので、レーザＬＡを照射された領域６における応力が、レーザＬＡの照射に伴う熱により、開放される。このため、このレーザＬＡの照射を受けた領域６では、可撓体１２の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可撓体１２に与えられる曲げ変化量が小さくとも、可撓体１２に対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味する。レーザＬＡは、可撓体１２の照射を受ける領域６がステンレススチールで構成されている場合、その表面温度が、例えば、Ｎ2を吹き付けた状態で、３００〜４００℃となるように照射するのが好ましい。
【００４９】
レーザＬＡの照射を受ける可撓体１２の領域６は、可撓体１２とロードビーム１１との接続点１３、及び、磁気ヘッド２の間に現れる部分である。この部分で、可撓体１２が曲げられる。従って、可撓体１２の曲げ角度が、磁気ヘッド２のピッチ角にそのまま反映される。よって、可撓体１２の小さな曲げ角度で、大きなピッチ角変化量を確保することができる。上述した静止姿勢角修正装置によれば、ＣＰＵ９４１を中心とした静止姿勢角修正システムを構築し、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を、自動的に、確実に、修正することができる。
【００５０】
上述のようにして、薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角を修正した後、再度、測定装置９３によって、薄膜磁気ヘッド２の静止傾斜角を検出し、検出された静止傾斜角が許容される角度範囲内（図５の原点ＯＫ）であるかどうかを、コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１で判断する。判断の結果、検出された静止傾斜角が、許容される角度範囲内にないときは、コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１は、修正装置９２に修正条件を再度供給する。修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、修正ピン９２２〜９２５に修正移動動作を与え、それによって可撓体１２に曲げが加えられる。そして、レーザ発振装置９１により、可撓体１２の曲げ部分にレーザＬＡが照射される。
【００５１】
上述した静止姿勢角の検出、修正ピン移動、レーザ照射の各プロセスを、ロール角およびピッチ角の修正条件が、図５の原点ＯＫに到るまで繰り返される。そして、検出された静止傾斜角が許容される角度範囲内（図５の原点ＯＫ）にあると判断されたときは、修正完了とし、次のワーク(磁気ヘッド装置９５）の処理に移り、当該ワークに対して、上述したプロセスが実行される。用意された全ワークの処理が終了した後は、ワークパレットを排出し、運転が終了され、ワークパレットが取り出される。
【００５２】
図１１は本発明に係る静止姿勢角修正装置の具体的な構造を示す正面図、図１２は図１１に示した静止姿勢角修正装置の側面図である。これらの図は、機械的部分のみを抽出して示したものである。図において、先に示した図面に現れた構成部分に相当する部分については、同一の参照符号を付してある。
【００５３】
レーザ発振装置９１は、直交３軸Ｘ，Ｙ，Ｚで見て、Ｘ軸(横方向）及びＹ軸(奥行き方向）の２軸方向に移動しえるＸＹテーブル９１３を備えており、このＸＹテーブル９１３の上に、レーザヘッド９１２が搭載されている。レーザヘッド９１２は、下から上に向かってレーザを照射する。レーザ発振部９１１(図１１参照）は任意の場所に設置される。
【００５４】
修正装置９２は、４つの修正ピン９２２〜９２５と、駆動部９３２〜９３５を有する。修正ピン９２２〜９２５は、何れも、斜めに配置され、斜めの状態を保って、駆動部９３２〜９３５により、Y軸及びZ軸の方向に駆動される。
【００５５】
測定装置９３は、レーザオートコリメータで構成され、レーザ発振装置９１とは反対側に配置され、X軸、Y軸、Z軸、X軸周りθX、及び、Y軸周りθYの各方向に可動であり、それによって位置調整ができるように配置されている。
【００５６】
ワークである磁気ヘッド装置９５は、ワークパレット９７１、押さえ冶具９７２及び搬送冶具９７３により支持され、薄膜磁気ヘッド２が、修正ピン９２２〜９２５により押される位置、レーザ発振装置９１によるレーザ照射を受けうる位置、及び、測定装置９３による静止姿勢角測定を受ける位置に搬入される。
【００５７】
図１１及び図１２に示した静止姿勢角修正装置によれば、図１〜図１０を参照して説明した静止姿勢角修正を、自動的に、効率よく実行することができる。
【００５８】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。例えば、修正装置はピンタイプに限らず、可撓体を挟み込んで曲げるタイプのものでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る静止姿勢角修正方法の実施に直接に用いられる静止姿勢角修正装置の構成を示す図である。
【図２】本発明に係る静止姿勢角修正方法が適用される磁気ヘッド装置の底面図である。
【図３】修正装置の例を示す図である。
【図４】本発明に係る静止姿勢角修正方法のフローチャートである。
【図５】薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件のランク付けについて、その概念を表わすグラフである。
【図６】図３に示した静止姿勢角修正装置によるピッチ角修正方法を示す図である。
【図７】図３に示した静止姿勢角修正装置によるピッチ角修正方法の別の例を示す図である。
【図８】静止姿勢角修正装置によるロール角修正方法を示す図である。
【図９】図３に示した静止姿勢角修正装置によるロール角修正方法の別の例を示す図である。
【図１０】可撓体に対するレーザ照射位置を示す図である。
【図１１】本発明に係る静止姿勢角修正装置の具体的な構造を示す正面図である。
【図１２】図１１に示した静止姿勢角修正装置の側面図である。
【符号の説明】
【００６０】
２ 薄膜磁気ヘッド
１２ 可撓体
９１ レーザ発振装置
９２ 修正装置
９３ 測定装置
９４ コンピュータシステム
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
浮上型の磁気ヘッド装置では、高密度記録再生を達成するため、ヘッド支持装置によって支持された磁気ヘッドの静止姿勢角が高精度に保持されていることが基本的な要求事項となる。磁気ヘッド装置の静止姿勢角には、ピッチ角と、ロール角とが含まれる。
【０００３】
ところが、磁気ヘッド装置は、ヘッド支持装置（サスペンション）の一端に磁気ヘッドを接着剤によって接着した構造になっているから、この接着構造のために、静止姿勢角が所定の角度からずれを生じることがある。
【０００４】
磁気ヘッド装置は、複雑なプロセスを経て製造された高価な磁気ヘッドを、高精度で高価なヘッド支持装置に取り付けて構成されており、磁気ヘッド装置の段階で、静止姿勢角が所定の角度内にないとして、不良品扱いにすることは、許されない。
【０００５】
静止姿勢角ずれを修正するための修正手段としては、押圧治具を用いた機械的押圧による修正手段が知られている。この押圧治具を用いた静止姿勢角修正方法では、ロードビームの自由端側に取り付けられた可撓体（フレキシャ）の軸線上の１点を支点にして、他点を押圧することによって、可撓体を曲げ、それによって磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する。
【０００６】
しかしながら、機械的押圧により、可撓体に大きな曲げ変位を与えても、可撓体の有する復元力のために、曲げが元に戻る。このことは、所定の静止姿勢角を与える曲げ変位よりも、著しく大きな曲げ変位で、可撓体を曲げなければならないことを意味する。
【０００７】
可撓体に大きな曲げ変位を与えると、ロードビームから可撓体に荷重を加える突起部（ディンプル）と、可撓体との間に隙間を生じ、いわゆるディンプル浮きが発生することがある。ディンプル浮きが発生すると、ロードビームから可撓体に荷重を与えることができなくなり、所定の磁気ヘッド浮上特性を確保することができなくなる。
【０００８】
上述した問題点を解決する手段として、特許文献１、２は、可撓体（フレキシャ）またはロードビームに静止姿勢角修正のための曲げを加え、曲げ領域にレーザを照射して、応力を開放することにより、加えられた曲げ角度に近い角度で曲げる技術を開示している。
【０００９】
確かに、この先行技術によれば、ヘッド支持装置を、小さな曲げ角度で曲げるだけで、大きな静止姿勢角変化量を確保することができるという優れた効果を得ることができる。
【特許文献１】特開２００１−３５７６４４号公報
【特許文献２】特開２００１−３５７６４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、上述した先行技術に更に改良を加え、可撓体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止姿勢角の変化量を確保する操作を、自動的に実行できる磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するため、本発明に係る静止姿勢角修正方法は、ヘッドアーム組立体の可撓体に取り付けられた薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を修正するに当たり、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶しておく。そして、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定し、その測定値に対応する前記修正条件に基づいて、前記可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。
【００１２】
可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加えた場合、可撓体には曲げに応じた応力が発生する。本発明では、可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。これにより、レーザを照射された曲げを生じる領域における応力が、レーザの照射に伴う熱により、開放される。このため、このレーザ照射を受けた領域では、可撓体の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可撓体に与えられる曲げ変化量が小さくとも、可撓体に対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味する。よって、可撓体を、小さな曲げ角度で曲げるだけで、大きな静止姿勢角変化量を確保することができる。
【００１３】
上述した基本ステップは、先に上げた特許文献１、２に既に開示されている。本発明の特徴は、この基本ステップを、自動的に実行するためのステップを含むことにある。即ち、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶しておく。そして、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定し、その測定値に対応する前記修正条件に基づいて、前記可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する。
【００１４】
この追加されたステップによれば、ＣＰＵ(コンピュータ）を中心とした磁気ヘッド静止姿勢角修正システムを構築し、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を、自動的に、再現性よく、修正することができる。
【００１５】
上述した磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法は、具体的には、本発明が開示する磁気ヘッド静止姿勢角修正装置によって実施される。この磁気ヘッド静止姿勢角修正装置は、修正装置と、レーザ発振装置と、測定装置と、コンピュータシステムとを含む。
【００１６】
前記修正装置は、前記可撓体に曲げを加えるものであり、前記レーザ発振装置は、曲げ領域にレーザを照射するものである。前記測定装置は、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定する。
【００１７】
前記コンピュータシステムは、コンピュータ（ＣＰＵ）と、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部とを有し、前記ＣＰＵは、前記測定装置から供給された測定値に対応する前記修正条件を前記記憶部から読み出し、読み出された修正条件を前記修正装置に供給する。前記修正装置は、前記コンピュータシステムから供給された修正条件に基づき、前記可撓体に曲げを加える。
【００１８】
上述した磁気ヘッド静止姿勢角修正装置によれば、ＣＰＵを中心とした磁気ヘッド静止姿勢角修正システムを構築し、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を、自動的に、再現性よく、修正することができることは明らかである。
【００１９】
具体的には、前記修正装置は、先端を前記可撓体の表面に押圧し得る複数の可動性修正ピンを有することができる。この場合、前記修正条件は、前記可撓体に対する前記修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、レーザ照射位置との条件を含むことができる。前記修正条件には、更に、レーザの照射時間を含むことができる。
【００２０】
好ましくは、前記修正ピンは、前記可撓体の表面に対して所定の角度をもって配置される。このような構成によれば、小型化された薄膜磁気ヘッド及び可撓体に対しても、複数備えられる修正ピン相互の接触、重なりなどの相互干渉を回避することができる。
【００２１】
前記静止姿勢角測定装置は、ＣＣＤカメラが用いられるほか、レーザオートコリメータを用いることもできる。測定値の定量化という観点からは、レーザオートコリメータが適している。
【発明の効果】
【００２２】
以上述べたように、本発明によれば、可撓体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止姿勢角の変化量を確保する操作を、自動的に実行できる磁気ヘッドの静止姿勢角修正方法及び装置を提供することができる。
【００２３】
本発明の他の目的、構成及び効果については、実施の形態である添付図を参照して詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１は本発明に係る静止姿勢角修正方法の実施に直接に用いられる静止姿勢角修正装置の構成を示す図、図２は本発明に係る静止姿勢角修正方法が適用される磁気ヘッド装置の平面図である。図示された静止姿勢角修正装置は、レーザ発振装置９１と、修正装置９２と、測定装置９３と、コンピュータシステム９４とを含み、磁気ヘッド装置９５に含まれた薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角を修正する。
【００２５】
磁気ヘッド装置９５は、ヘッド支持装置１と、磁気ヘッド２とを含む。ヘッド支持装置１は、ロードビーム１１と、可撓体１２とを含む。ロードビーム１１は、中央を通る長手方向軸線Ｌの自由端近傍に突起部１１１を有する。図示されたロードビーム１１は、幅方向の両側に折り曲げ部１１８(図１参照）を有しており、この折り曲げ部１１８により、剛性を増加させてある。
【００２６】
可撓体１２は薄いバネ板材で構成され、一方の面がロードビーム１１の突起部１１１を有する側の面に取り付けられ、突起部１１１から押圧荷重を受けている。可撓体１２の他方の面には、磁気ヘッド２が取り付けられている。可撓体１２は、接続点１３において、ロードビーム１１の突起部１１１を有する側に、スポット溶着等の手段により貼り合わされている。スポット溶着の代わりに、カシメ等の手段を用いてもよい。可撓体１２は、中央に舌状部１２０を有する。舌状部１２０は、一端が可撓体１２の横枠部１２１に結合されている。可撓体１２の横枠部１２１は両端が外枠部１２３、１２４に連なっている。外枠部１２３、１２４と舌状部１２０との間には、舌状部１２０の周りに、溝１２２が形成されている。舌状部１２０の一面には磁気ヘッド２が接着剤などで取り付けられ、突起部１１１の先端がバネ接触している。
【００２７】
磁気ヘッド装置９５は、その複数個が、例えば、ワークパレット９７１などの上に間隔を隔てて配置され、磁気ヘッド装置(ワーク)９５及びワークパレット９７１は搬送冶具９７３の上に搭載され、押さえ冶具９７２により搬送冶具９７３の上に押し付けられている。
【００２８】
図１に図示された静止姿勢角修正装置は、上述した磁気ヘッド装置における薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角を修正するために用いられる。静止姿勢角には、ピッチ角及びロール角が含まれる。ピッチ角は、ロードビーム１１の長手方向軸線Ｌ（図２参照）の方向にとられた基準線と交差する角度であり、ロール角は長手方向軸線Ｌの周りにとられた角度である。静止姿勢角はヘッド支持装置１に対する磁気ヘッド２の組立状態、ヘッド支持装置１の曲り等の影響を受けて、さまざまに変化する。本発明に係る静止姿勢角修正方法及び修正装置によれば、静止姿勢角を、要求される値に確実に設定することができる。
【００２９】
レーザ発振装置９１は、可撓体１２とロードビーム１１との接続点１３、及び、磁気ヘッド２との間に現れる可撓体１２の領域にレーザＬＡを照射する。レーザ発振装置９１は、ＹＡＧレーザを含め、各種のものを用いることができる。図示されたレーザ発振装置９１は、レーザ発振部９１１と、レーザヘッド９１２とを含む。レーザヘッド９１２は、可撓体１２において、曲げられる部分に向けられている。
【００３０】
修正装置９２は、可撓体１２に静止姿勢角修正のための曲げを加える。図３は修正装置９２の例を示す図である。この実施例では、修正装置９２は、４つの修正ピン９２２〜９２５と、駆動部９３２〜９３５を有する。修正ピン９２２〜９２５は、何れも、駆動部９３２〜９３５によって直線的に送られる可動ピンであり、先端部が可撓体１２の外枠部１２３、１２４に接触できる位置に配置されている。修正ピン９２２、９２４は、可撓体１２の一面側（磁気ヘッド２を取り付けた面側）に配置され、修正ピン９２３、９２５は可撓体１２の他面側に配置されている。図示では、修正ピン９２２と修正ピン９２３とが対向し、修正ピン９２４と修正ピン９２５とが対向しているが、対向していなくてもよい。即ち、互いに異なる位置に配置してもよい。
【００３１】
図示実施例では、修正ピン９２２〜９２５は、可動体１２の面に対して斜めに配置されている。この配置であれば、平面積極小の薄膜磁気ヘッド２及び可撓体１２に対しても、隣接する修正ピン９２２、９２４を支える駆動装置９３２、９３４が、対向する端部でぶつかり合うなどの干渉を回避することができる。隣接する修正ピン９２３、９２５を支える駆動装置９３３、９３５の相互間でも同様である。
【００３２】
測定装置９３は、薄膜磁気ヘッド２の静止傾斜角を検出する。測定装置９３は磁気ヘッド２の例えば空気ベアリング面(以下ＡＢＳ面と称する）に向けられている。測定装置９３によって得られた検出信号は、コンピュータシステム９４に供給される。図示された測定装置９３は、信号処理部９３２と、検出部９３１とを含む。検出部９３１は、例えば、ＣＣＤ、レーザオートコリメータ等の角度検出手段を含む。
【００３３】
コンピュータシステム９４は、ＣＰＵ９４１と、薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部（例えばＲＯＭ）９４２とを有する。ＣＰＵ９４１は、測定装置９３から供給された測定値に対応する修正条件を記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、可撓体１２に曲げを加える。コンピュータシステム９４は、CPU及びメモリ装置を含むプログラム実行装置であり、パソコンやマイコン以外にも、例えばシーケンサユニットと称されるものなども含まれるものとする。
【００３４】
次に、先に挙げた図、特に図１とともに、図４を参照し、本発明に係る静止姿勢角修正方法について説明する。図４は本発明に係る静止姿勢角修正方法のフローチャートである。
【００３５】
まず、ワークパレット９７１のセット、運転開始、ワークパレット搬入、ワーク固定などの準備段階を経ることにより、図１に図示したように、磁気ヘッド装置９５及びワークパレット９７１が搬送冶具９７３の上に搭載され、押さえ冶具９７２により押し付けられている。
【００３６】
この状態で、測定装置９３によって、薄膜磁気ヘッド２の静止傾斜角を検出する。静止傾斜角は、レーザオートコリメータ等で構成された検出部９３１から、薄膜磁気ヘッド２のＡＢＳ面にレーザを照射し、その反射光を捉えて測定する。
【００３７】
測定装置９３の検出部９３１によって得られた検出信号は、信号処理部９３２を経てコンピュータシステム９４に供給される。コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１は、測定装置９３から供給された測定値に対応する修正条件を記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。修正装置９２では、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、修正ピン９２２〜９２５に修正移動動作が与えられ、それによって可撓体１２に曲げを加える。修正条件は、可撓体１２に対する修正ピン９２２〜９２５の当接位置、修正ピン９２２〜９２５の押込み量と、レーザ照射位置の条件を含む。更に、修正条件は、レーザＬＡの照射時間を含むことができる。
【００３８】
コンピュータシステム９４による修正条件の設定、及び、修正ピンの移動制御は本発明の特徴部分をなすものである。次にこの点について、説明する。
【００３９】
既に述べたように、静止姿勢角には、ピッチ角及びロール角が含まれており、静止姿勢角はヘッド支持装置１に対する磁気ヘッド２の組立状態、ヘッド支持装置１の曲り等の影響を受けて、さまざまに変化する。しかも、ピッチ角及びロール角は、水平位置を基準値０として、正、及び、負の値をとる。したがって、ピッチ角及びロール角は、正又は負の所定値に設定しなければならない。
【００４０】
その手段として、本発明では、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けし、これを予め記憶部９４２に記憶しておく。図５はその概念を表わすグラフで、縦軸にピッチ角の測定値に対する修正条件を、正側ランク（ｍ１〜ｍ９）及び負側ランク（−ｍ１〜−ｍ９）のようにランク付けしておく。また、横軸では、ロール角の測定値に対する修正条件を、正側ランク（ｎ１〜ｎ９）及び負側ランク（−ｎ１〜−ｎ９）のようにランク付けしておく。これらは、予め記憶部９４２に記憶しておく。もっとも、ランク数は任意である。そして、測定装置９３から静止傾斜角の信号が供給されたとき、ＣＰＵ９４１により、供給された測定値に対応する修正条件を、記憶部９４２から読み出し、読み出された修正条件を修正装置９２に供給する。
【００４１】
例えば、図５に示す場合、ロール角の測定値に対する修正条件が、正側ランク（ｎ２）であり、ピッチ角の測定値に対する修正条件が負側ランク（−ｍ４）であり、これらが、記憶部９４２から読み出される。
【００４２】
修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、薄膜磁気ヘッド２を支持する可撓体１２に曲げを加える。このとき加えられる曲げは、ロール角に関しては、正側ランク（ｎ２）を、図５のグラフ上で、原点ＯＫに戻す方向であり、ピッチ角に関しては、負側ランク（−ｍ４）を原点ＯＫに戻す方向である。そのような修正条件が、コンピュータシステム９４から修正装置９２に供給され，修正装置９２において，修正ピンの移動制御が実行される。
【００４３】
次に、修正ピンを用いた静止姿勢角修正方法について、具体的に説明する。図６、図７は、図３に示した修正装置によるピッチ角修正方法を示す図である。まず、図６に示すように、修正ピン９２３、９２５を方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３、１２４を押すことにより、ピッチ角を修正することができる。この場合のピッチ角の修正方向Ｐ１を正方向とする。
【００４４】
図７は、ピッチ角を負方向Ｐ２に修正する場合を示し、修正ピン９２２、９２４を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３、１２４を押す。これにより、ピッチ角を負方向Ｐ２に修正することができる。
【００４５】
図８、図９は図３に示した修正装置９２によるロール角修正方法を示す図である。まず、図８に示すように、修正ピン９２３を方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３を押すと同時に、修正ピン９２４を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２４を押す。これにより、ロール角を方向Ｒ１に修正することができる。この場合のロール角の修正方向Ｒ１を正方向とする。
【００４６】
図９は、ロール角を負方向Ｒ２に修正する場合を示し、修正ピン９２２を方向Ｐ２に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２３を押すと同時に、修正ピン９２５を方向Ｐ１に直線的に移動させ、その先端で、可撓体１２の外枠部１２４を押す。これにより、ロール角を負方向Ｒ２に修正することができる。
【００４７】
図６〜図９に示したピッチ角及びロール角の修正プロセス中に、レーザ発振装置９１から可撓体１２の表面にレーザＬＡが照射される。レーザＬＡは、図１０に示すように、可撓体１２の曲げを生じる領域６に照射される。レーザＬＡの照射は、一点ではなく、ある長さで、間隔をおいて複数のポイント(例えば１０ポイント）に実行する。レーザＬＡは、可撓体１２の裏面に照射してもよい。
【００４８】
図６〜図９に図示し、説明した操作によって、可撓体１２に機械的な曲げを加えた場合、可撓体１２には曲げに応じた応力が発生する。本発明において、可撓体１２の曲げを生じる領域６にレーザＬＡを照射するので、レーザＬＡを照射された領域６における応力が、レーザＬＡの照射に伴う熱により、開放される。このため、このレーザＬＡの照射を受けた領域６では、可撓体１２の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可撓体１２に与えられる曲げ変化量が小さくとも、可撓体１２に対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味する。レーザＬＡは、可撓体１２の照射を受ける領域６がステンレススチールで構成されている場合、その表面温度が、例えば、Ｎ2を吹き付けた状態で、３００〜４００℃となるように照射するのが好ましい。
【００４９】
レーザＬＡの照射を受ける可撓体１２の領域６は、可撓体１２とロードビーム１１との接続点１３、及び、磁気ヘッド２の間に現れる部分である。この部分で、可撓体１２が曲げられる。従って、可撓体１２の曲げ角度が、磁気ヘッド２のピッチ角にそのまま反映される。よって、可撓体１２の小さな曲げ角度で、大きなピッチ角変化量を確保することができる。上述した静止姿勢角修正装置によれば、ＣＰＵ９４１を中心とした静止姿勢角修正システムを構築し、薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を、自動的に、確実に、修正することができる。
【００５０】
上述のようにして、薄膜磁気ヘッド２の静止姿勢角を修正した後、再度、測定装置９３によって、薄膜磁気ヘッド２の静止傾斜角を検出し、検出された静止傾斜角が許容される角度範囲内（図５の原点ＯＫ）であるかどうかを、コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１で判断する。判断の結果、検出された静止傾斜角が、許容される角度範囲内にないときは、コンピュータシステム９４のＣＰＵ９４１は、修正装置９２に修正条件を再度供給する。修正装置９２は、コンピュータシステム９４から供給された修正条件に基づき、修正ピン９２２〜９２５に修正移動動作を与え、それによって可撓体１２に曲げが加えられる。そして、レーザ発振装置９１により、可撓体１２の曲げ部分にレーザＬＡが照射される。
【００５１】
上述した静止姿勢角の検出、修正ピン移動、レーザ照射の各プロセスを、ロール角およびピッチ角の修正条件が、図５の原点ＯＫに到るまで繰り返される。そして、検出された静止傾斜角が許容される角度範囲内（図５の原点ＯＫ）にあると判断されたときは、修正完了とし、次のワーク(磁気ヘッド装置９５）の処理に移り、当該ワークに対して、上述したプロセスが実行される。用意された全ワークの処理が終了した後は、ワークパレットを排出し、運転が終了され、ワークパレットが取り出される。
【００５２】
図１１は本発明に係る静止姿勢角修正装置の具体的な構造を示す正面図、図１２は図１１に示した静止姿勢角修正装置の側面図である。これらの図は、機械的部分のみを抽出して示したものである。図において、先に示した図面に現れた構成部分に相当する部分については、同一の参照符号を付してある。
【００５３】
レーザ発振装置９１は、直交３軸Ｘ，Ｙ，Ｚで見て、Ｘ軸(横方向）及びＹ軸(奥行き方向）の２軸方向に移動しえるＸＹテーブル９１３を備えており、このＸＹテーブル９１３の上に、レーザヘッド９１２が搭載されている。レーザヘッド９１２は、下から上に向かってレーザを照射する。レーザ発振部９１１(図１１参照）は任意の場所に設置される。
【００５４】
修正装置９２は、４つの修正ピン９２２〜９２５と、駆動部９３２〜９３５を有する。修正ピン９２２〜９２５は、何れも、斜めに配置され、斜めの状態を保って、駆動部９３２〜９３５により、Y軸及びZ軸の方向に駆動される。
【００５５】
測定装置９３は、レーザオートコリメータで構成され、レーザ発振装置９１とは反対側に配置され、X軸、Y軸、Z軸、X軸周りθX、及び、Y軸周りθYの各方向に可動であり、それによって位置調整ができるように配置されている。
【００５６】
ワークである磁気ヘッド装置９５は、ワークパレット９７１、押さえ冶具９７２及び搬送冶具９７３により支持され、薄膜磁気ヘッド２が、修正ピン９２２〜９２５により押される位置、レーザ発振装置９１によるレーザ照射を受けうる位置、及び、測定装置９３による静止姿勢角測定を受ける位置に搬入される。
【００５７】
図１１及び図１２に示した静止姿勢角修正装置によれば、図１〜図１０を参照して説明した静止姿勢角修正を、自動的に、効率よく実行することができる。
【００５８】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。例えば、修正装置はピンタイプに限らず、可撓体を挟み込んで曲げるタイプのものでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る静止姿勢角修正方法の実施に直接に用いられる静止姿勢角修正装置の構成を示す図である。
【図２】本発明に係る静止姿勢角修正方法が適用される磁気ヘッド装置の底面図である。
【図３】修正装置の例を示す図である。
【図４】本発明に係る静止姿勢角修正方法のフローチャートである。
【図５】薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件のランク付けについて、その概念を表わすグラフである。
【図６】図３に示した静止姿勢角修正装置によるピッチ角修正方法を示す図である。
【図７】図３に示した静止姿勢角修正装置によるピッチ角修正方法の別の例を示す図である。
【図８】静止姿勢角修正装置によるロール角修正方法を示す図である。
【図９】図３に示した静止姿勢角修正装置によるロール角修正方法の別の例を示す図である。
【図１０】可撓体に対するレーザ照射位置を示す図である。
【図１１】本発明に係る静止姿勢角修正装置の具体的な構造を示す正面図である。
【図１２】図１１に示した静止姿勢角修正装置の側面図である。
【符号の説明】
【００６０】
２ 薄膜磁気ヘッド
１２ 可撓体
９１ レーザ発振装置
９２ 修正装置
９３ 測定装置
９４ コンピュータシステム
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドアーム組立体の可撓体に取り付けられた薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する方法であって、
前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶しておき、
前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定し、
その測定値に対応する前記修正条件に基づいて、前記可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、
前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する、
ステップを含む静止姿勢角修正方法。
【請求項２】
請求項1に記載された静止姿勢角修正方法であって、前記修正条件は、前記可撓体に対する修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、レーザ照射位置の条件を含む静止姿勢角修正方法。
【請求項３】
請求項２に記載された静止姿勢角修正方法であって、前記修正条件は、レーザの照射時間を含む静止姿勢角修正方法。
【請求項４】
修正装置と、レーザ発振装置と、測定装置と、コンピュータシステムとを含み、ヘッドアーム組立体の可撓体に取り付けられた薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する装置であって、
前記修正装置は、前記可撓体に曲げを加えるものであり、
前記レーザ発振装置は、曲げ領域にレーザを照射するものであり、
前記測定装置は、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定するものであり、
前記コンピュータシステムは、ＣＰＵと、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部とを有し、前記ＣＰＵは、前記測定装置から供給された測定値に対応する前記修正条件を前記記憶部から読み出し、読み出された修正条件を前記修正装置に供給し、
前記修正装置は、前記コンピュータシステムから供給された修正条件に基づき、前記可撓体に曲げを加える、
静止姿勢角修正装置。
【請求項５】
請求項４に記載された静止姿勢角修正装置であって、
前記修正装置は、先端を前記可撓体の表面に押圧し得る複数の可動性修正ピンを有し、
前記修正条件は、前記可撓体に対する前記修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、レーザ照射位置との条件を含む、
静止姿勢角修正装置。
【請求項６】
請求項５に記載された薄膜磁気ヘッド静止姿勢角修正装置であって、前記修正ピンは、前記可撓体の表面に対して所定の角度をもって配置されている、
静止姿勢角修正装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載された静止姿勢角修正装置であって、前記修正条件は、レーザの照射時間を含む静止姿勢角修正装置。
【請求項８】
請求項４乃至７の何れかに記載された静止姿勢角修正装置であって、前記静止姿勢角測定装置はレーザオートコリメータである静止姿勢角修正装置。
【請求項１】
ヘッドアーム組立体の可撓体に取り付けられた薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する方法であって、
前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶しておき、
前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定し、
その測定値に対応する前記修正条件に基づいて、前記可撓体に静止姿勢角修正のための曲げを加え、
前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する、
ステップを含む静止姿勢角修正方法。
【請求項２】
請求項1に記載された静止姿勢角修正方法であって、前記修正条件は、前記可撓体に対する修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、レーザ照射位置の条件を含む静止姿勢角修正方法。
【請求項３】
請求項２に記載された静止姿勢角修正方法であって、前記修正条件は、レーザの照射時間を含む静止姿勢角修正方法。
【請求項４】
修正装置と、レーザ発振装置と、測定装置と、コンピュータシステムとを含み、ヘッドアーム組立体の可撓体に取り付けられた薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を修正する装置であって、
前記修正装置は、前記可撓体に曲げを加えるものであり、
前記レーザ発振装置は、曲げ領域にレーザを照射するものであり、
前記測定装置は、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角を測定するものであり、
前記コンピュータシステムは、ＣＰＵと、前記薄膜磁気ヘッドの静止姿勢角の値に対する修正条件をランク付けして予め記憶した記憶部とを有し、前記ＣＰＵは、前記測定装置から供給された測定値に対応する前記修正条件を前記記憶部から読み出し、読み出された修正条件を前記修正装置に供給し、
前記修正装置は、前記コンピュータシステムから供給された修正条件に基づき、前記可撓体に曲げを加える、
静止姿勢角修正装置。
【請求項５】
請求項４に記載された静止姿勢角修正装置であって、
前記修正装置は、先端を前記可撓体の表面に押圧し得る複数の可動性修正ピンを有し、
前記修正条件は、前記可撓体に対する前記修正ピンの当接位置と、前記修正ピンの押込み量と、レーザ照射位置との条件を含む、
静止姿勢角修正装置。
【請求項６】
請求項５に記載された薄膜磁気ヘッド静止姿勢角修正装置であって、前記修正ピンは、前記可撓体の表面に対して所定の角度をもって配置されている、
静止姿勢角修正装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載された静止姿勢角修正装置であって、前記修正条件は、レーザの照射時間を含む静止姿勢角修正装置。
【請求項８】
請求項４乃至７の何れかに記載された静止姿勢角修正装置であって、前記静止姿勢角測定装置はレーザオートコリメータである静止姿勢角修正装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００７−８０４１７（Ｐ２００７−８０４１７Ａ）
【公開日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２６８４４４（Ｐ２００５−２６８４４４）
【出願日】平成１７年９月１５日（２００５．９．１５）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年９月１５日（２００５．９．１５）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
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