表面検査装置の保守システム及びそのコンピュータプログラム
【課題】表面検査装置の保守作業を容易にできる表面検査装置の保守システム及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】本発明の保守システムは、被検査物に検査光を照射する表面検査装置に適用されるものであり、表面検査装置を操作するための操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェース２５を提供する。グラフィカルユーザインタフェース２５には、表面検査装置が出力する反射光の強度波形６２を表示する強度波形表示部６１と、強度波形６２に対応する階調で描画された展開画像６４を強度波形６２と対応させた状態で表示する展開画像表示部６３とが設けられている。
【解決手段】本発明の保守システムは、被検査物に検査光を照射する表面検査装置に適用されるものであり、表面検査装置を操作するための操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェース２５を提供する。グラフィカルユーザインタフェース２５には、表面検査装置が出力する反射光の強度波形６２を表示する強度波形表示部６１と、強度波形６２に対応する階調で描画された展開画像６４を強度波形６２と対応させた状態で表示する展開画像表示部６３とが設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物に照射された検査光の反射光の強度に基づいて被検査物の表面を検査する表面検査装置に適用される保守システム及びそのコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面検査装置として、円筒状の被検査物の内周面を検査する装置として、軸状の検査ヘッドをその軸線の回り回転させつつ軸線方向に送り出して被検査物の内部に検査ヘッドを挿入し、その検査ヘッドの外周から検査光としてのレーザ光を被検査物に照射するとともに、被検査物からの反射光を検査ヘッドを介して受光し、その受光した反射光に基づいて被検査物の内周面の状態、例えば欠陥等の有無を判別する表面検査装置が周知である（例えば、特許文献１）。その他、本発明に関連する先行技術文献として特許文献２及び３が存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３０９６９６号公報
【特許文献２】特開２００３−２２２６４３号公報
【特許文献３】特開２００５−６９８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような表面検査装置は、被検査物を逐次検査する検査ラインに組み込んで使用される場合がある。特に、このような形態で表面検査装置を使用する場合には、被検査物又は検査箇所の変更等の検査条件の変更に伴って表面検査装置の据え付け位置の変更や動作範囲の変更が必要となる。そのため、稼働条件変更後の正式運用の前に表面検査装置の据え付け状態の確認作業を伴う試運転を実施したり動作を確認する保守作業が行われる。
【０００５】
従来、このような保守作業においては、表面検査装置を動作させるための専用のソフトウエアがインストールされたパーソナルコンピュータを表面検査装置に接続するとともに、表面検査装置が出力する光強度の強度波形を表示するオシロスコープを表面検査装置に接続し、オシロスコープの表示内容を確認しつつ、所定のコマンドや設定パラメータの数値をユーザがキーボードを用いて入力して表面検査装置の試運転や据え付け状態の確認を行っていた。キーボードを用いた手入力は完全な誤入力の排除が難しいため、コマンド等の誤入力があると保守作業中に表面検査装置が想定外に動作して装置の損傷を招く可能性がある。また、オシロスコープの表示内容を確認しながらのコマンド入力作業は、視覚的な一体感が損なわれるので作業性が悪化する。また、オシロスコープ等の外部機器を準備して保守作業を行う環境をユーザが整備しなければならなかった。
【０００６】
そこで、本発明は表面検査装置の保守作業を容易にできる表面検査装置の保守システム及びコンピュータプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の表面検査装置の保守システムは、検査ヘッド（４）を被検査物（１００）に対して動かしながら、前記検査ヘッドから前記被検査物に向かって検査光（Ｌａ）を照射するとともに、前記検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光（Ｒｅ）を前記検査ヘッドを介して受光し、受光した前記反射光の強度に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置（１）に適用される保守システム（２０）であって、前記表面検査装置を動作させるための各種の設定パラメータ及び動作指令を含む操作情報を前記表面検査装置に与える設定手段（３１）と、前記表面検査装置から出力された前記反射光の強度に関する強度情報を前記検査ヘッドの動作に対応付けて強度波形（６２）として展開する強度波形生成手段（３３）と、前記強度波形生成手段が展開した前記強度波形に対応する階調で描画された展開画像（６４）を生成する画像生成手段（３４）と、前記設定手段が前記表面検査装置に与える前記操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェース（２５）を所定の表示手段（２２）に表示させることにより提供するインタフェース制御手段（４０）と、を備え、前記インタフェース制御手段が提供する前記グラフィカルユーザインタフェースには、前記強度波形生成手段が生成した前記強度波形を表示する強度波形表示部（６１）と、前記画像生成手段が生成した前記展開画像を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する展開画像表示部（６３）とが設けられているものである。
【０００８】
本発明のコンピュータプログラムは、検査ヘッド（４）を被検査物（１００）に対して動かしながら、前記検査ヘッドから前記被検査物に向かって検査光（Ｌａ）を照射するとともに、前記検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光（Ｒｅ）を前記検査ヘッドを介して受光し、受光した前記反射光の強度に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置（１）に適用される保守システム（２０）のコンピュータ（２１）を、前記表面検査装置を動作させるための各種の設定パラメータ及び動作指令を含む操作情報を前記表面検査装置に与える設定手段（３１）、前記表面検査装置から出力された前記反射光の強度に関する強度情報を前記検査ヘッドの動作に対応付けて強度波形（６２）として展開する強度波形生成手段（３３）、前記強度波形生成手段が展開した前記強度波形に対応する階調で描画された展開画像（６４）を生成する画像生成手段（３４）、及び、前記設定手段が前記表面検査装置に与える前記操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェース（２５）を所定の表示手段（２２）に表示させることにより提供するインタフェース制御手段（４０）、として機能させるとともに、前記グラフィカルユーザインタフェースに、前記強度波形生成手段が生成した前記強度波形を表示する強度波形表示部（６１）と、前記画像生成手段が生成した前記展開画像を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する展開画像表示部（６３）とが設けられるように、前記インタフェース制御手段を機能させるものである。
【０００９】
本発明によれば、グラフィカルユーザインタフェースを利用してユーザが表面検査装置を動作させるための操作情報を入力できるのでユーザによる入力作業が容易となる。また、グラフィカルユーザインタフェースには、光強度の強度波形が表示されるので、強度波形を見ながら行うユーザの入力操作が視覚的一体感を伴ったものとなり作業性が向上し、かつ従来のようにオシロスコープ等の表示機器を別途準備する必要がない。しかも、このグラフィカルユーザインタフェースには、強度波形だけでなくその波形に対応した階調の画像が併せて表示されるので、強度波形だけが表示される場合に比べて表面検査装置の動作状態を直感的に理解し易くなって作業が捗る利点がある。
【００１０】
本発明の保守システムの一態様において、前記表面検査装置は、軸状に構成された前記検査ヘッドを軸線方向に移動させながら軸線の回りを回転させつつ、前記検査ヘッドの外周から前記検査光を照射し、かつ前記反射光を前記検査ヘッドを介して受光できるように構成されており、前記強度波形生成手段は、前記検査ヘッドの回転動作に対応付けられかつ時間に関して展開された波形を前記強度波形として生成し、前記検査ヘッドの回転動作に同期した信号を時間に関して展開した動作波形（６７）を生成する動作波形生成手段（３５）を更に備え、前記グラフィカルユーザインタフェースには、前記動作波形生成手段が生成した前記動作波形を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する動作波形表示部（６５）が更に設けられててもよい。この態様によれば、検査ヘッドの回転動作が動作波形によって視覚的に理解できるから、グラフィカルユーザインタフェースに動作波形、強度波形及び展開画像が対応して表示されることによって、強度波形及び展開画像から得られる情報を検査ヘッドの回転動作に対応付けて直感的に理解することができる。
【００１１】
なお、以上の説明では本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【発明の効果】
【００１２】
以上に説明したように、本発明によれば、グラフィカルユーザインタフェースを利用してユーザが表面検査装置を動作させるための操作情報を入力できるのでユーザによる入力作業が容易となる。また、グラフィカルユーザインタフェースには、光強度の強度波形が表示されるので、強度波形を見ながら行うユーザの入力操作が視覚的一体感を伴ったものとなり作業性が向上し、かつ従来のようにオシロスコープ等の表示機器を別途準備する必要がない。しかも、このグラフィカルユーザインタフェースには、強度波形だけでなくその波形に対応した階調の画像が併せて表示されるので、強度波形だけが表示される場合に比べて表面検査装置の動作状態を直感的に理解し易くなって作業が捗る利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】表面検査装置に適用された一形態に係る保守システムの構成を示した全体構成図。
【図２】図１の保守システムの機能を説明するブロック図。
【図３】グラフィカルユーザインタフェースの一例を示した図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示したように、表面検査装置１は被検査物である円筒形状のシリンダライナ１００の内周面１０１（表面）の検査に利用される装置である。表面検査装置１は周知のものと同様であるので以下構成を簡単に説明する。表面検査装置１は検査を実行するための検査機構２と、検査機構２の動作制御を行うとともに測定結果の出力及び操作信号の入力等を行うことができる制御回路を含む制御ボックス３とを備えている。制御ボックス３には所定の電源ＰＳから電力が供給される。
【００１５】
検査機構２は軸状に延びてシリンダライナ１００に挿入される検査ヘッド４を有する検出ユニット５と、検出ユニット５に所定の動作を与える駆動ユニット６とを備える。検出ユニット５は検査ヘッド４の先端部の外周から検査光であるレーザ光Ｌａを照射させかつ内周面１０１からの反射光Ｒｅを受光して、その反射光Ｒｅの強度に応じた信号を出力できるように構成されている。駆動ユニット６は検査ヘッド４を軸線Ａｘの回りに回転駆動する回転駆動機構８と、検査ヘッド４を軸線Ａｘの方向に移動できる直線駆動機構９とを備える。回転駆動機構８は検査ヘッド４の回転動作に応じた信号を出力するエンコーダ１０を有している。検出ユニット５及び駆動ユニット６はそれぞれ制御ボックス３に電気的に接続されており、制御ボックス３には例えば検出ユニット５から出力される反射光の強度信号やエンコーダ１０からの出力信号が入力されるとともに、制御ボックス３からは検出ユニット５及び駆動ユニット６を動作させるための信号が出力される。
【００１６】
保守システム２０は表面検査装置１の各種動作を制御し、かつ動作時の各種の設定パラメータを調整することができる。例えば、保守システム２０は、検査ヘッド４の直線及び回転動作の実行及び停止並びに直線移動量及び回転速度の各調整、レーザ光Ｌａの照射及びその停止並びにその強度調整、検査ヘッド４の焦点距離調整などを行うことができる。保守システム２０は表面検査装置１の制御ボックス３に電気的に接続されたコンピュータ２１と、所定の表示手段である液晶ディスプレイ２２と、コンピュータ２１に接続される入力手段であるキーボード２３及びマウス２４とを含んでいる。コンピュータ２１としては、マイクロプロセッサ並びにその動作に必要なＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等の記憶装置、グラフィックボード及び入出力インタフェース等の周辺装置を含んだ汎用のパーソナルコンピュータが使用される。コンピュータ２１には表面検査装置１に対する上記の各種操作を行うためのプログラムがインストールされている。コンピュータ２１がこのプログラムを実行することにより、図２に示した各機能部がその内部に論理的に構成され、かつ保守作業に必要な入力操作を可能とするグラフィカルユーザインタフェース（以下、ＧＵＩという）２５が液晶ディスプレイ２２に表示される。
【００１７】
図２に示したように、設定部３１は表面検査装置１に対して所定の操作情報を与える。操作情報には、各種の設定パラメータとして、検査ヘッド４の直線移動量、回転速度、レーザ光Ｌａの強度及び焦点距離等が含まれるとともに、動作指令として、検査ヘッド４の直線移動又は回転の実行／停止指令、レーザ光Ｌａの出力の実行／停止指令、不図示のシャッタの開閉指令等が含まれる。設定部３１が出力する操作情報が入出力ポート３０を介して制御ボックス３に入力された場合、制御ボックス３はその操作情報に従った動作を与えるために検出ユニット５又は駆動ユニット６へ制御信号を送る。
【００１８】
強度演算部３２は検査ユニット５から出力された反射光Ｒｅの強度に応じた強度信号（強度情報）を入出力ポート３０を介して受信し、強度信号に所定の処理を施して強度波形生成部３３へ送る。強度波形生成部３３は強度信号を基礎とした強度波形を生成する。強度信号は所定周期で検査ユニット５から出力されるので、強度波形生成部３３が強度信号を時間に関して展開することにより強度波形を生成できる。これにより、強度波形は結果として検査ヘッドの動作に対応付けられたものとなる。その強度波形を特定する情報は画像生成部３４及びインタフェース制御部４０に送られる。画像生成部３４は強度波形生成部３３が展開した強度波形の各強度値を階調値に変換し、その階調値を持つ展開画像を生成する。つまり、強度波形に対応する階調で描画された展開画像が画像生成部３４にて生成される。展開画像の画像データはインタフェース制御部４０に送られる。
【００１９】
動作波形生成部３５は制御ボックス３に入力されたエンコーダ１０の信号を入出力ポート３０を介して受信し、その信号に基づいて検査ヘッド４の動作波形を生成する。エンコーダ１０の信号は検査ヘッド４の回転動作に同期した信号であるから動作波形生成部３５が生成する動作波形は時間に関して展開された波形となる。動作波形を特定する情報はインタフェース制御部４０に送られる。
【００２０】
設定情報取得部３６は制御ボックス３が検査ユニット５及び駆動ユニット６のそれぞれに現在与えている設定情報、換言すれば表面検査装置１の現在の動作状態を特定する動作情報をインタフェース制御部４０のリクエスト（ＧＵＩ２５を利用したユーザの操作）に応じて取得し、その動作情報をインタフェース制御部４０に送る。
【００２１】
インタフェース制御部４０は、設定部３１が表面検査装置１に与える上述した操作情報をユーザが入力できるように構成されたＧＵＩ２５を液晶ディスプレイ２２に表示させることにより提供する。更に、インタフェース制御部４０は、ＧＵＩ２５を利用したユーザの操作情報、具体的にはマウス２４の操作情報を受信し、その操作情報を設定部３１に送る。
【００２２】
図３に示したように、ＧＵＩ２５にはユーザによるマウス２４を用いた操作を受け付ける各種の操作部４１等が配置され、かつ表面検査装置１の動作に関連する視覚的情報を表示する各種の表示部６１等が配置されている。以下、代表的な操作部及び表示部の機能を説明する。なお、以下の記述では、冗長な表現を避けるために表面検査装置１の各部に対して「操作できる」あるいは「設定できる」等の表現を使用してＧＵＩ２５に設けられた操作部４１等の機能を説明している。これらの表現はＧＵＩ２５がユーザの操作を受け付けることによってインタフェース制御部４０がその操作情報を設定部３１に送り、設定部３１が当該情報を制御ボックス３に送る結果として、表面検査装置１の各部を「操作できる」あるいは「設定できる」ということを意味する。
【００２３】
直線移動操作部４１は検査ヘッド４の直線移動に関する各種操作を行える操作部である。直線移動操作部４１はスクロールバー４２の操作により移動距離を設定できる。移動距離の設定許容範囲はスクロールバー４２の移動可能範囲に対応している。従って確実に誤入力を防止できる。移動ボタン４３をクリックすることにより、設定された移動距離だけ検査ヘッド４を移動させる操作を行える。また、移動速度及び移動ピッチをラジオボタン４３ａ、４３ｂのクリックにより選択できる。そして、前進ボタン４４ａ又は後進ボタン４４ｂのクリックにより、選択済の移動速度及び移動ピッチで前進又は後進させる操作を行える。
【００２４】
焦点距離操作部４５は、検査ヘッド４から照射されるレーザ光Ｌａの焦点距離を設定するための操作部である。図示の形態は、検査対象となるシリンダライナ１００の内径（検査径）の入力操作を受け付けることによって焦点距離の設定が達成される。操作部４５は上記と同様に、スクロールバー４６の操作により検査径の設定操作を行うことができる。設定ボタン４７の操作により検査径の設定操作が開始される。焦点距離操作部４５の中央の数値は設定値を示していて、設定済の場合と未設定の場合とで数値の背景色が変化するようになっている。
【００２５】
光強度操作部５０は、レーザ光Ｌａの光強度の設定を行える操作部である。光強度の設定はスクロールバー５１の操作により行うことができ、ＯＮボタン５２を操作することでレーザ光Ｌａの出力をＯＮ／ＯＦＦ操作できる。中央の数値は設定値を示し、上記と同様に設定済の場合と未設定の場合とで数値の背景色が変化するようになっている。
【００２６】
回転操作部５３は検査ヘッド４の回転動作に関する操作を行うための操作部である。プルダウン部５４を操作して検査ヘッド４の回転速度（回転数）を設定することが可能となる。回転ボタン５５及び停止ボタン５６を操作することにより、検査ヘッド４の回転動作をＯＮ／ＯＦＦ操作できる。シャッタ操作部５８は不図示のシャッタを開閉させるための操作部であり、開ボタン５９及び閉ボタン６０の操作によってシャッタを開閉できる。
【００２７】
強度波形表示部６１は図２の強度波形生成部３３が生成した強度波形を表示する表示部である。この強度波形６２はインタフェース制御部４０が強度波形生成部３３から受け取った強度波形を特定する情報に基づいて強度波形表示部６１に表示させたものである。強度波形表示部６１の横軸は時間軸である。
【００２８】
展開画像表示部６３は図２の画像生成部３４が生成した展開画像を表示する表示部である。展開画像６４はインタフェース制御部４０が画像生成部３４から受け取った展開画像を特定する情報に基づいて展開画像表示部６３に表示させたものである。展開画像６４は強度波形表示部６１に表示される強度波形６２に対応させた状態で表示される。展開画像６４は、横方向に延びる一本の細い展開画像を一単位として、その一単位が時間経過とともに上端から下方に向かって順番に並べられることによって展開画像表示部６３に表示される。従って、展開画像表示部６３に表示される展開画像６４は時間経過とともに一単位が入れ替わるので上端から少しずつ更新され、その更新動作が繰り返される。
【００２９】
動作波形表示部６５は図２の動作波形生成部３５が生成した動作波形を表示する表示部である。この動作波形６６はインタフェース制御部４０が動作波形生成部３５から受け取った動作波形を特定する情報に基づいて動作波形表示部６５に表示させたものである。動作波形６６には検査ヘッド４の一回転当たりに１回のオフピーク６７が存在する。従って、２つのオフピーク６７の間隔は検査ヘッド４が一回転する時間を示す。動作波形表示部６５の横軸は強度波形表示部６１の横軸と共通の時間軸である。従って、動作波形６６も強度波形６２に対応する状態で表示されている。
【００３０】
設定情報表示部６８は情報取得操作部７０に対するユーザの操作に応答して制御ボックス３の設定情報等を表示する表示部である。設定情報表示部６８には各種設定情報を表示する表示領域６９ａ〜６９ｄが配置されている。情報取得操作部７０には各表示領域６９ａ〜６９ｄに対応付けられた操作ボタン７１〜７４が設けられている。これらの操作ボタン７１〜７４はユーザが操作できる状態に設けられている。例えば、情報取得ボタン７１に対して操作が行われると、その応答としてインタフェース制御部４０が図２の情報取得部３６から受け取った設定情報を文字情報として表示領域６９ａに表示させる。同様に、回転数取得ボタン７２に対する操作に応答して表示領域６９ｂに検査ヘッド４の回転数が、エンコーダパルス数取得ボタン７３に対する操作に応答して表示領域６９ｃにエンコーダ１０のパルス数が、内部電圧取得ボタン７４に対する操作に応答して表示領域６９ｄに表面検査装置１の内部電圧が、文字情報としてそれぞれ表示される。
【００３１】
その他、ＧＵＩ２５には、検査ヘッド４の基準位置である原点位置を設定するための原点位置設定操作部７５や設定された原点位置に検査ヘッド４を復帰させる原点復帰操作部７６が設けられている。
【００３２】
以上に説明した保守システム２０によれば、ＧＵＩ２５を利用してユーザが表面検査装置１を動作させるための操作情報を入力できるのでユーザによる入力作業が容易となる。また、ＧＵＩ２５には強度波形６１が表示されるので、強度波形６１を見ながら行うユーザの入力操作が視覚的一体感を伴ったものとなり作業性が向上し、かつ従来のようにオシロスコープ等の表示機器を別途準備する必要がない。しかも、このＧＵＩ２５には、強度波形６１だけでなくその波形６１に対応した階調の展開画像６３が併せて表示されるので、強度波形６１だけが表示される場合に比べて表面検査装置１の動作状態を直感的に理解し易くなって作業が捗る利点がある。
【００３３】
また、検査ヘッド４の回転動作がＧＵＩ２５に表示された動作波形６６によって視覚的に理解できるから、ＧＵＩ２５に動作波形６６、強度波形６２及び展開画像６４が対応して表示されることによって、強度波形６２及び展開画像６４から得られる情報を検査ヘッド４の回転動作に対応付けて直感的に理解することができる。
【００３４】
以上の説明から明らかなように、保守システム２０においては、図２に示した設定部３１が本発明の設定手段に、強度波形生成部３３が本発明の強度波形生成手段に、画像生成部３４が本発明の画像生成手段に、インタフェース制御部４０が本発明のインタフェース制御手段に、それぞれ相当する。
【００３５】
本発明は上記の形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内において種々の形態にて実施できる。保守システムの適用対象としては、検査ヘッドが回転及び軸方向に移動する図示の表面検査装置に限らず、被検査物に対して検査ヘッドを直線移動させるだけの表面検査装置に対しても適用可能である。
【００３６】
ＧＵＩを利用する際のユーザが用いる入力手段としてはマウス２４に限られず、例えばその入力手段として、タッチパッド等の他のポインティングデバイスや音声入力デバイスを用いることができる。上記形態の保守システムは、液晶ディスプレイ２２とマウス２４とを別々に備えていて、ＧＵＩを表示させる表示手段と、ユーザが用いる入力手段とが物理的に分けられている。しかし、このように実施することは一例であり、例えば、ＧＵＩを表示させる表示手段と入力手段とを一体化させたタッチパネル等の接触式デバイスを用いることも可能である。また、保守システムを実現するコンピュータとして、汎用のパーソナルコンピュータを用いることは一例であり、当該保守システム専用のコンピュータにて保守システムを実現することも可能である。
【００３７】
上記形態に係るＧＵＩ２５はマウス２４のみで各種の操作ができるものである。しかし、本発明の保守システムをキーボードの操作をも受け付け得るＧＵＩを用いた形態で実施することもできる。特に、キーボードの使用が有利な操作、例えば数値の入力操作等の一定範囲でキーボードの使用を許容するＧＵＩを用いた形態で本発明を実施することにより操作性の向上が期待できる。
【符号の説明】
【００３８】
１ 表面検査装置
４ 検査ヘッド
２０ 保守システム
２２ 液晶ディスプレイ（表示手段）
２５ ＧＵＩ
３１ 設定部（設定手段）
３３ 強度波形生成部（強度波形生成手段）
３４ 画像生成部（画像生成手段）
３５ 動作波形生成部（動作波形生成手段）
４０ インタフェース制御部（インタフェース制御手段）
６１ 強度波形表示部
６２ 強度波形
６３ 展開画像表示部
６４ 展開画像
６５ 動作波形表示部
６６ 動作波形
１００ シリンダライナ（被検査物）
１０１ 内周面（表面）
Ａｘ 検査ヘッドの軸線
Ｌａ レーザ光（検査光）
Ｒｅ 反射光
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物に照射された検査光の反射光の強度に基づいて被検査物の表面を検査する表面検査装置に適用される保守システム及びそのコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面検査装置として、円筒状の被検査物の内周面を検査する装置として、軸状の検査ヘッドをその軸線の回り回転させつつ軸線方向に送り出して被検査物の内部に検査ヘッドを挿入し、その検査ヘッドの外周から検査光としてのレーザ光を被検査物に照射するとともに、被検査物からの反射光を検査ヘッドを介して受光し、その受光した反射光に基づいて被検査物の内周面の状態、例えば欠陥等の有無を判別する表面検査装置が周知である（例えば、特許文献１）。その他、本発明に関連する先行技術文献として特許文献２及び３が存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３０９６９６号公報
【特許文献２】特開２００３−２２２６４３号公報
【特許文献３】特開２００５−６９８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような表面検査装置は、被検査物を逐次検査する検査ラインに組み込んで使用される場合がある。特に、このような形態で表面検査装置を使用する場合には、被検査物又は検査箇所の変更等の検査条件の変更に伴って表面検査装置の据え付け位置の変更や動作範囲の変更が必要となる。そのため、稼働条件変更後の正式運用の前に表面検査装置の据え付け状態の確認作業を伴う試運転を実施したり動作を確認する保守作業が行われる。
【０００５】
従来、このような保守作業においては、表面検査装置を動作させるための専用のソフトウエアがインストールされたパーソナルコンピュータを表面検査装置に接続するとともに、表面検査装置が出力する光強度の強度波形を表示するオシロスコープを表面検査装置に接続し、オシロスコープの表示内容を確認しつつ、所定のコマンドや設定パラメータの数値をユーザがキーボードを用いて入力して表面検査装置の試運転や据え付け状態の確認を行っていた。キーボードを用いた手入力は完全な誤入力の排除が難しいため、コマンド等の誤入力があると保守作業中に表面検査装置が想定外に動作して装置の損傷を招く可能性がある。また、オシロスコープの表示内容を確認しながらのコマンド入力作業は、視覚的な一体感が損なわれるので作業性が悪化する。また、オシロスコープ等の外部機器を準備して保守作業を行う環境をユーザが整備しなければならなかった。
【０００６】
そこで、本発明は表面検査装置の保守作業を容易にできる表面検査装置の保守システム及びコンピュータプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の表面検査装置の保守システムは、検査ヘッド（４）を被検査物（１００）に対して動かしながら、前記検査ヘッドから前記被検査物に向かって検査光（Ｌａ）を照射するとともに、前記検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光（Ｒｅ）を前記検査ヘッドを介して受光し、受光した前記反射光の強度に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置（１）に適用される保守システム（２０）であって、前記表面検査装置を動作させるための各種の設定パラメータ及び動作指令を含む操作情報を前記表面検査装置に与える設定手段（３１）と、前記表面検査装置から出力された前記反射光の強度に関する強度情報を前記検査ヘッドの動作に対応付けて強度波形（６２）として展開する強度波形生成手段（３３）と、前記強度波形生成手段が展開した前記強度波形に対応する階調で描画された展開画像（６４）を生成する画像生成手段（３４）と、前記設定手段が前記表面検査装置に与える前記操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェース（２５）を所定の表示手段（２２）に表示させることにより提供するインタフェース制御手段（４０）と、を備え、前記インタフェース制御手段が提供する前記グラフィカルユーザインタフェースには、前記強度波形生成手段が生成した前記強度波形を表示する強度波形表示部（６１）と、前記画像生成手段が生成した前記展開画像を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する展開画像表示部（６３）とが設けられているものである。
【０００８】
本発明のコンピュータプログラムは、検査ヘッド（４）を被検査物（１００）に対して動かしながら、前記検査ヘッドから前記被検査物に向かって検査光（Ｌａ）を照射するとともに、前記検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光（Ｒｅ）を前記検査ヘッドを介して受光し、受光した前記反射光の強度に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置（１）に適用される保守システム（２０）のコンピュータ（２１）を、前記表面検査装置を動作させるための各種の設定パラメータ及び動作指令を含む操作情報を前記表面検査装置に与える設定手段（３１）、前記表面検査装置から出力された前記反射光の強度に関する強度情報を前記検査ヘッドの動作に対応付けて強度波形（６２）として展開する強度波形生成手段（３３）、前記強度波形生成手段が展開した前記強度波形に対応する階調で描画された展開画像（６４）を生成する画像生成手段（３４）、及び、前記設定手段が前記表面検査装置に与える前記操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェース（２５）を所定の表示手段（２２）に表示させることにより提供するインタフェース制御手段（４０）、として機能させるとともに、前記グラフィカルユーザインタフェースに、前記強度波形生成手段が生成した前記強度波形を表示する強度波形表示部（６１）と、前記画像生成手段が生成した前記展開画像を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する展開画像表示部（６３）とが設けられるように、前記インタフェース制御手段を機能させるものである。
【０００９】
本発明によれば、グラフィカルユーザインタフェースを利用してユーザが表面検査装置を動作させるための操作情報を入力できるのでユーザによる入力作業が容易となる。また、グラフィカルユーザインタフェースには、光強度の強度波形が表示されるので、強度波形を見ながら行うユーザの入力操作が視覚的一体感を伴ったものとなり作業性が向上し、かつ従来のようにオシロスコープ等の表示機器を別途準備する必要がない。しかも、このグラフィカルユーザインタフェースには、強度波形だけでなくその波形に対応した階調の画像が併せて表示されるので、強度波形だけが表示される場合に比べて表面検査装置の動作状態を直感的に理解し易くなって作業が捗る利点がある。
【００１０】
本発明の保守システムの一態様において、前記表面検査装置は、軸状に構成された前記検査ヘッドを軸線方向に移動させながら軸線の回りを回転させつつ、前記検査ヘッドの外周から前記検査光を照射し、かつ前記反射光を前記検査ヘッドを介して受光できるように構成されており、前記強度波形生成手段は、前記検査ヘッドの回転動作に対応付けられかつ時間に関して展開された波形を前記強度波形として生成し、前記検査ヘッドの回転動作に同期した信号を時間に関して展開した動作波形（６７）を生成する動作波形生成手段（３５）を更に備え、前記グラフィカルユーザインタフェースには、前記動作波形生成手段が生成した前記動作波形を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する動作波形表示部（６５）が更に設けられててもよい。この態様によれば、検査ヘッドの回転動作が動作波形によって視覚的に理解できるから、グラフィカルユーザインタフェースに動作波形、強度波形及び展開画像が対応して表示されることによって、強度波形及び展開画像から得られる情報を検査ヘッドの回転動作に対応付けて直感的に理解することができる。
【００１１】
なお、以上の説明では本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【発明の効果】
【００１２】
以上に説明したように、本発明によれば、グラフィカルユーザインタフェースを利用してユーザが表面検査装置を動作させるための操作情報を入力できるのでユーザによる入力作業が容易となる。また、グラフィカルユーザインタフェースには、光強度の強度波形が表示されるので、強度波形を見ながら行うユーザの入力操作が視覚的一体感を伴ったものとなり作業性が向上し、かつ従来のようにオシロスコープ等の表示機器を別途準備する必要がない。しかも、このグラフィカルユーザインタフェースには、強度波形だけでなくその波形に対応した階調の画像が併せて表示されるので、強度波形だけが表示される場合に比べて表面検査装置の動作状態を直感的に理解し易くなって作業が捗る利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】表面検査装置に適用された一形態に係る保守システムの構成を示した全体構成図。
【図２】図１の保守システムの機能を説明するブロック図。
【図３】グラフィカルユーザインタフェースの一例を示した図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示したように、表面検査装置１は被検査物である円筒形状のシリンダライナ１００の内周面１０１（表面）の検査に利用される装置である。表面検査装置１は周知のものと同様であるので以下構成を簡単に説明する。表面検査装置１は検査を実行するための検査機構２と、検査機構２の動作制御を行うとともに測定結果の出力及び操作信号の入力等を行うことができる制御回路を含む制御ボックス３とを備えている。制御ボックス３には所定の電源ＰＳから電力が供給される。
【００１５】
検査機構２は軸状に延びてシリンダライナ１００に挿入される検査ヘッド４を有する検出ユニット５と、検出ユニット５に所定の動作を与える駆動ユニット６とを備える。検出ユニット５は検査ヘッド４の先端部の外周から検査光であるレーザ光Ｌａを照射させかつ内周面１０１からの反射光Ｒｅを受光して、その反射光Ｒｅの強度に応じた信号を出力できるように構成されている。駆動ユニット６は検査ヘッド４を軸線Ａｘの回りに回転駆動する回転駆動機構８と、検査ヘッド４を軸線Ａｘの方向に移動できる直線駆動機構９とを備える。回転駆動機構８は検査ヘッド４の回転動作に応じた信号を出力するエンコーダ１０を有している。検出ユニット５及び駆動ユニット６はそれぞれ制御ボックス３に電気的に接続されており、制御ボックス３には例えば検出ユニット５から出力される反射光の強度信号やエンコーダ１０からの出力信号が入力されるとともに、制御ボックス３からは検出ユニット５及び駆動ユニット６を動作させるための信号が出力される。
【００１６】
保守システム２０は表面検査装置１の各種動作を制御し、かつ動作時の各種の設定パラメータを調整することができる。例えば、保守システム２０は、検査ヘッド４の直線及び回転動作の実行及び停止並びに直線移動量及び回転速度の各調整、レーザ光Ｌａの照射及びその停止並びにその強度調整、検査ヘッド４の焦点距離調整などを行うことができる。保守システム２０は表面検査装置１の制御ボックス３に電気的に接続されたコンピュータ２１と、所定の表示手段である液晶ディスプレイ２２と、コンピュータ２１に接続される入力手段であるキーボード２３及びマウス２４とを含んでいる。コンピュータ２１としては、マイクロプロセッサ並びにその動作に必要なＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等の記憶装置、グラフィックボード及び入出力インタフェース等の周辺装置を含んだ汎用のパーソナルコンピュータが使用される。コンピュータ２１には表面検査装置１に対する上記の各種操作を行うためのプログラムがインストールされている。コンピュータ２１がこのプログラムを実行することにより、図２に示した各機能部がその内部に論理的に構成され、かつ保守作業に必要な入力操作を可能とするグラフィカルユーザインタフェース（以下、ＧＵＩという）２５が液晶ディスプレイ２２に表示される。
【００１７】
図２に示したように、設定部３１は表面検査装置１に対して所定の操作情報を与える。操作情報には、各種の設定パラメータとして、検査ヘッド４の直線移動量、回転速度、レーザ光Ｌａの強度及び焦点距離等が含まれるとともに、動作指令として、検査ヘッド４の直線移動又は回転の実行／停止指令、レーザ光Ｌａの出力の実行／停止指令、不図示のシャッタの開閉指令等が含まれる。設定部３１が出力する操作情報が入出力ポート３０を介して制御ボックス３に入力された場合、制御ボックス３はその操作情報に従った動作を与えるために検出ユニット５又は駆動ユニット６へ制御信号を送る。
【００１８】
強度演算部３２は検査ユニット５から出力された反射光Ｒｅの強度に応じた強度信号（強度情報）を入出力ポート３０を介して受信し、強度信号に所定の処理を施して強度波形生成部３３へ送る。強度波形生成部３３は強度信号を基礎とした強度波形を生成する。強度信号は所定周期で検査ユニット５から出力されるので、強度波形生成部３３が強度信号を時間に関して展開することにより強度波形を生成できる。これにより、強度波形は結果として検査ヘッドの動作に対応付けられたものとなる。その強度波形を特定する情報は画像生成部３４及びインタフェース制御部４０に送られる。画像生成部３４は強度波形生成部３３が展開した強度波形の各強度値を階調値に変換し、その階調値を持つ展開画像を生成する。つまり、強度波形に対応する階調で描画された展開画像が画像生成部３４にて生成される。展開画像の画像データはインタフェース制御部４０に送られる。
【００１９】
動作波形生成部３５は制御ボックス３に入力されたエンコーダ１０の信号を入出力ポート３０を介して受信し、その信号に基づいて検査ヘッド４の動作波形を生成する。エンコーダ１０の信号は検査ヘッド４の回転動作に同期した信号であるから動作波形生成部３５が生成する動作波形は時間に関して展開された波形となる。動作波形を特定する情報はインタフェース制御部４０に送られる。
【００２０】
設定情報取得部３６は制御ボックス３が検査ユニット５及び駆動ユニット６のそれぞれに現在与えている設定情報、換言すれば表面検査装置１の現在の動作状態を特定する動作情報をインタフェース制御部４０のリクエスト（ＧＵＩ２５を利用したユーザの操作）に応じて取得し、その動作情報をインタフェース制御部４０に送る。
【００２１】
インタフェース制御部４０は、設定部３１が表面検査装置１に与える上述した操作情報をユーザが入力できるように構成されたＧＵＩ２５を液晶ディスプレイ２２に表示させることにより提供する。更に、インタフェース制御部４０は、ＧＵＩ２５を利用したユーザの操作情報、具体的にはマウス２４の操作情報を受信し、その操作情報を設定部３１に送る。
【００２２】
図３に示したように、ＧＵＩ２５にはユーザによるマウス２４を用いた操作を受け付ける各種の操作部４１等が配置され、かつ表面検査装置１の動作に関連する視覚的情報を表示する各種の表示部６１等が配置されている。以下、代表的な操作部及び表示部の機能を説明する。なお、以下の記述では、冗長な表現を避けるために表面検査装置１の各部に対して「操作できる」あるいは「設定できる」等の表現を使用してＧＵＩ２５に設けられた操作部４１等の機能を説明している。これらの表現はＧＵＩ２５がユーザの操作を受け付けることによってインタフェース制御部４０がその操作情報を設定部３１に送り、設定部３１が当該情報を制御ボックス３に送る結果として、表面検査装置１の各部を「操作できる」あるいは「設定できる」ということを意味する。
【００２３】
直線移動操作部４１は検査ヘッド４の直線移動に関する各種操作を行える操作部である。直線移動操作部４１はスクロールバー４２の操作により移動距離を設定できる。移動距離の設定許容範囲はスクロールバー４２の移動可能範囲に対応している。従って確実に誤入力を防止できる。移動ボタン４３をクリックすることにより、設定された移動距離だけ検査ヘッド４を移動させる操作を行える。また、移動速度及び移動ピッチをラジオボタン４３ａ、４３ｂのクリックにより選択できる。そして、前進ボタン４４ａ又は後進ボタン４４ｂのクリックにより、選択済の移動速度及び移動ピッチで前進又は後進させる操作を行える。
【００２４】
焦点距離操作部４５は、検査ヘッド４から照射されるレーザ光Ｌａの焦点距離を設定するための操作部である。図示の形態は、検査対象となるシリンダライナ１００の内径（検査径）の入力操作を受け付けることによって焦点距離の設定が達成される。操作部４５は上記と同様に、スクロールバー４６の操作により検査径の設定操作を行うことができる。設定ボタン４７の操作により検査径の設定操作が開始される。焦点距離操作部４５の中央の数値は設定値を示していて、設定済の場合と未設定の場合とで数値の背景色が変化するようになっている。
【００２５】
光強度操作部５０は、レーザ光Ｌａの光強度の設定を行える操作部である。光強度の設定はスクロールバー５１の操作により行うことができ、ＯＮボタン５２を操作することでレーザ光Ｌａの出力をＯＮ／ＯＦＦ操作できる。中央の数値は設定値を示し、上記と同様に設定済の場合と未設定の場合とで数値の背景色が変化するようになっている。
【００２６】
回転操作部５３は検査ヘッド４の回転動作に関する操作を行うための操作部である。プルダウン部５４を操作して検査ヘッド４の回転速度（回転数）を設定することが可能となる。回転ボタン５５及び停止ボタン５６を操作することにより、検査ヘッド４の回転動作をＯＮ／ＯＦＦ操作できる。シャッタ操作部５８は不図示のシャッタを開閉させるための操作部であり、開ボタン５９及び閉ボタン６０の操作によってシャッタを開閉できる。
【００２７】
強度波形表示部６１は図２の強度波形生成部３３が生成した強度波形を表示する表示部である。この強度波形６２はインタフェース制御部４０が強度波形生成部３３から受け取った強度波形を特定する情報に基づいて強度波形表示部６１に表示させたものである。強度波形表示部６１の横軸は時間軸である。
【００２８】
展開画像表示部６３は図２の画像生成部３４が生成した展開画像を表示する表示部である。展開画像６４はインタフェース制御部４０が画像生成部３４から受け取った展開画像を特定する情報に基づいて展開画像表示部６３に表示させたものである。展開画像６４は強度波形表示部６１に表示される強度波形６２に対応させた状態で表示される。展開画像６４は、横方向に延びる一本の細い展開画像を一単位として、その一単位が時間経過とともに上端から下方に向かって順番に並べられることによって展開画像表示部６３に表示される。従って、展開画像表示部６３に表示される展開画像６４は時間経過とともに一単位が入れ替わるので上端から少しずつ更新され、その更新動作が繰り返される。
【００２９】
動作波形表示部６５は図２の動作波形生成部３５が生成した動作波形を表示する表示部である。この動作波形６６はインタフェース制御部４０が動作波形生成部３５から受け取った動作波形を特定する情報に基づいて動作波形表示部６５に表示させたものである。動作波形６６には検査ヘッド４の一回転当たりに１回のオフピーク６７が存在する。従って、２つのオフピーク６７の間隔は検査ヘッド４が一回転する時間を示す。動作波形表示部６５の横軸は強度波形表示部６１の横軸と共通の時間軸である。従って、動作波形６６も強度波形６２に対応する状態で表示されている。
【００３０】
設定情報表示部６８は情報取得操作部７０に対するユーザの操作に応答して制御ボックス３の設定情報等を表示する表示部である。設定情報表示部６８には各種設定情報を表示する表示領域６９ａ〜６９ｄが配置されている。情報取得操作部７０には各表示領域６９ａ〜６９ｄに対応付けられた操作ボタン７１〜７４が設けられている。これらの操作ボタン７１〜７４はユーザが操作できる状態に設けられている。例えば、情報取得ボタン７１に対して操作が行われると、その応答としてインタフェース制御部４０が図２の情報取得部３６から受け取った設定情報を文字情報として表示領域６９ａに表示させる。同様に、回転数取得ボタン７２に対する操作に応答して表示領域６９ｂに検査ヘッド４の回転数が、エンコーダパルス数取得ボタン７３に対する操作に応答して表示領域６９ｃにエンコーダ１０のパルス数が、内部電圧取得ボタン７４に対する操作に応答して表示領域６９ｄに表面検査装置１の内部電圧が、文字情報としてそれぞれ表示される。
【００３１】
その他、ＧＵＩ２５には、検査ヘッド４の基準位置である原点位置を設定するための原点位置設定操作部７５や設定された原点位置に検査ヘッド４を復帰させる原点復帰操作部７６が設けられている。
【００３２】
以上に説明した保守システム２０によれば、ＧＵＩ２５を利用してユーザが表面検査装置１を動作させるための操作情報を入力できるのでユーザによる入力作業が容易となる。また、ＧＵＩ２５には強度波形６１が表示されるので、強度波形６１を見ながら行うユーザの入力操作が視覚的一体感を伴ったものとなり作業性が向上し、かつ従来のようにオシロスコープ等の表示機器を別途準備する必要がない。しかも、このＧＵＩ２５には、強度波形６１だけでなくその波形６１に対応した階調の展開画像６３が併せて表示されるので、強度波形６１だけが表示される場合に比べて表面検査装置１の動作状態を直感的に理解し易くなって作業が捗る利点がある。
【００３３】
また、検査ヘッド４の回転動作がＧＵＩ２５に表示された動作波形６６によって視覚的に理解できるから、ＧＵＩ２５に動作波形６６、強度波形６２及び展開画像６４が対応して表示されることによって、強度波形６２及び展開画像６４から得られる情報を検査ヘッド４の回転動作に対応付けて直感的に理解することができる。
【００３４】
以上の説明から明らかなように、保守システム２０においては、図２に示した設定部３１が本発明の設定手段に、強度波形生成部３３が本発明の強度波形生成手段に、画像生成部３４が本発明の画像生成手段に、インタフェース制御部４０が本発明のインタフェース制御手段に、それぞれ相当する。
【００３５】
本発明は上記の形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内において種々の形態にて実施できる。保守システムの適用対象としては、検査ヘッドが回転及び軸方向に移動する図示の表面検査装置に限らず、被検査物に対して検査ヘッドを直線移動させるだけの表面検査装置に対しても適用可能である。
【００３６】
ＧＵＩを利用する際のユーザが用いる入力手段としてはマウス２４に限られず、例えばその入力手段として、タッチパッド等の他のポインティングデバイスや音声入力デバイスを用いることができる。上記形態の保守システムは、液晶ディスプレイ２２とマウス２４とを別々に備えていて、ＧＵＩを表示させる表示手段と、ユーザが用いる入力手段とが物理的に分けられている。しかし、このように実施することは一例であり、例えば、ＧＵＩを表示させる表示手段と入力手段とを一体化させたタッチパネル等の接触式デバイスを用いることも可能である。また、保守システムを実現するコンピュータとして、汎用のパーソナルコンピュータを用いることは一例であり、当該保守システム専用のコンピュータにて保守システムを実現することも可能である。
【００３７】
上記形態に係るＧＵＩ２５はマウス２４のみで各種の操作ができるものである。しかし、本発明の保守システムをキーボードの操作をも受け付け得るＧＵＩを用いた形態で実施することもできる。特に、キーボードの使用が有利な操作、例えば数値の入力操作等の一定範囲でキーボードの使用を許容するＧＵＩを用いた形態で本発明を実施することにより操作性の向上が期待できる。
【符号の説明】
【００３８】
１ 表面検査装置
４ 検査ヘッド
２０ 保守システム
２２ 液晶ディスプレイ（表示手段）
２５ ＧＵＩ
３１ 設定部（設定手段）
３３ 強度波形生成部（強度波形生成手段）
３４ 画像生成部（画像生成手段）
３５ 動作波形生成部（動作波形生成手段）
４０ インタフェース制御部（インタフェース制御手段）
６１ 強度波形表示部
６２ 強度波形
６３ 展開画像表示部
６４ 展開画像
６５ 動作波形表示部
６６ 動作波形
１００ シリンダライナ（被検査物）
１０１ 内周面（表面）
Ａｘ 検査ヘッドの軸線
Ｌａ レーザ光（検査光）
Ｒｅ 反射光
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査ヘッドを被検査物に対して動かしながら、前記検査ヘッドから前記被検査物に向かって検査光を照射するとともに、前記検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光を前記検査ヘッドを介して受光し、受光した前記反射光の強度に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置に適用される保守システムであって、
前記表面検査装置を動作させるための各種の設定パラメータ及び動作指令を含む操作情報を前記表面検査装置に与える設定手段と、
前記表面検査装置から出力された前記反射光の強度に関する強度情報を前記検査ヘッドの動作に対応付けて強度波形として展開する強度波形生成手段と、
前記強度波形生成手段が展開した前記強度波形に対応する階調で描画された展開画像を生成する画像生成手段と、
前記設定手段が前記表面検査装置に与える前記操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェースを所定の表示手段に表示させることにより提供するインタフェース制御手段と、を備え、
前記インタフェース制御手段が提供する前記グラフィカルユーザインタフェースには、前記強度波形生成手段が生成した前記強度波形を表示する強度波形表示部と、前記画像生成手段が生成した前記展開画像を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する展開画像表示部とが設けられている、
ことを特徴とする表面検査装置の保守システム。
【請求項２】
前記表面検査装置は、軸状に構成された前記検査ヘッドを軸線方向に移動させながら軸線の回りを回転させつつ、前記検査ヘッドの外周から前記検査光を照射し、かつ前記反射光を前記検査ヘッドを介して受光できるように構成されており、
前記強度波形生成手段は、前記検査ヘッドの回転動作に対応付けられかつ時間に関して展開された波形を前記強度波形として生成し、
前記検査ヘッドの回転動作に同期した信号を時間に関して展開した動作波形を生成する動作波形生成手段を更に備え、
前記グラフィカルユーザインタフェースには、前記動作波形生成手段が生成した前記動作波形を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する動作波形表示部が更に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の保守システム。
【請求項３】
検査ヘッドを被検査物に対して動かしながら、前記検査ヘッドから前記被検査物に向かって検査光を照射するとともに、前記検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光を前記検査ヘッドを介して受光し、受光した前記反射光の強度に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置に適用される保守システムのコンピュータを、
前記表面検査装置を動作させるための各種の設定パラメータ及び動作指令を含む操作情報を前記表面検査装置に与える設定手段、
前記表面検査装置から出力された前記反射光の強度に関する強度情報を前記検査ヘッドの動作に対応付けて強度波形として展開する強度波形生成手段、
前記強度波形生成手段が展開した前記強度波形に対応する階調で描画された展開画像を生成する画像生成手段、及び、
前記設定手段が前記表面検査装置に与える前記操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェースを所定の表示手段に表示させることにより提供するインタフェース制御手段、として機能させるとともに、
前記グラフィカルユーザインタフェースに、前記強度波形生成手段が生成した前記強度波形を表示する強度波形表示部と、前記画像生成手段が生成した前記展開画像を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する展開画像表示部とが設けられるように、前記インタフェース制御手段を機能させる、
ことを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１】
検査ヘッドを被検査物に対して動かしながら、前記検査ヘッドから前記被検査物に向かって検査光を照射するとともに、前記検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光を前記検査ヘッドを介して受光し、受光した前記反射光の強度に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置に適用される保守システムであって、
前記表面検査装置を動作させるための各種の設定パラメータ及び動作指令を含む操作情報を前記表面検査装置に与える設定手段と、
前記表面検査装置から出力された前記反射光の強度に関する強度情報を前記検査ヘッドの動作に対応付けて強度波形として展開する強度波形生成手段と、
前記強度波形生成手段が展開した前記強度波形に対応する階調で描画された展開画像を生成する画像生成手段と、
前記設定手段が前記表面検査装置に与える前記操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェースを所定の表示手段に表示させることにより提供するインタフェース制御手段と、を備え、
前記インタフェース制御手段が提供する前記グラフィカルユーザインタフェースには、前記強度波形生成手段が生成した前記強度波形を表示する強度波形表示部と、前記画像生成手段が生成した前記展開画像を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する展開画像表示部とが設けられている、
ことを特徴とする表面検査装置の保守システム。
【請求項２】
前記表面検査装置は、軸状に構成された前記検査ヘッドを軸線方向に移動させながら軸線の回りを回転させつつ、前記検査ヘッドの外周から前記検査光を照射し、かつ前記反射光を前記検査ヘッドを介して受光できるように構成されており、
前記強度波形生成手段は、前記検査ヘッドの回転動作に対応付けられかつ時間に関して展開された波形を前記強度波形として生成し、
前記検査ヘッドの回転動作に同期した信号を時間に関して展開した動作波形を生成する動作波形生成手段を更に備え、
前記グラフィカルユーザインタフェースには、前記動作波形生成手段が生成した前記動作波形を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する動作波形表示部が更に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の保守システム。
【請求項３】
検査ヘッドを被検査物に対して動かしながら、前記検査ヘッドから前記被検査物に向かって検査光を照射するとともに、前記検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光を前記検査ヘッドを介して受光し、受光した前記反射光の強度に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置に適用される保守システムのコンピュータを、
前記表面検査装置を動作させるための各種の設定パラメータ及び動作指令を含む操作情報を前記表面検査装置に与える設定手段、
前記表面検査装置から出力された前記反射光の強度に関する強度情報を前記検査ヘッドの動作に対応付けて強度波形として展開する強度波形生成手段、
前記強度波形生成手段が展開した前記強度波形に対応する階調で描画された展開画像を生成する画像生成手段、及び、
前記設定手段が前記表面検査装置に与える前記操作情報をユーザが入力できるように構成されたグラフィカルユーザインタフェースを所定の表示手段に表示させることにより提供するインタフェース制御手段、として機能させるとともに、
前記グラフィカルユーザインタフェースに、前記強度波形生成手段が生成した前記強度波形を表示する強度波形表示部と、前記画像生成手段が生成した前記展開画像を前記強度波形表示部に表示された前記強度波形と対応させた状態で表示する展開画像表示部とが設けられるように、前記インタフェース制御手段を機能させる、
ことを特徴とするコンピュータプログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１２−９３１３８（Ｐ２０１２−９３１３８Ａ）
【公開日】平成２４年５月１７日（２０１２．５．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２３９０１４（Ｐ２０１０−２３９０１４）
【出願日】平成２２年１０月２５日（２０１０．１０．２５）
【出願人】（３９００１４６６１）キリンテクノシステム株式会社 (126)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月１７日（２０１２．５．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１０月２５日（２０１０．１０．２５）
【出願人】（３９００１４６６１）キリンテクノシステム株式会社 (126)
【Ｆターム（参考）】
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