転がり軸受
【課題】容易に製造することができ、且つ、回転中に保持器が玉から力を受けて拡径あるいは縮径して保持器の一部が内外輪に摺動し、回転抵抗となることを抑制する転がり軸受を提供する。
【解決手段】内輪１２と、外輪１１と、内輪１２と外輪１１の間を周方向に転動自在な複数の玉１３と、玉１３をポケット１４内に収容した樹脂製の保持器２０と、を備え、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７を満たす転がり軸受１０であって、保持器２０は板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、重ね合わせた部分には少なくとも１つのポケット１４が設けられる。
【解決手段】内輪１２と、外輪１１と、内輪１２と外輪１１の間を周方向に転動自在な複数の玉１３と、玉１３をポケット１４内に収容した樹脂製の保持器２０と、を備え、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７を満たす転がり軸受１０であって、保持器２０は板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、重ね合わせた部分には少なくとも１つのポケット１４が設けられる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転がり軸受、特に薄肉の転がり軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄肉の転がり軸受（以下、薄肉軸受と呼ぶ。）は、図１１に示すように、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７の関係式を満たす転がり軸受として定義される。
【０００３】
この薄肉軸受としては、４点接触軸受やアンギュラ玉軸受等があり、いずれも保持器を有する場合がある。４点接触軸受の保持器は、図１２に示すように、内輪１０１と外輪１０２との間に玉１０３を配置して組み合わせた後、内輪１０１と外輪１０２との間に保持器１０４を装填するため、保持器１０４の各ポケット１０５には玉１０３を通過させる開口部１０６が設けられている。また、アンギュラ玉軸受の保持器は、図１３に示すように、予め内輪２０１（又は外輪２０２）と玉２０３と保持器２０４を組み合わせたものを外輪２０２（又は内輪２０１）に装填して組み立てるため、保持器２０４の各ポケット２０５は閉じて形成されている。これらの薄肉軸受の保持器１０４、２０４は、厚みが極めて薄く、例えば、内径２００ｍｍ程度の薄肉軸受の保持器は、厚みが１ｍｍ程度に設定されている。
【０００４】
近年、これら保持器は、金属に比べて摩擦係数が小さいだけでなく、変形しやすいことから保持器の摩耗を少なくできる点で樹脂製の保持器が好んで使用されている。
【０００５】
ここで樹脂製の保持器の製造方法としては、図１４に示すように一枚の平板状の板材３０１を丸めて、外型３０２と内型３０３との隙間に丸めた板材３０１を装填して熱処理を施して固定し略リング形状に成形するか、又は、射出成形でリング形状に製造する方法がある。また、他の方法として特許文献１には、保持器を複数個に分断して組み合わせることでリング形状の保持器を構成することが開示されており、これを薄肉軸受の保持器に適用することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１５５９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した平板状の板材から略リング形状の保持器３０２を製造した場合、保持器３０２は閉じていない、即ち一方の端部と他方の端部との間に隙間があるため、回転中に保持器３０２が玉から力を受けて拡径あるいは縮径して、保持器の一部が内輪又は外輪に摺動し、回転抵抗となるという問題があった。加えて、平板状の板材から略リング状の保持器とするには、上述したように外型３０２と内型３０３とからなる熱固定型に板材を装填した後に熱固定する熱処理工程が必要であった。
【０００８】
一方、上述した射出成形で製造した保持器は、閉じたリング形状であるため、保持器が玉から力を受けて、拡径あるいは縮径して内外輪に押付けられることがない点で好ましいが、薄肉軸受の保持器の場合、成形型が巨大にならざるを得なくなり、例えば内径２００ｍｍを超えるような薄肉軸受の保持器は成形型そのものを製作することが極めて困難になる。
【０００９】
また、特許文献１に記載の保持器を薄肉軸受に適用した場合、厚さが薄いため継手部分を精度よく製造することが極めて困難であるばかりか、部品点数が多く組み付けが非常に困難になる。
【００１０】
本発明は、このような不都合を解消するためになされたものであり、その目的は、容易に製造することができ、且つ、回転中に保持器が玉から力を受けて拡径あるいは縮径して保持器の一部が内輪又は外輪に摺動し、回転抵抗となることを抑制する転がり軸受を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪の間を周方向に転動自在な複数の玉と、前記玉をポケット内に収容した樹脂製の保持器と、を備え、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７を満たす転がり軸受であって、
前記保持器は板材の一方の端部と他方の端部を重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、
重ね合わせた部分には少なくとも１つの前記ポケットが設けられる、
ことを特徴とする転がり軸受。
（２）前記重ね合わせた部分の厚さが重ね合わせていない部分の厚さと同等か、あるいは重ね合わせていない部分の厚さより薄いことを特徴とする（１）に記載の転がり軸受。
（３）前記保持器は、ポリエーテルエーテルケトン又は芳香族ポリイミドを含むことを特徴とする（１）又は（２）に記載の転がり軸受。
（４）前記内輪、前記外輪、前記玉の少なくとも１つにオイル又はグリースの潤滑被膜が設けられ、
前記潤滑被膜の厚みが１〜１０ｇ/ｍ２であるか、又は、
前記潤滑被膜が、１〜１０ｇ/ｍ２であり、且つ官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルとを含有した潤滑被膜か、前記官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルにフッ素樹脂を添加した潤滑被膜か、又は、アルキル化シクロペンタン又はポリフェニルエーテルを含有する潤滑油とフッ素樹脂とを含有する潤滑剤からなる潤滑被膜である、
ことを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の転がり軸受。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の転がり軸受によれば、保持器は板材の一方の端部と他方の端部を重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、重ね合わせた部分には少なくとも１つのポケットが設けられることにより、該ポケットに配設された玉により板材の一方の端部と他方の端部が玉留めされる。これにより、保持器の径方向寸法が保持されるので、回転中に保持器が玉から力を受けて拡径あるいは縮径して、保持器の一部が内外輪に摺動し回転抵抗となることを抑制することができる。
また、保持器は、板材の端部同士を重ね合わせた部分のポケットに配置された玉により玉留めして形成されるので、保持器を複数個に分断して製造したり、製造コストの高い元々がリング形状である保持器を製造する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る転がり軸受の部分正面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】第１実施形態の保持器の重ね合わせ部のポケットに玉を配設した状態を示す斜視図である。
【図５】第１実施形態の変形例に係る保持器であり、保持器の重ね合わせ部のポケットに玉を配設した状態を示す斜視図である。
【図６】放出ガス量試験装置の概略図である。
【図７】被膜厚さと放出ガス量、耐久性の関係を示すグラフである。
【図８】放出ガス量と軸受被膜の関係を示すグラフである。
【図９】軸受温度と耐久性の関係を示すグラフである。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る転がり軸受の図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は保持器の重ね合わせ部のポケットに玉を配置した状態を示す斜視図である。
【図１１】薄肉軸受を説明する説明図である。
【図１２】従来の４点接触軸受の説明図である。
【図１３】従来のアンギュラ玉軸受の説明図である。
【図１４】従来の一枚の板材から形成された保持器の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係る転がり軸受の各実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
本実施形態に係る転がり軸受１０は、例えば真空環境下において半導体製造装置の搬送ロボットに使用される薄肉軸受であり、図１１に示すように、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７の関係式を満たす転がり軸受である。軸受内径ＩＤと径方向幅Δｄは、好ましくは０．０２５＜Δｄ/ＩＤ＜０．１８７であり、軸受断面が略正方形であり、転がり軸受１０の断面積に比べて軸受内径ＩＤが大きくなっている。
【００１５】
転がり軸受１０は、内周面に外輪軌道面１１ａを有する外輪１１と、外周面に内輪軌道面１２ａを有する内輪１２と、これら外輪軌道面１１ａと内輪軌道面１２ａとの間に周方向に転動自在に設けられた複数の玉１３と、外輪１１の内周面と内輪１２の外周面との間に設けられて複数の玉１３を転動自在に保持する合成樹脂製の保持器２０と、を備えて構成されている。
【００１６】
また、転がり軸受１０は、４点接触玉軸受であり、玉１３が外輪１１と内輪１２の各軌道面１１ａ、１２ａに対してそれぞれ二点接触し、図２及び図３において、傾斜した一点鎖線と各軌道面１１ａ、１２ａとの交点が、玉１３と各軌道面１１ａ、１２ａとの接触点である。
【００１７】
保持器２０は、樹脂によって形成され、その材料として、ポリアミド４６やポリアミド６６などのポリアミド系樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリフェレンサルサイド（ＰＰＳ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、芳香族ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルニトリル（ＰＥＮ）などが例示される。また、上記樹脂に、例えば、ガラス繊維や炭素繊維などの繊維状充填材を１０〜５０ｗｔ％程度適宜添加することによって、保持器２０の剛性および寸法精度を向上させることができる。
【００１８】
保持器２０は、閉じたリング形状を有し、断面が玉１３の形状に沿う球形状のポケット１４が周方向に所定の間隔で複数設けられている。各ポケット１４には、軸方向一方側に開口部１５が設けられている。
【００１９】
この保持器２０は、例えば図４に示すように、一枚の平板状の板材２１を丸め、板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを重ね合わせて閉じたリング形状に成形され、重ね合わせた部分２２（以下、重ね合わせ部と呼ぶ。）に少なくとも１つ（本実施形態では１つ）のポケット１４が設けられている。それぞれの端部２１ａ、２１ｂは、重ね合わせていない部分２３（以下、非重ね合わせ部と呼ぶ。）に対し、略半分又は略半分よりわずかに短い厚さ（断面高さ）を有し、玉１３の略ピッチ円直径で接触又は対向するように重ね合わされている。また、重ね合わせ部２２の厚さＴ２２が非重ね合わせ部２３の厚さＴ２３より薄くなっており（Ｔ２２＜Ｔ２３）、それぞれの端部２１ａ、２１ｂの角が保持器２０の外周面から外側にはみ出さないように形成されている。そして、一方の端部２１ａに形成されたポケット１４ａがポケット１４の内径側を構成し、他方の端部２１ｂに形成されたポケット１４ｂがポケット１４の外径側を構成し、各ポケット１４ａ、１４ｂで１つのポケット１４を形成している。
【００２０】
この保持器２０は、一枚の板材２１の端部２１ａの高さ方向（丸めた状態における径方向）の一面と他方の端部２１ｂの高さ方向の他面に全幅（丸めた状態における軸方向幅）に亘って端面から少なくとも１つのポケット１４よりも長い長手方向長さ（丸めた状態における周方向長さ）を有する切り欠きを設け、内輪１２と外輪１１との間に玉１３を配置して組み合わせた後、各ポケット１４の開口部１５から玉１３がポケット１４に配設されるように内輪１２と外輪１１との間に互いの切り欠きを重ねてリング形状に丸めた保持器２０を軸方向一方側から装填する。
このとき、重ね合わせ部２２のポケット１４に配設された玉１３により保持器２０の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂは玉留めされ、回転中に保持器２０が玉１３から力を受けて拡径又は縮径しようとする際、重ね合わせ部２２のポケット１４に配置された玉１３により径方向寸法が保たれる。
【００２１】
以上、説明した本実施形態の薄肉の転がり軸受１０によれば、保持器２０は板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、重ね合わせ部２２には少なくとも１つのポケット１４が設けられることにより、該ポケット１４に配設された玉１３により板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂが玉留めされる。これにより、保持器２０の径方向寸法が保持されるので、回転中に保持器２０が玉１３から力を受けて拡径あるいは縮径して、保持器２０の一部が内輪１２又は外輪１１に摺動し回転抵抗となることを抑制することができる。
また、保持器２０は、板材２１の端部２１ａ、２１ｂ同士を重ね合わせた重ね合わせ部分２２のポケット１４に配置された玉１３により玉留めして形成されるので、保持器を複数個に分断して製造したり、製造コストの高い元々がリング形状である保持器を製造する必要がない。
【００２２】
また、本実施形態の薄肉の転がり軸受１０によれば、重ね合わせ部２２の厚さＴ２３が非重ね合わせ部２３の厚さＴ２３より薄くなっている（Ｔ２２＜Ｔ２３）ので、それぞれの端部２１ａ、２１ｂの角が保持器２０の外周面から外側にはみ出すことはなく、端部２１ａ、２１ｂの角が内輪１２又は外輪１１と摺動して回転抵抗となるのを防止することができる。なお、必ずしも重ね合わせ部２２の厚さＴ２３が非重ね合わせ部２３の厚さＴ２３より薄くする必要はなく、重ね合わせ部２２の厚さＴ２３は非重ね合わせ部２３の厚さＴ２３と同等であればよい。
【００２３】
また、本実施形態の薄肉の転がり軸受１０において、上述した樹脂材料のうち、特にポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）又は芳香族ポリイミド（ＰＩ）を使用することにより、真空環境下において放出ガス（放出ガス）を低減することができる。なお、これらの材料は成形温度が高く、例えば、ポリエーテルエーテルケトンは融点が３４３℃と高温であるため、射出成形で製造する場合には、型温度も１８０℃以上の高温に保持する必要があった。また、型内で温度分布が生じやすく薄肉軸受には適していなかったが、上述した構成の保持器２０によれば、平板状の板材を丸めて成形することができるので、これらの材料を用いても容易に製造することができる。
【００２４】
ここで本実施形態の効果を調べるため軸受のトルク測定を行なった。試験条件を表１に示す。保持器は実施例、比較例ともポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）を使用し、実施例として上述した保持器２０と同一構成の保持器をし、比較例として２個に分断された円弧状の保持器片を組み合わせて形成した保持器を使用した。トルク測定は、規定のサイクルの走行を行い、その間に保持器が内輪又は外輪に押し付けられて一時的に回転抵抗となってトルク値が上昇するトルクスパイクの回数を計測した。その結果を表２に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【表２】
【００２７】
表２に示した結果により、本実施形態の保持器を使用した実施例においては、比較例の保持器に比べてトルクスパイク発生回数が極めて少ない値を示した。これにより、回転中に保持器の一部が内輪又は外輪に摺動し回転抵抗となることを抑制することができることが示された。
【００２８】
なお、本実施形態の保持器２０は、板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを切り欠いて重ね合わせたが、必ずしも切り欠く必要はなく、図５に示すように、回転中に保持器２０の一部が内輪１２又は外輪１１に摺動しない範囲内で両端部２１ａ、２１ｂを重ね合わせてもよい。
【００２９】
次に、本実施形態の薄肉の転がり軸受１０における潤滑剤について説明する。
真空環境下においては、軸受自身が汚染源にならないよう低放出ガス性が要求される。そのため、本実施形態においては、好ましくは、内輪１２、外輪１１、玉１３の少なくとも１つに厚みが１〜１０ｇ/ｍ２であるオイル又はグリースの潤滑被膜を設ける。
【００３０】
以下、その根拠について説明する。
軸受からの放出ガスは軸受に塗布されている、又は、充填されている潤滑剤から放出されるものがほとんどであり、図６に軸受の放出ガス量を測定するための試験装置を示す。
放出ガス試験装置３０はフッ素オイルの潤滑被膜を塗布した軸受３１から放出されたガスをコンダクタンスのわかっているオリフィス部３２を通過させて、オリフィス部３２を通過する前と通過した後の圧力差（Ｐ１−Ｐ２）を測定することで式（１）よりオリフィス部３２を通過したガス量が測定できる。
Ｑ＝Ｃ（Ｐ１−Ｐ２） （１）
この測定方法によって、フッ素オイルの被膜厚さをパラメータにして、放出ガス量の変化を調べた。測定条件を表３に示す。
【００３１】
【表３】
【００３２】
この測定により得られた結果を図７に示す。図７は、横軸が被膜厚さ、左縦軸が放出ガス量である。
図７の結果から、被膜厚さと放出ガス量の関係が求められ、フッ素オイルの被膜厚さが増加するほど、つまり潤滑剤量が増えるほど放出ガス量は大きくなることがわかる。そして、被膜厚さが１２ｇ/ｍ２に達すると、真空グリースを充填したフッ素グリース放出ガス量とものと変わらなくなる。すなわち、被膜厚さが１２ｇ/ｍ２以下であれば、真空グリースを充填したものと比べて放出ガス量を低減できるのが分かる。
【００３３】
一方で軸受の潤滑剤量が少ないほど、放出ガス量は少ないが耐久性も考慮する必要がある。そこで、被膜厚さと軸受の耐久性との関係を加熱装置を備えた不図示の耐久試験機を用いて測定した。試験条件を表４に示す。
【表４】
【００３４】
この測定により得られた結果を図７に示す。なお、図７の右縦軸が耐久性を表す総回転数である。
図７の結果から、被膜厚さと耐久性の関係が求められ、被膜厚さが０．５ｇ/ｍ２の場合は１０７回転に到達することなく寿命となっているが、被膜厚さが１．０ｇ/ｍ２の場合は薄肉軸受の走行距離として必要十分な距離に対応する回転数である１０７回転まで達して打ち切りとなっていることが分かる。従って、耐久性から言えば、被膜厚さが１．０ｇ/ｍ２以上あれば良いということになる。
【００３５】
以上より、図７に示した被膜厚さと放出ガス量の関係と被膜厚さと耐久性の関係を考慮すると被膜厚さは１〜１０ｇ/ｍ２であれば耐久性を維持しつつ放出ガス量を低減できることが分かった。なお、この測定はオイルを用いて測定したが、グリースであっても被膜厚さが同じであれば、そこに含有される基油の量はほぼ同等であるのでグリースについても同様に適用することができる。
【００３６】
さらに、本実施形態においては、他の潤滑剤として好ましくは、１〜１０ｇ/ｍ２であり、且つ官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）とを含有した潤滑被膜か、官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルにフッ素樹脂を添加した潤滑被膜か、又は、アルキル化シクロペンタン（ＭＡＣ）又はポリフェニルエーテルを主成分とする潤滑油とフッ素樹脂とを含有する潤滑剤からなる潤滑被膜を設ける。なお、これらの潤滑被膜を総称して以下、「ＤＦＯ潤滑被膜」と呼び、ＤＦＯ潤滑被膜で潤滑される転がり軸受を「ＤＦＯ軸受」と呼ぶ。
【００３７】
以下、その根拠について説明する。
図８に示すように、ＤＦＯ潤滑被膜（ＰＦＰＥ基油及びＭＡＣ基油）はフッ素オイルを塗布したものに比べて放出ガス量が低いことが分かる。
また、軸受温度と耐久性の関係を調べるため、真空中で軸受を加熱して回転方向に揺動させながら耐久性を調べた。
【００３８】
この測定により得られた結果を図９に示す。図９は、横軸が温度（℃）、縦軸が寿命を表す総サイクル数である。
図９の結果から、軸受温度によらずＤＦＯ軸受はフッ素油を塗布した軸受に比べて総サイクル数が多く耐久性に優れていることが分かる。
【００３９】
以上より、図８に示した放出ガス量と軸受被膜の関係と、図９に示した軸受温度と耐久性の関係から、ＤＦＯ軸受はフッ素油を塗布した軸受に比べて低放出ガス性に優れ、加えて耐久性にも優れていることが分かる。
【００４０】
このＤＦＯ潤滑被膜を使用して油量を制限した場合、保持器が玉から受ける力が増加して保持器が内輪又は外輪に押付けられやすくなるが、本実施形態の保持器２０によれば、玉留めにより径方向寸法が保たれているので、保持器２０が内輪１２又は外輪１１と摺動することが低減され、ＤＦＯ潤滑被膜により低放出ガス性と耐久性を向上させることができる。
【００４１】
＜第２実施形態＞
次に、図１０を参照して本発明の第２実施形態の転がり軸受について説明する。
第２実施形態の転がり軸受は、アンギュラ玉軸受であり、第１実施形態の４点接触玉軸受である転がり軸受１０と同一又は同等部分には同一符号又は相当符号を付して説明を簡略化又は省略する。
【００４２】
第２実施形態の転がり軸受１０Ａの保持器２０Ａは、ポケット１４が閉じて形成されており、図１０（ｂ）に示すように、一枚の平板状の板材２１を丸め、板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを重ね合わせて閉じたリング形状に成形され、重ね合わせ部２２に少なくとも１つ（本実施形態では１つ）のポケット１４が設けられている。それぞれの端部２１ａ、２１ｂは、第１実施形態の保持器１０と同様に、非重ね合わせ部２３に対し、略半分又は略半分よりわずかに短い断面高さを有し、玉１３の略ピッチ円直径で接触又は対向するように重ね合わされている。そして、一方の端部２１ａに形成されたポケット１４ａがポケット１４の内径側を構成し、他方の端部２１ｂに形成されたポケット１４ｂがポケット１４の外径側を構成し、各ポケット１４ａ、１４ｂで１つのポケット１４を形成している。
【００４３】
このように構成された保持器２０Ａに玉１３と内輪１２を組み合わせたものを外輪１１（又は内輪１２）に装填して組み立てられ、第１実施形態の転がり軸受１０と同様の作用・効果を有する。
【００４４】
なお、本発明は、上記各実施形態に例示したものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、重ね合わせ部に１つのポケットを形成したが、これに限らず２つ以上のポケットを形成してもよい。また、ポケットの形状等、適宜設定することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１０、１０Ａ 転がり軸受
１１ 外輪
１２ 内輪
１３ 玉
１４ ポケット
２０、２０Ａ 保持器
２１ 板材
２１ａ、２１ｂ 端部
２２ 重ね合わせ部（重ね合わせた部分）
２３ 非重ね合わせ部（重ね合わせていない部分）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転がり軸受、特に薄肉の転がり軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄肉の転がり軸受（以下、薄肉軸受と呼ぶ。）は、図１１に示すように、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７の関係式を満たす転がり軸受として定義される。
【０００３】
この薄肉軸受としては、４点接触軸受やアンギュラ玉軸受等があり、いずれも保持器を有する場合がある。４点接触軸受の保持器は、図１２に示すように、内輪１０１と外輪１０２との間に玉１０３を配置して組み合わせた後、内輪１０１と外輪１０２との間に保持器１０４を装填するため、保持器１０４の各ポケット１０５には玉１０３を通過させる開口部１０６が設けられている。また、アンギュラ玉軸受の保持器は、図１３に示すように、予め内輪２０１（又は外輪２０２）と玉２０３と保持器２０４を組み合わせたものを外輪２０２（又は内輪２０１）に装填して組み立てるため、保持器２０４の各ポケット２０５は閉じて形成されている。これらの薄肉軸受の保持器１０４、２０４は、厚みが極めて薄く、例えば、内径２００ｍｍ程度の薄肉軸受の保持器は、厚みが１ｍｍ程度に設定されている。
【０００４】
近年、これら保持器は、金属に比べて摩擦係数が小さいだけでなく、変形しやすいことから保持器の摩耗を少なくできる点で樹脂製の保持器が好んで使用されている。
【０００５】
ここで樹脂製の保持器の製造方法としては、図１４に示すように一枚の平板状の板材３０１を丸めて、外型３０２と内型３０３との隙間に丸めた板材３０１を装填して熱処理を施して固定し略リング形状に成形するか、又は、射出成形でリング形状に製造する方法がある。また、他の方法として特許文献１には、保持器を複数個に分断して組み合わせることでリング形状の保持器を構成することが開示されており、これを薄肉軸受の保持器に適用することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１５５９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した平板状の板材から略リング形状の保持器３０２を製造した場合、保持器３０２は閉じていない、即ち一方の端部と他方の端部との間に隙間があるため、回転中に保持器３０２が玉から力を受けて拡径あるいは縮径して、保持器の一部が内輪又は外輪に摺動し、回転抵抗となるという問題があった。加えて、平板状の板材から略リング状の保持器とするには、上述したように外型３０２と内型３０３とからなる熱固定型に板材を装填した後に熱固定する熱処理工程が必要であった。
【０００８】
一方、上述した射出成形で製造した保持器は、閉じたリング形状であるため、保持器が玉から力を受けて、拡径あるいは縮径して内外輪に押付けられることがない点で好ましいが、薄肉軸受の保持器の場合、成形型が巨大にならざるを得なくなり、例えば内径２００ｍｍを超えるような薄肉軸受の保持器は成形型そのものを製作することが極めて困難になる。
【０００９】
また、特許文献１に記載の保持器を薄肉軸受に適用した場合、厚さが薄いため継手部分を精度よく製造することが極めて困難であるばかりか、部品点数が多く組み付けが非常に困難になる。
【００１０】
本発明は、このような不都合を解消するためになされたものであり、その目的は、容易に製造することができ、且つ、回転中に保持器が玉から力を受けて拡径あるいは縮径して保持器の一部が内輪又は外輪に摺動し、回転抵抗となることを抑制する転がり軸受を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪の間を周方向に転動自在な複数の玉と、前記玉をポケット内に収容した樹脂製の保持器と、を備え、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７を満たす転がり軸受であって、
前記保持器は板材の一方の端部と他方の端部を重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、
重ね合わせた部分には少なくとも１つの前記ポケットが設けられる、
ことを特徴とする転がり軸受。
（２）前記重ね合わせた部分の厚さが重ね合わせていない部分の厚さと同等か、あるいは重ね合わせていない部分の厚さより薄いことを特徴とする（１）に記載の転がり軸受。
（３）前記保持器は、ポリエーテルエーテルケトン又は芳香族ポリイミドを含むことを特徴とする（１）又は（２）に記載の転がり軸受。
（４）前記内輪、前記外輪、前記玉の少なくとも１つにオイル又はグリースの潤滑被膜が設けられ、
前記潤滑被膜の厚みが１〜１０ｇ/ｍ２であるか、又は、
前記潤滑被膜が、１〜１０ｇ/ｍ２であり、且つ官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルとを含有した潤滑被膜か、前記官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルにフッ素樹脂を添加した潤滑被膜か、又は、アルキル化シクロペンタン又はポリフェニルエーテルを含有する潤滑油とフッ素樹脂とを含有する潤滑剤からなる潤滑被膜である、
ことを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の転がり軸受。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の転がり軸受によれば、保持器は板材の一方の端部と他方の端部を重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、重ね合わせた部分には少なくとも１つのポケットが設けられることにより、該ポケットに配設された玉により板材の一方の端部と他方の端部が玉留めされる。これにより、保持器の径方向寸法が保持されるので、回転中に保持器が玉から力を受けて拡径あるいは縮径して、保持器の一部が内外輪に摺動し回転抵抗となることを抑制することができる。
また、保持器は、板材の端部同士を重ね合わせた部分のポケットに配置された玉により玉留めして形成されるので、保持器を複数個に分断して製造したり、製造コストの高い元々がリング形状である保持器を製造する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る転がり軸受の部分正面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】第１実施形態の保持器の重ね合わせ部のポケットに玉を配設した状態を示す斜視図である。
【図５】第１実施形態の変形例に係る保持器であり、保持器の重ね合わせ部のポケットに玉を配設した状態を示す斜視図である。
【図６】放出ガス量試験装置の概略図である。
【図７】被膜厚さと放出ガス量、耐久性の関係を示すグラフである。
【図８】放出ガス量と軸受被膜の関係を示すグラフである。
【図９】軸受温度と耐久性の関係を示すグラフである。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る転がり軸受の図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は保持器の重ね合わせ部のポケットに玉を配置した状態を示す斜視図である。
【図１１】薄肉軸受を説明する説明図である。
【図１２】従来の４点接触軸受の説明図である。
【図１３】従来のアンギュラ玉軸受の説明図である。
【図１４】従来の一枚の板材から形成された保持器の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係る転がり軸受の各実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
本実施形態に係る転がり軸受１０は、例えば真空環境下において半導体製造装置の搬送ロボットに使用される薄肉軸受であり、図１１に示すように、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７の関係式を満たす転がり軸受である。軸受内径ＩＤと径方向幅Δｄは、好ましくは０．０２５＜Δｄ/ＩＤ＜０．１８７であり、軸受断面が略正方形であり、転がり軸受１０の断面積に比べて軸受内径ＩＤが大きくなっている。
【００１５】
転がり軸受１０は、内周面に外輪軌道面１１ａを有する外輪１１と、外周面に内輪軌道面１２ａを有する内輪１２と、これら外輪軌道面１１ａと内輪軌道面１２ａとの間に周方向に転動自在に設けられた複数の玉１３と、外輪１１の内周面と内輪１２の外周面との間に設けられて複数の玉１３を転動自在に保持する合成樹脂製の保持器２０と、を備えて構成されている。
【００１６】
また、転がり軸受１０は、４点接触玉軸受であり、玉１３が外輪１１と内輪１２の各軌道面１１ａ、１２ａに対してそれぞれ二点接触し、図２及び図３において、傾斜した一点鎖線と各軌道面１１ａ、１２ａとの交点が、玉１３と各軌道面１１ａ、１２ａとの接触点である。
【００１７】
保持器２０は、樹脂によって形成され、その材料として、ポリアミド４６やポリアミド６６などのポリアミド系樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリフェレンサルサイド（ＰＰＳ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、芳香族ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルニトリル（ＰＥＮ）などが例示される。また、上記樹脂に、例えば、ガラス繊維や炭素繊維などの繊維状充填材を１０〜５０ｗｔ％程度適宜添加することによって、保持器２０の剛性および寸法精度を向上させることができる。
【００１８】
保持器２０は、閉じたリング形状を有し、断面が玉１３の形状に沿う球形状のポケット１４が周方向に所定の間隔で複数設けられている。各ポケット１４には、軸方向一方側に開口部１５が設けられている。
【００１９】
この保持器２０は、例えば図４に示すように、一枚の平板状の板材２１を丸め、板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを重ね合わせて閉じたリング形状に成形され、重ね合わせた部分２２（以下、重ね合わせ部と呼ぶ。）に少なくとも１つ（本実施形態では１つ）のポケット１４が設けられている。それぞれの端部２１ａ、２１ｂは、重ね合わせていない部分２３（以下、非重ね合わせ部と呼ぶ。）に対し、略半分又は略半分よりわずかに短い厚さ（断面高さ）を有し、玉１３の略ピッチ円直径で接触又は対向するように重ね合わされている。また、重ね合わせ部２２の厚さＴ２２が非重ね合わせ部２３の厚さＴ２３より薄くなっており（Ｔ２２＜Ｔ２３）、それぞれの端部２１ａ、２１ｂの角が保持器２０の外周面から外側にはみ出さないように形成されている。そして、一方の端部２１ａに形成されたポケット１４ａがポケット１４の内径側を構成し、他方の端部２１ｂに形成されたポケット１４ｂがポケット１４の外径側を構成し、各ポケット１４ａ、１４ｂで１つのポケット１４を形成している。
【００２０】
この保持器２０は、一枚の板材２１の端部２１ａの高さ方向（丸めた状態における径方向）の一面と他方の端部２１ｂの高さ方向の他面に全幅（丸めた状態における軸方向幅）に亘って端面から少なくとも１つのポケット１４よりも長い長手方向長さ（丸めた状態における周方向長さ）を有する切り欠きを設け、内輪１２と外輪１１との間に玉１３を配置して組み合わせた後、各ポケット１４の開口部１５から玉１３がポケット１４に配設されるように内輪１２と外輪１１との間に互いの切り欠きを重ねてリング形状に丸めた保持器２０を軸方向一方側から装填する。
このとき、重ね合わせ部２２のポケット１４に配設された玉１３により保持器２０の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂは玉留めされ、回転中に保持器２０が玉１３から力を受けて拡径又は縮径しようとする際、重ね合わせ部２２のポケット１４に配置された玉１３により径方向寸法が保たれる。
【００２１】
以上、説明した本実施形態の薄肉の転がり軸受１０によれば、保持器２０は板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、重ね合わせ部２２には少なくとも１つのポケット１４が設けられることにより、該ポケット１４に配設された玉１３により板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂが玉留めされる。これにより、保持器２０の径方向寸法が保持されるので、回転中に保持器２０が玉１３から力を受けて拡径あるいは縮径して、保持器２０の一部が内輪１２又は外輪１１に摺動し回転抵抗となることを抑制することができる。
また、保持器２０は、板材２１の端部２１ａ、２１ｂ同士を重ね合わせた重ね合わせ部分２２のポケット１４に配置された玉１３により玉留めして形成されるので、保持器を複数個に分断して製造したり、製造コストの高い元々がリング形状である保持器を製造する必要がない。
【００２２】
また、本実施形態の薄肉の転がり軸受１０によれば、重ね合わせ部２２の厚さＴ２３が非重ね合わせ部２３の厚さＴ２３より薄くなっている（Ｔ２２＜Ｔ２３）ので、それぞれの端部２１ａ、２１ｂの角が保持器２０の外周面から外側にはみ出すことはなく、端部２１ａ、２１ｂの角が内輪１２又は外輪１１と摺動して回転抵抗となるのを防止することができる。なお、必ずしも重ね合わせ部２２の厚さＴ２３が非重ね合わせ部２３の厚さＴ２３より薄くする必要はなく、重ね合わせ部２２の厚さＴ２３は非重ね合わせ部２３の厚さＴ２３と同等であればよい。
【００２３】
また、本実施形態の薄肉の転がり軸受１０において、上述した樹脂材料のうち、特にポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）又は芳香族ポリイミド（ＰＩ）を使用することにより、真空環境下において放出ガス（放出ガス）を低減することができる。なお、これらの材料は成形温度が高く、例えば、ポリエーテルエーテルケトンは融点が３４３℃と高温であるため、射出成形で製造する場合には、型温度も１８０℃以上の高温に保持する必要があった。また、型内で温度分布が生じやすく薄肉軸受には適していなかったが、上述した構成の保持器２０によれば、平板状の板材を丸めて成形することができるので、これらの材料を用いても容易に製造することができる。
【００２４】
ここで本実施形態の効果を調べるため軸受のトルク測定を行なった。試験条件を表１に示す。保持器は実施例、比較例ともポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）を使用し、実施例として上述した保持器２０と同一構成の保持器をし、比較例として２個に分断された円弧状の保持器片を組み合わせて形成した保持器を使用した。トルク測定は、規定のサイクルの走行を行い、その間に保持器が内輪又は外輪に押し付けられて一時的に回転抵抗となってトルク値が上昇するトルクスパイクの回数を計測した。その結果を表２に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【表２】
【００２７】
表２に示した結果により、本実施形態の保持器を使用した実施例においては、比較例の保持器に比べてトルクスパイク発生回数が極めて少ない値を示した。これにより、回転中に保持器の一部が内輪又は外輪に摺動し回転抵抗となることを抑制することができることが示された。
【００２８】
なお、本実施形態の保持器２０は、板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを切り欠いて重ね合わせたが、必ずしも切り欠く必要はなく、図５に示すように、回転中に保持器２０の一部が内輪１２又は外輪１１に摺動しない範囲内で両端部２１ａ、２１ｂを重ね合わせてもよい。
【００２９】
次に、本実施形態の薄肉の転がり軸受１０における潤滑剤について説明する。
真空環境下においては、軸受自身が汚染源にならないよう低放出ガス性が要求される。そのため、本実施形態においては、好ましくは、内輪１２、外輪１１、玉１３の少なくとも１つに厚みが１〜１０ｇ/ｍ２であるオイル又はグリースの潤滑被膜を設ける。
【００３０】
以下、その根拠について説明する。
軸受からの放出ガスは軸受に塗布されている、又は、充填されている潤滑剤から放出されるものがほとんどであり、図６に軸受の放出ガス量を測定するための試験装置を示す。
放出ガス試験装置３０はフッ素オイルの潤滑被膜を塗布した軸受３１から放出されたガスをコンダクタンスのわかっているオリフィス部３２を通過させて、オリフィス部３２を通過する前と通過した後の圧力差（Ｐ１−Ｐ２）を測定することで式（１）よりオリフィス部３２を通過したガス量が測定できる。
Ｑ＝Ｃ（Ｐ１−Ｐ２） （１）
この測定方法によって、フッ素オイルの被膜厚さをパラメータにして、放出ガス量の変化を調べた。測定条件を表３に示す。
【００３１】
【表３】
【００３２】
この測定により得られた結果を図７に示す。図７は、横軸が被膜厚さ、左縦軸が放出ガス量である。
図７の結果から、被膜厚さと放出ガス量の関係が求められ、フッ素オイルの被膜厚さが増加するほど、つまり潤滑剤量が増えるほど放出ガス量は大きくなることがわかる。そして、被膜厚さが１２ｇ/ｍ２に達すると、真空グリースを充填したフッ素グリース放出ガス量とものと変わらなくなる。すなわち、被膜厚さが１２ｇ/ｍ２以下であれば、真空グリースを充填したものと比べて放出ガス量を低減できるのが分かる。
【００３３】
一方で軸受の潤滑剤量が少ないほど、放出ガス量は少ないが耐久性も考慮する必要がある。そこで、被膜厚さと軸受の耐久性との関係を加熱装置を備えた不図示の耐久試験機を用いて測定した。試験条件を表４に示す。
【表４】
【００３４】
この測定により得られた結果を図７に示す。なお、図７の右縦軸が耐久性を表す総回転数である。
図７の結果から、被膜厚さと耐久性の関係が求められ、被膜厚さが０．５ｇ/ｍ２の場合は１０７回転に到達することなく寿命となっているが、被膜厚さが１．０ｇ/ｍ２の場合は薄肉軸受の走行距離として必要十分な距離に対応する回転数である１０７回転まで達して打ち切りとなっていることが分かる。従って、耐久性から言えば、被膜厚さが１．０ｇ/ｍ２以上あれば良いということになる。
【００３５】
以上より、図７に示した被膜厚さと放出ガス量の関係と被膜厚さと耐久性の関係を考慮すると被膜厚さは１〜１０ｇ/ｍ２であれば耐久性を維持しつつ放出ガス量を低減できることが分かった。なお、この測定はオイルを用いて測定したが、グリースであっても被膜厚さが同じであれば、そこに含有される基油の量はほぼ同等であるのでグリースについても同様に適用することができる。
【００３６】
さらに、本実施形態においては、他の潤滑剤として好ましくは、１〜１０ｇ/ｍ２であり、且つ官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）とを含有した潤滑被膜か、官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルにフッ素樹脂を添加した潤滑被膜か、又は、アルキル化シクロペンタン（ＭＡＣ）又はポリフェニルエーテルを主成分とする潤滑油とフッ素樹脂とを含有する潤滑剤からなる潤滑被膜を設ける。なお、これらの潤滑被膜を総称して以下、「ＤＦＯ潤滑被膜」と呼び、ＤＦＯ潤滑被膜で潤滑される転がり軸受を「ＤＦＯ軸受」と呼ぶ。
【００３７】
以下、その根拠について説明する。
図８に示すように、ＤＦＯ潤滑被膜（ＰＦＰＥ基油及びＭＡＣ基油）はフッ素オイルを塗布したものに比べて放出ガス量が低いことが分かる。
また、軸受温度と耐久性の関係を調べるため、真空中で軸受を加熱して回転方向に揺動させながら耐久性を調べた。
【００３８】
この測定により得られた結果を図９に示す。図９は、横軸が温度（℃）、縦軸が寿命を表す総サイクル数である。
図９の結果から、軸受温度によらずＤＦＯ軸受はフッ素油を塗布した軸受に比べて総サイクル数が多く耐久性に優れていることが分かる。
【００３９】
以上より、図８に示した放出ガス量と軸受被膜の関係と、図９に示した軸受温度と耐久性の関係から、ＤＦＯ軸受はフッ素油を塗布した軸受に比べて低放出ガス性に優れ、加えて耐久性にも優れていることが分かる。
【００４０】
このＤＦＯ潤滑被膜を使用して油量を制限した場合、保持器が玉から受ける力が増加して保持器が内輪又は外輪に押付けられやすくなるが、本実施形態の保持器２０によれば、玉留めにより径方向寸法が保たれているので、保持器２０が内輪１２又は外輪１１と摺動することが低減され、ＤＦＯ潤滑被膜により低放出ガス性と耐久性を向上させることができる。
【００４１】
＜第２実施形態＞
次に、図１０を参照して本発明の第２実施形態の転がり軸受について説明する。
第２実施形態の転がり軸受は、アンギュラ玉軸受であり、第１実施形態の４点接触玉軸受である転がり軸受１０と同一又は同等部分には同一符号又は相当符号を付して説明を簡略化又は省略する。
【００４２】
第２実施形態の転がり軸受１０Ａの保持器２０Ａは、ポケット１４が閉じて形成されており、図１０（ｂ）に示すように、一枚の平板状の板材２１を丸め、板材２１の一方の端部２１ａと他方の端部２１ｂを重ね合わせて閉じたリング形状に成形され、重ね合わせ部２２に少なくとも１つ（本実施形態では１つ）のポケット１４が設けられている。それぞれの端部２１ａ、２１ｂは、第１実施形態の保持器１０と同様に、非重ね合わせ部２３に対し、略半分又は略半分よりわずかに短い断面高さを有し、玉１３の略ピッチ円直径で接触又は対向するように重ね合わされている。そして、一方の端部２１ａに形成されたポケット１４ａがポケット１４の内径側を構成し、他方の端部２１ｂに形成されたポケット１４ｂがポケット１４の外径側を構成し、各ポケット１４ａ、１４ｂで１つのポケット１４を形成している。
【００４３】
このように構成された保持器２０Ａに玉１３と内輪１２を組み合わせたものを外輪１１（又は内輪１２）に装填して組み立てられ、第１実施形態の転がり軸受１０と同様の作用・効果を有する。
【００４４】
なお、本発明は、上記各実施形態に例示したものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、重ね合わせ部に１つのポケットを形成したが、これに限らず２つ以上のポケットを形成してもよい。また、ポケットの形状等、適宜設定することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１０、１０Ａ 転がり軸受
１１ 外輪
１２ 内輪
１３ 玉
１４ ポケット
２０、２０Ａ 保持器
２１ 板材
２１ａ、２１ｂ 端部
２２ 重ね合わせ部（重ね合わせた部分）
２３ 非重ね合わせ部（重ね合わせていない部分）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪の間を周方向に転動自在な複数の玉と、前記玉をポケット内に収容した樹脂製の保持器と、を備え、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７を満たす転がり軸受であって、
前記保持器は板材の一方の端部と他方の端部を重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、
重ね合わせた部分には少なくとも１つの前記ポケットが設けられる、
ことを特徴とする転がり軸受。
【請求項２】
前記重ね合わせた部分の厚さが重ね合わせていない部分の厚さと同等か、あるいは重ね合わせていない部分の厚さより薄いことを特徴とする請求項１に記載の転がり軸受。
【請求項３】
前記保持器は、ポリエーテルエーテルケトン又は芳香族ポリイミドを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の転がり軸受。
【請求項４】
前記内輪、前記外輪、前記玉の少なくとも１つにオイル又はグリースの潤滑被膜が設けられ、
前記潤滑被膜の厚みが１〜１０ｇ/ｍ２であるか、又は、
前記潤滑被膜が、１〜１０ｇ/ｍ２であり、且つ官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルとを含有した潤滑被膜か、前記官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルにフッ素樹脂を添加した潤滑被膜か、又は、アルキル化シクロペンタン又はポリフェニルエーテルを含有する潤滑油とフッ素樹脂とを含有する潤滑剤からなる潤滑被膜である、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の転がり軸受。
【請求項１】
内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪の間を周方向に転動自在な複数の玉と、前記玉をポケット内に収容した樹脂製の保持器と、を備え、軸受内径ＩＤと径方向幅ΔｄとがΔｄ/ＩＤ＜０．１８７を満たす転がり軸受であって、
前記保持器は板材の一方の端部と他方の端部を重ね合わせて閉じたリング形状に形成され、
重ね合わせた部分には少なくとも１つの前記ポケットが設けられる、
ことを特徴とする転がり軸受。
【請求項２】
前記重ね合わせた部分の厚さが重ね合わせていない部分の厚さと同等か、あるいは重ね合わせていない部分の厚さより薄いことを特徴とする請求項１に記載の転がり軸受。
【請求項３】
前記保持器は、ポリエーテルエーテルケトン又は芳香族ポリイミドを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の転がり軸受。
【請求項４】
前記内輪、前記外輪、前記玉の少なくとも１つにオイル又はグリースの潤滑被膜が設けられ、
前記潤滑被膜の厚みが１〜１０ｇ/ｍ２であるか、又は、
前記潤滑被膜が、１〜１０ｇ/ｍ２であり、且つ官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルとを含有した潤滑被膜か、前記官能基を有する含フッ素重合体とパーフルオロポリエーテルにフッ素樹脂を添加した潤滑被膜か、又は、アルキル化シクロペンタン又はポリフェニルエーテルを含有する潤滑油とフッ素樹脂とを含有する潤滑剤からなる潤滑被膜である、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の転がり軸受。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１０−１９０２４０（Ｐ２０１０−１９０２４０Ａ）
【公開日】平成２２年９月２日（２０１０．９．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−３２３２６（Ｐ２００９−３２３２６）
【出願日】平成２１年２月１６日（２００９．２．１６）
【出願人】（０００００４２０４）日本精工株式会社 (8,378)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年９月２日（２０１０．９．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年２月１６日（２００９．２．１６）
【出願人】（０００００４２０４）日本精工株式会社 (8,378)
【Ｆターム（参考）】
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