配線基板製造方法、タッチパネル式表示装置製造方法、露光装置、配線基板、タッチパネル、タッチパネル式表示装置
【課題】基板の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線を形成できる配線基板製造方法、タッチパネル式表示装置製造方法、露光装置、配線基板、タッチパネル、タッチパネル式表示装置を提供する。
【解決手段】
直線偏光性を有する基板１２の表面と裏面に、透明な導電性薄膜３１ａ、３１ｂと、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂとを順に形成し、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂ上に、マスク３７ａ、３７ｂをそれぞれ配置し、マスク３７ａ、３７ｂに、基板１２を透過しない方向に偏光された露光光を照射し、マスク３７ａ、３７ｂを透過した露光光を、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂにそれぞれ照射した後、現像し、現像された感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’間に露出した導電性薄膜３１ａ、３１ｂを除去し、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを形成する。
【解決手段】
直線偏光性を有する基板１２の表面と裏面に、透明な導電性薄膜３１ａ、３１ｂと、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂとを順に形成し、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂ上に、マスク３７ａ、３７ｂをそれぞれ配置し、マスク３７ａ、３７ｂに、基板１２を透過しない方向に偏光された露光光を照射し、マスク３７ａ、３７ｂを透過した露光光を、感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂにそれぞれ照射した後、現像し、現像された感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’間に露出した導電性薄膜３１ａ、３１ｂを除去し、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを形成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板製造方法、タッチパネル式表示装置製造方法、露光装置、配線基板、タッチパネル、タッチパネル式表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、タッチパネルを指又はタッチペンで操作することにより、表示部の画像又は映像を操作することができるタッチパネル式表示装置の需要が拡大している。
タッチパネルに用いられる配線基板の構成に関しては、図８（ａ）〜（ｆ）に示す第一〜第六の配線基板１１１1〜１１１6が知られている。
【０００３】
図８（ａ）を参照し、第一の配線基板１１１1では、ガラス基板１１２の表面と裏面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂがそれぞれ形成されている。
図８（ｂ）を参照し、第二の配線基板１１１2では、ガラス基板１１２の表面に第二の配線１１４ｂが形成され、第二の配線１１４ｂ上に絶縁膜１１８が形成され、絶縁膜１１８上に第一の配線１１４ａが形成されている。
【０００４】
図８（ｃ）を参照し、第三の配線基板１１１3では、表面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂが形成された二枚のガラス基板１１２ａ、１１２ｂが表面を向かい合わせて配置され、第一の配線１１４ａと第二の配線１１４ｂとの間には絶縁膜１１８が配置されている。
図８（ｄ）を参照し、第四の配線基板１１１4では、表面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂが形成された二枚のフィルム基板２１２ａ、２１２ｂが重ね合わされて配置されている。
【０００５】
図８（ｅ）を参照し、第五の配線基板１１１5では、表面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂが形成された二枚のフィルム基板２１２ａ、２１２ｂが背中合わせに配置され、第一、第二のフィルム基板２１２ａ、２１２ｂの裏面は貼り合わせ層１１９で互いに接着されている。
図８（ｆ）を参照し、第六の配線基板１１１6では、フィルム基板２１２の表面と裏面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂがそれぞれ形成されている。
【０００６】
第四〜第六の配線基板１１１4〜１１１6のフィルム基板２１２ａ、２１２ｂ、２１２には、光透過性に優れるＰＥＴフィルムが多く用いられている。
フィルム基板を用いた第四〜第六の配線基板１１１4〜１１１6は、ガラス基板を用いた第一〜第三の配線基板１１１1〜１１１3に比べて軽く、柔軟性を有するという利点があるものの、フィルム基板の直線精度はガラス基板に比べて低く、露光パターンが必ずしも一直線でないため、第四、第五の配線基板１１１4、１１１5の製造工程では、貼り合わせをロール・ツー・ロール（ＲＴＲ）化することができず、生産性が低いという問題があった。
【０００７】
一方、第六の配線基板１１１6の製造工程では、貼り合わせが不要であり、かつフィルム基板の使用量を第四、第五の配線基板１１１4、１１１5に比べて減らすことができるという利点がある。
しかし、フィルム基板の表面と裏面に互いに異なる回路パターンを作成する必要があり、パターニングを行う露光工程において、表面（又は裏面）側のマスク（レチクル）を透過した紫外線が、表面（又は裏面）側の感光性レジスト膜とフィルム基板とを順に透過して、裏面（又は表面）側の感光性レジスト膜と化学反応してしまうという干渉問題が懸念されていた。
【０００８】
特許文献１では、両面パターニングの露光工程における干渉問題を回避するために、表面側の感光性レジスト膜と裏面側の感光性レジスト膜との間に光を遮断する遮光層を設ける方法が開示されている。
しかし、遮光層が残留すると遮光層が陰になってディスプレイの機能が失われるため、遮光層を取り除く工程が必要になるという不都合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−１９８１０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、従来技術より少ない工程で、基板の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線を形成できる配線基板製造方法と、タッチパネル式表示装置製造方法と、露光装置と、配線基板と、タッチパネルと、タッチパネル式表示装置とを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために本発明は、光を透過する基板の表面と裏面に、所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線を有する配線基板を製造する配線基板製造方法であって、直線偏光性を有する前記基板の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜をそれぞれ形成し、前記第一、第二の導電性薄膜の表面に、第一、第二の感光性レジスト膜を形成し、前記第一、第二の感光性レジスト膜上に、第一、第二のマスクを配置し、前記第一、第二のマスクに、前記基板を透過しない方向に偏光された第一、第二の露光光を照射し、前記第一、第二のマスクを透過した前記第一、第二の露光光を、前記第一、第二の感光性レジスト膜にそれぞれ照射し、前記第一、第二の感光性レジスト膜の、前記第一、第二の露光光が照射された部分を化学変化させた後、現像し、前記現像された前記第一、第二の感光性レジスト膜間に露出した前記第一、第二の導電性薄膜を除去し、前記第一、第二の配線を形成する配線基板製造方法である。
本発明は配線基板製造方法であって、前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明なフィルムを一軸延伸して前記基板を形成する配線基板製造方法である。
本発明は配線基板製造方法であって、前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明な基板本体の表面に直線偏光性を有する偏光膜を貼り付けて前記基板を形成する配線基板製造方法である。
本発明は配線基板製造方法であって、前記第一、第二のマスクに前記第一、第二の露光光を照射する工程では、発光部から放射された光を、偏光面が互いに直交する主偏光光と副偏光光とに分離し、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させ、前記第一、第二の露光光を生成する配線基板製造方法である。
本発明は、光を透過する基板の表面と裏面に、所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線を有する配線基板と、光源上に配置され、透過軸が互いに直交する第一、第二の偏光板の間に配置された液晶部を有する表示部と、を有し、前記配線基板は前記表示部の前記第二の偏光板上に配置され、前記光源からの光が前記表示部と前記配線基板とを順に透過して外部に放出されるタッチパネル式表示装置を製造するタッチパネル表示装置製造方法であって、直線偏光性を有する前記基板の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜をそれぞれ形成し、前記第一、第二の導電性薄膜の表面に、第一、第二の感光性レジスト膜を形成し、前記第一、第二の感光性レジスト膜上に、第一、第二のマスクを配置し、前記第一、第二のマスクに、前記基板を透過しない方向に偏光された第一、第二の露光光を照射し、前記第一、第二のマスクを透過した前記第一、第二の露光光を、前記第一、第二の感光性レジスト膜にそれぞれ照射し、前記第一、第二の感光性レジスト膜の、前記第一、第二の露光光が照射された部分を化学変化させた後、現像し、前記現像された前記第一、第二の感光性レジスト膜間に露出した前記第一、第二の導電性薄膜を除去し、前記第一、第二の配線を形成した後、前記基板の透過軸を前記第二の偏光板の透過軸と平行に向けた状態で、前記配線基板を前記表示部の前記第二の偏光板上に配置するタッチパネル式表示装置製造方法である。
本発明はタッチパネル式表示装置製造方法であって、前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明なフィルムを一軸延伸して前記基板を形成するタッチパネル式表示装置製造方法である。
本発明はタッチパネル式表示装置製造方法であって、前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明な基板本体の表面に直線偏光性を有する偏光膜を貼り付けて前記基板を形成するタッチパネル式表示装置製造方法である。
本発明はタッチパネル式表示装置製造方法であって、前記第一、第二のマスクに前記第一、第二の露光光を照射する工程では、発光部から放射された光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離し、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させ、前記第一、第二の露光光を生成するタッチパネル式表示装置製造方法である。
本発明は、第一、第二のマスクを保持する第一、第二のマスク保持部と、前記第一、第二のマスク保持部の間に配置され、処理対象物を保持する基板保持部と、前記第一、第二のマスク保持部に保持された前記第一、第二のマスクに、同一方向に直線偏光された第一、第二の露光光を照射する第一、第二の照明部と、を有する露光装置である。
本発明は露光装置であって、前記第一、第二の照明部は、光を放射する発光部と、前記発光部からの光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離する偏光分離部と、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させる複屈折素子と、をそれぞれ有する露光装置である。
本発明は、光を透過する基板と、前記基板の表面に配置され、光を透過する第一の配線と、前記基板の裏面に配置され、光を透過する第二の配線と、を有する配線基板であって、前記基板は直線偏光性を有する配線基板である。
本発明は配線基板であって、前記基板は、一軸延伸されたフィルムである配線基板である。
本発明は配線基板であって、前記基板は、透明な基板本体と、前記基板本体の表面に配置され、直線偏光性を有する偏光膜と、を有する配線基板である。
本発明は、前記配線基板と、前記基板の表面に、前記第一の配線の表面を覆って配置された、透明な絶縁物からなる第一の保護膜と、前記基板の裏面に、前記第二の配線の表面を覆って配置された、透明な絶縁物からなる第二の保護膜と、前記第一、第二の配線間の静電容量の変化を検出する制御装置と、を有するタッチパネルである。
本発明は、前記タッチパネルと、光を放射する表示部とを有し、前記表示部は、光源と、前記光源上に配置され、直線偏光性を有する第一の偏光板と、前記第一の偏光板上に、前記第一の偏光板と離間して配置され、直線偏光性を有する第二の偏光板と、前記第一の偏光板と前記第二の偏光板との間に配置された、光透過性を有する液晶部と、前記液晶部に電圧を印加する電源とを有し、前記第二の偏光板の透過軸は、前記第一の偏光板の透過軸に対して直交する向きに向けられ、前記配線基板は、前記基板の透過軸が前記第二の偏光板の透過軸に平行に向けられた状態で、前記第二の偏光板上に配置されたタッチパネル式表示装置である。
【発明の効果】
【００１２】
基板の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線を形成できるため、表面のみに配線が形成された二枚の基板を貼り合わせる従来の方法に比べて、配線基板の製造に必要な基板の使用量を減らすことができる。
遮光層を設ける従来の方法より少ない工程で、基板の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線を形成できるため、配線基板の生産効率が上がる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）〜（ｅ）：本発明の配線基板製造方法を説明するための図
【図２】（ａ）、（ｂ）：基板形成工程を説明するための図
【図３】（ａ）、（ｂ）：エッチング工程と保護膜形成工程を説明するための図
【図４】本発明のタッチパネル式表示装置の内部構成図
【図５】（ａ）：本発明のタッチパネルの第一の配線側の平面図 （ｂ）：単位検出部の平面図
【図６】本発明の露光装置の内部構成図
【図７】本発明の露光装置内に処理対象物と第一、第二のマスクとを配置した状態を説明するための図
【図８】（ａ）〜（ｆ）：タッチパネルに用いられる配線基板の構成を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
＜タッチパネル式表示装置の構造＞
本発明のタッチパネル式表示装置の構造を説明する。
図４はタッチパネル式表示装置２の内部構成図である。
タッチパネル式表示装置２は、光を放射する表示部２０と、表示部２０上に配置された本発明のタッチパネル１０とを有している。
【００１５】
本実施例では、表示部２０は、光源２２と、光源２２からの光を透過・遮蔽するシャッター２３とを有しており、シャッター２３は、第一、第二の偏光板２４ａ、２４ｂと、第一の偏光板２４ａと第二の偏光板２４ｂとの間に配置された液晶部２６と、液晶部２６に電圧を印加する電源２７とを有している。
【００１６】
第一、第二の偏光板２４ａ、２４ｂは、透過軸を有し、偏光面が透過軸に平行な直線偏光光のみを透過させるようになっている。第一の偏光板２４ａは光源２２上に配置され、第二の偏光板２４ｂは第一の偏光板２４ａ上に、第一の偏光板２４ａと離間して平行に対面して配置され、第二の偏光板２４ｂの透過軸は第一の偏光板２４ａの透過軸に対して直交する向きに向けられている。
【００１７】
液晶部２６は、光透過性を有しており、電源２７から電圧を印加されていない状態では、光源２２から放射され、第一の偏光板２４ａを透過した光の偏光方向を９０°回転させるようになっている。従って、光源２２から放射されて第一の偏光板２４ａと液晶部２６とを順に透過した光の偏光方向は、第二の偏光板２４ｂの透過軸と平行であり、第二の偏光板２４ｂを透過する。すなわち、液晶部２６に電圧が印加されていない状態では、シャッター２３は開いた状態になっている。
【００１８】
一方、液晶部２６は、電源２７から電圧を印加された状態では、第一の偏光板２４ａを透過した光の偏光方向をそのまま維持するようになっている。従って、光源２２から放射されて第一の偏光板２４ａと液晶部２６を透過した光の偏光方向は、第二の偏光板２４ｂの透過軸に対して直交しており、第二の偏光板２４ｂで遮断される。すなわち、液晶部２６に電圧印加された状態では、シャッター２３は閉じた状態になっている。
【００１９】
本発明のタッチパネル１０は、光を透過する基板１２の表面と裏面に、互いに異なる所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを有する配線基板１１と、第一、第二の保護膜１６ａ、１６ｂと、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂ間の静電容量の変化を検出する制御装置１７とを有している。
第一、第二の保護膜１６ａ、１６ｂは透明な絶縁物からなり、基板１２の表面と裏面に、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂの表面を覆ってそれぞれ配置されている。
【００２０】
図５（ａ）は、本発明のタッチパネル１０の第一の配線１４ａ側の平面図である。
第一、第二の配線１４ａ、１４ｂは、直線状に延ばされた単位検出部１８をそれぞれ複数個有している。各配線１４ａ、１４ｂでは、単位検出部１８は互いに平行に配置されており、隣り合う二個の単位検出部１８は互いに離間されている。
第一の配線１４ａの単位検出部１８が延びる方向と、第二の配線１４ｂの単位検出部１８が延びる方向とは、基板１２表面上で、互いに交差する向きに向けられている。
【００２１】
制御装置１７は、各単位検出部１８に電気的に接続されており、本実施例では、第一の配線１４ａの各単位検出部１８に順に駆動電圧を印加して、第二の配線１４ｂの各単位検出部１８に流れる電流値を測定できるようになっている。
【００２２】
配線基板１１上に外部導体（例えば指又はタッチペン）が接触すると、接触部分の真下に位置する第一の配線１４ａの単位検出部１８と外部導体との間にコンデンサが形成され、接触部分の真下に位置する第一の配線１４ａの単位検出部１８と第二の配線１４ｂの単位検出部１８との間の静電容量が実質的に減少する。接触部分の真下に位置する第一の配線１４ａの単位検出部１８に駆動電圧を印加すると、接触部分の真下に位置する第二の配線１４ｂの単位検出部１８に流れる電流値は、外部導体が接触していない状態の電流値である基準値より減少する。制御装置１７は、第一の配線１４ａの単位検出部１８に順に駆動電圧を印加しながら、第二の配線１４ｂの単位検出部１８に流れる電流値を基準値と比較して、変化量の最も大きい単位検出部１８を特定することにより、接触部分の真下に位置する第一の配線１４ａの単位検出部１８と第二の配線１４ｂの単位検出部１８とを特定する。特定された第一、第二の配線１４ａ、１４ｂの単位検出部１８の交差位置から、接触部分の配線基板１１上の位置が特定される。
【００２３】
ここでは、単位検出部１８は、図５（ｂ）に示すように、直線状のライン部１８ａと、ライン部１８ａ上に互いに離間して等間隔に設けられた複数の平面状のパット部１８ｂとを有している。ここでは、パット部１８ｂは四角形であり、一の対角線とライン部１８ａとが一致する向きに向けられて配置されているが、パット部１８ｂの平面形状はこれに限定されず、三角形でもよいし、四角形であって、対向する二辺の各中点を結ぶ線分とライン部１８ａとが一致する向きに向けられて配置されていてもよい。
【００２４】
図５（ａ）に示すように、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂの単位検出部１８のライン部１８ａは、互いに直交する向きに延ばされ、第一の配線１４ａの単位検出部１８のパット部１８ｂは、配線基板１１を第一の配線１４ａ側から見たときに、それぞれ重ならないように、第二の配線１４ｂの単位検出部１８のパット部１８ｂの隙間を埋めて配置されている。
【００２５】
そのため、配線基板１１を第一の配線１４ａ側から見たときに、単位検出部１８が位置する範囲の光透過率は、単位検出部１８の外側の隙間部分の光透過率とは異なるものの、隙間部分は狭くされており目立たず、配線基板１１の表面内で光透過率が均一になるようにされている。
【００２６】
また、配線基板１１上に外部導体が接触したときに、接触部分の真下には、単位検出部１８が配置されていないということがなく、少なくとも二以上の単位検出部１８が配置されるようになり、接触面積が大きいと静電容量の変化が大きく、単位検出部１８を流れる電流値の基準値からの変化が大きくなるため、基準値からの変化を検知できないという制御装置１７の感応ミスを防ぐことができる。
【００２７】
本発明の配線基板１１では、基板１２は直線偏光性を有している。ここでは、基板１２は、一軸延伸された透明なフィルムであり、この一軸延伸方向に対して直交する方向に透過軸を有している。すなわち、基板１２は、偏光面がこの透過軸に対して平行な直線偏光光のみを透過させるようになっている。
【００２８】
なお、基板１２は直線偏光性を有するならば、一軸延伸された透明なフィルムに限定されず、図２（ｂ）を参照し、直線偏光性を持たない透明な基板本体１２’の表面又は裏面のいずれか一方に直線偏光性を有する偏光膜１３が貼り付けられたものも本発明に含まれる。
【００２９】
図４を参照し、本発明では、配線基板１１は、基板１２の透過軸が第二の偏光板２４ｂの透過軸と平行に向けられた状態で、表示部２０の第二の偏光板２４ｂ上に配置されている。
表示部２０の光源２２から放出された光は、液晶部２６に電圧が印加されていると、第一の偏光板２４ａと液晶部２６と第二の偏光板２４ｂとを順に透過した後、第二の保護膜１６ｂを透過して、又は第二の保護膜１６ｂと第二の配線１４ｂとを順に透過して、基板１２に入射する。ここで、第二の偏光板２４ｂを透過した光は、偏光面が第二の偏光板２４ｂの透過軸と平行な直線偏光光であり、すなわち偏光面が基板１２の透過軸と平行である。そのため、入射した光は基板１２を透過して、第一の保護膜１６ａを透過し、又は第一の配線１４ａと第一の保護膜１６ａとを順に透過して、外部に放出されるようになっている。
【００３０】
なお、表示部２０は、上述のような液晶表示装置に限られるものではなく、有機ＥＬやＣＲＴなどでもよい。
表示部２０上には、画像又は映像が表示されるようになっており、このタッチパネル式表示装置２では、配線基板１１上の位置と表示部２０上の位置とが予め対応するようになっている。
【００３１】
本実施例では、図５（ａ）を参照し、第一の配線１４ａの単位検出部１８と、第二の配線１４ｂの単位検出部１８とは、互いに直交する方向に延ばされており、第一の配線１４ａの単位検出部１８と直交する方向をＸ軸方向１９ａとし、第二の配線１４ｂの単位検出部１８と直交する方向をＹ軸方向１９ｂとし、原点を表示部２０上の所定位置に定めて、配線基板１１上に（Ｘ、Ｙ）座標系が設定されている。制御装置１７には、第一の配線１４ａの各単位検出部１８の配置位置と各Ｘ座標値とは一対一に対応づけられて記憶され、第二の配線１４ｂの各単位検出部１８の配置位置と各Ｙ座標値とは一対一に対応づけられて記憶されている。
【００３２】
このタッチパネル式表示装置２の使用者は、指又はタッチペンでタッチパネル１０を操作することにより、表示部２０上の画像又は映像を操作することができるようになっている。
上述の説明では、基板１２は直線偏光性を有していたが、円偏光性を有する基板も本発明に含まれる。
【００３３】
＜露光装置の構造＞
後述するタッチパネル式表示装置製造方法の露光工程で用いる本発明の露光装置の構造を説明する。
【００３４】
図６は露光装置４０の内部構成図である。
露光装置４０は、筐体４３と、筐体４３内に配置され、第一、第二のマスクを保持する第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂと、第一のマスク保持部５３ａと第二のマスク保持部５３ｂとの間に配置され、処理対象物を保持する基板保持部５７と、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂに保持された第一、第二のマスクに、同一方向に直線偏光された第一、第二の露光光を照射する第一、第二の照明部４１ａ、４１ｂとを有している。
【００３５】
図７を参照し、処理対象物３０と第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂとを、基板保持部５７と第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂとに保持させると、第一のマスク３７ａは処理対象物３０の表面と対面し、第二のマスク３７ｂは処理対象物３０の前記表面とは逆の裏面と対面するようになっている。
【００３６】
第一、第二の照明部４１ａ、４１ｂは、光を放射する発光部６１ａ、６１ｂと、発光部６１ａ、６１ｂからの光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離する偏光分離部６２ａ、６２ｂと、主偏光光と副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させる複屈折素子６３ａ、６３ｂとをそれぞれ有している。
【００３７】
ここでは偏光分離部６２ａ、６２ｂは偏光ビームスプリッタアレイ（ＰＢＳ）であり、平行四辺形状のプリズムが複数個、斜面同士を交互に貼り合わされて構成されている。複屈折素子６３ａ、６３ｂは半波長板である。
【００３８】
偏光分離部６２ａ、６２ｂに入射した光はプリズムの斜面で、Ｓ偏光光とＰ偏光光とに分離される。ここではＳ偏光光を主偏光光とし、Ｐ偏光光を副偏光光とし、複屈折素子６３ａ、６３ｂは副偏光光の光路上に配置されており、副偏光光は複屈折素子６３ａ、６３ｂを通過する間に偏光面が９０°回転されて、偏光面が主偏光光の偏光面と一致する。
【００３９】
偏光分離部６２ａ、６２ｂで分離された主偏光光と、偏光分離部６２ａ、６２ｂで分離され、複屈折素子６３ａ、６３ｂで偏光面が９０°回転された副偏光光とから、同一方向に直線偏光された第一、第二の露光光が生成されるようになっている。
【００４０】
第一の照明部４１ａと第一のマスク３７ａとの間と、第二の照明部４１ｂと第二のマスク３７ｂとの間に、直線偏光性を有する偏光フィルタ（不図示）を、その透過軸が第一、第二の露光光の偏光面と平行に向く向きでそれぞれ配置してもよい。第一、第二の露光光が偏光フィルタを透過することにより、第一、第二の露光光の偏光面の単一性をより強くできる。
【００４１】
上述の偏光分離部６２ａ、６２ｂと複屈折素子６３ａ、６３ｂとを省略して、偏光フィルタのみで発光部６１ａ、６１ｂからの光を直線偏光させてもよいが、この構成では、発光部６１ａ、６１ｂからの光が偏光フィルタで減光されて効率が悪く、かつ偏光フィルタが光を吸収して発熱し、偏光フィルタを冷却するための装置が必要になるため、偏光分離部６２ａ、６２ｂと複屈折素子６３ａ、６３ｂとを有する構成が好ましい。
【００４２】
＜タッチパネル式表示装置の製造方法＞
本発明であるタッチパネル式表示装置２の製造方法を説明する。
（基板形成工程）
まず、図２（ａ）を参照し、直線偏光性を有する透明な基板１２を用意する。
【００４３】
本実施例では、透明なフィルムに有機系染料などの染料分子を染色・吸着させたのち、筒状の回転ローラなどで一方向に引き伸ばして一軸延伸させ、染料分子をこの一軸延伸方向に沿って規則的に並べて、一軸延伸方向と直交する方向に透過軸を有する基板１２を形成する。
【００４４】
なお、図２（ｂ）を参照し、直線偏光性を持たない透明な基板本体１２’の表面に、直線偏光性を有する偏光膜１３（例えば上述の一軸延伸されたフィルム）を貼り付けて、直線偏光性を有する基板１２を形成してもよい。
【００４５】
（導電性薄膜形成工程）
次いで、図１（ａ）を参照し、基板１２の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂをそれぞれ形成する。
【００４６】
ここでは、真空雰囲気中に、酸素ガスを流しながら、ＩＴＯのターゲットをスパッタして、スパッタ粒子を基板１２の表面と裏面にそれぞれ到達させ、基板１２の表面と裏面にＩＴＯの薄膜である第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂをそれぞれ形成する。
なお、第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂの材質は、透明な導電性物質であればＩＴＯに限定されるものではない。
【００４７】
（感光性レジスト膜形成工程）
次いで、図１（ｂ）を参照し、第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂの表面に、液体状の感光性樹脂を塗布して、感光性樹脂の薄膜からなる第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂを形成する。
【００４８】
本実施例では、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂにはポジ型フォトレジストを用いるが、本発明はこれに限定されず、ネガ型フォトレジストを用いてもよい。
以下では、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂが形成された処理対象物に符号３０を付して示す。
【００４９】
（露光工程）
第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂを形成した後、図７を参照し、処理対象物３０を、露光装置４０の筐体４３内に搬入し、基板１２の透過軸が第一、第二の照明部４１ａ、４１ｂから放出される第一、第二の露光光の偏光面と直交する向きに向けた状態で、基板保持部５７に保持させる。
【００５０】
次いで、第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂを筐体４３内に搬入し、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂにそれぞれ保持させる。
第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂは、光を透過する透光部３６ａ、３６ｂと、光を遮蔽する遮光部３５ａ、３５ｂとをそれぞれ有している。ここでは、第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂは、表面上に互いに異なる所定のパターン（第一、第二の配線と同じパターン）でパターニングされたクロム膜が配置されたガラス基板であり、透光部３６ａ、３６ｂはガラス基板であり、遮光部３５ａ、３５ｂはクロム膜である。
【００５１】
第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂには、予め、互いのパターンの相対位置が第一、第二の配線の相対位置と一致するような所定の相対位置が定められており、この相対位置に配置されたときに第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂの互いに重なりあう部分には、不図示のアライメントマークがそれぞれ設けられている。
【００５２】
本実施例では、露光装置４０は、第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂの相対位置を位置合わせする位置合わせ装置５０を有している。
位置合わせ装置５０は、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂを移動させるモーター５５ａ、５５ｂと、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂの位置を観測するカメラ５１ａ、５１ｂと、カメラ５１ａ、５１ｂの観測結果に基づいて、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂの移動量を決定する制御装置５９とを有している。
【００５３】
カメラ５１ａ、５１ｂは、ここでは第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂ上のアライメントマークを観測できる位置に配置されており、各アライメントマークをそれぞれ観測する。
制御装置５９はカメラ５１ａ、５１ｂの観測結果に基づいて、第一のマスク３７ａのアライメントマークと第二のマスク３７ｂのアライメントマークとの相対位置の誤差量を測定し、モーター５５ａ、５５ｂに制御信号を送って、誤差量がゼロになるように、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂに保持された第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂを相対的に移動させて位置合わせする。
【００５４】
第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂを位置合わせした後、第一、第二の照明部４１ａ、４１ｂから第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂに第一、第二の露光光を照射させる。ここでは第一、第二の露光光は直線偏光された紫外線である。
【００５５】
本実施例では、第一の露光光の照射と第二の露光光の照射とを同時に開始するが、第一の露光光の照射を開始した後で第二の露光光の照射を開始してもよいし、第二の露光光の照射を開始した後で第一の露光光の照射を開始してもよい。
第一、第二の露光光の照射期間を少なくとも一部重ねる方が、第一、第二の露光光の照射期間を分離するよりも、露光工程に要する時間を短縮できるため好ましい。
【００５６】
第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂのうち、遮光部３５ａ、３５ｂに入射する光は遮断され、透光部３６ａ、３６ｂに入射する光は透過して第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂに入射する。
【００５７】
ここでは、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂは光分解性樹脂（ポジ型フォトレジスト）からなり、図１（ｃ）を参照し、光が照射された部分３３ａ、３３ｂは分解して現像液に可溶になり、光が照射されなかった部分３４ａ、３４ｂは分解せず、現像液に不溶である。
【００５８】
第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂに入射する光の一部は、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂに吸収され、他の部分は第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂを通過して、第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂに入射する。
【００５９】
第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂは透明であり、光は第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂを透過して、基板１２に入射するが、第一、第二の露光光の偏光面は基板１２の透過軸と直交しており、第一、第二の露光光は基板１２で遮断される。
そのため、第一の露光光が基板１２を透過して第二の感光性レジスト膜３２ｂを分解したり、第二の露光光が基板１２を透過して第一の感光性レジスト膜３２ａを分解することはない。
【００６０】
なお、基板１２が右回り（又は左回り）の円偏光性を有する場合には、基板１２を透過しない方向、すなわち左回り（又は右回り）に円偏光された第一、第二の露光光を第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂに照射して、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂを露光してもよい。
【００６１】
（現像工程）
露光された処理対象物３０を現像液に浸漬させて、現像すると、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂのうち、露光光が照射された部分３３ａ、３３ｂは現像液に溶解して除去され、露光光が照射されなかった部分３４ａ、３４ｂは現像液に溶解せずにそのまま残り、図１（ｄ）を参照し、第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂのパターンと同じパターンのレジスト膜が形成される。現像された第一、第二の感光性レジスト膜に符号３２ａ’、３２ｂ’を付して示す。
【００６２】
その後、処理対象物３０を現像液から取り出し、処理対象物３０に付着した現像液がなくなるまで純水で洗浄する。第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂの一部が現像液に溶解して除去されたことにより、第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂの表面の一部が露出する。
【００６３】
（エッチング工程）
次いで、図１（ｅ）を参照し、現像された第一の感光性レジスト膜３２ａ’間に露出した第一の導電性薄膜３１ａと、現像された第二の感光性レジスト膜３２ｂ’間に露出した第二の導電性薄膜３２ｂとをエッチングして除去し、現像された第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’のパターンと同じパターンにパターニングされた前記第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを形成する。
【００６４】
次いで、現像された第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’を溶解する溶液に処理対象物を浸漬すると、図３（ａ）を参照し、現像された第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’が除去される。その後、処理対象物を溶液から取り出して、処理対象物に付着した溶液がなくなるまで純水で洗浄する。現像された第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’が除去されたことにより、パターニングされた第一、第二の配線１４ａ、１４ｂが露出する。
【００６５】
（保護膜形成工程）
次いで、図３（ｂ）を参照し、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂが露出しないように、基板１２の表面と裏面に透明な絶縁物からなる第一、第二の保護膜１６ａ、１６ｂを形成し、配線基板１１を完成させる。
【００６６】
（組み立て工程）
次いで、図４を参照し、基板１２の透過軸を第二の偏光板２４ｂの透過軸と平行に向けた状態で、配線基板１１を表示部２０の第二の偏光板２４ｂ上に配置し、配線基板１１に制御装置１７を接続して、タッチパネル式表示装置２を完成させる。
【００６７】
本発明の製造方法によると、基板１２の表面と裏面に互いに異なるパターンの第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを形成できるため、表面のみに配線が形成された二枚の基板を貼り合わせる従来の方法に比べて、配線基板１１の製造に必要な基板１２の使用量を減らすことができる。
また、遮光層を設ける従来の方法より少ない工程で、基板１２の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線１４ａ、１４ｂを形成できるため、配線基板１１の生産効率が高くなっている。
【符号の説明】
【００６８】
２……タッチパネル式表示装置
１０……タッチパネル
１１……配線基板
１２……基板
１２’……基板本体
１３……偏光膜
１４ａ、１４ｂ……第一、第二の配線
１６ａ、１６ｂ……第一、第二の保護膜
２０……表示部
２２……光源
２４ａ、２４ｂ……第一、第二の偏光板
２６……液晶部
３１ａ、３１ｂ……第一、第二の導電性薄膜
３２ａ、３２ｂ……第一、第二の感光性レジスト膜
３７ａ、３７ｂ……第一、第二のマスク
３２ａ’、３２ｂ’……現像された第一、第二の感光性レジスト膜
４０……露光装置
４１ａ、４１ｂ……第一、第二の照明部
５３ａ、５３ｂ……第一、第二のマスク保持部
５７……基板保持部
６１ａ、６１ｂ……発光部
６２ａ、６２ｂ……偏光分離部
６３ａ、６３ｂ……複屈折素子
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板製造方法、タッチパネル式表示装置製造方法、露光装置、配線基板、タッチパネル、タッチパネル式表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、タッチパネルを指又はタッチペンで操作することにより、表示部の画像又は映像を操作することができるタッチパネル式表示装置の需要が拡大している。
タッチパネルに用いられる配線基板の構成に関しては、図８（ａ）〜（ｆ）に示す第一〜第六の配線基板１１１1〜１１１6が知られている。
【０００３】
図８（ａ）を参照し、第一の配線基板１１１1では、ガラス基板１１２の表面と裏面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂがそれぞれ形成されている。
図８（ｂ）を参照し、第二の配線基板１１１2では、ガラス基板１１２の表面に第二の配線１１４ｂが形成され、第二の配線１１４ｂ上に絶縁膜１１８が形成され、絶縁膜１１８上に第一の配線１１４ａが形成されている。
【０００４】
図８（ｃ）を参照し、第三の配線基板１１１3では、表面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂが形成された二枚のガラス基板１１２ａ、１１２ｂが表面を向かい合わせて配置され、第一の配線１１４ａと第二の配線１１４ｂとの間には絶縁膜１１８が配置されている。
図８（ｄ）を参照し、第四の配線基板１１１4では、表面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂが形成された二枚のフィルム基板２１２ａ、２１２ｂが重ね合わされて配置されている。
【０００５】
図８（ｅ）を参照し、第五の配線基板１１１5では、表面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂが形成された二枚のフィルム基板２１２ａ、２１２ｂが背中合わせに配置され、第一、第二のフィルム基板２１２ａ、２１２ｂの裏面は貼り合わせ層１１９で互いに接着されている。
図８（ｆ）を参照し、第六の配線基板１１１6では、フィルム基板２１２の表面と裏面に第一、第二の配線１１４ａ、１１４ｂがそれぞれ形成されている。
【０００６】
第四〜第六の配線基板１１１4〜１１１6のフィルム基板２１２ａ、２１２ｂ、２１２には、光透過性に優れるＰＥＴフィルムが多く用いられている。
フィルム基板を用いた第四〜第六の配線基板１１１4〜１１１6は、ガラス基板を用いた第一〜第三の配線基板１１１1〜１１１3に比べて軽く、柔軟性を有するという利点があるものの、フィルム基板の直線精度はガラス基板に比べて低く、露光パターンが必ずしも一直線でないため、第四、第五の配線基板１１１4、１１１5の製造工程では、貼り合わせをロール・ツー・ロール（ＲＴＲ）化することができず、生産性が低いという問題があった。
【０００７】
一方、第六の配線基板１１１6の製造工程では、貼り合わせが不要であり、かつフィルム基板の使用量を第四、第五の配線基板１１１4、１１１5に比べて減らすことができるという利点がある。
しかし、フィルム基板の表面と裏面に互いに異なる回路パターンを作成する必要があり、パターニングを行う露光工程において、表面（又は裏面）側のマスク（レチクル）を透過した紫外線が、表面（又は裏面）側の感光性レジスト膜とフィルム基板とを順に透過して、裏面（又は表面）側の感光性レジスト膜と化学反応してしまうという干渉問題が懸念されていた。
【０００８】
特許文献１では、両面パターニングの露光工程における干渉問題を回避するために、表面側の感光性レジスト膜と裏面側の感光性レジスト膜との間に光を遮断する遮光層を設ける方法が開示されている。
しかし、遮光層が残留すると遮光層が陰になってディスプレイの機能が失われるため、遮光層を取り除く工程が必要になるという不都合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−１９８１０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、従来技術より少ない工程で、基板の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線を形成できる配線基板製造方法と、タッチパネル式表示装置製造方法と、露光装置と、配線基板と、タッチパネルと、タッチパネル式表示装置とを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために本発明は、光を透過する基板の表面と裏面に、所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線を有する配線基板を製造する配線基板製造方法であって、直線偏光性を有する前記基板の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜をそれぞれ形成し、前記第一、第二の導電性薄膜の表面に、第一、第二の感光性レジスト膜を形成し、前記第一、第二の感光性レジスト膜上に、第一、第二のマスクを配置し、前記第一、第二のマスクに、前記基板を透過しない方向に偏光された第一、第二の露光光を照射し、前記第一、第二のマスクを透過した前記第一、第二の露光光を、前記第一、第二の感光性レジスト膜にそれぞれ照射し、前記第一、第二の感光性レジスト膜の、前記第一、第二の露光光が照射された部分を化学変化させた後、現像し、前記現像された前記第一、第二の感光性レジスト膜間に露出した前記第一、第二の導電性薄膜を除去し、前記第一、第二の配線を形成する配線基板製造方法である。
本発明は配線基板製造方法であって、前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明なフィルムを一軸延伸して前記基板を形成する配線基板製造方法である。
本発明は配線基板製造方法であって、前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明な基板本体の表面に直線偏光性を有する偏光膜を貼り付けて前記基板を形成する配線基板製造方法である。
本発明は配線基板製造方法であって、前記第一、第二のマスクに前記第一、第二の露光光を照射する工程では、発光部から放射された光を、偏光面が互いに直交する主偏光光と副偏光光とに分離し、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させ、前記第一、第二の露光光を生成する配線基板製造方法である。
本発明は、光を透過する基板の表面と裏面に、所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線を有する配線基板と、光源上に配置され、透過軸が互いに直交する第一、第二の偏光板の間に配置された液晶部を有する表示部と、を有し、前記配線基板は前記表示部の前記第二の偏光板上に配置され、前記光源からの光が前記表示部と前記配線基板とを順に透過して外部に放出されるタッチパネル式表示装置を製造するタッチパネル表示装置製造方法であって、直線偏光性を有する前記基板の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜をそれぞれ形成し、前記第一、第二の導電性薄膜の表面に、第一、第二の感光性レジスト膜を形成し、前記第一、第二の感光性レジスト膜上に、第一、第二のマスクを配置し、前記第一、第二のマスクに、前記基板を透過しない方向に偏光された第一、第二の露光光を照射し、前記第一、第二のマスクを透過した前記第一、第二の露光光を、前記第一、第二の感光性レジスト膜にそれぞれ照射し、前記第一、第二の感光性レジスト膜の、前記第一、第二の露光光が照射された部分を化学変化させた後、現像し、前記現像された前記第一、第二の感光性レジスト膜間に露出した前記第一、第二の導電性薄膜を除去し、前記第一、第二の配線を形成した後、前記基板の透過軸を前記第二の偏光板の透過軸と平行に向けた状態で、前記配線基板を前記表示部の前記第二の偏光板上に配置するタッチパネル式表示装置製造方法である。
本発明はタッチパネル式表示装置製造方法であって、前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明なフィルムを一軸延伸して前記基板を形成するタッチパネル式表示装置製造方法である。
本発明はタッチパネル式表示装置製造方法であって、前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明な基板本体の表面に直線偏光性を有する偏光膜を貼り付けて前記基板を形成するタッチパネル式表示装置製造方法である。
本発明はタッチパネル式表示装置製造方法であって、前記第一、第二のマスクに前記第一、第二の露光光を照射する工程では、発光部から放射された光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離し、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させ、前記第一、第二の露光光を生成するタッチパネル式表示装置製造方法である。
本発明は、第一、第二のマスクを保持する第一、第二のマスク保持部と、前記第一、第二のマスク保持部の間に配置され、処理対象物を保持する基板保持部と、前記第一、第二のマスク保持部に保持された前記第一、第二のマスクに、同一方向に直線偏光された第一、第二の露光光を照射する第一、第二の照明部と、を有する露光装置である。
本発明は露光装置であって、前記第一、第二の照明部は、光を放射する発光部と、前記発光部からの光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離する偏光分離部と、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させる複屈折素子と、をそれぞれ有する露光装置である。
本発明は、光を透過する基板と、前記基板の表面に配置され、光を透過する第一の配線と、前記基板の裏面に配置され、光を透過する第二の配線と、を有する配線基板であって、前記基板は直線偏光性を有する配線基板である。
本発明は配線基板であって、前記基板は、一軸延伸されたフィルムである配線基板である。
本発明は配線基板であって、前記基板は、透明な基板本体と、前記基板本体の表面に配置され、直線偏光性を有する偏光膜と、を有する配線基板である。
本発明は、前記配線基板と、前記基板の表面に、前記第一の配線の表面を覆って配置された、透明な絶縁物からなる第一の保護膜と、前記基板の裏面に、前記第二の配線の表面を覆って配置された、透明な絶縁物からなる第二の保護膜と、前記第一、第二の配線間の静電容量の変化を検出する制御装置と、を有するタッチパネルである。
本発明は、前記タッチパネルと、光を放射する表示部とを有し、前記表示部は、光源と、前記光源上に配置され、直線偏光性を有する第一の偏光板と、前記第一の偏光板上に、前記第一の偏光板と離間して配置され、直線偏光性を有する第二の偏光板と、前記第一の偏光板と前記第二の偏光板との間に配置された、光透過性を有する液晶部と、前記液晶部に電圧を印加する電源とを有し、前記第二の偏光板の透過軸は、前記第一の偏光板の透過軸に対して直交する向きに向けられ、前記配線基板は、前記基板の透過軸が前記第二の偏光板の透過軸に平行に向けられた状態で、前記第二の偏光板上に配置されたタッチパネル式表示装置である。
【発明の効果】
【００１２】
基板の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線を形成できるため、表面のみに配線が形成された二枚の基板を貼り合わせる従来の方法に比べて、配線基板の製造に必要な基板の使用量を減らすことができる。
遮光層を設ける従来の方法より少ない工程で、基板の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線を形成できるため、配線基板の生産効率が上がる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）〜（ｅ）：本発明の配線基板製造方法を説明するための図
【図２】（ａ）、（ｂ）：基板形成工程を説明するための図
【図３】（ａ）、（ｂ）：エッチング工程と保護膜形成工程を説明するための図
【図４】本発明のタッチパネル式表示装置の内部構成図
【図５】（ａ）：本発明のタッチパネルの第一の配線側の平面図 （ｂ）：単位検出部の平面図
【図６】本発明の露光装置の内部構成図
【図７】本発明の露光装置内に処理対象物と第一、第二のマスクとを配置した状態を説明するための図
【図８】（ａ）〜（ｆ）：タッチパネルに用いられる配線基板の構成を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
＜タッチパネル式表示装置の構造＞
本発明のタッチパネル式表示装置の構造を説明する。
図４はタッチパネル式表示装置２の内部構成図である。
タッチパネル式表示装置２は、光を放射する表示部２０と、表示部２０上に配置された本発明のタッチパネル１０とを有している。
【００１５】
本実施例では、表示部２０は、光源２２と、光源２２からの光を透過・遮蔽するシャッター２３とを有しており、シャッター２３は、第一、第二の偏光板２４ａ、２４ｂと、第一の偏光板２４ａと第二の偏光板２４ｂとの間に配置された液晶部２６と、液晶部２６に電圧を印加する電源２７とを有している。
【００１６】
第一、第二の偏光板２４ａ、２４ｂは、透過軸を有し、偏光面が透過軸に平行な直線偏光光のみを透過させるようになっている。第一の偏光板２４ａは光源２２上に配置され、第二の偏光板２４ｂは第一の偏光板２４ａ上に、第一の偏光板２４ａと離間して平行に対面して配置され、第二の偏光板２４ｂの透過軸は第一の偏光板２４ａの透過軸に対して直交する向きに向けられている。
【００１７】
液晶部２６は、光透過性を有しており、電源２７から電圧を印加されていない状態では、光源２２から放射され、第一の偏光板２４ａを透過した光の偏光方向を９０°回転させるようになっている。従って、光源２２から放射されて第一の偏光板２４ａと液晶部２６とを順に透過した光の偏光方向は、第二の偏光板２４ｂの透過軸と平行であり、第二の偏光板２４ｂを透過する。すなわち、液晶部２６に電圧が印加されていない状態では、シャッター２３は開いた状態になっている。
【００１８】
一方、液晶部２６は、電源２７から電圧を印加された状態では、第一の偏光板２４ａを透過した光の偏光方向をそのまま維持するようになっている。従って、光源２２から放射されて第一の偏光板２４ａと液晶部２６を透過した光の偏光方向は、第二の偏光板２４ｂの透過軸に対して直交しており、第二の偏光板２４ｂで遮断される。すなわち、液晶部２６に電圧印加された状態では、シャッター２３は閉じた状態になっている。
【００１９】
本発明のタッチパネル１０は、光を透過する基板１２の表面と裏面に、互いに異なる所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを有する配線基板１１と、第一、第二の保護膜１６ａ、１６ｂと、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂ間の静電容量の変化を検出する制御装置１７とを有している。
第一、第二の保護膜１６ａ、１６ｂは透明な絶縁物からなり、基板１２の表面と裏面に、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂの表面を覆ってそれぞれ配置されている。
【００２０】
図５（ａ）は、本発明のタッチパネル１０の第一の配線１４ａ側の平面図である。
第一、第二の配線１４ａ、１４ｂは、直線状に延ばされた単位検出部１８をそれぞれ複数個有している。各配線１４ａ、１４ｂでは、単位検出部１８は互いに平行に配置されており、隣り合う二個の単位検出部１８は互いに離間されている。
第一の配線１４ａの単位検出部１８が延びる方向と、第二の配線１４ｂの単位検出部１８が延びる方向とは、基板１２表面上で、互いに交差する向きに向けられている。
【００２１】
制御装置１７は、各単位検出部１８に電気的に接続されており、本実施例では、第一の配線１４ａの各単位検出部１８に順に駆動電圧を印加して、第二の配線１４ｂの各単位検出部１８に流れる電流値を測定できるようになっている。
【００２２】
配線基板１１上に外部導体（例えば指又はタッチペン）が接触すると、接触部分の真下に位置する第一の配線１４ａの単位検出部１８と外部導体との間にコンデンサが形成され、接触部分の真下に位置する第一の配線１４ａの単位検出部１８と第二の配線１４ｂの単位検出部１８との間の静電容量が実質的に減少する。接触部分の真下に位置する第一の配線１４ａの単位検出部１８に駆動電圧を印加すると、接触部分の真下に位置する第二の配線１４ｂの単位検出部１８に流れる電流値は、外部導体が接触していない状態の電流値である基準値より減少する。制御装置１７は、第一の配線１４ａの単位検出部１８に順に駆動電圧を印加しながら、第二の配線１４ｂの単位検出部１８に流れる電流値を基準値と比較して、変化量の最も大きい単位検出部１８を特定することにより、接触部分の真下に位置する第一の配線１４ａの単位検出部１８と第二の配線１４ｂの単位検出部１８とを特定する。特定された第一、第二の配線１４ａ、１４ｂの単位検出部１８の交差位置から、接触部分の配線基板１１上の位置が特定される。
【００２３】
ここでは、単位検出部１８は、図５（ｂ）に示すように、直線状のライン部１８ａと、ライン部１８ａ上に互いに離間して等間隔に設けられた複数の平面状のパット部１８ｂとを有している。ここでは、パット部１８ｂは四角形であり、一の対角線とライン部１８ａとが一致する向きに向けられて配置されているが、パット部１８ｂの平面形状はこれに限定されず、三角形でもよいし、四角形であって、対向する二辺の各中点を結ぶ線分とライン部１８ａとが一致する向きに向けられて配置されていてもよい。
【００２４】
図５（ａ）に示すように、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂの単位検出部１８のライン部１８ａは、互いに直交する向きに延ばされ、第一の配線１４ａの単位検出部１８のパット部１８ｂは、配線基板１１を第一の配線１４ａ側から見たときに、それぞれ重ならないように、第二の配線１４ｂの単位検出部１８のパット部１８ｂの隙間を埋めて配置されている。
【００２５】
そのため、配線基板１１を第一の配線１４ａ側から見たときに、単位検出部１８が位置する範囲の光透過率は、単位検出部１８の外側の隙間部分の光透過率とは異なるものの、隙間部分は狭くされており目立たず、配線基板１１の表面内で光透過率が均一になるようにされている。
【００２６】
また、配線基板１１上に外部導体が接触したときに、接触部分の真下には、単位検出部１８が配置されていないということがなく、少なくとも二以上の単位検出部１８が配置されるようになり、接触面積が大きいと静電容量の変化が大きく、単位検出部１８を流れる電流値の基準値からの変化が大きくなるため、基準値からの変化を検知できないという制御装置１７の感応ミスを防ぐことができる。
【００２７】
本発明の配線基板１１では、基板１２は直線偏光性を有している。ここでは、基板１２は、一軸延伸された透明なフィルムであり、この一軸延伸方向に対して直交する方向に透過軸を有している。すなわち、基板１２は、偏光面がこの透過軸に対して平行な直線偏光光のみを透過させるようになっている。
【００２８】
なお、基板１２は直線偏光性を有するならば、一軸延伸された透明なフィルムに限定されず、図２（ｂ）を参照し、直線偏光性を持たない透明な基板本体１２’の表面又は裏面のいずれか一方に直線偏光性を有する偏光膜１３が貼り付けられたものも本発明に含まれる。
【００２９】
図４を参照し、本発明では、配線基板１１は、基板１２の透過軸が第二の偏光板２４ｂの透過軸と平行に向けられた状態で、表示部２０の第二の偏光板２４ｂ上に配置されている。
表示部２０の光源２２から放出された光は、液晶部２６に電圧が印加されていると、第一の偏光板２４ａと液晶部２６と第二の偏光板２４ｂとを順に透過した後、第二の保護膜１６ｂを透過して、又は第二の保護膜１６ｂと第二の配線１４ｂとを順に透過して、基板１２に入射する。ここで、第二の偏光板２４ｂを透過した光は、偏光面が第二の偏光板２４ｂの透過軸と平行な直線偏光光であり、すなわち偏光面が基板１２の透過軸と平行である。そのため、入射した光は基板１２を透過して、第一の保護膜１６ａを透過し、又は第一の配線１４ａと第一の保護膜１６ａとを順に透過して、外部に放出されるようになっている。
【００３０】
なお、表示部２０は、上述のような液晶表示装置に限られるものではなく、有機ＥＬやＣＲＴなどでもよい。
表示部２０上には、画像又は映像が表示されるようになっており、このタッチパネル式表示装置２では、配線基板１１上の位置と表示部２０上の位置とが予め対応するようになっている。
【００３１】
本実施例では、図５（ａ）を参照し、第一の配線１４ａの単位検出部１８と、第二の配線１４ｂの単位検出部１８とは、互いに直交する方向に延ばされており、第一の配線１４ａの単位検出部１８と直交する方向をＸ軸方向１９ａとし、第二の配線１４ｂの単位検出部１８と直交する方向をＹ軸方向１９ｂとし、原点を表示部２０上の所定位置に定めて、配線基板１１上に（Ｘ、Ｙ）座標系が設定されている。制御装置１７には、第一の配線１４ａの各単位検出部１８の配置位置と各Ｘ座標値とは一対一に対応づけられて記憶され、第二の配線１４ｂの各単位検出部１８の配置位置と各Ｙ座標値とは一対一に対応づけられて記憶されている。
【００３２】
このタッチパネル式表示装置２の使用者は、指又はタッチペンでタッチパネル１０を操作することにより、表示部２０上の画像又は映像を操作することができるようになっている。
上述の説明では、基板１２は直線偏光性を有していたが、円偏光性を有する基板も本発明に含まれる。
【００３３】
＜露光装置の構造＞
後述するタッチパネル式表示装置製造方法の露光工程で用いる本発明の露光装置の構造を説明する。
【００３４】
図６は露光装置４０の内部構成図である。
露光装置４０は、筐体４３と、筐体４３内に配置され、第一、第二のマスクを保持する第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂと、第一のマスク保持部５３ａと第二のマスク保持部５３ｂとの間に配置され、処理対象物を保持する基板保持部５７と、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂに保持された第一、第二のマスクに、同一方向に直線偏光された第一、第二の露光光を照射する第一、第二の照明部４１ａ、４１ｂとを有している。
【００３５】
図７を参照し、処理対象物３０と第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂとを、基板保持部５７と第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂとに保持させると、第一のマスク３７ａは処理対象物３０の表面と対面し、第二のマスク３７ｂは処理対象物３０の前記表面とは逆の裏面と対面するようになっている。
【００３６】
第一、第二の照明部４１ａ、４１ｂは、光を放射する発光部６１ａ、６１ｂと、発光部６１ａ、６１ｂからの光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離する偏光分離部６２ａ、６２ｂと、主偏光光と副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させる複屈折素子６３ａ、６３ｂとをそれぞれ有している。
【００３７】
ここでは偏光分離部６２ａ、６２ｂは偏光ビームスプリッタアレイ（ＰＢＳ）であり、平行四辺形状のプリズムが複数個、斜面同士を交互に貼り合わされて構成されている。複屈折素子６３ａ、６３ｂは半波長板である。
【００３８】
偏光分離部６２ａ、６２ｂに入射した光はプリズムの斜面で、Ｓ偏光光とＰ偏光光とに分離される。ここではＳ偏光光を主偏光光とし、Ｐ偏光光を副偏光光とし、複屈折素子６３ａ、６３ｂは副偏光光の光路上に配置されており、副偏光光は複屈折素子６３ａ、６３ｂを通過する間に偏光面が９０°回転されて、偏光面が主偏光光の偏光面と一致する。
【００３９】
偏光分離部６２ａ、６２ｂで分離された主偏光光と、偏光分離部６２ａ、６２ｂで分離され、複屈折素子６３ａ、６３ｂで偏光面が９０°回転された副偏光光とから、同一方向に直線偏光された第一、第二の露光光が生成されるようになっている。
【００４０】
第一の照明部４１ａと第一のマスク３７ａとの間と、第二の照明部４１ｂと第二のマスク３７ｂとの間に、直線偏光性を有する偏光フィルタ（不図示）を、その透過軸が第一、第二の露光光の偏光面と平行に向く向きでそれぞれ配置してもよい。第一、第二の露光光が偏光フィルタを透過することにより、第一、第二の露光光の偏光面の単一性をより強くできる。
【００４１】
上述の偏光分離部６２ａ、６２ｂと複屈折素子６３ａ、６３ｂとを省略して、偏光フィルタのみで発光部６１ａ、６１ｂからの光を直線偏光させてもよいが、この構成では、発光部６１ａ、６１ｂからの光が偏光フィルタで減光されて効率が悪く、かつ偏光フィルタが光を吸収して発熱し、偏光フィルタを冷却するための装置が必要になるため、偏光分離部６２ａ、６２ｂと複屈折素子６３ａ、６３ｂとを有する構成が好ましい。
【００４２】
＜タッチパネル式表示装置の製造方法＞
本発明であるタッチパネル式表示装置２の製造方法を説明する。
（基板形成工程）
まず、図２（ａ）を参照し、直線偏光性を有する透明な基板１２を用意する。
【００４３】
本実施例では、透明なフィルムに有機系染料などの染料分子を染色・吸着させたのち、筒状の回転ローラなどで一方向に引き伸ばして一軸延伸させ、染料分子をこの一軸延伸方向に沿って規則的に並べて、一軸延伸方向と直交する方向に透過軸を有する基板１２を形成する。
【００４４】
なお、図２（ｂ）を参照し、直線偏光性を持たない透明な基板本体１２’の表面に、直線偏光性を有する偏光膜１３（例えば上述の一軸延伸されたフィルム）を貼り付けて、直線偏光性を有する基板１２を形成してもよい。
【００４５】
（導電性薄膜形成工程）
次いで、図１（ａ）を参照し、基板１２の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂをそれぞれ形成する。
【００４６】
ここでは、真空雰囲気中に、酸素ガスを流しながら、ＩＴＯのターゲットをスパッタして、スパッタ粒子を基板１２の表面と裏面にそれぞれ到達させ、基板１２の表面と裏面にＩＴＯの薄膜である第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂをそれぞれ形成する。
なお、第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂの材質は、透明な導電性物質であればＩＴＯに限定されるものではない。
【００４７】
（感光性レジスト膜形成工程）
次いで、図１（ｂ）を参照し、第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂの表面に、液体状の感光性樹脂を塗布して、感光性樹脂の薄膜からなる第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂを形成する。
【００４８】
本実施例では、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂにはポジ型フォトレジストを用いるが、本発明はこれに限定されず、ネガ型フォトレジストを用いてもよい。
以下では、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂが形成された処理対象物に符号３０を付して示す。
【００４９】
（露光工程）
第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂを形成した後、図７を参照し、処理対象物３０を、露光装置４０の筐体４３内に搬入し、基板１２の透過軸が第一、第二の照明部４１ａ、４１ｂから放出される第一、第二の露光光の偏光面と直交する向きに向けた状態で、基板保持部５７に保持させる。
【００５０】
次いで、第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂを筐体４３内に搬入し、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂにそれぞれ保持させる。
第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂは、光を透過する透光部３６ａ、３６ｂと、光を遮蔽する遮光部３５ａ、３５ｂとをそれぞれ有している。ここでは、第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂは、表面上に互いに異なる所定のパターン（第一、第二の配線と同じパターン）でパターニングされたクロム膜が配置されたガラス基板であり、透光部３６ａ、３６ｂはガラス基板であり、遮光部３５ａ、３５ｂはクロム膜である。
【００５１】
第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂには、予め、互いのパターンの相対位置が第一、第二の配線の相対位置と一致するような所定の相対位置が定められており、この相対位置に配置されたときに第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂの互いに重なりあう部分には、不図示のアライメントマークがそれぞれ設けられている。
【００５２】
本実施例では、露光装置４０は、第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂの相対位置を位置合わせする位置合わせ装置５０を有している。
位置合わせ装置５０は、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂを移動させるモーター５５ａ、５５ｂと、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂの位置を観測するカメラ５１ａ、５１ｂと、カメラ５１ａ、５１ｂの観測結果に基づいて、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂの移動量を決定する制御装置５９とを有している。
【００５３】
カメラ５１ａ、５１ｂは、ここでは第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂ上のアライメントマークを観測できる位置に配置されており、各アライメントマークをそれぞれ観測する。
制御装置５９はカメラ５１ａ、５１ｂの観測結果に基づいて、第一のマスク３７ａのアライメントマークと第二のマスク３７ｂのアライメントマークとの相対位置の誤差量を測定し、モーター５５ａ、５５ｂに制御信号を送って、誤差量がゼロになるように、第一、第二のマスク保持部５３ａ、５３ｂに保持された第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂを相対的に移動させて位置合わせする。
【００５４】
第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂを位置合わせした後、第一、第二の照明部４１ａ、４１ｂから第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂに第一、第二の露光光を照射させる。ここでは第一、第二の露光光は直線偏光された紫外線である。
【００５５】
本実施例では、第一の露光光の照射と第二の露光光の照射とを同時に開始するが、第一の露光光の照射を開始した後で第二の露光光の照射を開始してもよいし、第二の露光光の照射を開始した後で第一の露光光の照射を開始してもよい。
第一、第二の露光光の照射期間を少なくとも一部重ねる方が、第一、第二の露光光の照射期間を分離するよりも、露光工程に要する時間を短縮できるため好ましい。
【００５６】
第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂのうち、遮光部３５ａ、３５ｂに入射する光は遮断され、透光部３６ａ、３６ｂに入射する光は透過して第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂに入射する。
【００５７】
ここでは、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂは光分解性樹脂（ポジ型フォトレジスト）からなり、図１（ｃ）を参照し、光が照射された部分３３ａ、３３ｂは分解して現像液に可溶になり、光が照射されなかった部分３４ａ、３４ｂは分解せず、現像液に不溶である。
【００５８】
第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂに入射する光の一部は、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂに吸収され、他の部分は第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂを通過して、第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂに入射する。
【００５９】
第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂは透明であり、光は第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂを透過して、基板１２に入射するが、第一、第二の露光光の偏光面は基板１２の透過軸と直交しており、第一、第二の露光光は基板１２で遮断される。
そのため、第一の露光光が基板１２を透過して第二の感光性レジスト膜３２ｂを分解したり、第二の露光光が基板１２を透過して第一の感光性レジスト膜３２ａを分解することはない。
【００６０】
なお、基板１２が右回り（又は左回り）の円偏光性を有する場合には、基板１２を透過しない方向、すなわち左回り（又は右回り）に円偏光された第一、第二の露光光を第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂに照射して、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂを露光してもよい。
【００６１】
（現像工程）
露光された処理対象物３０を現像液に浸漬させて、現像すると、第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂのうち、露光光が照射された部分３３ａ、３３ｂは現像液に溶解して除去され、露光光が照射されなかった部分３４ａ、３４ｂは現像液に溶解せずにそのまま残り、図１（ｄ）を参照し、第一、第二のマスク３７ａ、３７ｂのパターンと同じパターンのレジスト膜が形成される。現像された第一、第二の感光性レジスト膜に符号３２ａ’、３２ｂ’を付して示す。
【００６２】
その後、処理対象物３０を現像液から取り出し、処理対象物３０に付着した現像液がなくなるまで純水で洗浄する。第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ、３２ｂの一部が現像液に溶解して除去されたことにより、第一、第二の導電性薄膜３１ａ、３１ｂの表面の一部が露出する。
【００６３】
（エッチング工程）
次いで、図１（ｅ）を参照し、現像された第一の感光性レジスト膜３２ａ’間に露出した第一の導電性薄膜３１ａと、現像された第二の感光性レジスト膜３２ｂ’間に露出した第二の導電性薄膜３２ｂとをエッチングして除去し、現像された第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’のパターンと同じパターンにパターニングされた前記第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを形成する。
【００６４】
次いで、現像された第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’を溶解する溶液に処理対象物を浸漬すると、図３（ａ）を参照し、現像された第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’が除去される。その後、処理対象物を溶液から取り出して、処理対象物に付着した溶液がなくなるまで純水で洗浄する。現像された第一、第二の感光性レジスト膜３２ａ’、３２ｂ’が除去されたことにより、パターニングされた第一、第二の配線１４ａ、１４ｂが露出する。
【００６５】
（保護膜形成工程）
次いで、図３（ｂ）を参照し、第一、第二の配線１４ａ、１４ｂが露出しないように、基板１２の表面と裏面に透明な絶縁物からなる第一、第二の保護膜１６ａ、１６ｂを形成し、配線基板１１を完成させる。
【００６６】
（組み立て工程）
次いで、図４を参照し、基板１２の透過軸を第二の偏光板２４ｂの透過軸と平行に向けた状態で、配線基板１１を表示部２０の第二の偏光板２４ｂ上に配置し、配線基板１１に制御装置１７を接続して、タッチパネル式表示装置２を完成させる。
【００６７】
本発明の製造方法によると、基板１２の表面と裏面に互いに異なるパターンの第一、第二の配線１４ａ、１４ｂを形成できるため、表面のみに配線が形成された二枚の基板を貼り合わせる従来の方法に比べて、配線基板１１の製造に必要な基板１２の使用量を減らすことができる。
また、遮光層を設ける従来の方法より少ない工程で、基板１２の表面と裏面に互いに異なるパターンの配線１４ａ、１４ｂを形成できるため、配線基板１１の生産効率が高くなっている。
【符号の説明】
【００６８】
２……タッチパネル式表示装置
１０……タッチパネル
１１……配線基板
１２……基板
１２’……基板本体
１３……偏光膜
１４ａ、１４ｂ……第一、第二の配線
１６ａ、１６ｂ……第一、第二の保護膜
２０……表示部
２２……光源
２４ａ、２４ｂ……第一、第二の偏光板
２６……液晶部
３１ａ、３１ｂ……第一、第二の導電性薄膜
３２ａ、３２ｂ……第一、第二の感光性レジスト膜
３７ａ、３７ｂ……第一、第二のマスク
３２ａ’、３２ｂ’……現像された第一、第二の感光性レジスト膜
４０……露光装置
４１ａ、４１ｂ……第一、第二の照明部
５３ａ、５３ｂ……第一、第二のマスク保持部
５７……基板保持部
６１ａ、６１ｂ……発光部
６２ａ、６２ｂ……偏光分離部
６３ａ、６３ｂ……複屈折素子
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を透過する基板の表面と裏面に、所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線を有する配線基板を製造する配線基板製造方法であって、
直線偏光性を有する前記基板の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜をそれぞれ形成し、
前記第一、第二の導電性薄膜の表面に、第一、第二の感光性レジスト膜を形成し、
前記第一、第二の感光性レジスト膜上に、第一、第二のマスクを配置し、
前記第一、第二のマスクに、前記基板を透過しない方向に偏光された第一、第二の露光光を照射し、前記第一、第二のマスクを透過した前記第一、第二の露光光を、前記第一、第二の感光性レジスト膜にそれぞれ照射し、
前記第一、第二の感光性レジスト膜の、前記第一、第二の露光光が照射された部分を化学変化させた後、現像し、
前記現像された前記第一、第二の感光性レジスト膜間に露出した前記第一、第二の導電性薄膜を除去し、前記第一、第二の配線を形成する配線基板製造方法。
【請求項２】
前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明なフィルムを一軸延伸して前記基板を形成する請求項１記載の配線基板製造方法。
【請求項３】
前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明な基板本体の表面に直線偏光性を有する偏光膜を貼り付けて前記基板を形成する請求項１記載の配線基板製造方法。
【請求項４】
前記第一、第二のマスクに前記第一、第二の露光光を照射する工程では、発光部から放射された光を、偏光面が互いに直交する主偏光光と副偏光光とに分離し、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させ、前記第一、第二の露光光を生成する請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の配線基板製造方法。
【請求項５】
光を透過する基板の表面と裏面に、所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線を有する配線基板と、
光源上に配置され、透過軸が互いに直交する第一、第二の偏光板の間に配置された液晶部を有する表示部と、
を有し、前記配線基板は前記表示部の前記第二の偏光板上に配置され、前記光源からの光が前記表示部と前記配線基板とを順に透過して外部に放出されるタッチパネル式表示装置を製造するタッチパネル表示装置製造方法であって、
直線偏光性を有する前記基板の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜をそれぞれ形成し、
前記第一、第二の導電性薄膜の表面に、第一、第二の感光性レジスト膜を形成し、
前記第一、第二の感光性レジスト膜上に、第一、第二のマスクを配置し、
前記第一、第二のマスクに、前記基板を透過しない方向に偏光された第一、第二の露光光を照射し、前記第一、第二のマスクを透過した前記第一、第二の露光光を、前記第一、第二の感光性レジスト膜にそれぞれ照射し、
前記第一、第二の感光性レジスト膜の、前記第一、第二の露光光が照射された部分を化学変化させた後、現像し、
前記現像された前記第一、第二の感光性レジスト膜間に露出した前記第一、第二の導電性薄膜を除去し、前記第一、第二の配線を形成した後、
前記基板の透過軸を前記第二の偏光板の透過軸と平行に向けた状態で、前記配線基板を前記表示部の前記第二の偏光板上に配置するタッチパネル式表示装置製造方法。
【請求項６】
前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明なフィルムを一軸延伸して前記基板を形成する請求項５記載のタッチパネル式表示装置製造方法。
【請求項７】
前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明な基板本体の表面に直線偏光性を有する偏光膜を貼り付けて前記基板を形成する請求項５記載のタッチパネル式表示装置製造方法。
【請求項８】
前記第一、第二のマスクに前記第一、第二の露光光を照射する工程では、発光部から放射された光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離し、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させ、前記第一、第二の露光光を生成する請求項５乃至請求項７のいずれか１項記載のタッチパネル式表示装置製造方法。
【請求項９】
第一、第二のマスクを保持する第一、第二のマスク保持部と、
前記第一、第二のマスク保持部の間に配置され、処理対象物を保持する基板保持部と、
前記第一、第二のマスク保持部に保持された前記第一、第二のマスクに、同一方向に直線偏光された第一、第二の露光光を照射する第一、第二の照明部と、
を有する露光装置。
【請求項１０】
前記第一、第二の照明部は、
光を放射する発光部と、
前記発光部からの光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離する偏光分離部と、
前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させる複屈折素子と、
をそれぞれ有する請求項９記載の露光装置。
【請求項１１】
光を透過する基板と、
前記基板の表面に配置され、光を透過する第一の配線と、
前記基板の裏面に配置され、光を透過する第二の配線と、
を有する配線基板であって、
前記基板は直線偏光性を有する配線基板。
【請求項１２】
前記基板は、一軸延伸されたフィルムである請求項１１記載の配線基板。
【請求項１３】
前記基板は、透明な基板本体と、前記基板本体の表面に配置され、直線偏光性を有する偏光膜と、を有する請求項１１記載の配線基板。
【請求項１４】
請求項１１乃至請求項１３記載の配線基板と、
前記基板の表面に、前記第一の配線の表面を覆って配置された、透明な絶縁物からなる第一の保護膜と、
前記基板の裏面に、前記第二の配線の表面を覆って配置された、透明な絶縁物からなる第二の保護膜と、
前記第一、第二の配線間の静電容量の変化を検出する制御装置と、
を有するタッチパネル。
【請求項１５】
請求項１４記載のタッチパネルと、
光を放射する表示部とを有し、
前記表示部は、
光源と、
前記光源上に配置され、直線偏光性を有する第一の偏光板と、
前記第一の偏光板上に、前記第一の偏光板と離間して配置され、直線偏光性を有する第二の偏光板と、
前記第一の偏光板と前記第二の偏光板との間に配置された、光透過性を有する液晶部と、
前記液晶部に電圧を印加する電源とを有し、
前記第二の偏光板の透過軸は、前記第一の偏光板の透過軸に対して直交する向きに向けられ、
前記配線基板は、前記基板の透過軸が前記第二の偏光板の透過軸に平行に向けられた状態で、前記第二の偏光板上に配置されたタッチパネル式表示装置。
【請求項１】
光を透過する基板の表面と裏面に、所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線を有する配線基板を製造する配線基板製造方法であって、
直線偏光性を有する前記基板の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜をそれぞれ形成し、
前記第一、第二の導電性薄膜の表面に、第一、第二の感光性レジスト膜を形成し、
前記第一、第二の感光性レジスト膜上に、第一、第二のマスクを配置し、
前記第一、第二のマスクに、前記基板を透過しない方向に偏光された第一、第二の露光光を照射し、前記第一、第二のマスクを透過した前記第一、第二の露光光を、前記第一、第二の感光性レジスト膜にそれぞれ照射し、
前記第一、第二の感光性レジスト膜の、前記第一、第二の露光光が照射された部分を化学変化させた後、現像し、
前記現像された前記第一、第二の感光性レジスト膜間に露出した前記第一、第二の導電性薄膜を除去し、前記第一、第二の配線を形成する配線基板製造方法。
【請求項２】
前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明なフィルムを一軸延伸して前記基板を形成する請求項１記載の配線基板製造方法。
【請求項３】
前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明な基板本体の表面に直線偏光性を有する偏光膜を貼り付けて前記基板を形成する請求項１記載の配線基板製造方法。
【請求項４】
前記第一、第二のマスクに前記第一、第二の露光光を照射する工程では、発光部から放射された光を、偏光面が互いに直交する主偏光光と副偏光光とに分離し、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させ、前記第一、第二の露光光を生成する請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の配線基板製造方法。
【請求項５】
光を透過する基板の表面と裏面に、所定パターンに形成され、光を透過する第一、第二の配線を有する配線基板と、
光源上に配置され、透過軸が互いに直交する第一、第二の偏光板の間に配置された液晶部を有する表示部と、
を有し、前記配線基板は前記表示部の前記第二の偏光板上に配置され、前記光源からの光が前記表示部と前記配線基板とを順に透過して外部に放出されるタッチパネル式表示装置を製造するタッチパネル表示装置製造方法であって、
直線偏光性を有する前記基板の表面と裏面に、透明な第一、第二の導電性薄膜をそれぞれ形成し、
前記第一、第二の導電性薄膜の表面に、第一、第二の感光性レジスト膜を形成し、
前記第一、第二の感光性レジスト膜上に、第一、第二のマスクを配置し、
前記第一、第二のマスクに、前記基板を透過しない方向に偏光された第一、第二の露光光を照射し、前記第一、第二のマスクを透過した前記第一、第二の露光光を、前記第一、第二の感光性レジスト膜にそれぞれ照射し、
前記第一、第二の感光性レジスト膜の、前記第一、第二の露光光が照射された部分を化学変化させた後、現像し、
前記現像された前記第一、第二の感光性レジスト膜間に露出した前記第一、第二の導電性薄膜を除去し、前記第一、第二の配線を形成した後、
前記基板の透過軸を前記第二の偏光板の透過軸と平行に向けた状態で、前記配線基板を前記表示部の前記第二の偏光板上に配置するタッチパネル式表示装置製造方法。
【請求項６】
前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明なフィルムを一軸延伸して前記基板を形成する請求項５記載のタッチパネル式表示装置製造方法。
【請求項７】
前記第一、第二の感光性レジスト膜を形成する前に、透明な基板本体の表面に直線偏光性を有する偏光膜を貼り付けて前記基板を形成する請求項５記載のタッチパネル式表示装置製造方法。
【請求項８】
前記第一、第二のマスクに前記第一、第二の露光光を照射する工程では、発光部から放射された光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離し、前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させ、前記第一、第二の露光光を生成する請求項５乃至請求項７のいずれか１項記載のタッチパネル式表示装置製造方法。
【請求項９】
第一、第二のマスクを保持する第一、第二のマスク保持部と、
前記第一、第二のマスク保持部の間に配置され、処理対象物を保持する基板保持部と、
前記第一、第二のマスク保持部に保持された前記第一、第二のマスクに、同一方向に直線偏光された第一、第二の露光光を照射する第一、第二の照明部と、
を有する露光装置。
【請求項１０】
前記第一、第二の照明部は、
光を放射する発光部と、
前記発光部からの光を、振動方向が互いに直交する主偏光光と副偏光光に分離する偏光分離部と、
前記主偏光光と前記副偏光光のうちいずれか一方の偏光面を９０°変換して他方の偏光面と一致させる複屈折素子と、
をそれぞれ有する請求項９記載の露光装置。
【請求項１１】
光を透過する基板と、
前記基板の表面に配置され、光を透過する第一の配線と、
前記基板の裏面に配置され、光を透過する第二の配線と、
を有する配線基板であって、
前記基板は直線偏光性を有する配線基板。
【請求項１２】
前記基板は、一軸延伸されたフィルムである請求項１１記載の配線基板。
【請求項１３】
前記基板は、透明な基板本体と、前記基板本体の表面に配置され、直線偏光性を有する偏光膜と、を有する請求項１１記載の配線基板。
【請求項１４】
請求項１１乃至請求項１３記載の配線基板と、
前記基板の表面に、前記第一の配線の表面を覆って配置された、透明な絶縁物からなる第一の保護膜と、
前記基板の裏面に、前記第二の配線の表面を覆って配置された、透明な絶縁物からなる第二の保護膜と、
前記第一、第二の配線間の静電容量の変化を検出する制御装置と、
を有するタッチパネル。
【請求項１５】
請求項１４記載のタッチパネルと、
光を放射する表示部とを有し、
前記表示部は、
光源と、
前記光源上に配置され、直線偏光性を有する第一の偏光板と、
前記第一の偏光板上に、前記第一の偏光板と離間して配置され、直線偏光性を有する第二の偏光板と、
前記第一の偏光板と前記第二の偏光板との間に配置された、光透過性を有する液晶部と、
前記液晶部に電圧を印加する電源とを有し、
前記第二の偏光板の透過軸は、前記第一の偏光板の透過軸に対して直交する向きに向けられ、
前記配線基板は、前記基板の透過軸が前記第二の偏光板の透過軸に平行に向けられた状態で、前記第二の偏光板上に配置されたタッチパネル式表示装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１３−８９１５０（Ｐ２０１３−８９１５０Ａ）
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２３１３２５（Ｐ２０１１−２３１３２５）
【出願日】平成２３年１０月２１日（２０１１．１０．２１）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月２１日（２０１１．１０．２１）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
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