電子部品の装着方法
【課題】電子部品の吸着姿勢の不良が発生したときに、吸着ノズルの真空吸着のために真空源に切替え接続するための切替弁が駆動するタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させること。
【解決手段】連鎖吸着の過程において、ＣＰＵ１５は装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの吸着姿勢不良フラグの内容がＯＮであれば、エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎをＲＡＭ１７から読み込む。吸着ノズル５の下降を開始させ、吸着ノズル５の下限位置への到達を確認したら、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え、真空／正圧切替弁３３を介して真空源に連通させ、電子部品取出しのための真空吸引動作を開始する。このエア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせたらタイマ４０をスタートさせ、時間ｔｎが経過したことを確認したら、上下軸駆動モータを制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる。
【解決手段】連鎖吸着の過程において、ＣＰＵ１５は装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの吸着姿勢不良フラグの内容がＯＮであれば、エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎをＲＡＭ１７から読み込む。吸着ノズル５の下降を開始させ、吸着ノズル５の下限位置への到達を確認したら、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え、真空／正圧切替弁３３を介して真空源に連通させ、電子部品取出しのための真空吸引動作を開始する。このエア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせたらタイマ４０をスタートさせ、時間ｔｎが経過したことを確認したら、上下軸駆動モータを制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品供給装置より装着ヘッドに備えられた複数の吸着ノズルにより電子部品を吸着して取り出し、前記吸着ノズルに吸着保持された電子部品の吸着姿勢を検出装置で検出して、正常の吸着姿勢の場合には基板上に装着する電子部品の装着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品供給装置より装着ヘッドに取り付けられた吸着ノズルにより電子部品を吸着して取り出し、基板上に装着する電子部品装着装置は、特許文献１等に開示されている。そして、前記吸着ノズルの電子部品の吸着姿勢不良の要因の一つに真空圧のバラツキがある。例えば、真空圧のバラツキにより、前記吸着ノズルが部品供給装置の部品取出し位置に到達する前に、電子部品の吸い上げ開始の真空度を超えてしまうと、また吸着後の前記吸着ノズルの上昇時に満足真空度に到達しないと、吸着姿勢不良となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−８７３０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の電子部品の吸着取出し動作について、図１４に基づいて説明する。先ず、電子部品の吸着は、装着ヘッドに設けられた吸着ノズルを下降させて、真空源に連通するエア切替バルブ電磁弁をＯＮ（オン）し、満足真空度に到達したところで電子部品を真空吸着して前記吸着ノズルが上昇する。この場合、満足真空度と吸着ノズルの上昇は予め計算した時間で、タイミングを合わせて制御している。
【０００５】
即ち、前記吸着ノズルの下降開始からする上昇開始するまでの時間ｔ１とエア切替バルブ電磁弁がＯＮしてから満足真空度に到達までの時間ｔ２とを計算する。そして、吸着ノズルが原点位置から下降を開始し（Ｂ位置）、この下降が開始してからＡ時間（ｔ１−ｔ２）が経過したＣ位置で、前記エア切替バルブ電磁弁をＯＮする。そして、吸着ノズルが部品供給装置の部品取出し位置のＤ位置に到達したら、満足真空度に到達と同時に（Ｅ位置）、前記吸着ノズルが上昇するように、制御される。
【０００６】
このように制御すると、真空度を表示しているように、前記エア切替バルブ電磁弁がＯＮしてから、真空圧が掛かり出すバラツキの時間Ｆが発生し、また電子部品の吸い上げ開始から満足真空度が得られるまでの真空圧が増加するバラツキＧが発生する。
【０００７】
このために、前記エア切替バルブ電磁弁がＯＮしてから、真空圧が掛かり出すバラツキにより、前記吸着ノズルが部品供給装置の部品取出し位置に到達する前に、電子部品の吸い上げ開始の真空度を超えてしまうことが起こったり、また真空圧が増加するバラツキにより、吸着後の前記吸着ノズルの上昇時に満足真空度に到達しないことが起こり、電子部品の吸着姿勢不良となる。
【０００８】
そこで本発明は、電子部品の吸着姿勢の不良が発生したときに、吸着ノズルの真空吸着のために真空源に切替え接続するための切替弁が駆動するタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このため第１の発明は、部品供給装置より装着ヘッドに備えられた複数の吸着ノズルにより電子部品を吸着して取り出し、前記吸着ノズルに吸着保持された電子部品の吸着姿勢を検出装置で検出して、正常の吸着姿勢の場合には基板上に装着する電子部品の装着方法において、
前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際に、
前記吸着ノズルが前記部品供給装置より電子部品を吸着して取出すために下降し、
前記吸着ノズルが下限に到達したら、前記切替弁を駆動させて前記真空源に切替え接続し、
前記切替弁が駆動して前記真空源に切替えてからタイマが計時して、
切替弁が駆動して真空吸着のための真空源に切替え接続されてから通常の前記吸着ノズルが電子部品を吸着する真空度より高く予め定められた真空度に到達するまでの時間ｔｎを計時したら前記吸着ノズルが上昇すること
を特徴とする。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明において、前記時間ｔｎは、真空度が１００％に到達するまでの時間であることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明は、第１の発明において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルを備えた前記装着ヘッドについて、前記部品供給装置と前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する。
【００１２】
第４の発明は、第１の発明において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルについて、前記部品供給装置と前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する。
【００１３】
第５の発明は、第１の発明において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルが前記電子部品を取出した前記部品供給装置を構成する部品供給ユニットについて、この部品供給ユニットと前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、吸着ノズルの真空吸着のために真空源に切替え接続するための切替弁が駆動するタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】電子部品装着装置の平面図である。
【図２】ラインセンサユニットの概略図である。
【図３】装着ヘッドの真空吸着及びエア吹出しの制御を示す図である。
【図４】電子部品装着装置の制御ブロック図である。
【図５】装着データを示す図である。
【図６】電子部品の吸着及び装着に係る第１の実施形態のフローチャートを示す図である。
【図７】図６のフローチャートに続くフローチャートを示す図である。
【図８】装着ヘッドのヘッド番号毎の吸着姿勢不良フラグの内容を図である。
【図９】吸着ノズルの上下方向の位置と真空度との関係図である。
【図１０】電子部品の吸着及び装着に係る第２の実施形態のフローチャートを示す図である。
【図１１】吸着ノズルのノズル番号毎の吸着姿勢不良フラグの内容を図である。
【図１２】電子部品の吸着及び装着に係る第３の実施形態のフローチャートを示す図である。
【図１３】部品供給ユニットの部品配置番号毎の吸着姿勢不良フラグの内容を図である。
【図１４】吸着ノズルの上下方向の位置と真空度との関係図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下図１に基づき、基板としてプリント基板Ｐ上に電子部品を装着する電子部品装着装置１について、本発明の実施の形態を説明する。この電子部品装着装置１には、各プリント基板Ｐの搬送を並列に行なう搬送装置２と、装置本体の手前側と奥側に配設され電子部品を供給する部品供給装置３Ａ、３Ｂと、駆動源により一方向に移動可能（Ｙ方向に往復移動可能）な一対のビーム４Ａ、４Ｂと、それぞれ吸着ノズル５を備えて前記各ビーム４Ａ、４Ｂに沿った方向に各駆動源により移動可能な装着ヘッド６Ａ、６Ｂとが設けられている。
【００１７】
前記搬送装置２は電子部品装着装置１は供給コンベア２Ａと、プリント基板Ｐを位置決め固定する位置決め部２Ｂと、排出コンベア２Ｃとを備えている。そして、前記供給コンベア２Ａは上流より受けた各プリント基板Ｐを位置決め部２Ｂに搬送し、この各位置決め部２Ｂで位置決め装置により位置決めされた各基板上に電子部品が装着された後、排出コンベア２Ｃに搬送され、その後下流側装置に搬送される構成である。
【００１８】
そして、前記部品供給装置３Ａ、３Ｂは前記搬送装置２の奥側位置と手前側位置に配設され、取付台であるカート台７Ａ、７Ｂのフィーダベース上に部品供給ユニット８を多数並設したものである。各カート台７Ａ、７Ｂは部品供給ユニット８の部品供給側の先端部がプリント基板Ｐの搬送路に臨むように前記装置本体に連結具を介して着脱可能に配設され、各カート台７Ａ、７Ｂが正規に装置本体に取り付けられるとカート台７Ａ、７Ｂに搭載された部品供給ユニット８に電源が供給され、また前記連結具を解除して把手を引くと下面に設けられたキャスタにより移動できる構成である。
【００１９】
そして、Ｘ方向に長い前後一対の前記ビーム４Ａ、４Ｂは、各リニアモータから構成されるＹ方向モータ９の駆動により左右一対の前後に延びたガイドに沿って前記各ビームに固定されたスライダが摺動して個別にＹ方向に移動する。前記Ｙ方向モータ９は、左右一対の基体１Ａ、１Ｂに沿って固定された上下一対の固定子と、前記ビーム４Ａ、４Ｂの両端部に設けられた取付板の下部に固定された可動子９Ａとから構成される。
【００２０】
また、前記ビーム４Ａ、４Ｂにはその長手方向（Ｘ方向）にリニアモータから構成されるＸ方向モータ１０によりガイドに沿って移動する前記装着ヘッド６Ａ、６Ｂが夫々内側に設けられており、前記Ｘ方向モータ１０は各ビーム４Ａ、４Ｂに固定された前後一対の固定子と、各固定子の間に位置して前記装着ヘッド６Ａ、６Ｂに設けられた可動子とから構成される。
【００２１】
従って、各装着ヘッド６Ａ、６Ｂは向き合うように各ビーム４Ａ、４Ｂの内側に設けられ、前記装着ヘッド６Ａは対応する奥側の部品供給装置３Ａの部品供給ユニット８から電子部品の取出し作業を行い、搬送装置２上のプリント基板Ｐに装着することができ、装着ヘッド６Ｂは対応する手前側の部品供給装置３Ｂから電子部品を取り出して前記プリント基板Ｐに装着することができる。
【００２２】
そして、各装着ヘッド６Ａ、６Ｂには各バネにより下方へ付勢されている吸着ノズル５が円周上に所定間隔を存して４本配設されており、この吸着ノズル５は上下軸モータ１２により昇降可能であり、またθ軸モータ１３により装着ヘッド６Ａ、６Ｂを鉛直軸周りに回転させることにより、結果として各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの各吸着ノズル５はＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、垂直線回りに回転可能で、且つ上下動可能となっている。
【００２３】
なお、前記Ｙ方向モータ９、Ｘ方向モータ１０、上下軸モータ１２、θ軸モータ１３には、それぞれエンコーダ９Ｅ、１０Ｅ、１２Ｅ、１３Ｅが接続され、回転数、回転角度が監視把握される。
【００２４】
また、各部品認識カメラ１４は、各装着ヘッド６Ａ、６Ｂに設けられた各吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を一括して撮像する。なお、部品吸着姿勢検出装置として、図２に示すようなラインセンサ２４を使用するが、以下説明する。このラインセンサ２４は、装着ヘッド６Ａ、６Ｂの略中央部に設けられた円筒状の発光ユニット取付体２６内上部にＬＥＤ等の発光素子２７を配設すると共にその下方にレンズ２８及びそのレンズ２８の下方に円錐状の反射面２９を有する反射体３０を配設して構成された発光ユニット３１と、前記反射体３０を介する前記発光素子２７からの光を受光する複数の受光素子であるＣＣＤ素子を備えた受光ユニット３２とから構成される。
【００２５】
図３において、３３は真空源に連通する真空／正圧切替弁、３４はエア供給源に連通するブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁、３５は前記吸着ノズル５に対応して設けられ真空源に連通して吸着ノズル５が吸引するかエア供給源に連通して吸着ノズル５がエア吹き出しするかを切り替えるエア切替バルブ電磁弁である。
【００２６】
このエア切替バルブ電磁弁３５が励磁すると、真空／正圧切替弁３３を介して真空引き用通路３６とノズル連通通路３７とが連通可能であり、ノズル連通通路３８とエアブロー用通路３９とが遮断され、吸着ノズル５はノズル連通通路３７、真空／正圧切替弁３３、真空引き用通路３６を介して真空源と連通可能となり、吸着ノズル５は電子部品の真空吸着を維持できる。また、前記エア切替バルブ電磁弁３５が励磁すると、真空源に連通した真空引き用通路３６とノズル連通通路３７とが遮断され、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４を介してノズル連通通路３８とエアブロー用通路３９とが連通可能であり、吸着ノズル５による電子部品Ｄの真空吸着を止めると共に吸着ノズル５にエア供給源からの空気がエアブロー用通路３９、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４、ノズル連通通路３８を介して吹き込まれる。
【００２７】
図４は電子部品装着装置１の電子部品装着に係る制御のための制御ブロックであり、以下説明する。電子部品装着装置１の各要素はＣＰＵ１５（セントラル・プロセッシング・ユニット）１５が統括制御しており、この制御に係るプログラムを格納するＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）１６及び各種データを格納するＲＡＭ１７（ランダム・アクセス・メモリ）１７がバスライン１８を介して接続されている。また、ＣＰＵ１５には操作画面等を表示するモニタ１９及び該モニタ１９の表示画面に形成された入力手段としてのタッチパネルスイッチ２０がインターフェース２１を介して接続されている。また、前記Ｙ方向モータ９等が駆動回路２２、インターフェース２１を介して前記ＣＰＵ１５に接続されている。なお、前記ＣＰＵ１５は制御手段、確認手段、判定手段などの機能を果たす。
【００２８】
前記ＲＡＭ１７には、プリント基板Ｐの種類毎に装着データが記憶されている。この装着データは、その装着順序（装着ステップ番号）毎に、装着ヘッド６Ａ、６Ｂのヘッド番号（装着ヘッド６Ａは「１」、装着ヘッド６Ｂは「２」）、吸着ノズル５のノズル番号（「１」から「４」）、各部品供給ユニット８の部品配置番号情報、プリント基板Ｐ内での各電子部品の装着座標のＸ方向の位置情報（装着座標Ｘ）、Ｙ方向の位置情報（装着座標Ｙ）、装着角度情報（装着角度θ）とから構成される。
【００２９】
また、前記ＲＡＭ１７には、カート台７Ａ、７Ｂ上に配設された前記各部品供給ユニット８の部品配置番号に対応した各電子部品の種類（部品ＩＤ）の部品配置データが格納されている。更には、ＲＡＭ１７には装着ヘッド毎や、吸着ノズル５のノズル番号毎や、部品配置番号毎に吸着姿勢不良フラグの内容が格納されている。
【００３０】
そして、一方のカート台７Ａ上に配設された前記各部品供給ユニット８の部品配置番号は、「１０１」〜「１２６」であり、他方のカート台７Ｂ上に配設された前記各部品供給ユニット８の部品供給ユニット配置番号（ＦＤＲ番号）は、「２０１」〜「２２６」である。
【００３１】
更には、前記ＲＡＭ１７には、電子部品の特徴を表す形状データ・認識データ・制御データ・部品供給データから成る電子部品毎の部品ライブラリデータ等が格納されている。
【００３２】
２３はインターフェース２１を介して前記ＣＰＵ１５に接続される認識処理装置で、前記部品認識カメラ１４により撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置２３にて行われ、ＣＰＵ１５に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ１５は部品認識カメラ１４により撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を認識処理装置２３に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置２３から受取るものである。
【００３３】
また、タイマ４０がインターフェース２１を介して前記ＣＰＵ１５に接続されている。
【００３４】
以下、第１の実施形態である図６及び図７のフローチャートに基づいて、以下動作について説明する。基板であるプリント基板Ｐは上流装置より供給コンベア２Ａを介して位置決め部２Ｂに搬送されて位置決め固定され、ＣＰＵ１５は装着ヘッド６Ａ及び６Ｂが連鎖吸着のために、図５に示す装着データから前記部品供給装置３Ａ、３Ｂとプリント基板Ｐとの１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理する装着ステップ番号の切出しをし、初めに装着ステップ番号「０００１」の装着ヘッド６Ａのヘッド番号「１」を取得する（ステップＳ０１）。この場合、各装着ヘッド６Ａ、６Ｂに備えられた吸着ノズル５の最大数「４」について電子部品の連鎖吸着が可能であり、例えば装着ヘッド６Ａ、６Ｂの４本全ての吸着ノズル５の吸着動作が行われることとなる。
【００３５】
次いで、電子部品を吸着して取出すために、部品供給ユニット８の部品取出し位置へ移動する（ステップＳ０２）。即ち、奥側のヘッド番号「１」の装着ヘッド６Ａが、Ｙ方向はＹ方向モータ９が駆動してビーム４Ａが移動し、Ｘ方向はＸ方向モータ１０が駆動してＸＹ方向に移動し、部品供給ユニット８の部品取出し位置へ移動する。
【００３６】
次に、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１０Ｅ、９Ｅからの位置情報に基づいてＸ方向モータ１０及びＹ方向モータ９の各回転位置を把握し、部品供給ユニット８の部品取出し位置に到達したかを確認する（ステップＳ０３）。ＣＰＵ１５は到達を確認したら、ＲＡＭ１７に装着ヘッド６Ａに対応する吸着姿勢不良フラグの内容（図８参照）を取得する（ステップＳ０４）。この場合、吸着姿勢不良が発生して、複数の受光素子及び発光素子２７を間隔を存して縦に配置し、前記間隔に位置した電子部品による遮光状態に基づいて吸着姿勢により吸着不良と判断された際に、ＲＡＭ１７にその不良が発生した装着ヘッドの吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」を格納するが、格納されない場合は「ＯＦＦ」のままである。
【００３７】
次に、ＣＰＵ１５はステップ番号「０００１」の装着ヘッド６Ａのヘッド番号「１」の吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し（ステップＳ０５）、「ＯＦＦ」であれば、図１４に示すように、装着ヘッド６Ａの前記吸着ノズル５の下降開始から上昇開始するまでの時間ｔ１をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ０６）。次に、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから、通常、電子部品の吸着するときの真空度であって吸着ノズル５により確実に吸着できる満足真空度に到達までの時間ｔ２をＲＡＭ１７から読み込み（ステップＳ０７）、次に前記時間ｔ１から時間ｔ２を引いて時間ｔを算出する（ステップＳ０８）。なお、前記時間ｔ１、ｔ２は、予め計測されて前記ＲＡＭ１７に格納されている。
【００３８】
そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように上下軸駆動モータ１２を制御し（ステップＳ０９）、タイマ４０をスタートさせる（ステップＳ１０）。そして、前記吸着ノズル５の下降が開始してから計時するタイマ４０が時間ｔを計時したら（ステップＳ１１）、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮ（「駆動」の意、以下同じ。）させて真空側に切替え（ステップＳ１２）、真空側に切り替わっている真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００３９】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ１３）、下限位置への到達を確認したら、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる（ステップＳ１４）。
【００４０】
次に、前記吸着ノズル５が上昇して、ＣＰＵ１５がエンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、原点位置に到達したか否かが確認され（ステップＳ１５）、原点位置に到達したことを確認すると、前記吸着ノズル５による電子部品Ｄの吸着姿勢を検出装置であるラインセンサ２４が検出する（ステップＳ１６）。
【００４１】
この場合、前記吸着ノズル５による電子部品の姿勢が吸着すべきでない面を吸着した所謂「立ちチップ状態」などの場合には、ラインセンサ２４の検出出力に基づいて、ＣＰＵ１５が吸着姿勢不良か否かを判定した際に（ステップＳ１７）、吸着姿勢が不良と判定され、この装着ヘッド６Ａの吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」をＲＡＭ１７に格納させるが（ステップＳ１８）、吸着姿勢が不良でないと判定した場合には、「ＯＦＦ」のままとする。
【００４２】
そして、いずれにおいても、次には装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの次の吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ１９）、ある場合には前述したステップＳ０１へ戻る。この場合、連鎖吸着として、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに備えられた吸着ノズル５の最大数「４」について電子部品の吸着が可能であり、例えば装着ヘッド６Ａ、６Ｂの４本全ての吸着ノズル５の吸着動作が行われることとなる。
【００４３】
この連鎖吸着の過程において、前述したステップＳ０５において、ＣＰＵ１５は装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し、「ＯＮ」であれば、図９に示すように、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてからこの電子部品装着装置１に設けられた真空源により到達できる最も高い真空の状態である真空度１００％に到達までの時間ｔｎを読み込む（ステップＳ２０）。そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御する（ステップＳ２１）。
【００４４】
なお、前記時間ｔｎは、予め計測してＲＡＭ１７に格納されている。そして、この時間ｔｎは真空度１００％に到達するまでの時間より短く、上述した満足真空度より高く真空度１００％より低い真空度に到達するまでの時間としてもよく（例えば、満足真空度が５０％なら９０％にする等）、このように前記時間ｔｎを真空度１００％又は１００％に十分近い真空度に到達するまでの時間とすることにより一層確実に電子部品を吸着することができる。このことは、以下説明する第２の実施形態である図１０のフローチャート、第３の実施形態である図１２のフローチャートにおいても、同様である。
【００４５】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて前記上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ２２）、下限位置への到達を確認したら、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ２３）、真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００４６】
そして、このエア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせたら前記タイマ４０をスタートさせ（ステップＳ２４）、ＣＰＵ１５は前記エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてからの時間を計時し（ステップＳ２５）、エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎが経過したことを確認したら、ステップＳ１４に移り、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる。以下前述したように、進み、ステップＳ１９へと移る。
【００４７】
即ち、連鎖吸着するための吸着ノズルが吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ１９）、ある場合には前述したステップＳ０１へ戻って、前述したような次のステップ番号の吸着動作が行われることとなって、以下順次各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの連鎖吸着を行うこととなる。そして、この連鎖吸着を終えて連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定して、無い場合には前記吸着ノズル５が位置決めされたプリント基板Ｐ上の所定位置に前記電子部品を装着するように移動する途中において、装着ヘッド６Ａ、６Ｂが移動しながら吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が部品認識カメラ１４により撮像され（フライ認識）、部品の認識処理動作が行われる（ステップＳ２６）。
【００４８】
次に、ＣＰＵ１５は前記装着データに基づいて装着ヘッド番号を取得し（ステップＳ２７）、前記装着データに基づいて電子部品の装着位置へ移動し（ステップＳ２８）、装着すべき電子部品に対応する吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が認識処理動作で認識不良と判定された電子部品か否かが判定され（ステップＳ２９）、不良と判定された場合にはステップＳ３２に移るが、不良でないと判定された場合には、吸着姿勢不良か否かが判定される（ステップＳ３０）。
【００４９】
即ち、「立ちチップ状態」で認識不良と判定された電子部品は、吸着姿勢不良と判定された場合にはステップＳ３２に移るが、吸着姿勢不良でないと判定された場合には、プリント基板Ｐへの電子部品の装着動作が行われる（ステップＳ３１）。
【００５０】
この場合、正圧側に真空／正圧切替弁３３を切替えると共に、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４をエア吹出しができるように切替えすると共にエア切替バルブ電磁弁３５をブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４側に切替接続して、エアを吹出して吸着ノズル５に吸着保持された電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。そして、次の吸着ノズル５に装着すべき電子部品があるかが判定される（ステップＳ３２）。
【００５１】
従って、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに装着すべき電子部品が無い場合には、リカバリすべき電子部品があるか否か判定され（ステップＳ３３）、有る場合には吸着姿勢不良とされ吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を廃棄した後にステップＳ０１に戻るが、無い場合にはこの装着ヘッド６Ａ、６Ｂの吸着姿勢不良フラグの内容を「ＯＦＦ」して（ステップＳ３４）、次の連鎖吸着に係るサイクルに移る。
【００５２】
以上のように、吸着ノズル５の真空吸着のために真空源に切替え接続するためのエア切替バルブ電磁弁３５のＯＮするタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることができる。特に、この第１の実施形態は、電子部品の吸着姿勢不良の原因が装着ヘッドにある場合に有効である。
【００５３】
以下、第２の実施形態である図１０のフローチャートに基づいて、以下動作について説明する。初めに、プリント基板Ｐは上流装置より供給コンベア２Ａを介して位置決め部２Ｂに搬送されて位置決め固定され、ＣＰＵ１５は連鎖吸着のための装着ステップ番号の切出しをし、前記装着データから装着ステップ番号「０００１」の装着ヘッド６Ａのヘッド番号「１」及び吸着ノズル５のノズル番号「１」を取得する（ステップＳ４１）。次いで、電子部品を吸着して取出すために、部品供給ユニット８の部品取出し位置へ移動し（ステップＳ４２）、ＣＰＵ１５はエンコーダ１０Ｅ、９Ｅからの位置情報に基づいてＸ方向モータ１０及びＹ方向モータ９の各回転位置を把握し、前記部品取出し位置に到達したかを確認する（ステップＳ４３）。
【００５４】
そして、ＣＰＵ１５は到達を確認したら、ＲＡＭ１７に吸着ノズル５に対応する吸着姿勢不良フラグの内容（図１１参照）を取得する（ステップＳ４４）。この場合、吸着姿勢不良が発生した際に、ＲＡＭ１７にその不良が発生した吸着ノズル５の吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」を格納するが、格納されていない場合は「ＯＦＦ」である。
【００５５】
次に、ＣＰＵ１５はステップ番号「０００１」の装着ヘッド６Ａのヘッド番号「１」の番号「１」の吸着ノズルのノズル番号「１」の吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し（ステップＳ４５）、「ＯＦＦ」であれば、図１４に示すように、前記吸着ノズル５の下降開始から上昇開始するまでの時間ｔ１をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ４６）。次に、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから、通常、電子部品の吸着するときの真空度であって吸着ノズル５により確実に吸着できる満足真空度に到達までの時間ｔ２をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ４７）。次に前記時間ｔ１から時間ｔ２を引いて時間ｔを算出する（ステップＳ４８）。
【００５６】
そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御し（ステップＳ４９）、タイマ４０をスタートさせる（ステップＳ５０）。そして、前記吸着ノズル５の下降が開始してから計時するタイマ４０が時間ｔを計時したら（ステップＳ５１）、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ５２）、真空側に切り替わっている真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００５７】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ５３）、下限位置への到達を確認したら、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる（ステップＳ５４）。
【００５８】
次に、前記吸着ノズル５が上昇して、ＣＰＵ１５がエンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、原点位置に到達したか否かが確認され（ステップＳ５５）、原点位置に到達したことを確認すると、前記吸着ノズル５による電子部品の吸着姿勢をラインセンサ２４が検出する（ステップＳ５６）。
【００５９】
この場合、前記吸着ノズル５による電子部品の姿勢が吸着すべきでない面を吸着した所謂「立ちチップ状態」などの場合には、ラインセンサ２４の検出出力に基づいて、ＣＰＵ１５が吸着姿勢不良か否かを判定した際に（ステップＳ５７）、吸着姿勢が不良と判定され、この装着ヘッド６Ａの吸着ノズル５のノズル番号の吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」をＲＡＭ１７に格納させるが（ステップＳ５８）、吸着姿勢が不良でないと判定した場合には、「ＯＦＦ」のままとする。
【００６０】
そして、いずれにおいても、次には装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの次の吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ５９）、ある場合には前述したステップＳ４１へ戻る。この場合、前記連鎖吸着として、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに備えられた吸着ノズル５の最大数「４」について電子部品の吸着が可能であり、例えば装着ヘッド６Ａ、６Ｂの４本全ての吸着ノズル５の吸着動作が行われることとなる。
【００６１】
この連鎖吸着の過程において、前述したステップＳ４５において、ＣＰＵ１５は吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し、「ＯＮ」であれば、図９に示すように、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎをＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ６０）。そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御する（ステップＳ６１）。
【００６２】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて前記上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ６２）、下限位置への到達を確認したら、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ６３）、真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００６３】
そして、このエア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせたら前記タイマ４０をスタートさせ（ステップＳ６４）、ＣＰＵ１５は前記エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてからの時間を計時し（ステップＳ６５）、エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎが経過したことを確認したら、ステップＳ１４に移り、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズルの上昇を開始させる。以下前述したように、進み、ステップＳ５９へと移る。
【００６４】
即ち、連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ５９）、ある場合には前述したステップＳ４１へ戻って、前述したような次のステップ番号の吸着動作が行われることとなって、以下順次各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの連鎖吸着を行うこととなる。そして、この連鎖吸着を終えて連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定して、無い場合には前記吸着ノズル５が位置決めされたプリント基板Ｐ上の所定位置に前記電子部品を装着するように移動する途中において、装着ヘッド６Ａ、６Ｂが移動しながら吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が部品認識カメラ１４により撮像され（フライ認識）、電子部品の認識処理動作が行われる（ステップＳ６６）。
【００６５】
次に、ＣＰＵ１５は前記装着データに基づいて装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの装着ヘッド番号及び吸着ノズル５のノズル番号を取得し（ステップＳ６７）、前記装着データに基づいて電子部品の装着位置へ移動し（ステップＳ６８）、装着すべき電子部品に対応する吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が認識処理動作で認識不良と判定された電子部品か否かが判定され（ステップＳ６９）、不良と判定された場合にはステップＳ７３に移るが、不良でないと判定された場合には、吸着姿勢不良か否かが判定される（ステップＳ７０）。
【００６６】
即ち、「立ちチップ状態」で認識不良と判定された電子部品は、吸着姿勢不良と判定された場合にはステップＳ７３に移るが、吸着姿勢不良でないと判定された場合には、プリント基板Ｐへの電子部品の装着動作が行われる（ステップＳ７１）。
【００６７】
この場合、正圧側に真空／正圧切替弁３３を切替えると共に、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４をエア吹出しができるように切替えすると共にエア切替バルブ電磁弁３５をブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４側に切替接続して、エアを吹出して吸着ノズル５に吸着保持された電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。
【００６８】
次に、装着ヘッド６Ａ、６Ｂの吸着ノズル５のノズル番号の吸着姿勢不良フラグの内容を「ＯＦ」とし（ステップＳ７２）、次の吸着ノズル５に装着すべき電子部品があるかが判定される（ステップＳ７３）。
【００６９】
従って、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに装着すべき電子部品が無い場合には、リカバリすべき電子部品があるか否か判定され（ステップＳ７４）、有る場合には吸着姿勢不良とされ吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を廃棄した後にステップＳ４１に戻るが、無い場合には次のサイクル（連鎖吸着）に移る。
【００７０】
以上のように、吸着ノズル５の真空吸着のために真空源に切替え接続するためのエア切替バルブ電磁弁３５のＯＮするタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることができる。特に、この第２の実施形態は、電子部品の吸着姿勢不良の原因が吸着ノズルにある場合に有効である。
【００７１】
以下、第３の実施形態である図１２のフローチャートに基づいて、以下動作について説明する。初めに、プリント基板Ｐは上流装置より供給コンベア２Ａを介して位置決め部２Ｂに搬送されて位置決め固定され、ＣＰＵ１５は連鎖吸着のための装着ステップ番号の切出しをし、前記装着データから装着ステップ番号「０００１」の部品配置番号「１０１」を取得する（ステップＳ８１）。次いで、電子部品を吸着して取出すために、部品供給ユニット８の部品取出し位置へ移動し（ステップＳ８２）、ＣＰＵ１５はエンコーダ１０Ｅ、９Ｅからの位置情報に基づいてＸ方向モータ１０及びＹ方向モータ９の各回転位置を把握し、前記部品取出し位置に到達したかを確認する（ステップＳ８３）。
【００７２】
そして、ＣＰＵ１５は到達を確認したら、ＲＡＭ１７に部品供給ユニット８の部品配置番号に対応する吸着姿勢不良フラグの内容（図１３参照）を取得する（ステップＳ８４）。この場合、吸着姿勢不良が発生した際に、ＲＡＭ１７にその不良が発生した部品供給ユニット８の配置番号の吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」を格納するが、格納されていない場合は「ＯＦＦ」である。
【００７３】
次に、ＣＰＵ１５はステップ番号「０００１」の部品供給ユニット８の部品配置番号「１０１」の吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し（ステップＳ８５）、「ＯＦＦ」であれば、図１４に示すように、前記吸着ノズル５の下降開始から上昇開始するまでの時間ｔ１をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ８６）。次に、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから、通常、電子部品の吸着するときの真空度であって吸着ノズル５により確実に吸着できる満足真空度に到達までの時間ｔ２をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ８７）。次に前記時間ｔ１から時間ｔ２を引いて時間ｔを算出する（ステップＳ８８）。
【００７４】
そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御し（ステップＳ８９）、タイマ４０をスタートさせる（ステップＳ９０）。そして、前記吸着ノズル５の下降が開始してから計時するタイマ４０が時間ｔを計時したら（ステップＳ９１）、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ９２）、真空側に切り替わっている真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００７５】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ９３）、下限位置への到達を確認したら、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる（ステップＳ９４）。
【００７６】
次に、前記吸着ノズル５が上昇して、ＣＰＵ１５がエンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、原点位置に到達したか否かが確認され（ステップＳ９５）、原点位置に到達したことを確認すると、前記吸着ノズル５による電子部品の吸着姿勢をラインセンサ２４が検出する（ステップＳ９６）。
【００７７】
この場合、前記吸着ノズル５による電子部品の姿勢が吸着すべきでない面を吸着した所謂「立ちチップ状態」などの場合には、ラインセンサ２４の検出出力に基づいて、ＣＰＵ１５が吸着姿勢不良か否かを判定した際に（ステップＳ９７）、吸着姿勢が不良と判定され、この部品供給ユニット８の部品配置番号の吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」をＲＡＭ１７に格納させるが（ステップＳ８）、吸着姿勢が不良でないと判定した場合には、「ＯＦＦ」のままとする。
【００７８】
そして、いずれにおいても、次には装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの次の吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ９９）、ある場合には前述したステップＳ８１へ戻る。この場合、前記連鎖吸着として、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに備えられた吸着ノズル５の最大数「４」について電子部品の吸着が可能であり、例えば装着ヘッド６Ａ、６Ｂの４本全ての吸着ノズル５の吸着動作が行われることとなる。
【００７９】
この連鎖吸着の過程において、前述したステップＳ８５において、ＣＰＵ１５は吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し、「ＯＮ」であれば、図９に示すように、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎをＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ１００）。そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御する（ステップＳ１０１）。
【００８０】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて前記上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ１０２）、下限位置への到達を確認したら、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ１０３）、真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００８１】
そして、このエア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせたら前記タイマ４０をスタートさせ（ステップＳ１０４）、ＣＰＵ１５は前記エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてからの時間を計時し（ステップＳ１０５）、エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎが経過したことを確認したら、ステップＳ１４に移り、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズルの上昇を開始させる。以下前述したように、進み、ステップＳ９９へと移る。
【００８２】
即ち、連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ９９）、ある場合には前述したステップＳ８１へ戻って、前述したような次のステップ番号の吸着動作が行われることとなって、以下順次各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの連鎖吸着を行うこととなる。そして、この連鎖吸着を終えて連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定して、無い場合には前記吸着ノズル５が位置決めされたプリント基板Ｐ上の所定位置に前記電子部品を装着するように移動する途中において、装着ヘッド６Ａ、６Ｂが移動しながら吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が部品認識カメラ１４により撮像され（フライ認識）、部品の認識処理動作が行われる（ステップＳ１０６）。
【００８３】
次に、ＣＰＵ１５は前記装着データに基づいて部品配置番号を取得し（ステップＳ１０７）、前記装着データに基づいて電子部品の装着位置へ移動し（ステップＳ１０８）、装着すべき電子部品に対応する吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が認識処理動作で認識不良と判定された電子部品か否かが判定され（ステップＳ１０９）、不良と判定された場合にはステップＳ１１３に移るが、不良でないと判定された場合には、吸着姿勢不良か否かが判定される（ステップＳ１１０）。
【００８４】
即ち、「立ちチップ状態」で認識不良と判定された電子部品は、吸着姿勢不良と判定された場合にはステップＳ１１３に移るが、吸着姿勢不良でないと判定された場合には、プリント基板Ｐへの電子部品の装着動作が行われる（ステップＳ１１１）。
【００８５】
この場合、正圧側に真空／正圧切替弁３３を切替えると共に、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４をエア吹出しができるように切替えすると共にエア切替バルブ電磁弁３５をブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４側に切替接続して、エアを吹出して吸着ノズル５に吸着保持された電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。
【００８６】
次に、部品供給ユニット８の部品配置番号の吸着姿勢不良フラグの内容を「ＯＦＦ」とし（ステップＳ１１２）、次の吸着ノズル５に装着すべき電子部品があるかが判定される（ステップＳ１１３）。
【００８７】
従って、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに装着すべき電子部品が無い場合には、リカバリすべき電子部品があるか否か判定され（ステップＳ１１４）、有る場合には吸着姿勢不良とされ吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を廃棄した後にステップＳ８１に戻るが、無い場合には次のサイクル（連鎖吸着）に移る。
【００８８】
以上のように、吸着ノズル５の真空吸着のために真空源に切替え接続するためのエア切替バルブ電磁弁３５のＯＮするタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることができる。特に、この第３の実施形態は、電子部品の吸着姿勢不良の原因が部品供給ユニットにある場合に有効である。
【００８９】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００９０】
１ 電子部品装着装置
２ 搬送装置
３Ａ、３Ｂ 部品供給装置
８ 部品供給ユニット
６Ａ、６Ｂ 装着ヘッド
１５ ＣＰＵ
１７ ＲＡＭ
Ｐ プリント基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品供給装置より装着ヘッドに備えられた複数の吸着ノズルにより電子部品を吸着して取り出し、前記吸着ノズルに吸着保持された電子部品の吸着姿勢を検出装置で検出して、正常の吸着姿勢の場合には基板上に装着する電子部品の装着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品供給装置より装着ヘッドに取り付けられた吸着ノズルにより電子部品を吸着して取り出し、基板上に装着する電子部品装着装置は、特許文献１等に開示されている。そして、前記吸着ノズルの電子部品の吸着姿勢不良の要因の一つに真空圧のバラツキがある。例えば、真空圧のバラツキにより、前記吸着ノズルが部品供給装置の部品取出し位置に到達する前に、電子部品の吸い上げ開始の真空度を超えてしまうと、また吸着後の前記吸着ノズルの上昇時に満足真空度に到達しないと、吸着姿勢不良となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−８７３０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の電子部品の吸着取出し動作について、図１４に基づいて説明する。先ず、電子部品の吸着は、装着ヘッドに設けられた吸着ノズルを下降させて、真空源に連通するエア切替バルブ電磁弁をＯＮ（オン）し、満足真空度に到達したところで電子部品を真空吸着して前記吸着ノズルが上昇する。この場合、満足真空度と吸着ノズルの上昇は予め計算した時間で、タイミングを合わせて制御している。
【０００５】
即ち、前記吸着ノズルの下降開始からする上昇開始するまでの時間ｔ１とエア切替バルブ電磁弁がＯＮしてから満足真空度に到達までの時間ｔ２とを計算する。そして、吸着ノズルが原点位置から下降を開始し（Ｂ位置）、この下降が開始してからＡ時間（ｔ１−ｔ２）が経過したＣ位置で、前記エア切替バルブ電磁弁をＯＮする。そして、吸着ノズルが部品供給装置の部品取出し位置のＤ位置に到達したら、満足真空度に到達と同時に（Ｅ位置）、前記吸着ノズルが上昇するように、制御される。
【０００６】
このように制御すると、真空度を表示しているように、前記エア切替バルブ電磁弁がＯＮしてから、真空圧が掛かり出すバラツキの時間Ｆが発生し、また電子部品の吸い上げ開始から満足真空度が得られるまでの真空圧が増加するバラツキＧが発生する。
【０００７】
このために、前記エア切替バルブ電磁弁がＯＮしてから、真空圧が掛かり出すバラツキにより、前記吸着ノズルが部品供給装置の部品取出し位置に到達する前に、電子部品の吸い上げ開始の真空度を超えてしまうことが起こったり、また真空圧が増加するバラツキにより、吸着後の前記吸着ノズルの上昇時に満足真空度に到達しないことが起こり、電子部品の吸着姿勢不良となる。
【０００８】
そこで本発明は、電子部品の吸着姿勢の不良が発生したときに、吸着ノズルの真空吸着のために真空源に切替え接続するための切替弁が駆動するタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このため第１の発明は、部品供給装置より装着ヘッドに備えられた複数の吸着ノズルにより電子部品を吸着して取り出し、前記吸着ノズルに吸着保持された電子部品の吸着姿勢を検出装置で検出して、正常の吸着姿勢の場合には基板上に装着する電子部品の装着方法において、
前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際に、
前記吸着ノズルが前記部品供給装置より電子部品を吸着して取出すために下降し、
前記吸着ノズルが下限に到達したら、前記切替弁を駆動させて前記真空源に切替え接続し、
前記切替弁が駆動して前記真空源に切替えてからタイマが計時して、
切替弁が駆動して真空吸着のための真空源に切替え接続されてから通常の前記吸着ノズルが電子部品を吸着する真空度より高く予め定められた真空度に到達するまでの時間ｔｎを計時したら前記吸着ノズルが上昇すること
を特徴とする。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明において、前記時間ｔｎは、真空度が１００％に到達するまでの時間であることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明は、第１の発明において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルを備えた前記装着ヘッドについて、前記部品供給装置と前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する。
【００１２】
第４の発明は、第１の発明において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルについて、前記部品供給装置と前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する。
【００１３】
第５の発明は、第１の発明において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルが前記電子部品を取出した前記部品供給装置を構成する部品供給ユニットについて、この部品供給ユニットと前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、吸着ノズルの真空吸着のために真空源に切替え接続するための切替弁が駆動するタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】電子部品装着装置の平面図である。
【図２】ラインセンサユニットの概略図である。
【図３】装着ヘッドの真空吸着及びエア吹出しの制御を示す図である。
【図４】電子部品装着装置の制御ブロック図である。
【図５】装着データを示す図である。
【図６】電子部品の吸着及び装着に係る第１の実施形態のフローチャートを示す図である。
【図７】図６のフローチャートに続くフローチャートを示す図である。
【図８】装着ヘッドのヘッド番号毎の吸着姿勢不良フラグの内容を図である。
【図９】吸着ノズルの上下方向の位置と真空度との関係図である。
【図１０】電子部品の吸着及び装着に係る第２の実施形態のフローチャートを示す図である。
【図１１】吸着ノズルのノズル番号毎の吸着姿勢不良フラグの内容を図である。
【図１２】電子部品の吸着及び装着に係る第３の実施形態のフローチャートを示す図である。
【図１３】部品供給ユニットの部品配置番号毎の吸着姿勢不良フラグの内容を図である。
【図１４】吸着ノズルの上下方向の位置と真空度との関係図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下図１に基づき、基板としてプリント基板Ｐ上に電子部品を装着する電子部品装着装置１について、本発明の実施の形態を説明する。この電子部品装着装置１には、各プリント基板Ｐの搬送を並列に行なう搬送装置２と、装置本体の手前側と奥側に配設され電子部品を供給する部品供給装置３Ａ、３Ｂと、駆動源により一方向に移動可能（Ｙ方向に往復移動可能）な一対のビーム４Ａ、４Ｂと、それぞれ吸着ノズル５を備えて前記各ビーム４Ａ、４Ｂに沿った方向に各駆動源により移動可能な装着ヘッド６Ａ、６Ｂとが設けられている。
【００１７】
前記搬送装置２は電子部品装着装置１は供給コンベア２Ａと、プリント基板Ｐを位置決め固定する位置決め部２Ｂと、排出コンベア２Ｃとを備えている。そして、前記供給コンベア２Ａは上流より受けた各プリント基板Ｐを位置決め部２Ｂに搬送し、この各位置決め部２Ｂで位置決め装置により位置決めされた各基板上に電子部品が装着された後、排出コンベア２Ｃに搬送され、その後下流側装置に搬送される構成である。
【００１８】
そして、前記部品供給装置３Ａ、３Ｂは前記搬送装置２の奥側位置と手前側位置に配設され、取付台であるカート台７Ａ、７Ｂのフィーダベース上に部品供給ユニット８を多数並設したものである。各カート台７Ａ、７Ｂは部品供給ユニット８の部品供給側の先端部がプリント基板Ｐの搬送路に臨むように前記装置本体に連結具を介して着脱可能に配設され、各カート台７Ａ、７Ｂが正規に装置本体に取り付けられるとカート台７Ａ、７Ｂに搭載された部品供給ユニット８に電源が供給され、また前記連結具を解除して把手を引くと下面に設けられたキャスタにより移動できる構成である。
【００１９】
そして、Ｘ方向に長い前後一対の前記ビーム４Ａ、４Ｂは、各リニアモータから構成されるＹ方向モータ９の駆動により左右一対の前後に延びたガイドに沿って前記各ビームに固定されたスライダが摺動して個別にＹ方向に移動する。前記Ｙ方向モータ９は、左右一対の基体１Ａ、１Ｂに沿って固定された上下一対の固定子と、前記ビーム４Ａ、４Ｂの両端部に設けられた取付板の下部に固定された可動子９Ａとから構成される。
【００２０】
また、前記ビーム４Ａ、４Ｂにはその長手方向（Ｘ方向）にリニアモータから構成されるＸ方向モータ１０によりガイドに沿って移動する前記装着ヘッド６Ａ、６Ｂが夫々内側に設けられており、前記Ｘ方向モータ１０は各ビーム４Ａ、４Ｂに固定された前後一対の固定子と、各固定子の間に位置して前記装着ヘッド６Ａ、６Ｂに設けられた可動子とから構成される。
【００２１】
従って、各装着ヘッド６Ａ、６Ｂは向き合うように各ビーム４Ａ、４Ｂの内側に設けられ、前記装着ヘッド６Ａは対応する奥側の部品供給装置３Ａの部品供給ユニット８から電子部品の取出し作業を行い、搬送装置２上のプリント基板Ｐに装着することができ、装着ヘッド６Ｂは対応する手前側の部品供給装置３Ｂから電子部品を取り出して前記プリント基板Ｐに装着することができる。
【００２２】
そして、各装着ヘッド６Ａ、６Ｂには各バネにより下方へ付勢されている吸着ノズル５が円周上に所定間隔を存して４本配設されており、この吸着ノズル５は上下軸モータ１２により昇降可能であり、またθ軸モータ１３により装着ヘッド６Ａ、６Ｂを鉛直軸周りに回転させることにより、結果として各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの各吸着ノズル５はＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、垂直線回りに回転可能で、且つ上下動可能となっている。
【００２３】
なお、前記Ｙ方向モータ９、Ｘ方向モータ１０、上下軸モータ１２、θ軸モータ１３には、それぞれエンコーダ９Ｅ、１０Ｅ、１２Ｅ、１３Ｅが接続され、回転数、回転角度が監視把握される。
【００２４】
また、各部品認識カメラ１４は、各装着ヘッド６Ａ、６Ｂに設けられた各吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を一括して撮像する。なお、部品吸着姿勢検出装置として、図２に示すようなラインセンサ２４を使用するが、以下説明する。このラインセンサ２４は、装着ヘッド６Ａ、６Ｂの略中央部に設けられた円筒状の発光ユニット取付体２６内上部にＬＥＤ等の発光素子２７を配設すると共にその下方にレンズ２８及びそのレンズ２８の下方に円錐状の反射面２９を有する反射体３０を配設して構成された発光ユニット３１と、前記反射体３０を介する前記発光素子２７からの光を受光する複数の受光素子であるＣＣＤ素子を備えた受光ユニット３２とから構成される。
【００２５】
図３において、３３は真空源に連通する真空／正圧切替弁、３４はエア供給源に連通するブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁、３５は前記吸着ノズル５に対応して設けられ真空源に連通して吸着ノズル５が吸引するかエア供給源に連通して吸着ノズル５がエア吹き出しするかを切り替えるエア切替バルブ電磁弁である。
【００２６】
このエア切替バルブ電磁弁３５が励磁すると、真空／正圧切替弁３３を介して真空引き用通路３６とノズル連通通路３７とが連通可能であり、ノズル連通通路３８とエアブロー用通路３９とが遮断され、吸着ノズル５はノズル連通通路３７、真空／正圧切替弁３３、真空引き用通路３６を介して真空源と連通可能となり、吸着ノズル５は電子部品の真空吸着を維持できる。また、前記エア切替バルブ電磁弁３５が励磁すると、真空源に連通した真空引き用通路３６とノズル連通通路３７とが遮断され、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４を介してノズル連通通路３８とエアブロー用通路３９とが連通可能であり、吸着ノズル５による電子部品Ｄの真空吸着を止めると共に吸着ノズル５にエア供給源からの空気がエアブロー用通路３９、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４、ノズル連通通路３８を介して吹き込まれる。
【００２７】
図４は電子部品装着装置１の電子部品装着に係る制御のための制御ブロックであり、以下説明する。電子部品装着装置１の各要素はＣＰＵ１５（セントラル・プロセッシング・ユニット）１５が統括制御しており、この制御に係るプログラムを格納するＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）１６及び各種データを格納するＲＡＭ１７（ランダム・アクセス・メモリ）１７がバスライン１８を介して接続されている。また、ＣＰＵ１５には操作画面等を表示するモニタ１９及び該モニタ１９の表示画面に形成された入力手段としてのタッチパネルスイッチ２０がインターフェース２１を介して接続されている。また、前記Ｙ方向モータ９等が駆動回路２２、インターフェース２１を介して前記ＣＰＵ１５に接続されている。なお、前記ＣＰＵ１５は制御手段、確認手段、判定手段などの機能を果たす。
【００２８】
前記ＲＡＭ１７には、プリント基板Ｐの種類毎に装着データが記憶されている。この装着データは、その装着順序（装着ステップ番号）毎に、装着ヘッド６Ａ、６Ｂのヘッド番号（装着ヘッド６Ａは「１」、装着ヘッド６Ｂは「２」）、吸着ノズル５のノズル番号（「１」から「４」）、各部品供給ユニット８の部品配置番号情報、プリント基板Ｐ内での各電子部品の装着座標のＸ方向の位置情報（装着座標Ｘ）、Ｙ方向の位置情報（装着座標Ｙ）、装着角度情報（装着角度θ）とから構成される。
【００２９】
また、前記ＲＡＭ１７には、カート台７Ａ、７Ｂ上に配設された前記各部品供給ユニット８の部品配置番号に対応した各電子部品の種類（部品ＩＤ）の部品配置データが格納されている。更には、ＲＡＭ１７には装着ヘッド毎や、吸着ノズル５のノズル番号毎や、部品配置番号毎に吸着姿勢不良フラグの内容が格納されている。
【００３０】
そして、一方のカート台７Ａ上に配設された前記各部品供給ユニット８の部品配置番号は、「１０１」〜「１２６」であり、他方のカート台７Ｂ上に配設された前記各部品供給ユニット８の部品供給ユニット配置番号（ＦＤＲ番号）は、「２０１」〜「２２６」である。
【００３１】
更には、前記ＲＡＭ１７には、電子部品の特徴を表す形状データ・認識データ・制御データ・部品供給データから成る電子部品毎の部品ライブラリデータ等が格納されている。
【００３２】
２３はインターフェース２１を介して前記ＣＰＵ１５に接続される認識処理装置で、前記部品認識カメラ１４により撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置２３にて行われ、ＣＰＵ１５に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ１５は部品認識カメラ１４により撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を認識処理装置２３に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置２３から受取るものである。
【００３３】
また、タイマ４０がインターフェース２１を介して前記ＣＰＵ１５に接続されている。
【００３４】
以下、第１の実施形態である図６及び図７のフローチャートに基づいて、以下動作について説明する。基板であるプリント基板Ｐは上流装置より供給コンベア２Ａを介して位置決め部２Ｂに搬送されて位置決め固定され、ＣＰＵ１５は装着ヘッド６Ａ及び６Ｂが連鎖吸着のために、図５に示す装着データから前記部品供給装置３Ａ、３Ｂとプリント基板Ｐとの１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理する装着ステップ番号の切出しをし、初めに装着ステップ番号「０００１」の装着ヘッド６Ａのヘッド番号「１」を取得する（ステップＳ０１）。この場合、各装着ヘッド６Ａ、６Ｂに備えられた吸着ノズル５の最大数「４」について電子部品の連鎖吸着が可能であり、例えば装着ヘッド６Ａ、６Ｂの４本全ての吸着ノズル５の吸着動作が行われることとなる。
【００３５】
次いで、電子部品を吸着して取出すために、部品供給ユニット８の部品取出し位置へ移動する（ステップＳ０２）。即ち、奥側のヘッド番号「１」の装着ヘッド６Ａが、Ｙ方向はＹ方向モータ９が駆動してビーム４Ａが移動し、Ｘ方向はＸ方向モータ１０が駆動してＸＹ方向に移動し、部品供給ユニット８の部品取出し位置へ移動する。
【００３６】
次に、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１０Ｅ、９Ｅからの位置情報に基づいてＸ方向モータ１０及びＹ方向モータ９の各回転位置を把握し、部品供給ユニット８の部品取出し位置に到達したかを確認する（ステップＳ０３）。ＣＰＵ１５は到達を確認したら、ＲＡＭ１７に装着ヘッド６Ａに対応する吸着姿勢不良フラグの内容（図８参照）を取得する（ステップＳ０４）。この場合、吸着姿勢不良が発生して、複数の受光素子及び発光素子２７を間隔を存して縦に配置し、前記間隔に位置した電子部品による遮光状態に基づいて吸着姿勢により吸着不良と判断された際に、ＲＡＭ１７にその不良が発生した装着ヘッドの吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」を格納するが、格納されない場合は「ＯＦＦ」のままである。
【００３７】
次に、ＣＰＵ１５はステップ番号「０００１」の装着ヘッド６Ａのヘッド番号「１」の吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し（ステップＳ０５）、「ＯＦＦ」であれば、図１４に示すように、装着ヘッド６Ａの前記吸着ノズル５の下降開始から上昇開始するまでの時間ｔ１をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ０６）。次に、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから、通常、電子部品の吸着するときの真空度であって吸着ノズル５により確実に吸着できる満足真空度に到達までの時間ｔ２をＲＡＭ１７から読み込み（ステップＳ０７）、次に前記時間ｔ１から時間ｔ２を引いて時間ｔを算出する（ステップＳ０８）。なお、前記時間ｔ１、ｔ２は、予め計測されて前記ＲＡＭ１７に格納されている。
【００３８】
そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように上下軸駆動モータ１２を制御し（ステップＳ０９）、タイマ４０をスタートさせる（ステップＳ１０）。そして、前記吸着ノズル５の下降が開始してから計時するタイマ４０が時間ｔを計時したら（ステップＳ１１）、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮ（「駆動」の意、以下同じ。）させて真空側に切替え（ステップＳ１２）、真空側に切り替わっている真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００３９】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ１３）、下限位置への到達を確認したら、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる（ステップＳ１４）。
【００４０】
次に、前記吸着ノズル５が上昇して、ＣＰＵ１５がエンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、原点位置に到達したか否かが確認され（ステップＳ１５）、原点位置に到達したことを確認すると、前記吸着ノズル５による電子部品Ｄの吸着姿勢を検出装置であるラインセンサ２４が検出する（ステップＳ１６）。
【００４１】
この場合、前記吸着ノズル５による電子部品の姿勢が吸着すべきでない面を吸着した所謂「立ちチップ状態」などの場合には、ラインセンサ２４の検出出力に基づいて、ＣＰＵ１５が吸着姿勢不良か否かを判定した際に（ステップＳ１７）、吸着姿勢が不良と判定され、この装着ヘッド６Ａの吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」をＲＡＭ１７に格納させるが（ステップＳ１８）、吸着姿勢が不良でないと判定した場合には、「ＯＦＦ」のままとする。
【００４２】
そして、いずれにおいても、次には装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの次の吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ１９）、ある場合には前述したステップＳ０１へ戻る。この場合、連鎖吸着として、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに備えられた吸着ノズル５の最大数「４」について電子部品の吸着が可能であり、例えば装着ヘッド６Ａ、６Ｂの４本全ての吸着ノズル５の吸着動作が行われることとなる。
【００４３】
この連鎖吸着の過程において、前述したステップＳ０５において、ＣＰＵ１５は装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し、「ＯＮ」であれば、図９に示すように、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてからこの電子部品装着装置１に設けられた真空源により到達できる最も高い真空の状態である真空度１００％に到達までの時間ｔｎを読み込む（ステップＳ２０）。そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御する（ステップＳ２１）。
【００４４】
なお、前記時間ｔｎは、予め計測してＲＡＭ１７に格納されている。そして、この時間ｔｎは真空度１００％に到達するまでの時間より短く、上述した満足真空度より高く真空度１００％より低い真空度に到達するまでの時間としてもよく（例えば、満足真空度が５０％なら９０％にする等）、このように前記時間ｔｎを真空度１００％又は１００％に十分近い真空度に到達するまでの時間とすることにより一層確実に電子部品を吸着することができる。このことは、以下説明する第２の実施形態である図１０のフローチャート、第３の実施形態である図１２のフローチャートにおいても、同様である。
【００４５】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて前記上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ２２）、下限位置への到達を確認したら、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ２３）、真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００４６】
そして、このエア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせたら前記タイマ４０をスタートさせ（ステップＳ２４）、ＣＰＵ１５は前記エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてからの時間を計時し（ステップＳ２５）、エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎが経過したことを確認したら、ステップＳ１４に移り、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる。以下前述したように、進み、ステップＳ１９へと移る。
【００４７】
即ち、連鎖吸着するための吸着ノズルが吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ１９）、ある場合には前述したステップＳ０１へ戻って、前述したような次のステップ番号の吸着動作が行われることとなって、以下順次各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの連鎖吸着を行うこととなる。そして、この連鎖吸着を終えて連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定して、無い場合には前記吸着ノズル５が位置決めされたプリント基板Ｐ上の所定位置に前記電子部品を装着するように移動する途中において、装着ヘッド６Ａ、６Ｂが移動しながら吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が部品認識カメラ１４により撮像され（フライ認識）、部品の認識処理動作が行われる（ステップＳ２６）。
【００４８】
次に、ＣＰＵ１５は前記装着データに基づいて装着ヘッド番号を取得し（ステップＳ２７）、前記装着データに基づいて電子部品の装着位置へ移動し（ステップＳ２８）、装着すべき電子部品に対応する吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が認識処理動作で認識不良と判定された電子部品か否かが判定され（ステップＳ２９）、不良と判定された場合にはステップＳ３２に移るが、不良でないと判定された場合には、吸着姿勢不良か否かが判定される（ステップＳ３０）。
【００４９】
即ち、「立ちチップ状態」で認識不良と判定された電子部品は、吸着姿勢不良と判定された場合にはステップＳ３２に移るが、吸着姿勢不良でないと判定された場合には、プリント基板Ｐへの電子部品の装着動作が行われる（ステップＳ３１）。
【００５０】
この場合、正圧側に真空／正圧切替弁３３を切替えると共に、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４をエア吹出しができるように切替えすると共にエア切替バルブ電磁弁３５をブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４側に切替接続して、エアを吹出して吸着ノズル５に吸着保持された電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。そして、次の吸着ノズル５に装着すべき電子部品があるかが判定される（ステップＳ３２）。
【００５１】
従って、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに装着すべき電子部品が無い場合には、リカバリすべき電子部品があるか否か判定され（ステップＳ３３）、有る場合には吸着姿勢不良とされ吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を廃棄した後にステップＳ０１に戻るが、無い場合にはこの装着ヘッド６Ａ、６Ｂの吸着姿勢不良フラグの内容を「ＯＦＦ」して（ステップＳ３４）、次の連鎖吸着に係るサイクルに移る。
【００５２】
以上のように、吸着ノズル５の真空吸着のために真空源に切替え接続するためのエア切替バルブ電磁弁３５のＯＮするタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることができる。特に、この第１の実施形態は、電子部品の吸着姿勢不良の原因が装着ヘッドにある場合に有効である。
【００５３】
以下、第２の実施形態である図１０のフローチャートに基づいて、以下動作について説明する。初めに、プリント基板Ｐは上流装置より供給コンベア２Ａを介して位置決め部２Ｂに搬送されて位置決め固定され、ＣＰＵ１５は連鎖吸着のための装着ステップ番号の切出しをし、前記装着データから装着ステップ番号「０００１」の装着ヘッド６Ａのヘッド番号「１」及び吸着ノズル５のノズル番号「１」を取得する（ステップＳ４１）。次いで、電子部品を吸着して取出すために、部品供給ユニット８の部品取出し位置へ移動し（ステップＳ４２）、ＣＰＵ１５はエンコーダ１０Ｅ、９Ｅからの位置情報に基づいてＸ方向モータ１０及びＹ方向モータ９の各回転位置を把握し、前記部品取出し位置に到達したかを確認する（ステップＳ４３）。
【００５４】
そして、ＣＰＵ１５は到達を確認したら、ＲＡＭ１７に吸着ノズル５に対応する吸着姿勢不良フラグの内容（図１１参照）を取得する（ステップＳ４４）。この場合、吸着姿勢不良が発生した際に、ＲＡＭ１７にその不良が発生した吸着ノズル５の吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」を格納するが、格納されていない場合は「ＯＦＦ」である。
【００５５】
次に、ＣＰＵ１５はステップ番号「０００１」の装着ヘッド６Ａのヘッド番号「１」の番号「１」の吸着ノズルのノズル番号「１」の吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し（ステップＳ４５）、「ＯＦＦ」であれば、図１４に示すように、前記吸着ノズル５の下降開始から上昇開始するまでの時間ｔ１をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ４６）。次に、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから、通常、電子部品の吸着するときの真空度であって吸着ノズル５により確実に吸着できる満足真空度に到達までの時間ｔ２をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ４７）。次に前記時間ｔ１から時間ｔ２を引いて時間ｔを算出する（ステップＳ４８）。
【００５６】
そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御し（ステップＳ４９）、タイマ４０をスタートさせる（ステップＳ５０）。そして、前記吸着ノズル５の下降が開始してから計時するタイマ４０が時間ｔを計時したら（ステップＳ５１）、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ５２）、真空側に切り替わっている真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００５７】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ５３）、下限位置への到達を確認したら、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる（ステップＳ５４）。
【００５８】
次に、前記吸着ノズル５が上昇して、ＣＰＵ１５がエンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、原点位置に到達したか否かが確認され（ステップＳ５５）、原点位置に到達したことを確認すると、前記吸着ノズル５による電子部品の吸着姿勢をラインセンサ２４が検出する（ステップＳ５６）。
【００５９】
この場合、前記吸着ノズル５による電子部品の姿勢が吸着すべきでない面を吸着した所謂「立ちチップ状態」などの場合には、ラインセンサ２４の検出出力に基づいて、ＣＰＵ１５が吸着姿勢不良か否かを判定した際に（ステップＳ５７）、吸着姿勢が不良と判定され、この装着ヘッド６Ａの吸着ノズル５のノズル番号の吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」をＲＡＭ１７に格納させるが（ステップＳ５８）、吸着姿勢が不良でないと判定した場合には、「ＯＦＦ」のままとする。
【００６０】
そして、いずれにおいても、次には装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの次の吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ５９）、ある場合には前述したステップＳ４１へ戻る。この場合、前記連鎖吸着として、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに備えられた吸着ノズル５の最大数「４」について電子部品の吸着が可能であり、例えば装着ヘッド６Ａ、６Ｂの４本全ての吸着ノズル５の吸着動作が行われることとなる。
【００６１】
この連鎖吸着の過程において、前述したステップＳ４５において、ＣＰＵ１５は吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し、「ＯＮ」であれば、図９に示すように、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎをＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ６０）。そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御する（ステップＳ６１）。
【００６２】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて前記上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ６２）、下限位置への到達を確認したら、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ６３）、真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００６３】
そして、このエア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせたら前記タイマ４０をスタートさせ（ステップＳ６４）、ＣＰＵ１５は前記エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてからの時間を計時し（ステップＳ６５）、エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎが経過したことを確認したら、ステップＳ１４に移り、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズルの上昇を開始させる。以下前述したように、進み、ステップＳ５９へと移る。
【００６４】
即ち、連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ５９）、ある場合には前述したステップＳ４１へ戻って、前述したような次のステップ番号の吸着動作が行われることとなって、以下順次各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの連鎖吸着を行うこととなる。そして、この連鎖吸着を終えて連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定して、無い場合には前記吸着ノズル５が位置決めされたプリント基板Ｐ上の所定位置に前記電子部品を装着するように移動する途中において、装着ヘッド６Ａ、６Ｂが移動しながら吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が部品認識カメラ１４により撮像され（フライ認識）、電子部品の認識処理動作が行われる（ステップＳ６６）。
【００６５】
次に、ＣＰＵ１５は前記装着データに基づいて装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの装着ヘッド番号及び吸着ノズル５のノズル番号を取得し（ステップＳ６７）、前記装着データに基づいて電子部品の装着位置へ移動し（ステップＳ６８）、装着すべき電子部品に対応する吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が認識処理動作で認識不良と判定された電子部品か否かが判定され（ステップＳ６９）、不良と判定された場合にはステップＳ７３に移るが、不良でないと判定された場合には、吸着姿勢不良か否かが判定される（ステップＳ７０）。
【００６６】
即ち、「立ちチップ状態」で認識不良と判定された電子部品は、吸着姿勢不良と判定された場合にはステップＳ７３に移るが、吸着姿勢不良でないと判定された場合には、プリント基板Ｐへの電子部品の装着動作が行われる（ステップＳ７１）。
【００６７】
この場合、正圧側に真空／正圧切替弁３３を切替えると共に、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４をエア吹出しができるように切替えすると共にエア切替バルブ電磁弁３５をブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４側に切替接続して、エアを吹出して吸着ノズル５に吸着保持された電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。
【００６８】
次に、装着ヘッド６Ａ、６Ｂの吸着ノズル５のノズル番号の吸着姿勢不良フラグの内容を「ＯＦ」とし（ステップＳ７２）、次の吸着ノズル５に装着すべき電子部品があるかが判定される（ステップＳ７３）。
【００６９】
従って、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに装着すべき電子部品が無い場合には、リカバリすべき電子部品があるか否か判定され（ステップＳ７４）、有る場合には吸着姿勢不良とされ吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を廃棄した後にステップＳ４１に戻るが、無い場合には次のサイクル（連鎖吸着）に移る。
【００７０】
以上のように、吸着ノズル５の真空吸着のために真空源に切替え接続するためのエア切替バルブ電磁弁３５のＯＮするタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることができる。特に、この第２の実施形態は、電子部品の吸着姿勢不良の原因が吸着ノズルにある場合に有効である。
【００７１】
以下、第３の実施形態である図１２のフローチャートに基づいて、以下動作について説明する。初めに、プリント基板Ｐは上流装置より供給コンベア２Ａを介して位置決め部２Ｂに搬送されて位置決め固定され、ＣＰＵ１５は連鎖吸着のための装着ステップ番号の切出しをし、前記装着データから装着ステップ番号「０００１」の部品配置番号「１０１」を取得する（ステップＳ８１）。次いで、電子部品を吸着して取出すために、部品供給ユニット８の部品取出し位置へ移動し（ステップＳ８２）、ＣＰＵ１５はエンコーダ１０Ｅ、９Ｅからの位置情報に基づいてＸ方向モータ１０及びＹ方向モータ９の各回転位置を把握し、前記部品取出し位置に到達したかを確認する（ステップＳ８３）。
【００７２】
そして、ＣＰＵ１５は到達を確認したら、ＲＡＭ１７に部品供給ユニット８の部品配置番号に対応する吸着姿勢不良フラグの内容（図１３参照）を取得する（ステップＳ８４）。この場合、吸着姿勢不良が発生した際に、ＲＡＭ１７にその不良が発生した部品供給ユニット８の配置番号の吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」を格納するが、格納されていない場合は「ＯＦＦ」である。
【００７３】
次に、ＣＰＵ１５はステップ番号「０００１」の部品供給ユニット８の部品配置番号「１０１」の吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し（ステップＳ８５）、「ＯＦＦ」であれば、図１４に示すように、前記吸着ノズル５の下降開始から上昇開始するまでの時間ｔ１をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ８６）。次に、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから、通常、電子部品の吸着するときの真空度であって吸着ノズル５により確実に吸着できる満足真空度に到達までの時間ｔ２をＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ８７）。次に前記時間ｔ１から時間ｔ２を引いて時間ｔを算出する（ステップＳ８８）。
【００７４】
そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御し（ステップＳ８９）、タイマ４０をスタートさせる（ステップＳ９０）。そして、前記吸着ノズル５の下降が開始してから計時するタイマ４０が時間ｔを計時したら（ステップＳ９１）、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ９２）、真空側に切り替わっている真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００７５】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ９３）、下限位置への到達を確認したら、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズル５の上昇を開始させる（ステップＳ９４）。
【００７６】
次に、前記吸着ノズル５が上昇して、ＣＰＵ１５がエンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、原点位置に到達したか否かが確認され（ステップＳ９５）、原点位置に到達したことを確認すると、前記吸着ノズル５による電子部品の吸着姿勢をラインセンサ２４が検出する（ステップＳ９６）。
【００７７】
この場合、前記吸着ノズル５による電子部品の姿勢が吸着すべきでない面を吸着した所謂「立ちチップ状態」などの場合には、ラインセンサ２４の検出出力に基づいて、ＣＰＵ１５が吸着姿勢不良か否かを判定した際に（ステップＳ９７）、吸着姿勢が不良と判定され、この部品供給ユニット８の部品配置番号の吸着姿勢不良フラグの内容として「ＯＮ」をＲＡＭ１７に格納させるが（ステップＳ８）、吸着姿勢が不良でないと判定した場合には、「ＯＦＦ」のままとする。
【００７８】
そして、いずれにおいても、次には装着ヘッド６Ａ又は６Ｂの次の吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ９９）、ある場合には前述したステップＳ８１へ戻る。この場合、前記連鎖吸着として、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに備えられた吸着ノズル５の最大数「４」について電子部品の吸着が可能であり、例えば装着ヘッド６Ａ、６Ｂの４本全ての吸着ノズル５の吸着動作が行われることとなる。
【００７９】
この連鎖吸着の過程において、前述したステップＳ８５において、ＣＰＵ１５は吸着姿勢不良フラグの内容が「ＯＮ」か否かを確認し、「ＯＮ」であれば、図９に示すように、ＣＰＵ１５はエア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎをＲＡＭ１７から読み込む（ステップＳ１００）。そして、ＣＰＵ１５は前記吸着ノズル５の下降を開始させるように、上下軸駆動モータ１２を制御する（ステップＳ１０１）。
【００８０】
そして、ＣＰＵ１５は、エンコーダ１２Ｅからの位置情報に基づいて前記上下軸駆動モータ１２の回転位置を把握し、前記吸着ノズル５が下限位置に到達したかを確認し（ステップＳ１０２）、下限位置への到達を確認したら、エア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせて真空側に切替え（ステップＳ１０３）、真空／正圧切替弁３３を介して真空源（図示せず）に連通させ、電子部品の取り出しのための真空吸引動作を開始する。
【００８１】
そして、このエア切替バルブ電磁弁３５をＯＮさせたら前記タイマ４０をスタートさせ（ステップＳ１０４）、ＣＰＵ１５は前記エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてからの時間を計時し（ステップＳ１０５）、エア切替バルブ電磁弁３５がＯＮしてから真空度１００％に到達までの時間ｔｎが経過したことを確認したら、ステップＳ１４に移り、上下軸駆動モータ１２を制御して吸着ノズルの上昇を開始させる。以下前述したように、進み、ステップＳ９９へと移る。
【００８２】
即ち、連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定し（ステップＳ９９）、ある場合には前述したステップＳ８１へ戻って、前述したような次のステップ番号の吸着動作が行われることとなって、以下順次各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの連鎖吸着を行うこととなる。そして、この連鎖吸着を終えて連鎖吸着するための吸着ノズル５が吸着すべき電子部品があるかを判定して、無い場合には前記吸着ノズル５が位置決めされたプリント基板Ｐ上の所定位置に前記電子部品を装着するように移動する途中において、装着ヘッド６Ａ、６Ｂが移動しながら吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が部品認識カメラ１４により撮像され（フライ認識）、部品の認識処理動作が行われる（ステップＳ１０６）。
【００８３】
次に、ＣＰＵ１５は前記装着データに基づいて部品配置番号を取得し（ステップＳ１０７）、前記装着データに基づいて電子部品の装着位置へ移動し（ステップＳ１０８）、装着すべき電子部品に対応する吸着ノズル５に吸着保持された電子部品が認識処理動作で認識不良と判定された電子部品か否かが判定され（ステップＳ１０９）、不良と判定された場合にはステップＳ１１３に移るが、不良でないと判定された場合には、吸着姿勢不良か否かが判定される（ステップＳ１１０）。
【００８４】
即ち、「立ちチップ状態」で認識不良と判定された電子部品は、吸着姿勢不良と判定された場合にはステップＳ１１３に移るが、吸着姿勢不良でないと判定された場合には、プリント基板Ｐへの電子部品の装着動作が行われる（ステップＳ１１１）。
【００８５】
この場合、正圧側に真空／正圧切替弁３３を切替えると共に、ブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４をエア吹出しができるように切替えすると共にエア切替バルブ電磁弁３５をブローＯＮ／ＯＦＦ切替弁３４側に切替接続して、エアを吹出して吸着ノズル５に吸着保持された電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。
【００８６】
次に、部品供給ユニット８の部品配置番号の吸着姿勢不良フラグの内容を「ＯＦＦ」とし（ステップＳ１１２）、次の吸着ノズル５に装着すべき電子部品があるかが判定される（ステップＳ１１３）。
【００８７】
従って、この装着ヘッド６Ａ、６Ｂに装着すべき電子部品が無い場合には、リカバリすべき電子部品があるか否か判定され（ステップＳ１１４）、有る場合には吸着姿勢不良とされ吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を廃棄した後にステップＳ８１に戻るが、無い場合には次のサイクル（連鎖吸着）に移る。
【００８８】
以上のように、吸着ノズル５の真空吸着のために真空源に切替え接続するためのエア切替バルブ電磁弁３５のＯＮするタイミングを変更することにより、電子部品の吸着姿勢の不良を極力減少させることができる。特に、この第３の実施形態は、電子部品の吸着姿勢不良の原因が部品供給ユニットにある場合に有効である。
【００８９】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００９０】
１ 電子部品装着装置
２ 搬送装置
３Ａ、３Ｂ 部品供給装置
８ 部品供給ユニット
６Ａ、６Ｂ 装着ヘッド
１５ ＣＰＵ
１７ ＲＡＭ
Ｐ プリント基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給装置より装着ヘッドに備えられた複数の吸着ノズルにより電子部品を吸着して取り出し、前記吸着ノズルに吸着保持された電子部品の吸着姿勢を検出装置で検出して、正常の吸着姿勢の場合には基板上に装着する電子部品の装着方法において、
前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際に、
前記吸着ノズルが前記部品供給装置より電子部品を吸着して取出すために下降し、
前記吸着ノズルが下限に到達したら、前記切替弁を駆動させて前記真空源に切替え接続し、
前記切替弁が駆動して前記真空源に切替えてからタイマが計時して、
切替弁が駆動して真空吸着のための真空源に切替え接続されてから通常の前記吸着ノズルが電子部品を吸着する真空度より高く予め定められた真空度に到達するまでの時間ｔｎを計時したら前記吸着ノズルが上昇すること
を特徴とする電子部品の装着方法。
【請求項２】
前記時間ｔｎは、真空度が１００％に到達するまでの時間であることを特徴とする請求項１に記載の電子部品の装着方法。
【請求項３】
請求項１において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルを備えた前記装着ヘッドについて、前記部品供給装置と前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する電子部品の装着方法。
【請求項４】
請求項１において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルについて、前記部品供給装置と前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する電子部品の装着方法。
【請求項５】
請求項１において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルが前記電子部品を取出した前記部品供給装置を構成する部品供給ユニットについて、この部品供給ユニットと前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する電子部品の装着方法。
【請求項１】
部品供給装置より装着ヘッドに備えられた複数の吸着ノズルにより電子部品を吸着して取り出し、前記吸着ノズルに吸着保持された電子部品の吸着姿勢を検出装置で検出して、正常の吸着姿勢の場合には基板上に装着する電子部品の装着方法において、
前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際に、
前記吸着ノズルが前記部品供給装置より電子部品を吸着して取出すために下降し、
前記吸着ノズルが下限に到達したら、前記切替弁を駆動させて前記真空源に切替え接続し、
前記切替弁が駆動して前記真空源に切替えてからタイマが計時して、
切替弁が駆動して真空吸着のための真空源に切替え接続されてから通常の前記吸着ノズルが電子部品を吸着する真空度より高く予め定められた真空度に到達するまでの時間ｔｎを計時したら前記吸着ノズルが上昇すること
を特徴とする電子部品の装着方法。
【請求項２】
前記時間ｔｎは、真空度が１００％に到達するまでの時間であることを特徴とする請求項１に記載の電子部品の装着方法。
【請求項３】
請求項１において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルを備えた前記装着ヘッドについて、前記部品供給装置と前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する電子部品の装着方法。
【請求項４】
請求項１において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルについて、前記部品供給装置と前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する電子部品の装着方法。
【請求項５】
請求項１において、前記検出装置により吸着姿勢不良が検出された際とは、前記吸着姿勢の不良が検出された電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルが前記電子部品を取出した前記部品供給装置を構成する部品供給ユニットについて、この部品供給ユニットと前記基板との１回の往復分で電子部品の取り出し処理及び装着処理するための電子部品の連鎖吸着をする際であることを特徴する電子部品の装着方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１３−９８３４５（Ｐ２０１３−９８３４５Ａ）
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２３９８０６（Ｐ２０１１−２３９８０６）
【出願日】平成２３年１０月３１日（２０１１．１０．３１）
【出願人】（３０００２２５０４）株式会社日立ハイテクインスツルメンツ (607)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月３１日（２０１１．１０．３１）
【出願人】（３０００２２５０４）株式会社日立ハイテクインスツルメンツ (607)
【Ｆターム（参考）】
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