ＰＥＣ（ｐｕｌｓｅｄｅｄｄｙｃｕｒｒｅｎｔ）を利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法
【解決手段】
本発明はＰＥＣ（ｐｕｌｓｅｄ ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を利用した欠陥測定装置に関し、詳細にはＰＥＣを利用した欠陥検出装置において、欠陥か否かを判別するための対象物体と、上記対象物体の表面に近接させてＰＥＣ信号を上記対象物体に照射して返送される上記対象物体の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置と、上記ＰＥＣ照射装置がケーブルで連結されて上記ＰＥＣ照射装置で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置と、上記測定装置と連結されて上記測定装置から出力される結果を表示する表示装置と、上記測定装置と連結されて測定される対象物体に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置を含んで構成されることを特徴とするＰＥＣを利用した欠陥測定装置に関する。
本発明はＰＥＣ（ｐｕｌｓｅｄ ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を利用した欠陥測定装置に関し、詳細にはＰＥＣを利用した欠陥検出装置において、欠陥か否かを判別するための対象物体と、上記対象物体の表面に近接させてＰＥＣ信号を上記対象物体に照射して返送される上記対象物体の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置と、上記ＰＥＣ照射装置がケーブルで連結されて上記ＰＥＣ照射装置で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置と、上記測定装置と連結されて上記測定装置から出力される結果を表示する表示装置と、上記測定装置と連結されて測定される対象物体に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置を含んで構成されることを特徴とするＰＥＣを利用した欠陥測定装置に関する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＰＥＣ（ｐｕｌｓｅｄ ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を利用した欠陥測定装置に関し、詳細にはＰＥＣを利用した欠陥検出装置において、欠陥か否かを判別するための対象物体と、前記対象物体の表面に近接させてＰＥＣ信号を前記対象物体に照射して返送される前記対象物体の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置と、前記ＰＥＣ照射装置がケーブルで連結されて前記ＰＥＣ照射装置で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置と、前記測定装置と連結されて前記測定装置から出力される結果を表示する表示装置と、前記測定装置と連結されて測定される対象物体に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置を含んで構成されることを特徴とするＰＥＣを利用した欠陥測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ＰＥＣ信号を利用して対象物体の欠陥を検査する装置は、単純にＰＥＣ信号を対象物体に照射して欠陥部位の電圧と欠陥ではない部分の微細な電圧差を測定装置で測定して目で確認するようにし、前記電圧差によって欠陥か否かを判明することができる。
しかし、従来の検査装置は対象物体の厚さによる変化は感知することができず、単純に欠陥と判明するに至る問題点があり、対象物体と測定装置との間に空気層が形成されると、測定が不可能な問題点がある。
また、対象物体の表面から一定の深さまでのみ測定が可能であるため、一定の深さ以上で発生した欠陥は測定することができない問題点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記の問題点を解決するために、ＰＥＣ信号を照射するＰＥＣ照射装置を、測定しようとする測定装置に近接させて測定装置に返送されるＰＥＣ信号を測定して時分割方式で測定されたＰＥＣ信号を分割して、分割されたＰＥＣ信号のうち任意に２個の測定値を選択してグラフ上の座標として使用して示される結果値を見て正常と欠陥を測定するＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記の課題を解決するために欠陥か否かを判別するための対象物体と、前記対象物体の表面に近接させてＰＥＣ信号を前記対象物体に照射して返送される前記対象物体の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置と、前記ＰＥＣ照射装置がケーブルで連結されて前記ＰＥＣ照射装置で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置と、前記測定装置と連結されて前記測定装置から出力される結果を表示する表示装置と、前記測定装置と連結されて測定される対象物体に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置を含んで構成される。
【発明の効果】
【０００５】
ＰＥＣ信号を照射するＰＥＣ照射装置を、測定しようとする測定装置に近接させて測定装置に返送されるＰＥＣ信号を測定して時分割方式で測定されたＰＥＣ信号を分割して、分割されたＰＥＣ信号のうち任意に２個の測定値を選択してグラフ上の座標として使用して示される結果値を見て正常と欠陥を測定するので、欠陥の正確な位置と欠陥が発生した位置を検出することができるという効果がある。
また、ＰＥＣ照射装置と対象物体との間に空気層や他の物体があっても測定が可能な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置の全体構成図である。
【図２】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法の全体順序図である。
【図３】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法のＰＥＣ信号を時分割してグラフで作成することを示したグラフである。
【図４】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法の測定位置によってインピーダンスが変化することを示したグラフである。
【図５】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法の対象物体の厚さによってインピーダンスが変化することを示したグラフである。
【図６】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法のノッチとステップブロック（ｂｌｏｃｋ）のインピーダンスの差を示したグラフである。
【図７】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法を利用して対象物体がある場所を測定する際に変化することを示したグラフである。
【図８】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法の溶接部位検出に対するグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本発明はＰＥＣを利用した欠陥検出装置において、欠陥か否かを判別するための対象物体１０と、前記対象物体１０の表面に近接させてＰＥＣ信号を前記対象物体１０に照射して返送される前記対象物体１０の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置２０と、前記ＰＥＣ照射装置２０がケーブルで連結されて前記ＰＥＣ照射装置２０で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置３０と、前記測定装置３０と連結されて前記測定装置３０から出力される結果を表示する表示装置４０と、前記測定装置３０と連結されて測定される対象物体１０に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置５０を含んで構成される。
この時、前記測定装置は対象物体１０の厚さと欠陥によるインピーダンスの差を前記表示装置４０上に示される一つのグラフに全て表示される。
そして、前記装置を利用した方法は、ＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法において、対象物体１０にＰＥＣ照射装置２０を利用してＰＥＣ信号を照射する照射段階Ｓ１０と、前記ＰＥＣ照射装置２０で測定したＰＥＣ信号を前記ＰＥＣ照射装置２０と連結された測定装置３０に保存されたプログラムで、時分割方式で分割する時分割段階Ｓ２０と、前記測定装置３０で時分割されたＰＥＣ信号のうち高い出力値を有する測定値を前記測定装置３０に保存されたプログラムで自動で２個を選択する選択段階Ｓ３０と、前記選択段階Ｓ３０で選択された２個の測定値をグラフのＸ軸値とＹ軸値に代入して２つの値が交じり合う点の結果値を導出する結果導出段階Ｓ４０と、前記結果導出段階Ｓ４０で導出された結果値を表示装置に表示する表示段階Ｓ５０と、前記ＰＥＣ照射装置２０を移動させながら測定して、前記測定装置３０で測定される多数の地点の測定値を照射段階Ｓ１０と時分割段階Ｓ２０、選択段階Ｓ３０、結果導出段階Ｓ４０及び表示段階Ｓ５０を反復して前記表示装置４０に表示されるグラフ画面にそれぞれの点を表示してグラフの‘０’点を中心に変化するグラフの結果値を比較して前記対象物体の欠陥に該当する位置を検出して、欠陥か否かを判別する欠陥判別段階Ｓ６０を含んでなる。
この時、前記選択段階Ｓ３０では３個の測定値を選択して前記結果導出段階Ｓ４０で３次元グラフ上に結果値を導出して、前記表示段階Ｓ５０で３次元グラフを表示することができる。
そして、前記ＰＥＣ照射装置２０で照射されるＰＥＣ信号はＰＥＣ照射装置２０と対象物体１０との間に空気層または他の物体が挿入されても前記対象物体１０から返送されるＰＥＣ信号で欠陥か否かを測定することができる。
また、前記欠陥判別段階で表示される測定値は前記ＰＥＣ照射装置２０が移動することによって水平方向に測定値が変化して多数の点で表示され、欠陥部位の信号は正常部位よりも電圧が大きく示されるようになる。
すなわち、本発明の一実施を挙げてさらに詳細に説明すると、次のとおりである。
欠陥を検出しようとする対象物体１０の表面にＰＥＣ信号を照射するＰＥＣ照射装置２０を近接させて前記ＰＥＣ照射装置２０でＰＥＣ信号を照射して、前記ＰＥＣ照射装置２０で照射されたＰＥＣ信号が前記対象物体１０から返送されて前記ＰＥＣ照射装置２０で受信されると、前記ＰＥＣ照射装置２０と連結された測定装置３０で処理して前記測定装置３０と連結された表示装置４０を通じて結果値を表示して、前記測定装置３０と連結された入力装置５０で対象物体１０に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）値を設定することができる。
そして、これを利用して測定する方法は、対象物体１０にＰＥＣ照射装置２０を利用してＰＥＣ信号を照射して、前記ＰＥＣ照射装置２０で測定したＰＥＣ信号を前記ＰＥＣ照射装置２０と連結された測定装置３０に保存されたプログラムで時分割方式で分割して時分割されたＰＥＣ信号のうち高い出力値を有する測定値を前記測定装置に保存されたプログラムで自動で２個を選択して、選択された２個の測定値をグラフのＸ軸値とＹ軸値に代入して２つの値が交じり合う点の結果値を導出して、導出された結果値を表示装置４０に表示する。
そして、前記ＰＥＣ照射装置２０を移動させながら測定して、前記測定装置３０で測定される多数の地点の測定値を前記の過程を反復して前記表示装置４０に表示されるグラフ画面にそれぞれの点を表示してグラフの‘０’点を中心に変化するグラフの結果値を比較して前記対象物体１０の欠陥に該当する位置を検出して、欠陥か否かを判別される。
この時、そして、前記ＰＥＣ照射装置２０で照射されるＰＥＣ信号はＰＥＣ照射装置２０と対象物体１０との間に空気層または他の物体が挿入されても前記対象物体１０から返送されるＰＥＣ信号で欠陥か否かを測定することができ、前記表示装置４０で表示される測定値は前記ＰＥＣ照射装置２０が移動することによって水平方向に測定値が変化して多数の点で表示され、欠陥部位の信号は正常部位よりも電圧が大きく示されるようになる。
そして、前記測定装置３０で時分割されたＰＥＣ信号のうち３個の測定値を選択して３次元グラフ上に結果値を導出して、前記表示装置４０で３次元グラフで表示することができる。
【符号の説明】
【０００８】
１０：対象物体 ２０：ＰＥＣ照射装置
３０：測定装置 ４０：表示装置
５０：入力装置
【技術分野】
【０００１】
本発明はＰＥＣ（ｐｕｌｓｅｄ ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を利用した欠陥測定装置に関し、詳細にはＰＥＣを利用した欠陥検出装置において、欠陥か否かを判別するための対象物体と、前記対象物体の表面に近接させてＰＥＣ信号を前記対象物体に照射して返送される前記対象物体の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置と、前記ＰＥＣ照射装置がケーブルで連結されて前記ＰＥＣ照射装置で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置と、前記測定装置と連結されて前記測定装置から出力される結果を表示する表示装置と、前記測定装置と連結されて測定される対象物体に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置を含んで構成されることを特徴とするＰＥＣを利用した欠陥測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ＰＥＣ信号を利用して対象物体の欠陥を検査する装置は、単純にＰＥＣ信号を対象物体に照射して欠陥部位の電圧と欠陥ではない部分の微細な電圧差を測定装置で測定して目で確認するようにし、前記電圧差によって欠陥か否かを判明することができる。
しかし、従来の検査装置は対象物体の厚さによる変化は感知することができず、単純に欠陥と判明するに至る問題点があり、対象物体と測定装置との間に空気層が形成されると、測定が不可能な問題点がある。
また、対象物体の表面から一定の深さまでのみ測定が可能であるため、一定の深さ以上で発生した欠陥は測定することができない問題点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記の問題点を解決するために、ＰＥＣ信号を照射するＰＥＣ照射装置を、測定しようとする測定装置に近接させて測定装置に返送されるＰＥＣ信号を測定して時分割方式で測定されたＰＥＣ信号を分割して、分割されたＰＥＣ信号のうち任意に２個の測定値を選択してグラフ上の座標として使用して示される結果値を見て正常と欠陥を測定するＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記の課題を解決するために欠陥か否かを判別するための対象物体と、前記対象物体の表面に近接させてＰＥＣ信号を前記対象物体に照射して返送される前記対象物体の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置と、前記ＰＥＣ照射装置がケーブルで連結されて前記ＰＥＣ照射装置で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置と、前記測定装置と連結されて前記測定装置から出力される結果を表示する表示装置と、前記測定装置と連結されて測定される対象物体に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置を含んで構成される。
【発明の効果】
【０００５】
ＰＥＣ信号を照射するＰＥＣ照射装置を、測定しようとする測定装置に近接させて測定装置に返送されるＰＥＣ信号を測定して時分割方式で測定されたＰＥＣ信号を分割して、分割されたＰＥＣ信号のうち任意に２個の測定値を選択してグラフ上の座標として使用して示される結果値を見て正常と欠陥を測定するので、欠陥の正確な位置と欠陥が発生した位置を検出することができるという効果がある。
また、ＰＥＣ照射装置と対象物体との間に空気層や他の物体があっても測定が可能な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置の全体構成図である。
【図２】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法の全体順序図である。
【図３】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法のＰＥＣ信号を時分割してグラフで作成することを示したグラフである。
【図４】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法の測定位置によってインピーダンスが変化することを示したグラフである。
【図５】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法の対象物体の厚さによってインピーダンスが変化することを示したグラフである。
【図６】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法のノッチとステップブロック（ｂｌｏｃｋ）のインピーダンスの差を示したグラフである。
【図７】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法を利用して対象物体がある場所を測定する際に変化することを示したグラフである。
【図８】本発明によるＰＥＣを利用した欠陥測定装置とこれを利用した測定方法の溶接部位検出に対するグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本発明はＰＥＣを利用した欠陥検出装置において、欠陥か否かを判別するための対象物体１０と、前記対象物体１０の表面に近接させてＰＥＣ信号を前記対象物体１０に照射して返送される前記対象物体１０の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置２０と、前記ＰＥＣ照射装置２０がケーブルで連結されて前記ＰＥＣ照射装置２０で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置３０と、前記測定装置３０と連結されて前記測定装置３０から出力される結果を表示する表示装置４０と、前記測定装置３０と連結されて測定される対象物体１０に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置５０を含んで構成される。
この時、前記測定装置は対象物体１０の厚さと欠陥によるインピーダンスの差を前記表示装置４０上に示される一つのグラフに全て表示される。
そして、前記装置を利用した方法は、ＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法において、対象物体１０にＰＥＣ照射装置２０を利用してＰＥＣ信号を照射する照射段階Ｓ１０と、前記ＰＥＣ照射装置２０で測定したＰＥＣ信号を前記ＰＥＣ照射装置２０と連結された測定装置３０に保存されたプログラムで、時分割方式で分割する時分割段階Ｓ２０と、前記測定装置３０で時分割されたＰＥＣ信号のうち高い出力値を有する測定値を前記測定装置３０に保存されたプログラムで自動で２個を選択する選択段階Ｓ３０と、前記選択段階Ｓ３０で選択された２個の測定値をグラフのＸ軸値とＹ軸値に代入して２つの値が交じり合う点の結果値を導出する結果導出段階Ｓ４０と、前記結果導出段階Ｓ４０で導出された結果値を表示装置に表示する表示段階Ｓ５０と、前記ＰＥＣ照射装置２０を移動させながら測定して、前記測定装置３０で測定される多数の地点の測定値を照射段階Ｓ１０と時分割段階Ｓ２０、選択段階Ｓ３０、結果導出段階Ｓ４０及び表示段階Ｓ５０を反復して前記表示装置４０に表示されるグラフ画面にそれぞれの点を表示してグラフの‘０’点を中心に変化するグラフの結果値を比較して前記対象物体の欠陥に該当する位置を検出して、欠陥か否かを判別する欠陥判別段階Ｓ６０を含んでなる。
この時、前記選択段階Ｓ３０では３個の測定値を選択して前記結果導出段階Ｓ４０で３次元グラフ上に結果値を導出して、前記表示段階Ｓ５０で３次元グラフを表示することができる。
そして、前記ＰＥＣ照射装置２０で照射されるＰＥＣ信号はＰＥＣ照射装置２０と対象物体１０との間に空気層または他の物体が挿入されても前記対象物体１０から返送されるＰＥＣ信号で欠陥か否かを測定することができる。
また、前記欠陥判別段階で表示される測定値は前記ＰＥＣ照射装置２０が移動することによって水平方向に測定値が変化して多数の点で表示され、欠陥部位の信号は正常部位よりも電圧が大きく示されるようになる。
すなわち、本発明の一実施を挙げてさらに詳細に説明すると、次のとおりである。
欠陥を検出しようとする対象物体１０の表面にＰＥＣ信号を照射するＰＥＣ照射装置２０を近接させて前記ＰＥＣ照射装置２０でＰＥＣ信号を照射して、前記ＰＥＣ照射装置２０で照射されたＰＥＣ信号が前記対象物体１０から返送されて前記ＰＥＣ照射装置２０で受信されると、前記ＰＥＣ照射装置２０と連結された測定装置３０で処理して前記測定装置３０と連結された表示装置４０を通じて結果値を表示して、前記測定装置３０と連結された入力装置５０で対象物体１０に照射されるＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）値を設定することができる。
そして、これを利用して測定する方法は、対象物体１０にＰＥＣ照射装置２０を利用してＰＥＣ信号を照射して、前記ＰＥＣ照射装置２０で測定したＰＥＣ信号を前記ＰＥＣ照射装置２０と連結された測定装置３０に保存されたプログラムで時分割方式で分割して時分割されたＰＥＣ信号のうち高い出力値を有する測定値を前記測定装置に保存されたプログラムで自動で２個を選択して、選択された２個の測定値をグラフのＸ軸値とＹ軸値に代入して２つの値が交じり合う点の結果値を導出して、導出された結果値を表示装置４０に表示する。
そして、前記ＰＥＣ照射装置２０を移動させながら測定して、前記測定装置３０で測定される多数の地点の測定値を前記の過程を反復して前記表示装置４０に表示されるグラフ画面にそれぞれの点を表示してグラフの‘０’点を中心に変化するグラフの結果値を比較して前記対象物体１０の欠陥に該当する位置を検出して、欠陥か否かを判別される。
この時、そして、前記ＰＥＣ照射装置２０で照射されるＰＥＣ信号はＰＥＣ照射装置２０と対象物体１０との間に空気層または他の物体が挿入されても前記対象物体１０から返送されるＰＥＣ信号で欠陥か否かを測定することができ、前記表示装置４０で表示される測定値は前記ＰＥＣ照射装置２０が移動することによって水平方向に測定値が変化して多数の点で表示され、欠陥部位の信号は正常部位よりも電圧が大きく示されるようになる。
そして、前記測定装置３０で時分割されたＰＥＣ信号のうち３個の測定値を選択して３次元グラフ上に結果値を導出して、前記表示装置４０で３次元グラフで表示することができる。
【符号の説明】
【０００８】
１０：対象物体 ２０：ＰＥＣ照射装置
３０：測定装置 ４０：表示装置
５０：入力装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＥＣ（ｐｕｌｓｅｄ ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を利用した欠陥検出装置において、
欠陥か否かを判別するための対象物体（１０）と、
前記対象物体（１０）の表面に近接させてＰＥＣ信号を前記対象物体（１０）に照射して返送される前記対象物体（１０）の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置（２０）と、
前記ＰＥＣ照射装置（２０）がケーブルで連結されて前記 ＰＥＣ照射装置（２０）で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置（３０）と、
前記測定装置（３０）と連結されて前記測定装置（３０）から出力される結果を表示する表示装置（４０）と、
前記測定装置（３０）と連結されて測定される対象物体（１０）に照射される ＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置（５０）を含んで構成されることを特徴とするＰＥＣを利用した欠陥測定装置。
【請求項２】
前記測定装置は対象物体（１０）の厚さと欠陥によるインピーダンスの差を前記表示装置（４０）上に示される一つのグラフに全て表示することを特徴とする第１項に記載のＰＥＣを利用した欠陥測定装置。
【請求項３】
ＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法において、
対象物体（１０）にＰＥＣ照射装置（２０）を利用してＰＥＣ信号を照射する照射段階（Ｓ１０）と、
前記ＰＥＣ照射装置（２０）で測定したＰＥＣ信号を前記ＰＥＣ照射装置（２０）と連結された測定装置（３０）に保存されたプログラムで時分割方式で分割する時分割段階（Ｓ２０）と、
前記測定装置（３０）で時分割されたＰＥＣ信号のうち高い出力値を有する測定値を前記測定装置（３０）に保存されたプログラムで自動で２個を選択する選択段階（Ｓ３０）と、
前記選択段階（Ｓ３０）で選択された２個の測定値をグラフのＸ軸値とＹ軸値に代入して２つの値が交じり合う点の結果値を導出する結果導出段階（Ｓ４０）と、
前記結果導出段階（Ｓ４０）で導出された結果値を表示装置に表示する表示段階（Ｓ５０）と、
前記ＰＥＣ照射装置（２０）を移動させながら測定して、前記測定装置（３０）で測定される多数の地点の測定値を照射段階（Ｓ１０）と時分割段階（Ｓ２０）、選択段階（Ｓ３０）、結果導出段階（Ｓ４０）及び表示段階（Ｓ５０）を反復して前記表示装置（４０）に表示されるグラフ画面にそれぞれの点を表示してグラフの‘０’点を中心に変化するグラフの結果値を比較して前記対象物体の欠陥に該当する位置を検出して、欠陥か否かを判別する欠陥判別段階（Ｓ６０）を含んでなるＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法。
【請求項４】
前記選択段階（Ｓ３０）では３個の測定値を選択して前記結果導出段階（Ｓ４０）で３次元グラフ上に結果値を導出して、前記表示段階（Ｓ５０）で３次元グラフで表示することができることを特徴とする第３項に記載のＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法。
【請求項５】
前記ＰＥＣ照射装置（２０）で照射されるＰＥＣ信号はＰＥＣ照射装置（２０）と対象物体（１０）との間に空気層または他の物体が挿入されても前記対象物体（１０）から返送されるＰＥＣ信号で欠陥か否かを測定することができることを特徴とする第３項に記載のＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法。
【請求項６】
前記欠陥判別段階（Ｓ６０）で表示される測定値は前記ＰＥＣ照射装置（２０）が移動することによって水平方向に測定値が変化して多数の点で表示され、欠陥部位の信号は正常部位よりも電圧が大きく示されることを特徴とする第３項に記載のＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法。
【請求項１】
ＰＥＣ（ｐｕｌｓｅｄ ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ）を利用した欠陥検出装置において、
欠陥か否かを判別するための対象物体（１０）と、
前記対象物体（１０）の表面に近接させてＰＥＣ信号を前記対象物体（１０）に照射して返送される前記対象物体（１０）の欠陥と無欠陥信号の受信を受けるＰＥＣ照射装置（２０）と、
前記ＰＥＣ照射装置（２０）がケーブルで連結されて前記 ＰＥＣ照射装置（２０）で受信される返送ＰＥＣ信号の入力を受けてＰＥＣ信号を時分割してグラフ上に表示するプログラムが保存され、結果値を表示装置に表示する測定装置（３０）と、
前記測定装置（３０）と連結されて前記測定装置（３０）から出力される結果を表示する表示装置（４０）と、
前記測定装置（３０）と連結されて測定される対象物体（１０）に照射される ＰＥＣ信号の位相（ｐｈａｓｅ：測定されるＰＥＣ信号を時分割して任意の位置を選択した値）と周波数（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：入力されるＰＥＣ信号の周波数値）及びゲイン（ｇａｉｎ：返送されるＰＥＣ信号の時間軸範囲）を設定する入力装置（５０）を含んで構成されることを特徴とするＰＥＣを利用した欠陥測定装置。
【請求項２】
前記測定装置は対象物体（１０）の厚さと欠陥によるインピーダンスの差を前記表示装置（４０）上に示される一つのグラフに全て表示することを特徴とする第１項に記載のＰＥＣを利用した欠陥測定装置。
【請求項３】
ＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法において、
対象物体（１０）にＰＥＣ照射装置（２０）を利用してＰＥＣ信号を照射する照射段階（Ｓ１０）と、
前記ＰＥＣ照射装置（２０）で測定したＰＥＣ信号を前記ＰＥＣ照射装置（２０）と連結された測定装置（３０）に保存されたプログラムで時分割方式で分割する時分割段階（Ｓ２０）と、
前記測定装置（３０）で時分割されたＰＥＣ信号のうち高い出力値を有する測定値を前記測定装置（３０）に保存されたプログラムで自動で２個を選択する選択段階（Ｓ３０）と、
前記選択段階（Ｓ３０）で選択された２個の測定値をグラフのＸ軸値とＹ軸値に代入して２つの値が交じり合う点の結果値を導出する結果導出段階（Ｓ４０）と、
前記結果導出段階（Ｓ４０）で導出された結果値を表示装置に表示する表示段階（Ｓ５０）と、
前記ＰＥＣ照射装置（２０）を移動させながら測定して、前記測定装置（３０）で測定される多数の地点の測定値を照射段階（Ｓ１０）と時分割段階（Ｓ２０）、選択段階（Ｓ３０）、結果導出段階（Ｓ４０）及び表示段階（Ｓ５０）を反復して前記表示装置（４０）に表示されるグラフ画面にそれぞれの点を表示してグラフの‘０’点を中心に変化するグラフの結果値を比較して前記対象物体の欠陥に該当する位置を検出して、欠陥か否かを判別する欠陥判別段階（Ｓ６０）を含んでなるＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法。
【請求項４】
前記選択段階（Ｓ３０）では３個の測定値を選択して前記結果導出段階（Ｓ４０）で３次元グラフ上に結果値を導出して、前記表示段階（Ｓ５０）で３次元グラフで表示することができることを特徴とする第３項に記載のＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法。
【請求項５】
前記ＰＥＣ照射装置（２０）で照射されるＰＥＣ信号はＰＥＣ照射装置（２０）と対象物体（１０）との間に空気層または他の物体が挿入されても前記対象物体（１０）から返送されるＰＥＣ信号で欠陥か否かを測定することができることを特徴とする第３項に記載のＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法。
【請求項６】
前記欠陥判別段階（Ｓ６０）で表示される測定値は前記ＰＥＣ照射装置（２０）が移動することによって水平方向に測定値が変化して多数の点で表示され、欠陥部位の信号は正常部位よりも電圧が大きく示されることを特徴とする第３項に記載のＰＥＣを利用した欠陥測定装置を利用した測定方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公表番号】特表２０１０−５３７２２０（Ｐ２０１０−５３７２２０Ａ）
【公表日】平成２２年１２月２日（２０１０．１２．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−５３３０１８（Ｐ２０１０−５３３０１８）
【出願日】平成２１年３月４日（２００９．３．４）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＫＲ２００９／００１０８４
【国際公開番号】ＷＯ２０１０／０４１８００
【国際公開日】平成２２年４月１５日（２０１０．４．１５）
【出願人】（５０９２８５３７７）レイナル カンパニー，リミテッド (1)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２２年１２月２日（２０１０．１２．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月４日（２００９．３．４）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＫＲ２００９／００１０８４
【国際公開番号】ＷＯ２０１０／０４１８００
【国際公開日】平成２２年４月１５日（２０１０．４．１５）
【出願人】（５０９２８５３７７）レイナル カンパニー，リミテッド (1)
【Ｆターム（参考）】
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