【課題】従来と異なる熱処理制御により、ダングリングボンドを有効に低減して、ライフタイムを効果的に向上させる。
【解決手段】半導体処理基板１に対して熱処理を行う熱処理装置１０であって、内部に熱処理対象の半導体処理基板１が配置され、熱処理時に内部が加熱される処理容器３と、処理容器３の内部を加熱する加熱装置１５と、処理容器３の内部に水蒸気を供給する水蒸気供給装置５と、を備える。熱処理時における処理容器３内の水蒸気分圧が常圧より高くなるように、水蒸気供給装置５は水蒸気を処理容器３の内部に供給する。 （もっと読む）

【課題】ギアを支持する軸受の軸受損失を容易かつ確実に低減することができる三連式ギアポンプを提案する。
【解決手段】駆動ギア２０と、駆動ギア２０を挟んで対向配置される２つの従動ギア２１，２２と、駆動ギア２１，２２の駆動軸を支持する第一軸受３６と、２つの従動ギア２１，２２の回転軸を支持する第二，第三軸受３７，３８と、を備える三連式ギアポンプ２において、第一軸受３６の軸受長を、第二，第三軸受３７，３８の軸受長よりも短く形成した。 （もっと読む）

【課題】摺動特性及び引張特性が共に良好な耐焼付き性鋳鉄を提供するものである。
【解決手段】本発明に係る耐焼付き性鋳鉄は、面積率が９〜１８％の片状黒鉛、面積率が１〜１０％の硬質相であるステダイト及び炭化物を含み、基地組織に面積率１〜３０％のフェライトを含み、残部がパーライト、オースフェライト、焼戻しマルテンサイト組織で構成されるものである。 （もっと読む）

【課題】ロウ材層の融点が高くなることを抑えて金属材の強度低下や熱変形の発生を回避し得、且つ製造コストを安価にして、ロウ材層の厚さを薄くできてロウ付け時におけるロウ材の液垂れを防止し得、更に、プレス成形性をも改善し得るクラッド材の製造方法及びクラッド材を提供する。
【解決手段】母材巻戻機３によって母材コイル２から巻き戻された母材１の表面に金属粉末を圧着する粉末圧着機１２を用い、所要のロウ材の組成になるように、少なくとも２種類の金属粉末を混合し、その混合粉末を母材１に圧着してロウ材層１１を形成し、該ロウ材層１１を構成するロウ材の組成が銅に少なくともリンを添加して銅の融点よりも融点を下げたロウ材の組成であるようにして、クラッド材８を製造する。 （もっと読む）

【課題】地層を構成する粒子を充填した反応器の途中で水や微生物試料を自由にサンプリングでき、しかもサンプリングする部分が周囲と異なる環境にならないこと、また反応器をグローブボックスなどに入れなくても雰囲気制御できる地下圏モデル試験装置を提供する。
【解決手段】反応器１０内に地層を構成する粒子１２を充填すると共にその反応器１０の一方から他方へ地下水ｗを流し、その反応器１０内の地下水ｗをサンプリングするための地下圏モデル試験装置において、反応器１０に側管１３を付設し、その側管１３に、外気と遮断して側管１３内に気相１１を形成する栓１４を設け、その栓１４を貫通する挿入管１８を有すると共にその挿入管１８を通して側管１３内に浸み出した地下水ｗをサンプリングするものである。 （もっと読む）

【課題】 フーチングを不要にし、現場での工期を低減させる。
【解決手段】 鋼製橋脚１の下端部に、筒状の鋼殻２を一体に取り付け、鋼殻２の内壁面にずれ止め具としての孔明き鋼板ジベル３を設ける。次いで、地盤に埋設したコンクリート杭４の上側に、鋼製橋脚１の下端部の鋼殻２を配置して、鋼殻２の内側にコンクリート杭４の杭頭の主鉄筋５を収納させる。しかる後、上記鋼殻２内にコンクリート６を充填する。鋼製橋脚１より作用する力を、鋼殻２に設けた孔明き鋼板ジベル３を介して充填コンクリート６へ伝達させ、更に、充填コンクリート６に埋め込まれたコンクリート杭４の主鉄筋５を介してコンクリート杭４に伝達させることで、鋼製橋脚１をコンクリート杭４に強固に定着させる。 （もっと読む）

【課題】 扉体の左右位置の支持円盤の下方に溜まる砂を排除できるようにする。
【解決手段】 左右の支持円盤４の周辺部同士の間に扉体５を取り付けてゲート本体３を形成する。左右の支持柱部材２の間の水路に、ゲート本体３を横切るよう配置し、水平軸を中心に回転動作できるようにして回転式ゲートを形成する。扉体５の上流側の水路内にて扉体５を全閉状態とするときの天端よりも所要寸法ｈ低い位置に開口させた上流側水流入口１９と、各支持円盤４の下方位置にて下流方向へ向けて開口する水流出口２０とを連通させる排砂用配管１８を設ける。扉体５の上流側と下流側の水位差に基づいて、上流側水流入口１９より取り入れた水２７を、排砂用配管１８を通して水流出口２０まで導いて、支持円盤４の下方位置にて常時下流方向へ流出させることで、支持円盤４の下方の土砂を下流側へ流し出させる。 （もっと読む）

【課題】高熱伝導金属を材料とした平滑なストリップが得られるようにする。
【解決手段】水平に並べた一対の冷却ロール１と、これら冷却ロール１を軸線方向に挟むように配置した一対のサイド堰９とを備え、各冷却ロール１の上側に、一対のサイド堰９の溶湯溜まり８側の部位に面接触するように挟まるバレル堰１０を設け、バレル堰１０にヒータ１６を内装してバレル堰１０に対する凝固殻の生成を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】ダングリングボンドを水素ではなく重水素で終端することができ、かつ９００℃に達するような高温処理を必要とすることなく、十分な重水素を導入することができる半導体装置の製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１の表面に酸化膜を形成する酸化膜形成工程Ｓ１１と、次いで、半導体基板を大気圧よりも高い圧力の高圧重水蒸気２に晒す高圧重水蒸気処理工程Ｓ１２とを有し、これにより、あらかじめ形成した酸化膜中に重水素を導入する。 （もっと読む）

【課題】組立て部材同士の位置関係を現場対応にて微調整が可能な添接板及び該添接板を用いた構造物の組立て方法を提供する。
【解決手段】所定の組立て部材に位置合わせされる一方のパイロットホール２Ｌと、他の組立て部材に位置合わせされる他方のパイロットホール２Ｒとからなるパイロットホール対を備える添接板１であって、予め決められた規定孔芯間距離Ｐ１に設定されたパイロットホール対２Ｌ１，２Ｒ１、２Ｌ４，２Ｒ４、２Ｌ５，２Ｒ５及び２Ｌ８，２Ｒ８と、上記規定孔芯間距離Ｐ１と異なる変位孔芯間距離Ｐ２に設定されたパイロットホール対２Ｌ２，２Ｒ２、２Ｌ３，２Ｒ３、２Ｌ６，２Ｒ６及び２Ｌ７，２Ｒ７とを備える。 （もっと読む）