【課題】ウエハの降温速度を高める。
【解決手段】ウエハ１を処理する処理室３２と、処理室３２に水素ガスを供給する水素ガス供給装置３９と、処理室３２に窒素ガスを供給する窒素ガス供給装置８５と、処理室３２の水素ガスの濃度を検出する水素ガス濃度計４６と、排気ポンプ４２が設けられた第一排気ライン４１と、除害装置４８が設けられた第二排気ライン４７と、排気ポンプと除害装置４８を迂回したバイパス排気ライン４９とを備えたアニール装置１０において、アニール後に水素ガス濃度計４６が設定値よりも高い濃度を検出している時には第一排気ライン４１または第二排気ライン４７にて排気し、設定値以下を検出した時には第三排気ライン４９にて排気する。 （もっと読む）

【課題】送風機やエアーフィルタの交換に要する時間を短縮すると共に、交換作業を簡素化するようにした空冷式のテレビ送信機を提供する。
【解決手段】空気を吸入して発熱機器に送風する送風機（４）と、吸入空気に含まれる粉塵を除去するエアーフィルタ（２１，２３Ｒ，２３Ｌ）とを、テレビ送信機に着脱自在な送風機ボックス（３）に収容することで、送風機（４）とエアーフィルタ（２１，２３Ｒ，２３Ｌ）の交換を、送風機ボックス（３）を交換することによって一度に（同時に）行う。 （もっと読む）

【課題】ガス供給管の処理室への配管本数を増加することが容易な基板処理装置を提供する。
【解決手段】プロセスチューブ３０に形成された処理室３１と、ボート６１が待機する待機室２３とを備えたロードロック方式のバッチ式熱処理装置において、複数本のガス供給管３５Ｂ、３５Ｃを待機室２３内から待機室２３の天井壁を貫通して処理室３１内に挿入する。これらガス供給管３５Ｂ、３５Ｃは待機室２３に開設されたボート搬入搬出口２６の周囲であって処理室３１の炉口３３の直径以下の領域に配管する。プロセスチューブ３０周りの構造に影響を受けずに複数本のガス供給管を処理室内に配管できる。複数本のガス供給管の配管作業を作業領域が比較的に限定されない待機室内において実施することにより、配管作業を適正かつ効率的に実施できるので、不充分な接続によるリークの発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 ノズル等のガス出力手段の内壁全体をクリーニングガスによってクリーニングすることができるようにする。
【解決手段】 基板に所定の処理を施すための反応管３７と、前記反応管内に反応ガスを供給する複数のノズル４３、４４、４５と、前記複数のノズルのそれぞれに接続されるとともに、前記反応ガス、クリーニングガスの蓄積源に接続される配管部と、前記配管部の少なくとも前記複数のノズルのそれぞれと前記各ガスの蓄積源との間にそれぞれ設けられたバルブと、前記配管部に設けられ、前記各ガスの流量を制御するマスフローコントローラと、前記複数のノズルの内部をクリーニングする場合に、前記複数のノズルに供給する前記クリーニングガスの流量をそれぞれ異ならせるよう前記マスフローコントローラを制御するコントローラ１０３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 従来の無線電話機においては、着信側で送信元を通知するか否かの機能を有していたが、発信者の緊急性が着信相手に伝達させず、着信側が即時に応答しない場合があるという問題があった。本発明は、迅速な応答を促す機能を有する無線電話機を提供することを目的としている。
【解決手段】 発信側で、着信側の電話番号と当該電話番号にデータを付加して入力する。これにより受信側では、電話番号に付加されたデータを検出して、着信処理中に、表示部に発信側で入力されたデータに基づき文字列を表示とすると同時に送信側の電話番号も表示する。 （もっと読む）

【課題】マルチコアプロセッサを用いて効率的なマルチタスク動作を行なわせることができ、時間応答性能の厳しい信号処理システムに等に適用可能とする。
【解決手段】コアプロセッサ１１〜１３には、Ｌ１メモリ２１〜２３がそれぞれ付属している。コアプロセッサ１１〜１３は、シングルスタックのＯＳで動作するもので、その優先度は例えば「コア０＜コア１＜コア２」に設定され、内部バス１４及び外部バス１５に接続される。内部バス１４には、複数個のＬ２メモリ３１〜３４が接続される。上記コアプロセッサ１１〜１３とＬ２メモリ３１〜３４は、内部バス１４を空間的に多重接続されており、コアプロセッサ１１がＬ２メモリ３１にアクセス中に、コアプロセッサ１２がＬ２メモリ３２に、コアプロセッサ１３がＬ２メモリ３４に同時にアクセスが可能なように接続される。 （もっと読む）

【課題】カセット運用を容易にすると共に、カセット収容数の低下を防止できるカセットの運用管理方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るカセットの運用管理方法は、ボート３１に搭載した半導体ウェーハ２０を処理する反応炉１１と、反応炉１１の前方に設けられるカセット室１４と、カセット室１４の前方上部に設けられ天井カセット搬送ＡＧＶにてカセットを搬入または搬出する上側のＩ／Ｏステージ１と、カセット室１４の前方下部に設けられ手動または床上を移動するＡＧＶにてカセットを搬入または搬出する下側のＩ／Ｏステージ４とを備える基板処理装置１０においてカセットの運用・管理を行う方法であり、上側のＩ／Ｏステージ１を、プロセス用カセット６用として使用し、下側のＩ／Ｏステージ４を、ダミー用カセット７用またはモニタ用カセット７用として使用する。 （もっと読む）

【課題】物理チャンネル数にかかわらずインターリーブ処理回数の増加を抑え、処理量を低減することを可能にする。
【解決手段】ＨＡＲＱデータが１６ＱＡＭデータである場合には、メモリ１，２に物理チャンネル＃０〜＃１４を行方向に配列して、かつ各物理チャンネルのビット列が列方向に配列されるように書き込み、列置き換え部３，４により、列順に物理チャンネル＃０〜＃１４の１ビットずつからなるビット列を読み出す。読み出しビット列は、列置き換え部３，４により、テーブル７でのインターリーブパターンに応じて、メモリ５，６でのメモリ１，２とは異なる列に書き込む。これにより、メモリ５，６では、物理チャンネル＃０〜＃１４での列方向のビット配列がメモリ１，２と異なり、物理チャンネル毎にインターリーブ処理されることになる。ＨＡＲＱデータがＱＰＳＫデータである場合には、メモリ１，５が用いられる。 （もっと読む）

【課題】一局２装置構成の無線端末装置では、使い勝手の良い無線端末装置の実現が望まれている。特に、火災現場や事故現場等では、緊急状態が想定され、緊急車両等に装備される無線端末装置の使い勝手を向上させたいといった要求が多く出されている。
【解決手段】車載無線機および携帯無線機を有する無線端末装置において、上記車載無線機は、上記携帯無線機を着脱可能に装着する携帯無線機収容部と該携帯無線機収容部に上記車載無線機の電源のＯＮ／ＯＦＦ情報を出力する端子を有し、上記携帯無線機は、該携帯無線機の電源のＯＮ／ＯＦＦを制御する制御部と上記車載無線機の電源のＯＮ／ＯＦＦ情報を検出する検出端子を有し、上記携帯無線機が上記携帯無線機収容部に装着された場合、上記携帯無線機の上記制御部は、上記車載無線機の電源のＯＮ／ＯＦＦ情報を出力する端子からの情報に基づいて上記携帯無線機の電源をＯＮ／ＯＦＦするように構成される。 （もっと読む）

【課題】 室開放時であっても室への汚染物質の逆拡散を防止できるようにする。
【解決手段】 予備室１２２と、処理室２０２と、搬送室１０３と、少なくとも予備室および搬送室のそれぞれに設けられ予備室および搬送室内にそれぞれ不活性ガスを導入する第一の不活性ガス導入ポート３０１、３０４と、少なくとも予備室および搬送室のそれぞれに設けられ予備室および搬送室内のガスをそれぞれ排気する排気配管３１０、３４０と、排気配管に接続された真空ポンプ１６１、１６４と、排気配管の真空ポンプよりも上流側に設けられ、排気配管内に不活性ガスを導入する第二の不活性ガス導入ポート３１５、３４５と、予備室および搬送室のうち少なくともいずれかの室内に基板が存在する間は、少なくとも基板が存在する室内と、その室に対応する排気配管内とのそれぞれに、その室に対応する第一と第二の不活性ガス導入ポートの両方から不活性ガスを連続的に導入しつつ排気配管より排気するよう制御するコントローラ３００とを有する。 （もっと読む）