【課題】厚みに面内分布が生じていても均一にエッチングすることができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】被処理物を保持して回転させる載置台２２と、前記載置台２２に保持された被処理物にエッチング液を供給するエッチング液供給部６と、前記エッチング液が供給された被処理物の厚み、または前記エッチング液が供給された被処理物に形成された膜の厚み、を測定する測定部２５と、前記載置台２２と、前記エッチング液供給部６と、前記測定部２５と、を制御する制御部５とを備え、前記制御部５は、前記測定部２５による測定結果に基づいて、前記エッチング液供給部６に所定の範囲より厚い厚みの部分に対してエッチング液を供給させる。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出面に付着した塗布液の乾燥に起因する吐出異常の発生を抑止する。
【解決手段】塗布装置１は、吐出口が形成された吐出面Ｍ１を有し吐出口から溶液系の接着剤を液滴として吐出する塗布ヘッド４と、吸液性を有し吐出面Ｍ１に接触しつつ吐出面Ｍ１を払拭するワイピング部材６ｂと、ワイピング部材６ｂに接着剤の溶質を溶かす溶剤を供給する溶剤供給部６ｄと、ワイピング部材６ｂの吸液状態を許容範囲内に保つように溶剤供給部６ｄを制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用済み処理液中により多くの酸素等の気体がいきわたるようにすることのできる浄化装置を提供するものである。
【解決手段】加工機械での使用済み処理液を浄化する浄化装置であって、貯液槽１０と、使用済み処理液中にバブルを発生させてバブル含有の使用済み処理液を吐出するバブル発生機構１１、２１、２２と、該バブル発生機構から吐出されるバブル含有の使用済み処理液を貯液槽１０に導き、該バブル含有の使用済み処理液を貯液槽１０にその底に向けて噴出しつつ供給する供給部２６とを有する構成となる。 （もっと読む）

【課題】この発明は電子部品を吸着保持するための吸引孔を超音波振動するホーンに腹の部分に容易に形成できるようにした超音波実装ツールを提供することにある。
【解決手段】ホーン２２の一端に設けられホーンを所定方向に振動させる振動子２３と、ホーンの振動の振幅が最大となる部分に設けられ下面に半導体チップＣを吸着保持する吸引孔３１の先端部が開口したツール部２５を具備し、吸引孔は、ホーンの振動方向と交差する上下方向に沿って真直ぐに貫通して形成されている。 （もっと読む）

【課題】被処理体を保持する保持部の移動方向を切り替える際に、減速時間、停止時間および加速時間を減らすことで、精度良くレーザ加工することができるレーザ加工用ステージとレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】レーザ加工用ステージは、保持部３０と、保持部３０を移動させる第一上方ステージ１０と、第一上方ステージ１０を移動させる第一下方ステージ２０と、を備えている。制御部５０は、固定位置を基準として保持部３０の移動方向を切り替える際に、第一上方ステージ１０によって保持部３０を切り替える前の方向に相対的に移動させるとともに第一下方ステージ２０によって第一上方ステージ１０を切り替わった後の方向に相対的に移動させる、または、第一下方ステージ２０によって第一上方ステージ１０を切り替える前の方向に相対的に移動させるとともに第一上方ステージ１０によって保持部３０を切り替わった後の方向に相対的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】表面に微細な溝がある被洗浄物についても良好に洗浄することのできる洗浄方法及び洗浄装置を提供することである。
【解決手段】被洗浄物を洗浄液によって洗浄する洗浄方法及び装置であって、液体に気体を溶融させて気体溶存の洗浄液を生成し（Ｓ２）、洗浄槽において前記生成された洗浄液中に前記被洗浄物を浸け（Ｓ１、Ｓ３）前記洗浄槽内における前記洗浄液中の溶存気体を気化させて微細バブルを発生させる（Ｓ４、Ｓ５）する構成となる。 （もっと読む）

【課題】この発明は超音波振動するホーンの電子部品を保持するツール部の振幅を、ツール部以外の箇所で検出する実装装置を提供することにある。
【解決手段】ホーン２２の一端に設けられホーンを所定方向に振動させる振動子２３と、ホーンの振動の振幅が最大となる部分の下面に設けられた半導体チップを保持するツール部２５と、ホーンを下降方向に駆動してツール部に保持された半導体チップを基板に押圧するシリンダ１２と、反射面を有し、ホーンの振幅が最大となる部分の側面にホーンの振動方向に対して反射面を交差させて設けられた検出光の反射部となる凸部３４と、ホーンの振動方向と同方向に配置され凸部の反射面３４ａに検出光を照射してホーンの振動の振幅を検出する測定器３６を具備する。 （もっと読む）

【課題】レーザ照射部から照射されるレーザ光の時間的間隔を極力一定にし、ひいては、加工を均一にすること。
【解決手段】レーザ加工装置は、被処理体６０を保持する保持部２０と、ＣＷレーザからなるレーザ光Ｌを照射するレーザ発振部１１と、該レーザ発振部１１から照射されるレーザ光Ｌを遮断することでパルス状のレーザ光Ｌを形成するスイッチ部１２とを有するレーザ照射部１０と、保持部２０および前記レーザ照射部１０のうちの少なくとも一方を、他方に対して相対的に移動させる移動部３０と、を備えている。レーザ加工装置は、複数の加工予定箇所６０ａの位置情報を記憶する記憶部５２と、記憶部５２に記憶された加工予定箇所６０ａの位置情報から次回加工する加工予定箇所６０ａを適宜選択する選択部５１と、選択部５１によって選択された加工予定箇所６０ａを加工するよう移動部３０を制御する制御部５０も備えている。 （もっと読む）

【課題】コンパクトに構成でき膨大なエッチング酸の浪費を防止することができるエッチング酸廃液処理システム及びエッチング酸廃液処理方法及びこれに適用するエッチング酸廃液処理装置を提供する。
【解決手段】フィルタ２にて固形物を除去する固形物除去工程と、陽金属イオン交換樹脂塔３によって金属イオンとして陽金属イオンを除去する陽金属イオン除去工程とをエッチング酸廃液処理循環流路５によって連続して行い、陽金属イオン除去工程よりも上流側で固形物除去工程を行い、さらに陽金属イオン除去工程の後に、エッチング酸廃液処理循環流路５の下流側でキレート形成性繊維又はキレート形成性樹脂によって少なくともＢを除去する陰金属イオン除去工程を行うことによってエッチング酸廃液をエッチング酸廃液処理循環流路５によって連続して循環再利用する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板の貼り合わせ強度に対する信頼性を向上させることができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】２枚の基板の貼り合わせ面同士を貼り合わせて１枚の基板を形成する基板処理装置であって、貼り合わせ面の表面状態を検出する表面状態検出部と、前記検出された表面状態に基づいて貼り合わせ強度を判定する貼り合わせ強度判定部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置が提供される。 （もっと読む）