【課題】電気抵抗率が低く、電子デバイスの高密度化、特に液晶ディスプレイ等の平面表示素子の大型化、高精細化に適した配線・電極、及びその製造に用いられる放電安定性の高いスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】Ａｌに元素周期律表第３族から選ばれる１種以上の金属を総含有量で０．５原子％未満含有し、かつ、酸素含有量が１００ｐｐｍ以下のＡｌ系合金薄膜により配線・電極を形成することにより、同一条件で作製した純Ａｌ薄膜の電気抵抗率と同等の低い電気抵抗率を有し、かつ、ヒロック耐性の高い配線・電極が得られる。このような配線・電極は、元素周期律表第３族から選ばれる１種以上の金属を総含有量で０．５原子％未満含有し、かつ、酸素含有量が１００ｐｐｍ以下であるＡｌ系合金からなるスパッタリングターゲットを用い形成することができる。 （もっと読む）

【目的】 環状オレフィン重合体よりなる表面平滑性、厚み精度に優れる透明性フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】下記の一般式（１）
【化１】


（ここで、Ｘ及びＹはそれぞれ独立にメチレン基、酸素原子、硫黄原子又はテルル原子を表わし、ｎは０または正の整数を表わす。）
で表わされる繰り返し単位を有する環状オレフィン重合体１０〜４０重量％、および溶媒９０〜６０重量％からなる溶液を支持基板上に流延し、溶媒を含む流延フィルムから溶媒を蒸発させる透明性フィルムを製造する。 （もっと読む）

【課題】難溶性のハフニウム化合物、特にハフニウムシリケート、ハフニウムアルミネートを選択的にエッチングでき、不燃性のエッチング用組成物を提供する。
【解決手段】フッ化物、リン酸、さらに臭化物及び／又は塩化物を含んでなるエッチング用組成物では、酸化ケイ素等の他の半導体材料にダメージを与えることなく、ハフニウムシリケート、窒化ハフニウムシリケート、ハフニウムアルミネート、窒化ハフニウムアルミネートハフニウムシリケート、ハフニウムアルミネート等を選択的にエッチングできるとともに、不燃性である。 （もっと読む）

【目的】 本発明は液晶ディスプレイ用耐熱プラスチックフィルム、光学部品などの光学用途への利用が期待される新規な透明耐熱樹脂を提供する。
【解決手段】下記の一般式（１）
【化１】


（ここで、Ｘ及びＹはそれぞれ独立にメチレン基、酸素原子、硫黄原子又はテルル原子を表わし、ｎは０または正の整数を表わす。）で表わされる繰り返し単位を有する重合体及びその水素添加物を用いる。 （もっと読む）

【目的】固体酸触媒として有効な結晶性多孔質アルミノシリケートを含む新規な構造体、およびその製造法を提供する。
【解決手段】不活性担体に、アルミニウム源および珪素源を担持、特に、不活性担体の表層部にアルミニウム源を担持させた後、結晶化処理を行うことにより、構造体表層部、特に構造体の外表面から１〜１０００μｍの深さまでの表層部に結晶性多孔質アルミノシリケートが存在し、構造体表層部を除く内部に不活性担体が存在する新規な構造体を提供する。 （もっと読む）

【課題】 延伸処理を行わなくてもＭＤ方向への易引き裂き性が良好で、優れた成形加工性と機械的強度を有する易引き裂き性フィルムを提供する。
【解決手段】易引き裂き性フィルムの少なくとも一層に、ポリエチレン系樹脂層として、（Ａ）密度が８９０ｋｇ／ｃｍ^３以上９８０ｋｇ／ｍ^３以下、（Ｂ）炭素数６以上の長鎖分岐数が１，０００個の炭素原子当たり０．０１個以上３個以下、（Ｃ）190℃で測定した溶融張力（ＭＳ_１９０）（ｍＮ）とＭＦＲ（ｇ／１０分、１９０℃）が、ＭＳ_１９０＞２２×ＭＦＲ^{−０．８８}を満たすと共に、１６０℃で測定した溶融張力（ＭＳ_１６０）（ｍＮ）とＭＦＲ（ｇ／１０分、１９０℃）が、ＭＳ_１６０＞１１０−１１０×ｌｏｇ（ＭＦＲ）を満たし、（Ｄ）示差走査型熱量計による昇温測定において得られる吸熱曲線のピークが一つであるポリエチレン系樹脂層を有する易引き裂き性フィルムを提供。 （もっと読む）

【課題】中性から塩基性の領域で経時変化がなく、酸化能力の高い半導体基板用洗浄液を提供する。
【解決手段】過塩素酸及び／又は過ヨウ素酸、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、トリアルキル−ヒドロキシアルキルアンモニウムヒドロキシドなどの第四級アンモニウム塩及び水を含んでなる半導体基板洗浄液を用いる。さらに金属付着防止剤、キレート剤を含んでもよい。塩素酸及び／又は過ヨウ素酸の含量は半導体基板洗浄液全体の重量を基準にして０．００１〜１０重量％、第四級アンモニウム塩の添加は０．００１〜１０重量％が好ましい。半導体基板洗浄液は中性から塩基性の洗浄液であって、ｐＨ６〜１２、特にｐＨ６〜９に保つのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスの無機物、有機物の剥離液、除去液、エッチング液、洗浄液と併せて用いることにより、それら薬液の剥離、除去、エッチング、洗浄機能に悪影響することなく、金属アルミ又はアルミ合金を腐食しない防食用組成物を提供する。
【解決手段】フッ化物と環状アミン、特に２種以上の環状アミンの混合組成物、或いはフッ化物、環状アミン、アルキレンアミン及び／又はアルカノールアミンの混合組成物では、他の剥離液、除去液、エッチング液、洗浄液と併せて用いることにより、それらの薬液の機能を損なうこと無く、金属アルミ又はアルミ合金の腐食を著しく抑制することができる。環状アミンとしては、ピペラジン類、モルホリン類、ピロリジン類等が例示できる。 （もっと読む）

【目的】 本発明は液晶ディスプレイ用耐熱プラスチックフィルム、光学部品などの光学用途への利用が期待される新規な透明耐熱樹脂原料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】一般式（１）
【化１】


（ここで、Ｘ及びＹはそれぞれ独立にメチレン基、酸素原子、硫黄原子又はテルル原子を表わし、ｎは０または正の整数を表わす。）
で表わされるビニルエーテル誘導体を
一般式（２）で表わされるビニルエーテル化合物
【化２】


（ここで、Ｙはメチレン基、酸素原子、硫黄原子又はテルル原子を表わす。）、
及び一般式（３）
【化３】


（ここで、Ｘはメチレン基、酸素原子、硫黄原子又はテルル原子を表わす。）
で表わされるシクロジエン類を反応させることにより製造する。 （もっと読む）

【課題】アルミニウムを腐食させることなく、レジスト等の感光性樹脂を現像できる組成物を提供する。
【解決手段】苛性ソーダなどの塩基性物質、塩化カルシウムなどのアルカリ土類金属塩、およびポリアクリル酸を含んでなる成分の組合せによる現像用組成物では、アルミニウムを腐食させることなく、さらにアルミニウムの腐食を防止するアルカリ土類金属塩の水酸化物が沈殿として析出することなく用いることができる。塩基性物質が０．０１〜２０重量％、アルカリ土類金属塩が０．００１〜５重量％、ポリアクリル酸が０．００１〜５重量％、水が７０〜９９．９９重量％であることが好ましい。 （もっと読む）