【課題】基板上に半導体酸化物膜で覆われた半導体微結晶粒子を形成する方法であって、半導体酸化物膜における半導体結晶微粒子の密度を従来より高くして、それでいて簡易に、該半導体微結晶粒子を形成できる方法を提供する。
【解決手段】表面に半導体酸化物膜ｆを形成した基板Ｓを準備する工程と、半導体酸化物膜ｆに、半導体酸化物の結合エネルギより大きい、且つ、該半導体酸化物膜を透過可能のエネルギを有する放射線Ｅを照射して、半導体酸化物膜ｆの表面及び内部のそれぞれの目標部位における化学結合を切り離す工程と、化学結合が切り離された半導体酸化物膜ｆに、該膜を加熱しつつ、水素で還元処理を施して、半導体酸化物膜ｆの表面及び内部における切り離された酸素を脱離させることで、半導体酸化物膜ｆの表面及び内部に半導体微結晶粒子Ｐを形成する工程とを含む半導体微結晶粒子形成方法。 （もっと読む）

【課題】従来のシリコンドット形成や結晶性シリコン薄膜形成と比べると、比較的低温下で、シリコン物体形成対象基体上に所望のシリコン物体（シリコンドットや結晶性シリコン薄膜）を形成できる方法及び装置を提供する。
【解決手段】シリコン物体形成対象基体Ｓを第１室１に配置し、第１室１に連設された第２室２にシリコンスパッタターゲットＴ１を設け、第２室２に水素ガスからケミカルスパッタリング用プラズマを生成させ、該プラズマにてシリコンスパッタターゲットＴ１をケミカルスパッタリングしてシリコン物体形成寄与粒子を生成させ、第２室２から第１室１へ到来する該シリコン物体形成寄与粒子により基体Ｓ上にシリコン物体を形成する。 （もっと読む）

【課題】基体上に、低温で、直接、粒径の揃ったシリコンドットを均一な密度分布で形成して、該シリコンドットから容易に終端処理されたシリコンドットを得ることができるシリコンドット形成方法及び装置を提供する。
【解決手段】シリコンドット形成室１内にシリコンスパッタターゲット３０を設け、シリコンドット形成対象基体Ｓを配置し、該室内に導入したスパッタリング用ガス（代表的には水素ガス）をプラズマ化し、該プラズマでターゲット３０をケミカルスパッタリングして基体Ｓ上にシリコンドットを形成する。或いは水素ガス及びシラン系ガス由来の、プラズマ発光強度比（Ｓｉ(288nm) ／Ｈβ）が１０・０以下のプラズマのもとで基体Ｓ上にシリコンドットを形成する。該シリコンドットに酸素ガス等の終端処理用ガス由来のプラズマのもとで終端処理を施す。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板や石英ガラス基板を用いたシリコンドット付き基板と比較すると、安価にして、大型化が可能であり、各種電子デバイス等の形成に利用し易いシリコンドット付き基板を提供する。
【解決手段】無アルカリガラス基板又は高分子材料からなる基板Ｓに絶縁物層及びシリコンドットＤが形成されているシコリンドット付き基板、例えば、基板Ｓに、(1) 絶縁物層Ｌ１及びシリコンドットＤが形成されている基板Ｓ１、(2) 絶縁物層Ｌ２１、シリコンドットＤ及び絶縁物層Ｌ２２が形成されている基板Ｓ２、(3) 絶縁物層Ｌ３１、シリコンドットＤ、絶縁物層Ｌ３２及びシリコンドットＤが形成されている基板Ｓ３、或いは(4) 絶縁物層Ｌ４１、シリコンドットＤ、絶縁物層Ｌ４２、シリコンドットＤ及び絶縁物層Ｌ４３が形成されている基板Ｓ４。 （もっと読む）

【課題】シリコンドット形成対象基板上に、従来より、低温で、粒径の揃ったシリコンドットを均一な密度分布で形成することができるシリコンドット形成方法及び装置を提供する。
【解決手段】シリコンスパッタターゲット（例えばターゲット３０）を内部に設けた真空チャンバ１内に基板Ｓを配置し、チャンバ１内にスパッタリング用ガス（代表的には水素ガス）を導入し、該ガスに高周波電力を印加することでチャンバ１内にプラズマを発生させ、該ターゲットにケミカルスパッタリング制御用バイアス電圧を印加するとともに該プラズマでターゲットをケミカルスパッタリングして基板Ｓ上にシリコンドットＳｉＤを形成する。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内へのガス導入の有無に係わらず、アーク放電を安定して維持し、安定して成膜できるとともに、対象物以外へのカソード物質の堆積を低減し、カソードを一様に消耗させて取扱い、メンテナンスが容易なアーク式蒸発源及び成膜体の製造方法を提供する。
【解決手段】 アーク放電によってカソード物質を蒸発させるアーク式蒸発源において、筒状で且つ異なる極性の磁極が軸方向の両端に配置された磁場形成機構と、前記磁場形成機構の内側に配置されるカソードを該磁場形成機構の軸方向に進退させるカソード送出機構とを備え、前記カソードの蒸発面が前記磁場形成機構の前端より突出し、かつ前記蒸発面と前記前端との軸方向の距離ΔＬと前記磁場形成機構の内径Ｄとの関係が０．１×Ｄ≦ΔＬ≦２．０×Ｄとなっている。 （もっと読む）

【課題】 コロナ放電による凝集機能及び集塵機能とフィルタの集塵機能を用いて、非常に簡便な投入電力制御で、コロナ放電による凝集機能の回復と消費電力の節約を図ることができる排気ガス処理装置を提供する。
【解決手段】 車両に搭載した内燃機関の排気ガス中の捕集対象成分をコロナ放電により帯電させて凝集する帯電凝集部１０を上流側に、該凝集させた成分を捕集するフィルタ部２０を下流側に備えた排気ガス処理装置１において、前記内燃機関の運転条件に基づいて前記帯電凝集部１０へ投入する放電電力を制御すると共に、前記内燃機関がエンジンブレーキ動作により燃料噴射量がゼロになったときには前記帯電凝集部１０への通電を停止する。 （もっと読む）

【課題】需要家が瞬低・停電対策装置を容易に導入することが可能な瞬低・停電対策装置の使用料金請求方法及び瞬低・停電対策装置の使用料金請求システムを提供する。
【解決手段】需要家Ｊの電気設備２を保護するために、メーカＭから需要家Ｊに低価格で販売または貸与した瞬低・停電対策装置３の動作状況を監視装置５で監視するとともに、動作状況のデータをメーカＭの集計装置９へ送信する。そして、集計装置９において、瞬低・停電事故による被害の発生を防止した回数、すなわち、瞬低・停電事故の発生回数に応じて、装置の代金を分割して定期的に請求する。よって、需要家Ｊは装置の使用回数に応じた使用料金を支払えば良く、装置の導入時に大きな金額を支払う必要がない。また、需要家は、装置の導入後に、瞬低・停電事故発生による被害回避の実績に基づいて対価を支払うことになるので、瞬低・停電対策装置を容易に導入できる。 （もっと読む）

【課題】 絶縁性フィルタ面上に空間的・時間的にランダムに発生と消滅を繰り返す微小発光放電を利用して、捕集されたＰＭの燃焼除去を、少ない消費電力で行うことができ、ディーゼルエンジン等から排出される排ガス中のＰＭの捕集効率及び燃焼除去効率を高めることができる排ガス浄化方法及び排ガス浄化システムを提供する。
【解決手段】 排ガス中の粒子状物質４１を捕捉する絶縁性捕捉部材１２の表面又は表面近傍に、電極対１３を１対以上配置し、該電極対１３間に、前記絶縁性捕捉部材１２の表面上に空間的かつ時間的にランダムに発生と消滅を繰り返す微小発光放電４２を発生させる所定の電圧Ｖｓを印加し、この所定の電圧Ｖｓの印加によって発生した前記微小発光放電４２により、前記絶縁性捕捉部材１２に捕捉された粒子状物質４１を燃焼除去する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成でもって揮発性有機化合物を効率よく分離する。
【解決手段】 揮発性有機化合物を含有する排水に超音波振動を付与することにより、前記揮発性有機化合物をミスト化する霧化槽１ａ〜１ｃと、その霧化槽１ａ〜１ｃの後段に設けられ、ミスト状の揮発性有機化合物を光酸化分解により除去する光酸化分解装置３とを具備する。 （もっと読む）