【課題】 環境制御がされていない大気圧の状態にある試料の表面形状を、凹凸に対する感度の高いコンタクトモードによって測定するとき、吸着力の影響を回避して安定した表面形状像を迅速に得る。
【解決手段】 表面形状を測定する計測領域の外側に非計測領域を設け、プローブ２が非計測領域を走査しているとき、変調信号発振器１８からの変調信号をＺスキャナ６に与え、Ｚ軸方向に振動させることによって、試料Ｓとプローブ２の間に働く吸着力を切るようにする。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成により球面収差と六回非点収差を補正する荷電粒子線装置用の収差補正装置を提供する。
【解決手段】各極３１ａ〜３１ｌに励磁コイル３２ａ〜３２ｌを設置した二段の十二極子１２、１３を設ける。各極３１ａ〜３１ｌを順次１乃至１２番目の極、並びにｎ＝０、１、２として、（４ｎ＋１）番目の極の励磁コイルと（４ｎ＋２）番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸１１に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸１１に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。（４ｎ＋３）番目の極の励磁コイルと（４ｎ＋４）番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸１１に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸１１に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。これにより、光軸１１の周りに回転可能な三回対称磁場及び六回対称磁場の重畳場を発生する。 （もっと読む）

【課題】飛行時間型質量分析計において、イオンの価数に依存して系統的な質量誤差が生じることを解決する。
【解決手段】（１）試料をイオン化するイオン源、（２）前記イオン源で生成した試料イオンを飛行時間の違いにより質量分離して検出するする飛行時間型質量分析手段、（３）検出された試料イオンの信号ごとにイオンの価数を判定する価数判定手段、（４）標準試料を前記飛行時間型質量分析手段により分析した価数の異なる標準物質イオンに基づいて、イオンの価数に起因する当該飛行時間型質量分析手段の系統誤差をイオンの価数ごとに校正するための質量校正条件式を作る質量校正条件式作成手段、（５）価数判定された試料イオンを対応する価数の質量校正条件式に基づいて質量校正する質量校正手段、を備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は走査型プローブ顕微鏡に関し、評価したい力ｆに起因する信号と、評価の妨げとなるノイズｗに起因する信号とを区別することを目的としている。
【解決手段】探針３ａと試料１とを接近させた状態で探針３ａを試料１に対して相対的に走査する際に、探針３ａから試料１へ局所的刺激を発生させ、その刺激に対する試料表面からの局所的応答を測定することによって試料１の表面を観察する走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバー３の変位を検出する変位検出器７の出力をその正入力に、ゲイン制御可能増幅器２１の出力をその負入力にうけて両方の信号の差分となるノイズ成分を含む信号を出力する差動増幅器２２と、該差動増幅器２２の出力を受けてノイズ成分を抑制するためのノイズ成分抑制回路３０を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内の汚染を低減させる。
【解決手段】 真空装置の１つである走査型電子顕微鏡において、鏡筒５の外周部の一部Ａと接する孔４ａの周縁部Ｂに形成されたリング状の溝Ｍ１に、表面にイオン液体ＩＬ１が塗布されたオーリングＯ１′が篏入されており、両部材Ａ，Ｂをボルト等によって締結されることにより、オーリングＯ１′は変形し、両部材Ａ，ＢとオーリングＯ１′との接触面の周囲の空隙にイオン液体ＩＬ１を存在させた。 （もっと読む）

【課題】混合物の固体試料の測定に用いて好適なＮＭＲ測定方法を提供する。
【解決手段】前記均一な縦磁化緩和時間を有している核に縦磁化緩和を起こさせるパルスを照射する第１の工程と、所定時間ｔを置いて、前記均一な縦磁化緩和時間を有している核のスピン拡散を切断して高分解能ＮＭＲスペクトルを測定する第２の工程と、ｔを変えて第１の工程と第２の工程を繰り返して、複数の高分解能ＮＭＲスペクトルを取得する第３の工程と、第３の工程により得られた複数の高分解能ＮＭＲスペクトルを、縦磁化緩和時間に依存して回復するＮＭＲ信号強度の回復速度の違いに基づいて、逆ラプラス変換法により縦磁化緩和時間の値ごとに分類する第４の工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡等の真空機器に備えられた試料交換棒の折り曲げ操作をオペレータが良好に行うことのできる真空機器を提供する。
【解決手段】真空排気される試料室と、開閉バルブを介して試料室に接続された試料交換室と、試料交換室の側壁を貫通し、先端部に支持する試料を開閉バルブを通して試料室内と試料交換室内との間で搬送するための折り曲げ可能な試料交換棒１とを備えた真空機器において、試料交換棒１は、シャフト５と、シャフト５の周囲を覆うパイプ６を有しており、試料交換室の側壁１１の外側には、試料交換棒１のパイプ６側面に当接したときにはシャフト５への係合動作が制動されるとともに、試料交換棒１のパイプ６から露出されたシャフト５側面に当接したときにはシャフト５と係合するとともにパイプ６の一端と接触し、これによりパイプ６の移動を制限する係合部材５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 固まり状の粉末を排出させない粉末供給装置を提供する。
【解決手段】 粉末供給装置は、回転可能な攪拌羽根８と粉末落下孔７Ｓが備えられた粉末収容室７、粉末落下孔７Ｓに対向する箇所を含む円周上に溝１１´が設けられた粉末供給盤１２´、粉末落下孔７Ｓに対向する箇所以外の溝内の箇所にその先端部が挿入された粉末吸引パイプ２３を備えており、粉末吸引パイプ２３の先端部が挿入された溝１１´内の箇所の少なくとも一部にキャリアガスが吹き付けられる様に成してある。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液中内に探針を配置せずに液中内の試料特性を測定／観察することができる走査プローブ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】探針２ａを先端に有し、該探針２ａが試料６の表面に近接配置されるカンチレバ２と、前記試料６と前記探針２ａとを相対的にＸ，Ｙスキャンするスキャン手段４と、前記試料６と前記探針２ａとの距離を相対的に変化させるＺ動駆動手段と、前記カンチレバ２と試料６との間に薄膜を配置し、該薄膜を隔て試料６の機械的又は電気的又は光学的又は磁気的特性を得るように構成する。 （もっと読む）

【課題】非導電性試料の表面に、むらの無い良質な導電性のカーボン膜を短時間で形成する。
【解決手段】開閉弁９ａを開き、ロータリーポンプ１０で試料室２ａの大気を排気する。試料室２ａの真空度が１Ｐａ程度になったら、流量調整弁８ａを開いて試料室２ａにアルゴンガスを導入し、試料室２ａの真空度が２Ｐａ程度になるようにアルゴンガスの流量を調整する。電極棒７ａと７ｂ及び電極５ａと５ｂを通じてカーボン棒に５０Ａ程度の電流を流す。通電によりカーボン棒が赤熱し、カーボンが蒸発することにより蒸着が行なわれる。 （もっと読む）