【課題】対物レンズの上方に電子検出器が設置された電子線装置においても、反射電子の検出や、反射電子及び二次電子の検出を良好に行うことができる電子線装置を提供する。
【解決手段】電子線装置は、所定の加速電圧により加速された電子線２１を放出する電子線源１と、電子線源１から放出された電子線２１を集束して試料２０に照射するための対物レンズ６と、集束された電子線２１を試料２０上で走査するための走査コイル５と、対物レンズ５の上方に設置され、電子線２１が通過するための孔が形成された電子検出器７とを具備し、電子線２１の照射に応じて試料２０から発生した被検出電子２２を引き寄せるための電界を発生させる電極９が電子検出器７に設けられているとともに、該電界に起因して生じる電子線２１の偏向を補正するための補正用コイル４が電子検出器７の下方に設置されている。 （もっと読む）

【課題】 プラズマが不安定に成らない様にする。
【解決手段】 絶縁性物質で形成された円筒部材２と、プラズマガスを円筒部材２内に供給するためのガスリング３と、粉末材料とキャリアガスを円筒部材２内に供給するためのパイプＱ´が挿入されており、ガスリング３の中心軸に沿って設けられたプローブ１１´と、円筒部材２の外側に巻かれた誘導コイル４を備えており、誘導コイル４に高周波電力を供給することによって円筒部材２内に高周波誘導熱プラズマを発生させる様に成っている。パイプＱ´の少なくとも先端部分とプローブ１１´の中心孔Ｈ内の少なくとも先端部分のそれぞれに係脱可能な係合部を形成している。 （もっと読む）

【課題】本発明はタンデム飛行時間型質量分析計に関し、イオン検出面の広がりを抑制することができるタンデム型飛行時間型質量分析計を提供することを目的としている。
【解決手段】サンプルをイオン化するイオン源１０と、イオンをパルス的に加速する手段を含む第１の飛行時間型質量分析計２０と、特定の質量を持つイオンを選択するイオンゲート１１と、該イオンゲート１１で選択したイオンを開裂させる手段２１と、開裂したプロダクトイオンを再加速させるための手段３０と、イオンミラ１５ーを含む第２の飛行時間型質量分析計２５と、該第２の飛行時間型質量分析計２５を通過したイオンを検出する検出器１２、とで構成され、再加速させるための手段が所定の機能を持つように構成する。 （もっと読む）

【課題】フィラメント電力供給用絶縁トランスを小型化するとともに、低ノイズで高効率の動作を実現した荷電粒子発生装置を提供する。
【解決手段】加速電圧発生回路Ｃと、加速電圧が印加されるフィラメント１０と、複数の抵抗２６ａ〜２６ｄからなる加速電圧分圧器と、前記フィラメントに接地電位から電力を供給するパワー伝送回路とを備え、前記パワー伝送回路は、加速電圧を均等に分担するように多段縦続接続された複数の絶縁トランス１５、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄを有し、その各段間に、接地電位側絶縁トランスの二次巻き線からの交流電圧を直流電圧に変換する交流直流変換回路２７、２８，２９と、該交流直流変換回路からの直流電圧を交流電圧に変換して次段の絶縁トランスの一次側巻き線へ供給する直流交流変換回路Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４を配置する。 （もっと読む）

【課題】イオン透過率を改善することなく、サンプリング周期に関係のない、ガイド法及びピーク値記録法よりも高い感度を実現する質量分析装置及び質量分析法を提供する。
【解決手段】連続イオン源１２とイオン蓄積器１３を備える質量分析装置において、第１データ処理部１７は、イオン蓄積器１３から周期的に排出されたイオンパルスを含む時間的出現プロファイルを取得する。第２データ処理部１８はこれらの時間的出現プロファイルの中で、当該選択イオンのイオンパルスが出現する時間の強度のみを抽出して積分し、イオン強度を算出する。 （もっと読む）

【課題】データ処理アプリケーション等の他のアプリケーションを用いることなく分析条件を決定すること。
【解決手段】分析対象元素が指定される分析対象元素指定手段１８と、分析対象元素が指定されることにより、予めデータベース１６に記憶されている当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置を検索する検索手段１５と、スペクトル収集が指示されると、前記検索された当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置情報に基づいて実際の試料を用いた時の所定の波長範囲のスペクトルを測定してディスプレイに表示する表示手段１５と、表示されたスペクトル上でピーク位置とバックグラウンド測定位置を指定して、指定されたピーク位置とバックグラウンド測定位置におけるＸ線強度を測定するための、ピーク位置とバックグラウンド測定位置を設定するピーク位置とバックグラウンド測定位置設定手段１５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】生化学自動分析装置を用いてカルシウムイオン測定を行なう際に、空気中の炭酸ガスの影響を防ぐことができる生化学自動分析方法および吸着剤収容容器を提供する。
【解決手段】複数の試薬容器を周方向に配置して成る試薬用回転テーブルを試薬庫内に備えた生化学自動分析装置用の生化学自動分析方法において、前記試薬容器の１つに入れられたキレート試薬を使ってカルシウムイオンを定量する際に、該キレート試薬を保管する試薬庫内の空気中の炭酸ガスを除去するために、炭酸ガス吸着剤を試薬庫内に設置した。 （もっと読む）

【課題】
走査電子顕微鏡において、実観察で得られる放出電子の検出値を高精度に推定する方法、実観察で得られるＳＥＭ像を高精度にシミュレーションする方法と模擬ＳＥＭ像が実際に得られるように電子光学系等が設定される装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡本体１内の電子光学系４の電磁場分布ＥＭを算出し、当該電磁場分布ＥＭにおける試料５からの第１放出電子５０及び第１放出電子の衝突によって電子光学系から放出される第２放出電子５２の検出値をモンテカルロ法によって算出する。試料５に対する電子線２の入射位置毎に検出値を求め、その検出値に応じたＳＥＭ像を作成する。該ＳＥＭ像の中から所望の像を選択し指定すると、電子光学系等がシミュレーションした条件に設定されてそのようなＳＥＭ像が実観察できる。 （もっと読む）

【課題】 コアにコイルを巻いて構成した電磁偏向器により電子ビームを被照射物に照射する際に、所望の位置に正確に電子ビームを照射することが出来る様にする。
【解決手段】
強磁性体をコアに持つ電磁偏向器２のコイルに電流を流すことによって、電子銃５から発生された電子ビームを偏向し、被照射物に照射する様にした電子ビーム照射方法において、前記電磁偏向器２による電子ビームの偏向範囲において、最大偏向させる電流を前記コイルに流す工程と、最小偏向させる電流を前記コイルに流す工程とを、交互に複数回くり返した後に、前記コイルに所望の電流を流す様にした電子ビーム照射方法。 （もっと読む）

【課題】 分割検出器を用いなくても任意の磁化方向の磁化分布像を得る。
【解決手段】 試料上の各観察点において、電子回折図形Ｄ_ｘｙがＣＣＤカメラで撮像される。取得した電子回折図形Ｄ_ｘｙ毎に次の処理が行われて、１つの電子回折図形Ｄ_ｘｙに対して１つの磁化分布像データＭ_ｘｙが求められる。まず、電子回折図形上の所定範囲の像が、複数の部分像Ｓ_１〜Ｓ_３２に分割される。次に、部分像Ｓ_１〜Ｓ_３２毎に画像強度信号が求められる。そして、磁化方向として例えばｙ方向が指定されると、直線Ｌ_１より左側に存在する部分像Ｓ_１７〜Ｓ_３２のトータル画像強度信号と、直線Ｌ_１より右側に存在する部分像Ｓ_１〜Ｓ_１６のトータル画像強度信号の差がとられ、その観察点における磁化分布像データＭ_ｘｙが求められる。磁化分布像は、電子回折図形Ｄ_ｘｙ毎に求められた磁化分布像データＭ_ｘｙに基づいて得られる。 （もっと読む）