【課題】絶縁性試料の分析を正確に行う。
【解決手段】 試料２表面にＸ線３を照射すると同時に、中和用電子銃６からの電子ビームを試料２表面に照射し、試料２をセットしている試料ステージ４にバイアス電圧電源１４からバイアス電圧を印加することにより、試料表面上が一旦一様に帯電される様にしてから中和用電子銃６からの電子ビーム照射により試料表面上を一様に中和する様に成す分光分析装置において、その内部に試料ステージ４が配置される様に直方体状の容器３１を設ける。容器３１は試料２と電気的に絶縁されており、ステージ４の試料セット面に対向する容器３１の上壁中央部にはＸ線，中和用電子銃６からの電子ビーム，試料からの光電子が通過可能な孔３４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線に対して球面収差と色収差を同時補正する収差補正装置を提供する。
【解決手段】光軸１１に沿って厚みを有し、三回対称の静電場又は静磁場とそれに重畳する二回又は三回対称の静電磁場とを発生する多極子１２、１３を二段設け、該二段の多極子のそれぞれにおいて、所定の加速電圧の電子線１７に対する磁気的偏向力及び電気的偏向力をおおむね相殺するように静電磁場を設定して色収差を補正し、かつ、同多極子１２、１３が生じる三回対称の静電場又は静磁場で球面収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】 環境外乱による像移動に対する鏡筒各部の影響度を電子光学的観点から重み付けし、また慣性力によるモーメントを考慮して最も耐振性に影響を及ぼす部分の剛性を重点的に高める設計を行なうことにより、顕著に耐振性を向上させたＴＥＭを提供する。
【解決手段】 ポールピースから試料までのループ剛性を高めるため、外ヨークａ２５と内ヨーク２７をつなぐ補強フランジ３２と補強リング３３の２つの部材を配置する。２つの部材間はボルト３４による締結がなされ、それぞれの内ヨーク２７、外ヨークａ２５との接合部の全面を接着等により固定する。 （もっと読む）

【課題】 波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とを同時に搭載したＸ線分析装置において、分析モードも考慮して分析を正しく行なえる状態であるか否かを判断し、判断の結果を操作者に分かりやすく通知する。
【解決手段】
点分析と線分析と面分析のうちのどの分析モードによって分析を行なうかを操作者が任意に指定する。プログラム２６は、予め決めてあるＸ線分析装置の確認項目についての設定状態を収集し、指定されている分析モードに対して、波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とによる分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件をデータベース２５から読出し、収集された設定状態が設定条件を満たしているかを判定し、その判定結果を表示装置２４に表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡におけるトモグラフのデータ測定方法及び装置に関し、試料への電子線照射量を減らすことができるトモグラフのデータ測定方法及び装置に関する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡によるトモグラフデータを測定する場合において、
試料３ａを傾斜することに伴う視野ずれの補正を行なう時に、傾斜ステップ毎に直前のステップの画像とのずれ量を求めるずれ量算出手段６と、該ずれ量算出手段６で求めたずれ量を基に次の傾斜ステップにおけるずれ量を予測して位置ずれ補正を行なう位置ずれ補正手段６と、を具備し、自動的にデータ測定を行なうように構成する。 （もっと読む）

【課題】 反射電子トラップの反射電子捕獲率を大幅に向上させる。
【解決手段】 真空チャンバ１内において、坩堝８内に収容された蒸発材料７に電子銃９からの電子ビームＥＢを照射することにより蒸発材料７を蒸発させ、蒸発粒子を基板４上に付着させる様に成す。真空チャンバ１内に設けられ、蒸発材料７で反射した電子ビームを捕獲するための反射電子トラップ２１は、反射電子が入射する開口部を有する箱状の形状を成しており、反射電子を偏向させる磁界をその箱の内部に発生させるための磁極と、磁界により偏向された反射電子が入射する面に配置される電子吸収体とを成す。 （もっと読む）

【課題】光照射による試料の電気特性の変化を検出することができる試料ホルダ及びこの試料ホルダを用いた観測方法を提供する。
【解決手段】試料ホルダ１は、電気特性検出部８と光照射部２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】バックラッシの補償中に移動体が振動することを防止することができる移動体駆動装置を提供する。
【解決手段】移動体駆動装置１は、モータ２の駆動力が基準値Ｔを超えた際に、ロータリーエンコーダ１０による回転角度の検出を開始する。 （もっと読む）

【課題】本発明は磁区観察装置に関し、磁区コントラストのよい観察像を得ることができる磁区観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料２からの反射電子を反射電子検出器１０Ａで検出するように構成された走査電子顕微鏡において、光軸３に対して傾斜した磁性体試料２について、傾斜軸４の直交方向に平行な磁化成分を磁区コントラストとして観察するようにした磁区観察装置であって、前記反射電子検出器１０Ａを光軸方向に対称分割し、該分割された各反射電子検出器１０ＡＲ，１０ＡＬの検出信号を演算処理する演算器を設け、該演算器の出力を磁区コントラスト信号として観察するように構成する。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダの寿命が長くなる薄膜試料作成装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
試料加工室１０１に取り付けられた試料ホルダ１１１とビーム照射手段１１５との間に配置され、ビーム照射手段１１５から照射されたイオンビームＩＢの径を絞るスリット板１３１と、試料ホルダ１１１を試料加工室１０１から取り外す時には、スリット板１３１、遮蔽ガラス１２１のうち、少なくともどちらか一方を移動させ、スリット板１３１と遮蔽ガラス１２１との干渉を防止する干渉防止手段１５１を設ける。 （もっと読む）