【課題】ホルダ面に薄膜加工される試料を保持する試料ホルダに関し、試料ホルダを冷却しても、試料が外れない試料ホルダを提供することを課題とする。
【解決手段】ホルダ面１１ａと交差する方向に移動可能なように試料ホルダ１１に設けられ、ホルダ面１１ａに載置された試料１３のホルダ面１１ａと対向する面と反対側の面に当接／離反可能な第１クランプ爪５３，第２クランプ爪６３を有する第１クランプ５１，第２クランプ６１（クランプ手段）と、第１クランプ爪５１，第２クランプ爪６３が試料１３に当接する方向に付勢する第１スプリング７１，第２スプリング７３（付勢手段）とを有する。 （もっと読む）

【課題】カソードの消耗を抑制し、寿命を延ばす。
【解決手段】中央部が空けられたフィラメント６０´（カソード）、グリッド７及びアノード８を有する電子銃５からの電子ビームを蒸発物質３に当て、蒸発粒子を基板上に膜状に付着させる様に成した電子ビーム蒸着装置であって、電子銃５の中心軸Ｏ′上に、その先端面が、アノード８から見て、フィラメント６０´（カソード）の中央部空間内に位置する様にイオンコレクタ２０を設け、更に、アノード８から見てフィラメント６０´（カソード）側とは反対側に金属板２１を設け、スパッタリングによって生じたイオンコレクタ２０からのチタン粒子を金属板２１上に堆積させ、電子銃５周辺内の酸素ガスを堆積したチタンに吸着させる様に成した。 （もっと読む）

【課題】四重極質量分析装置におけるスペクトル信号補正方法に関し、スキャンサイクル中に適宜ノイズを測定し、データ処理に反映させることを目的としている。
【解決手段】分子、原子等の粒子をイオン化し、イオン化した粒子を４重極マスフィルタを通したものを検出器で検出し、検出した信号をコンピュータで演算処理し、ＭＳスペクトルを得るようにした四重極質量分析装置において、ＭＳスペクトル採取におけるサイクル中に、ノイズを検出する工程を設け、ＭＳスペクトル採取におけるイオン検出信号と、前記検出されたノイズとを比較してスペクトル補正を行なうように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明はエネルギーフィルタを用いたＥＥＬＳに関し、ＥＥＬＳスペクトル信号取得時のダイナミックレンジを向上させることができるエネルギーフィルタを用いたＥＥＬＳを提供することを目的としている。
【解決手段】試料上のある領域に電子線を固定して照射する手段と、前記領域から出射した電子線を所定方向にエネルギー分散させてスペクトルを形成するエネルギーフィルタ８と、前記スペクトルを撮影する撮影手段１０とを備えたエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置において、前記スペクトルを偏向させる偏向手段と、前記スペクトルをエネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させるための偏向信号を前記偏向手段に供給する信号発生器３０とを更に備え、前記スペクトルを、エネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させながら前記撮影手段１０で撮影するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ＥＳＲ測定とＮＭＲ測定を高速で切り替える。
【解決手段】直流電源から供給される直流電流によって静磁場を発生させる磁場発生装置において、励磁コイルＬ１と、該励磁コイルＬ１に流れる電流を決める抵抗Ｒ１と、該励磁コイルＬ１と前記直流電源の正極との間に順方向に挿入された第１のダイオードＤ１とから成る第１の直流回路と、補助コイルＬ２と、該補助コイルＬ２に流れる電流を決める抵抗Ｒ２と、該補助コイルＬ２と前記直流電源の負極との間に挿入され、該補助コイルＬ２に流れる電流をＯＮ／ＯＦＦするスイッチＳ１とから成る第２の直流回路と、を備え、前記励磁コイルＬ１の前段側と、前記補助コイルＬ２の後段側でありかつ前記スイッチＳ１の前段側とは、前記第２の直流回路から前記第１の直流回路への方向を順方向とする第２のダイオードＤ２により接続される。 （もっと読む）

【課題】ＣＰ法やＮＳＥ法では達成できない四極子核のＭＱＭＡＳ測定の高感度化を図る。
【解決手段】分極が大きな第１の核の共鳴周波数と、分極が小さな第２の核のサテライト遷移に当たる共鳴周波数との差、または和に相当する周波数の飽和高周波磁場パルスを試料に照射することにより、第１の核の大きな分極を第２の核に移動させた上で、多量子マジック・アングル・スピニング（ＭＱＭＡＳ）測定を行なう （もっと読む）

【課題】使用状況に応じて予め登録しておいた設定に、簡単に切り替えることで、その都度の指示の煩わしさを軽減することができる自動分析装置の運用切り替えシステムを提供すること。
【解決手段】システム全体の制御を行なうコンピュータ３０と、該コンピュータに接続され、臨床検査用自動分析装置５０からの測定データ及び各種のデータを記憶する記憶装置と、前記コンピュータ３０に各種のコマンド等を入力する操作部３２と、前記コンピュータと接続され、操作画面として機能するワンタッチディスプレイを備えたディスプレイ３３と、プリンタ３４とを具備し、前記コンピュータは、前記ディスプレイからのディスプレイ切り替えボタンをタッチすることにより、ワンタッチディスプレイを夜間運用設定画面又は昼間運用設定画面に切り替え、更に、所定の機能の選択を行なうことにより、夜間運用設定又は昼間運用設定における最適な項目を設定できるように構成する。 （もっと読む）

成形荷電粒子ビームリソグラフィを用いた半導体生産の分野では、トラックを形成する単一の拡張ショットにおいて表面を横切る荷電粒子ビーム（１４０）を引き込むことにより、表面（１３０）にパターンを形成する。いくつかの実施形態では、トラックは直線パス、湾曲パス、または曲線形状の外周（８５０，８５２，８５４，８５６，８５８，８６０，８６２）を形成できる。他の実施形態では、引き込まれたビーム（１４０）の速度を変化させることにより、トラックの幅を変更できる。この技術は集積回路を製造するために利用され、パターンをウェハに転写するために、レジスト被覆されたウェハを横切る荷電粒子ビームを引き込むか、後に光リソグラフィプロセスを用いてパターンをウェハに転写するのに用いられるフォトマスクを製造するために用いられるレチクルを横切る荷電粒子ビームを引き込む。
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【課題】本発明は、目的とする引出電圧を持つナノエミッタを容易に作製することができる集束イオンビーム装置におけるナノエミッタ作製方法を提供する。
【解決手段】集束イオンビーム装置におけるナノエミッタ作製方法であって、目的の引出電圧を引出電極に印加する工程と、エミッタ先端部でマイグレーションを起こさせるようなガス圧をガス供給手段に設定する工程と、エミッタ先端部のマイグレーションの発生を認識しその状態を維持するようなガス圧をガス供給手段に設定する工程と、ナノ突起物の形成が始まったことに基づいてマイグレーションを遅くするようなガス圧をガス供給手段に設定する工程と、ナノ突起物の形成が完了したことに基づいてマイグレーションを停止するようなガス圧をガス供給手段に設定する工程とから成る。 （もっと読む）

【課題】本発明は簡単に目的の薄膜試料片が観察視野に入るように多軸ステージ移動することができる電子顕微鏡における薄膜試料位置認識装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線を出射する電子線源２１と、電子線の電流量を調整する照射レンズ系２２と、試料２３を保持する試料台２４と、該試料台２４を動作させる多軸ステージ２８と、該多軸ステージ２８の移動を制御する制御ユニット３１と、試料２３を透過した電子を拡大結像する結像レンズ系２５と、電子線の軌道を修正するアライメント偏向器と、前記レンズ系のレンズやアライメント偏向器を制御する制御ドライバと、前記制御ユニット３１を制御するコンピュータ３０と、拡大結像した像をＣＣＤカメラを用いてデジタル情報として取得する手段２６と、前記デジタル情報をコンピュータ３０に記憶する手段３３と、前記デジタル情報をコンピュータで演算する手段３２と、を有して構成される。 （もっと読む）