【課題】本発明は透過型電子顕微鏡の自動最適合焦点調整方法及び装置に関し、最適合焦点位置を確実に検出することを目的としている。
【解決手段】対物レンズ８と、該対物レンズを透過した透過電子線像を蛍光板１２に拡大結像させる結像系レンズ群１０と、該結像系レンズ群１０から投影された透過電子線像を受ける蛍光板１２と、該蛍光板の透過電子線像を撮像するカメラ１４と、該カメラで撮像された透過電子線像を記憶する記憶手段１６ａと、該記憶手段に記憶された透過電子線像を読み出して所定の画像処理を行なう画像処理装置１６を有する透過型電子顕微鏡において、前記画像処理装置１６は、前記記憶手段１６ａに記憶されている透過電子線像を読み出してエッジ評価値を算出し、算出されたエッジ評価値のプロットからフィッティングを行ってフィッティング関数を求め、フィッティング関数の最小値を最適合焦点位置とするように構成する。 （もっと読む）

【課題】 オペレータによる目視に基づく操作を行うことなく、自動的に、初期設定した大きさの断面の電子ビームを蒸発材料表面上に照射することが出来るようにする。
【解決手段】 蒸発材料３を収容した坩堝４と基板６が設けられたチャンバー１、及び、電子銃７、集束レンズ８、９、走査コイル１１が設けられた鏡筒２を備えており、温度検出器１８が取り付けられたアパーチャ１０を集束レンズ８による電子ビーム集束位置の近傍に配置し、温度検出器１８からのアパーチャ温度信号値を基準値と比較し、その差分を制御装置１３に送る演算回路１９を設け、制御装置１３からの指令により集束レンズ８の集束作用をコントロールする様に成している。 （もっと読む）

【課題】光源にコヒーレント光を発するレーザ光源を用いても、干渉の起こりにくい分光計およびキュベットを提供する。
【解決手段】（１）コヒーレント光を発生するレーザ光源、（２）内部に被分析物を入れる試料空間を備え、前記コヒーレント光をレーザ光源側から該試料空間を通って透過させるキュベット、（３）前記キュベットを透過したコヒーレント光を受光する受光部、を備えた分光計において、前記キュベットの光が透過する部分の外側側面を、コヒーレント光の光軸と直交する面に対して所定の角度で傾斜させた。 （もっと読む）

【課題】本発明はパターンの評価方法及び装置に関し、パターン描画時のＣＤリニアリティを評価することができるパターンの評価方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】第１のパターンと該第１の整数倍の幅を持つパターンを順次１ショットで形成してｎ個のパターンを得る第１の描画工程と、第１のパターンを基準パターンとし、この基準パターンのショットを整数倍繰り返してｎ個のパターンを得る第２の描画工程と、予めパターン幅が既知のパターンを任意の比率で２回ショットで描画してｎ個のパターンを得る第３の描画工程と、を有し、前記線幅測定工程で得られた第２の描画工程で得られたパターン幅を基準として、前記線幅測定工程で得られた前記第１の描画工程と第３の描画工程で得られたパターン幅を比較して描画パターンのリニアリティを評価する評価手段を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】再検待ちセルの待ち時間短縮と新規分注用空セルの確保とのバランスを最適に制御する。
【解決手段】制御コンピューターから未使用の検体分注用セルに対して検体の新たな分注命令がない期間中は、（１）前記新たな分注命令がない期間に入ってから最初に来た未使用の検体分注用セルを所定の時間待機させる第１のモードと、（２）前記待機させることなく直ちに送り出された未使用の検体分注用セルの次に来た未使用の検体分注用セルを所定の時間待機させる第２のモードとを所定の割合で組み合わせることにより、前記待機位置における未使用の検体分注用セルを適切な範囲の待機数に維持するようにした。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子源の異常放電を正確に検出可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子源１２と、該荷電粒子源１２に加速電圧を印加する加速電圧源３と、
コアＣにギャップＧを有し前記加速電圧源３と荷電粒子源１２間に1次側巻き線が接続されたトランス３０と、
該トランスの２次側巻き線Ｎ２に流れる電流又は発生する電圧に基づいて１次側巻き線Ｎ１に流れる電流を検出する１次側電流検出回路と、
該１次電流検出回路の出力に基づいて放電を検出する放電検出回路を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームによって削られた物質が遮蔽材や試料に再付着するリデポジションの影響を受けない平坦な試料断面を作製する試料作製装置及び試料作製方法を提供する。
【解決手段】 加工を始めるとき遮蔽材１２の端縁部を断面作製位置より試料の端部に近くに設定し、遮蔽材に遮蔽されない試料の突き出し部が狭くなるようにしておく。制御演算装置２０は試料６の突き出し部の切削が進行するのに合わせて、ピエゾモータ２２により試料ホルダ７を駆動し、試料を矢印方向に移動させる。遮蔽材１２の端縁部が断面作製位置に到達したら移動を停止させ、その状態でイオンビーム照射を継続し仕上げ加工を行なう。 （もっと読む）

【課題】液体に含まれた検査対象試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料検査において、装置のメインテナンスの向上を可能にする検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、第１の面３２ａに液状試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面３２ｂに接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、真空室１１内において、膜３２と一次線照射手段１との間の空間を部分的に仕切るシャッター４とを備え、一次線７の照射により試料２０から発生する二次線である反射電子６１をシャッター４に照射させることによって、三次的信号である二次電子６２を発生させ、二次電子６２を信号検出手段１４により検出する。本装置は、真空室１１内の圧力を検知する真空計１５を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡の自動歪み測定方法に関し、自動的に歪みを測定することができる電子顕微鏡の自動歪み測定方法を提供することを目的としている。
【解決手段】作製した試料を透過型電子顕微鏡に挿入して観察に適したレンズ状態にし、この状態でデジタルカメラから画像を取り込み、リアルタイム表示された試料の像を元に、歪みの自動測定が可能な、コントラストが平坦で明るい位置に試料を移動させ、所定の演算式により歪みを計算して歪みの中心と歪みの大きさを求め、求めた歪みの中心と歪みの大きさを記憶するように構成する。 （もっと読む）

【課題】臨床検査結果の総合的な評価を行なえるような臨床検査データの評価方法、評価装置、および表示方法を提供する。
【解決手段】横軸にｎ個の検査項目または経時的測定値を配し、縦軸に前処理を施した検査値ｘ_i（ｉ＝１，２，…，ｎ）を配したｎ次元の検査項目または経時的測定値から成る検査データ群を一種のスペクトル・パターンとして捉え、主成分分析（ＰＣＡ）の手法により、検査データ群の特徴を２次元空間または３次元空間に表示するようにした。 （もっと読む）