【課題】容易に溶け跡の平坦化作業を行える電子銃蒸着用電子銃装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム軌道を所定角度曲げてるつぼ６内の蒸着材料７に照射し、該蒸着材料７を溶融してその蒸着材料の蒸気を上部に配置された被蒸着基板に付着させて薄膜を形成させるように構成させた電子ビーム蒸着用電子銃装置において、偏向コイル３による電子ビーム軌道と、走査コイル５による電子ビーム軌道とを制御する電子ビーム軌道制御手段と、該電子ビーム軌道制御手段により前記蒸着材料７へ入射する電子ビーム８の入射角を制御する入射角制御手段とを設け、これら電子ビーム軌道制御手段と入射角制御手段とを動作させることにより、るつぼ６内の蒸着材料の溶け具合の平均化を図る。 （もっと読む）

【課題】 電子線照射により試料から発生するＸ線を検出する分析方法において、試料が電子線照射により損傷を受ける前に測定を自動的に停止させる。
【解決手段】 電子線照射により試料から発生したＸ線、二次電子等をそれぞれＸ線検出器２４、電子検出器２３で検出し経過時間情報、座標位置とともに時系列的に組み合わせた時系列データとして記憶部３４に格納する。測定しながら、測定開始から一定の時間間隔で記憶部３４からＸ線信号を抽出しＸ線スペクトルを再生する。スペクトル全体又は任意に指定したエネルギー範囲のＸ線強度の時間経過に伴う変動をモニタし、異常を検知したら手動又は自動的に測定を中止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は形状補正荷電粒子ビームパターン描画装置に関し、台形、三角形の斜辺部分の走査丸めの影響を除去できるようにすること。
【解決手段】分割された図形面積から実際の描画面積を求め、この描画面積と指定した走査ステップサイズから分割図形内の計算上の荷電粒子ビーム照射数を計算する手段と、分割された図形から実際の描画形状を求め、この形状と指定した走査ステップサイズから分割図形の走査丸めを含んだ実際の荷電粒子ビーム照射数を計算する手段と、分割図形内の実際の荷電粒子照射数に対する、計算上の照射数の比を計算する手段と、分割された図形に対し、通常指定のドーズ補正量と合わせて最終ドーズ補正量を決定する手段と、荷電粒子ビームの当該図形内の走査速度を、最終ドーズ補正量に従って変調し、走査丸め誤差による図形形状の変化をドーズ量で補正する手段と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分光装置に関し、広い波長範囲でＸ線の分光を再現性よく得ることができるＸ線分光装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料１１から発生した特性Ｘ線１３を受ける互いにほぼ９０°の角度で配置された２つの分光素子１，２と、該２つの分光素子からの分散光を同時に受けて電気信号に変換する位置敏感検出器１５と、該位置敏感検出器の出力を記憶するメモリと、該メモリに記憶されたデータを読み出して所定の画像処理を行なう画像処理部と、該画像処理部の出力を受けて分光情報を表示する表示部と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】セミインレンズ型の対物レンズを用いたＥＢＳＤ方式による試料の結晶方位観察を良好に行う。
【解決手段】電子線装置は、電子線１１を試料６上で集束させて照射するためのセミインレンズ型の対物レンズ４と、試料６上での電子線１１の走査に応じて走査像を取得するための信号検出手段と、試料６への電子線１１の照射に応じてＥＢＳＰを取得するためのＥＢＳＰ検出手段２２と、対物レンズ４を駆動する駆動回路４ａ中の増幅器の増幅率を切り換えるための増幅率切換手段３１と、対物レンズ４を駆動する駆動回路４ａへ供給される信号を手動にて微調整可能とする手動調整部９とを備えており、制御部７は、ＥＢＳＰの取得時における当該増幅器の増幅率が、走査像の取得時における当該増幅器の増幅率に対して小さくなるように増幅率切換手段３１を制御する。 （もっと読む）

【課題】発光量をアップさせ、且つ、結合反応で結合モル比が一定した標識抗体試薬を提供。
【解決手段】一般式（１）で表されるアクリジニウムエステル誘導体、およびこのアクリジニウムエステル誘導体により標識された標識抗体試薬である。


［式中、Ｒ^１は、炭素数１〜６のアルキル基、Ｒ^２は、置換基を有していてもよい炭素数６〜１２のアリール基、Ｒ^３は、炭素数２〜６のアルキレン基、Ｘは、対イオンであり、ｎは１〜５の整数である］ （もっと読む）

【課題】試料等の物体の微小な振動を簡便な手段によって抑制し、以って電子顕微鏡等の荷電粒子線装置の空間分解能を向上させる物体位置決め装置の提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置内に着脱可能な物体を保持し、且つ大気側から前記物体の移動を行う棒状の物体ホルダ２と、前記物体ホルダ２の側面２ａの少なくとも一箇所を摺動可能に支持し、以って前記物体ホルダ２の大気側後端部を自由端とする支持手段１１と、前記物体ホルダ２の大気側後端部に設けられ、該物体ホルダ２の振動を吸収する動吸振部２０とを備える。前記物体ホルダ２の長手方向と直角な方向に対する前記動吸振部２０の並進方向の作用周波数帯域は、前記物体ホルダ２の曲げモードにおける固有振動数を含む。 （もっと読む）

【課題】ガイドに移動可能係合したステージの位置決め装置に関し、ステージの可動範囲の全域にわたってｎｍオーダの位置決めが可能なステージ移動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘステージ１３に設けられた送りナット（ナット部材）８と、送りナット８に螺合するボールねじ７と、ボールねじ７を回転駆動する超音波リニアモータ３７とで構成する。更に、ナット８と、ボールねじ７のねじ軸７ａとの間に予圧が発生するように、予圧発生手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多屈曲型四重極飛行時間型質量分析装置に関し、四重極型が小型である特長も活かしつつ分解能も改善可能であり、測定１回のデータ取得時間を数ミリ秒或いはそれ以下に短縮できる多屈曲型四重極飛行時間型質量分析装置を提供することを目的としている。
【解決手段】円弧状に曲がった電極４個組の四重極と直線状電極４個組の四重極同士がイオン光学上の光軸が接続部でほぼ一致するように電極部材が接する構造で、一体化乃至は接続された状態の四重極の外形を持つ構成であり、前記四重極部はイオンガイドとして機能させ、飛行するイオンの飛行時間を計測できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ポインティングデバイスの操作時において、その時点での試料画像の視野中心が所定時間後にどの方向にどの距離まで移動するのかをオペレータに示す。
【解決手段】試料画像の視野を移動させる移動方向を演算制御手段に入力するための移動方向入力手段（ポインティングデバイス）を備えた試料画像表示装置において、取得される試料画像の視野中心のＮ秒後における予測位置及び該予測位置に至るまでの予測進路を、試料ステージ４の移動に基づく視野中心位置の移動履歴から求めて試料画像に重ねて表示する。 （もっと読む）