【課題】本発明は荷電粒子ビーム装置に関し、更に詳しくは微弱なビーム電流の下でも確実に画像を得ることができる荷電粒子ビーム装置を提供することを目的としている。
【解決手段】荷電粒子ビームを集束する少なくとも１段の集束レンズ２と、該集束レンズ２よりも下流側に配置される試料保持機構と、試料３よりも下流側に配置される少なくとも１段の結像レンズ１１と、試料をビーム通路に挿入して得られる結像面に配置された２次元の荷電粒子検出器１２と、該２次元の荷電粒子検出器１２で得られた像を逐次その内部に撮り込み、所定の画像処理を行なう他、種々の制御を行なうコンピュータ１０と、前記画像処理された画像を表示する表示手段２０ａとにより構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡の試料コーティング方法に関し、絶縁試料の導電性処理を簡易な構成で行なうことができる電子顕微鏡の試料コーティング方法を提供することを目的としている。
【解決手段】走査型電子顕微鏡１０と集束イオンビーム装置１１との光学系を備え、これら二つの光学系の光軸が試料位置の一点で交わる構造のマルチビーム装置において、マルチビーム装置のチャンバ１にその先端部のプローブ１３の位置が移動可能なマニピュレータ１２を設置し、該設置されたマニピュレータ１２のプローブ先端に蒸着材料保持機構を設け、イオンビームによって加工された絶縁試料の加工断面近傍に前記蒸着材料保持機構を近づけ、該蒸着材料保持機構内の蒸着材料に前記集束イオンビーム装置１１からイオンビームを照射してスパッタリングを行ない絶縁試料の加工断面に該蒸着材料をコーティングさせるように構成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で磁場勾配コイルの温度を室温に維持できる方法を提供する。
【解決手段】（１）感度を高めるために低温に冷却されるＮＭＲ検出コイル７、（２）ＮＭＲ検出コイルの外側に該コイルと同心状に配置され、室温付近に維持されながらパルス磁場勾配を内側に発生する磁場勾配コイル１０、（３）磁場勾配コイルの外側に配置され、室温に保たれた状態でＮＭＲ検出コイルと、磁場勾配コイルを大気から遮断し、それらを真空下に置く真空容器１、を備えたＮＭＲプローブにおいて、ＮＭＲ検出コイルと磁場勾配コイルの間に、低温と室温の中間の温度に設定された熱シールド４１を同心状に設けた。 （もっと読む）

【課題】電源装置が発生する電圧信号と容量性負荷が受ける電圧信号との繋がりにあそびを設ける。
【解決手段】容量性負荷と電源装置の間にクロスダイオード様動作をする半導体素子を挿入し、該クロスダイオード様動作をする半導体素子により電圧信号のノイズやドリフトを遮断するようにした。また、容量性負荷への給電装置であって、容量性負荷の電極へ電圧信号を出力する電源装置と、前記容量性負荷と前記電源装置の間に挿入され、前記電圧信号のノイズやドリフトを前記容量性負荷から遮断するクロスダイオード様動作をする半導体素子とから成るようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡のアライメント装置に関し、高精度でかつ自動的にアライメントを行なうことができる透過型電子顕微鏡のアライメント装置を提供することを目的としている。
【解決手段】透過型電子顕微鏡において、透過電子線が蛍光板１４に投影された場合、その像を取り込む像取得装置１６と、該像取得装置１６を回転させる回転手段と、前記像取得装置の回転を制御する回転制御手段と、像取得装置１６で得た像信号を記憶する記憶手段２１と、該記憶手段２１に記憶された像情報を演算処理する演算手段２０とを有し、自動でアライメントを行なう際、前記像取得装置１６を予め決められた回転角に回転させることにより、アライメント偏向器の移動方向と像の移動方向を一致させ、得られた像を取得・演算処理し、全てのアライメント偏向器の適切な設定値を自動で算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は走査型プローブ顕微鏡におけるプローブアプローチ方法に関し、安全かつ確実に斥力領域までプローブを到達させるアプローチ動作を実現することを目的としている。
【解決手段】コンピュータがRef+、Ref-の２つの周波数を所定の式により計算するステップ１と、コンピュータがRef+をフィードバックセットポイントに設定するステップ２と、アプローチ動作を開始するステップ３と、コンピュータが周波数信号Ref0がRef-に近づくことを監視するステップ４と、Ref0がRef-に一致した場合、コンピュータがアプローチ動作を停止し、前記ステップ１で用いたRef+及びRef-を再計算して設定し、前記ステップ２に戻る動作を行なうステップ５と、ステップ５でRef0がRef-に一致しない場合、Ref0とRef+が一致したかどうかチェックするステップ６と、ステップ６でRef0がRef+と一致した場合、コンピュータはアプローチを終了するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線マイクロアナライザに関し、スペクトル同士の比較が容易に行なえるＸ線マイクロアナライザを提供することを目的としている。
【解決手段】細かく絞った電子線を試料１９に照射し、該試料１９から放射される特性Ｘ線を分光結晶９に入射し、その分光された特性Ｘ線を検出器１１で検出し、試料中に含まれる元素を横軸波長と縦軸Ｘ線強度のスペクトルとして定性又は定量するＸ線マイクロアナライザにおいて、電子線の照射電流と特性Ｘ線の計数時間とスペクトルを表示するスケールを予め条件として決めておく設定手段２９と、前記照射電流と計数時間が変化した場合には、前記予め決めてある条件に正規化して表示するようにした演算表示手段２９と、を具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】走査プローブ顕微鏡において、カンチレバの背面に照射される光のフォーカススポットの位置及びフォーカス状態を調整しているときに、光検出器の受光面における反射光のスポットサイズの評価を同時に行う。
【解決手段】探針３ａを備えるカンチレバ３と、カンチレバ３の背面に光１０を照射するための光源１と、光源１から照射されてカンチレバ３の背面から反射した光（反射光）１１を検出するための光検出器２と、光検出器２による反射光１１の検出結果に基づいてカンチレバ３の変位を検出して出力する演算手段９とを有し、演算手段９は、光検出器２の２つの受光面による反射光１１の検出信号の差分を算出してこの差分に応じた信号を出力する機能を備えた走査プローブ顕微鏡において、光検出器２をその受光面の配列方向に沿って振動させるための振動手段８を備える。 （もっと読む）

【課題】１端子で２モードの共振周波数を検出できるＮＭＲプローブとその設計方法を提供する。
【解決手段】異なる２つの円筒状インダクタンスを同心同軸上に配置して、該インダクタンス間の静電容量結合と磁気結合の値を選定することにより、異なる２つの周波数に共振させるようにした。その場合、前記円筒状インダクタンスは径または長さの異なる２つのヘルムホルツ型サンプルコイルであり、両コイルが発生する高周波磁場の発生軸の向きを所定角だけ異ならせることにより、両コイル間の磁気結合の大きさを選定していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザビームの強度分布特性とカセグレン型（あるいはシュヴァルツシルト型）反射対物鏡の形態に由来する中央遮蔽効果により、ラマン分析における試料への実効的なレーザ照射量が低下し、ラマン散乱光を観測する上で感度上のデメリットが生じるのを防止する。
【解決手段】（１）レーザ光を発振するレーザ発振器、（２）発振されたレーザ光の光束径を拡大するビームエキスパンダ、（３）主鏡と副鏡によって構成され、前記レーザ光を試料上の１点に集光するカセグレン型反射対物鏡、を備えたラマン測定用光学系であって、レーザ発振器とカセグレン型反射対物鏡との間にレーザ光の光強度分布を平坦に均一化する強度分布変換用光学素子を挿入し、カセグレン型反射対物鏡の副鏡による中央遮蔽に伴うレーザ光照射効率の低減現象を軽減する。 （もっと読む）