【課題】化学結合状態に起因するケミカルシフトの影響を受けにくい分析手法を用いて、一つの分析対象元素について一つの標準試料で定量分析を可能とすることにより、標準試料の変更等の手間を省くことのできる試料分析方法及び試料分析装置を提供する。
【解決手段】試料５に電子線１２を照射し、これにより試料５から発生する特性Ｘ線１３を検出して、試料５中の特定の元素についての定量分析を行う際に、当該元素に対応する特性Ｘ線１３における複数のＬ線の検出強度に基づいて定量分析を行う。 （もっと読む）

【課題】 パターン描画位置誤差を発生させる要因の内、周期的に発生する要因を分析する。
【解決手段】 電子ビーム描画装置、電子ビーム描画装置で描かれた要因分析用被描画材料上の各要因分析用パターンの描画位置を測定する光学パターン座標測定装置３１、光学パターン座標測定装置３１で測定された各要因分析用パターン描画位置の中から最初に描かれたパターンの描画位置を基準とした他の各パターンそれぞれの描画位置の誤差を求め、最初のパターンの描画時点から要する他の各パターンの描画時間に対する該各パターンの描画位置誤差の関係を求める演算回路３２、演算回路３２の出力をフーリエ変換するフーリエ変換回路３３、フーリエ変換回路３３の出力に基づく情報を表示する表示装置３４を備えている。 （もっと読む）

【課題】 電界電離型ガスイオン源において、先端径の増加したエミッタティップを大気中に取り出すこと無く簡単に先鋭化し、数十ｎｍレベルの先端径を再現する。
【解決手段】 イオン源ガスによるエミッションパターンが観察される状態で、
液体窒素供給を停止してエミッタの温度を液体窒素温度から徐々に上昇させながら、イオン源ガスによるエミッションパターンが観察されなくなり残留水分子によるエミッションパターンが観察できるようになるまで前記引き出し電圧を減少させる。エミッタの温度が室温程度に達した状態で、イオン源ガスによるエミッションパターンを観察する。エミッタの先端の表面原子によるマイグレーションが停止するまで引き出し電圧を下げ、イオン源ガスによるエミッションパターンが所望のパターンとなったと判定されたらエミッタを液体窒素で再冷却する。 （もっと読む）

【課題】本発明は生化学自動分析装置用流系内圧力制御システムに関し、生化学自動分析装置とは独立して機能することができる生化学自動分析装置用流系内圧力制御システムを提供することを目的としている。
【解決手段】試料液を吸引し、サンプルピペットを介して希釈セルに試料液を吐出するサンプリングポンプ１と、前記サンプルピペット２を洗浄するサンプリング洗浄ポンプ４と、前記サンプリングポンプ１とサンプリング洗浄ポンプ４との間に設けられた電磁弁８と、前記サンプリング洗浄ポンプと純水タンクとの間に設けられた逆止弁７と、前記サンプリング洗浄ポンプ４と逆止弁７との間に設けられた圧力センサ９と、該圧力センサ９の上限閾値と下限閾値が設定され、前記圧力センサ９の出力が前記上限閾値を超えるか又は前記下限閾値よりも下回った時、アラーム信号を出力する制御部１０とを設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は複合装置におけるビーム照射位置の補正装置に関し、導電体が挿入されても試料観察位置がずれてしまうことのないビーム照射位置の補正装置を提供することを目的としている。
【解決手段】コレクタ電極７へ印加する電圧をオフにした状態で、導電体が試料室１に挿入された時にＳＥＭ鏡筒２からの電子ビームと、ＦＩＢ鏡筒３からのイオンビームの照射位置のずれを補正するためのイメージシフト量を記憶する補正テーブル２１と、ＳＥＭ像又はＦＩＢ装置像を表示する表示手段２２とを具備し、前記ＳＥＭ鏡筒２とＦＩＢ鏡筒３に所定の加速電圧が印加された状態における、前記補正テーブル２１に記憶されているイメージシフト補正量を読み出してＳＥＭ鏡筒２からのイメージシフト信号及びＦＩＢ鏡筒３からのイメージシフト信号に重畳し、この状態で得られた２次電子像を前記表示手段２２に表示するように構成される。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの上方に電子検出器が配置された構成からなる電子線装置において、被検出電子をそのエネルギー帯ごとに分けて検出できる電子線装置を提供する。
【解決手段】所定の加速電圧により加速された電子線を放出する電子線源１と、電子線源１から放出された電子線を集束して試料１１に照射するための対物レンズ９と、集束された電子線を試料上で走査するための走査コイル８と、電子線の走査に応じて試料から発生し、対物レンズを通過した被検出電子を検出するための電子検出手段４１とを具備した電子線装置であって、電子検出手段４１は、電子線の軌道に沿って配列され、それぞれ異なる電圧が印加される複数のメッシュ電極３〜７と、相対向するメッシュ電極の各間隙から抽出される被検出電子３３〜３７を該間隙ごとに検出する電子検出器２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】検体の吸引量が少ない希釈倍率の場合にも高精度の測定が可能な生化学自動分析装置を提供する。
【解決手段】検体の吸引量が少ない希釈倍率の場合にも高精度の測定が可能な生化学自動分析装置を提供する。そのために、（１）ピペット内部から希釈容器に向けて所定量の希釈液を吐出する第１の工程、（２）ピペット内部の先端に少量のエアを吸引して、内部の希釈液の先端部にエアギャップを作る第２の工程、（３）ピペットを希釈容器からサンプル容器に移動させて、ピペットでサンプル容器からエアギャップを介して所定量の検体を吸引する第３の工程、（４）ピペットをサンプル容器から希釈容器に移動させて、所定量の検体を希釈容器に向けて吐出する第４の工程、（５）希釈された検体の入った容器を光源ランプと受光部との間に移動させて、検体の分析を行なう第５の工程、から成る方法で検体の希釈と分析を行なう。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡の自動試料傾斜装置に関し、試料傾斜角を自動で調整することができる電子顕微鏡の自動試料傾斜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料移動機構７及び試料傾斜機構８の動作を制御する制御装置と、試料３を透過した透過電子を多段の電子レンズと偏向器を用いて結像させる結像電子光学系６と、結像した像を像信号化する像取得手段９と、前記像信号を記憶する記憶手段１１と、該記憶手段１１に記憶された像信号を読み出して解析するコンピュータ１０と、該コンピュータ１０は、試料傾斜軸別に、異なる複数の試料傾斜角で試料の現在の結晶方位で得られる電子回折図形を取得して前記記憶手段１１に記憶し、取得した電子回折図形別に電子回折スポット座標を算出し、電子回折スポット座標を基に、電子回折スポットを円近似することにより、近似円の中心と半径を算出し、円の半径が最小となる試料傾斜角を最適傾斜角とするように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡に関し、更に詳しくは光伝導媒体に光ファイバを用いて光検出器の形状を任意の形状に加工できるようにした透過型電子顕微鏡に関する。
【解決手段】試料５０を透過した透過電子から高角度散乱像や暗視野像を得るようにした透過型電子顕微鏡において、試料５０を透過した透過電子信号を光信号に変換するシンチレータ１と、該シンチレータの光信号出力を光検出器３０に接続する光ファイバ２０とを具備し、該光ファイバ２０の光検出器３０との接続部分を任意の形状に加工するように構成する。 （もっと読む）

【課題】高倍率観察でも収差補正が容易な電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡において、球面収差補正装置１４と、前記球面収差補正装置１４と対物レンズ１７との間に設けられる伝達レンズ系１５と、前記球面収差補正装置１４の前段に、光軸２に対して移動可能に設けられる開口絞り１３と、前記伝達レンズ系１５の主面又はその近傍に前記光軸２に対して移動可能に設けられ、電子線の開口角を調整する開口角絞り１６とを備える。 （もっと読む）