【課題】１台の装置で二次電子放出像及び透過電子像の双方の像の取得を行うことができる荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】試料保持手段５に保持された試料６の表面に集束レンズ２を介して荷電粒子ビーム８が照射され、これにより試料６の裏面側から発生した二次電子９が加速電極７によって下流側に加速され、該加速された二次電子９が対物レンズ３及び結像レンズ４を介して検出手段１０に到達し、これにより検出手段１０上で結像された二次電子放出像の検出を行うことができるとともに、対物レンズ３及び結像レンズ４の励磁条件を切り替えることによって、試料６からの透過電子を検出手段１０上に結像させ、これによる試料６の透過電子像の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】試料像の取得時における分解能の低下をもたらすことなく、試料からの低角度放出反射電子の検出を効率良く行う。
【解決手段】走査電子顕微鏡は、電子線を放出する電子線源と、電子線源から放出された電子線を試料上で集束させるための対物レンズと、集束した電子線を試料上で走査するための走査偏向器と、電子線源からの電子線が通過するインナーチューブとを備え、インナーチューブの内壁に第１のシンチレータを設けるとともに、電子線の走査に応じて試料から発生する第１の被検出電子が第１のシンチレータに衝突して発光が生じ、該発光によりインナーチューブの内部において電子線源側に向かって進む第１の光を検出するための光検出器を設置し、該光検出器による検出結果に基づいて走査像を形成する。 （もっと読む）

【課題】質量分析部において選択するイオンを変更する場合でも、従来よりもイオンの損失を低減させることができる質量分析装置を提供すること。
【解決手段】イオン源１０は、試料をイオン化する。蓄積部２０は、イオン源１０で生成されたイオンを蓄積する蓄積動作と、蓄積したイオンをイオンパルスとして排出する排出動作と、を繰り返し行う。質量分析部３０は、蓄積部２０が排出するイオンパルスを通過させ、質量電荷比に基づいて所望のイオンを選択する。検出部６０は、質量分析部３０を通過したイオンパルスを検出し、検出強度に応じたアナログ信号を出力する。制御部９０は、所望のイオンを含むイオンパルスが質量分析部３０を通過する間は、質量分析部３０が選択する所望のイオンの質量電荷比を一定に制御する。 （もっと読む）

【課題】多分割ＳＴＥＭ検出器のゲイン及びオフセット調整を精度良く、且つ容易に実行する。
【解決手段】走査透過電子顕微鏡の光軸上に配置された円状のシンチレータ６０１の検出面ＤＦ全体に電流密度が均一な電子線を照射し、各光電子増倍管６０３が、シンチレータ６０１から出力される光を光ファイバ束６０２を介して受光し、各光電子増倍管６０３から出力される検出信号の強度を測定し、各光電子増倍管６０３から出力される検出信号の強度が、シンチレータ６０１の検出面ＤＦを動径方向及び偏角方向に分割された各検出領域ＤＲの面積に比例するように、検出領域ＤＲ毎に多分割ＳＴＥＭ検出器のゲイン及びオフセットを調整する。 （もっと読む）

【課題】設計が容易で、且つ、六回非点収差も補正可能な荷電粒子線装置の球面収差補正装置及び球面収差補正方法を提供する。
【解決手段】相互に生じる三回非点収差が相殺される第１の一対の三回対称場を発生する第1の一対の多極子と、相互に生じる三回非点収差が相殺される第２の一対の三回対称場を発生する第２の一対の多極子とを配置する。第１の一対の多極子と第２の一対の多極子は、それぞれ、光軸を中心軸として相互に３０°回転した六回非点収差を発生する。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料保持体、及びそれを用いた検査装置、および検査方法を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２を有し、該膜３２が２層以上で構成される。また、第２の面３２ｂに接する装置内空間を減圧にし、該減圧空間に設置してある一次線（電子線）照射装置からの一次線を、膜３２を介して液体試料２０に照射することにより、試料を大気圧に保持したまま観察又は検査が可能となっている。膜３２が観察又は検査中にダメージを受けても、該膜を構成する２層以上の膜の内、１層が破れたところを検知した時に装置内空間を大気圧復帰させることで、装置内部の汚染を防止することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明はエミッタアレイを用いた電子プローブ装置に関し、プローブの径を保持したままでプローブ電流を増加させる電子プローブ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】リング状に並べられたＦＥエミッタアレイ１と、該ＦＥエミッタアレイ１のビームを回折面に集束させるためのレンズ２と、回折面に配置された絞り３と、該絞り３の絞り面の縮小像を試料６に照射させるための光学系５とからなり、装置のプローブ径を保ったままでプローブ電流値を増大させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に評価精度を悪化させる要因がある場合であっても、高精度に分解能を評価することが可能な、電子顕微鏡の分解能評価方法、プログラム、及び情報記憶媒体を提供すること。
【解決手段】微粒子を蒸着させた試料を撮像した画像から電子顕微鏡の分解能を評価するためのプログラムであって、前記撮像した画像を複数の部分領域に分割する分割部と、前記撮像した画像の信号強度ヒストグラムと、前記各部分領域の信号強度ヒストグラムとに基づいて、前記複数の部分領域から、評価対象とする１又は複数の部分領域を抽出する抽出部と、前記抽出された１又は複数の部分領域を周波数解析することで分解能を算出する分解能算出部としてコンピュータを機能させる。 （もっと読む）

【課題】標準物質の種類や使用量を減らしても適切にキャリブレーションを行うことができる飛行時間型質量分析装置及び飛行時間型質量分析装置のキャリブレーション方法を提供すること。
【解決手段】スペクトル情報変換部４２は、変換多項式のすべての係数値を変更可能な所定のアサイン情報を含む少なくとも３つのアサイン情報と変換多項式の係数値の情報とを有するキャリブレーション情報に基づいて、スペクトル情報の飛行時間を質量電荷比に変換する。キャリブレーション情報生成部４４は、所定のアサイン情報とアサイン情報生成部４３がスペクトル情報に基づいて新たに生成したアサイン情報とを含む少なくとも３つのアサイン情報を有するキャリブレーション情報を新たに生成する。キャリブレーション係数変更部４５は、キャリブレーション情報生成部４４が新たに生成したキャリブレーション情報に基づいて変換多項式の係数値を変更する。 （もっと読む）

【課題】 直流プラズマ発生体の陽極筒の底部内壁に粉末等の処理物質の蒸発物が付着することが防止する。
【解決手段】絶縁フランジ２の中央部に設けられた陰極棒３と、陰極棒３を囲う様に絶縁フランジ２に取り付けられた陽極筒５を有し、陰極棒３と陽極筒５との間のプラズマ発生空間４に直流プラズマが発生される様に成した直流プラズマ発生体１、及び、陽極筒５の後部に連接され、誘導コイル１３が巻かれた円筒部材１２内のプラズマ発生空間１７に高周波誘導プラズマが発生される様に成した高周波誘導プラズマ体１１を備え、陽極筒５と絶縁フランジ２との間に、直流プラズマ発生空間４に繋がり、直流プラズマ発生空間４の中心軸Ｏに向かう方向のプラズマガスと直流プラズマ発生空間４の周方向に向かうプラズマガスがミックスされ、直流プラズマ発生空間４には一定方向のプラズマガスが流れる様に成した隙間２１を設けた。 （もっと読む）